JP4700279B2 - レーザビームを用いてワークに孔を形成する方法及び装置 - Google Patents
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Description
請求項1及び請求項15の上位概念部に記載された形式の方法及び装置は、公知である。このような方法及び装置は、レーザビームを用いてワークに精密かつ正確な極小の孔を形成するために役立ち、この場合孔は、250μmよりも小さな直径を有することができる。
請求項1の特徴部に記載の本発明による方法は、公知の方法に比べて次のような利点を有している。すなわち本発明による方法では、少なくとも1つのプロセスガスパラメータ、特にプロセスガスの組成、圧力及び/又は容積流を所望のように調節することとプロセスガスを特殊に供給することとによって、所望の孔品質を得ることが可能である。しかもそのために、レーザビームパラメータを変化させること又はワークをレーザビームに対して傾倒させることは、不要である。本発明との関連において、少なくとも以下に記載の基準が孔の「品質」を決定する:すなわち、孔の形状及び、少なくとも金属材料から成るワークでは、アブレーション残留物が、孔の品質を決定する基準である。金属におけるレーザ加工の際に生じるアブレーション残留物というのは、特に、レーザビーム進入側のワーク面における溶融ばり(溶融に起因する小突起)と、孔壁における溶融膜とを意味する。本発明による方法によって、溶融ばりは完全に回避することができ、かつ形成される溶融膜は極めて薄い厚さしか有していない。つまり本発明の方法によって、アブレーション残留物は回避することができるか、もしくは少なくとも有害でない値に減じることができるので、孔の後加工を減じることもしくは簡単化すること、又は場合によっては完全に省くことが可能である。本発明による方法はさらに、孔形状に所望の影響を与えることができる。孔の全長にわたって一定又はほぼ一定である真円形横断面を有する孔も、所望の円錐度を有する孔も実現可能である。「円錐形の」孔は、有利には真円形横断面を有していて、その直径が孔の全長にわたって変化している。本発明の方法によって少なくとも上に述べた孔形状を実現することができ、しかもアブレーション残留物を回避もしくは著しく減じることができるので、このような1つの孔又はこのような複数の孔を安価に製造もしくは形成することが可能である。さらに作業時間もまた、公知の方法に比べて短縮することができる。
次に図面を参照しながら本発明の複数の実施例を説明する。
図2は、プロセスガスを供給するノズル装置の1実施例を示す図、
図3は、プロセスガスを供給するノズル装置の別の実施例を示す図、
図4は、プロセスガスを供給するノズル装置のさらに別の実施例を示す図、
図5は、ある特定のプロセスガスを使用してレーザビームを用いて製造された孔を示す断面図、
図6は、図5におけるとは異なったプロセスガスを使用してレーザビームを用いて製造された孔を示す断面図、
図7は、レーザビーム進入側の孔直径と円錐度係数kとを、プロセスガスの圧力を関数として示す線図である。
図1には、ワークに孔を形成する装置1の1実施例の構造が略示されている。この装置1はレーザビーム源3を有しており、このレーザビーム源3を用いて短パルスレーザビーム又は超短パルスレーザビームを生ぜしめることができ、このような短パルスレーザビームもしくは超短パルスレーザビームは以下において単にレーザビームと呼ぶ。レーザのビーム路には拡大レンズ系7、トレパンレンズ系(Trepanieroptik)9及び集光レンズ系11が位置している。トレパンレンズ系9と集光レンズ系11との間の領域において、レーザビーム5は変向ミラー13を用いて例えば90°変向させられる。装置1の図示されていない別の実施例では、レーザビーム路に拡大レンズ系7が配置されていない。
Claims (10)
- 少なくとも1つのレーザビーム(5)を用いてワーク(15)に孔(29)を形成する方法であって、
所望の円錐度を有する孔(29)を形成し、その際に孔の円錐度係数(k)が、レーザビームに対する光学的な影響によって可変であり、
プロセスガスをレーザビーム(5)とワーク(15)との間における反応領域に供給し、該プロセスガスがヘリウム(He)、酸素(O2)、アルゴン(Ar)、窒素(N2)のうちの少なくとも1つから成っているか又はこれらのうちの少なくとも2つから混合形成されており、
レーザビーム(5)を用いて形成される孔(29)の円錐度を増減するための所望の精密な調節のために、プロセスガスを、0.1bar〜20barの範囲の圧力及び約0.8Nl/min〜270Nl/minの範囲の流量で、反応領域に供給し、
さらに、孔(29)の前穿孔をヘリウムから成るプロセスガスによって行い、かつ次いで行われる後穿孔もしくは仕上げ穿孔を、アルゴンから成るプロセスガスによって行うことを特徴とする、レーザビームを用いてワークに孔を形成する方法。 - 250μmよりも小さな直径を有する孔を形成する、請求項1記載の方法。
- 120μmよりも小さな直径を有する孔を形成する、請求項2記載の方法。
- プロセスガスが4つの異なったガスから成っている、請求項1記載の方法。
- 複数のガスから構成されるプロセスガスの混合を、反応領域へのプロセスガスの到達前に行う、請求項1記載の方法。
- プロセスガスの圧力が、0.3bar〜15barの範囲である、請求項1記載の方法。
- プロセスガスの圧力が、0.5bar〜10barの範囲である、請求項6記載の方法。
- プロセスガスを、レーザビーム(5)に対して同軸的に延びているプロセスガス噴流(25)の形で供給する、請求項1記載の方法。
- プロセスガスを、複数のプロセスガス噴流(25)の形で供給し、第1のプロセスガス噴流(25)がレーザビーム(5)に対して同軸的に延びていて、第2のプロセスガス噴流(25)が、レーザビーム(5)に対して、0°〜90°の範囲の角度αを成して方向付けられている、請求項1記載の方法。
- プロセスガスを、レーザビーム(5)に対して0°〜90°の範囲の角度αを成して延びているプロセスガス噴流(25)の形で供給する、請求項1記載の方法。
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