JP4642121B2

JP4642121B2 - 手動ステージ用ベース板

Info

Publication number: JP4642121B2
Application number: JP2009102550A
Authority: JP
Inventors: 洋明村松
Original assignee: Miruc Optical Co Ltd
Current assignee: Miruc Optical Co Ltd
Priority date: 2009-04-21
Filing date: 2009-04-21
Publication date: 2011-03-02
Anticipated expiration: 2029-04-21
Also published as: JP2010256014A

Description

本発明は、手動ステージ用ベース板に係り、特に、精密機器が取付けられる摺動部品と、土台に固定されるベース板が接続される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージの部品である手動ステージ用ベース板に関する。

ＣＣＤカメラやセンサなどの電機・電子機器、レンズや顕微鏡等の光学機器、ＬＥＤなどの照明機器といった精密機器は、取り付けに際し、位置決めやピント合わせのために位置調整しなければならない。また、取り付け後において、さらにその位置を微調整する場合も発生する。

これらの精密機器は、一般的に「ステージ」と称される機械要素上に設置されて位置調整される。手動ステージとは、これらのステージのうち、ハンドル操作により部品を手動で摺動させるステージをいう。この手動ステージは、機器が取付けられる摺動部品と、土台に接続される固定部品とが摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を固定部品に対して手動で摺動させるのが一般的である。この手動ステージには、その摺動機構により、例えば、アリ溝式ステージ、送りネジ式ステージ、リニアボール式ステージ、クロスローラ式ステージ、簡易ボール式ステージ、アリ溝スライドレール式ステージなどが含まれる。また、それぞれのステージには、使用目的に応じて多様な形式があり、例えば、アリ溝式ステージの場合には、１方向に摺動するＸ軸アリ溝式ステージ、略直交する２方向に摺動するＸＹ軸アリ溝式ステージ、上下方向に摺動するＺ軸アリ溝ステージ、回転して摺動する回転ステージなどがある。

図１８に、従来の一般的なＸ軸アリ溝式ステージを示す。Ｘ軸アリ溝式ステージ１００は、台形状に窪んだアリ溝１０２を有する固定部品１０５に対し、台形状に突出したアリ１０１を有する摺動部品１０４が移動可能に嵌合される。この固定部品１０５は、締結具（図示せず）が挿入される土台締結用孔１０６を有するベース板１０８を介して土台（図示せず）に固定される。また、摺動部品１０４は、精密機器取付け用孔１０７に挿入される締付具（図示せず）を介して精密機器（図示せず）に接続される。摺動部品１０４は、ハンドル１０９を回転させることにより図中の矢印の方向に移動する。これは、Ｘ軸アリ溝式ステージ１００の内部に、ラック及びピニオンギア（図示せず）、或いは送りねじ（図示せず）などの駆動機構が組み込まれていることによる。これらの駆動機構により、ハンドル１０９の回転が、摺動部品１０４の水平方向への移動に変換される。

図１９に、従来の一般的なＸＹ軸アリ溝式ステージを示す。このＸＹ軸アリ溝式ステージ２００は、図中の左右方向である矢印の方向に摺動する上部ユニット２０２と，上部ユニット２０２と略直交する方向に摺動する下部ユニット２０３とが、締付具２０１及び接着剤により接着面２０６で接合されている。なお、図１９では、上部ユニット２０２の摺動ユニット２０４を図の左側にスライドさせた状態を示す。上部ユニット２０２の固定ユニット２０５には、締付具２０１用の接続用孔２０７ａが設けられ、下部ユニット２０３の摺動ユニット２０４には、締付具２０１用の接続用孔２０７ｂが設けられている。そして、略直交する２つのハンドル２０９ａ及び２０９ｂによりＸＹ方向に摺動させる。

送りネジ式ステージは、アリを有する摺動部品、アリ溝を有する固定部品、摺動機構である雄ネジ棒及び雌ネジ筒、ハンドル、及びストッパから構成される。この雄ネジ棒を雌ネジ筒に係合させ、ハンドルを回転させることで摺動部品が固定部品に対して摺動する機構のステージである。

簡易ボール式ステージは、溝部を有する摺動部品、溝部を有する固定部品、ハンドル、及びワイヤ、スプリングなどから構成される送り手段から構成される。摺動部品の溝部及び固定部品側の溝部は、互いに対向する略半円筒状の溝であり、組み合わされると略円筒状となる。この略円筒状の溝内に複数のボールが嵌め込まれて配置される。そして、このボールの回転により摺動部品と固定部品が滑らかにスライドする機構のステージである。

アリ溝スライドレール式ステージは、アリ溝を有する摺動部品、アリを有する固定部品、ハンドル、及び摺動部品に取付けられた脚部から構成される。固定部品には土台固定用締結孔が設けられ、摺動部品には精密機器取付け用孔が設けられる。この摺動部品と固定部品とは、摺動部品に取付けられた複数の脚部により接触する。すなわち、この脚部が固定部品のレール状のアリに接触しながらスライドする機構のステージである。

リニアボール式ステージは、固定部品と摺動部品とが擬円筒の摺動面であるゴシックアーク溝を形成し、ボールがそのゴシックアーク溝に挟まれるように配置されることで固定部品に対して摺動部品を摺動させる機構のステージである。

クロスローラ式ステージは、固定部品と摺動部品とにＶ字型の溝であるローラレースが形成され、円筒コロがこの２本のローラレースに挟まれた空間に互い違いに配置されることで固定部品に対して摺動部品を摺動させる機構のステージである。

一方、特許文献１には、ＸＹ軸アリ溝式ステージである汎用アリ溝摺動ユニットが開示されている。ここでは、複数のアリ溝摺動ユニットを、締結具により着脱自在である連結部品により組合せることで、精密機器を平面状の２軸方向に位置調整でき、また、複数のアリ溝摺動ユニットが着脱自在であることで、例えば、ハンドルの方向などを容易に変更できるアリ溝摺動ユニットが記載されている。

また、特許文献２には、ＸＹ軸アリ溝式ステージである複合アリ溝摺動ユニットが開示されている。ここでは、更に複数のアリ溝摺動ユニットを、連結部品を用いずに連結させる技術が記載されている。また、複数のアリ溝摺動ユニットのそれぞれのハンドルの回転軸を共有させ、２つのハンドル操作を１箇所で行うことができるアリ溝摺動ユニットが記載されている。

特許第３９２３９９７号特開２００８−８４４６号公報

これらの手動ステージは、固定部品に接続するベース板が締結具の締め付けにより土台に固定されるが、手動ステージの使用中において取付けられた精密機器、或いは周囲の駆動装置などの繰り返しの機械振動を受け、締め込まれた締結具が緩み手動ステージの位置がずれてしまうという問題がある。

本願の目的は、かかる課題を解決し、手動ステージを土台に固定する締結具が機械振動などにより緩むことを防止する手動ステージ用ベース板を提供することである。

上記目的を達成するため、本発明に係る手動ステージ用ベース板は、精密機器が取付けられる摺動部品と、土台に固定されるベース板が接続される固定部品と、が摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージの部品である手動ステージ用ベース板において、土台締結用孔を有し、土台側に凹部が設けられるベース板と、ベース板の凹部の内部に収納され、ベース板の裏面に固定されるゴムと、ベース板の土台締結用孔に貫通されて手動ステージの位置出しをして手動ステージを土台に固定する締結具と、を備え、ベース板は、ゴムと土台とが所定の離間距離を有するようにゴムを保持し、ゴムは、手動ステージを土台に固定する締結具が締付けられることで圧縮され、その復元力により締付具に張力を導入することを特徴とする。

上記構成により、手動ステージ用ベース板は、圧縮された弾性体の復元力により締結具に張力が導入され、繰り返しの機械振動を受けた場合であっても、手動ステージを土台に固定する締結具が緩むことが防止できる。

上記目的を達成するため、本発明に係る手動ステージ用ベース板は、精密機器が取付けられる摺動部品と、土台に固定されるベース板が接続される固定部品と、が摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージの部品である手動ステージ用ベース板において、土台締結用孔を有し、土台側に凹部が設けられるベース板と、ベース板の凹部の内部に収納され、ベース板の裏面に固定される高減衰ゴムと、ベース板の土台締結用孔に貫通されて手動ステージの位置出しをして手動ステージを土台に固定する締結具と、を備え、ベース板は、高減衰ゴムと土台とが所定の離間距離を有するように高減衰ゴムを保持し、高減衰ゴムは、手動ステージを土台に固定する締結具が締付けられることで圧縮され、その復元力により締付具に張力を導入し、せん断変形に対する復元力により土台から入力される振動のエネルギを吸収することを特徴とする。

上記構成により、手動ステージ用ベース板は、圧縮された粘弾性材の復元力により締結具に張力が導入され、繰り返しの機械振動を受けた場合であっても、手動ステージを土台に固定する締結具が緩むことが防止できる。また、土台から入力される微振動に対して粘弾性材によりエネルギ吸収され、取付けられる精密機器の微振動を抑制できる。

以上のように、本発明に係る手動ステージ用ベース板によれば、手動ステージを土台に固定する締結具が機械振動などにより緩むことを防止する手動ステージ用ベース板を提供することができる。

本発明に係る手動ステージ用ベース板の第１の実施形態である磁石が収納された場合の概略構成を示す平面図及び断面図である。本発明に係る手動ステージ用ベース板の第２の実施形態である弾性体が収納された場合の概略構成を示す平面図及び断面図である。本発明に係る手動ステージ用ベース板の第３の実施形態である粘弾性材が収納された場合の概略構成を示す平面図及び断面図である。粘弾性材のせん断変形後の形状の概念を示す断面図である。本発明の対象となるＸ軸ステージの平面図及び側面図である。本発明の対象となるＸ軸ステージ（ハンドル延長タイプ）の平面図及び側面図である。本発明の対象となるＸＹ軸ステージの平面図及び側面図である。本発明の対象となるＺ軸ステージの平面図及び側面図である。本発明の対象となるＸ軸ステージの平面図、底面図、及び側面図である。本発明の対象となるＺ軸ステージの平面図、底面図、及び側面図である。本発明の対象となるＸ軸ステージの平面図、底面図、及び側面図である。本発明の対象となるＸステージ（アリ溝送りネジタイプ）の平面図、底面図、及び側面図である。本発明の対象となるＸ軸ステージ（アリ溝スリム送りネジタイプ）の平面図、底面図、及び側面図である。本発明の対象となるＸ軸ステージ（アリ溝スリム送りネジタイプ）の平面図、底面図、及び側面図である。本発明の対象となる回転ステージの平面図、底面図、及び側面図である。本発明の対象となるＸ軸ステージの平面図、底面図、及び側面図である。本発明の対象となるＸ軸粗微動ステージの平面図、底面図、及び側面図である。従来の一般的なＸ軸アリ溝式ステージを示す斜視図である。従来の一般的なＸＹ軸アリ溝式ステージの側面図である。

以下に、図面を用いて本発明に係る手動ステージ用ベース板の実施形態につき、詳細に説明する。本実施形態では、手動ステージの一例としてＸ軸アリ溝式ステージについて説明するが、それに限らずＸＹ軸アリ溝式ステージ、Ｚ軸アリ溝式ステージ、回転ステージなどのベース板にも適用される。また、その他の機構の手動ステージである、送りネジ式ステージ、簡易ボール式ステージ、アリ溝スライドレール式ステージ、リニアボール式ステージ、クロスローラ式ステージなどのベース板にも適用される。

（第１実施形態）
図１に、本発明の第１実施形態である、手動ステージ用ベース板１に磁石５が収納された場合の概略構成を示す。図１（ａ）には、手動ステージ用ベース板１を裏面からみた平面を示す。図１（ｂ）には、図１（ａ）のＡ−Ａ断面を示す。

手動ステージ用ベース板１の裏面には略正方形に窪んだ凹状箱部２が設けられる。そして、凹状箱部２の内部に直方体の磁石５が接合されて収納される。本実施形態では、この凹状箱部２は手動ステージ用ベース板１の裏面に１箇所だけ設けられるが、これに限らず、例えば、より小さな複数箇所の略正方形の凹状箱部２が配置されても良い。また、本実施形態では、凹状箱部２の形状を略正方形としているがそれに限らず、例えば、長方形、円形などの形状であっても良い。

略正方形の磁石５の各片長は、凹状箱部２に挿入可能な大きさであれば良い。また、磁石５の幅は、磁石５が挿入された手動ステージ用ベース板１を土台７に設置した際に、磁石５と土台７とが接触する幅に設定される。この磁石５は、図１（ｂ）に示すように、磁石５及び手動ステージ用ベース板１にそれぞれ４箇所設けられた磁石取付け用孔６にビス（図示せず）がねじ込まれて手動ステージ用ベース板１の裏面に固定される。或いは、磁石５は、手動ステージ用ベース板１の裏面に接着により固定されても良い。

手動ステージ用ベース板１は、手動ステージである、例えば、図５のＸ軸アリ溝ステージ１００の固定部品１０５、図６のＸＹ軸アリ溝ステージ２００の固定ユニット２０５、又は他の手動ユニットのベース板に接続するための４箇所のベース板取付け用孔４を有する。手動ステージ用ベース板１はこのベース板取付け用孔４にビス（図示せず）がねじ込まれて固定される。

また、手動ステージ用ベース板１は、その隅に４箇所の土台締結用孔３を有する。この土台締結用孔３に締結具８が貫通されて土台７に固定される。土台７は、例えば、鋼製の工作機械、鉄製の定盤などの磁性体であり、永久磁石の性質を有する磁石５に引き付けられる。本実施形態では、締結具８は、手動ステージの位置出しの役割を果たす。さらには、手動ステージに締結具８を用いずに土台７に固定しても良い。

本手動ステージ用ベース板１に磁石５を組み込んで土台７上に設置することで、磁石５の磁気により土台７と強固に連結され、機械振動などの発生に起因する土台７に対する手動ステージ用ベース板１の微細なずれが回避できる。そして、土台締結用孔３に挿入された締結具８が機械振動などにより緩むことが防止できる。

（第２実施形態）
図２に、本発明の第２実施形態である、手動ステージ用ベース板１０に弾性体１１が収納された場合の概略構成を示す。図２（ａ）には、手動ステージ用ベース板１０を裏面からみた平面を示す。図２（ｂ）には、図２（ａ）のＢ−Ｂ断面を示す。

手動ステージ用ベース板１０の裏面には略正方形に窪んだ凹状箱部２が設けられる。そして、凹状箱部２の内部に直方体の弾性体１１が収納される。本実施形態では、この凹状箱部２は手動ステージ用ベース板１０の裏面に１箇所だけ設けられるが、これに限らず、例えば、より小さな複数箇所の略正方形の凹状箱部２が配置されても良い。また、本実施形態では、凹状箱部２の形状を略正方形としているがそれに限らず、例えば、長方形、円形などの形状であっても良い。

略正方形の弾性体１１の各片長は、凹状箱部２に挿入可能であり、弾性体１１が圧縮された場合に横方向へ膨出するのを抑えるだけの大きさであれば良い。また、弾性体１１の幅は、弾性体１１が挿入された手動ステージ用ベース板１０を土台７に設置した際に、弾性体１１と土台７とが所定の離間距離（ｄ₁）を有するように設定される。この弾性体１１は、図２に示すように、接触面１２で接触するように接着剤により手動ステージ用ベース板１０の裏面に固定される。この弾性体１１は、図１に示す磁石取付け用孔６と同様な孔を手動ステージ用ベース板１０に設けてビスにより固定しても良い。また、この弾性体１１は、例えばゴムのように、圧縮力を受けると大きな弾性変形を起こし元の形状に戻ろうとする復元力が発生する材料であれば良い。

手動ステージ用ベース板１０は、手動ステージである、例えば、図５のＸ軸アリ溝ステージ１００の固定部品１０５、図６のＸＹ軸アリ溝ステージ２００の固定ユニット２０５、又は他の手動ユニットのベース板に接続するために４箇所のベース板取付け用孔４を有する。手動ステージ用ベース板１０はこのベース板取付け用孔４にビス（図示せず）がねじ込まれて固定される。

また、手動ステージ用ベース板１０は、その隅に４箇所の土台締結用孔３を有する。この土台締結用孔３に締結具８が貫通されて土台７に固定される。本実施形態では、締結具８は、手動ステージの位置出し、及び手動ステージ用ベース板１０を土台７に固定する役割を果たす。

本手動ステージ用ベース板１０に弾性体１１を組み込んで土台７上に設置し、締結具８をネジ孔に締めこむと、圧縮剛性の小さな弾性体１１は、図２（ｂ）のＸ方向に圧縮される。この締結具８による締め込みは、手動ステージ用ベース板１０と土台７とが接触するまで行われ、このとき弾性体１１と土台７との離間距離（ｄ₁）がほぼゼロになる。この際に、弾性体１１には圧縮に対する復元力がＸと逆方向に発生し、その復元力は、手動ステージ用ベース板１０と土台７とを連結する締結具８に作用する。そして、締結具８には、復元力と等しい張力が導入される。この張力が導入された締結具８は頭部１５と手動ステージ用ベース板１０との間に接触摩擦力が発生し、土台締結用孔３に挿入された締結具８が機械振動などにより緩むことが防止できる。

（第３実施形態）
図３に、本発明の第３実施形態である、手動ステージ用ベース板２０に粘弾性材２１が収納された場合の概略構成を示す。図３（ａ）には、手動ステージ用ベース板２０を裏面からみた平面を示す。図３（ｂ）には、図３（ａ）のＣ−Ｃ断面を示す。また、図４には、粘弾性材２１のせん断変形後の形状の概念図を示す。

手動ステージ用ベース板２０の裏面には略正方形に窪んだ凹状箱部２が設けられる。凹状箱部２の内部に直方体の粘弾性材２１が収納される。本実施形態では、この凹状箱部２は手動ステージ用ベース板２０の裏面に１箇所だけ設けられるが、これに限らず、例えば、より小さな複数箇所の略正方形の凹状箱部２が配置されても良い。また、本実施形態では、凹状箱部２の形状を略正方形としているがそれに限らず、例えば、長方形、円形などの形状であっても良い。

略正方形の粘弾性材２１の各片長は、凹状箱部２に挿入可能であり、図４に示す粘弾性材２１のせん断変形を許容する大きさに設定される。また、粘弾性材２１の幅は、粘弾性材２１が挿入された手動ステージ用ベース板２０を土台７に設置した際に、粘弾性材２１と土台７とが離間距離（ｄ₂）を有するように設定される。この粘弾性材２１は、図３（ｂ）に示すように、接触面２２で手動ステージ用ベース板２０に固定され，接触面２３で土台７に固定されるように接着剤により手動ステージ用ベース板２０の裏面及び土台７の表面に固定される。この粘弾性材２１は、図１に示す磁石取付け用孔６と同様な孔を手動ステージ用ベース板１０に設けてビスにより固定し、さらに接着剤により土台７の表面に固定しても良い。

この粘弾性材２１は、流体のような粘性とスプリングのような弾性を併せ持った力学的挙動をする高分子材料をいい、クロロプレンゴムやシリコーンゴムなどが用いられる。また、この粘弾性材２１は、高減衰ゴムともいわれ、材料自体に減衰性能を有する。すなわち、この粘弾性材２１に応力が加わった場合、その荷重履歴に伴う非線形な挙動により振動や衝撃のエネルギを吸収し、主として熱エネルギに変換する。特に、シート状の粘弾性材２１が、その面内にせん断力を受けると、せん断変形を起こすと共にエネルギ吸収を行い、振動や衝撃により発生する応力を減衰する。

手動ステージ用ベース板２０は、手動ステージである、例えば、図５のＸ軸アリ溝ステージ１００の固定部品１０５、図６のＸＹ軸アリ溝ステージ２００の固定ユニット２０５、又は他の手動ユニットのベース板に接続するための４箇所のベース板取付け用孔４を有する。手動ステージ用ベース板２０はこのベース板取付け用孔４にビス（図示せず）がねじ込まれて固定される。

また、手動ステージ用ベース板２０は、その隅に４箇所の土台締結用孔３を有する。この土台締結用孔３に締結具８が貫通されて土台７に固定される。本実施形態では、締結具８は、手動ステージの位置出し、及び手動ステージ用ベース板２０を土台７に固定する役割を果たす。

本手動ステージ用ベース板２０に粘弾性材２１を組み込んで土台７上に設置し、締結具８をネジ孔に締めこむと、圧縮剛性の小さな粘弾性材２１は、図３（ｂ）のＹ方向に圧縮される。この締結具８による締め込みは、手動ステージ用ベース板２０と土台７とが接触しない程度に行われ、このとき粘弾性材２１と土台７との離間距離（ｄ₂）はより小さな離間距離（ｄ₃）となる。この離間距離（ｄ₃）は、手動ステージ用ベース板２０と土台７との間に動的な摩擦力が発生しなければ、ほぼゼロであっても良い。この際に、粘弾性材２１には圧縮に対する復元力がＹと逆方向に発生し、その復元力は、手動ステージ用ベース板２０と土台７とを連結する締結具８に作用する。そして、締結具８には、復元力と等しい張力が導入される。この張力が導入された締結具８は頭部１５と手動ステージ用ベース板２０との間に接触摩擦力が発生し、土台締結用孔３に挿入された締結具８が機械振動などにより緩むことが防止できる。

図３，４に示すように、手動ステージ用ベース板２０は、離間距離（ｄ₃）により粘弾性材２１を介して手動ステージ用ベース板２０と土台７とが接続するように構成される。これにより、土台７にＺ方向の微振動が生じた場合に粘弾性材２１がせん断変形を起こし、そのせん断に対する復元力によりエネルギ吸収を行い、機械振動などの発生に起因する微振動が粘弾性材２１により熱エネルギ等として吸収され減衰される。

図５〜図１９には、本発明の対象となるアリ溝式の手動ステージの一部を例示する。これらの図は、平面図、底面図、側面図などにより記載されるが、各図面の表示は省略する。これらの従来のアリ溝式の手動ステージには、本発明の請求項１〜３の特徴事項を備えるベース板を取り付けることができるが、これらの例に限らず、従来の全てのアリ溝式の手動ステージである、例えば、Ｘ軸アリ溝式ステージ、ＸＹ軸アリ溝式ステージ、Ｚ軸アリ溝式ステージ、回転ステージなどにも取付けることができる。

１，１０，２０手動ステージ用ベース板、２凹状箱部、３，１０６土台締結用孔、４ベース板取付け用孔、５磁石、６磁石取付け用孔、７土台、８締結具、１１弾性体、１２，２２，２３接触面、１５頭部、２１粘弾性材、１００Ｘ軸アリ溝ステージ、１０１アリ、１０２アリ溝、１０４摺動部品、１０５固定部品、１０７精密機器取付け用孔、１０８ベース板、１０９ハンドル、２００ＸＹ軸アリ溝ステージ、２０１締付具、２０２上部ユニット、２０３下部ユニット、２０４摺動ユニット、２０５固定ユニット、２０６接着面、２０７ａ，ｂ接続用孔、２０９ａ，ｂハンドル。

Claims

精密機器が取付けられる摺動部品と、土台に固定されるベース板が接続される固定部品と、が摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージの部品である手動ステージ用ベース板において、
土台締結用孔を有し、土台側に凹部が設けられるベース板と、
ベース板の凹部の内部に収納され、ベース板の裏面に固定されるゴムと、
ベース板の土台締結用孔に貫通されて手動ステージの位置出しをして手動ステージを土台に固定する締結具と、を備え、
ベース板は、ゴムと土台とが所定の離間距離を有するようにゴムを保持し、
ゴムは、手動ステージを土台に固定する締結具が締付けられることで圧縮され、その復元力により締付具に張力を導入することを特徴とする手動ステージ用ベース板。
精密機器が取付けられる摺動部品と、土台に固定されるベース板が接続される固定部品と、が摺動機構を介して連結され、ハンドル操作により摺動部品を摺動させ、取り付けられた精密機器の位置調整を行う手動ステージの部品である手動ステージ用ベース板において、
土台締結用孔を有し、土台側に凹部が設けられるベース板と、
ベース板の凹部の内部に収納され、ベース板の裏面に固定される高減衰ゴムと、
ベース板の土台締結用孔に貫通されて手動ステージの位置出しをして手動ステージを土台に固定する締結具と、を備え、
ベース板は、高減衰ゴムと土台とが所定の離間距離を有するように高減衰ゴムを保持し、
高減衰ゴムは、手動ステージを土台に固定する締結具が締付けられることで圧縮され、その復元力により締付具に張力を導入し、せん断変形に対する復元力により土台から入力される振動のエネルギを吸収することを特徴とする手動ステージ用ベース板。