JP4658578B2 - ノズル式elid研削方法および装置 - Google Patents
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Description
しかしそのため、例えば砥石の直径が1〜2mm程度まで小型化すると電極の小型化やその設置手段等が困難又は不可能となり、装置の小型化に制約が生じる問題点があった。そのため、近年ニーズの増大するマイクロレンズやマイクロレンズ用の金型の加工等において、ELID研削法の適用が難しい問題点があった。
更に、ワークとの接触面を有する導電性砥石を正電位(+)に印加する、ことを特徴とするノズル式ELID研削方法が提供される。
また、前記電解媒体は、アルカリ水溶液又はそのミストである。
前記イオン供給ノズルは、前記電解媒体を導電性砥石の表面に供給するための流路を有するノズル本体と、該流路内に対向して配置されたノズル電極対と、該ノズル電極対にイオン化用電圧を印加するノズル電源とからなり、
更に、導電性砥石を正電位(+)に印加する砥石電源を備える、ことを特徴とするノズル式ELID研削装置が提供される。
従って、イオン供給ノズルの先端部が砥石表面から十分離れた構成でも、砥石表面を電解もしくは化学反応により溶出後、表面が酸化して不導体化されることで、砥石の電解ドレッシング(ELID)が可能となる。
本発明により、砥石の小型化に対応できるとともに、電極の設置場所をノズル先端とすることで砥石外周部が解放されることから、砥石の小型化とともに砥石全周を加工に用いることができる。
従って、従来不可欠と考えられていた砥石対向電極を用いることなくELID研削を行うことができ、これにより例えば砥石の直径が小型化しても容易にELID研削ができる。
ワーク1は、非導電性材料(ガラス、セラミックス、等)でも導電性材料(例えば、金属材料、半導体)でもよい。ワーク1が導電性材料である場合には、ワーク1は電気的に絶縁され、導電性砥石12と同電位になるように構成されている。
砥石電源14は、導電性砥石12に給電する給電ライン15を備え、+端子14aから給電ライン15を介して導電性砥石12を正電位(+)に印加する。この正電位(+)は、直流パルス電圧であるのが好ましいが、一定電圧であってもよい。
なおこの例では、砥石電源14の陰極(−端子14b)は、接地(アース)している。なお、接地する代わりに、後述するノズル電源19の陰極(−端子)に接続してもよい。
電解媒体は、導電性を有するアルカリ水溶液又はそのミストであるのがよい。
なおこの例において、ノズル電極対18a,18bは、流路17aに直交し、かつ電極間の間隔が漸減するように対向している。また、ノズル電極の材質は、金属などの導電材でよいが、耐食性に優れた金属等が望ましい。
なお、電極の配置はこれらに限定されず、流路に直交するように平行に配置してもよく、その他の構成であってもよい。またこの図において、導電性砥石12は、軸心Zを中心に回転する円板状の砥石であるが、本発明の砥石面は、これに限定されず、平板、円弧面、その他の形状であってもよい。
かかる研削液供給ノズル20を備えることにより、電解媒体2を導電性砥石12の表面から洗い流し、ワーク1が導電性材料である場合に電解媒体2に残存する水酸イオン(OH-)によるワーク1の腐食を低減することができる。もちろん、研削作用を円滑なものとするための潤滑・冷却効果も発揮する。
また、この例では、砥石電源14とノズル電源19が一体化し、単一のELID電源21を構成している。
なお、この例では、砥石電源14及びノズル電源19は、図示していないが、第1実施形態図又は第2実施形態図と同様である。
この加工の際に、導電性砥石12の下端部の加工パスは、図5(B)のように等高線加工の加工パス、同(C)のようにスキャン加工の加工パス、同(D)のように螺旋加工の加工パスのいずれであってもよい。
従来の電極式の場合は、どうしても電極と砥石先端部との間に研削液と電解が集中し過ぎ、折角、シャープにツルーイングしても電解ドレッシングの際に形を崩してしまう問題があった。
しかし、本発明では、そうした点を解決できる。すなわち、エッジがシャープにツルーイングされた砥石に対して、シャープネスを崩すことなく、ドレッシングができる。
また図6(C)は、本発明のノズル式ELID研削装置の第6実施形態図である。この例において、ワーク1は金型、光学素子(回折格子)等である。
図6(A)(B)において、矢印は、ノズルELIDの研削液噴射方向を示している。
図6(A)(B)の形態において、シャープエッジや特定の形状を持つ砥石に対して、形を維持しながら適度なドレッシングを実現できる効果がある。
薄型砥石の場合、これまでの電極式の場合、砥石を挟む隙間の狭い電極の製作が難しく、電極とのギャップ調整が難しい問題があった。
本発明のノズル式ELID研削の適用により、適切かつ簡便なドレッシングが実現できる。
表1は、使用した砥石、被削材、及び電解媒体、表2は、加工条件である。本発明のノズル式ELID研削は、砥石電源とノズル電源を併用し、従来のELID研削では、このうち砥石電源を砥石対向電極と砥石間に印加した。その他の条件は同一である。
この表から、本発明により、従来のELID研削に匹敵する鏡面に近い滑らかな表面粗さが得られることが確認された。また、研削比は従来のELID研削には及ばないものの、ELID研削を適用しない場合よりは倍以上高いことが確認された。
ELID研削を適用しない場合は、同一条件で加工したところ総切込量90μmの1/3程度の段階で、加工抵抗が急上昇し、スピンドルの過負荷異常が発生した。これに対して、本発明のノズル式ELID研削では、低い加工抵抗を最終段階まで維持しており、砥石の目つぶれや目詰まりがなく加工できることが確認された。
その結果、研削方向に平行方向の粗さ:Ra0.18μm、Ry1.0μm、研削方向に垂直方向の粗さ:Ra0.16μm、Ry0.9μmの極めて優れた鏡面が得られた。さらに、微粒子の砥石も適用できる。
その時、砥石に(+)の電位((−)電極からみて相対的に(+)の電位として)を与えると、導電性砥石の導電成分がOH−イオンに引き寄せられ積極的に反応し溶出しようとすることにより、(+)イオン化とともに、不導体化されることで、砥石のドレッシング(ELID)が可能となる。
従って本発明により、砥石の小型化に対応できるとともに、電極設置場所をノズル先端とすることで砥石外周部が解放されることから、砥石の小型化とともに砥石全周を用いる加工ができる。
M+nOH−→M(OH)n+ne−・・・(1)
ここで、Mは砥石の導電成分(金属等)であり、OH−は、
H2O→H++OH−・・・(2)(水の電気分解)により発生・供給される。
もちろん、砥石の電位を制御できることが、ドレッシング量の制御には望ましいですが、必ずしも必要ではない。
10 ノズル式ELID研削装置、
12 導電性砥石、12a 接触面、
14 砥石電源、14b −端子、15 給電ライン、
16 イオン供給ノズル、17 ノズル本体、17a 流路、
18a,18bノズル電極対、19 ノズル電源、
20 研削液供給ノズル、21 ELID電源
Claims (5)
- 電解媒体を導電性砥石の表面に供給するための流路を有するノズル本体と、該流路内に対向して配置されたノズル電極対と、該ノズル電極対にイオン化用電圧を印加するノズル電源とからなるイオン供給ノズルから回転する導電性砥石の表面に水酸イオン(OH−)を含む電解媒体を供給し、砥石表面を電解もしくは化学反応によりドレッシングしながらワークを研削し、
更に、ワークとの接触面を有する導電性砥石を正電位(+)に印加する、ことを特徴とするノズル式ELID研削方法。 - 前記電解媒体は、アルカリ水溶液又はそのミストである、ことを特徴とする請求項1に記載のノズル式ELID研削方法。
- 前記電極間の間隔は、前記流路の下流側に移行するにつれて漸減している、ことを特徴とする請求項1または2に記載のノズル式ELID研削方法。
- ワークとの接触面を有し回転する導電性砥石と、導電性砥石の表面に水酸イオン(OH−)を含む電解媒体を供給するイオン供給ノズルとを備え、砥石表面を電解もしくは化学反応によりドレッシングしながらワークを研削し、
前記イオン供給ノズルは、前記電解媒体を導電性砥石の表面に供給するための流路を有するノズル本体と、該流路内に対向して配置されたノズル電極対と、該ノズル電極対にイオン化用電圧を印加するノズル電源とからなり、
更に、導電性砥石を正電位(+)に印加する砥石電源を備える、ことを特徴とするノズル式ELID研削装置。 - 前記電極間の間隔は、前記流路の下流側に移行するにつれて漸減している、ことを特徴とする請求項4に記載のノズル式ELID研削装置。
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