JP4678987B2 - Circuit board suction device and circuit board inspection device - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、吸引型の基板載置台を備えた回路基板吸着装置、およびその回路基板吸着装置を用いて構成された回路基板検査装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
この種の回路基板吸着装置として、図25に示す回路基板検査装置61に使用されている回路基板吸着装置51が従来から知られている。この回路基板吸着装置51は、吸引型の基板載置台52および図外の吸引手段(一例としてエアポンプ)を備え、回路基板Pを基板載置台52上に吸着保持する機能を有している。この場合、基板載置台52は、上面が開口された箱状のケース11aと、ケース11aの上面開口部位に装着されると共に複数の吸入孔IHが回路基板Pの載置領域内に形成された載置板52bと、載置板52bの上面に貼付された平板状の多孔性絶縁シート11cとを備えて構成されている。また、ケース11aと載置板52bとで囲まれて形成される基板載置台52の内部空間Sは、ケース11aに設けられた吸出口OHを介してエアポンプに連通されている。
【0003】
回路基板検査装置61は、回路基板吸着装置51と、プローブ固定具4a,4aを介して図外の移動機構に取り付けられた検査用プローブ4,4と、回路基板吸着装置51や移動機構の動作制御および検査用プローブ4,4を介しての検査処理を実行する図外の制御部と、制御部の演算結果や良品基板から吸収した検査用基準データを一時的に記憶する図外のRAMと、制御部の動作プログラムを記憶する図外のROMとを備えて構成されている。
【0004】
この回路基板検査装置61を用いた回路基板Pの検査に際しては、まず、載置板52bにおける載置領域内に位置するように、回路基板Pを多孔性絶縁シート11c上に載置する。次に、制御部の制御に従い、エアポンプが、基板載置台52における内部空間Sの空気を吸出口OHを介して吸出する。これに伴い、多孔性絶縁シート11c、および載置板52bに形成された吸入孔IHを介して内部空間S内に取り込まれた空気が吸出口OHを介して内部空間Sの外部に排出される。この場合、多孔性絶縁シート11c上に載置された回路基板Pによって多孔性絶縁シート11cの表面の一部が塞がれるため、内部空間S内に取り込まれる空気量よりも排気される空気量が多くなる結果、内部空間Sの内部が負圧となる。したがって、多孔性絶縁シート11c上に載置された回路基板Pは、基板載置台52(詳細には多孔性絶縁シート11c)上における所定の検査位置に吸着保持される。次いで、移動機構が、制御部の制御下で、回路基板Pの表面に形成された検査対象の導体パターン(図示せず)の上方に検査用プローブ4,4をそれぞれ移動させる。続いて、制御部が、移動機構を駆動してプローブ固定具4a,4aを下動させることにより、図25に示すように、検査用プローブ4,4の先端部が導体パターンに接触させられる。この状態で、制御部が、検査用プローブ4,4を介して導体パターンに所定の検査信号を順次出力して、例えば導体パターンの両端点間、または一対の導体パターン間の抵抗値等の電気的特性データを測定する。この後、制御部が、測定した電気的特性データと、RAMから読み出した検査用基準データとを比較することにより、導体パターンの断線や導体パターン間の短絡の有無を検査する。この電気的検査をすべての検査対象の導体パターンについて順次実行することにより、回路基板Pの良否が判別される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の回路基板吸着装置51およびこれを用いた回路基板検査装置61には、以下の問題点がある。すなわち、従来の回路基板吸着装置51および回路基板検査装置61では、エアポンプが作動を開始した際に、載置板52bに形成されたすべての吸入孔IHから空気が同時に内部空間S内に取り込まれている。このため、回路基板Pの全面が瞬間的に多孔性絶縁シート52cに吸着される結果、薄厚の回路基板Pを検査する際には、回路基板Pに皺や撓みが生じ易くなるという問題点がある。
【0006】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、薄厚の回路基板であっても皺や撓みを生じさせることなく回路基板を吸着保持し得る回路基板吸着装置を提供することを主目的とする。また、これを用いた回路基板検査装置を提供することを他の目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項1記載の回路基板吸着装置は、一面が開口された箱状のケース、および当該ケースの開口部位に装着されると共に回路基板の載置領域内に複数の吸入孔が形成された載置板を備えた基板載置台と、前記ケースの内部の空気を吸引する吸引手段とを備えた回路基板吸着装置であって、前記吸引手段による吸引時に前記複数の吸入孔と前記ケースの内部とを連通させる吸入孔連通機構を備え、前記載置板は、前記ケースの前記開口部位に装着された下載置板と、当該下載置板の上面に当該下載置板に対して摺動自在に配置された上載置板とを備えて構成され、前記下載置板および上載置板のいずれか一方には、複数の第1吸入孔が所定ピッチで形成され、前記下載置板および上載置板のいずれか他方には、前記第1吸入孔に対向する端部から所定の向き側の端部までの長さが前記載置領域における一の所定部位側に位置するほど長い長孔状の第2吸入孔が複数形成され、前記各吸入孔は、互いに連通可能な一対の前記第1吸入孔および前記第2吸入孔でそれぞれ形成され、前記吸入孔連通機構は、前記下載置板を前記上載置板に対して相対的に前記所定の向きに移動させて前記第1吸入孔と前記第2吸入孔とを互いに連通させる駆動手段を備えて構成されて、前記一の所定部位に位置する前記第1吸入孔および前記第2吸入孔から順次連通させることを特徴とする。
【0008】
請求項2記載の回路基板吸着装置は、請求項1記載の回路基板吸着装置において、前記一の所定部位は、前記載置領域における一の周縁部位であることを特徴とする。
【0009】
請求項3記載の回路基板吸着装置は、請求項1記載の回路基板吸着装置において、前記一の所定部位は、前記載置領域における中央部位であることを特徴とする。
【0010】
請求項4記載の回路基板吸着装置は、請求項1から3のいずれかに記載の回路基板吸着装置において、前記載置板は、前記各第2吸入孔が前記下載置板に形成されて構成されていることを特徴とする。
【0011】
請求項5記載の回路基板検査装置は、請求項1から4のいずれかに記載の回路基板吸着装置と、当該回路基板吸着装置によって吸着保持された回路基板に対する回路基板検査を実行する制御部とを備えたことを特徴とする。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る回路基板吸着装置および回路基板検査装置の好適な発明の実施の形態について説明する。なお、従来の回路基板吸着装置51および回路基板検査装置61と同一の構成要素、および検査対象の回路基板Pについては、同一の符号を付して重複した説明を省略する。
【0013】
最初に、本発明における回路基板検査装置1および回路基板吸着装置2の構成について、各図を参照して説明する。
【0014】
図1に示すように、回路基板検査装置1は、回路基板吸着装置2、移動機構3,3、検査用プローブ4,4、制御部5、RAM6およびROM7を備えて構成されている。この場合、移動機構3,3は、プローブ固定具4a,4aを介して検査用プローブ4,4がそれぞれに取り付けられている(図2参照)。制御部5は、回路基板吸着装置2や移動機構3,3の動作制御、および検査用プローブ4,4を使用しての検査処理を実行する。RAM6は、制御部5の演算結果や良品基板から吸収した検査用基準データを一時的に記憶する。ROM7は、制御部5の動作プログラムを記憶する。
【0015】
回路基板吸着装置2は、図1に示すように、吸引型の基板載置台11、吸引手段としての例えばエアポンプ12、および本発明における吸入孔連通機構の駆動手段を構成する例えばエアシリンダ13を備え、回路基板Pを基板載置台11上に吸着して保持する。
【0016】
基板載置台11は、図2に示すように、上面(一面)が開口された箱状のケース11aと、ケース11aの上面開口部位に装着されると共に回路基板Pの載置領域R(図3参照)内に複数の吸入孔IHが所定のピッチで(一例としてマトリックス状に)形成された載置板11bと、載置板11bの上面に貼付された平板状の多孔性絶縁シート11cとを備えている。また、基板載置台11は、その内部に内部空間Sが形成され、この内部空間Sは吸出口OHを介してエアポンプ12に連通されている。
【0017】
この場合、ケース11aは、ガイド機構(図示せず)により、所定の向き(一例としてマトリックス状に配置された複数の吸入孔IHにおける行方向(図2,3中の矢印A方向))に沿って直線的に移動自在に支持されている。載置板11bは、ケース11aの上面開口部位に装着された下載置板11LOと、この下載置板11LOに対して相対的に摺動自在に下載置板11LOの上面に配置された上載置板11UPとを備えて構成されている。具体的には、上載置板11UPは、その上面に多孔性絶縁シート11cが装着され、保持機構(図示せず)によって所定位置に保持されている。また、上載置板11UPには、図3に示すように、吸入孔IHを構成する第1吸入孔IH1 が所定のピッチでマトリックス状に載置領域R内に複数形成されている。この場合、各第1吸入孔IH1 は、例えば、その平面視形状が同一(一例として円形)にそれぞれ形成されている。なお、第1吸入孔IH1 および後述する第2吸入孔IH2 は数多く形成されているが、以下、理解を容易にすべく、図3〜図13、図20〜図24では、一例として3×3のマトリックス状に9個形成されているものとし、また、図14〜図19では、一例として5×5のマトリックス状に25個形成されているものとして説明する。
【0018】
一方、下載置板11LOは、ケース11a、およびエアポンプ12と相俟って本発明における吸入孔連通機構を構成する。この下載置板11LOは、その下面の周縁部がケース11aの口縁に密着した状態でケース11aに装着され、ガイド機構によってケース11aと共に移動させられる。また、下載置板11LOには、図4に示すように、第1吸入孔IH1 と相俟って吸入孔IHを構成する第2吸入孔IH2 がマトリックス状に形成されている。この場合、第2吸入孔IH2 ,IH2 ・・の各々は、その各左端部が対応する各第1吸入孔IH1 に対向可能な位置にそれぞれ形成されている。また、下載置板11LOの右側部分に位置する各第2吸入孔IH2 は、その左端部から右方向(エアポンプ12による吸着時にケース11aが移動する同図の矢印A方向側、本発明における所定の向き側)に延びる長孔状に形成されている。この場合、同図の最右列部位(一の所定部位)に位置する第2吸入孔IH2 の孔長が最も長く、この最右列部位から離れるに従って(左方向に向かうに従って)、その孔長が次第に短くなるように形成され、同図中の最左列部位に位置する第2吸入孔IH2 は、ほぼ円形に形成されている。また、孔長が最も長い第2吸入孔IH2 は、その孔長が第1吸入孔IH1 の列ピッチよりも短く形成され、図5に示すように、下載置板11LOが初期位置(図2において最も左側の位置)に移動した際に、図3における最右列の第1吸入孔IH1 と中間列の第1吸入孔IH1 との間に位置して、これらの第1吸入孔IH1 ,IH1 の両者に連通しないように構成されている。
【0019】
次に、回路基板検査装置1による回路基板Pの検査時における動作について、各図を参照して説明する。
【0020】
まず、制御部5が、エアシリンダ13を駆動して、ケース11aを初期位置に移動させる。なお、ケース11aが既に初期位置に移動している状態では、この制御部5による制御は不要となる。この状態では、図5に示すように、すべての第2吸入孔IH2 が対応する各第1吸入孔IH1 の左側に位置することにより、すべての吸入孔IHが上載置板11UPの上面から下載置板11LOの下面まで連通しない閉状態に維持される。次に、制御部5は、エアポンプ12を駆動して、基板載置台11における内部空間Sの空気を吸い出させる。これにより、基板載置台11の内部空間Sは、大気圧に対して負圧の状態に維持される。
【0021】
次いで、検査対象の回路基板Pを基板載置台11上の載置領域R内に載置する。次に、制御部5は、エアシリンダ13を駆動して、ケース11aを所定の向き(図5において矢印Aの右方向)に移動させる。この際に、下載置板11LOは、ケース11aの移動に従い、上載置板11UPに対して矢印A方向に摺動しつつ移動する。この場合、まず、図6に示すように、一の所定部位(最右列)に形成された斜線で示す第1吸入孔IH1 が、対応する第2吸入孔IH2 (最右列の第2吸入孔IH2 )と対向して互いに連通する。この結果、最右列の吸入孔IHが連通形成され、この吸入孔IHを介して上載置板11UPの上面側と内部空間Sとが連通する。これにより、回路基板Pは、その右側部位(矢印A方向側の端部部位)が多孔性絶縁シート11cを介して上載置板11UPに吸着される。次いで、ケース11aがさらに移動した際には、図7に示すように、中間列に形成された斜線で示す第1吸入孔IH1 も、対応する第2吸入孔IH2 (中間列の第2吸入孔IH2 )と対向して互いに連通する。この結果、この中間列の吸入孔IHが連通形成され、この吸入孔IHを介して上載置板11UPの上面側と内部空間Sとが連通する。これにより、回路基板Pは、その右側部位および中間部位が多孔性絶縁シート11cを介して上載置板11UPに吸着される。この場合、回路基板Pが薄厚に形成されているときには、回路基板Pは、一時に全面吸着されるときとは異なり、一の所定部位(最右列)側から回路基板Pの移動方向と逆側(矢印Aと逆向きの左端部側)に向かって順次吸着され、かつ、直前に連通した吸入孔IHと新たに連通した吸入孔IHとの間の離間距離が短いため、皺や撓みが生じることなく吸着される。
【0022】
この後、ケース11aがさらに移動した際には、図8に示すように、最右列および中間列に形成された第1吸入孔IH1 に加えて、最左列に形成された斜線で示す第1吸入孔IH1 が、対応する第2吸入孔IH2 (最左列の第2吸入孔IH2 )と対向して互いに連通する。この結果、すべての吸入孔IHが連通形成され、各吸入孔IHを介して上載置板11UPの上面側と内部空間Sとが連通する。これにより、回路基板Pは、全面に亘って上載置板11UPに吸着される。つまり、基板載置台11上に載置された回路基板Pは、一の所定部位側から左側端部に亘り順次基板載置台11に吸着され、最終的に全面が吸着されて基板載置台11によって保持される。続いて、制御部5は、エアシリンダ13の駆動を停止してケース11aの移動を停止する。
【0023】
次いで、制御部5は、移動機構3,3を駆動制御することにより、検査対象の回路基板Pに形成された導体パターン(図示せず)の上方に検査用プローブ4,4を移動させる。続いて、制御部5は、移動機構3,3を駆動して検査用プローブ4,4を下動させることにより、図2に示すように、検査用プローブ4,4の先端部を導体パターンに接触させる。次に、制御部5は、一方の検査用プローブ4を介して導体パターンに所定の検査信号を順次出力しつつ、他方の検査用プローブ4を介して検査信号を入力することにより、回路基板Pについての電気的特性データを測定する。次いで、制御部5は、測定した電気的特性データと、RAM6から読み出した検査用基準データとを比較することにより、導体パターン間の断線や短絡の有無を検査する。この電気的検査をすべての検査対象の導体パターンについて順次実行することにより、回路基板Pの良否が判別される。続いて、制御部5は、回路基板Pの良否を判別した後、エアシリンダ13を駆動してケース11aを矢印A方向の逆方向に移動させることにより、回路基板Pを初期位置に復帰させる。この状態では、すべての吸入孔IHは、第1吸入孔IH1 と第2吸入孔IH2 とが非連通状態となるため、閉状態に維持される。したがって、回路基板吸着装置2による回路基板Pの吸着動作が解除される。この後、検査済みの回路基板Pを回路基板吸着装置2から取り外して新たな回路基板Pが載置される。
【0024】
このように、この回路基板検査装置1によれば、基板載置台11上に載置された回路基板Pを、一の所定部位側(ガイド機構によるケース11aの移動方向(A方向)側の先端部)から、ケース11aの移動方向(A方向)とは逆向きで回路基板Pの各部位を順次基板載置台11に吸着させ、最終的に全面を吸着して基板載置台11上に保持することにより、薄厚の回路基板Pを吸着保持する際にも、回路基板Pに皺や撓みを生じさせることなく確実に吸着することができる。また、薄厚の紙や布などを用いて多孔性絶縁シート11cを構成した場合には、この多孔性絶縁シート11cにおける皺の発生も回避することができる。この結果、回路基板Pに対する検査用プローブ4によるブロービングの確実性および最終検査の信頼性を十分に向上させることができる。
【0025】
なお、本発明は、上記した本発明の実施の形態に示した構成に限定されない。例えば、下載置板11LOに代えて図9に示す下載置板21LOを採用し、上載置板11UPと共に載置板21b(図2参照)を構成することもできる。この下載置板21LOには、第1吸入孔IH1 と共に吸入孔IHを構成する第2吸入孔IH3 が形成されている。第2吸入孔IH3 は、第2吸入孔IH2 と同様にして、図13に示すように、その左端部が第1吸入孔IH1 に対向する位置に形成されている。また、右側に位置する第2吸入孔IH3 は、その左端部から右方向(同図においてケース11aが移動する矢印A方向)に延びる長孔状に形成されている。この場合、第2吸入孔IH3 は、一の所定部位(同図の右上隅部位)に位置するほど孔長が長く、この一の所定部位から離れるに従って孔長が次第に短くなるように形成されている。また、最左列および最下行に位置する第2吸入孔IH3 は、ほぼ円形に形成されている。なお、一の所定部位に位置して孔長が最も長い第2吸入孔IH3 は、その孔長が第1吸入孔IH1 の列ピッチよりも短く形成され、下載置板11LOが初期位置に移動した際に、図3における最右列最上行に位置する第1吸入孔IH1 と中間列最上行に位置する第1吸入孔IH1 との間に位置して、これらの第1吸入孔IH1 ,IH1 の両者に連通しないように構成されている。
【0026】
この載置板21bを備えた基板載置台21では、制御部5の制御下で、エアシリンダ13が、すべての第2吸入孔IH3 が対応する第1吸入孔IH1 と対向しない状態の図10に示す初期位置から、ケース11aを所定の向き(図9において矢印Aで示す右方向)に徐々に直線的に移動させる。この際に、まず、図11に示すように、一の所定部位に位置する第2吸入孔IH3 が、斜線で示す対応する第1吸入孔IH1 に連通する。これにより、一の所定部位に位置する吸入孔IHが開状態となり、この吸入孔IHを介して上載置板11UPの上面側と内部空間Sとが連通する。その後、ケース11aをさらに移動させた際には、図12,13に示すように、開状態となる吸入孔IHが、一の所定部位に位置する吸入孔IHを中心にして載置領域Rの周縁に順次拡がりつつ増加し、最終的にすべての吸入孔IHが開状態となる。したがって、基板載置台11と同様にして、薄厚の回路基板Pを吸着保持する際にも、皺や撓みを生じさせることなく回路基板Pを吸着することができる。なお、図10〜図13では、理解を容易にすべく、上載置板11UPに形成された第1吸入孔IH1 および下載置板21LOに形成された第2吸入孔IH3 のみを図示する。
【0027】
また、上載置板11UPに代えて図14に示す上載置板31UPを採用すると共に下載置板11LOに代えて図15に示す下載置板31LOを採用して載置板31bを構成することもできる。この上載置板31UPには、上載置板11UPと同様の第1吸入孔IH1 が、マトリックス状(5×5)に形成されている。一方、下載置板31LOには、第2吸入孔IH4 がマトリックス状(5×5)に形成されている。この場合、第2吸入孔IH4 は、第2吸入孔IH2 と同様にして、図19に示すように、その左端部が第1吸入孔IH1 に対向可能な位置に形成されている。また、中央部分に位置する第2吸入孔IH4 は、その左端部から右方向(図15においてケース11aが移動する矢印A方向)に延びる長孔状に形成されている。この場合、第2吸入孔IH4 は、一の所定部位(図15において中央部位)に位置するほど孔長が長く、この一の所定部位から離れるに従って(すなわち下載置板31LOの周縁に向かうに従って)孔長が次第に短くなるように形成されている。また、下載置板31LOの周縁に位置する第2吸入孔IH4 は、ほぼ円形に形成されている。なお、一の所定部位に位置して孔長が最も長い第2吸入孔IH4 は、図16に示すように、その孔長が第1吸入孔IH1 の列ピッチよりも短く形成され、下載置板31LOが初期位置に移動した際に、図14における左から2列目の第1吸入孔IH1 と左から3列目の第1吸入孔IH1 との間に位置して、これらの第1吸入孔IH1 ,IH1 の両者に連通しないように構成されている。
【0028】
この載置板31bを備えた基板載置台31では、制御部5の制御下で、エアシリンダ13が、すべての第2吸入孔IH4 が対応する第1吸入孔IH1 と対向しない状態の図16に示す初期位置から、ケース11aを所定の向き(図15において矢印Aで示す右方向)に徐々に直線的に移動させる。この際に、まず、図17に示すように、一の所定部位(中央部位)に位置する第2吸入孔IH4 が、斜線で示す対応する第1吸入孔IH1 に連通する。これにより、一の所定部位に位置する吸入孔IHが開状態となり、この吸入孔IHを介して上載置板11UPの上面側と内部空間Sとが連通する。その後、ケース11aをさらに移動させた際には、図18,19に示すように、開状態となる吸入孔IHが、一の所定部位に位置する吸入孔IHを中心にして載置領域Rの周縁に順次拡がりつつ増加し、最終的にすべての吸入孔IHが開状態となる。したがって、薄厚の回路基板Pを吸着保持する際にも、皺や撓みを生じさせることなく回路基板Pを吸着することができる。なお、図16〜図19では、理解を容易にすべく、上載置板31UPに形成された第1吸入孔IH1 および下載置板31LOに形成された第2吸入孔IH4 のみを図示する。
【0029】
また、下載置板11LOに代えて図20に示す下載置板41LOを採用して、上載置板11UPと共に載置板41bを構成することもできる。この下載置板41LOには、第1吸入孔IH1 と共に吸入孔IHを構成する第2吸入孔IH5 がマトリックス状(3×3)に形成されている。この場合、第2吸入孔IH5 は、図24に示すように、その左端部が第1吸入孔IH1 に対向可能な位置に形成されている。また、同図において右上側に位置する第2吸入孔IH5 は、その左端部からから所定の向き(ケース11aの移動方向(図20における矢印B方向))に延びる長孔状に形成されている。この場合、第2吸入孔IH5 は、一の所定部位(図20における右上隅部位)に位置するほど孔長が長く、この一の所定部位から離れるに従って(すなわち下載置板41LOの左下縁に向かうに従って)孔長が次第に短くなるように形成されている。また、下載置板41LOの最左列および最下行に位置する第2吸入孔IH5 は、ほぼ円形に形成されている。一方、載置板41bは、エアシリンダ13によって、ケース11aと共に、所定の中心点CP(図20において、下載置板41LOに対して外側の右上方向に位置する)を中心として矢印Bの円弧状の向きで移動させられる。このため、第2吸入孔IH5 は、円弧状に延出形成されている。なお、一の所定部位に位置して孔長が最も長い第2吸入孔IH5 は、図21に示すように、下載置板41LOが初期位置に移動した際に、図3における最右列最上行の第1吸入孔IH1 に対して斜め左上に位置して、この第1吸入孔IH1 に連通しないように構成されている。
【0030】
この載置板41bを備えた基板載置台41では、制御部5の制御下で、エアシリンダ13が、すべての第2吸入孔IH5 が対応する第1吸入孔IH1 と対向しない状態の図21に示す初期位置から、ケース11aを所定の向き(図20において矢印Bで示す右下方向)で徐々に円弧状に移動させる。この際に、まず、図22に示すように、一の所定部位(右上隅部位)に位置する第2吸入孔IH5 が、斜線で示す対応する第1吸入孔IH1 に連通する。これにより、一の所定部位に位置する吸入孔IHが開状態となり、この吸入孔IHを介して上載置板11UPの上面側と内部空間Sとが連通する。その後、ケース11aをさらに円弧移動させた際に、図23,24に示すように、開状態となる吸入孔IHが、一の所定部位に位置する吸入孔IHを中心にして載置領域Rの周縁に順次拡がりつつ増加し、最終的にすべての吸入孔IHが開状態となる。したがって、薄厚の回路基板Pを吸着保持する際にも、皺や撓みを生じさせることなく回路基板Pを吸着することができる。なお、図20〜図24では、理解を容易にすべく、上載置板11UPに形成された第1吸入孔IH1 および下載置板41LOに形成された第2吸入孔IH5 のみを図示する。
【0031】
また、上述した各実施の形態では、各吸入孔IHは、一の所定部位に位置する吸入孔IHから、一列および一行(または二列および二行)ずつ順次開状態となるように構成されているが、例えば吸入孔IHが多数の行および列で構成されるマトリックス状に形成されている場合には、2列および2行を超える単位で閉状態から開状態に同時に移行させる構成を採用することもできる。また、各吸入孔IHの配置は、マトリックス状に代えて、例えば千鳥状の配列とするなど、任意に配置することができる。また、下載置板に第1吸入孔を形成し、上載置板に長孔(第2吸入孔)を形成する構成を採用することもできる。ただし、上載置板に長孔を形成した構成では、多孔性絶縁シート11cが長孔内に吸い込まれるおそれがあるため、下載置板に長孔を形成するのが好ましい。また、開状態となる吸入孔IHの数が増加するに従ってエアポンプ12の吸引力を次第に強くする構成を採用することもできる。さらに、第1吸入孔IH1 の平面視形状は、円形に限らず、多角形、楕円等、種々の形状に形成することができる。さらに、各第1吸入孔IH1 の形状は、平面視形状が同一である必要はなく、異形状であってもよい。この構成を採用する場合には、その第1吸入孔IH1 の形状に合致するように第2吸入孔IH2 の形状を規定すればよい。また、ケース11aを固定し、上載置板11UP,31UP側をエアシリンダ13で駆動して移動させる構成を採用することもできる。また、駆動手段13として、エアシリンダ13に代えて電動モータを使用することもできる。
【0032】
【発明の効果】
以上のように、請求項1から3記載の回路基板吸着装置によれば、吸入孔連通機構が複数の吸入孔に対して一の所定部位に位置する吸入孔から順次連通させることにより、基板載置台上に載置された回路基板における一の所定部位側から順次基板載置台に吸着し、最終的に全面を吸着して基板載置台上に保持することができる。したがって、薄厚の回路基板を吸着保持する際にも、皺や撓みを生じさせることなく回路基板の平坦性を維持しつつ確実に保持することができる。また、ケースの開口部位に装着された下載置板と下載置板の上面に配置された上載置板とで載置板を構成し、下載置板および上載置板のいずれか一方には、複数の第1吸入孔を形成し、下載置板および上載置板のいずれか他方には、第1吸入孔と互いに連通して吸入孔を形成可能な長孔状の第2吸入孔を複数形成し、吸入孔連通機構の駆動手段が、下載置板を上載置板に対して相対的に所定の向きに移動させて第1吸入孔と第2吸入孔とを互いに連通させることにより、比較的簡易な構造でありながら、薄厚の回路基板を吸着保持する際にも、皺や撓みを生じさせることなく回路基板の平坦性を維持しつつ保持することができる。
【0033】
また、請求項4記載の回路基板吸着装置によれば、各第2吸入孔を下載置板に形成して載置板を構成したことにより、上載置板の上面に多孔性絶縁シートを装着したときに、この多孔性絶縁シートが長孔内に吸い込まれる事態を回避することができる。
【0034】
また、請求項5記載の回路基板吸着装置によれば、請求項1から4のいずれかに記載の回路基板吸着装置と、回路基板吸着装置によって吸着保持された回路基板に対する回路基板検査を実行する制御部とを備えたことにより、薄厚の回路基板を吸着保持する際にも、皺や撓みを生じさせることなく回路基板の平坦性を維持しつつ保持することができる。この結果、回路基板に対するブロービングの確実性および最終検査の信頼性を十分に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る回路基板検査装置1の構成を示す構成図である。
【図2】回路基板吸着装置2の構成を説明するための説明図である。
【図3】回路基板吸着装置2の上載置板11UPの構成を示す平面図である。
【図4】回路基板吸着装置2の下載置板11LOの構成を示す平面図である。
【図5】吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、すべての吸入孔IHが閉状態のときの説明図である。
【図6】吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、一の所定部位に位置する吸入孔IHのみが開状態のときの説明図である。
【図7】吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、一の所定部位に隣接する吸入孔IHも開状態のときの説明図である。
【図8】吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、すべての吸入孔IHが開状態のときの説明図である。
【図9】回路基板吸着装置2における下載置板21LOの構成を示す平面図である。
【図10】下載置板21LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、すべての吸入孔IHが閉状態のときの説明図である。
【図11】下載置板21LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、一の所定部位に位置する吸入孔IHのみが開状態のときの説明図である。
【図12】下載置板21LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、一の所定部位に隣接する吸入孔IHも開状態のときの説明図である。
【図13】下載置板21LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、すべての吸入孔IHが開状態のときの説明図である。
【図14】回路基板吸着装置2の上載置板31UPの構成を示す平面図である。
【図15】回路基板吸着装置2の下載置板31LOの構成を示す平面図である。
【図16】上載置板31UPおよび下載置板31LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、すべての吸入孔IHが閉状態のときの説明図である。
【図17】上載置板31UPおよび下載置板31LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、一の所定部位に位置する吸入孔IHのみが開状態のときの説明図である。
【図18】上載置板31UPおよび下載置板31LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、一の所定部位に隣接する吸入孔IHも開状態のときの説明図である。
【図19】上載置板31UPおよび下載置板31LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、すべての吸入孔IHが開状態のときの説明図である。
【図20】回路基板吸着装置2の下載置板41LOの構成を示す平面図である。
【図21】下載置板41LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、すべての吸入孔IHが開状態のときの説明図である。
【図22】下載置板41LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、一の所定部位に位置する吸入孔IHのみが開状態のときの説明図である。
【図23】下載置板41LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、一の所定部位に隣接する吸入孔IHも開状態のときの説明図である。
【図24】下載置板41LOを用いた構成における吸入孔IHの開閉動作を説明するための説明図であって、すべての吸入孔IHが開状態のときの説明図である。
【図25】従来の回路基板検査装置61の構成を示す構成図である。
【符号の説明】
1 回路基板検査装置
2 回路基板吸着装置
3 移動機構
4 検査用プローブ
5 制御部
6 RAM
7 ROM
11,21,31,41 基板載置台
11a ケース
11b,21b,31b,41b 載置板
11UP,31UP 上載置板
11LO,21LO,31LO,41LO 下載置板
12 エアポンプ
13 エアシリンダ
IH 吸入孔
IH1 第1吸入孔
IH2 第2吸入孔
IH3 第2吸入孔
IH4 第2吸入孔
IH5 第2吸入孔
P 回路基板
R 載置領域[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a circuit board suction device including a suction-type substrate mounting table, and a circuit board inspection device configured using the circuit board suction device.
[0002]
[Prior art]
As this type of circuit board suction device, a circuit
[0003]
The circuit
[0004]
When inspecting the circuit board P using the circuit
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional circuit
[0006]
The present invention has been made in view of such a problem, and a main object of the present invention is to provide a circuit board suction device that can suck and hold a circuit board without causing wrinkles or bending even with a thin circuit board. And Another object of the present invention is to provide a circuit board inspection apparatus using the same.
[0007]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, a circuit board suction device according to
[0008]
A circuit board suction device according to a second aspect is the circuit board suction device according to the first aspect, wherein the one predetermined portion is one peripheral portion in the placement region.
[0009]
The circuit board suction device according to a third aspect is the circuit board suction device according to the first aspect, wherein the one predetermined portion is a central portion in the placement area.
[0010]
The circuit board suction device according to
[0011]
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a circuit board inspection apparatus according to any one of the first to fourth aspects, and a control unit that performs a circuit board inspection on a circuit board that is sucked and held by the circuit board suction apparatus. It is provided with.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
DESCRIPTION OF EXEMPLARY EMBODIMENTS Hereinafter, exemplary embodiments of a circuit board suction device and a circuit board inspection device according to the invention will be described with reference to the accompanying drawings. In addition, about the same component as the conventional circuit board adsorption |
[0013]
First, configurations of the circuit
[0014]
As shown in FIG. 1, the circuit
[0015]
As shown in FIG. 1, the circuit
[0016]
As shown in FIG. 2, the substrate mounting table 11 is mounted on a box-shaped
[0017]
In this case, the
[0018]
On the other hand, the lower mounting plate 11LO, together with the
[0019]
Next, the operation at the time of inspection of the circuit board P by the circuit
[0020]
First, the
[0021]
Next, the circuit board P to be inspected is placed in the placement region R on the substrate placement table 11. Next, the
[0022]
Thereafter, when the
[0023]
Next, the
[0024]
As described above, according to the circuit
[0025]
The present invention is not limited to the configuration shown in the above-described embodiment of the present invention. For example, instead of the lower mounting plate 11LO, a lower mounting plate 21LO shown in FIG. 9 may be adopted, and the mounting
[0026]
In the substrate mounting table 21 provided with the mounting
[0027]
In addition, the upper mounting plate 31UP shown in FIG. 14 can be used instead of the upper mounting plate 11UP, and the lower mounting plate 31LO shown in FIG. 15 can be used instead of the lower mounting plate 11LO to constitute the mounting
[0028]
In the substrate mounting table 31 provided with the mounting
[0029]
Further, instead of the lower mounting plate 11LO, a lower mounting plate 41LO shown in FIG. 20 may be adopted, and the mounting
[0030]
In the substrate mounting table 41 provided with the mounting
[0031]
Further, in each of the above-described embodiments, each suction hole IH is configured to be sequentially opened from the suction hole IH located at one predetermined site by one row and one row (or two rows and two rows). However, for example, when the suction holes IH are formed in a matrix shape composed of a large number of rows and columns, a configuration is adopted in which the closed state and the open state are simultaneously shifted in units exceeding two columns and two rows. You can also. Further, the arrangement of the suction holes IH can be arbitrarily arranged, for example, in a staggered arrangement instead of the matrix form. Further, it is possible to adopt a configuration in which a first suction hole is formed in the lower mounting plate and a long hole (second suction hole) is formed in the upper mounting plate. However, in the configuration in which long holes are formed in the upper mounting plate, it is preferable that the long holes are formed in the lower mounting plate because the porous insulating
[0032]
【The invention's effect】
As described above, according to the circuit board suction device of the first to third aspects, the suction hole communication mechanism sequentially communicates with the plurality of suction holes from the suction holes located at one predetermined portion, thereby mounting the substrate. The circuit board mounted on the mounting table can be sequentially sucked onto the substrate mounting table from one predetermined site side, and finally the entire surface can be sucked and held on the substrate mounting table. Therefore, even when a thin circuit board is held by suction, it can be reliably held while maintaining the flatness of the circuit board without causing wrinkles or bending.Further, a mounting plate is configured by a lower mounting plate mounted on the opening portion of the case and an upper mounting plate disposed on the upper surface of the lower mounting plate, and either one of the lower mounting plate and the upper mounting plate includes a plurality of mounting plates. A plurality of elongated second suction holes that can communicate with the first suction holes to form suction holes are formed on the other of the lower mounting plate and the upper mounting plate. The drive means of the suction hole communication mechanism is relatively simple by moving the lower mounting plate in a predetermined direction relative to the upper mounting plate and causing the first suction hole and the second suction hole to communicate with each other. Even when a thin circuit board is sucked and held, the circuit board can be held while maintaining flatness without causing wrinkles or bending.
[0033]
Further, according to the circuit board suction device of
[0034]
According to the circuit board suction device of the fifth aspect, the circuit board suction device according to any one of the first to fourth aspects and the circuit board inspection for the circuit board sucked and held by the circuit board suction device are executed. By providing the controller, even when a thin circuit board is held by suction, it can be held while maintaining the flatness of the circuit board without causing wrinkles or bending. As a result, the reliability of the blowing on the circuit board and the reliability of the final inspection can be sufficiently improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration diagram showing a configuration of a circuit
FIG. 2 is an explanatory diagram for explaining a configuration of a circuit
FIG. 3 is a plan view showing a configuration of an upper mounting plate 11UP of the circuit
4 is a plan view showing a configuration of a lower mounting plate 11LO of the circuit
FIG. 5 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH, and is an explanatory diagram when all the suction holes IH are in a closed state;
FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH, and is an explanatory diagram when only the suction hole IH located at one predetermined portion is in an open state.
FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH, and is an explanatory diagram when the suction hole IH adjacent to one predetermined part is also in an open state.
FIG. 8 is an explanatory diagram for explaining an opening / closing operation of the suction hole IH, and is an explanatory diagram when all the suction holes IH are in an open state.
9 is a plan view showing a configuration of a lower mounting plate 21LO in the circuit
FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the lower mounting plate 21LO, and is an explanatory diagram when all the suction holes IH are closed.
FIG. 11 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the lower mounting plate 21LO, and is an explanatory diagram when only the suction hole IH located at one predetermined portion is open. is there.
FIG. 12 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the lower mounting plate 21LO, and is an explanatory diagram when the suction hole IH adjacent to one predetermined part is also in an open state; .
FIG. 13 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the lower mounting plate 21LO, and is an explanatory diagram when all the suction holes IH are open.
14 is a plan view showing a configuration of an upper mounting plate 31UP of the circuit
15 is a plan view showing a configuration of a lower mounting plate 31LO of the circuit
FIG. 16 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the upper mounting plate 31UP and the lower mounting plate 31LO, and is an explanatory diagram when all the suction holes IH are in a closed state; .
FIG. 17 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the upper mounting plate 31UP and the lower mounting plate 31LO, in which only the suction hole IH located at one predetermined portion is in an open state; It is explanatory drawing at the time.
FIG. 18 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the upper mounting plate 31UP and the lower mounting plate 31LO, when the suction hole IH adjacent to one predetermined part is also in the open state; It is explanatory drawing of.
FIG. 19 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the upper mounting plate 31UP and the lower mounting plate 31LO, and is an explanatory diagram when all the suction holes IH are in an open state. .
20 is a plan view showing a configuration of a lower mounting plate 41LO of the circuit
FIG. 21 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the lower mounting plate 41LO, and is an explanatory diagram when all the suction holes IH are open.
FIG. 22 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the lower mounting plate 41LO, and is an explanatory diagram when only the suction hole IH located at one predetermined part is open. is there.
FIG. 23 is an explanatory view for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the lower mounting plate 41LO, and is an explanatory view when the suction hole IH adjacent to one predetermined part is also in an open state. .
FIG. 24 is an explanatory diagram for explaining the opening / closing operation of the suction hole IH in the configuration using the lower mounting plate 41LO, and is an explanatory diagram when all the suction holes IH are open.
25 is a configuration diagram showing a configuration of a conventional circuit
[Explanation of symbols]
1 Circuit board inspection equipment
2 Circuit board suction device
3 Movement mechanism
4 Probe for inspection
5 Control unit
6 RAM
7 ROM
11, 21, 31, 41 Substrate mounting table
11a case
11b, 21b, 31b, 41b Mounting plate
11UP, 31UP Mounting plate
11LO, 21LO, 31LO, 41LO Lower mounting plate
12 Air pump
13 Air cylinder
IH suction hole
IH1 1st suction hole
IH2 second suction hole
IH3Second suction hole
IH4Second suction hole
IH5Second suction hole
P circuit board
R Placement area
Claims (5)
前記吸引手段による吸引時に前記複数の吸入孔と前記ケースの内部とを連通させる吸入孔連通機構を備え、
前記載置板は、前記ケースの前記開口部位に装着された下載置板と、当該下載置板の上面に当該下載置板に対して摺動自在に配置された上載置板とを備えて構成され、
前記下載置板および上載置板のいずれか一方には、複数の第1吸入孔が所定ピッチで形成され、前記下載置板および上載置板のいずれか他方には、前記第1吸入孔に対向する端部から所定の向き側の端部までの長さが前記載置領域における一の所定部位側に位置するほど長い長孔状の第2吸入孔が複数形成され、
前記各吸入孔は、互いに連通可能な一対の前記第1吸入孔および前記第2吸入孔でそれぞれ形成され、
前記吸入孔連通機構は、前記下載置板を前記上載置板に対して相対的に前記所定の向きに移動させて前記第1吸入孔と前記第2吸入孔とを互いに連通させる駆動手段を備えて構成されて、前記一の所定部位に位置する前記第1吸入孔および前記第2吸入孔から順次連通させることを特徴とする回路基板吸着装置。A box-like case having an opening on one side thereof, a substrate mounting table provided with a mounting plate that is attached to an opening portion of the case and in which a plurality of suction holes are formed in a mounting region of the circuit board; and the case A circuit board suction device comprising suction means for sucking air inside
A suction hole communication mechanism for communicating the plurality of suction holes and the inside of the case at the time of suction by the suction means ;
The mounting plate includes a lower mounting plate attached to the opening portion of the case, and an upper mounting plate disposed on the upper surface of the lower mounting plate so as to be slidable with respect to the lower mounting plate. And
A plurality of first suction holes are formed at a predetermined pitch in one of the lower mounting plate and the upper mounting plate, and the other of the lower mounting plate and the upper mounting plate faces the first suction hole. A plurality of long-hole-like second suction holes are formed such that the length from the end portion to the end portion on the predetermined orientation side is positioned on one predetermined site side in the placement region,
Each of the suction holes is formed by a pair of the first suction hole and the second suction hole that can communicate with each other,
The suction hole communication mechanism includes a drive unit that moves the lower mounting plate relative to the upper mounting plate in the predetermined direction so that the first suction hole and the second suction hole communicate with each other. The circuit board suction device is configured to communicate sequentially from the first suction hole and the second suction hole located at the one predetermined portion.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001161544A JP4678987B2 (en) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | Circuit board suction device and circuit board inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001161544A JP4678987B2 (en) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | Circuit board suction device and circuit board inspection device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002350484A JP2002350484A (en) | 2002-12-04 |
JP4678987B2 true JP4678987B2 (en) | 2011-04-27 |
Family
ID=19004802
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001161544A Expired - Fee Related JP4678987B2 (en) | 2001-05-30 | 2001-05-30 | Circuit board suction device and circuit board inspection device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4678987B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5329191B2 (en) * | 2008-11-27 | 2013-10-30 | 日置電機株式会社 | Adsorption device and inspection device |
JP5280242B2 (en) * | 2009-02-12 | 2013-09-04 | 日置電機株式会社 | Adsorption device, inspection device, and mounting state determination method |
JP5595842B2 (en) * | 2010-09-08 | 2014-09-24 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | Electronic component mounting equipment |
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-
2001
- 2001-05-30 JP JP2001161544A patent/JP4678987B2/en not_active Expired - Fee Related
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JP2001162476A (en) * | 1999-12-06 | 2001-06-19 | Nec Corp | Sheet suction device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002350484A (en) | 2002-12-04 |
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Date | Code | Title | Description |
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