JP4673332B2 - 物品吸着装置 - Google Patents

物品吸着装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4673332B2
JP4673332B2 JP2007080694A JP2007080694A JP4673332B2 JP 4673332 B2 JP4673332 B2 JP 4673332B2 JP 2007080694 A JP2007080694 A JP 2007080694A JP 2007080694 A JP2007080694 A JP 2007080694A JP 4673332 B2 JP4673332 B2 JP 4673332B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve hole
article
valve
air
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007080694A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008238312A (ja
Inventor
中 泰 夫 山
Original Assignee
山中 泰夫
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 山中 泰夫 filed Critical 山中 泰夫
Priority to JP2007080694A priority Critical patent/JP4673332B2/ja
Publication of JP2008238312A publication Critical patent/JP2008238312A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4673332B2 publication Critical patent/JP4673332B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Manipulator (AREA)

Description

本発明は、減圧手段の吸引力により物品を吸着する物品吸着装置において、減圧手段による吸着準備を迅速かつ確実に行うことができる物品吸着装置に関する。
従来、ガラス板、金属板、木製仕上げ板のような表面が平坦に仕上げられている部材を持ち上げ、移動し、運搬を迅速に行うことができる装置として、吸引作用を行う作動室の減圧手段側の第1弁孔および該作動室の物品を吸着する吸着部材側の第2弁孔のそれぞれに空気漏れ出し手段を設けた物品吸着装置が開示されている(特許文献1の図1参照)。
この物品吸着装置にあっては、弁座に空気漏れ出し手段が設けられているため減圧手段の動作により第1弁孔に弁体が位置しているときであっても、空気漏れ出し手段による一部の空気の流通により物品の吸着を開始させることができるため、減圧手段を作動させて吸着準備が完了した後にあっては迅速に物品を吸着させることができる。
特開2004−114220号公報
しかしながら、前述の物品吸着装置にあっては、減圧手段による吸着準備時において、第2弁孔に当接している弁体を減圧手段による空気の吸引により第1弁孔側に引き寄せなければならないため、一つの減圧手段に複数の物品吸着装置を連結した場合や減圧手段の吸引能力が小さい場合には、弁体を第1弁孔に引き寄せるまでに長時間を要して物品吸着装置の吸着準備を迅速に行うことができなかったり、弁体を第1弁孔に引き寄せることができず、物品の吸着準備状態にならなかったりという問題点があった。
本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものである。
請求項1に係る発明は、本体と、この本体に接続され空気の吸引を行う減圧手段と、前記本体に設けられ前記減圧手段に接続させて空気の吸引作用を行う作動室と、この作動室内の前記減圧手段に接続される部位に開口した第1弁孔と、前記作動室内の前記第1弁孔と反対側に開口した第2弁孔と、前記作動室内に移動自在に設けられ前記第1弁孔と前記第2弁孔とに選択的に位置する弁体と、前記作動室内に設けられ前記弁体を前記第2弁孔に向かって付勢する弾性部材と、前記本体に接続され前記第2弁孔の外側に設けて物品を吸着する吸着部材と、
前記第1弁孔に設けられ前記弁体が当接したときに一部の空気が流通する第1空気漏れ出し手段と、前記第2弁孔に設けられ前記弁体が当接したときに一部の空気が流通する第2空気漏れ出し手段とを備え、前記作動室の内壁には前記第2弁孔側から前記第1弁孔側に向かって螺旋状の溝が設けられている物品吸着装置である。
請求項2に係る発明は、請求項1記載の物品吸着装置において、既存の吸着部材に接続させた接続部材の途中を切断し、本体の第2弁孔側に、前記吸着部材に接続させた一方の接続部材を連結し、前記本体の第1弁孔側に、前記切断させた他方の接続部材を連結させたものである。
請求項3に係る発明は、請求項1記載の物品吸着装置において、本体に、減圧手段による物品の吸着有無を検出する検出手段を設けたものである。
請求項4に係る発明は、請求項1記載の物品吸着装置において、本体は、透明な部材で形成されており、前記本体を通して外部から弁体が目視可能であるものである。
請求項1に記載の物品吸着装置によれば、作動室の内壁には第2弁孔側から第1弁孔側に向かって螺旋状の溝が設けられているため、この螺旋状の溝に沿って吸引される空気に渦流を発生させることができ、減圧手段の作動開始時にあっては、作動室内の弁体の第1弁孔側の空間において、減圧手段による空気の吸引により生じた負圧と、螺旋状の溝により発生した空気の渦流による負圧(空気の流れが速まることにより生ずる静圧の降下)とが相俟って、第2弁孔に位置している弁体を第1弁孔側に迅速かつ確実に引き寄せて移動させることができ、物品吸着装置の吸着準備を迅速かつ確実に行うことができる。
請求項2に記載の物品吸着装置によれば、既存の吸着部材に接続させた接続部材の途中を切断し、本体の第2弁孔側に、吸着部材に接続させた一方の接続部材を連結し、本体の第1弁孔側に、切断させた他方の接続部材を連結させたため、既存の吸着ユニットを簡便に物品吸着装置として利用することができる。
請求項3に記載の物品吸着装置によれば、本体に、減圧手段による物品の吸着有無を検出する検出手段を設けたため、この検出された物品の吸着有無の情報を利用することができる。
請求項4に記載の物品吸着装置によれば、本体は、透明な部材で形成されているため、外部から弁体を目視することができ、弁体が第1弁孔または第2弁孔に位置しているかを視認することにより、該物品吸着装置の物品の吸引動作の有無を簡易に確認することができる。
本発明の一実施例を、図1〜4に基づき説明する。図1においてAは物品吸着装置であり、物品吸着装置Aは、概略的に、本体1と、減圧手段2と、作動室3と、第1弁孔4と、第2弁孔5と、弁体6と、弾性部材7と、吸着部材8と、第1空気漏れ出し手段41と、第2空気漏れ出し手段51と、螺旋状の溝9とにより構成されている。
この物品吸着装置Aは、例えば、図3に示すように、テーブルやコンベア等の載置台10上に載置された物品bを吸着保持するものであり、吸着ユニットWに一個または複数個が取り付けられる。
本体1は、例えば、吸着ユニットWのフレーム11に取り付けられ、前後左右および上下方向に移動自在となるように支承されるものであり、図1に示したように、一端には減圧手段2が、他端には吸着部材8が接続されている。なお、この本体1は、該本体1を通して外部から弁体6(後述)が目視可能となるように、透明な部材で形成することもできる。透明な部材としては、例えば、アクリルなどの透明な合成樹脂やガラスなどの材料が用いられる。
減圧手段2は、本体1に接続され空気の吸引を行うものであり、例えば、油回転ポンプなどの空気を吸引する吸引部材14と、この吸引部材14と本体1とを接続する配管12と、配管12の中途に設けられたバルブ13(図3参照)とで構成されている。
作動室3は、本体1に設けられ減圧手段2に接続させて空気の吸引作用を行うものであり、内部に弁体6および弾性部材7が配置されている。
第1弁孔4は、作動室3内の減圧手段2に接続されている部位に開口する弁孔であり、この第1弁孔4の周縁部には弁体6が当接する弁座4aが設けられている。
第2弁孔5は、作動室3内の第1弁孔4と反対側に開口した弁孔であり、この第2弁孔5の周縁部には弁体6が当接する弁座5aが設けられている。
弁体6は、図1に示したように、作動室3内に移動自在に設けられ第1弁孔4と第2弁孔5とに選択的に位置して減圧手段2により吸引した空気の流れを調整するものであり、一般的には球状に形成されているが、板状、円柱状、角柱状などの形状に形成してもよい。また、弁体6は充実体または中空体のどちらでもよいが、移動の容易さを考慮すると好ましくは中空体が用いられる。弁体6の材質は、摩耗を低減できる点では鋼、ステンレスなどの金属材料やガラス等を用いることもできるが、移動の容易さ(軽さ)の点ではナイロン、ジュラゴン、アクリルなどの合成樹脂材料を用いることもでき、用途により適宜選択することができる。
弾性部材7は、作動室3内に設けられ弁体6を第2弁孔5に向かって付勢するものであり、例えばコイルスプリングなどの弾性体が用いられ、減圧手段2の作動開始時(図4(a)参照)あるいは物品bの吸着時(図4(d)参照)には弾性部材7により弁体6を第2弁孔5側に付勢させている。この弾性部材7は、減圧手段2による空気の吸引力より弱い付勢力、すなわち、前述の吸引力より弱いばね力に調整されており、弁体6は、減圧手段2による空気の吸引力が作動室3に働くことにより吸引され、弾性部材7の付勢力に抗して第1弁孔4側に引き寄せられて弁座4aに当接する。
吸着部材8は、本体1に接続され第2弁孔5の外側に設けて物品bを吸着するものであって、第2弁孔5の下側において該第2弁孔5を囲むようにカップ状に設けて物品bの吸引室15を形成し、吸着部材8に物品bが当接したときに第2弁孔5への外気の流入を防止するものである。この吸着部材8は、物品bへの密着性が良好となるようにゴムやスポンジ、発泡ウレタン等の可撓性あるいは弾力性を有する素材により形成され、該物品bの表面に多少の凹凸があっても吸着力を発揮できるように形成されるが、例えばガラス板などのように表面が滑らかで平らな物品を吸着したりする場合には、弾力性の小さい硬質の材料を用い、物品bとの接触面を予め研磨して平滑に形成してから用いることもできる。また、この吸着部材8は異なるサイズや形状などのものと交換できるように着脱自在に設けてもよい。
第1空気漏れ出し手段41は、第1弁孔4に設けられ弁体6が当接したときに一部の空気を流通させるものであり、第2空気漏れ出し手段51は、第2弁孔5に設けられ弁体6が当接したときに一部の空気を流通させるものであって、第1空気漏れ出し手段41および第2空気漏れ出し手段51の空気の流通量は、両者共に減圧手段2による空気の吸引量よりも少なくなるように設けられている。ここで、一部の空気とは、減圧手段2による空気の吸引力を低下させる等の悪影響を与えない程度のわずかな量の空気をいう。
この第1空気漏れ出し手段41および第2空気漏れ出し手段51は、例えば、図2(a)、(b)に示したように、弁座4a、5aの一箇所または複数箇所に溝を設けて弁体6が当接しても一部の空気が流通し得るようにしたり、図2(c)に示したように、中空の弁体6に細孔6aを穿設して一部の空気を流通させるようにしたりしてもよく、いずれの場合であっても、減圧手段2と作動室3とが、あるいは、作動室3と吸引室15とが、この第1空気漏れ出し手段41および第2空気漏れ出し手段51を介して一部の空気を流通させるように形成されていればよい。なお、上述した第2空気漏れ出し手段51の空気の流通量は、いかなる吸着条件下でも吸着保持に支障がない空気の流通量を確保するため、第1空気漏れ出し手段41の空気の流通量よりも大きくなるように形成されている。なお、図2(a)、(c)においては、第1弁孔4と第2弁孔5の要部をそれぞれ左右に分けて概略的に表している。
また、作動室3の内壁3aには、図1に示したように、第2弁孔5側から第1弁孔4側に向かって螺旋状の溝9が設けられており、減圧手段2により吸引した空気がこの螺旋状の溝9に沿って流れることで作動室3内に渦流を発生させることができる。この螺旋状の溝9は、作動室3内において、吸引した空気が第1弁孔4と第2弁孔5とを通る中心軸の回りを回転しながら渦流となって第1弁孔4に向かって吸引できるものであればよく、例えば、作動室3の内壁3aに断面がコの字状になるように穿設したり(図1参照)、図示していないが、V字状や半円状に形成したりしてもよい。また、螺旋状の溝9の本数は1条に限られず、複数条であってもかまわない(図1では2条を例示)。
図1において20は、本体1の適所に設けた検出手段であり、減圧手段2による物品bの吸着有無を検出するもので、例えば、作動室3において第1弁孔4付近に配設して、該第1弁孔4側に弁体6が所定の時間位置していることをこの検出手段20が検知したときに、物品bは吸着されていないものと判断して、図示してない制御手段等に信号を送信するようにしてもよい。
また、本体1における第2弁孔5には、作動室3内へのゴミ等の異物の侵入を防止する除去部材21が取り付けられている。この除去部材21には、図1に示したような多数の空気の通孔22が設けられた網体など、あるいは、図示してないが、スポンジなどの合成樹脂等による多孔質体などが用いられ、作動室3内への異物の混入を防止して、この異物の詰まりに起因する弁体6の動作不良を防止することができる。
次に、上述したように構成される本発明の物品吸着装置Aの作用について、図3に示したように、載置台10に載置された物品bに、上方から吸着部材8を当接させて吸着する場合を例にとって説明する。
まず、減圧手段2を作動させない作動開始前の状態においては、図1および図4(a)に示したように、弁体6は、該弁体6の自重およびコイルスプリング等の弾性部材7により下方に押し下げられて第2弁孔5の弁座5aに当接している。
そして、物品bが吸着部材8に当接していない状態において減圧手段2を作動させると、まず、図4(a)に示したように、作動室3内の空気が吸引され、この吸引により作動室3内にあっては減圧手段2側である第1弁孔4側の方が第2弁孔5側に比べて圧力がより低くなり、弁体6の下側よりも弁体6の上側の方が低い圧力(負圧)になるため、減圧手段2による空気の吸引力が弾性部材7の付勢力よりも大きくなると弁体6は弾性部材7の付勢力に抗して上昇する。そして、図4(b)に示したように、弁体6が弁座5aから離間すると多量の空気が第2弁孔5を介して作動室3内に流入し、引き続き減圧手段2による吸引が行われる。
このとき、作動室3の内壁3aには、図1に示したように、第2弁孔5側から第1弁孔4側に向かって螺旋状の溝9が設けられているため、第2弁孔5を介して吸着部材8側から作動室3内に流入した空気が該作動室3を通過する際に、作動室3の内壁3aに設けられた螺旋状の溝9に沿って流れようとし、第1弁孔4に向かって流れる空気は次第に回転して渦流となり、上昇するにつれて該渦流の回転が速められて作動室3の上部にあっては空気の流れは高速になる。
したがって、空気の流れが速まることにより生ずる静圧の降下現象は、空気の流れがより速い作動室3内の上部ほど顕著になり、弁体6の上側は、該弁体6の下側に比べてより低い圧力(負圧)になるため、上述した減圧手段による空気の吸引による負圧と、この渦流により生じた負圧とが相俟って、弁体6を第1弁孔4側に迅速かつ確実に引き寄せて移動させることができる。つまり、一つの減圧手段2に複数の物品吸着装置Aを連結した場合や減圧手段2の吸引能力が小さい場合など空気の吸引力が弱いときであっても、弁体6を第1弁孔4に迅速かつ確実に引き寄せて、物品吸着装置Aの吸着準備を迅速かつ確実に行うことができる。
そして、図4(c)に示したように、弁体6が第1弁孔4側に引き寄せられて弁座4aに当接すると物品吸着装置の吸着準備が完了する。なお、この吸着準備状態にあっては、 弁体6が弁座4aに当接して吸着部材8からの空気の吸引を阻止しようとするが、第1弁孔4には第1空気漏れ出し手段41が設けられているため、弁体6が弁座4aに当接している状態であっても一部の空気、すなわち、減圧手段2による空気の吸引力を低下させる等の悪影響を与えない程度のわずかな量の空気が、この第1弁孔4から吸引されている。
したがって、吸着準備が完了したこの物品吸着装置Aの吸着部材8を、図4(d)に示したように、物品bの表面に当接させると、吸着部材8の開口部が塞がれ、第1空気漏れ出し手段41を介した空気の吸引により作動室3および吸引室15の圧力が低下する。
そして、弁体6の上側の圧力と作動室3および吸引室15の圧力とが近似してくると弾性部材7の付勢力により弁体6が弁座4aから離間して一気に空気が吸引され、作動室3および吸引室15の圧力が急激に低下し、物品bが吸着部材8により吸着保持されるため、吸着ユニットWにより該物品bを持ち上げたり移動させたりすることが可能となる。このとき、弁体6は弾性部材7の付勢力により第2弁孔5の位置まで押し戻されるが、弁体6が弁座5aに当接している状態であっても第2空気漏れ出し手段51により空気の流通が確保されているため、吸引室15内の空気の吸引が引き続き行われており、物品bの吸着を保持することができる。
そして、吸着保持した物品bを他の処理機等へ移送した後に吸着を解除する場合にあっては、物品bを載置台10(図3参照)等に載置させ、減圧手段2の減圧動作を解除させるべく、減圧手段2を停止させたり、バルブ13を切り替えたりして作動室3内に空気を送気して大気圧に戻すことにより吸着を解除し、物品bを吸着部材8から分離することができる。
ところで、上述した実施例の物品吸着装置Aは、図3に示したように、複数のものを吸着ユニットWに取り付けて用いてもよく、全ての物品吸着装置Aが物品bの表面に当接していない状態であっても、物品bが吸着していない物品吸着装置Aにあっては、弁体6が弁座4aに当接しているため、第1空気漏れ出し手段41を介した一部の空気の漏れ出し以外には空気の吸引はほとんどなく、減圧手段2の真空度の低下による吸引力の低下等の悪影響を与えるのを防止することができる。
なお、減圧手段2の作動開始前に物品bを吸着部材8に当接させた後、減圧手段2の作動を開始させて物品bの吸着を行ってもよい。しかしながら、減圧手段2を構成する吸引部材14や配管12内の圧力を十分に低下させるのに時間を要するため、物品吸着装置Aの使用前に予め減圧手段2を作動させて吸着準備を完了させておくのが好ましい。更に、物品の吸着時には弁体6が弾性部材7により第2弁孔5側に付勢されているため、物品bを吸着する方向が横向きや上向き等の任意角度であっても第1弁孔4側に戻ることがなく、物品吸着装置Aを使用することができ、同様の作用効果を発揮することができる。
次に、本発明の他の実施例について図5に基づき説明する。Aは本発明の他の実施例に係る物品吸着装置であり、物品吸着装置Aは、既存の吸着部材8aに接続させたホースなどの接続部材30の途中を切断し、本体1の第2弁孔5側に、吸着部材8aに接続させた一方の接続部材30aを連結し、本体1の第1弁孔4側に、切断させた他方の接続部材30bを連結させ、既存の吸着ユニットを利用できるようにしたものである。
すなわち、既存の吸着部材8aのエアホースなどの接続部材30の適所30cを切断し、例えば、吸着部材8aが接続されている接続部材30aの端部にねじ等の止着部材31を取り付け、この止着部材31を本体1の取付部1aに取り付けると共に、切断された他方の接続部材30bの端部に止着部材32を取り付け、この止着部材32を本体1の取付部1bに取り付けることで、既存の吸着ユニットを簡便に物品吸着装置Aとして利用することができる。
なお、本実施例にあっては、既存の吸着ユニットをねじ等の止着部材31、32により本体1に取り付けるため、止着部材31、32を本体1から取り外したときに第1弁孔4または第2弁孔5から例えば圧縮空気を本体1内に吹き込むことにより除去部材21に付着したゴミ等の異物を簡便に除去することができる。
本発明の物品吸着装置の一実施例を示した縦断面図である。 図1の弁孔の要部を示す図であり、図2(a)は空気漏れ出し手段の例を、図2(b)は図2(a)の弁孔を作動室側から見た図を、図2(c)は中空の弁体に細孔を設けた図をそれぞれ示している。 図1の物品吸着装置を複数個設けた状態を示す図である。 図1の物品吸着状態の各工程を示す略縦断面図であり、図4(a)は減圧手段の作動開始時の図を、図4(b)は吸着準備途中の図を、図4(c)は吸着準備完了後の図を、図4(d)は物品吸着時の図をそれぞれ示している。 図1の物品吸着装置の他の吸着部材の装着例を示した縦断面図である。
符号の説明
A 物品吸着装置
1 本体
2 減圧手段
3 作動室
4 第1弁孔
41 第1空気漏れ出し手段
5 第2弁孔
51 第2空気漏れ出し手段
6 弁体
7 弾性部材
8 吸着部材
9 螺旋状の溝

Claims (4)

  1. 本体と、
    この本体に接続され空気の吸引を行う減圧手段と、
    前記本体に設けられ前記減圧手段に接続させて空気の吸引作用を行う作動室と、
    この作動室内の前記減圧手段に接続される部位に開口した第1弁孔と、
    前記作動室内の前記第1弁孔と反対側に開口した第2弁孔と、
    前記作動室内に移動自在に設けられ前記第1弁孔と前記第2弁孔とに選択的に位置する弁体と、
    前記作動室内に設けられ前記弁体を前記第2弁孔に向かって付勢する弾性部材と、
    前記本体に接続され前記第2弁孔の外側に設けて物品を吸着する吸着部材と、
    前記第1弁孔に設けられ前記弁体が当接したときに一部の空気が流通する第1空気漏れ出し手段と、
    前記第2弁孔に設けられ前記弁体が当接したときに一部の空気が流通する第2空気漏れ出し手段とを備え、
    前記作動室の内壁には前記第2弁孔側から前記第1弁孔側に向かって螺旋状の溝が設けられていることを特徴とする物品吸着装置。
  2. 既存の吸着部材に接続させた接続部材の途中を切断し、本体の第2弁孔側に、前記吸着部材に接続させた一方の接続部材を連結し、前記本体の第1弁孔側に、前記切断させた他方の接続部材を連結させたことを特徴とする請求項1記載の物品吸着装置。
  3. 本体に、減圧手段による物品の吸着有無を検出する検出手段を設けたことを特徴とする請求項1記載の物品吸着装置。
  4. 本体は、透明な部材で形成されており、前記本体を通して外部から弁体が目視可能であることを特徴とする請求項1記載の物品吸着装置。
JP2007080694A 2007-03-27 2007-03-27 物品吸着装置 Expired - Fee Related JP4673332B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007080694A JP4673332B2 (ja) 2007-03-27 2007-03-27 物品吸着装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007080694A JP4673332B2 (ja) 2007-03-27 2007-03-27 物品吸着装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008238312A JP2008238312A (ja) 2008-10-09
JP4673332B2 true JP4673332B2 (ja) 2011-04-20

Family

ID=39910261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007080694A Expired - Fee Related JP4673332B2 (ja) 2007-03-27 2007-03-27 物品吸着装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4673332B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024083701A (ja) * 2022-12-12 2024-06-24 Smc株式会社 吸着パッド
CN117446494B (zh) * 2023-12-25 2024-04-12 常州铭赛机器人科技股份有限公司 双工位上料装置及上料方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6285387U (ja) * 1985-11-18 1987-05-30
JPH08174462A (ja) * 1994-12-22 1996-07-09 Matsushita Electric Works Ltd 吸着継手
JPH10236759A (ja) * 1997-02-27 1998-09-08 Tokimetsuku Power Syst:Kk バキュームパッド用制御弁及びそれを使用した運搬システム
JP2004114220A (ja) * 2002-09-26 2004-04-15 Yasuo Yamanaka 物品吸着装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6285387U (ja) * 1985-11-18 1987-05-30
JPH08174462A (ja) * 1994-12-22 1996-07-09 Matsushita Electric Works Ltd 吸着継手
JPH10236759A (ja) * 1997-02-27 1998-09-08 Tokimetsuku Power Syst:Kk バキュームパッド用制御弁及びそれを使用した運搬システム
JP2004114220A (ja) * 2002-09-26 2004-04-15 Yasuo Yamanaka 物品吸着装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008238312A (ja) 2008-10-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104858736B (zh) 双头平面磨削方法
US7993485B2 (en) Methods and apparatus for processing a substrate
KR102330997B1 (ko) 처리 대상물을 보유 지지하기 위한 테이블 및 당해 테이블을 갖는 처리 장치
JP2016050168A (ja) ディスプレイ用パネル吸着装置
JP4673332B2 (ja) 物品吸着装置
JP6333141B2 (ja) 切削ブレード交換システム
JP2013215813A (ja) 両頭平面研削におけるワーク搬入出方法及び両頭平面研削盤
JP4569343B2 (ja) Ic搬送装置及びコンタクタ
JP5005933B2 (ja) 基板搬送器具用吸着パッドおよび基板の搬送方法
JP2019025642A (ja) ロボットハンド装置、ロボットハンドシステム及び保持方法
KR20110025792A (ko) 여과 장치
JP2003332410A (ja) 真空吸着装置
JP2003100848A (ja) 基板保持装置
JP4901407B2 (ja) 吸着搬送構造
JP2004114220A (ja) 物品吸着装置
JP4549778B2 (ja) サンダのパット
CN112361044B (zh) 一种真空吸盘控制阀
CN102586752B (zh) 基板固定装置
KR20110013046A (ko) 진공척
KR101981273B1 (ko) 휴대형 진공흡착기
US20210030253A1 (en) Clean room wipe mop head unit
JP2014083622A (ja) バキュームパッド装置及び吸着搬送方法
JP6496535B2 (ja) 保持装置
CN107529332A (zh) 用于部件贴装机的吸嘴组件
CN105731068B (zh) 非接触输送装置和非接触吸附盘

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090409

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101209

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110104

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110120

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4673332

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140128

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees