JP4632393B2 - イオン注入のための高伝搬で，低エネルギーのビームラインのアーキテクチャー - Google Patents

Description

【０００１】
発明の分野
本発明は，ワークピースのイオン注入の方法および装置，特に，低エネルギーのイオンによる半導体ウエハへのイオン注入を可能にするビームラインのアーキテクチャーに関する。
【０００２】
イオン注入は，伝導性を変える不純物を半導体ウエハに導入する標準的な技術となっている。所望の不純物材がイオンソースでイオン化され，イオンは所望のエネルギーをもつイオンビームを形成するために加速され，イオンビームはウエハ表面に向けられる。ビーム内のエネルギーをもつイオンは，半導体材料のバルク内に侵入し，所望の伝導性の領域を形成するために，半導体材料の結晶格子に埋め込まれる。
【０００３】
イオン注入システムは通常，ガスまたは固体材料を，よく画成されたイオンビームに変換するためのイオンソースを含む。イオンビームは，不所望の種を除去するために，質量分析され，所望のエネルギーに加速され，ターゲット面に向けられる。ビームは，ビーム走査により，ターゲットの移動により，またはビーム走査とターゲット移動との組み合わせにより，ターゲット領域にわたって分配される。従来技術のイオン注入の例は，Engeによる，1981年6月30日に発行された米国特許4,276,477号，Turnerによる，1981年8月11日に発行された米国特許4,283,631号，Freytsisらによる，1990年2月6日に発行された米国特許4,899,059号，およびBerrianらによる，1990年5月1日に発行された米国特許4,922,106号に開示されている。
【０００４】
半導体業界において周知の傾向は，より小さく，高速のデバイスである。特に，半導体デバイスにおいて特徴物の横方向の寸法，深さが減少している。半導体デバイスは1000オングストローム以下の接合（junction）深さを必要とし，いずれ200オングストロームまたはそれ以下のオーダの接合深さを必要とするであろう。
【０００５】
ドープ材の注入深さは，少なくとも部分的に，半導体ウエハに注入されるイオンのエネルギーにより決定される。浅い接合は低注入エネルギーで得られる。イオン注入装置は典型的に，能率的な操作のために，比較的高い注入エネルギー，たとえば50Kevから400KeVの範囲のエネルギーとなるように設計され，浅い接合注入のために必要なエネルギーでは能率的に機能しない。2Kev以下のエネルギーのような低注入エネルギーでは，ウエハに伝搬される電流は，所望より非常に低く，ときにはゼロに近くなる。その結果，特定のドーズ量を達成するために，極端に長い注入時間が必要となり，スループットは悪影響をうける。このようなスループットの減少は，製造コストを増加させ，半導体製造業者にとって受け入れがたいものである。
【０００６】
高電流のリボン状のビームを生成するイオン注入器の構成が，Whiteらによる，1994年9月27日に発行された米国特許第5,350,926号に開示されている。イオンソースは，水平面で発散するイオンビームを発生させる。分析磁石が，イオンビーム内の所望の種を分解スリットに偏向し，イオンビーム内の所望の種を分解スリットに焦点合わせする。第二の磁石が，平行なイオン軌道を描くように，分解スリットを通過するイオンを偏向する。開示のイオン注入器は，種々の条件下で非常に満足のいく性能をもつ。しかし，低エネルギーでは，空間電荷効果により，ビームが広がり，特にビームの焦点が合う高電流密度領域において，広がり，低エネルギーでの性能は満足のいくものではない。似た欠陥をもつビームラインアーキテクチャーがWhiteによる，1992年6月30日に発行された米国特許第5,126,575号に開示されている。
【０００７】
したがって，低エネルギーで，イオンビーム電流を伝搬させることのできる，イオン注入器のための改良されたビームラインのアーキテクチャーの必要性がある。
【０００８】
本発明の第一の態様にしたがって，イオンビーム装置が改良される。イオンビーム装置は，イオンソース，第一の磁石組立体，分解開口を画成する構造物，および第二の磁石組立体を含む。イオンソースはリボン状のイオンビームを発生させるための，伸長した抽出開口をもつ。第一の磁石組立体は，リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して垂直な方向に，リボン状のイオンビームを偏向するための第一の磁場を与える。ここで，リボン状のイオンビーム内のいろいろなイオン種は分離される。分解開口は分離されたイオンビームからイオン種を選択する。第二の磁石組立体は，リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して平行な方向に，リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを偏向するための第二の磁場を与え，リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種について所望のイオン軌道を描かせる。好適には，所望のイオン軌道は実質的に平行である。リボン状のイオンビームの幅は，ビームラインのほとんどで増加する。その結果低エネルギーでの性能は高められる。
【０００９】
第一の磁石組立体は好適に，リボン状のイオンビームが通過する第一の間隙により分離された第一のポールピースを有する分解磁石を含む。第二の磁石組立体は好適に，リボン状のイオンビームの，選択された種のイオンが通過する第二の間隙により分離された第二のポールピースをもつ角度補正器磁石を含む。好適実施例において，第一の磁石組立体により生成された第一の磁場は実質的に水平で，第二の磁石組立体により生成された第二の磁場は実質的に垂直である。第一の磁石組立体は好適に，リボン状のイオンビームの，選択されたイオン種のイオンを，約20°から90度の範囲の角度，好適には約60°の角度に偏向する。第二の磁石組立体は好適に，リボン状のイオンビーム内の，選択されたイオン種のイオンを約20°から90度の範囲の角度，好適には約70°の角度に偏向する。
【００１０】
一実施例において，分解開口を画成する構成は，第一および第二の磁石組立体の間に位置するマスクを含む。他の実施例においては，分解開口を画成する構成は，第二の磁石組立体の第二のポールピースを含み，第二の間隙への入口は分解開口を構成する。
【００１１】
本発明の他の態様にしたがって，イオンビームを生成する方法が提供される。本方法は，伸長した抽出開口を有するイオンソースでリボン状のイオンビームを発生する工程，リポンイオンビームをリボン状のイオンビーム断面の長手方向に対して垂直な方向に偏向する工程（ここでリボン状のイオンビーム内の異なるイオン種が分離される），分離されたリボン状のイオンビームからイオン種を選択する工程と，リボン状のイオンビーム内に選択されたイオン種の，所望のイオン軌道を描かせるために，リボン状のイオンビームの長手方向に対して平行な方向に，リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを偏向する工程とを含む。
【００１２】
本発明のよりよい理解のために，ここに組み込まれる添付図面を参照する。
【００１３】
詳細な説明
本発明にしたがったイオンビーム装置の実施例の略示ブロックが図１および図２に示されている。図１は平面図であり，図２は側面図である。図において同様の要素について同じ符号が付されている。図１および図２のイオンビーム装置は，イオン注入器を実施するために使用されるビームラインアーキテクチャーを実現する。
【００１４】
イオンソース10は，イオンを発生させ，イオンビーム12を供給する。下述するように，イオンビーム12は伸長した断面をもち，ビームの断面の伸長方向が水平方向となるリボン形状となっている。図１および図２の実施例において，イオンソース10は，イオンビーム12がイオンソース10から出て，水平に関して約60°の角度で，伸長した出口開口を通過するように向けられる。質量分析器320（分解磁石22および，分解開口26をもつマスク24を含み得る）が，イオンソース10により発生される粒子から所望のイオン種を選択する。所望のイオン種のイオンは，分解開口26を通過して，角度補正器磁石40に向かう。角度補正器磁石40は所望のイオン種のイオンを偏向し，分散したイオンビームからのイオンビームを，実質的に平行は軌道を描くリボン状のイオンビーム42に変換する。
【００１５】
エンドステーション50がウエハ52のような一つ以上の半導体ウエハを支持し，所望の種のイオンが半導体ウエハに注入される。走査器60が，ウエハ52の表面全体にわたってイオンを分配するように，リボン状のイオンビーム42の断面における長手方向に対し垂直に，ウエハ52を移動する。
【００１６】
イオン注入器は，当業者には知られている付加的な要素を含むことができる。たとえば，エンドステーション50は典型的に，ウエハをイオン注入器に導入し，注入後ウエハを除去するための，自動ウエハ取り扱い装置を含む。エンドステーション50はまた，ドーズ量測定装置，電子銃，および他の要素を含むことができる。イオン注入中，イオンビームが横切る全経路が排気されることは理解されよう。
【００１７】
分解磁石22は，ポールピース22aおよび22bの間の間隙72に，磁場70を生成する双極子磁石である。図１および図２の実施例において，磁石70は水平である。特に，磁石70は，リボン状のイオンビーム12の断面の長手方向に対して平行で，イオンビームの移動方向に対して垂直である。従来技術において知られているように，イオンビーム中のイオンは，イオンビームの移動方向に対して垂直で，かつ磁場の方向に垂直な方向の磁場により偏向される。したがって，イオンビーム12のイオンは，リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して垂直な垂直面で，水平な磁場70により偏向される。
【００１８】
双極子磁場において，イオンが，イオンの質量およびエネルギー（電子ボルト）に関連した経路をたどる。したがって，同じ電荷をもつが質量が異なるイオンは，分解磁石22により異な角度に偏向される。所望の質量およびエネルギーをもつイオンは，分解開口26を通過するように，分解磁石22により偏向される。図１および図２の実施例において，分解磁石22は所望の質量およびエネルギーをもつイオンを約60°に偏向し，その結果イオンビーム12は，分解開口26を通過するように実質的に水平となる。図２において，イオンビーム12aおよび12bにより示されているように，所望のイオン種以外のイオンは，異なる角度に偏向され，マスク24またはビームラインにある他の構造物により遮断される。分解磁石22はしたがって，ビーム内のイオンの質量にしたがって，イオンビーム12を分離する。
【００１９】
分解磁石22は好適に，範囲を限定するものではないが，約30から40の範囲の分解能をもつ。分解能は，異なる質量のビームを分離し，または正しく運動量を分離する，分析磁石の能力の尺度である。分解能は通常，質量分解に対しては，M/DMに，運動量に対してはp/Dpに等しく定義される。これらは，たとえば，分析された質量をもつ（横座標）伝搬されたビーム（縦座標）における変化を測定するために，チャート記録器により生成されるスペクトルの測定として参照される。DMはスペクトルピークの半値全幅（full width half maximum width）であり，Mはその平均質量である。同様の定義が運度量分解能について適用される。さらに，分解磁石22は，イオンソースの出口開口に，実施可能な程度に近接配置されている。間隙72はリボン状のイオンビーム12を通過させるのに十分な幅を有する。一例として，間隙72は100ミリメートル（mm）である。分解磁石22は約20°から90°の範囲の角度に所望の種のイオンを偏向するように設計されている。
【００２０】
分解磁石22はイオンビーム12を，垂直方向について焦点合わせし，その結果ビームは角度補正器磁石40またはそれに近い最小の高さをもつ。しかし，イオンビーム12は水平方向について焦点合わせされず，分解磁石22を通り，そして角度補正器磁石40の少なくとも一部を通って拡大し続く。したがって，電流密度は，イオンビームを分解開口に焦点合わせする従前の質量分析器の場合のように，急激に増加することがない。電流密度がビームラインにそって減少することから，低エネルギーでの，空間電荷効果は限定され，制御されないビームの拡大が避けられる。
【００２１】
角度補正器磁石40は磁場80が，ポールピース40aと40bとの間の間隙82に生成される双極子磁石であってもよい。図１および図２の実施例において，間隙82中の磁場80は垂直方向に向く。間隙82を通るイオンビームの移動方向は，水平方向であるので，イオンビーム12は図１に示されているように，磁場80に対して垂直で，かつイオンビームの移動方向に対して垂直な水平面において，偏向される。イオンビームはリボン状のイオンビームの断面の長手方向に平行に偏向される。角度補正器磁石40のポールピース40aおよび40bは，リボン状のイオンビーム12の幅を横切るいろいろな偏向を生じさせるように設計され，その結果角度補正器磁石40により出力されるリボン状のイオンビーム42のイオンは所望の軌道（好適には，実質的に平行となる）を描く。好適に，リボン状のイオンビーム42の全イオンは，実質的同じ角度で，ウエハ表面52に入射する。図１および図２の例において，角度補正器磁石40は，約70°のリボン状のイオンビーム12の水平方向に曲げを行う。一般的には，角度補正器40は，約20°から90°の範囲の角度に，リボン状のイオンビーム12を曲げるように設計することができる。
【００２２】
角度補正器磁石40の設計は，入力イオンの特性および出力イオンビームの所望の軌道に依存する。角度補正器の設計は当業者には周知である。たとえば，70度の角度補正器磁石が，バリアン・アソシエイツ・インコーポレイテッドにより製造，販売されているSHC 80イオン注入器に使用されている。
【００２３】
上述したように，開口26を有するマスク24は，イオンソース10により発生し，分解磁石22により分離された，イオンビームからの所望のイオン種の選択のために使用することができる。他の実施例において，マスク24は利用されない。代わって，角度補正器磁石40の間隙82の入力開口90が分解開口として機能する。不所望のイオン種が，ポールピース40aおよび40b，またはビームライン上の他の構造物により遮断される。
【００２４】
上述したビームラインアーキテクチャーを通過した，リボン状のイオンビーム12の三次元表示が図３に示されている。リボン状のイオンビーム12は水平に対して，60°の角度で，（符号110で示す）イオンソース10から出る。リボン状のイオンビームは，水平方向で長手方向となる伸長した断面をもつ。分解磁石22は，リボン状のビームを，垂直な面において，符号112により示される所定の角度60に偏向するための水平方向磁場を生成する。分解磁石22から出てきたリボン状のイオンビームは，符号114により示されているように実質的に水平方向となる。ビームは角度補正器磁石40を通過し，好適には，符号116により示されているように，約70°，水平面において曲げられる。角度補正器磁石40から出力されたリボン状のイオンビーム42は実質的に平行なイオン軌道を描く。
【００２５】
リボン状のイオンビームの幅は，イオンソース10の出口開口において約50mmから300mm（ここでウエハ52に入射する）まで増加する。リボン状のイオンビームは，幅（長手方向）がWで，高さがHにより特徴付けられる断面120を有する。上記実施例において，幅Wは300mm（ここで，ビームがウエハ52に入射する）よりも広くともよい。リボン状のイオンビームが，本発明の範囲内で種々の断面寸法を取り得ることは理解されよう。さらに，分解磁石22により生成される所望のイオン種の垂直方向の曲がりおよび角度補正器磁石40により生成される垂直方向の曲がりは，本発明の範囲内で変化させ得る。ビームラインのアーキテクチャーは，水平な磁場を生成する分解磁石22，および垂直な磁場を生成する角度補正器磁石40に関連して説明されているが，上述したビームラインのアーキテクチャーが，分解磁石が第一の面でビームを曲げ，角度補正器磁石がその第一の面に対して垂直な第二の面でビームを曲げるというどの所望な向きも持ち得ることは理解されよう。
【００２６】
本発明の例に関し，イオンソース10からの距離を関数とした，リボン状のイオンビームの幅およびリボン状のイオンビームの高さのグラフが図４に示されている。曲線150は，水平方向における，リボン状のイオンビームの幅の半分を，イオンソース10からの距離の関数として示す。曲線154はリボン状のイオンビームの高さの半分を，イオンソース10からの距離の関数として示す。グラフの領域160が分離磁石22の間隙72に対応し，グラフの領域162が角度補正器磁石40の間隙82に対応する。イオンビームの幅が，イオンソース10から，角度補正器磁石40の出力前の点まで，曲線150により示されているように，増加することが分かるであろう。ビームの幅は，曲線150の一部150aにより示されているように，角度補正器磁石40の出口部分とウエハ52との間で一定に維持されている。リボン状のイオンビームの高さは，角度補正器磁石40の出口部分近くで最小の幅が生じる，ビームラインにそった曲線154により示されているように，一定がそれ以下に維持される。
【００２７】
分解磁石22の実施例の正面断面図が，図５に示されている。図５の線６−６にそった，分解磁石の断面が図６に示されている。分解磁石22において，ポールピース22aおよび22bは，リボン状のイオンビーム12が通過する間隙72により分離されている。分解磁石22はさらに，コイル200および202，ならびに磁気部材210，212，214および216を含む，リターンヨークを組む。コイル200および202を流れる電流が，ポールピース22aおよび22bに，そして間隙72に磁場を生成する。磁気部材210，212，214および216はポールピース22aおよび22bと相互接続し，間隙72において発生した磁場の帰路を与える。
【００２８】
一つの設計において，分解磁石22は，400ミリメートルの曲げ半径，60度の曲げ角度，100ミリメートルのポール間隙G，および150ミリメートルのポール幅をもつ。分解磁石22により生成される最大磁場は0.885テスラである。コイル200および202は，それぞれ310巻き，全コイル抵抗が0.214オームをもってもよい。磁石は，コイル電圧が26.8ボルト，最大電流が125アンペアで動作するものでよい。
【００２９】
この設計により生成されて磁場のコンピュータ分析が図７に示されている。磁場は，図７に示されている線A−Aおよび線B−Bに関して対称となることから，分析磁石の四分の一が示されている。ポールピース22a上の突出部230は，リボン状のイオンビームが通過する間隙72に一様な磁場を生成するように決定された。対称な突出部がポールピース22aの両端側に形成され，同様の突出部がポールピース22b上に形成されてもよいことは分かるであろう。上記例は，リボン状のイオンビームにより占められた領域において1%の以上よい磁場の一様性を与える。種々の異なる分解磁石の構成が本発明の範囲内で利用できることは理解されよう。
【００３０】
適切なイオンソース10および関連した要素が図８に示されている。Freema，Bernasまたはマイクロ波イオンソースを含め，種々のイオンソースが利用できる。Freemanイオンソースは図８に示されている。イオンビームはリボン状になるが，最初にイオンソース10の湾曲したスロットを出て行くとき，幅が50から75ミリメートルの間，高さが2から5ミリメータの間にある。
【００３１】
イオンソース10は，伸長した，スロット形状の開口にわたって，一様な空間分布を与える。イオンソース10はソースチャンバー内のホットフィラメントに電流を流すための電源325を含む。磁石310が，ソースチャンバー内のガス分子が効率的でかつ一様にイオン化されるように，放出された電子を拘束するために，磁石電源324により付勢される。配列された，三つのスロットのあるグリッド311，312および313は，ソースからのイオンを制限し，抽出し，そして加速する。ガスソース（図示せず）が，所望の種のガスをイオンソースチャンバーに供給する。
【００３２】
ビーム内のイオンが最初に，抽出グリッド311の後方の約150ミリメートルに位置する曲率中心から発散し，±5°よりも大きな角度で発散する軌道にそって，表面に対して垂直に，加速されるように，抽出グリッド311は外側に凸状に曲がってもよい。グリッド312はグリッド311の形状に平行な背面をもち，その結果放出電子は，グリッド311の表面形状に対して垂直に加速される。グリッド311（高電圧抽出電源320により付勢される）は，グリッド312の表面に平行な平坦な面をもつ。抑制電源322が，グリッド312をイオンソースに関して異なる高電圧に維持するためにグリッド312と313との間に接続され，その結果イオンビームのエネルギーはグリッド312からグリッド313まで通過する際に減少し，ビームは僅かに平行となる。イオンソース10の他の詳細は，ここで参考文献として組み込まれる米国特許第5,350,926号に記述されている。
【００３３】
したがって，分解磁石22は，リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して平行な方向で，リボン状のイオンビームを，リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して垂直な方向に偏向する磁場70を生成する。角度補正器磁石40は，リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して垂直で，リボン状のイオンビームをリボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して平行に偏向する磁場を生成する。さらに，分解磁石および角度補正器磁石により生成される磁場は互いに直交する。リボン状のイオンビームの幅は，ビームラインのほとんどにわたって増加する。その結果，空間電荷効果により生じるビーム拡大が限定され，低エネルギーの性能が向上する。
【００３４】
本発明を好適な実施例に基づいて記述してきたが，特許請求の範囲により画成される発明の範囲から逸脱することなく種々の変更，修正をなしうることは当業者には明らかである。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は，本発明にしたがったイオンビーム装置の実施例の平面図である。
【図２】 図２は，本発明にしたがったイオンビーム装置の実施例の側面図である。
【図３】 図３は，図１および図２のイオンビーム装置のリボン状のイオンビームを示す。
【図４】 図４は，リボン状のイオンビームの幅および高さの，イオンソースからの距離の関数としたグラフである。
【図５】 図５は，図１および図２に示された分解磁石の正面断面図である。
【図６】 図６は，図５の線６−６にそった，分解磁石の断面図である。
【図７】 図７は，図５および図６の分解磁石により生成される磁場を示す。
【図８】 図８は，図１および図２に示されたイオンソースの実施例の略示ブロック図である。

Claims (18)

1. イオンビーム装置であって，
   長手方向をもつ断面を有するリボン状のイオンビームを発生するための，伸長した抽出開口を有するイオンソースと，
   長手方向に対して平行な方向に，リボン状のイオンビームを焦点合わせすることなく，前記リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して垂直な方向に，前記リボン状のイオンビームを偏向し，前記リボン状のイオンビーム内の異なるイオン種を分離する第一の磁場を与える第一の磁石組立体と，
   分離されたリボン状のイオンビームからイオン種を選択するための分解開口を画成する構造体と，
   前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種に所望の軌道を描かせるために，前記リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して平行な方向に，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種を偏向するための第二の磁場を与える第二の磁石手段と，
   を含み，
   イオンソースにより発生したリボン状のイオンビームが長手方向に対して平行な方向に発散する，ところのイオンビーム装置。
2. 前記第一の磁石組立体は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約60°の角度に偏向するための前記第一の磁場を与える分解磁石を含む，請求項１に記載のイオンビーム装置。
3. 前記第二の磁石組立体は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約70°の角度に偏向するための前記第二の磁場を与える角度補正器磁石を含む，請求項１に記載のイオンビーム装置。
4. 前記第二の磁石組立体により生成された，所望のイオンの軌道が実質的に平行である，請求項１に記載のイオンビーム装置。
5. 前記第一の磁石組立体は，前記リボン状のイオンビームが通過する第一の間隙により分離される第一のポールピースを含む，請求項１に記載のイオンビーム装置。
6. 前記第二の磁石組立体は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンが通過する第二の間隙により分離される第二のポールピースを含む，請求項５に記載のイオンビーム装置。
7. 前記第一の磁場は実質的に水平で，前記第二の磁場は実質的に垂直である，請求項１に記載のイオンビーム装置。
8. 分解開口を画成する構造体は，前記第一と第二の磁石組立体の間に位置するマスクを含む，請求項１に記載のイオンビーム装置。
9. 分解開口を画成する構造体は，第二の磁石組立体の第二のポールピースを含み，前記第二の間隙への入口が前記分解開口を構成する，請求項６に記載のイオンビーム装置。
10. 前記第一の磁石組立体は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約20°から90°の範囲の角度に偏向する，請求項１に記載のイオンビーム装置。
11. 前記第二の磁石組立体は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約20°から90°の範囲の角度に偏向する，請求項１に記載のイオンビーム装置。
12. イオンビームを生成する方法であって，
    （a）伸長した抽出開口を有するイオンソースで，長手方向をもつ断面を有するリボン状のイオンビームを発生する工程と，
    （b）長手方向に対して平行な方向に，リボン状のイオンビームを焦点合わせすることなく，前記リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して垂直な方向に，前記リボン状のイオンビームを偏向し，前記リボン状のイオンビーム内の異なるイオン種を分離する工程と，
    （c）選択されたリボン状のイオンビームからイオン種を選択する工程と，
    （d）前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種に所望の軌道を描かせるために，前記リボン状のイオンビームの断面の長手方向に対して平行方向に，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種を偏向する工程と，
    を含み，
    イオンソースにより発生したリボン状のイオンビームが長手方向に対して平行な方向に発散する，ところの方法。
13. 前記工程（b）は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約20°から90°の範囲の角度に偏向することであり，前記工程（d）は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約20°から90°の範囲の角度に偏向することである，請求項１２に記載の方法。
14. 前記工程（b）は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約60°の角度に偏向することであり，前記工程（d）は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約70°の角度に偏向することである，請求項１２に記載の方法。
15. 前記工程（d）は，実質的に平行なイオン軌道を描かせるために，選択されたイオン種のイオンを偏向する，請求項１２に記載の方法。
16. 前記工程（b）は，前記リボン状のイオンビームを，実質的に水平な第一の磁場で偏向することであり，前記工程（d）は，前記リボン状のイオンビームを，実質的に垂直な磁場で偏向することである，請求項１２に記載の方法。
17. イオンビーム装置であって，
    リボン状のイオンビームを発生するための，長手方向をもつ，伸長した抽出開口を有するイオンソースと，
    前記リボン状のイオンビーム内の異なるイオンが分離されるように，前記リボン状のイオンビームを偏向するための実質的に水平方向の磁場を，その水平な方向の磁場に対して実質的に平行な面でリボン状のイオンビームを焦点合わせすることなく，与える分解磁石組立体と，
    選択されたリボン状のイオンビームから，イオン種を選択するための，分解開口を画成する構造体と，
    前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種に所望の軌道を描かせるために，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種を偏向するための，実質的に垂直方向の磁場を与える角度補正器磁石組立体と，
    を含み，
    イオンソースにより発生したリボン状のイオンビームが抽出開口の長手方向に対して平行な面で発散する，ところのイオンビーム装置。
18. 前記分解磁石組立体は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約60°の角度に偏向し，前記角度補正器磁石組立体は，前記リボン状のイオンビーム内の選択されたイオン種のイオンを，約70°の角度に偏向する，請求項１7に記載のイオンビーム装置。

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