JP4636745B2 - 固体表面の硬さ検出器 - Google Patents
固体表面の硬さ検出器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4636745B2 JP4636745B2 JP2001248190A JP2001248190A JP4636745B2 JP 4636745 B2 JP4636745 B2 JP 4636745B2 JP 2001248190 A JP2001248190 A JP 2001248190A JP 2001248190 A JP2001248190 A JP 2001248190A JP 4636745 B2 JP4636745 B2 JP 4636745B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solid surface
- protrusion
- displacement
- hardness
- support portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、固体表面の硬さを検出する固体表面の硬さ検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、固体表面の硬さを検出する方法としては、対象とする固体について振動子を接触させて加振することにより共振周波数を調べて、この共振周波数に基づいて振動子が固体表面に接触している接触圧と固体表面の硬さを算出するという方法が知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記従来の方法においては、接触圧及び硬さを互いに分離して算出することが現実的には困難であった。
【0004】
本発明の目的は、上記問題に対処するため、固体表面の硬さを簡単に検出できる固体表面の硬さ検出器を提供することにある。
【0005】
本発明は、上記の目的を達成するため、中空基部の上端開口の周囲にて支持された可撓性の支持部と、該支持部の表面に位置して検出対象となる固体表面に接触する突起部と、前記支持部の裏面に配置されて、前記固体表面を前記突起部に接触させて前記支持部がその裏面側に撓んだ状態にて前記突起部を前記固体表面側に押し付けて前記支持部が同固体表面に向けて湾曲するように駆動する駆動手段と、該駆動手段による前記突起部の駆動時に同突起部の変位量を検出する変位検出手段とを備え、前記変位検出手段により検出される前記突起部の変位量と前記駆動手段の駆動力の大きさとの相対関係に基づいて前記固体表面の硬さを検出することを特徴とする固体表面の硬さ検出器を提供するものである。
【0006】
本発明の一実施形態においては、中空基部の上端開口の周囲にて支持された可撓性の支持部と、該支持部の表面に位置して検出対象となる固体表面に接触する突起部と、前記支持部の裏面に配置されて、前記固体表面を前記突起部に接触させて前記支持部がその裏面側に撓んだ状態にて前記突起部を前記固体表面に向けて周期的に駆動して振動させる駆動手段と、該駆動手段による前記突起部の駆動時に同突起部の変位を検出する変位検出手段とを備え、前記駆動手段の周期的な駆動力と前記変位検出手段により検出される前記突起部の変位との間の位相差から前記固体表面の硬さを検出することを特徴とする固体表面の硬さ検出器を採用してもよい。
【0007】
本発明の他の実施形態においては、上記のように構成した固体表面の硬さ検出器において、加熱により膨張する金属部材を前記支持部の裏面に配置して、同金属部材がその熱膨張により前記駆動手段として機能するようにしてもよい。
【0008】
さらに、本発明の実施にあたっては、上記のように構成した固体表面の硬さ検出器を基本素子として複数個採用し、これら複数の基本素子を格子状に配列して各基本素子が前記駆動手段によりそれぞれ独立に駆動されるようにしてもよい。
【0009】
【発明の効果】
上記のように構成した本発明による固体表面の検出器においては、単に、変位検出手段による検出に基づいて、駆動手段が発生した駆動力と該駆動力により駆動された突起部の実際の変位の状況とを比較しているだけであるため、固体表面の硬さを簡単に検出することができる。
【0010】
【発明の実施形態】
以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。この実施形態における固体表面の硬さ検出器は、図1,2に示すように、格子状に並設された複数の基本素子10を備えている。この場合、各基本素子10は、単結晶シリコン又はガラスなどにより形成した基板上にホトマスクを用いた一括加工を行い成形するとよい。各基本素子10は、図3,4に詳細に示すように、検出対象とする固体Xの表面X1(図1にのみ図示)に接触する突起部11と、突起部11を基部12上にて弾性的に支持する可撓性の支持部13と、支持部13を変形させながら突起部11を固体表面X1に押し付ける方向に駆動する駆動手段としての駆動部材14と、駆動部材14による突起部11の駆動時に突起部11の変位量を検出する変位検出手段としての複数の歪みゲージ15とを備えている。
【0011】
突起部11は、検出対象である固体表面X1の形状及び材質、並びに駆動部材14の設計に基づきその形状を決定されて、支持部13の外枠13aより固体表面X1側に突出するように形成されている。支持部13は、箱状の基部12の開口上端を塞ぐようなダイヤフラム状の部材であり、その中央に配置した突起部11と一体的にシリコンにより形成されている。この場合、突起部11は、支持部13の面上にて、アルカリ水溶液による異方性エッチングを行うか、硝酸、フッ化水素酸、及び酢酸若しくは水の混合液による等方正エッチングを行うか、又は、反応性ガスによるドライエッチングによって成形するとよい。
【0012】
なお、突起部11と支持部13は別体として形成してもよく、その場合、突起部11を樹脂などにより形成し、支持部13を金属などにより形成するようにしてもよい。また、支持部13は、図5に示すように、梁状に形成して弾性を調整するようにしてもよい。
【0013】
駆動部材14は、支持部13を形成するシリコンと比較して熱膨張係数が大きい金属材(例えばニッケル、アルミニウムなど)により平板状に形成して支持部13の裏面側に組み付けた部材であり、図示しない通電機構により通電加熱されて同通電加熱時に熱膨張により支持部13を図示上方向に湾曲させて突起部11を固体表面X1に押しつける方向に駆動する。歪みゲージ15は、半導体により形成されて支持部13の四方縁部にそれぞれ組み付けられており、支持部13の変形に伴う歪みの大きさを抵抗率の変化によって感知することにより突起部11の変位量を検出する。
【0014】
次に、上記のように構成した硬さ検出器を用いて固体の表面情報を調べる場合について説明する。
【0015】
最初、固体Xの表面X1をこの検出器に接触させると、図1(a)に示したように、各基本素子10においてそれぞれ突起部11が固体表面X1に接触して支持部13を撓ませながら変位する。このとき、各基本素子10における突起部11の変位量は同突起部11の固体表面X1に対する接触圧に応じて定まるため、各基本素子10にて歪みゲージ15により突起部11の変位量を検出することにより、各基本素子10位置にて突起部11が固体表面X1に接触する接触圧をそれぞれ検出することができる。
【0016】
また、上記各基本素子10における突起部11の変位量すなわち固体表面X1に対する接触圧は、各突起部11位置における固体表面X1の凹凸形状に応じて相対的に定まる。例えば、固体表面X1が突出している部分に接触した突起部11の変位量及び接触圧は相対的に大きくなり、固体表面X1が窪んでいる部分に接触した突起部11の変位量及び接触圧は相対的に小さくなる。また、図1に示したように、固体表面X1に穴X2が形成されていれば、同穴X2の位置においては突起部11は固体表面X1に接触せず変位しない。したがって、各基本素子10における突起部11の変位量をそれぞれ検出することにより、固体表面X1全体の形状も検出することができる。
【0017】
次に、固体表面X1の硬さを調べる場合について説明する。この場合、まず、図1(b)に示したように、各基本素子10の突起部11を固体表面X1に接触させた状態にて、駆動部材14に所定電流を流して突起部12をさらに固体表面X1に押し付ける方向に駆動する。次に、十分な時間だけこの駆動部材14への通電を継続して突起部11に対し一定の駆動力を付与し続けて、突起部11の変位が完了したら、同変位完了状態における突起部11の変位量を歪みゲージ15により検出する。そして、駆動部材14が発生した駆動力の大きさすなわち駆動部材14に対する通電量と、この駆動力により突起部11が変位した量すなわち歪みゲージ15により検出した突起部11の駆動前後の変位量の差との相対関係から、例えば図6に示したようなマップを参照して、固体表面X1の硬さを検出する。なお、図6においては、固体A,B,Cの順に硬い固体である。このようにして、当該実施形態においては、固体表面X1の硬さ及び形状、並びに固体Xに対する接触圧を簡単に検出することができる。
【0018】
また、逆に、各基本素子10にてそれぞれ独立に駆動部材14により突起部11を駆動することにより、各基本素子10における突起部11の固体表面X1に対する接触圧をそれぞれ独立に制御することも可能である。これにより、例えば、凸凹形状を有する表面X1に対して各基本素子10の突起部11が一様な接触圧にて接触するようにするなど、表面X1全体に対する接触圧の制御も可能となっている。
【0019】
なお、上記実施形態においては、各基本素子10において突起部11を支持部13の外枠13aより固体表面X1側に突出するように形成したが、これは当該検出器を用いて固体表面X1の硬さ以外に固体表面X1の形状及び固体表面X1に対する接触圧も検出できるようにしたためであり、当該検出器を固体表面X1の硬さを検出するためにのみ用いる場合には、突起部11を支持部13の外枠13aより固体表面X1側に突出しないように形成するとよい。これによれば、突起部11の非駆動時に固体表面X1が突起部11に接触することなく支持部13の外枠13aに接触することになるため、突起部11の駆動時に比較的小さな駆動力により突起部11を固体表面X1側に変位させて硬さを検出できるようになる。
【0021】
また、上記実施形態においては、駆動部15による突起部11の駆動時、突起部11を固体表面X1に押し付ける方向に単に一度だけ駆動するようにしたが、これに代えて、突起部11を固体表面X1に押し付ける方向に周期的に駆動して突起部11を振動させるようにしてもよい。この場合、駆動部材14に対しては通電及び非通電を周期的に繰り返すようにすればよく、固体表面X1の硬さは、駆動部材14が発生している周期的な駆動力と歪みゲージ15により検出される突起部11の振動との間の位相差から検出するようにするとよい。
【0022】
また、上記実施形態においては、各基本素子10毎にそれぞれ独立して各基本素子10位置における固体表面Xの特性を検出するようにしていたが、各基本素子10を駆動用素子又は検出用素子として使い分けて、固体Xの表面X1に沿った方向の特性を検出するようにしてもよい。この場合、各基本素子10の突起部11が固体表面X1に接触した状態にて、駆動用素子においては駆動部材14により突起部11を固体表面X1に押し付ける方向に周期的に駆動して突起部11を振動させ、検出用素子においては突起部11を駆動することなく歪みゲージ15により突起部11の変位量を検出するようにする。そして、駆動用素子の駆動部材14による突起部11の駆動時、検出用素子の歪みゲージ15による検出に基づいて、駆動用素子の駆動部材14が発生している周期的な駆動力と検出用素子の突起部11の振動との間の位相差から駆動用素子及び検出用素子間における固体Xの表面X1に沿った方向の弾性特性を検出するようにする。
【0023】
また、上記各基本素子10は、図7にて示したように、可撓性の連結部16により互いに変位可能に連結するようにしてもよい。この場合、連結部16は、例えばポリイミドなどの樹脂材により形成するとよい。これによれば、当該固体の表面情報検出器を任意の曲面上に接触させて用いることが可能となる。
【0024】
次に、上記実施形態の変形例について図面を参照して説明する。
【0025】
図8,9に示した固体表面の硬さ検出器の基本素子20,30は、突起部21,31の駆動手段として電磁力を採用したものである。
【0026】
基本素子20は、基部22の底部22aを永久磁石により構成し、同底部22aに対向して支持部23の裏面上にコイルパターン24を配設したものである。コイルパターン24は、図示しない通電機構により通電されて磁場を発生し、同磁場の発生時に底部22aにより形成された磁場と干渉して突起部21を駆動する。コイルパターン24と底部22aの間に働く力の向きはコイルパターン24を流れる電流の向きに応じて決まり、突起部21は、コイルパターン24と底部22aの間に斥力が発生した場合には固体表面X1に押し付けられる方向(図示上方向)に駆動され、コイルパターン24と底部22aの間に引力が発生した場合にはその反対方向(図示下方向)に駆動される。したがって、同変形例においては、コイルパターン24に対して交流電圧を印加することにより、簡単に突起部21を振動させることが可能である。この場合、印加電圧の周波数を支持部23の固有振動数と等しくなるように設定すれば、共振現象により、小さな電圧で突起部21を効率的に振動させることができる。
【0027】
基本素子30は、突起部31を永久磁石により構成し、基部32の底部32aの上面上にコイルパターン34を配設したものである。コイルパターン34は、図示しない通電機構により通電されて磁場を発生するようになっており、同磁場の発生時に突起部31により形成された磁場と干渉して突起部31を駆動する。突起部31とコイルパターン34の間に働く力の向きはコイルパターン34を流れる電流の向きに応じて決まり、突起部31は、コイルパターン34との間に斥力が発生した場合には固体表面X1に押し付けられる方向(図示上方向)に駆動され、コイルパターン34との間に引力が発生した場合にはその反対方向(図示下方向)に駆動される。したがって、この場合も、簡単かつ効率的に突起部31を振動させることができる。
【0028】
上記各基本素子20,30にて突起部21,31に対して加えられる駆動力は、コイルパターン24,34の巻き数、コイルパターンに流す電流の大きさ、底部22a又は突起部31を構成する永久磁石により形成される磁場の大きさ、及び底部22a又は突起部31を構成する永久磁石とコイルパターン24,34との相対位置関係により定まる。コイルパターン24,34は、基板上にホトリソグラフィーにて形成した型内に金属材を満たすことにより形成されている。この場合、コイルパターン24,34の厚さが薄ければ(例えば、数ミクロン以下)、真空蒸着、スパッタリングなど薄膜形成プロセスを利用して金属材を充填するようにするとよい。コイルパターン24,34の厚さが比較的厚い場合には、厚膜形成が可能な金属めっきプロセスを利用してコイルパターン24,34を形成するようにするとよい。
【0029】
図10,11に示した固体表面の硬さ検出器の基本素子40,50は、突起部41,51の駆動手段として圧電素子を採用したものである。
【0030】
基本素子40は、基部42の底部42aと支持部43の間に積層型の圧電素子44を配設したものである。圧電素子44は、図示しない通電機構による通電時、電流の向きに応じて図示上下方向に伸縮し、突起部41を固体表面X1に押し付ける方向(上方向)及びその反対方向(下方向)に駆動する。同変形例においても、圧電素子44に対して交流電圧を印加することにより簡単に突起部41を振動させることが可能であり、印加電圧の周波数を支持部43の固有振動数と等しく設定することにより突起部11を効率的に振動させることができる。
【0031】
基本素子50は、平板状の基部52と支持部53の間に平板型の圧電素子54を配設したものである。圧電素子54は、図示しない通電機構による通電時、電流の向きに応じて図示上下方向に湾曲し、突起部51を固体表面X1に押し付ける方向(上方向)及びその反対方向(下方向)に駆動する。したがって、この場合も、簡単かつ効率的に突起部51を振動させることができる。また、同変形例においては、突起部51の変位の幅が比較的小さくなるが、基本素子50の幅が薄くなるため、当該検出器を小型に構成することが可能である。
【0032】
図12,13に示した固体表面の硬さ検出器の基本素子60,70は、突起部61,71の駆動手段として液体の熱膨張を採用したものである。
【0033】
基本素子60,70は、それぞれ、基部62,72と支持部63,73により画定した液室66,76内に例えば塩化メチルなどの液体を封入したものである。基本素子60の液室66内の液体は、光ファイバ64により光を照射されたとき、同光の熱エネルギーにより膨張して突起部61を固体表面X1に押し付ける方向に駆動する。同実施形態においては、光ファイバ64による光の照射を間欠的かつ周期的に繰り返すことにより、突起部61を振動させることができる。
【0034】
基本素子70の液室76内の液体は、液室76内に配設されたヒータ74が図示しない通電機構により通電加熱されたとき、同ヒータ74の熱エネルギーにより膨張して突起部71を固体表面X1に押し付ける方向に駆動する。同実施形態においては、ヒータ74に対して通電及び非通電を周期的に繰り返すことにより、突起部71を振動させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)、(b)はそれぞれ本発明の一実施形態に係る固体表面の硬さ検出器の一状態を示す縦断面図である。
【図2】前記固体表面の硬さ検出器の平面図である。
【図3】図1,2の基本素子の詳細を示す拡大縦断面図である。
【図4】前記基本素子の詳細を示す拡大平面図である。
【図5】図1〜4の支持部の変形例を示す拡大平面図である。
【図6】図1〜4の駆動部による駆動力と突起部の変位量と固体表面の硬さとの関係を示すグラフである。
【図7】前記固体表面の硬さ検出器の変形例を示す縦断面図である。
【図8】前記基本素子の変形例を示す拡大縦断面図である。
【図9】前記基本素子の変形例を示す拡大縦断面図である。
【図10】前記基本素子の変形例を示す拡大縦断面図である。
【図11】前記基本素子の変形例を示す拡大縦断面図である。
【図12】前記基本素子の変形例を示す拡大縦断面図である。
【図13】前記基本素子の変形例を示す拡大縦断面図である。
Claims (5)
- 中空基部の上端開口の周囲にて支持された可撓性の支持部と、
該支持部の表面に位置して検出対象となる固体表面に接触する突起部と、
前記支持部の裏面に配置されて、前記固体表面を前記突起部に接触させて前記支持部がその裏面側に撓んだ状態にて前記突起部を前記固体表面側に押し付けて前記支持部が同固体表面に向けて湾曲するように駆動する駆動手段と、
該駆動手段による前記突起部の駆動時に同突起部の変位量を検出する変位検出手段とを備え、
前記変位検出手段により検出される前記突起部の変位量と前記駆動手段の駆動力の大きさとの相対関係に基づいて前記固体表面の硬さを検出することを特徴とする固体表面の硬さ検出器。 - 中空基部の上端開口の周囲にて弾性的に変形可能に支持された可撓性の支持部と、
該支持部の表面に位置して検出対象となる固体表面に接触する突起部と、
前記支持部の裏面に配置されて、前記固体表面を前記突起部に接触させて前記支持部がその裏面側に撓んだ状態にて前記突起部を前記固体表面側に周期的に駆動して振動させる駆動手段と、
該駆動手段による前記突起部の駆動時に同突起部の変位を検出する変位検出手段とを備え、
前記駆動手段の周期的な駆動力と前記変位検出手段により検出される前記突起部の変位との間の位相差から前記固体表面の硬さを検出することを特徴とする固体表面の硬さ検出器。 - 加熱により膨張する金属部材を前記支持部の裏面に配置して、同金属部材がその熱膨張により前記駆動手段として機能するようにしたことを特徴とする請求項1に記載した固体表面の硬さ検出器。
- 請求項1又は2に記載した固体表面の硬さ検出器を基本素子として採用し、同基本素子を格子状に複数配列して、各基本素子が前記駆動手段によりそれぞれ独立に駆動されるようにしたことを特徴とする固体表面の硬さ検出器。
- 請求項1又は2に記載した固体表面の硬さ検出器において、前記突起部の変位を検出する変位検出手段として前記支持部に設けた歪みゲージを採用したことを特徴とする固体表面の硬さ検出器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001248190A JP4636745B2 (ja) | 2001-08-17 | 2001-08-17 | 固体表面の硬さ検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001248190A JP4636745B2 (ja) | 2001-08-17 | 2001-08-17 | 固体表面の硬さ検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003057161A JP2003057161A (ja) | 2003-02-26 |
JP4636745B2 true JP4636745B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=19077395
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001248190A Expired - Fee Related JP4636745B2 (ja) | 2001-08-17 | 2001-08-17 | 固体表面の硬さ検出器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4636745B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007083546A1 (ja) * | 2006-01-19 | 2007-07-26 | National University Corporation Toyohashi University Of Technology | 触覚センサ装置 |
JP2012220346A (ja) * | 2011-04-08 | 2012-11-12 | Institute Of National Colleges Of Technology Japan | 硬さ試験機、及び、インプリント装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02293643A (ja) * | 1989-05-08 | 1990-12-04 | Fuji Electric Co Ltd | 物体の硬さ判別方法 |
JPH06317510A (ja) * | 1993-05-06 | 1994-11-15 | Oyo Corp | 動的貫入試験方法及びそれに用いる計測装置 |
JPH10179524A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-07-07 | Imoto Seisakusho:Kk | 筋硬度計 |
JPH11118689A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Olympus Optical Co Ltd | 触覚センサ |
JP2002131294A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-09 | Mitsui Constr Co Ltd | コンクリートの非破壊圧縮試験方法及び非破壊圧縮試験装置 |
-
2001
- 2001-08-17 JP JP2001248190A patent/JP4636745B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02293643A (ja) * | 1989-05-08 | 1990-12-04 | Fuji Electric Co Ltd | 物体の硬さ判別方法 |
JPH06317510A (ja) * | 1993-05-06 | 1994-11-15 | Oyo Corp | 動的貫入試験方法及びそれに用いる計測装置 |
JPH10179524A (ja) * | 1996-11-08 | 1998-07-07 | Imoto Seisakusho:Kk | 筋硬度計 |
JPH11118689A (ja) * | 1997-10-17 | 1999-04-30 | Olympus Optical Co Ltd | 触覚センサ |
JP2002131294A (ja) * | 2000-10-27 | 2002-05-09 | Mitsui Constr Co Ltd | コンクリートの非破壊圧縮試験方法及び非破壊圧縮試験装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003057161A (ja) | 2003-02-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5064864B2 (ja) | 光偏向装置、画像形成装置、及び光偏向装置の駆動方法 | |
US8125699B2 (en) | Optical scanning device | |
Schenk et al. | Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation | |
JP5765993B2 (ja) | 振動型駆動装置 | |
EP1865358B1 (en) | Oscillator device, optical deflector and optical instrument using the same | |
JP2005122131A (ja) | バイモルフ駆動を有した振動マイクロミラー | |
WO2008044470A1 (en) | Optical scanning device | |
JP5404102B2 (ja) | 揺動体装置、及びそれを用いる光偏向装置 | |
WO2005001903A2 (en) | Pulse drive of resonant mems devices | |
JP4353399B2 (ja) | 振動ミラー | |
TW201605715A (zh) | 微光學機電裝置與製造其之方法 | |
JP4636745B2 (ja) | 固体表面の硬さ検出器 | |
KR20090015179A (ko) | 진동자 장치 및 진동자 장치의 제조 방법 | |
JP4172627B2 (ja) | 振動ミラー、光書込装置及び画像形成装置 | |
CN101279712A (zh) | 生成微机械结构的方法 | |
JP2006195290A (ja) | 画像読取装置及び画像形成装置 | |
JP2010002777A (ja) | マイクロミラーデバイス、光走査装置及び画像形成装置 | |
CN101359092A (zh) | 振荡器件、光偏转器以及使用光偏转器的成像装置 | |
US8054522B2 (en) | Oscillating mirror having a plurality of eigenmodes | |
JP7477159B2 (ja) | 光偏向装置、光走査装置及び光走査式測距装置 | |
JP2004263689A (ja) | 分子真空ポンプ用の振動ポンピングステージおよび振動ポンピングステージを備えた分子真空ポンプ | |
JP4973064B2 (ja) | アクチュエータ、投光装置、光学デバイス、光スキャナ、および画像形成装置 | |
WO2004100362A2 (en) | Thermoelastically actuated microresonator | |
JP4620789B1 (ja) | 光走査装置 | |
JPH11160334A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡の探針および力検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080422 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20080422 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100602 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100608 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100809 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101102 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101122 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131203 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |