JP4668239B2 - 光導波路素子 - Google Patents
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Description
本実施例においては、図1に示すような光導波路素子10を作製した。基板1には、ニオブ酸リチウム単結晶のXカット板を用いた。次いで、基板1内にTi熱拡散法により光導波路2を形成した。次いで、基板1の主面1A上に、スパッタリング法によってSiO2からなるバッファ層3を厚さ1.0μmに形成した。次いで、基板全面にフォトレジストを塗布し、フォトリソグラフィによって光導波路の直線部分の一部が露出するようにして前記フォトレジストをパターニングした。基板全体をECRプラズマ源を用いたドライエッチング装置に装着し、パターニングされたフォトレジストをマスクとし、パターン中に露出した前記バッファの部分をエッチング除去して、基板の表面を露出させた。その後、余分なレジストを有機溶剤によって除去した。
実施例1において、中間層3を形成しなかった以外は、実施例1と同様にして光導波路素子を作製した。このような光導波路素子を20個作製し、上記実施例と同じ条件で熱サイクル試験を実施したところ、4個の光導波路素子について金属装荷型偏光子の剥離が見られた。また、試験前後における偏波消光比の劣化割合を調べたところ、劣化の度合いは2.0〜10.0dBであった。
2 光導波路
3 バッファ層
4 中間層
5 信号電極
6 接地電極
7 金属装荷型偏光子
10 光導波路素子
Claims (2)
- 電気光学効果を有する材料からなる基板と、この基板に形成された光波を導波するための光導波路と、前記光波を変調するための変調用電極と、前記基板上に形成された前記光波の不要な偏波成分を取り除くための金属装荷型偏光子とを具えた光導波路素子であって、
前記基板上にSiO2のバッファ層を設け、このバッファ層上に前記変調用電極を形成し、
前記光導波路の一部が露出するように前記バッファ層の一部を除去した基板表面に、SiOz(0<z<2)なる組成の誘電体で厚さが50〜100Åの中間層を形成し、この中間層上に厚さ1000〜3000Åの前記金属装荷型偏光子を配置することを特徴とする、光導波路素子。 - 前記基板は、ニオブ酸リチウムからなることを特徴とする、請求項1に記載の光導波路素子。
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