JP4687358B2 - 通信用発光素子及びそれを用いた光通信装置 - Google Patents
通信用発光素子及びそれを用いた光通信装置 Download PDFInfo
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サファイヤ基板101の底面に当たる反対側の最下部には、膜厚約500nmのアルミニウム(Al)より成る反射金属層150が、金属蒸着により成膜されている。尚、この反射金属層150は、Rh,Ti,W等の金属の他、TiN,HfN等の窒化物でも良い。
表面に凹凸を有するサファイア基板101の代わりに、表面加工をしないサファイア基板を用いたほかは、上記実施例と全く同様に形成した半導体発光素子を第1の比較例として形成し、その特性を測定した。発光波長は500nm、光出力は1.6mW、小信号遮断周波数は38MHzと測定された。尚、電源オンから光出力が安定値の90%に達するまでの立ち上がり時間は6.5ns、電源オフから光出力が安定値の10%を切るまでの立ち下がり時間は12.0nsであった。この比較例1に対し、表面に凹凸を有するサファイア基板101を用いた実施例1の通信用の半導体発光素子100は、光出力で31%の向上が得られ、遮断周波数においては18%の向上が得られた。
表面に凹凸を有するサファイア基板101の代わりに、表面加工をしないサファイア基板を用い、発光層を井戸層を3層有する多重量子井戸層とした他は上記実施例と全く同様に形成した半導体発光素子を第2の比較例として形成し、その特性を測定した。小信号遮断周波数は28MHzと測定された。尚、電源オンから光出力が安定値の90%に達するまでの立ち上がり時間は11.1ns、電源オフから光出力が安定値の10%を切るまでの立ち下がり時間は13.8nsであった。この比較例2に対し、表面に凹凸を有するサファイア基板101を用いた実施例1の通信用の半導体発光素子100は、遮断周波数においては61%の向上が得られた。
本発明は、上記実施例に限定されるものではなく他に様々な変形が考えられる。例えば、III族窒化物系化合物半導体素子として、GaN系の半導体層を用いたが、勿論GaxIn1-xN等から成る層、その他、任意の混晶比の3元乃至4元系のAlGaInNとしても良い。より具体的には、「AlxGayIn1-x-yN(0≦x≦1,0≦y≦1,0≦x+y≦1)」成る一般式で表される3元(GaInN,AlInN,AlGaN)或いは4元(AlGaInN)のIII族窒化物系化合物半導体等を用いることもできる。また、そられの化合物のNの一部をP、As等のV族元素で置換しても良い。
101:サファイヤ基板
102:バッファ層
103:高キャリア濃度n+層
104:n型半導体層
105:発光層
106:p型半導体層
107:p型コンタクト層
110:透光性薄膜正電極
120:正電極
130:保護膜
140:負電極
150:反射金属層
Claims (2)
- III族窒化物系化合物半導体を発光層とした通信用発光素子において、
結晶成長側の面に凹凸加工が施されて凸部がドット状に点在した基板と、
前記基板上に成長された発光層を含むIII族窒化物系化合物半導体の積層とを有し、
前記基板の結晶成長側の面に存在する前記凸部は、平方ミリメートルあたり4万個以上点在し、
前記積層は、前記凸部の周辺部における結晶欠陥が、前記凹凸加工がない場合に比べて、増加した層であり、
前記発光層は単一量子井戸構造としたことを特徴とする通信用発光素子。 - 請求項1に記載の通信用発光素子をPOFに接続したことを特徴とする光通信装置。
Priority Applications (1)
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JP2005283933A JP4687358B2 (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 通信用発光素子及びそれを用いた光通信装置 |
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JP2005283933A JP4687358B2 (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 通信用発光素子及びそれを用いた光通信装置 |
Publications (3)
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JP2007096026A JP2007096026A (ja) | 2007-04-12 |
JP2007096026A5 JP2007096026A5 (ja) | 2008-01-31 |
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---|---|---|---|---|
JPH10200154A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Toshiba Corp | 光半導体素子及びその製造方法 |
JP2001158691A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-12 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | サファイヤ基板 |
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2005
- 2005-09-29 JP JP2005283933A patent/JP4687358B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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JPH10200154A (ja) * | 1997-01-10 | 1998-07-31 | Toshiba Corp | 光半導体素子及びその製造方法 |
JP2001158691A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-12 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | サファイヤ基板 |
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