JP4700095B2 - Gas supply device, block-shaped flange - Google Patents
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Description
本発明は、第1ライン及び第2ラインを持つガス供給装置で、該第1ラインは第1マスフローコントローラに接続されており、該第2ラインは第2マスフローコントローラに接続されており、該第1ラインは第1弁及び第2弁を有し、該第2ラインは該第3弁及び第4弁を有し、4種類のガスA、B、C、Dを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置に関する。 The present invention is a gas supply device having a first line and a second line, wherein the first line is connected to a first mass flow controller, the second line is connected to a second mass flow controller, and One line has a first valve and a second valve, and the second line has a third valve and a fourth valve, and is connected to a supply port for supplying four types of gases A, B, C, and D. The present invention relates to a gas supply device.
従来、この種の技術として、高価で比較的大きな装置であるマスフローコントローラの使用数を減らし、床占有面積を小さくすることを目的とする発明に、下記の特許文献1及び特許文献2に記載されるガス供給装置が開示されている。
図32に示すよう、特許文献1に記載されるガス供給装置300は、混合前のガス流量を制御する3つのマスフローコントローラ301MAを有する。さらに、マスフローコントローラ301MAには、3つの開閉弁302VA、303VA、304VAが接続している。図32においては、本発明と対比し易いように開閉弁を3つにした。マスフローコントローラ301MAに接続しているラインを第1ラインとする。
当該構成を有することにより高価で比較的大きな装置であるマスフローコントローラの使用数を減らすことができた。
しかし、特許文献1に係る発明では、例えば、プロセスガスを供給する際に、頻繁に使用するプロセスガスG1がある場合には、1つのマスフローコントローラ301MAを通じてしかプロセスガスG1を供給することができないとすると、同じマスフローコントローラ301MAに通じる他のプロセスガスG2、G3を同時に第1ラインでは供給することができない。そうすると、他のプロセスガスG2、G3を供給する際には、プロセスガスG1の供給を止めなければならなかった。そのため、複雑なプロセスに対応できなかったり、対応のために新たなマスフローコントローラが必要になるという問題があった。
Conventionally, as this type of technology, an invention aimed at reducing the number of mass flow controllers that are expensive and relatively large devices and reducing the floor occupation area is described in
As shown in FIG. 32, the
With this configuration, the number of mass flow controllers that are expensive and relatively large devices can be reduced.
However, in the invention according to
そこで、特許文献1に係る発明の課題を解決するものとして、特許文献2に係る発明がある。
図33に示すように、特許文献2に記載されるガス供給装置200は、3つのマスフローコントローラ201MA、201MB、201MCを有する。マスフローコントローラ201MAには、開閉弁212A〜212Hまでの8つの開閉弁が連通している。また、その他のマスフローコントローラ201MB、201MCにもそれぞれ8つの開閉弁が連通している。マスフローコントローラ201MAに連通しているラインを第1ラインとし、マスフローコントローラ201MBは、第2ライン、マスフローコントローラ201MCは、第3ラインとする。例えば、プロセスガスG1を供給するときには、開閉弁212A、213A、又は214Aのいずれかを開弁すれば、プロセスガスG1を、第1ライン乃至第3ラインのどのラインからでも供給することができる。そのため、頻繁に供給するプロセスガス例えばプロセスガスG1を第1ラインで供給しているときにも、他のプロセスガスG2、G3を、他の第2、第3ラインで供給することができる。したがって、プロセスガスG1の供給を止めなくとも、その他のプロセスガスG2、G3を供給することができる。
Then, there exists an invention which concerns on patent document 2 as what solves the subject of the invention concerning
As shown in FIG. 33, the
しかしながら、従来のガス供給装置200には、以下の問題があった。
例えば、ガス供給装置200では、開閉弁が24個必要とされる。そのため、開閉弁が増えることになるため、製造コストが高くなる問題、及び床占有面積が大きくなる問題がある。
また、上述したように、特許文献1に係るガス供給装置300では、開閉弁の数は少ないが、例えば、ガスを供給する際に、頻繁に使用するプロセスガスG1がある場合には、1つのマスフローコントローラ301MAを通じてしかプロセスガスG1を供給することができないとすると、同じマスフローコントローラ301MAに通じる他のプロセスガスG2、G3を同時に第1ラインでは供給することができない。そうすると、他のプロセスガスG2、G3を供給する際には、プロセスガスG1の供給を止めなければならなかった。そのため、複雑なプロセスに対応できなかったり、対応のために新たなマスフローコントローラが必要になるという問題がある。
However, the conventional
For example, the
As described above, in the
また、特許文献1に係るガス供給装置300では、各プロセス毎にプロセスで使用するプロセスガスの供給源とそのプロセスガスを供給するための全てのパイプが各開閉弁に直接接続しているため、パイプが混雑し、床占有面積を小さくすることができない問題があった。
Moreover, in the
そこで、本発明は、上記問題点を解決するためになされたものであり、頻繁に使用するプロセスガスの供給を止めることなく、その他のプロセスガスを使用することができ、床占有面積を小さくすることができるガス供給装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and other process gases can be used without stopping the supply of the process gas that is frequently used, thereby reducing the floor occupation area. It is an object of the present invention to provide a gas supply device that can perform the above operation.
上記目的を達成するために、本発明に係るガス供給装置、ブロック状フランジは、以下の構成を有する。
(1)第1ライン及び第2ラインを持つガス供給装置で、第1ラインは第1マスフローコントローラに接続されており、第2ラインは第2マスフローコントローラに接続されており、第1ラインは第1弁及び第2弁を有し、第2ラインは第3弁及び第4弁を有し、4種類のガスA、B、C、Dを供給する供給ポートと接続しているガス供給装置において、ガスAとガスBは同じガスであること、第1弁及び第3弁はガスAを供給する供給ポートと接続していること、第2弁はガスCを供給する供給ポートと接続していること、第4弁はガスDを供給する供給ポートと接続していること、を特徴とする。
(2)(1)に記載のガス供給装置において、開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジを有すること、ブロック状フランジは、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部とを有すること、を特徴とする。
(3)(1)又は(2)に記載のガス供給装置において、回路の排気側に流量検定システムを有すること、を特徴とする。
(4)(1)又は(2)のガス供給装置において、ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、マニホールドブロックに取り付けることが可能であること、を特徴とする。
(5)開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジにおいて、ブロック状フランジは、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部と、を有することを特徴とする。
(6)(5)のブロック状フランジにおいて、ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、マニホールドブロックに取り付けることが可能であること、を特徴とする。
In order to achieve the above object, a gas supply device and a block-shaped flange according to the present invention have the following configurations.
(1) A gas supply device having a first line and a second line, wherein the first line is connected to the first mass flow controller, the second line is connected to the second mass flow controller, and the first line is the first line In a gas supply device having one valve and a second valve, the second line having a third valve and a fourth valve, and being connected to a supply port for supplying four types of gases A, B, C and D Gas A and Gas B are the same gas, the first valve and the third valve are connected to a supply port for supplying gas A, and the second valve is connected to a supply port for supplying gas C And the fourth valve is connected to a supply port for supplying the gas D.
(2) In the gas supply device according to (1), the gas supply device has a block-like flange attached to the lower surface of the manifold block attached to the on-off valve, and the block-like flange has a connection port to which a pipe is connected and a manifold block. It has a flange communication passage that connects the manifold communication passage connected to the formed on-off valve and the connection port, and a pipe escape portion for ensuring a space through which the pipe passes.
(3) The gas supply device according to (1) or (2) is characterized by having a flow rate verification system on the exhaust side of the circuit.
(4) The gas supply device of (1) or (2) is characterized in that the block-like flange can be attached to the manifold block in either the vertical direction or the horizontal direction.
(5) In the block-like flange attached to the lower surface of the manifold block attached to the on-off valve, the block-like flange includes a connection port to which a pipe is connected, and a manifold communication path connected to the on-off valve formed on the manifold block. It has a flange communication passage that communicates with the connection port, and a pipe escape portion for securing a space through which the pipe passes.
(6) The block-shaped flange of (5) is characterized in that the block-shaped flange can be attached to the manifold block in either the vertical direction or the horizontal direction.
上記ガス供給装置、ブロック状フランジの作用及び効果について説明する。
(1)上記発明に係るガス供給装置によると、ガスAとガスBは同じガスであること、第1弁及び第3弁はガスAを供給する供給ポートと接続していること、第2弁はガスCを供給する供給ポートと接続していること、第4弁はガスDを供給する供給ポートと接続しているため、例えば、ガスを供給する際に、頻繁に使用するプロセスガスG1がある場合でも、2つのマスフローコントローラを通じてプロセスガスG1を供給することができる。そのため、他のプロセスガスG2、G3を同時に供給する場合には、プロセスガスG1を他方のマスフローコントローラを使用することにより、プロセスガスG2又はG3を同時に供給することができる。したがって、複雑なプロセスに対応することができるため、新たなマスフローコントローラを必要としない。
(2)(1)の構成を有し、さらに、開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジを有すること、ブロック状フランジは、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部とを有すること、とする構成を採ることにより、パイプを整頓することができるため、無駄なスペースを減らすことができるため床占有面積を小さく済ませることができる。
(3)(1)又は(2)の構成を有し、さらに、回路の排気側に流量検定システムを有する構成を採るため、マスフローコントローラの流量を測定することにより、マスフローコントローラの不具合の判定を行うことができる。
(4)(1)又は(2)の構成を有し、さらに、ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、マニホールドブロックに取り付けることが可能であることとする構成を採るため、ガス供給装置を設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。そのため、省スペースであってもガス供給装置を配置することができる。
The operation and effect of the gas supply device and the block-shaped flange will be described.
(1) According to the gas supply device according to the invention, the gas A and the gas B are the same gas, the first valve and the third valve are connected to a supply port for supplying the gas A, the second valve Is connected to a supply port for supplying gas C, and the fourth valve is connected to a supply port for supplying gas D. For example, when supplying gas, the process gas G1 frequently used is Even in some cases, the process gas G1 can be supplied through two mass flow controllers. Therefore, when supplying other process gas G2 and G3 simultaneously, process gas G2 or G3 can be supplied simultaneously by using process gas G1 of the other mass flow controller. Therefore, since a complicated process can be handled, a new mass flow controller is not required.
(2) It has the configuration of (1), and further has a block-like flange attached to the lower surface of the manifold block attached to the on-off valve. The block-like flange is connected to the connection port to which the pipe is connected and the manifold block. By adopting a configuration that includes a flange communication path that connects the manifold communication path connected to the formed on-off valve and the connection port, and a pipe escape portion for securing a space through which the pipe passes, Since pipes can be arranged, useless space can be reduced, and the floor occupation area can be reduced.
(3) Since it has the configuration of (1) or (2) and further has a flow rate verification system on the exhaust side of the circuit, it is possible to determine the malfunction of the mass flow controller by measuring the flow rate of the mass flow controller. It can be carried out.
(4) The gas supply has the configuration of (1) or (2), and further adopts a configuration in which the block-like flange can be attached to the manifold block in either the vertical direction or the horizontal direction. The gas supply apparatus can be designed according to the place where the apparatus is installed. Therefore, the gas supply device can be arranged even in a space-saving manner.
(5)開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジにおいて、ブロック状フランジは、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部と、を有するため、パイプを整頓することができるため、無駄なスペースを減らすことができるため床占有面積を小さく済ませることができる。
(6)(5)の構成を有し、さらに、ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、マニホールドブロックに取り付けることが可能であることとする構成を採るため、設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。そのため、省スペースであってもガス供給装置を配置することができる。
(5) In the block-like flange attached to the lower surface of the manifold block attached to the on-off valve, the block-like flange includes a connection port to which a pipe is connected, and a manifold communication path connected to the on-off valve formed on the manifold block. Since it has a flange communication passage that communicates with the connection port and a pipe escape portion for securing a space through which the pipe passes, the pipe can be tidy, so that useless space can be reduced. The area can be reduced.
(6) Since it has the configuration of (5), and further adopts a configuration in which the block-like flange can be attached to the manifold block in either the vertical direction or the horizontal direction, it is adapted to the installation location. The gas supply device can be designed. Therefore, the gas supply device can be arranged even in a space-saving manner.
次に、本発明に係るガス供給装置、ブロック状フランジの一実施形態について図面を参照して説明する。 Next, an embodiment of a gas supply device and a block-shaped flange according to the present invention will be described with reference to the drawings.
(第1実施形態)
<ガス供給装置の全体構成>
図1は、ガス供給装置1の回路図を示す。ガス供給装置1は、ガス供給方式として取り入れ口を側面に備える形式を採用するものである。
図1に示すように、ガス供給装置1は、8種類のプロセスガスGAS1、GAS2、GAS3、GAS4、GAS5、GAS6、GAS7、GAS8及びパージガスのガス源が連通されている。(プロセスガスGAS6は、請求項中のガスA、及びガスBに該当する。)
プロセスガスGAS1のガス源に連通する流路H1は、開閉弁VA1の入力ポートに連通している。開閉弁VA1の出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラMAの入力ポートに連通している。マスフローコントローラMAの出力ポートに連通している流路は、開閉弁VA4の入力ポートに連通している。開閉弁VA4の出力ポートには流路H9が連通しており、流路H9はチャンバーへ向かう流路H9aと排気管へ向かう流路H9bとに分岐する。流路H9bには、流量検定システムR1が接続されている。
流路H9bには、流量検定システムR1が接続されていることにより、マスフローコントローラの不具合の判定を行うことができる。
(First embodiment)
<Overall configuration of gas supply device>
FIG. 1 shows a circuit diagram of the
As shown in FIG. 1, the
A flow path H1 that communicates with a gas source of the process gas GAS1 communicates with an input port of the on-off valve VA1. The flow path that communicates with the output port of the on-off valve VA1 communicates with the input port of the mass flow controller MA. The flow path communicating with the output port of the mass flow controller MA communicates with the input port of the on-off valve VA4. A flow path H9 communicates with the output port of the on-off valve VA4, and the flow path H9 branches into a flow path H9a toward the chamber and a flow path H9b toward the exhaust pipe. A flow rate verification system R1 is connected to the flow path H9b.
Since the flow rate verification system R1 is connected to the flow path H9b, it is possible to determine the malfunction of the mass flow controller.
プロセスガスGAS2のガス源に連通する流路H2は、開閉弁VA2の入力ポートに連通している。開閉弁VA2の出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラMAの入力ポートに連通している。マスフローコントローラMAの出力ポートに連通している流路は、開閉弁VA4の入力ポートに連通している。開閉弁VA4からの構成は、上記と同様の構成である。
プロセスガスGAS3、GAS4、GAS5、GAS7、GAS8のチャンバー及び排気管への回路は、上記プロセスガスGAS1、GAS2の回路と同様の構成を採るため、説明を割愛する。(マスフローコントローラMBに連結するラインは、請求項中の第1ラインに該当し、マスフローコントローラMBは、第1マスフローコントローラに該当する。マスフローコントローラMCに連結するラインは、請求項中の第2ラインに該当し、マスフローコントローラMCは、第2マスフローコントローラに該当する。)
The flow path H2 that communicates with the gas source of the process gas GAS2 communicates with the input port of the on-off valve VA2. The flow path communicating with the output port of the on-off valve VA2 communicates with the input port of the mass flow controller MA. The flow path communicating with the output port of the mass flow controller MA communicates with the input port of the on-off valve VA4. The configuration from the on-off valve VA4 is the same as that described above.
The circuit of the process gas GAS3, GAS4, GAS5, GAS7, and GAS8 to the chamber and the exhaust pipe has the same configuration as the circuit of the process gas GAS1 and GAS2, and the description thereof is omitted. (The line connected to the mass flow controller MB corresponds to the first line in the claims, and the mass flow controller MB corresponds to the first mass flow controller. The line connected to the mass flow controller MC is the second line in the claims. The mass flow controller MC corresponds to the second mass flow controller.)
プロセスガスGAS6のガス源に接続する流路H6は、途中から流路H6aと流路H6bの2つに分岐している。一方の流路H6aは、開閉弁VB3の入力ポートに連通している。(開閉弁VB3は、請求項中の第1弁に該当する。)他方の流路H6bは、開閉弁VC3の入力ポートに連通している。(開閉弁VC3は、請求項中の第2弁に該当する。)
開閉弁VB3の出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラMBの入力ポートに連通している。他方の開閉弁VC3の出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラMCの入力ポートに連通している。
マスフローコントローラMBの出力ポートに連通している流路は、開閉弁VB4の入力ポートに連通している。マスフローコントローラMCの出力ポートに連通している流路は、開閉弁VC4に連通している。
開閉弁VB4及び開閉弁VC4の出力ポートには流路H9が連通しており、流路H9はチャンバーへ向かう流路H9aと排気管へ向かう流路H9bとに分岐する。流路H9bには流量検定システムR1が接続されている。
The flow path H6 connected to the gas source of the process gas GAS6 branches from the middle into the flow path H6a and the flow path H6b. One flow path H6a communicates with the input port of the on-off valve VB3. (The on-off valve VB3 corresponds to the first valve in the claims.) The other flow path H6b communicates with the input port of the on-off valve VC3. (The on-off valve VC3 corresponds to the second valve in the claims).
The flow path communicating with the output port of the on-off valve VB3 communicates with the input port of the mass flow controller MB. The flow path communicating with the output port of the other on-off valve VC3 communicates with the input port of the mass flow controller MC.
The flow path communicating with the output port of the mass flow controller MB communicates with the input port of the on-off valve VB4. The flow path communicating with the output port of the mass flow controller MC communicates with the on-off valve VC4.
A flow path H9 communicates with the output ports of the on-off valve VB4 and the on-off valve VC4, and the flow path H9 branches into a flow path H9a toward the chamber and a flow path H9b toward the exhaust pipe. A flow rate verification system R1 is connected to the flow path H9b.
パージガスのガス源に接続する流路は、開閉弁P1の入力ポートに連通しており、P1の出力ポートに連通している流路は開閉弁P2、PA、PB、PCの入力ポートに連通している。
開閉弁PAの出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラMAの入力ポートに連通している。開閉弁PBの出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラMBの入力ポートに連通している。開閉弁PCの出力ポートに連通している流路は、マスフローコントローラMCの入力ポートに連通している。
マスフローコントローラMA、MB、MCの出力ポートに連通している流路H9は、チャンバーへ向かう流路H9aと排気管へ向かう流路H9bとに分岐する。流路H9bには流量検定システムR1が連通されている。
The flow path connected to the gas source of the purge gas communicates with the input port of the on-off valve P1, and the flow path communicated with the output port of P1 communicates with the input ports of the on-off valves P2, PA, PB, and PC. ing.
The flow path communicating with the output port of the on-off valve PA communicates with the input port of the mass flow controller MA. The flow path communicating with the output port of the on-off valve PB communicates with the input port of the mass flow controller MB. The flow path communicating with the output port of the on-off valve PC communicates with the input port of the mass flow controller MC.
The flow path H9 communicating with the output ports of the mass flow controllers MA, MB, and MC branches into a flow path H9a toward the chamber and a flow path H9b toward the exhaust pipe. A flow rate verification system R1 is communicated with the flow path H9b.
図2は、ガス供給装置1の外観上方斜視図を示す。図3は、ガス供給装置1の下面図を示す。図4は、ガス供給装置1の外観下方斜視図を示す。
図2、図3、及び図4の構成は図1の回路図に対応している。
図3及び図4に示すように、マニホールド2A、2B、2C及びV字流路ブロック3A、3B、3Cがある。
マニホールド2AとV字流路ブロック3Aを連結するように、マスフローコントローラMAが、図示しないネジにより固設されている。マニホールド2A、V字流路ブロック3A、及びマスフローコントローラMAは、一体となっている。
マニホールド2B、V字流路ブロック3B、マスフローコントローラMBについて、また、マニホールド2C、V字流路ブロック3C、マスフローコントローラMCについても同様の構成を採るため説明を割愛する。
第1流路ブロック4が、マニホールド2A、2B、2Cの端に、図示しないネジにより固設されている。第2流路ブロック5が、V字流路ブロック3A、3B、3Cの端に、図示しないネジにより固設されている。第1流路ブロック4と第2流路ブロック5が固設されていることにより、ガス供給装置1は、全体として一体となる。
FIG. 2 shows an external top perspective view of the
The configurations of FIGS. 2, 3, and 4 correspond to the circuit diagram of FIG.
As shown in FIGS. 3 and 4, there are
A mass flow controller MA is fixed by screws (not shown) so as to connect the manifold 2A and the V-shaped
Description of the manifold 2B, the V-shaped flow path block 3B, and the mass flow controller MB is omitted because the manifold 2C, the V-shaped flow path block 3C, and the mass flow controller MC have the same configuration.
The first flow path block 4 is fixed to the ends of the
図2に示すように、ガス供給装置1の側面(マニホールド2Aの側面、又はマニホールド2Cの側面)からは、プロセスガスのガス源へと連通するポートブロック10が設置されている。本実施例においては、ポートブロック10の入力口は水平方向を向いているが、入力口は、上、下、その他どの向きにつけることも可能である。
ポートブロック10は、具体的には、プロセスガスGAS1が供給されるプロセスガス源へと連通するのがポートブロック11である。プロセスガスGAS2が供給されるプロセスガス源へと連通するのがポートブロック12である。
プロセスガスGAS3乃至GAS8については、上記プロセスガスGAS1、GAS2と同様の構成を採るため説明を割愛する。
As shown in FIG. 2, a
Specifically, the
Since the process gases GAS3 to GAS8 have the same configuration as the process gases GAS1 and GAS2, description thereof will be omitted.
図5は、図3のガス供給装置1のAA断面図を示す。
図3及び図5に示すように、マニホールド2Aには、ブロック状フランジBA1、BA2、BA3が、ネジにより固設されている。ブロック状フランジBA1は、開閉弁VA1の真下に位置し、ブロック状フランジBA2は、開閉弁VA2の真下に位置し、ブロック状フランジBA3は、開閉弁VA3の真下に位置する。
図5に示すように、ブロック状フランジBA1内のフランジ連通路FA1は、マニホールド2A内のマニホールド連通路RA1を連通し、開閉弁VA1に連通している。ブロック状フランジBA2内のフランジ連通路FA2は、マニホールド2A内のマニホールド連通路RA2を連通し、開閉弁VA2に連通している。ブロック状フランジBA3内のフランジ連通路FA3は、マニホールド2A内のマニホールド連通路RA3を連通し、開閉弁VA3に連通している。
マニホールド2Bには、ブロック状フランジBB1、BB2、BB3が、ネジにより固設されている。図示していないが、ブロック状フランジBB1は、開閉弁VB1の真下に位置し、ブロック状フランジBB2は、開閉弁VB2の真下に位置し、ブロック状フランジBB3は、開閉弁VB3の真下に位置する。
マニホールド2Cには、ブロック状フランジBC1、BC2、BC3が、ネジにより固設されている。図示はしていないが、ブロック状フランジBC1は、開閉弁VC1の真下に位置し、ブロック状フランジBC2は、開閉弁VC2の真下に位置し、ブロック状フランジBC3は、開閉弁VC3の真下に位置する。
図示していないが、マニホールド2B、2Cには、マニホールド連通路が形成され、ブロック状フランジにはフランジ連通路が形成されており、開閉弁VB1、VB2、VB3、VC1、VC2、VC3にそれぞれ連通している。
FIG. 5 shows an AA cross-sectional view of the
As shown in FIGS. 3 and 5, block-like flanges BA1, BA2, and BA3 are fixed to the
As shown in FIG. 5, the flange communication path FA1 in the block-shaped flange BA1 communicates with the manifold communication path RA1 in the
Block-like flanges BB1, BB2, and BB3 are fixed to the manifold 2B with screws. Although not shown, the block-shaped flange BB1 is positioned directly below the on-off valve VB1, the block-shaped flange BB2 is positioned directly below the on-off valve VB2, and the block-shaped flange BB3 is positioned directly below the on-off valve VB3. .
Block-shaped flanges BC1, BC2, and BC3 are fixed to the manifold 2C with screws. Although not shown, the block-shaped flange BC1 is positioned directly below the on-off valve VC1, the block-shaped flange BC2 is positioned directly below the on-off valve VC2, and the block-shaped flange BC3 is positioned directly below the on-off valve VC3. To do.
Although not shown, a manifold communication path is formed in the
図3及び図4に示すように、ポートブロック11から連通するパイプK1は、開閉弁VA1に連通するブロック状フランジBA1と連通している。(パイプK1は、回路図における流路H1の一部を構成する。)ポートブロック12から連通するパイプK2は、開閉弁VA2に連通するブロック状フランジBA2と連通している。ポートブロック13から連通するパイプK3は、開閉弁VA3に連通するブロック状フランジBA3と連通している。
ブロック状フランジBA1、BA2、BA3の形状は、Lタイプのブロック状フランジ60を採用している。なお、図5で示した、ブロック状フランジBA1内のフランジ連通路FA1、ブロック状フランジBA2内のフランジ連通路FA2、ブロック状フランジBA3内のフランジ連通路FA3は、後述するフランジ連通路66に相当する。
As shown in FIGS. 3 and 4, the pipe K1 communicated from the
The block-shaped flanges BA1, BA2, and BA3 are L-shaped block-shaped
図8を用いて、Lタイプのブロック状フランジ60の構成を説明する。図8には、ぞれぞれ(a)乃至(d)の図が示されている。(a)は外観斜視図を示す。(b)は平面図を示す。(c)は側面図を示す。(d)は正面図を示す。なお、内部のフランジ連通口65及びフランジ連通路66が理解し易いように、フランジ連通口65及びフランジ連通路66を各図面において点線で表した。
ブロック状フランジ60は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ60は、上面61a、下面61b、正面61c、背面61d、左側面61e、及び右側面61fの面から構成されている。
正面61cの左上には、接続ポート64が垂直方向に固設されている。接続ポート64は、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路66と連通している。フランジ連通路66は下面61bに形成されているフランジ連通口65に連通している。フランジ連通路66は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポート64とを連通する流路である。
上面61aと右側面61fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部62が形成されている。パイプ逃げ部62の形状は、プロセスガスが通るパイプが2本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部62の高さX、及び奥行Yの最長部の長さは、パイプ2本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部62の正面61c側には、貫通孔63aが形成されている。また、パイプ逃げ部62の背面61d側には、貫通孔63bが形成されている。
貫通孔63aと貫通孔63bは、ブロック状フランジ60の下面61bの対角線上に位置し、その間に、フランジ連通口65が形成されている。そのため、ネジによりマニホールドのネジ孔と固定した時に、フランジ連通口65とマニホールド連通路の連通口の接合部に均一な押圧力を与えることができる。よって、フランジ連通口65とマニホールド連通路の連通口の接合部からの漏れを防止することができる。
The configuration of the L-type block-shaped
The block-shaped
A
A
The through
図3及び図4に示すように、ポートブロック14から連通するパイプK4は、ブロック状フランジBA1であるブロック状フランジ60のパイプ逃げ部62を通って、開閉弁VB1に連通するブロック状フランジBB1に連通している。ブロック状フランジBB1の形状は、後述するセンタータイプのブロック状フランジ40を採用している。
ポートブロック15から連通するパイプK5は、ブロック状フランジBA2であるブロック状フランジ60のパイプ逃げ部62を通って、開閉弁VB2に連通するブロック状フランジBB2に連通している。ブロック状フランジBB2の形状は、後述するセンタータイプのブロック状フランジ40を採用している。
As shown in FIGS. 3 and 4, the pipe K4 communicated from the
The pipe K5 communicated with the
図6を用いて、センタータイプのブロック状フランジ40の構成を説明する。図6には、ぞれぞれ(a)乃至(d)の図が示されている。(a)は外観斜視図を示す。(b)は平面図を示す。(c)は側面図を示す。(d)は正面図を示す。なお、内部のフランジ連通口45及びフランジ連通路46が理解し易いように、フランジ連通口45及びフランジ連通路46を各図面において点線で表した。
ブロック状フランジ40は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ40は、上面41a、下面41b、正面41c、背面41d、左側面41e、及び右側面41fの面から構成されている。
正面41cの中心上には、接続ポート44が垂直方向に固設されている。接続ポート44は、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路と連通している。フランジ連通路46は下面41bに形成されているフランジ連通口45に連通している。フランジ連通路46は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポート44とを連通する流路である。
上面41aと左側面41eの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部42aが形成されている。パイプ逃げ部42aの形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部42aの高さX、及び奥行Yの最長部の長さは、パイプ1本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部42aの正面41c側には、貫通孔43aが形成されている。
上面41aと右側面41fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部42bが形成されている。パイプ逃げ部42bの形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部42bの高さX、及び奥行Yの最長部の長さは、パイプ1本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部42bの背面41d側には、貫通孔43bが形成されている。
貫通孔43aと貫通孔43bについての効果は上記ブロック状フランジ60と同様である。
The configuration of the center type block-shaped
The block-shaped
A
A
A
The effects of the through
ポートブロック16から連通するパイプK6aは、ブロック状フランジBA3であるブロック状フランジ60のパイプ逃げ部62を通って、開閉弁VB3に連通するブロック状フランジBB3に連通している。ブロック状フランジBB3の形状は、第2接続タイプのブロック状フランジ80を採用している。
The pipe K6a that communicates with the
図10を用いて、第2接続タイプのブロック状フランジ80の構成を説明する。 図10には、ぞれぞれ(a)乃至(d)の図が示されている。(a)は外観斜視図を示す。(b)は平面図を示す。(c)は側面図を示す。(d)は正面図を示す。なお、内部のフランジ連通口85及びフランジ連通路86が理解し易いように、フランジ連通口85及びフランジ連通路86を各図面において点線で表した。
ブロック状フランジ80は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ80は、上面81a、下面81b、正面81c、背面81d、左側面81e、及び右側面81fの面から構成されている。
正面81cの中心上には、第1接続ポート84aが垂直方向に固設されている。また、背面81dの中心上には、第2接続ポート84bが垂直方向に固設されている。第1接続ポート84aと第2接続ポート84bとは、内部に形成されているフランジ連通路86aにより連通されている。
また、フランジ連通路86aの途中から下面81bのフランジ連通口85に対して垂直にフランジ連通路86bが形成されている。フランジ連通路86は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と第1接続ポートと84a、及び第2接続ポート84bを連通する流路である。
上面81aと左側面81eの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部82aが形成されている。パイプ逃げ部82aの形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部82aの高さX、及び奥行Yの最長部の長さは、パイプ1本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部82aの正面81c側には、貫通孔83aが形成されている。
上面81aと右側面81fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部82bが形成されている。パイプ逃げ部82bの形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部82bの高さX、及び奥行Yの最長部の長さは、パイプ1本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部82bの背面81d側には、貫通孔83bが形成されている。
貫通孔83aと貫通孔83bについての効果は上記ブロック状フランジ60と同様である。
The configuration of the second connection type block-shaped
The block-shaped
A
Further, a
A
A
The effects of the through
ポートブロック17から連通するパイプK7は、第1にブロック状フランジBA1であるブロック状フランジ60のパイプ逃げ部62を通って、第2にブロック状フランジBB1であるブロック状フランジ40の第2パイプ逃げ部42bを通って、開閉弁VC1に接続するブロック状フランジBC1に連通している。ブロック状フランジBC1の形状は、上述したRタイプのブロック状フランジ50を採用している。
ポートブロック18から連通するパイプK8は、第1にブロック状フランジBA2であるブロック状フランジ60のパイプ逃げ部62を通って、第2にブロック状フランジBB2であるブロック状フランジ40の第2パイプ逃げ部42bを通って、開閉弁VC2に連通するブロック状フランジBC2に連通している。ブロック状フランジBC2の形状は、上述したRタイプのブロック状フランジ50を採用している。
ポートブロック16から連通するパイプK6aは、ブロック状フランジBB3であるブロック状フランジ80の第1接続ポート84aに連通する。ブロック状フランジ80内のポート連通路87を連通して第2接続ポート84bへと連通する。第2接続ポート84bには、パイプK6bの一端が連通している。パイプK6bの他端はブロック状フランジBC3に連通している。ブロック状フランジBC3は、上述したセンタータイプのブロック状フランジ40を採用している。
The pipe K7 communicated from the
The pipe K8 communicating from the
The pipe K6a that communicates with the
<ブロック状フランジの全体構成>
ブロック状フランジには、上記のブロック状フランジのほか様々なパターンがある。図6乃至図19に、ブロック状フランジの様々なパターンを示す。図6乃至図19には、ぞれぞれ(a)乃至(d)の図が示されている。(a)は外観斜視図を示す。(b)は平面図を示す。(c)は側面図を示す。(d)は正面図を示す。
図20及び図21に、かさ上げフランジのパターンを示す。図20及び図21には、ぞれぞれ(a)乃至(d)の図が示されている。(a)は外観斜視図を示す。(b)は平面図を示す。(c)は背面図を示す。(d)は正面図を示す。
なお、内部のフランジ連通口及びフランジ連通路が理解し易いように、フランジ連通口及びフランジ連通路を各図面において点線で表した。
以下では、上述したブロック状フランジ40、60、80以外のブロック状フランジ50、70、90、100、110、120、130、140、150、160、170及びかさ上げブロック180、190について説明する。
<Overall configuration of block flange>
There are various types of block-like flanges in addition to the above-mentioned block-like flanges. 6 to 19 show various patterns of the block-like flange. FIGS. 6 to 19 show diagrams (a) to (d), respectively. (A) shows an external perspective view. (B) shows a plan view. (C) shows a side view. (D) shows a front view.
20 and 21 show the patterns of the raised flange. FIGS. 20 and 21 show diagrams (a) to (d), respectively. (A) shows an external perspective view. (B) shows a plan view. (C) shows a rear view. (D) shows a front view.
In addition, in order to make it easy to understand the internal flange communication port and the flange communication channel, the flange communication port and the flange communication channel are indicated by dotted lines in each drawing.
Hereinafter, the block-shaped
図7を用いて、Rタイプのブロック状フランジ50の構成を説明する。
ブロック状フランジ50は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ50は、上面51a、下面51b、正面51c、背面51d、左側面51e、及び右側面51fの面から構成されている。
正面51cの右上には、接続ポート54が垂直方向に固設されている。接続ポート54は、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路56と連通している。フランジ連通路56は下面51bに形成されているフランジ連通口55に連通している。フランジ連通路56は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポート54とを連通する流路である。
上面51aと左側面51eの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部52が形成されている。パイプ逃げ部52の形状は、プロセスガスが通るパイプが2本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部52の高さX、及び奥行Yの最長部の長さは、パイプ2本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部52の正面51c側には、貫通孔53aが形成されている。また、パイプ逃げ部52の背面51d側には、貫通孔53bが形成されている。
貫通孔53aと貫通孔53bは、ブロック状フランジ50の下面51bの対角線上に位置し、その間に、フランジ連通口55が形成されている。そのため、ネジによりマニホールドのネジ孔と固定した時に、フランジ連通口55とマニホールド連通路の連通口の接合部に均一な押圧力を与えることができる。よって、フランジ連通口55とマニホールド連通路の連通口の接合部からの漏れを防止することができる。
The configuration of the R type block-shaped
The block-shaped
A
A
The through-
図9を用いて、第1接続タイプのブロック状フランジ70の構成を説明する。
ブロック状フランジ70は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ70は、上面71a、下面71b、正面71c、背面71d、左側面71e、及び右側面71fの面から構成されている。
正面71cの右上には、第1接続ポート74aが垂直方向に固設されている。また、背面71dの左上には、第2接続ポート74bが垂直方向に固設されている。第1接続ポート74aは、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路76aと連通している。また、第2接続ポート74bは、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路76bと連通している。フランジ連通路76a、76bは、下面71bに形成されているフランジ連通口75に連通している。フランジ連通路76a、76bは、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と第1接続ポート74a、及び第2接続ポート74bを連通する流路である。
上面71aの中心には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部72が形成されている。パイプ逃げ部72の形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部72の高さX、及び奥行Yの最長部の長さは、パイプ1本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部72の正面71c側には、貫通孔73aが形成されている。また、パイプ逃げ部72の背面71d側には、貫通孔73bが形成されている。
貫通孔73aと貫通孔73bについての効果は上記ブロック状フランジ50と同様である。
The configuration of the first connection type block-shaped
The block-shaped
A
At the center of the
The effect of the through
図11を用いて、第3接続タイプのブロック状フランジ90の構成を説明する。
ブロック状フランジ90は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ90は、上面91a、下面91b、正面91c、背面91d、左側面91e、及び右側面91fの面から構成されている。
正面91cの左上には、第1接続ポート94aが垂直方向に固設されている。また、左側面91eの中心上には、第2接続ポート94bが垂直方向に固設されている。第1接続ポート94aと第2接続ポート94bとは、内部に形成されているフランジ連通路96aにより連通されている。また、フランジ連通路96aの途中から下面91bのフランジ連通口95に対してフランジ連通路96bが形成されている。第1接続ポート94a及び第2接続ポート94bは共に、ブロック状フランジ内部に形成されているフランジ連通路96と連通している。フランジ連通路96は、下面91bに形成されているフランジ連通口95に連通している。フランジ連通路96は、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と第1接続ポート94a、及び第2接続ポート94bを連通する流路である。
上面91aと右側面91fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部92が形成されている。パイプ逃げ部92の形状は、プロセスガスが通るパイプが2本収まる空間を備えている。すなわち、パイプ逃げ部92の高さX、及び奥行Yの最長部の長さは、パイプ2本が通過できる長さを必要とする。パイプ逃げ部92の正面91c側には、貫通孔93aが形成されている。また、パイプ逃げ部92の背面91d側には、貫通孔93bが形成されている。
貫通孔93aと貫通孔93bについての効果は上記ブロック状フランジ50と同様である。
The configuration of the third connection type block-shaped
The block-shaped
A
A
The effects of the through
図12を用いて、第4接続タイプのブロック状フランジ100の構成を説明する。
第4タイプのブロック状フランジ100は、図9の第1接続タイプのブロック状フランジ70と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ100は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ100は、上面101a、下面101b、正面101c、背面101d、左側面101e、及び右側面101fの面から構成されている。
正面101cの左上には、第1接続ポート104aが垂直方向に固設されている。また、背面101dの右上には、第2接続ポート104bが垂直方向に固設されている。ブロック状フランジ70との構成の相違は、接続ポートの配置位置の違いである。
The configuration of the fourth connection type block-shaped
Since the fourth type block-shaped
The block-shaped
A
図13を用いて、第5接続タイプのブロック状フランジ110の構成を説明する。
第5タイプのブロック状フランジ110は、図11の第3接続タイプのブロック状フランジ90と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ110は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ110は、上面111a、下面111b、正面111c、背面111d、左側面111e、及び右側面111fの面から構成されている。
正面111cの中心上には、第1接続ポート114aが垂直方向に固設されている。また、左側面111eの右上には、第2接続ポート114bが垂直方向に固設されている。ブロック状フランジ90との構成の相違は、接続ポートの配置位置の違いである。
The configuration of the fifth connection type block-shaped
Since the fifth type block-shaped
The block-shaped
A
図14を用いて、第2センタータイプ120のブロック状フランジの構成を説明する。
第2センタータイプのブロック状フランジ120は、図6のセンタータイプのブロック状フランジ40と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ120は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ120は、上面121a、下面121b、正面121c、背面121d、左側面121e、及び右側面121fの面から構成されている。
上面121aと左側面121eの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部122aが形成されている。上面121aと右側面121fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部122bが形成されている。上面121aと背面121dの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部122cが形成されている。ブロック状フランジ40との構成の相違は、パイプ逃げ部122cが形成されているか否かの違いである。
The configuration of the block flange of the
Since the second center type block-shaped
The block-shaped
A
図15を用いて、第3センタータイプ130のブロック状フランジの構成を説明する。
第3センタータイプのブロック状フランジ130は、図6のセンタータイプのブロック状フランジ40と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ130は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ130は、上面131a、下面131b、正面131c、背面131d、左側面131e、及び右側面131fの面から構成されている。
上面131aと左側面131eの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部132aが形成されている。上面131aと右側面131fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部132bが形成されている。上面131aと背面131dの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部132cが形成されている。
パイプ逃げ部132bの正面131c側には、貫通孔133bが形成されている。パイプ逃げ部132aの背面131d側には、貫通孔133aが形成されている。
ブロック状フランジ40との構成の相違は、パイプ逃げ部132cが形成されているか否かの違い、及び貫通孔の位置の違いである。
The configuration of the block flange of the
The third center type block-shaped
The block-shaped
A
A through
The difference in configuration from the block-
図16を用いて、第2Rタイプ140のブロック状フランジの構成を説明する。
第2Rタイプのブロック状フランジ140は、図7のRタイプのブロック状フランジ50と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ140は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ140は、上面141a、下面141b、正面141c、背面141d、左側面141e、及び右側面141fの面から構成されている。
上面141aと左側面141eの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部142aが形成されている。パイプ逃げ部142aの形状は、プロセスガスが通るパイプが2本収まる空間を備えている。上面141aと背面141dの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部142bが形成されている。パイプ逃げ部142bの形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。
ブロック状フランジ50との構成の相違は、パイプ逃げ部142bが形成されているか否かの違いである。
The configuration of the
Since the second R-type block-shaped
The block-shaped
A
The difference in configuration from the block-shaped
図17を用いて、第2Lタイプ150のブロック状フランジの構成を説明する。
第2Lタイプのブロック状フランジ150は、図8のLタイプのブロック状フランジ60と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ150は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ150は、上面151a、下面151b、正面151c、背面151d、左側面151e、及び右側面151fの面から構成されている。
上面151aと右側面151fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部152aが形成されている。パイプ逃げ部152aの形状は、プロセスガスが通るパイプが2本収まる空間を備えている。上面151aと背面151dの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部152bが形成されている。パイプ逃げ部152bの形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。
ブロック状フランジ60との構成の相違は、パイプ逃げ部152bが形成されているか否かの違いである。
The configuration of the
Since the second L-type block-shaped
The block-shaped
A
The difference in configuration from the block-shaped
図18を用いて、第6接続タイプ160のブロック状フランジの構成を説明する。
第6接続タイプのブロック状フランジ160は、図11の第3接続タイプのブロック状フランジ90と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ160は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ160は、上面161a、下面161b、正面161c、背面161d、左側面161e、及び右側面161fの面から構成されている。
上面161aと右側面161fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部162aが形成されている。パイプ逃げ部162aの形状は、プロセスガスが通るパイプが2本収まる空間を備えている。上面161aと背面161dの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部162bが形成されている。パイプ逃げ部162bの形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。
ブロック状フランジ90との構成の相違は、パイプ逃げ部162bが形成されているか否かの違いである。
The structure of the block-shaped flange of the
Since the
The block-shaped
A
The difference in configuration from the block-shaped
図19を用いて、第7接続タイプのブロック状フランジ170の構成を説明する。
第7接続タイプのブロック状フランジ170は、図13の第5接続タイプのブロック状フランジ110と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
ブロック状フランジ170は、直方体形状をしている。ブロック状フランジ170は、上面171a、下面171b、正面171c、背面171d、左側面171e、及び右側面171fの面から構成されている。
上面171aと背面171dの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部172aが形成されている。パイプ逃げ部172aの形状は、プロセスガスが通るパイプが2本収まる空間を備えている。上面171aと右側面171fの接合する箇所には、パイプが通るための切欠き部であるパイプ逃げ部172bが形成されている。パイプ逃げ部172bの形状は、プロセスガスが通るパイプが1本収まる空間を備えている。
ブロック状フランジ110との構成の相違は、パイプ逃げ部172bが形成されているか否かの違いである。
The configuration of the seventh connection type block-shaped
The seventh connection type block-shaped
The block-shaped
A
The difference in configuration from the block-shaped
図20を用いて、第1かさ上げフランジ180の構成を説明する。
第1かさ上げフランジ180は、直方体形状をしている。第1かさ上げフランジ180は、上面181a、下面181b、正面181c、背面181d、左側面181e、及び右側面181fの面から構成されている。
上面181aの中心には、接続口187が形成されている。下面181bの中心には、連通口185が形成されている。接続口187から連通口185までは、フランジ連通路186が連通している。
接続口187及び連通口185を挟むように貫通孔183a、183bが形成されている。貫通孔183a、183bは、下面181bまで貫通している。
かさ上げフランジ180の高さXは、少なくともパイプの直径よりも高い。
The configuration of the first raised
The first raised
A
Through
The height X of the raised
図21を用いて、第2かさ上げフランジ190の構成を説明する。
第2かさ上げフランジ190は、図20の第1かさ上げフランジ180と構成をほぼ同じとするため、異なる構成を説明していくことにより、他の説明を割愛する。
第2かさ上げフランジ190の高さXは、第1かさ上げフランジ190の高さXの倍の高さである。
第1かさ上げフランジ180との構成の相違は、高さXの違いである。
The configuration of the second raised
Since the second raised
The height X of the second raised
The difference in configuration from the first raised
ブロック状フランジを備えることによる効果は、以下の通りである。
ブロック状フランジ40、50、60、70、80、90、100、110、120、130、140、150、160、170には、パイプ逃げ部が形成されている。パイプを通す際には、図3及び図5に示すように、パイプ逃げ部を通すことができるため、他のブロック状フランジを避けてパイプを通す必要がない。そのため、パイプを直線状に引くことができるため、単純なパイプの構造とすることができる。また、パイプを整頓することができるため、無駄なスペースを減らすことができるため床占有面積を小さく済ませることができる。パイプの節約も同時に図ることができる。
The effect by providing a block-shaped flange is as follows.
Pipe escape portions are formed in the block-
<プロセスガスの供給方法>
プロセスガスの供給方法は図1の回路図を用いて説明する。
例えば、プロセスガスGAS1をチャンバーへ送る時には、プロセスガスGAS1は、流路H1にまで充填された状態になっている。その状態のときに、開閉弁VA1、VA4を図示しない制御手段により開弁する。それにより、プロセスガスGAS1が、流路H1を通り、マスフローコントローラMAを通じてチャンバーへ送り込まれる。
プロセスガスGAS2、GAS3、GAS4、GAS5、GAS7、GAS8をチャンバーへ送り込む際には、上記プロセスガスGAS1をチャンバーへと送り込む供給方法と変わるところはないため、説明を割愛する。
<Process gas supply method>
The process gas supply method will be described with reference to the circuit diagram of FIG.
For example, when the process gas GAS1 is sent to the chamber, the process gas GAS1 is filled to the flow path H1. In this state, the on-off valves VA1 and VA4 are opened by control means (not shown). Thereby, the process gas GAS1 passes through the flow path H1 and is sent into the chamber through the mass flow controller MA.
When the process gases GAS2, GAS3, GAS4, GAS5, GAS7, and GAS8 are fed into the chamber, there is no difference from the supply method in which the process gas GAS1 is fed into the chamber, and the description is omitted.
プロセスガスGAS6をチャンバーへ送り込む供給方法として、2つの方法がある。第1方法は、マスフローコントローラMBを通してチャンバーへ送り込む方法である。第2方法は、マスフローコントローラMCを通してチャンバーへ送り込む方法である。
第1方法は、プロセスガスGAS6は、流路H6にまで充填された状態のときに、開閉弁VB3、VB4を図示しない制御手段により開弁する。それにより、プロセスガスGAS6が、流路H6aを通り、マスフローコントローラMBを通じてチャンバーへ送り込まれる。
第2方法は、プロセスガスGAS6は、流路H6にまで充填された状態のときに、図1に示す、開閉弁VC3、VC4を図示しない制御手段により開弁する。それにより、プロセスガスGAS6が、流路H6bを通り、マスフローコントローラMCを通じてチャンバーへ送り込まれる。
There are two methods for supplying the process gas GAS6 to the chamber. The first method is a method of feeding the chamber through the mass flow controller MB. The second method is a method of feeding into the chamber through the mass flow controller MC.
In the first method, when the process gas GAS6 is filled up to the flow path H6, the on-off valves VB3 and VB4 are opened by control means (not shown). Thereby, the process gas GAS6 passes through the flow path H6a and is sent into the chamber through the mass flow controller MB.
In the second method, when the process gas GAS6 is filled to the flow path H6, the on-off valves VC3 and VC4 shown in FIG. Thereby, the process gas GAS6 passes through the flow path H6b and is sent into the chamber through the mass flow controller MC.
以上、詳細に説明したように、本実施例のガス供給装置1によれば、上記の2つの方法があることにより、頻繁に使うプロセスガスGAS6ついては、開閉弁VB3又は開閉弁VC3を切り替えることにより、マスフローコントローラMB又はマスフローコントローラMCを通してチャンバーへ供給するかを選択することができる。そのため、例えば、他のプロセスガスGAS7とGAS6を同時に供給する場合には、プロセスガスGAS6についてマスフローコントローラMBを使用することにより、プロセスガスGAS6及びGAS7を同時に供給することができる。
また、例えば、他のプロセスガスGAS4とGAS6を同時に供給する場合には、プロセスガスGAS6についてマスフローコントローラMCを使用することにより、プロセスガスGAS6及びGAS4を同時に供給することができる。
したがって、頻繁に使用するプロセスガスGAS6がある場合でも、2つのマスフローコントローラMB、MCを通じてプロセスガスGAS6を供給することができるため、複雑なプロセスに対応することができる。そのため、新たなマスフローコントローラを必要としない。
As described above in detail, according to the
Further, for example, when other process gases GAS4 and GAS6 are supplied simultaneously, the process gases GAS6 and GAS4 can be supplied simultaneously by using the mass flow controller MC for the process gas GAS6.
Therefore, even when there is a frequently used process gas GAS6, the process gas GAS6 can be supplied through the two mass flow controllers MB and MC, so that a complicated process can be handled. Therefore, no new mass flow controller is required.
また、ブロック状フランジ40、50、60、70、80、90、100、110、120、130、140、150、160、170は、パイプが接続する接続ポートと、マニホールドブロックに形成された開閉弁に連結されたマニホールド連通路と接続ポートとを連通するフランジ連通路と、パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部とを有することにより、パイプを整頓することができるため、無駄なスペースを減らすことができるため床占有面積を小さく済ませることができる。
また、回路の排気側に流量検定システムR1を有することにより、マスフローコントローラの不具合の判定を行うことができる。
また、本実施例のガス供給装置1によれば、ポートブロックをガス供給装置の側面に設置することができる。そのため、ガス供給装置を設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。例えば、ガス供給装置のライン側方向にスペースを確保することができない時は、第1実施形態におけるガス供給装置1のようにポートブロックを側面方向に設置することにより、ガス供給装置を設置することができる。
The block-shaped
Further, by having the flow rate verification system R1 on the exhaust side of the circuit, it is possible to determine the malfunction of the mass flow controller.
Moreover, according to the
(第2実施形態)
図22は、ガス供給装置21の外観上方斜視図を示す。図23は、ガス供給装置21の下面図を示す。図24は、ガス供給装置21の外観下方斜視図を示す。図25は、図23のガス供給装置21のBB断面図を示す。
ガス供給装置21は、ガス供給方式として取り入れ口をライン方向に備える形式を採用するものである。
ガス供給装置21は、第1実施形態で用いられた、図1の回路図に基づいて設計されたものである。そのため、基本的な構成は、第1実施形態におけるガス供給装置1と異なるところはないため、以下では、ガス供給装置1と異なる点について説明する。
(Second Embodiment)
FIG. 22 shows an external top perspective view of the
The
The
ガス供給装置21のライン側(第1流路ブロック4側、又は第2流路ブロック5側)からは、プロセスガスのガス源へと連通するポートブロック10が設置されている。本実施例においては、ポートブロック10の入力口は水平方向を向いているが、入力口は、上、下、その他どの向きにつけることも可能である。
ポートブロック10は、具体的には、プロセスガスGAS1が供給されるプロセスガス源へと連通するのがポートブロック11である。プロセスガスGAS2が供給されるプロセスガス源へと連通するのがポートブロック12である。
プロセスガスGAS3乃至GAS8については、上記プロセスガスGAS1、GAS2と同様の構成を採るため説明を割愛する。
From the line side (the first flow path block 4 side or the second flow path block 5 side) of the
Specifically, the
Since the process gases GAS3 to GAS8 have the same configuration as the process gases GAS1 and GAS2, description thereof will be omitted.
図23及び図24に示すように、ポートブロック16から連通する流路K6aは、ブロック状フランジBB13であるブロック状フランジ90の第2接続ポート94bに接続する。ブロック状フランジ90内のポート連通路96aを連通して第1接続ポート94aへと連通する。第1接続ポート94aには、パイプK6bの一端が連通している。流路K6bの他端はブロック状フランジBC13に接続している。
ブロック状フランジBC13は、上述した図8に示すブロック状フランジ50を採用している。ブロック状フランジ50の接続ポート54は、ガス供給装置21のライン側方向を向いておらず、側面方向を向いている。
その他ポートブロック11、12、13、14、15、17、18から連通するパイプは、第1実施形態と大きな構成の違いはないため、説明を割愛する。
As shown in FIGS. 23 and 24, the flow path K6a communicating from the
The block-shaped flange BC13 employs the block-shaped
Since the pipes communicating from the other port blocks 11, 12, 13, 14, 15, 17, and 18 are not greatly different from those in the first embodiment, description thereof is omitted.
以上詳細に説明したように、本実施例のガス供給装置21によれば、ブロック状フランジを第1実施形態の側面と異なるライン側を向かせることにより、ポートブロックをライン側に設置することができる。そのため、ガス供給装置を設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。例えば、ガス供給装置の側面方向にスペースを確保することができない時は、第2実施形態におけるガス供給装置21のようにポートブロックをライン側に設置することにより、ガス供給装置を設置することができる。
As described above in detail, according to the
(第3実施形態)
図26及び図27は、第3実施形態におけるガス供給装置22の回路図を示す。図26及び図27のガス供給装置22は、マスフローコントローラMA3、MB3の前に、チャンバー及び排気管へと繋がる流路H10を有することを特徴とする。
マスフローコントローラMA3、MB3の前に、流路H10を設けることにより、パージガスを流した時のパージ排気効率を上げることができる。
図26は、第1実施形態を簡略した回路図に、流路H10を設けたものであり、図27は、従来技術の回路図に流路H10を設けたものである。
(Third embodiment)
FIG.26 and FIG.27 shows the circuit diagram of the
By providing the flow path H10 in front of the mass flow controllers MA3 and MB3, the purge exhaust efficiency when the purge gas is flowed can be increased.
FIG. 26 is a circuit diagram in which the first embodiment is simplified, and the flow path H10 is provided. FIG. 27 is a circuit diagram of the prior art in which the flow path H10 is provided.
(第4実施形態)
図28及び図29は、第4実施形態におけるガス供給装置23の回路図を示す。図28及び図29のガス供給装置23は、マスフローコントローラMA4、MB4の後に、チャンバー及び排気管へと繋がる流路H11を有することを特徴とする。
マスフローコントローラMA4、MB4の後に、流路H11を設けることにより、例えばプロセスガスGAS1を使用しマスフローコントローラMA4を使用しているときに、使用していないマスフローコントローラMB4を使用してマスフローコントローラMB4の検定を行うことができる。それにより、マスフローコントローラMB4の不具合を検知できる。
図28は、第1実施形態を簡略した回路図に、流路H11を設けたものであり、図29は、従来技術の回路図に流路H11を設けたものである。
(Fourth embodiment)
28 and 29 show circuit diagrams of the
By providing the flow path H11 after the mass flow controllers MA4 and MB4, for example, when the process gas GAS1 is used and the mass flow controller MA4 is used, the unused mass flow controller MB4 is used and the mass flow controller MB4 is verified. It can be performed. Thereby, the malfunction of the mass flow controller MB4 can be detected.
FIG. 28 is a circuit diagram in which the first embodiment is simplified, and the flow path H11 is provided. FIG. 29 is a circuit diagram of the prior art in which the flow path H11 is provided.
(第5実施形態)
図30は、第5実施形態におけるガス供給装置24の上面図を示す。
ガス供給装置24は、第1実施形態におけるガス供給装置1を両側配置する構成である。
ガス供給装置1を両側配置する構成を採ることにより、ガス合流部G1の内容積を大幅に削減し流量検定システムの測定時間を大幅に短縮することができる。
また、流量検定システムR2を設置していることにより、マスフローコントローラの検定を行うことができる。それにより、マスフローコントローラの不具合を検知できる。
(Fifth embodiment)
FIG. 30 shows a top view of the
The
By adopting a configuration in which the
In addition, the mass flow controller can be verified by installing the flow rate verification system R2. Thereby, a malfunction of the mass flow controller can be detected.
(第6実施形態)
図31は、第6実施形態におけるガス供給装置25の一部断面を表す側面図を示す。具体的には、横並びの開閉弁VA11、VB11・・・の中心から断面とした図を示す。
マニホールドNA1に連通する開閉弁VA11、マニホールドNA2に連通する開閉弁VB11・・・により構成されている。
マニホールドNA1には、かさ上げブロックKA1が連通しており、マニホールドNA2には、かさ上げブロックKA2が連通しており、マニホールドNA3以下、マニホールドNA6までには、かさ上げブロックKA3以下、かさ上げブロックKA6が連通している。かさ上げブロックKA1、KA2、KA3は、上述した、かさ上げブロック190を採用する。かさ上げブロックKA4、KA5、KA6は、上述した、かさ上げブロック180を採用する。
かさ上げブロックKA1には、ブロック状フランジCAが連通している。 かさ上げブロックKA2には、ブロック状フランジCBが連通している。かさ上げブロックKA3以下にも同様に、ブロック状フランジCC以下が連通している。
マニホールドNA7には、ブロック状フランジCGが連通しており、マニホールドNA8には、ブロック状フランジCHが連通しており、マニホールドNA9には、ブロック状フランジCIが連通している。
(Sixth embodiment)
FIG. 31 is a side view showing a partial cross section of the
The on-off valve VA11 communicates with the manifold NA1, and the on-off valve VB11... Communicates with the manifold NA2.
The raising block KA1 communicates with the manifold NA1, the raising block KA2 communicates with the manifold NA2, and the raising block KA3 or less and the raising block KA6 are connected to the manifold NA3 or lower and the manifold NA6. Are communicating. The raising blocks KA1, KA2, and KA3 employ the above-described
A block-shaped flange CA communicates with the raising block KA1. A block-shaped flange CB communicates with the raising block KA2. Similarly, the block-shaped flange CC and below communicate with the raised block KA3 and below.
A block-shaped flange CG communicates with the manifold NA7, a block-shaped flange CH communicates with the manifold NA8, and a block-shaped flange CI communicates with the manifold NA9.
ポートブロックICと連通するパイプTCは、ブロック状フランジCHに連通し、開閉弁VH11へと連通する。ポートブロックIBと連通するパイプTBは、ブロック状フランジCEに連通し、かさ上げブロックKA5を連通し、開閉弁VE11へと連通する。ポートブロックIAと連通するパイプTAは、ブロック状フランジCBに連通し、かさ上げブロックKA2を連通し、開閉VB11へと連通する。
かさ上げブロックKA5を使用することにより、横並びに開閉弁を4つ以上並べることができる。すなわち、ポートブロックIBと連通するパイプTBは、かさ上げブロックKA5により、ブロック状フランジCG、CH、CIの下を通すことができる。そのため、パイプTBを、ブロック状フランジCG、CH、CIと干渉させることなく、ブロック状フランジCEと連通させることができる。それにより、横並びに開閉弁を4つ以上並べることができる。
本実施形態においては、さらにかさ上げブロックKA2を使用することにより横並びに開閉弁を7つ以上並べることができる。すなわち、ポートブロックIAと連通するパイプTAは、かさ上げブロックKA2により、ブロック状フランジCD、CE、CF、CG、CH、CIの下を通すことができる。そのため、パイプTBを、ブロック状フランジCD、CE、CF、CG、CH、CIと干渉させることなく、ブロック状フランジCBと連通させることができる。それにより、横並びに開閉弁を7つ以上並べることができる。
The pipe TC communicating with the port block IC communicates with the block-shaped flange CH and communicates with the on-off valve VH11. The pipe TB communicating with the port block IB communicates with the block-shaped flange CE, communicates with the raising block KA5, and communicates with the on-off valve VE11. The pipe TA communicating with the port block IA communicates with the block-shaped flange CB, communicates with the raised block KA2, and communicates with the open / close VB11.
By using the raising block KA5, it is possible to arrange four or more open / close valves side by side. That is, the pipe TB communicating with the port block IB can be passed under the block-like flanges CG, CH, CI by the raising block KA5. Therefore, the pipe TB can be communicated with the block-shaped flange CE without causing interference with the block-shaped flanges CG, CH, CI. Thereby, four or more side-by-side and on-off valves can be arranged.
In the present embodiment, seven or more side-by-side valves can be arranged side by side by using the raising block KA2. That is, the pipe TA communicating with the port block IA can be passed under the block-shaped flanges CD, CE, CF, CG, CH, CI by the raising block KA2. Therefore, the pipe TB can be communicated with the block-shaped flange CB without interfering with the block-shaped flanges CD, CE, CF, CG, CH, CI. Thereby, seven or more side-by-side and on-off valves can be arranged.
以上詳細に説明したように、本実施例のガス供給装置25によれば、開閉弁を側面方向又はライン方向に4つ以上並べることができる。そのため、ガス供給装置を設置する場所に合わせて、ガス供給装置を設計することができる。例えば、ガス供給装置のライン方向にスペースを確保することができない時は、第6実施形態におけるガス供給装置25のように、開閉弁を横並びに9つ並べることができる。反対に、ガス供給装置の側面方向にスペースを確保することができない時は、図には示さないが、開閉弁を縦並びに4つ以上並べることができる。
As described above in detail, according to the
尚、本発明は、上記実施の形態に限定されることなく、色々な応用が可能である。
例えば、開閉弁は、エアオペレイトバルブのほか、ソレノイドバルブ等を使用することができる。
ブロック状フランジの2つの貫通孔の位置は、正面に対して、一方の貫通穴が右前方にあれば、他方は左後方に位置する。反対に、正面に対して、一方の貫通孔が左前方にあれば、他方は右後方に位置する。
ブロック状フランジには、2つの貫通孔が、ブロック状フランジの下面の対角線上に位置し、形成されているが、さらに2つの貫通孔を加え、ブロック状フランジの下面の4隅に位置するように形成することができる。ブロック状フランジの下面の4隅に貫通孔を形成することにより、ネジによりマニホールドのネジ孔と固定した時に、フランジ連通口とマニホールド連通路の連通口の接合部に均一な押圧力を与えることができる。
かさ上げフランジの高さは、実施形態により設計変更可能である。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various applications are possible.
For example, as the on-off valve, a solenoid valve or the like can be used in addition to an air operated valve.
As for the positions of the two through holes of the block-shaped flange, if one through hole is located on the right front side, the other is located on the left rear side. On the contrary, if one through hole is on the left front side with respect to the front side, the other is located on the right rear side.
In the block-shaped flange, two through holes are formed on the diagonal line on the lower surface of the block-shaped flange. However, two additional through-holes are added so that they are positioned at the four corners of the lower surface of the block-shaped flange. Can be formed. By forming through holes at the four corners of the lower surface of the block-shaped flange, a uniform pressing force can be applied to the joint between the flange communication port and the manifold communication channel when the manifold screw hole is fixed with screws. it can.
The height of the raised flange can be changed according to the embodiment.
1 ガス供給装置
VA1、VA2、VA3、VA4 開閉弁
VB1、VB2、VB3、VB4 開閉弁
VC1、VC2、VC3、VC4 開閉弁
PA、PB、PC、P1、P2 開閉弁
H1〜H9 流路
MA、MB、MC マスフローコントローラ
1 Gas supply device VA1, VA2, VA3, VA4 On-off valve VB1, VB2, VB3, VB4 On-off valve VC1, VC2, VC3, VC4 On-off valve PA, PB, PC, P1, P2 On-off valve H1-H9 Flow path MA, MB MC mass flow controller
Claims (5)
前記ガスAと前記ガスBは同じガスであること、
前記開閉弁の下面に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジを有すること、
前記ブロック状フランジは、(a)パイプが接続する接続ポートと、(b)前記マニホールドブロックに形成され、前記開閉弁に連結されたマニホールド連通路と、前記接続ポートを連通するフランジ連通路と、(c)前記パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部とを有すること、
前記第1開閉弁と前記第2開閉弁は、ガスの流れ方向に直列に配置され、前記第3開閉弁と前記第4開閉弁は、前記第1、第2開閉弁と並列に配置されていること、
前記パイプは、前記ガス流れ方向に対して直交、または平行して配置され、前記ブロック状フランジの下面に形成された前記パイプ逃げ部に位置すること、
を特徴とするガス供給装置。 A gas supply device having a first line and a second line, wherein the first line is connected to a first mass flow controller, the second line is connected to a second mass flow controller, and the first line is a gas A gas having a first on-off valve for supplying A and a second on-off valve for supplying gas C, the second line having a third on-off valve for supplying gas B and a fourth on-off valve for supplying gas D In the supply device,
The gas A and the gas B are the same gas;
Having a block-like flange attached to the lower surface of the manifold block attached to the lower surface of the on- off valve;
The block-shaped flange has a connection port for connecting the (a) pipe, and (b) is formed in the manifold block, the manifold communicating passage which is connected to the on-off valve, a flange communicating passage communicating the connection port, (C) having a pipe escape portion for securing a space through which the pipe passes,
The first on-off valve and the second on-off valve are arranged in series in the gas flow direction, and the third on-off valve and the fourth on-off valve are arranged in parallel with the first and second on-off valves. Being
The pipe is disposed at a right angle or parallel to the gas flow direction, and is located in the pipe escape portion formed on the lower surface of the block-shaped flange;
A gas supply device.
回路の排気側に流量検定システムを有すること、
を特徴とするガス供給装置。 The gas supply device according to claim 1 ,
Having a flow verification system on the exhaust side of the circuit;
A gas supply device.
前記ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、前記マニホールドブロックに取り付けることが可能であること、
を特徴とするガス供給装置。 In the gas supply device according to claim 1 or 2,
The block-like flange can be attached to the manifold block in either the vertical direction or the horizontal direction;
A gas supply device.
開閉弁に取り付けられたマニホールドブロックの下面に取り付けられるブロック状フランジであって、
前記ブロック状フランジは、
パイプが接続する接続ポートと、
前記マニホールドブロックに形成された前記開閉弁に連結されたマニホールド連通路と前記接続ポートとを連通するフランジ連通路と、
前記パイプが通過する空間を確保するためのパイプ逃げ部と、
を有することを特徴とするブロック状フランジ。 In the block-like flange used in the gas supply device according to claim 1,
A block-like flange attached to the lower surface of the manifold block attached to the on-off valve ,
The block-shaped flange is
A connection port to which the pipe connects;
A flange communication passage communicating the manifold communication passage connected to the on-off valve formed in the manifold block and the connection port;
A pipe escape portion for securing a space through which the pipe passes;
A block-like flange characterized by comprising:
前記ブロック状フランジは縦方向、横方向のどちらでも、前記マニホールドブロックに取り付けることが可能であること、
を特徴とするブロック状フランジ。 The block-like flange of claim 4 ,
The block-like flange can be attached to the manifold block in either the vertical direction or the horizontal direction;
Block-shaped flange characterized by
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008282650A JP4700095B2 (en) | 2008-11-03 | 2008-11-03 | Gas supply device, block-shaped flange |
TW098134595A TWI395903B (en) | 2008-11-03 | 2009-10-13 | Gas supply device, block flange |
KR1020090101252A KR101113823B1 (en) | 2008-11-03 | 2009-10-23 | Gas supply unit and block-shaped flange |
CN2009101749238A CN101725752B (en) | 2008-11-03 | 2009-11-03 | Air supply device and lumpy flange |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008282650A JP4700095B2 (en) | 2008-11-03 | 2008-11-03 | Gas supply device, block-shaped flange |
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---|---|
JP2010108459A JP2010108459A (en) | 2010-05-13 |
JP4700095B2 true JP4700095B2 (en) | 2011-06-15 |
Family
ID=42275932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008282650A Expired - Fee Related JP4700095B2 (en) | 2008-11-03 | 2008-11-03 | Gas supply device, block-shaped flange |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4700095B2 (en) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100915 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
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