JP4687485B2 - リニア制御弁の品質不良の検査方法、及び、検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、開閉される通路の導通状態を変化させるリニア制御を実行する機能を備えたリニア制御弁に関連するものであり、より詳しくは、リニア制御弁の特性不良、即ち、品質不良を検出するための技術に関するものである。

従来、電磁弁の特性不良を検出するための技術として、弁の開放前後における回路内の流体圧力の変化を検知することで、動作不良等を検出することが行われており、この種の技術について開示する文献も存在する（例えば、特許文献１参照。）。
特許文献１に開示される技術では、電磁弁の弁体の動作の良否を検知することで、電磁弁の機能が低下した状態（動作不良）を検知するものであり、より詳しくは、全開／全閉とする信号を入力した後の圧力変化の応答時間に着目したものである。

他方、従来、開閉される通路の導通状態を変化させるリニア制御を実行する機能を備えたリニア制御弁が知られており、このリニア制御弁における弁体の動作は、全開状態／全閉状態のみならず、各状態に至るまでの中間の開度制御も行われるものである。

このリニア制御弁では、前述の中間の開度制御が重要となるものであり、この開度制御の不良の発生について検討を行ったところ、図５に示すごとくの圧力変化の挙動を捉えることができた。
この図５に示すグラフは、ノーマルオープン型のリニア制御弁にエアを流した際における、駆動電流Ｉの変化と、リニア制御弁のエアの入口側におけるエアの圧力変化の関係を示すものである。
ここで、正常な開度制御が行われるリニア制御弁では、特性線Ａに示すごとく、駆動電流のスイープ（特性線Ｃ）に伴って、最初から最後まで略一定の傾きを持ってリニア（直線的）に圧力変化することが確認された。
一方、品質不良があるリニア制御弁では、特性線Ｂに示すごとく、圧力変化の初期期間Ｆにおいて、前記特性線Ａよりも緩やかな傾きをもって変化し、その後の期間Ｇにおいて、より大きな傾きを持って変化することが確認された。

このことから、リニア制御弁の動作試験において、図５に示されるような初期期間Ｆの圧力変化の挙動を検知することによれば、品質不良のあるリニア制御弁を検出することが可能となる。
この圧力変化の検知は、全開状態／全閉状態の各状態に至るまでの中間の圧力変化を検知するものであり、特許文献１に開示されるような従来の技術では、この初期期間Ｆの圧力変化の挙動に着目したものではなかった。
特許第２８９２３７４号公報

そこで、本発明は、リニア制御弁を通過する流体の初期期間の圧力変化の挙動に着目し、リニア制御弁の品質不良を検出するための技術を提案するものである。

本発明の解決しようとする課題は以上のごとくであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

即ち、請求項１に記載のごとく、
流体回路に検査対象となるリニア制御弁を設置し、
前記リニア制御弁の駆動電流のスイープ制御を行い、前記リニア制御弁の弁体の開度の変更が行われ、
前記駆動電流のスイープ制御時における、前記リニア制御弁の入口側、又は、出口側における流体の圧力変化を測定し、
前記駆動電流のスイープ制御時における或る期間での前記流体圧力の変化量を求め、
前記変化量の大小に基づいて、前記リニア制御弁の品質不良を検出し、
前記或る期間は、リニア制御弁の弁体の動作の開始から終了までの期間のうち、前記リニア制御弁が不良であった場合には、前記駆動電流のスイープ制御時における前記流体圧力の測定結果である特性線の傾きが、正常なリニア制御弁の前記特性線の傾きよりも小さくなる期間内にあるものである。

また、請求項２に記載のごとく、
駆動電流のスイープ制御時において、前記或る期間の開始のときである第一時間における前記流体の圧力と、前記第一時間から所定時間経過したときである第二時間における前記流体の圧力から、前記所定時間における前記流体の圧力変化量を求め、前記圧力変化量が規定値より小さいときに、品質不良とするものである。

また、請求項３に記載のごとく、
前記規定値は、正常に動作するリニア制御弁を検査対象として検査した場合での、前記第一時間における前記流体の圧力と、前記第二時間における前記流体の圧力の差で求まる、圧力変化量とするものである。

また、請求項４に記載のごとく、
駆動電流のスイープ制御の開始時間における圧力から、第一の圧力変化量だけ下がったときを、第一測定時間とし、前記第一測定時間における圧力から、第二の圧力変化量だけ下がったときを、第二測定時間とし、前記第一測定時間と前記第二測定時間の間の所要時間を求め、前記所要時間が規定時間よりも長いときに、品質不良とするものである。

また、請求項５に記載のごとく、
前記規定時間は、正常に動作するリニア制御弁における前記第一測定時間と、前記第二測定時間の間の所要時間であることとするものである。

また、請求項６に記載のごとく、
検査対象となるリニア制御弁を設置する流体回路と、
前記流体回路に検査用の流体を供給する流体供給手段と、
前記リニア制御弁に駆動電流を入力するとともに、前記駆動電流をスイープ制御するための動作制御手段と、
前記リニア制御弁の入口側、又は、出口側における前記流体回路内の前記流体の圧力検出手段と、
前記動作制御手段、及び、前記圧力検出手段と接続され、前記動作制御手段から前記リニア制御弁に入力される駆動電流の値と、前記圧力検出手段から入力される圧力の値を記憶するための測定手段と、
前記駆動電流のスイープ制御時における或る期間の流体圧力の変化量の大小に基づいて品質を判定する手段とを具備し、
前記或る期間は、リニア制御弁の弁体の動作の開始から終了までの期間のうち、前記リニア制御弁が不良であった場合には、前記駆動電流のスイープ制御時における前記流体圧力の測定結果である特性線の傾きが、正常なリニア制御弁の前記特性線の傾きよりも小さくなる期間内にある、
リニア制御弁の品質不良の検査装置とするものである。

また、請求項７に記載のごとく、
駆動電流のスイープ制御時において、前記或る期間の開始のときである第一時間における前記流体の圧力と、前記第一時間から所定時間経過したときである第二時間における前記流体の圧力から、前記所定時間における前記流体の圧力変化量を求め、前記圧力変化量が規定値より小さいときに、品質不良と判定する手段を備えたリニア制御弁の品質不良の検査装置とするものである。

また、請求項８に記載のごとく、
駆動電流のスイープ制御の開始時間における圧力から、第一の圧力変化量だけ下がったときを、第一測定時間とし、前記第一測定時間における圧力から、第二の圧力変化量だけ
下がったときを、第二測定時間とし、前記第一測定時間と前記第二測定時間の間の所要時間を求め、前記所要時間が規定時間よりも長いときに、品質不良と判定する手段を備えたリニア制御弁の品質不良の検査装置とするものである。

本発明によれば、正常に動作するリニア制御弁における流体圧力の挙動との比較を行うことで、リニア制御弁の品質不良を検出することができる。

図１に示す圧力変化のグラフは、図２に示される検査装置の構成例により、リニア制御弁の動作試験を行った場合における圧力変化を示すものである。
そして、この図１及び図２の例に示すように、
流体回路１０に検査対象となるリニア制御弁１を設置し、
前記リニア制御弁１の駆動電流のスイープ制御を行い、前記リニア制御弁１の弁体の開度の変更が行われ、
前記駆動電流のスイープ制御時における、前記リニア制御弁の入口側、又は、出口側における流体の圧力変化を測定し、
前記駆動電流のスイープ制御時における或る期間（時間Ｔ１〜Ｔ２）での前記流体圧力の変化量を求め、
前記変化量の大小に基づいて、前記リニア制御弁１の品質不良を検出する、
リニア制御弁の品質不良の検査方法とするものである。

また、図１に示すごとく、前記或る期間（時間Ｔ１〜Ｔ２）は、リニア制御弁１の弁体の動作の開始から終了までの期間のうちの前半の期間内、即ち、初期期間Ｆとするものである。

以上のようにして、正常に動作するリニア制御弁における流体圧力の挙動との比較を行うことで、リニア制御弁の品質不良を検出することができる。

以下、詳細について説明する。
図２に示すごとく、検査対象となるリニア制御弁１が検査用の流体回路１０に設置される。
この流体回路１０は、ポンプ１１によって回路内を流体１２が循環されるべく構成されるものであり、前記流体１２には、例えば、エア（空気）が採用される。このように、エアを用いることによれば、検査後、特別なメンテナンスをすることなく、そのまま製品として出荷できることになる。
尚、この流体には、前記エアの他、オイル（作動油）の液体であってもよく、特に限定されるものではない。

また、本実施例において検査対象とするリニア制御弁１は、通電されたときに弁が閉じられ、通常は弁が開かれるノーマルオープン型の電磁弁であり、前記ポンプ１１からエアが供給される側を入力側（ＩＮ）とし、エアを排出する側を出口側（ＯＵＴ）としている。

また、前記リニア制御弁１には、動作制御手段１４から駆動電流が入力されるようになっており、この駆動電流によって、リニア制御弁１が開閉制御されるようになっている。
また、前記動作制御手段１４からリニア制御弁１に入力される駆動電流の値は、スイープ制御されるようになっている。
ここで、図１に示すごとく、スイープ制御とは、リニア制御弁１に入力される駆動電流Ｉの値を徐徐に減少させる（又は、増加させる）制御であり、一定の勾配を持って駆動電流Ｉの値を変化させる制御をいうものである。そして、このスイープ制御によって、弁体の開度がリニアに変化する、即ち、一定の割合で開度が増加／減少するようになっている。

また、前記流体回路１０において、前記リニア制御弁１の入口側近傍には、当該入口側の流体圧力を検知するためのセンサ１５が設置されている。このようにリニア制御弁１の入口側近傍にセンサ１５を設置することにより、入口側における圧力変化をより正確に検知することが可能となる。

そして、前記動作制御手段１４、及び、前記センサ１５は、測定手段２０に接続されており、この測定手段２０では、前記動作制御手段１４から前記リニア制御弁１に入力される駆動電流の値と、前記センサ１５から入力される圧力の値が記憶され、図１に示すごとく、時間経過に伴う駆動電流Ｉ、及び、圧力変化を出力できるようになっている。

また、前記測定手段２０には、図１に示すごとく、正常に動作するリニア制御弁の挙動を示す特性線Ａが記憶されている。そして、測定手段２０では、後述するごとく、この特性線Ａと、検査対象のリニア制御弁１によって形成される特性線Ｂとを比較することによって、検査対象の品質不良の有無を検出することとするものである。

また、図２において、前記測定手段２０は、前記ポンプ１１の運転の開始／終了制御等も行うべく構成され、これにより、検査時において、検査の開始／終了を自動的に行えるようになっている。
尚、このポンプ１１に関連する制御は、他の制御装置にて行うことや、手動にて行うこととしてもよく、特に限定されるものではない。

以上のようにしてリニア制御弁の品質不良の検査装置が構成されるものであり、図２に示すごとく、
検査対象となるリニア制御弁１を設置する流体回路１０と、
前記流体回路１０に検査用の流体（エア）を供給する流体供給手段であるポンプ１１と、
前記リニア制御弁１に駆動電流を入力するとともに、前記駆動電流をスイープ制御するための動作制御手段１４と、
前記リニア制御弁１の入口側、又は、出口側における前記流体回路１０内の前記流体の圧力検出手段であるセンサ１５と、
前記動作制御手段１４、及び、前記圧力検出手段（センサ１５）と接続され、前記動作制御手段１４から前記リニア制御弁１に入力される駆動電流の値と、前記センサ１５から入力される圧力の値を記憶するための測定手段２０と、
を具備する構成とするものである。

尚、以上の動作制御手段１４、測定手段２０は、物理的に独立して構成される電子制御装置であってもよく、また、物理的に一体的に構成され、ソフトウエアにてそれぞれの処理を実行すべく構成されるコンピュータであってもよく、また、周知の技術によって構成することができ、具体的な構成に特に限定されるものではない。

そして、以上のように検査装置を構成し、前記測定手段２０において、前記センサ１５から入力される圧力変化を解析することで、リニア制御弁１の品質不良の有無の検査が行われる。

この検査方法の実施例について説明すると、図２に示すごとく、まず、流体回路１０に検査対象となるリニア制御弁１を設置する。
次に、前記ポンプ１１を駆動して、流体回路１０にエアを流通させる。
次に、前記動作制御手段１４にて、リニア制御弁１のソレノイドに通電し、ノーマルオープンとされている通路を完全に閉じ、しばらく時間を置くことで、リニア制御弁１の入口側の圧力を安定させる。
尚、この安定化は、前記ポンプ１１とリニア制御弁１の間に、開閉弁を設けるとともに、当該開閉弁を閉じ、しばらく時間を置くこと等により行うことができる。

次に、図１に示すごとく、前記動作制御手段１４によりリニア制御弁１に入力する駆動電流Ｉの値を徐徐に減少させるようにスイープさせ、リニア制御弁１の開度を大きくし、最終的には、駆動電流Ｉの値をゼロとすることで、リニア制御弁１の通路を完全に開く。
以上のような駆動電流Ｉのスイープ制御によって、図１の特性線Ｂに示すごとく、リニア制御弁１の入力側で検知される圧力は、徐徐に減少されることになる。

そして、測定結果である特性線Ｂと、正常に動作するリニア制御弁における圧力変化の挙動を示す特性線Ａとを比較し、不良の判定が行われる。
ここで、図１に示すごとく、正常に動作するリニア制御弁の場合では、最初から最後まで略一定の傾きを持ってリニア（直線的）に圧力変化するものであり、駆動電流Ｉのスイープ制御の初期期間Ｆにおける時間Ｔ１〜Ｔ２の間で、圧力はＰ５からＰ６まで低下する。この場合では、リニア制御弁が正常に動いて、入口側から出口側へ規定の流量のエアが流れることになる。

特性線Ｂの場合、前記初期期間Ｆにおける時間Ｔ１〜Ｔ２の間で、圧力はＰ３からＰ４まで低下することになるが、この変化量は、前記特性線Ａにおけるものよりも小さいこととなる。
つまり、本来正常であれば、駆動電流Ｉにつき、同様のスイープ制御を行った場合における変化量（圧力低下量）は、特性線Ａにおけるものと一致するものであるが、正常に動作せず、弁の開きが少ないために、リニア制御弁１の入口側の圧力の変化量（圧力低下量）が少ないものとなるのである。
換言すれば、前記初期期間Ｆにおける特性線Ｂの傾きが、正常に動作するリニア制御弁の特性線Ａの傾きよりも小さいということになる。

そして、以上のように、初期期間Ｆにおける特性線Ｂの圧力の変化量（特性線Ｂの傾き）を解析することにより、リニア制御弁１の不良を検出することができる。

以上のようにして、リニア制御弁１の不良を検出することができる。
そして、以上のように、正常に動作するリニア制御弁における流体圧力の挙動との比較により、リニア制御弁の不良を検出し、良否の判定をすることになるが、この判定の方法については、以下の二つの例が考えられる。

まず、リニア制御弁の品質不良の判定方法の第一の例について説明する。
第一の例では、図１に示すごとく、駆動電流Ｉのスイープ制御を実施する期間Ｔ０〜Ｔ３において、第一時間Ｔ１における前記流体の圧力Ｐ３と、前記第一時間Ｔ１から所定時間Δｔ（単位は、例えば、ミリ秒）経過した第二時間Ｔ２における前記流体の圧力Ｐ４から、前記所定時間Δｔにおける前記流体の圧力変化量｜Ｐ３−Ｐ４｜を求め、前記圧力変化量｜Ｐ３−Ｐ４｜が規定値より小さいときに、品質不良とするものである。

そして、前記規定値は、正常に動作するリニア制御弁１を検査対象として検査した場合での、前記第一時間Ｔ１における前記流体の圧力Ｐ５と、前記第二時間Ｔ２における前記流体の圧力Ｐ６の差で求まる、圧力変化量｜Ｐ５−Ｐ６｜とするものである。

以上のように、正常に動作するリニア制御弁の圧力変化量｜Ｐ５−Ｐ６｜と、検査対象であるリニア制御弁１の圧力変化量｜Ｐ３−Ｐ４｜を比較することで、正常に動作するリニア制御弁と、検査対象であるリニア制御弁１の弁体の動作状況を比較し、動作不良の有無を判断することができる。
仮に、検査対象のリニア制御弁１の圧力変化量｜Ｐ３−Ｐ４｜が、正常に動作するリニア制御弁の圧力変化量｜Ｐ５−Ｐ６｜よりも小さい場合では、検査対象のリニア制御弁１の弁体の動作が悪く、流体が十分に流通していないことから、動作不良が発生しているものと判断することができる。

そして、この判断においては、圧力変化の勾配が評価されるものであり、従来技術において、単に、弁体の作動前後の圧力変化を比較していたものとは異なり、「圧力がどのように変化するか」ということに着目したものであり、リニア制御弁１において全開状態／全閉状態の各状態に至るまでの中間の開度制御の良否について、適切に評価できるものとなる。

また、前記測定手段２０（図２参照）に、前記圧力変化量｜Ｐ３−Ｐ４｜、と、前記圧力変化量｜Ｐ５−Ｐ６｜（規定値）の比較を行う判定手段を設けることにより、検査対象となるリニア制御弁１の品質の良否を自動的に判定させることができる。

尚、図１に示される特性線Ｂにおける前記圧力変化量｜Ｐ３−Ｐ４｜と、特性線Ａにおける前記圧力変化量｜Ｐ５−Ｐ６｜（規定値）の大小比較において、圧力測定の誤差や、製品の個体差を加味し、補正値を設定することとしてもよい。
例えば、前記圧力変化量｜Ｐ３−Ｐ４｜に補正値を付加した合計値と、前記圧力変化量｜Ｐ５−Ｐ６｜の大小比較を行うことである。このことにより、不良判定において、前記補正値の値に対応した、いわゆる余裕幅を設けることができ、不良判定の厳しさを設定することが可能となる。

また、図１に示すごとく、前記第一時間Ｔ１、及び、前記第二時間Ｔ２は、駆動電流Ｉのスイープ制御を実施する期間Ｔ０〜Ｔ３のうちの前半の期間内に設定される。
これは、リニア制御弁１の弁体の動作の開始から終了までの期間のうちの前半の期間内にある初期期間Ｆにおいて、弁体が正常に動作するかを判断しようとするものであり、また、多くの場合、この初期期間Ｆにおいて動作不良が確認されていることからである。

また、このリニア制御弁１が、例えば、自動車のブレーキアクチュエータユニットの流量制御用の機能部品として適用される場合では、図３に示すごとく、この初期期間Ｆの弁体の動作は、ブレーキペダルの踏み込み量（ストローク）が少ない範囲に対応することになる。そして、この踏み込み量が少ない範囲において、前記リニア制御弁１が正常に動作しないと、ブレーキフィーリングに悪影響が及ぼされることになる。
つまり、例えば、ブレーキディスクに対するブレーキパッドの接触圧力につき、所望の圧力が瞬時に得られないといった制御遅れが生じ、ブレーキの効くタイミングが遅れてやってくるといったことが考えられる。
また、このブレーキ操作においてブレーキペダルの踏み込み量が少ない範囲では、ドライバーは、ブレーキフィーリングの良否を感じやすいため、図３に示される低流量領域Ｍ、即ち、踏み込み量が少ない範囲は、ブレーキ制御において重要な領域となる。

このことから、特に、リニア制御弁を自動車のブレーキアクチュエータユニットの流量制御用の機能部品として適用する場合において、前述のように初期期間Ｆにおいて、動作不良の有無を確認することは重要なポイントとなる。
尚、図３における低流量領域Ｍにつき、不良品では、流量が略一定でリニア（一定に傾きを有するということ）に変化しない領域が存在し、正常品では、低流量領域Ｍにおいても、流量がリニアに変化することが示されている。

また、図１に示すごとく、前記第一時間Ｔ１、第二時間Ｔ２の設定例については、例えば、測定される圧力の減少勾配が、０．００２５Ｍｐａ／ｍｓｅｃとなった時点を第一時間Ｔ１とし、その後、１５０ミリ秒（時間Δｔ）経過後の時間を第二時間Ｔ２とし、この場合において、第一時間Ｔ１における圧力Ｐ３と、第二時間Ｔ２における圧力Ｐ４の圧力変化量｜Ｐ３−Ｐ４｜が０．３Ｍｐａ以上であるときに、正常と判定すること等が考えられる。

次に、リニア制御弁の品質不良の判定方法の第二の例について説明する。
第二の例では、図１に示すごとく、駆動電流Ｉのスイープ制御の開始時間Ｔ０における圧力Ｐ１から、第一の圧力変化量ΔＰａだけ下がったときを、第一測定時間Ｔａとし、前記第一測定時間Ｔａにおける圧力Ｐ３から、第二の圧力変化量ΔＰｂだけ下がったときを、第二測定時間Ｔｂとし、前記第一測定時間Ｔａと前記第二測定時間Ｔｂの間の所要時間Δｔａを求め、前記所要時間ｔａが規定時間よりも長いときに、品質不良とするものである。

また、前記規定時間は、特性線Ａにて表現されるように、正常に動作するリニア制御弁における前記第一測定時間Ｔｃと、前記第二測定時間Ｔｄの間の所要時間Δｔｂであることとするものである。

また、前記第一測定時間Ｔａ・Ｔｃ、及び、前記第二測定時間Ｔｂ・Ｔｄは、駆動電流Ｉのスイープ制御を実施する期間Ｔ０〜Ｔ３のうちの前半の期間内に設定される。
これは、駆動電流Ｉのスイープ制御の初期期間Ｆにおける弁体の動作を評価しようとするものであり、その理由は、前述と同様である。

また、図４に示すごとく、この第二の方法においては、例えば、測定される圧力の減少勾配が、０．００２５Ｍｐａ／ｍｓｅｃとなった時点を第一測定時間Ｔａ・Ｔｃとし、前記第一測定時間Ｔａ・Ｔｃにおける圧力Ｐ３から、０．３Ｍｐａだけ下がったときを、第二測定時間Ｔｂとし、前記第一測定時間Ｔａと前記第二測定時間Ｔｂの間の所要時間Δｔａを求め、前記所要時間Δｔａが所要時間１５０ｍｓｅｃよりも短いときに、正常と判定すること等が考えられる。

そして、以上に述べた第一、第二のリニア制御弁の品質不良の判定方法を実施することで、リニア制御弁の品質不良を検出することができる。
また、特に、前記初期期間Ｆにおけるリニア制御弁の動作を評価することで、品質不良のあるリニア制御弁において多く発生する不具合を的確に捉えることができ、確実に品質不良を検出することが可能となる。

また、図２に示すごとく、検査対象となるリニア制御弁１を一つずつ検査することによれば、製品単体にて検査を行うことができ、品質不良のあるリニア制御弁１をリジェクトすることができる。
また、この他、例えば、自動車のブレーキアクチュエータユニットといったような回路を形成するとともに、この回路にエアを導通させてリニア制御弁の検査を実施してもよい。
また、以上のように、製品単体や、ブレーキアクチュエータ等のユニット単位で検査をすることによれば、製品やユニットを組付ける前段階において検査を実施することが可能となり、組付け後における動作不良による機能障害や、それに伴う大掛かりな交換作業等を未然に防ぐことが可能となる。

また、以上の実施例においては、ノーマルオープン型のリニア制御弁を例に挙げて説明をしたが、ノーマルクローズ型のリニア制御弁でも同様にして検査をすることが可能であることはいうまでもない。

実施例における検査結果について示す図。 検査装置の構成例について示す図。 不良／正常なリニア制御弁における流体の流量の挙動について示す図。 第二のリニア制御弁の品質不良の判定方法について説明する図。 品質不良のあるリニア制御弁の挙動について説明する図。

１ リニア制御弁
１０ 流体回路
１１ ポンプ
１２ 流体
１４ 動作制御手段
１５ センサ
２０ 測定手段

Claims (8)

1. 流体回路に検査対象となるリニア制御弁を設置し、
   前記リニア制御弁の駆動電流のスイープ制御を行い、前記リニア制御弁の弁体の開度の変更が行われ、
   前記駆動電流のスイープ制御時における、前記リニア制御弁の入口側、又は、出口側における流体の圧力変化を測定し、
   前記駆動電流のスイープ制御時における或る期間での前記流体圧力の変化量を求め、
   前記変化量の大小に基づいて、前記リニア制御弁の品質不良を検出し、
   前記或る期間は、リニア制御弁の弁体の動作の開始から終了までの期間のうち、前記リニア制御弁が不良であった場合には、前記駆動電流のスイープ制御時における前記流体圧力の測定結果である特性線の傾きが、正常なリニア制御弁の前記特性線の傾きよりも小さくなる期間内にある、
   リニア制御弁の品質不良の検査方法。
2. 駆動電流のスイープ制御時において、前記或る期間の開始のときである第一時間における前記流体の圧力と、前記第一時間から所定時間経過したときである第二時間における前記流体の圧力から、前記所定時間における前記流体の圧力変化量を求め、前記圧力変化量が規定値より小さいときに、品質不良とする、
   ことを特徴とする、請求項１に記載のリニア制御弁の品質不良の検査方法。
3. 前記規定値は、正常に動作するリニア制御弁を検査対象として検査した場合での、前記第一時間における前記流体の圧力と、前記第二時間における前記流体の圧力の差で求まる、圧力変化量とする、
   ことを特徴とする、請求項２に記載のリニア制御弁の品質不良の検査方法。
4. 駆動電流のスイープ制御の開始時間における圧力から、第一の圧力変化量だけ下がったときを、第一測定時間とし、前記第一測定時間における圧力から、第二の圧力変化量だけ下がったときを、第二測定時間とし、前記第一測定時間と前記第二測定時間の間の所要時間を求め、前記所要時間が規定時間よりも長いときに、品質不良とする、
   ことを特徴とする、請求項１に記載のリニア制御弁の品質不良の検査方法。
5. 前記規定時間は、正常に動作するリニア制御弁における前記第一測定時間と、前記第二測定時間の間の所要時間である、
   ことを特徴とする、請求項４に記載のリニア制御弁の品質不良の検査方法。
6. 検査対象となるリニア制御弁を設置する流体回路と、
   前記流体回路に検査用の流体を供給する流体供給手段と、
   前記リニア制御弁に駆動電流を入力するとともに、前記駆動電流をスイープ制御するための動作制御手段と、
   前記リニア制御弁の入口側、又は、出口側における前記流体回路内の前記流体の圧力検出手段と、
   前記動作制御手段、及び、前記圧力検出手段と接続され、前記動作制御手段から前記リニア制御弁に入力される駆動電流の値と、前記圧力検出手段から入力される圧力の値を記憶するための測定手段と、
   前記駆動電流のスイープ制御時における或る期間の流体圧力の変化量の大小に基づいて品質を判定する手段とを具備し、
   前記或る期間は、リニア制御弁の弁体の動作の開始から終了までの期間のうち、前記リニア制御弁が不良であった場合には、前記駆動電流のスイープ制御時における前記流体圧力の測定結果である特性線の傾きが、正常なリニア制御弁の前記特性線の傾きよりも小さくなる期間内にある、
   リニア制御弁の品質不良の検査装置。
7. 駆動電流のスイープ制御時において、前記或る期間の開始のときである第一時間における前記流体の圧力と、前記第一時間から所定時間経過したときである第二時間における前記流体の圧力から、前記所定時間における前記流体の圧力変化量を求め、前記圧力変化量が規定値より小さいときに、品質不良と判定する手段を備えた請求項６に記載のリニア制御弁の品質不良の検査装置。
8. 駆動電流のスイープ制御の開始時間における圧力から、第一の圧力変化量だけ下がったときを、第一測定時間とし、前記第一測定時間における圧力から、第二の圧力変化量だけ下がったときを、第二測定時間とし、前記第一測定時間と前記第二測定時間の間の所要時間を求め、前記所要時間が規定時間よりも長いときに、品質不良と判定する手段を備えた請求項６に記載のリニア制御弁の品質不良の検査装置。

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