JP4657515B2 - 誘電体多層膜付光コリメータ部品の製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は光通信分野で使用される誘電体多層膜フィルタを備えた光コリメータ部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】
誘電体多層膜付光コリメータ部品は、例えば波長多重システムを利用した光通信において、光合分波、あるいは損失の平坦化や分散補償などに利用されている。
図１１は、従来の一般的な誘電体多層膜付光コリメータ部品（以下、光コリメータ部品と略記する）の概略構成図である。図中符号１は円柱形のコリメートレンズであり、ふたつのコリメートレンズ１、１がそのレンズ端面（底面）１ａ、１ａどうしが対向する様に、円板状の誘電体多層膜フィルタ３を介して配置されている。なお、これらコリメートレンズ１、１の出力端面１ｂ、１ｂにはそれぞれ光ファイバ２、２の端部が接続されている。また、コリメートレンズ１、１のレンズ端面１ａ、１ａおよび出力端面１ｂ、１ｂと誘電体多層膜フィルタ３の両面３ａ、３ｂは平行に配置されている。そして、実際にはこれらの部材が一体化されて用いられる。
【０００３】
従来、誘電体多層膜フィルタ３とコリメートレンズ１、１とを一体化した構造には、例えば図１２、図１３に示したふた通りがある。
図１２に示した例においては、誘電体多層膜フィルタ３の両面３ａ、３ｂに接着剤が塗布されて２つのコリメートレンズ１、１のレンズ端面１ａ、１ａと誘電体多層膜フィルタ３とが接着剤を介して直接接着され、一体化されている。
図１３に示した例おいては中空部を有する円筒状の部材４内にコリメートレンズ１、１が所定の間隔をあけて配置され、かつこの部材４の内壁４ａに接着剤によって固定されている。そして、これらコリメートレンズ１、１のレンズ端面１ａ、１ａ間にコリメータレンズ１、１と間隔をあけて誘電体多層膜フィルタ３が配置され、部材４の内壁４ａに接着剤によって固定された構造である。
図１２、図１３に示した例においては、いずれも光学特性の点から、誘電体多層膜フィルタ３とコリメートレンズ１、１の光軸を精密調整する必要があるため、マイクロステージ類などを使用し、光モニタを行いながら、位置調整をする操作が必須である。
【０００４】
この種の光コリメータ部品に使用される誘電体多層膜フィルタ３は、従来、例えば以下の様にして製造されている。
すなわち、厚さ６．５〜１０ｍｍのガラス基板上に複数の屈折率の異なる膜を順次成膜、積層して誘電体多層膜を形成する。なお、前記ガラス基板の成膜面は光学研磨されている必要がある。
その後、ダイシング加工によってガラス基板と誘電体多層膜を切り出す。このチップの大きさは、コリメートレンズ１の直径やコリメートレンズ１のビーム径に依存し、一般的には１．４〜１．５ｍｍ角の四方形とされる。
このとき、成膜物質とガラス基板との熱膨張係数の違いに起因して歪みが生じ、成膜後にガラス基板が反り返る場合がある。そこで、前記ガラス基板は、この反り返りを防止できる厚さのものが用いられる。したがって、このガラス基板の厚さは成膜する膜の総数、および成膜温度に依存する。一般的には膜の総数が多い程歪みが大きく、ガラス基板の厚さは大きくなる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
従来、図１２、図１３に示した様に、コリメートレンズ１と誘電体多層膜フィルタ３は別々に製作され、最後に接着剤を用いて一体化されている。
そのため、製品の信頼性が接着剤の信頼性に大きく左右されるという問題があった。
一般的に、接着剤に用いられる合成樹脂は、耐湿特性・耐高温特性などが低く、環境に対する長期信頼性が低い。そのため、この接着剤の経時劣化によって、接着界面の剥離などが生じ、光コリメータ部品の故障が生じる場合があった。また、製造時においても、接着剤に用いられる合成樹脂の特性のばらつきや経時変化などが生じるため 光コリメータ部品の品質管理が難しく、安定した接着特性を得ることが難しいといった問題があった。
特に、図１２に示した様に、コリメートレンズ１と誘電体多層膜フィルタ３とを直接接着剤を介して固定する方式の光コリメータ部品においては、光路中に接着剤層が存在するため、上述の様な問題が顕著に顕れる傾向があった。
【０００６】
具体的には、例えばＷＤＭフィルタ部品（ＷＤＭ：wavelength division multiplexing）においては、このような光コリメータ部品が組み合わされて用いられている。以下、図１２を利用して説明する。このＷＤＭフィルタ部品においては光コリメータ部品を構成する誘電体多層膜フィルタ３において反射される反射光を利用する。
この反射光は一方のコリメートレンズ１を通ってその出力端面１ｂから出力される。そのため、コリメートレンズ１の出力端面１ｂと誘電体多層膜フィルタ３の反射面３ｃの配置角度が変化すると、反射光が透過する部材側の光の損失量が大きく変動する。よって、温度サイクルによって接着剤に用いられている合成樹脂が熱膨張することによってコリメートレンズ１、光ファイバ２、および誘電体多層膜フィルタ３の配置角度が変動すると、光学特性の変動が大きくなる。
ＷＤＭフィルタ部品の中でも特に狭帯域バンドパスフィルタは急峻な波長依存性を有するデバイスであるため、誘電体多層膜フィルタ３への光の入射角が変化すると、波長シフトが生じて所望の特性が得られなくなる。
この狭帯域バンドパスフィルタに係る問題は特に図１３に示した様に、コリメートレンズ１、１と誘電体多層膜フィルタ３とを間接的に接着、固定した構造のものに顕著であった。
【０００７】
図１４は、一般的に使用されているコリメートレンズ（商品名：Selfoc、日本板ガラス社製）を使用した光コリメータ部品の反射ポートにおける、誘電体多層膜フィルタの配置角度の変化と損失変動の関係を示したグラフである。このグラフから、誘電体多層膜フィルタの配置角度によって損失が大きく変化することがわかる。
【０００８】
また、上述の様にガラス基板は成膜用に光学研磨されている必要があり、製作コストが高いという問題があった。また、膜数が多くなると、反り返りを防止するためにガラス基板を厚くする必要があり、厚くした分を成膜後に研磨で除去する工程が必要となる。そのため、さらにコストが増大するという問題があった。
また、ダイシング工程などが必要で製造工程が多い。さらに、誘電体多層膜フィルタとコリメートレンズの光軸の位置調整を精密に制御するための操作が非常に面倒であり、かつ、工程数の増加も招き、コスト上昇の一因となっていた。そのため、製造工程をさらに簡単でき、その結果コストの低減や、製造性の向上を図ることができる技術が要望されていた。
また、一般的には成膜で使用するガラス基板は加工が難しく、ダイシング時０．５ｍｍといった厚い砥石で加工しなければならないため、切りしろ面積が大きく、
無駄になる誘電体多層膜が多く、これによるコスト上昇も問題となっていた。
【０００９】
本発明は前記事情に鑑てなされたもので、製品安定性を向上させることができる光コリメータ部品を提供することを課題とする。具体的には、接着剤の使用量を少なくすることができ、接着剤に使用されている合成樹脂の熱膨張などによって製品特性が変化しない光コリメータ部品を提供することを課題とする。
また、誘電体多層膜付光コリメータ部品のコストを低減することができる技術を提供することを課題とする。
具体的には、ガラス基板に係るコスト増加の原因を解決し、また、製造途中で無駄になる誘電体多層膜の面積が少なく、できるだけ簡単な工程で、かつ簡便な操作で製造できる誘電体多層膜付光コリメータ部品を提供することを課題とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の第１の発明は、複数のコリメートレンズを、当該複数のコリメートレンズのレンズ端面を揃えて配列したコリメートレンズ配列束を形成する配列工程と、
前記複数のコリメートレンズのレンズ端面に誘電体多層膜フィルタを成膜する成膜工程とを備え、
前記配列工程において、前記コリメートレンズ配列束の一部に屈折率分布が形成されていないダミーのロッドを配し、
前記成膜工程において、前記ダミーのロッドを透過する光をモニタしながら成膜の制御を行うことを特徴とする誘電体多層膜付光コリメータ部品の製造方法である。
前記配列工程において、前記複数のコリメートレンズを、金属、ガラスまたはセラミックスからなる固定部材の開口部に固定し、前記コリメートレンズ配列束を形成することが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は本発明の光コリメータ部品の一例の概略構成図である。図中符号１１は円柱形のコリメートレンズであり、ふたつのコリメートレンズ１１、１１がそのレンズ端面１１ａ、１１ａどうしが対向する様に、円板状の誘電体多層膜フィルタ１３を介して配置されている。この光コリメータ部品の特徴は、一方のコリメートレンズ１１のレンズ端面１１ａに直接、誘電体多層膜フィルタ１３が成膜されている点である。
なお、これらコリメートレンズ１１、１１の出力端面１１ｂ、１１ｂにはそれぞれ光ファイバ１２、１２の端部が接続されている。光ファイバ１２としては、例えば石英系の裸光ファイバの上にプラスチック製の被覆層が設けられた光ファイバ素線、あるいはこの光ファイバ素線の上にさらにプラスチック製の被覆層が設けられた光ファイバ心線などを用いることができる。
この光コリメータ部品は、実際には、図１２に示した例と同様に、誘電体多層膜フィルタ１３の片面１３ａと、誘電体多層膜フィルタ１３を成膜していないコリメートレンズ１１のレンズ端面１１ａとを接着剤などを用いて接着、一体化して用いる。
接着剤としては、例えば紫外線硬化型エポキシ樹脂などを用いることができる。
なお、本発明の光コリメータ部品においては、誘電体多層膜フィルタ１３が成膜されたコリメートレンズ１１が少なくともひとつ設けられていればよく、他のコリメートレンズ１１などは必要に応じて設けられるものである。
【００１２】
この誘電体多層膜フィルタ１３を直接成膜したコリメートレンズ１１は、図２（ａ）に示したガラス基板１４にかえて、コリメートレンズ１１、１１…を複数本、レンズ端面１１ａ、１１ａ…と出力端面１１ｂ、１１ｂ…とを揃えて配列し、束ねて固定したコリメートレンズ配列束１５を用い（配列工程）、このコリメートレンズ配列束１５に直接成膜することによって製造することができる（成膜工程）。なお、この例においてコリメートレンズ１１は石英系ガラス製のもので、直径０．５ｍｍ、長さ６ｍｍの屈折率分布型のロッドレンズである。
このときの固定には、好ましくは有底の開口部を備えた固定部材を用意し、その開口部にコリメートレンズ１１、１１…を配列し、固定する方法などを例示することができる。
【００１３】
なお、誘電体多層膜フィルタ１３の成膜には後述する様に真空蒸着法やスパッタリング法などの公知の方法を用いることができる。この例においては、成膜の緻密性、密着度を向上させるためにイオンアシストを併用した真空蒸着法を好適に用いている。
そして、この成膜時にはコリメートレンズ１１、１１…が数百℃の高温になったり、高真空状態になる。一般的には約３００度付近の温度条件で成膜すると膜質を安定させることができる。しかし、固定部材からアウトガスを発生するとコンタミの原因になり、成膜歩留まりが低下する。したがって、固定部材は金属、ガラス、セラミックスなどであり、かつ成膜時条件下でアウトガスを発生しない材料からなるものが好ましい。本実施例においては金属製の固定部材を用い、この固定部材の直径３０ｍｍ、深さ４ｍｍの円形開口部に３０００本のコリメートレンズ１１と、好ましくはその中心付近にダミーのロッド１１’を１本配置してコリメートレンズ配列束１５を形成する。なお、ロッド１１’はコリメータレンズ配列束１５のいずれかの場所（一部）に配置されていればよく、中心付近である必要はないが、成膜の制御の点ではコリメータレンズ配列束１５の中心付近に配置することが好ましい。
なお、ロッド１１’は、成膜時に成膜制御を行うためのもので、この例においてコリメートレンズ１１は石英系ガラスからなるため、屈折率の点から、ロッド１１’も石英系ガラス製であって、屈折率分布が形成されていないものである。
【００１４】
誘電体多層膜フィルタ１３は屈折率の異なる膜が複数層積層されたものである。この例において、誘電体多層膜フィルタ１３は、比較的狭い特定の波長帯域の光は透過し、その他の波長帯域の光は反射する特性を備えた狭帯域バンドパスフィルタである。
誘電体多層膜フィルタ１３は、膜の屈折率や膜数などを変更することにより透過する光の波長帯域や波長幅などを変更することができる。
この例において、屈折率の高い物質としてＴａ₂Ｏ₅ 、屈折率の低い物質としてＳｉＯ₂ を用い、これらの材料からなる膜を交互に積層して誘電体多層膜フィルタ１３としている。総膜数は約１００層、膜厚は約３０μｍである。
なお、膜数や各膜の材料は用途などに応じて種々の条件を設定することができる。
【００１５】
具体的には、各層の材料を、真空蒸着法やスパッタリング法などの公知の方法を用いて成膜し、積層することによりコリメートレンズ配列束１５を構成するコリメートレンズ１１、１１…およびロッド１１’、１１’…の上に、誘電体多層膜フィルタ１３を直接成膜することができる。
このとき、図２（ｂ）に示した様に、コリメートレンズ配列束１５の中心付近に配置したダミーのロッド１１’について、光を通過させ、この透過光のスペクトルを分光器でモニタして、各層の成膜制御を行いながら成膜する。その結果、例えば０．１〜０．０１％の範囲で精密に膜厚を制御して、所望の光学特性を備えた誘電体多層膜フィルタ１３を製造することができ、好ましい。
従来の方法では、この様に０．１〜０．０１％という厳しい範囲で膜厚を制御することは非常に困難であるが、本発明においては、コリメータレンズ１１、１１…と同様の条件で成膜されているロッド１１’の透過光をモニタすることにより、精密な成膜を行うことができる。
そして、モニタの結果から、所定の光学特性が得られた時点で成膜を終了し、固定部材からコリメートレンズ１１、１１…を取り外す。
【００１６】
この誘電体多層膜付光コリメータ部品においては、図１２、図１３に示した従来のものと比較して、誘電体多層膜フィルタ１３がコリメートレンズ１１と一体化しているため、接着剤の使用箇所を少なくすることができる。
したがって、接着剤に使用されている合成樹脂の熱膨張などによる光学特性の変動を従来よりも小さくすることができる。
また、コリメートレンズ１１に直接成膜して誘電体多層膜フィルタ１３を形成するため、高価なガラス基板が必要ない。
さらに、はじめからコリメートレンズ１１と誘電体多層膜フィルタ１３とが一体化しているため、光軸の位置調整を簡略化、あるいは省略することができる。
また、無駄になる誘電体多層膜が少ないという利点もある。
その結果、コストの低減を図ることができる。
【００１７】
図３は、この例において得られた誘電体多層膜付光コリメータ部品の損失波長特性の一例を示したグラフである。
横軸は波長（ｎｍ）、縦軸は透過率（ｄＢ）であり、透過率０ｄＢのときに、その波長帯域の光が誘電体多層膜フィルタを透過していることを示し、透過率がマイナスにシフトしている場合は、その波長帯域の光が反射光となっていることを示している。
このグラフから分かるように、１５４７〜１５４９ｎｍの比較的狭い波長帯域の透過率がゼロ付近となっており、この狭い波長帯域の光を選択的に透過する狭帯域バンドパスフィルタとしての特性が得られていることが明らかである。
【００１８】
本例においては、石英系ガラス製のコリメートレンズ１１やロッド１１’を用いたが、他の材質のものを用いることもできる。例えば多成分ガラス系の屈折率分布型ロッドレンズなどを例示することができる。例えば上述のコリメートレンズ（商品名：Selfoc、日本板硝子社製）はフリント系ガラス製の屈折率分布型ロッドレンズである。
なお、上述の様に成膜時の高温条件下などにおいてアウトガスを生じると不都合であるから、例えば商品名：Selfocを用いる場合は成膜時の温度条件を２００℃以下に制御する必要があり、成膜効率が低下する。
なお、球面レンズの様にレンズ端面１１ａに凹凸があるものは均一な膜厚の成膜ができないため、不向きである。したがって、レンズ端面１１ａが平滑な屈折率分布ロッドレンズが好ましい。
よって、本発明においては、製造性および誘電体多層膜フィルタの特性の点から、コリメートレンズ１１として石英系ガラス製の屈折率分布型のロッドレンズを用いると好ましい。
【００１９】
本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品の用途は限定するものではないが、好ましくは、例えば光増幅器に使用されるポンプ光合波機能を実現するための光フィルタや光通過帯域が数十から数百ＧＨｚの狭帯域バンドパスフィルタなどの高機能フィルタなどである。
そのためには、誘電体多層膜フィルタ１３を構成する膜数は、少なくとも数十層以上とされ、通常は５０〜１４０層必要とされる。
本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品において、成膜においては、膜の光学特性の精密な制御が必要である。特に膜数が多い高機能フィルタにおいては、例えば０．１％〜０．０１％の範囲で膜厚を制御して、誘電体多層膜フィルタを形成する必要がある。したがって、成膜の精密な制御性の点から、上述の様に、ロッド１１’を設け、コリメータレンズ１１と同様の条件で成膜される当該ロッド１１’の透過光をモニタしながら、好ましくは真空蒸着法、スパッタリング法などによって成膜することが好ましい。
【００２０】
本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品は、誘電体多層膜フィルタの特性や組み合わせる部材の構成を変更することによって、種々の光素子を構成することができる。
本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品を応用した光素子としては、以下の様なものを例示することができる。
図４はＷＤＭフィルタ素子の一例を示したもので、コリメートレンズ１１のレンズ端面１１ａに直接誘電体多層膜フィルタ１３が成膜され、出力端面１１ｂには２本の光ファイバ１２、１２が接続されている。これら光ファイバ１２、１２を便宜上それぞれ第１ポート２０Ａ、第２ポート２０Ｂとする。
ここで用いられる誘電体多層膜フィルタ１３は狭帯域バンドパスフィルタ２２である。
この素子においては、さらに前記コリメートレンズ１１のレンズ端面１１ａに対向する様に、前記誘電体多層膜フィルタ１３を介して他のコリメートレンズ１１が設けられている。この、他のコリメートレンズ１１の出力端面１１ｂには１本の光ファイバ１２が接続されている。この光ファイバ１２を便宜上第３ポート２１とする。
なお、前記第３のポート２１側の他のコリメートレンズ１１と前記誘電体多層膜フィルタ１３とを接着剤などを用いて一体化した状態で使用する。
【００２１】
このＷＤＭフィルタ素子において、第１ポート２０Ａから波長λ１の光と、波長λ２の光との合波光を入力すると、λ１の光が狭帯域バンドパスフィルタ２２を透過し、第３ポート２１から出力する。一方λ２の光は狭帯域バンドパスフィルタ２２にて反射され、第２ポート２０Ｂから出力する。
【００２２】
図５に示した光素子はレーザダイオードを用いた発光素子であって、コリメートレンズ１１と、そのレンズ端面１１ａに成膜された誘電体多層膜フィルタ１３と、出力端面１１ｂに接続された１本の光ファイバ１２を備えている。そして、前記誘電体多層膜フィルタ１３側にはレーザダイオード２３が設けられている。
実際には誘電体多層膜フィルタ１３とレーザダイオード２３とを接着剤などによって一体化して使用する。
誘電体多層膜フィルタ１３はレーザダイオード２３の発光に適した波長帯域の光のみを選択的に透過する波長安定化フィルタ２４である。波長安定化フィルタ２４は狭帯域バンドパスフィルタであるが、その透過率が比較的低く設定されている。
【００２３】
そのため、光ファイバ１２から光を入力すると、レーザダイオード２３の発光に適した波長帯域の光のみが波長安定化フィルタ２４を透過し、レーザダイオード２３に入力され、さらにその出力端面２３ａにおいて反射される。この反射光は波長安定化フィルタ２４にて反射され、さらに出力端面２３ａにて反射される動作が繰り返されることによって、出力端面２３ａと波長安定化フィルタ２４との間で光が共振し、増幅され、一定のパワーを超えると再び光ファイバ１２から出力する。
この様に光ファイバ１２に入力した光のうち、レーザダイオード２３の発光に適した波長帯域の光のみが波長安定化フィルタ２４を選択的に透過し、レーザダイオード２３に入力されるため、レーザダイオード２３の特性をより安定させることができる。
【００２４】
図６は、図４に示したＷＤＭフィルタ素子と光アイソレータとを複合した複合型光素子であって、光増幅器などにポンプ光を入力するデバイスとして好適なものである。
図４に示したＷＤＭフィルタ素子と異なるのは、誘電体多層膜フィルタ１３と、第３ポート２１側のコリメートレンズ１１との間に光アイソレータ２５が挿入されている点である。この光アイソレータ２５は偏光板とファラデー素子とを組み合わせたものなどを例示することができ、例えば光増幅器を挿入した光通信システムにおいて、光信号の進行方向と同方向にのみ光を透過するものである。
実際には光アイソレータ２５と誘電体多層膜フィルタ１３とを接着剤などを用いて一体化して使用する。
光増幅器などにポンプ光を入力するには、一般にＷＤＭフィルタ素子と光アイソレータが別々に設置されるが、この複合型光素子を用いることにより、設置の操作が簡単となり、またスペース効率も向上する。また、本発明の光コリメータ部品は耐環境特性に優れているため、安定な光学特性を得ることができる。
【００２５】
図７に示した光素子は、第３ポート２１側のコリメートレンズ１１のレンズ端面１１ａにも誘電体多層膜フィルタ１３が成膜され、誘電体多層膜フィルタ１３、１３が２層構造となっている点が、図４に示したＷＤＭフィルタ素子と異なっている。
この例においては、第３ポート２１側の誘電体多層膜フィルタ１３はクロストーク向上用フィルタ２６である。このクロストーク向上用フィルタ２６には、狭帯域バンドパスフィルタ２２とは成膜材料は同一であるが、総膜数、膜厚などが異なる誘電体多層膜フィルタ１３が用いられている。このクロストーク向上用フィルタ２６は、狭帯域バンドパスフィルタ２２を透過した光について、さらにクロストークを生じる波長帯域の光を選択的に除去するものである。その結果、第３ポート２１に出力される光のノイズが低下し、受光感度の向上などを図ることができる。
【００２６】
図８に示した光増幅器用複合型光素子である。この光素子は、コリメートレンズ１１、１１の両方に１本ずつ光ファイバ１２、１２が接続されている点と、一方の誘電体多層膜フィルタ１３が利得等化フィルタ２７である点が図７に示した光素子と異なっている。この利得等化フィルタ２７には、狭帯域バンドパスフィルタ２２とは成膜材料は同一であるが、総膜数、膜厚などが異なる誘電体多層膜フィルタ１３が用いられている。
エルビウム添加光ファイバなどを用いた光増幅器は利得の波長依存性があることが知られている。そのため、この利得等化フィルタ２７は、図示しない光増幅器によって増幅された光のうち、利得が大きい光のパワーの一部が選択的に減衰する様に動作する。その結果、利得等化フィルタ２７によって利得が平坦化された光を出力することができる。
また、図９に示した様に、図６に示した光素子と図８に示した光素子とを組み合わせた構成とすることもできる。
【００２７】
図１０は、本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品を複数組み合わせた多波長光合分波光素子の構成の一例を示したものである。
図中符号３１〜３８は誘電体多層膜付光コリメータ部品であり、これらを構成するコリメートレンズ１１Ａ、１１Ｂ、…１１Ｉのレンズ端面はレンズの光軸方向に対して垂直ではなく、所定の角度に研磨され、斜めになっている。そして、このレンズ端面に誘電体多層膜フィルタ１３Ａ、１３Ｂ、…１３Ｉが成膜されている。
この光素子においては、光ファイバ１２Ａからλ１、λ２、λ３、λ４、λ５、λ６、λ７、およびλ８の８つの波長の光を含む合波光を入力すると、この光は、まず円柱状のコリメートレンズ１１Ａを透過してコリメート（平行化）される。その後、第１の光コリメータ部品３１の誘電体多層膜フィルタ１３Ｂにおいて、λ１の光のみが透過し、光ファイバ１２Ｂから出力され、他の光は反射される。この反射光は第２の光コリメータ部品３２の誘電体多層膜フィルタ１３Ｃに至り、λ２の光のみが透過し、光ファイバ１２Ｃから出力され、他の光は反射される。この反射光は第３の光コリメータ部品３３の誘電体多層膜フィルタ１３Ｄに至り、λ３の光のみが透過し、光ファイバ１２Ｄから出力され、他の光は反射される。
この反射光は第４の光コリメータ部品３４の誘電体多層膜フィルタ１３Ｅに至り、λ４の光のみが透過し、光ファイバ１２Ｅから出力され、他の光は反射される。この反射光は第５の光コリメータ部品３５の誘電体多層膜フィルタ１３Ｆに至り、λ５の光のみが透過し、光ファイバ１２Ｆから出力され、他の光は反射される。この反射光は第６の光コリメータ部品３６の誘電体多層膜フィルタ１３Ｇに至り、λ６の光のみが透過し、光ファイバ１２Ｇから出力され、他の光は反射される。この反射光は第７の光コリメータ部品３７の誘電体多層膜フィルタ１３Ｈに至り、λ７の光のみが透過し、光ファイバ１２Ｈから出力され、他の光は反射される。この反射光は第８の光コリメータ部品３８の誘電体多層膜フィルタ１３Ｉに至り、λ８の光のみが透過し、光ファイバ１２Ｉから出力され、他の光は反射される。
そして、この反射光は円柱状のコリメートレンズ１１Ｊに至り、コリメートされた後に光ファイバ１２Ｊから出力される。
【００２８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品においては、誘電体多層膜フィルタがコリメートレンズと一体化しているため、接着剤の使用箇所を少なくすることができる。
したがって、接着剤に使用されている合成樹脂の熱膨張などによる光学特性の変動を従来よりも小さくすることができ、長期信頼性の向上を図ることができる。
また、コリメートレンズに直接成膜して誘電体多層膜フィルタを形成するため、高価なガラス基板が必要ない。
さらに、はじめからコリメートレンズと誘電体多層膜フィルタとが一体化しているため、光軸の位置調整を簡略化、あるいは省略することができる。
また、無駄になる誘電体多層膜が少ないという利点もある。
その結果、コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の光コリメータ部品の一例の概略構成図である。
【図２】 図２（ａ）は従来の誘電体多層膜付光コリメータ部品の製造に用いるガラス基板を示した斜視図、図２（ｂ）は本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品の製造に用いるコリメートレンズ配列束の構成の一例を示した斜視図である。
【図３】 本発明の一例において得られた誘電体多層膜付光コリメータ部品の損失波長特性の一例を示したグラフである。
【図４】 本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品を用いたＷＤＭフィルタ素子の一例を示した概略構成図である。
【図５】 本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品を用いたレーザダイオードを用いた発光素子の一例を示した概略構成図である。
【図６】 図４に示したＷＤＭフィルタ素子と光アイソレータとを複合した複合型光素子の一例を示した概略構成図である。
【図７】 本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品を用いたＷＤＭフィルタ素子の他の例を示した概略構成図である。
【図８】 本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品を用いた光増幅器用複合型光素子の一例を示した概略構成図である。
【図９】 図８に示した光増幅器用複合型光素子において、アイソレータを挿入した素子の一例を示した概略構成図である。
【図１０】 本発明の誘電体多層膜付光コリメータ部品を複数組み合わせた多波長光合分波光素子の構成の一例を示した概略構成図である。
【図１１】 従来の一般的な誘電体多層膜付光コリメータ部品の概略構成図である。
【図１２】 従来の誘電体多層膜フィルタとコリメートレンズとを一体化した構造の一例を示した概略構成図である。
【図１３】 従来の誘電体多層膜フィルタとコリメートレンズとを一体化した構造の他の例を示した概略構成図である。
【図１４】 一般的に使用されているコリメートレンズを使用した光コリメータ部品における、誘電体多層膜フィルタの配置角度の変化と損失変動の関係を示したグラフである。
【符号の説明】
１１…コリメートレンズ、１１ａ…レンズ端面、１１’…ダミーのロッド、
１３…誘電体多層膜フィルタ、１５…コリメートレンズ配列束。

Claims (2)

1. 複数のコリメートレンズを、当該複数のコリメートレンズのレンズ端面を揃えて配列したコリメートレンズ配列束を形成する配列工程と、
   前記複数のコリメートレンズのレンズ端面に誘電体多層膜フィルタを成膜する成膜工程とを備え、
   前記配列工程において、前記コリメートレンズ配列束の一部に屈折率分布が形成されていないダミーのロッドを配し、
   前記成膜工程において、前記ダミーのロッドを透過する光をモニタしながら成膜の制御を行うことを特徴とする誘電体多層膜付光コリメータ部品の製造方法。
2. 前記配列工程において、前記複数のコリメートレンズを、金属、ガラスまたはセラミックスからなる固定部材の開口部に固定し、前記コリメートレンズ配列束を形成することを特徴とする請求項１に記載の誘電体多層膜付光コリメータ部品の製造方法。

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