JP4693360B2 - ターボ機械の保安装置及び発電設備 - Google Patents

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Description

本発明は、発電施設における蒸気タービン等のターボ機械の異常を検知してターボ機械を停止させるターボ機械の保安装置及び発電設備に関する。
蒸気タービン等のターボ機械を使用する発電設備等では、異常現象、故障のほか伸び差、振動大、低圧排気、室温度高、軸受油圧低、主油ポンプ吐出圧低、ボイラ・発電機故障などの現象を検出し、事故を未然に防止するか又は事故による損傷を最小限におさえる目的で、各種保安装置が設けられている。これらの中でも、タービン回転数異常上昇が最も重要な項目であるため、タービン回転数異常上昇を検出して停止させる保安装置が設けられている。
従来のターボ機械の保安装置では、一般的に信号の伝送手段として油圧信号による伝送手段が使用されている。図7は、このようなターボ機械の保安装置の構成を示すもので、同図において符号1は非常調速機、符号2は非常調速機1と対に設置された非常トリップ装置を示している。非常調速機1は、蒸気タービンの回転軸に一体に組み込まれた偏心リング(または飛び出しピン)を具備している。また、非常トリップ装置2は、トリップフィンガー3と、トリップロッド4とによって構成されたラッチ機構5を具備している。
蒸気タービンの回転数が設定回転数以上に上昇した場合は、蒸気タービンの回転軸に一体に組み込まれた非常調速機1の偏心リング(または飛び出しピン)にも遠心力が生じ、その偏心リングが機械的な変位となって移動する。この偏心リングの機械的な変位(機械信号)が一定以上になると、偏心リングは、非常トリップ装置2のトリップフィンガー3との微小間隙を食いつぶしてこのトリップフィンガー3と接触し、トリップフィンガー3とトリップロッド4で構成されたラッチ機構5を外し、結果的にトリップロッド4が非常調速機1側に押し出され、トリップロッド4の機械的な変位(機械信号)として検出される。この機機械式トリップ装置のトリップロッド4の移動は、機械式トリップ弁10によって検出され油圧信号に変換される。
この油圧信号が、ロックアウト弁11及びマスタートリップ弁12等からなる油圧系統を介して図示しない主蒸気止め弁を駆動する油圧駆動機構等に伝えられ、主蒸気止め弁を閉じるよう構成されている(例えば、特許文献1参照)。
実開昭61―114009
上述した従来のターボ機械における保安装置では、信号の伝送手段として油圧信号による伝送手段が使用されており、信頼度の高いシステムであるが、油圧を用いるために機器構成が複雑となる、高圧の油圧を用いることから油が漏洩する可能性がある、伝達速度等の性能向上に限界がある、という課題があった。
本発明は上述した課題を解決するためになされたものであり、従来に比べて機器構成を簡易化することができるとともに、信頼性の向上を図ることのできるターボ機械の保安装置及び発電設備を提供しようとするものである。
本発明のターボ機械の保安装置は、ターボ機械の回転軸に設けられた非常調速機と、トリップフィンガー及びトリップロッドで構成されたラッチ機構とを具備し、前記ターボ機械の回転軸が設定回転数を超えて回転し前記非常調速機に遠心力が加わった際に当該非常調速機と前記トリップフィンガーとが接触し、前記ラッチ機構が外れて前記トリップロッドを移動する異常検出部によって異常を検出し、前記ターボ機械の蒸気入口に設置された蒸気弁を閉じて前記ターボ機械への蒸気流入を遮断するターボ機械の保安装置において、前記トリップロッドの移動を機械的に検出して電気的な異常信号を発生させる検出装置と、前記蒸気弁を開閉するピストン及びシリンダと当該シリンダ内への作動油の導入、排出を行う油圧系統とからなる駆動装置に一体的に設置され、前記シリンダ内から前記作動油を排出する電磁弁とを設け、前記検出装置からの電気的な異常信号に基づいて、前記電磁弁を電気的に動作させ、前記シリンダ内の作動油を排出させて前記蒸気弁を閉じるよう構成し、かつ、前記シリンダ内の前記ピストンの一方側から前記作動油を排出し、一旦前記シリンダ内の前記ピストンの他方側へ導入するための油路と、前記油路に介挿され前記電磁弁の動作に連動して開動作するカートリッジ弁と、前記作動油を前記ピストンの他方側から排出するための排出用油路とを有し、前記ピストンの一方側から前記作動油を排出し、前記シリンダ内の前記ピストンの他方側へ導入することにより、前記蒸気弁を閉じるよう構成したことを特徴とする。
本発明の他のターボ機械の保安装置は、ターボ機械の異常を異常検出部で検出して電気的な異常信号を発し、この電気的な異常信号により前記ターボ機械の蒸気入口に設置された蒸気弁を閉じて前記ターボ機械への蒸気流入を遮断するターボ機械の保安装置において、前記蒸気弁を開閉するピストン及びシリンダと当該シリンダ内への作動油の導入、排出を行う油圧系統とからなる駆動装置に一体的に設置され、前記異常信号に基づいて動作する電磁弁と、前記シリンダ内の前記ピストンの一方側から前記作動油を排出し、一旦前記シリンダ内の前記ピストンの他方側へ導入するための油路と、前記油路に介挿され前記電磁弁の動作に連動して開動作するカートリッジ弁と、前記作動油を前記ピストンの他方側から排出するための排出用油路とを具備したことを特徴とする。
本発明の発電設備は、蒸気によって回転し発電するターボ機械と、前記ターボ機械の蒸気入口に設置された蒸気弁とを具備した発電設備において、前記ターボ機械の異常を異常検出部で検出して電気的な異常信号を発し、この電気的な異常信号により前記蒸気弁を閉じて前記ターボ機械への蒸気流入を遮断するターボ機械の保安装置であって、前記蒸気弁を開閉するピストン及びシリンダと当該シリンダ内への作動油の導入、排出を行う油圧系統とからなる駆動装置に一体的に設置され、前記異常信号に基づいて動作する電磁弁と、前記シリンダ内の前記ピストンの一方側から前記作動油を排出し、一旦前記シリンダ内の前記ピストンの他方側へ導入するための油路と、前記油路に介挿され前記電磁弁の動作に連動して開動作するカートリッジ弁と、前記作動油を前記ピストンの他方側から排出するための排出用油路とを具備したターボ機械の保安装置を有することを特徴とする。
本発明のターボ機器の保安装置及び発電設備によれば、従来に比べて機器構成を簡易化することができるとともに、信頼性の向上を図ることができる。
以下、本発明の詳細を、図面を参照して一実施形態について説明する。
まず、ターボ機械が設けられた発電設備の構成を図6を参照して説明する。ここでターボ機械とは蒸気タービンを示しており、以下の実施形態の保安装置はこの蒸気タービンに設置されるものであり、各実施形態では図6に示す系統の説明は省略している。
同図において、符号100はボイラーを示しており、このボイラー100からの蒸気は主蒸気止め弁101、蒸気加減弁102を通過し、高圧タービン110で仕事をしたあと、逆止弁107を経由して再びボイラー100の再熱器にて加熱され、再熱蒸気止め弁103、インターセプト弁104を経て中圧タービン111、低圧タービン112へ流入し仕事をする。低圧タービン112で仕事をした後の蒸気は、復水器113にて水に戻され、給水ポンプ114にて昇圧されて再びボイラー100に供給されるように循環する。
また、プラントの運用効率を高めるために、プラントによっては、主蒸気止め弁101の前からボイラー100の再熱器の前に接続された高圧タービンバイパス弁105や、ボイラー100の再熱器の後から復水器113に接続された低圧タービンバイパス弁106が設置され、タービンの運転に係わらずボイラー系統単独の循環運転ができるようになっている。ここで図6は代表的な蒸気タービン発電設備であるが、この発電設備に図示しないガスタービンを組み合わせて一軸型や多軸型コンバインドサイクルとして運用することができることは勿論である。
前述の如く、蒸気タービンにおいては、様々な異常事象を早期に検出して、安全に運用することが求められており、これらの異常事象の中でも蒸気タービン回転数異常上昇が最も重要な項目である。図1は、このような蒸気タービン回転数異常上昇を検出するための異常検出部の構成を示し、図2は蒸気タービンへのエネルギ流入を遮断する蒸気弁の駆動装置の構成を示している。
図1において、符号1は非常調速機、符号2は非常調速機1と対に設置された非常トリップ装置を示している。非常調速機1は、蒸気タービンの回転軸に一体に組み込まれた偏心リング(または飛び出しピン)を具備している。また、非常トリップ装置2は、トリップフィンガー3と、トリップロッド4とによって構成されたラッチ機構5を具備している。蒸気タービンの回転数が設定回転数以上に上昇した場合は、蒸気タービンの回転軸に一体に組み込まれた非常調速機1の偏心リング(または飛び出しピン)にも遠心力が生じ、その偏心リングが機械的な変位となって移動する。この偏心リングの機械的な変位(機械信号)が一定以上になると、偏心リングは、非常トリップ装置2のトリップフィンガー3との微小間隙を食いつぶしてこのトリップフィンガー3と接触し、トリップフィンガー3とトリップロッド4で構成されたラッチ機構5を外し、トリップロッド4が非常調速機1側に押し出され、トリップロッド4の機械的な変位(機械信号)として検出される。
押し出されたトリップロッド4の端部にはリミットスイッチ6が設置されており、トリップロッド4の機械的な変位(機械信号)を電気信号に変換する。ここでリミットスイッチ6は少なくとも1個あれば目的を達成するが、信頼性向上を目的に複数、例えば3個設置しても良い。
なお、図1の装置では、非常調速機1の運転中における作動確認試験ができるように油を供給するためのオイルトリップ電磁弁7や、その試験後に非常トリップ装置2を元の位置に戻すためのリセット電磁弁8が設置され、また非常時に人間が操作してタービンを緊急停止するためのトリップハンドル9が設置されている。トリップハンドル9は手前に引くことにより、トリップフィンガー3のラッチ機構5を外すように構成されている。
上記構成の機器は、非常調速機1で検出した蒸気タービンの回転数上昇を、油圧信号による伝達手段を介在することなく機械的に検出し、電気信号に変換するものである。
リミットスイッチ6からの電気信号(接点信号)は、図示しないシーケンス回路装置に伝達され、シーケンス回路装置からの出力電気信号は、図2に示す蒸気弁200の駆動装置20に設置された急速作動電磁弁21、23に伝達される。急速作動電磁弁21、23は、蒸気タービンのあらゆる異常時に蒸気タービンに流入する蒸気(流入エネルギー)を遮断する重要な機器である。このため、急速作動電磁弁21、23に印加される電気信号は、蒸気タービンの通常運転時には常時励磁状態、一方、リミットスイッチ6が作動して電気信号が伝達されたような異常時には無励磁状態となるようにシーケンス回路装置から印加される。
また、さらなる信頼性を得る方法として、以下のような方法がある。
まず、急速作動電磁弁21、23を複数、例えば夫々2台設置する方法がある。この場合は、シーケンス回路装置から急速作動電磁弁21、23に出力される電気信号の供給方法としては、2台の急速作動電磁弁21、23への電気結線を直列に接続する方法、個々の急速作動電磁弁21、23に同一信号を同時に印加するよう並列結線する方法がある。並列結線の場合には同時印加または最初の1台目の動作が成功した場合には2台目は動作させないような優先順位を設ける方法、交互に動作させるような順番を設ける方法、互いにわずかな時間差を設けて印加(実際の異常時には無励磁となるため、わずかな時間差を設けて解磁することを意味する)する方法がある。
また、急速作動電磁弁21、23の各々1台について内蔵されるコイル22、24を複数、例えば2個(コイル22a,22b及びコイル24a,24b)とする方法がある。このように2個内蔵の場合には、2個のコイルを直列に接続して直列結線する方法、個々のコイルに同一信号を同時に印加するよう並列結線する方法がある。並列結線の場合には同時印加または最初の1個目の動作が成功した場合には2個目は動作させないような優先順位を設ける方法、交互に動作させるような順番を設ける方法、互いにわずかな時間差を設けて印加(実際の異常時には無励磁となるため、わずかな時間差を設けて解磁することを意味する)する方法がある。
さらにコイル22、24の結線に関しては、通常運転中は常時励磁であることから、印加電圧値(または電流値)を100%とする場合又は例えば50%等個々のコイルに分割した電圧値(または電流値)と設定することで、当該コイル22、24の延命化を達成することができる。これらコイル22、24の構成については、以上説明した構成の他、信頼性と延命化が達成できるものであればどのような構成としても良い。
次に、図2に示す蒸気弁200の駆動装置20部分の構成について説明する。蒸気弁200はたとえば主蒸気止め弁を示し、起動時等の蒸気流量制御を行うべく副弁を内蔵しており、サーボ弁を用いて弁位置の制御が可能な機構となっている。主弁201の上流には蒸気圧力が作用しており、主弁201に直結された駆動ピストン202の下部シリンダ204内に油が蓄積されて駆動ピストン202の下部に油圧が作用することにより、蒸気圧力に打ち勝って主弁201を開弁する。一方蒸気タービンの異常時には、駆動ピストン202の下部シリンダ204に蓄積された油を排出すれば主弁201は閉弁するように動作する。
ここで、蒸気タービンの大容量(出力)化に伴いこれら蒸気弁200の主弁口径も大口径化し、また蒸気圧力も高圧化傾向にあることから、駆動装置20に供給される油圧は蒸気弁200を駆動するための駆動力および異常発生時の急閉特性等の基本的な性能を発揮するために高圧油圧が望ましく、その油圧は3MPa以上が好ましく、更には11MPaや17MPa、35MPa又はそれ以上の高圧油圧とすることが好ましい。
図2において、図示しない油圧発生装置から供給された作動油25は、その駆動装置20入口の油フィルター26を介して流入し、駆動装置20内部で接続された油路にて2本に分岐される。
分岐された1本は、蒸気弁200の蒸気流量制御機能を司るサーボ弁27に供給され、図示しないタービン制御装置からの弁位置制御信号に従いサーボ弁27を通過した作動油25は、駆動ピストン202下部とカートリッジ弁28、29のAポート(一次側)に同時に供給される。駆動ピストン202は、サーボ弁27を通過した作動油25により開閉動作を行う。サーボ弁27は、図示しないタービン制御装置からの制御信号をコイル35に受けて制御され、当該サーボ弁27のパイロット油は油フィルター26の上流から分岐し、専用の油フィルター38を介して供給されている。
分岐された残りの1本は、駆動装置20内部で再び2本に分岐されると、それぞれのラインに設置された急速作動電磁弁21、23に接続される。通常運転中の急速作動電磁弁21、23は励磁状態であることから、作動油25はそれぞれの急速作動電磁弁21、23を通過し、それぞれに接続されたカートリッジ弁28、29の二次側に供給される。これらサーボ弁27を通過しカートリッジ弁28、29の一次側に供給された作動油25と急速作動電磁弁21、23を通過しカートリッジ弁28、29の二次側に供給された作動油25は、カートリッジ弁28、29の弁体30、31に同時に作用するため、力がバランスしカートリッジ弁28、29の弁体30、31は移動することはない。
ここで、図1に示した異常検出部で異常を検出しリミットスイッチ6から電気信号が発生すると、この信号はシーケンス回路装置に伝達され、シーケンス回路装置からの出力電気信号は、図2に示す蒸気弁200の駆動装置20に設置された急速作動電磁弁21、23に伝達される。
常時励磁状態の急速作動電磁弁21、23が無励磁状態になると、それまで急速作動電磁弁21、23を通過しカートリッジ弁28、29の二次側に供給されていた作動油25は、急速作動電磁弁21、23に連動して排油32(ドレン)されるため、カートリッジ弁28、29は、サーボ弁27を通過しカートリッジ弁28、29の一次側に供給された作動油25の油圧力に押し戻されAポートが開口するように移動する。この結果、カートリッジ弁28、29のAポートと同じラインの駆動ピストン202の下部シリンダ204に蓄積された作動油は、カートリッジ弁28、29のBポートから排出され蒸気弁200は閉弁する。
この時、図2に示されるように、カートリッジ弁28、29のBポートは、駆動装置20の駆動ピストン202の上部に位置する上部シリンダ205に接続されているので、このシリンダ203内の駆動ピストン202の上部シリンダ205にカートリッジ弁28、29のBポートからの作動油が流入し、駆動ピストン202の上部シリンダ205を経由して排油32(ドレン)される。このように、シリンダ203内の駆動ピストン202の下部シリンダ204に蓄積された作動油を一旦駆動ピストン202の上部シリンダ205に流入させることにより、駆動ピストン202を押し下げる作用が生じ、またドレンタンクとして作用するので、より急速にかつ確実に蒸気弁200を閉弁することができる。
なお、カートリッジ弁28、29の二次側にはカートリッジ弁28、29の弁体30、31のリセットバネ33、34が組み込まれており、カートリッジ弁28、29のAポートの油圧が消滅すればカートリッジ弁28、29の弁体30、31はリセットバネ33、34の力により自動的にAポートの開口を塞ぐように全閉状態に戻される。
このような、急速作動電磁弁21、23が無励磁状態に動作したとき、サーボ弁27を介して供給していた駆動ピストン202への油は、図示しないタービン制御装置からの制御信号にて、作動油25の供給を遮断するようにサーボ弁27を動作させることができる。また、急速作動電磁弁21、23の動作と同時期にサーボ弁27を介して、カートリッジ弁28、29のAポートと同じラインから排油されるように動作し蒸気弁200の急速閉弁動作すなわち駆動ピストン202の下部シリンダ204から排油することを助勢することができる。
そして、再び急速作動電磁弁21、23が励磁動作に戻った場合には、図示しないタービン制御装置からの制御信号にて、サーボ弁27を介して再び駆動ピストン202へ油を供給することができる。
なお、図3は、蒸気弁200の外観の概略構成を示すもので、蒸気弁200の下部には内部に駆動ピストン202を収納したシリンダ203が設けられており、上述した駆動装置20の急速作動電磁弁21、23等は、このシリンダ203の外側部分に一体的に設けられている。蒸気弁200の高さは例えば3m程度、直径は例えば2m程度である。
上記実施形態では、蒸気タービンの異常な回転数上昇を、非常調速機1及び非常トリップ装置2によって機械的に検出し、この検出信号をリミットスイッチ6によって電気信号に変換して、油圧信号による伝達手段を介在することなく蒸気弁200の駆動装置20に伝達する。したがって、従来に比べて機器構成を簡易化することができるとともに、油漏洩等の二次的な不適合の発生も無く、応答時間の短縮や異常検出装置や異常検出信号の多重化が容易であることから信頼性の向上を図ることができる。また、従来からある非常調速機1及び非常トリップ装置2を利用して保安装置を構成することができるので、設備の大幅な変更を必要とすることもない。
図2に示した蒸気弁200の駆動装置20は、サーボ弁27を具備し、弁位置制御機能を有するものであったが、蒸気弁の用途によっては単なるオン/オフ機能のものもあり、このオン/オフ機能の蒸気弁300の場合の駆動装置40を図4に示す。なお、図2と同一機能の部品には同一符号付して重複した説明は省略する。
図4に示す駆動装置40は、図2に示すサーボ弁27を、テスト電磁弁36に置き変えたものであり、常時無励磁にて運用される。テスト電磁弁36は、通常運転中に蒸気弁300の弁棒固着事象を防止する目的で実施される弁テスト時に励磁し、駆動ピストン302の下部シリンダ304内の油をゆっくり排出することで蒸気弁300の主弁301を閉弁するように動作する。蒸気弁300の主弁301が全閉した後、当該テスト電磁弁36を無励磁とすることで再びゆっくりと開弁し弁テストは終了となる。また、弁テスト中に主弁301が途中開度まで閉弁した時点で、当該テスト電磁弁36を無励磁とすると、その後主弁301は全開するように動作する。すなわち、当該テスト電磁弁36の励磁方法によっては、主弁301の半閉テストや全閉テストが選択できる。
このように動作するオン/オフ機能の蒸気弁300の駆動装置40であるが、急速作動電磁弁21、23に係わる動作は、前述の図2に示すサーボ弁27を設置した場合と同一である。
次に、図5を参照して他の実施形態について説明する。図1に示した実施形態では、蒸気タービンの回転数が設定回転数以上に上昇した場合、機械的な変位を検出して電気信号に変換したが、本実施形態は蒸気タービンの回転数を直接検出して電気信号に変換するものである。
蒸気タービン110回転軸110aに、歯数が100枚程度の歯車50が設置されており、この歯車50に対向し、数mm程度の微小間隙を有して対となる状態に、電磁ピックアップ51が組み立てられている。タービンの回転数に応じ、電磁ピックアップ51から正弦波の周波数出力が得られ、この出力は図示しない比較演算制御装置に伝達される。
比較演算制御装置では、周波数を電圧またはデジタルカウント数に変換し、蒸気タービンの回転数が異常状態と判定される所定の設定回転数相当値と比較演算される。そして、設定回転数相当値以上の場合、図2に示す蒸気弁200の駆動装置20に設置された急速作動電磁弁21、23或いは、図4に示す蒸気弁300の駆動装置40に設置された急速作動電磁弁21、23に、異常時には無励磁状態となるように比較演算制御装置からの信号が印加され、これによって、蒸気弁200、蒸気弁300を閉弁する。
なお、電磁ピックアップ51は少なくとも1個あれば目的を達成するが、信頼性向上を目的に複数、例えば3個設置しても良い。また、複数の電磁ピックアップのグループとそのグループに組み合わされる複数の比較演算制御装置を設置することにより比較演算制御装置からの出力信号の信頼性を向上することもできる。
上記の実施形態では、蒸気タービンの回転数異常上昇を検出する場合について説明したが、蒸気タービンでは、タービン回転数異常上昇事象以外にも蒸気タービンの伸び差、振動大、低圧排気室温度高、軸受油圧低、主油ポンプ吐出圧低、ボイラ・発電機故障などの現象が発生すれば、事故を未然に防止するかまたは事故による損傷を最小限に抑えるため、蒸気タービンへのエネルギ流入を遮断する必要がある。
これら異常を検出する異常検出装置からの電気信号を、油圧信号による伝達手段を介在することなく、その検出された電気信号の仕様によりシーケンス回路装置または比較演算制御装置を経由した後、急速作動電磁弁21、23に印加し、蒸気弁200、蒸気弁300を閉弁するよう構成することもできる。
以上説明した本発明の実施形態では、ターボ機械の異常な状態を検出した検出信号を、油圧信号による伝達手段を介在することなく電気信号として伝達するので、従来に比べて機器構成を簡易化することができるとともに、油漏洩等の二次的な不適合の発生も無く、応答時間の短縮や異常検出装置や異常検出信号の多重化が容易であることから信頼性の向上を図ることができる。
本発明の一実施形態における異常検出部の構成を示す図。 本発明の一実施形態における蒸気弁の駆動装置の構成を示す図。 蒸気弁及び蒸気弁の駆動装置の外観の概略構成を示す図。 図2に示す蒸気弁の駆動装置の変形例の構成を示す図。 本発明の他の実施形態における異常検出部の構成を示す図。 ターボ機械が設けられた発電設備の構成を示す系統図。 従来のターボ機械の保安装置の構成を示す図。
符号の説明
1…非常調速機、2…非常トリップ装置、3…トリップフィンガー、4…トリップロッド、5…ラッチ機構、6…リミットスイッチ。

Claims (7)

  1. ターボ機械の回転軸に設けられた非常調速機と、トリップフィンガー及びトリップロッドで構成されたラッチ機構とを具備し、前記ターボ機械の回転軸が設定回転数を超えて回転し前記非常調速機に遠心力が加わった際に当該非常調速機と前記トリップフィンガーとが接触し、前記ラッチ機構が外れて前記トリップロッドを移動する異常検出部によって異常を検出し、前記ターボ機械の蒸気入口に設置された蒸気弁を閉じて前記ターボ機械への蒸気流入を遮断するターボ機械の保安装置において、
    前記トリップロッドの移動を機械的に検出して電気的な異常信号を発生させる検出装置と、前記蒸気弁を開閉するピストン及びシリンダと当該シリンダ内への作動油の導入、排出を行う油圧系統とからなる駆動装置に一体的に設置され、前記シリンダ内から前記作動油を排出する電磁弁とを設け、
    前記検出装置からの電気的な異常信号に基づいて、前記電磁弁を電気的に動作させ、前記シリンダ内の作動油を排出させて前記蒸気弁を閉じるよう構成し、
    かつ、前記シリンダ内の前記ピストンの一方側から前記作動油を排出し、一旦前記シリンダ内の前記ピストンの他方側へ導入するための油路と、前記油路に介挿され前記電磁弁の動作に連動して開動作するカートリッジ弁と、前記作動油を前記ピストンの他方側から排出するための排出用油路とを有し、前記ピストンの一方側から前記作動油を排出し、前記シリンダ内の前記ピストンの他方側へ導入することにより、前記蒸気弁を閉じるよう構成したことを特徴とするターボ機械の保安装置。
  2. 前記電磁弁と前記カートリッジ弁とが夫々複数設けられていることを特徴とする請求項1記載のターボ機械の保安装置。
  3. 前記電磁弁が駆動用のコイルを複数個具備したことを特徴とする請求項1又は2記載のターボ機械の保安装置。
  4. ターボ機械の異常を異常検出部で検出して電気的な異常信号を発し、この電気的な異常信号により前記ターボ機械の蒸気入口に設置された蒸気弁を閉じて前記ターボ機械への蒸気流入を遮断するターボ機械の保安装置において、
    前記蒸気弁を開閉するピストン及びシリンダと当該シリンダ内への作動油の導入、排出を行う油圧系統とからなる駆動装置に一体的に設置され、前記異常信号に基づいて動作する電磁弁と、
    前記シリンダ内の前記ピストンの一方側から前記作動油を排出し、一旦前記シリンダ内の前記ピストンの他方側へ導入するための油路と、
    前記油路に介挿され前記電磁弁の動作に連動して開動作するカートリッジ弁と
    前記作動油を前記ピストンの他方側から排出するための排出用油路と
    を具備したことを特徴とするターボ機械の保安装置。
  5. 前記電磁弁と前記カートリッジ弁とが夫々複数設けられていることを特徴とする請求項4記載のターボ機械の保安装置。
  6. 前記電磁弁が駆動用のコイルを複数個具備したことを特徴とする請求項4又は5記載のターボ機械の保安装置。
  7. 蒸気によって回転し発電するターボ機械と、前記ターボ機械の蒸気入口に設置された蒸気弁とを具備した発電設備において、
    前記ターボ機械の異常を異常検出部で検出して電気的な異常信号を発し、この電気的な異常信号により前記蒸気弁を閉じて前記ターボ機械への蒸気流入を遮断するターボ機械の保安装置であって、
    前記蒸気弁を開閉するピストン及びシリンダと当該シリンダ内への作動油の導入、排出を行う油圧系統とからなる駆動装置に一体的に設置され、前記異常信号に基づいて動作する電磁弁と、
    前記シリンダ内の前記ピストンの一方側から前記作動油を排出し、一旦前記シリンダ内の前記ピストンの他方側へ導入するための油路と、
    前記油路に介挿され前記電磁弁の動作に連動して開動作するカートリッジ弁と
    前記作動油を前記ピストンの他方側から排出するための排出用油路と
    を具備したターボ機械の保安装置を有することを特徴とする発電設備。
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