JP4662048B2 - X線透視装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
2 X線検出器
3 試料ステージ
4 ステージ移動機構
5 検出器移動機構
6 検出器傾動機構
10 制御装置
11 操作部
12 画像データ取込回路
13 表示器
20 光電スイッチ
20a 発光素子
20b 受光素子
W 試料
Claims (4)
- X線発生装置と、そのX線発生装置に上下方向に対向配置されたX線検出器と、これらのX線発生装置とX線検出器の間に配置され、試料を搭載して移動機構により上下方向を含む互いに直交する3軸方向にその位置を変更できる試料ステージを備えたX線透視装置において、
上記試料ステージの上面と平行に平行光を出力する光電スイッチと、その光電スイッチと試料ステージとを相対的に上下動させる上下動機構と、試料高さを入力する入力手段と、その入力内容に従い、上記上下動機構を自動的に駆動して上記光電スイッチと試料ステージ上面間の距離を入力された試料高さと略一致させた状態で、上記移動機構により試料ステージを当該ステージの上面に沿った方向に移動させるとともに、その移動時に上記光電スイッチの出力が発生した場合には、あらかじめ設定された量だけ上記光電スイッチと試料ステージ上面間の距離を増大させて再度試料ステージをその上面に沿った方向に移動させることを繰り返すとともに、上記光電スイッチの出力がなくなった状態での上記光電スイッチと試料ステージ上面間の距離を試料高さHと判定する判定手段備えていることを特徴とするX線透視装置。 - 上記X線発生装置がX線を上方に向けて発生し、その上方に上記X線検出器が配置され、上記試料ステージの上面と上記X線検出器の下端部間の距離が、上記判定手段により判定された試料高さH以下とならないように上記移動機構による試料ステージの移動範囲を制限する制御手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のX線透視装置。
- 上記X線検出器を上記X線発生装置の焦点に対して接近/離隔させる検出器移動機構を備え、上記制御手段は、上記試料ステージの上面と上記X線検出器の下端部間の距離が、判定された試料高さH以下とならないように上記検出器移動機構によるX線検出器の移動範囲をも制限することを特徴とする請求項2に記載のX線透視装置。
- 上記X線検出器を、X線光軸に対して傾動させる検出器傾動機構を備え、上記制御手段は、上記ステージの上面とX線検出器の下端部との距離が、判定された試料高さH以下とならないように上記検出器傾動機構によるX線検出器の傾動範囲をも制限することを特徴とする請求項2または3に記載のX線透視装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005333987A JP4662048B2 (ja) | 2005-11-18 | 2005-11-18 | X線透視装置 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001153818A (ja) * | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Toshiba Fa Syst Eng Corp | コンピュータ断層撮影装置及びコンピュータ断層撮影方法 |
JP2001204720A (ja) * | 2000-01-28 | 2001-07-31 | Shimadzu Corp | X線検査装置 |
JP2003344318A (ja) * | 2002-05-29 | 2003-12-03 | Shimadzu Corp | 蛍光x線分析装置 |
JP2004361099A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Shimadzu Corp | X線撮影装置 |
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2005
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Patent Citations (4)
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JP2004361099A (ja) * | 2003-06-02 | 2004-12-24 | Shimadzu Corp | X線撮影装置 |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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