JP4632142B2 - 2軸磁界センサ - Google Patents
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Description
[特許文献2]特表2005−502888号(対応する米国特許6,717,403号(登録日2004年4月6日))
2本の前記第一導体の一方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子と、2本の前記第一導体の他方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子とからなり、これら磁気抵抗素子の長手方向が互いに非平行で、これら磁気抵抗素子の2本の前記第一導体間にある端が互いに接続されている1対の第一磁気抵抗素子と、
2本の前記第一導体の前記他方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子と、2本の前記第一導体の前記一方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子とからなり、これら磁気抵抗素子の長手方向が互いに非平行で、これら磁気抵抗素子の2本の前記第一導体間にある端が互いに接続されている1対の第二磁気抵抗素子と、
2本の前記第二導体の一方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子と、2本の前記第二導体の他方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子とからなり、これら磁気抵抗素子の長手方向が互いに非平行で、これら磁気抵抗素子の2本の前記第二導体間にある端が互いに接続されている1対の第三磁気抵抗素子と、
2本の前記第二導体の前記他方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子と、2本の前記第二導体の前記一方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子とからなり、これら磁気抵抗素子の長手方向が互いに非平行で、これら磁気抵抗素子の2本の前記第二導体間にある端が互いに接続されている1対の第四磁気抵抗素子とを前記平面コイルに近接し平面コイルに平行な平面内に有する。2軸磁界センサは更に、第一導体の一方と交差している2個の磁気抵抗素子を飽和させる磁界をそれら磁気抵抗素子に印加する電流を第一導体の前記一方に流し、
第一導体の他方と交差している2個の磁気抵抗素子を反対方向に飽和させる磁界をそれら磁気抵抗素子に印加する電流を第一導体の前記他方に流し、
第二導体の一方と交差している2個の磁気抵抗素子を飽和させる磁界をそれら磁気抵抗素子に印加する電流を第二導体の前記一方に流し、
第二導体の他方と交差している2個の磁気抵抗素子を反対方向に飽和させる磁界をそれら磁気抵抗素子に印加する電流を第二導体の前記他方に流し、
その後、各磁気抵抗素子に加えられた飽和させる磁界に反対向きのある大きさのバイアス磁界と、外部オフセット磁界を打ち消す磁界との合計磁界をそれぞれの磁気抵抗素子に印加する電流を第一導体と第二導体それぞれに流すための直流電源を有する。更に、1対の第一磁気抵抗素子の2本の第一導体の外側にある端間と、1対の第二磁気抵抗素子の2本の第一導体の外側にある端間と、1対の第三磁気抵抗素子の2本の第二導体の外側にある端間と、1対の第四磁気抵抗素子の2本の第二導体の外側にある端間とに測定用直流電圧を印加する測定電源を有する。更に、前記測定用直流電圧を各磁気抵抗素子対に印加している間に、1対の第一磁気抵抗素子の前記接続された端から第一中間電位出力を取り出し、1対の第二磁気抵抗素子の前記接続された端から第二中間電位出力を取り出し、第一中間電位出力と第二中間電位出力との第一電位出力差を求め、1対の第三磁気抵抗素子の前記接続された端から第三中間電位出力を取り出し、1対の第四磁気抵抗素子の前記接続された端から第四中間電位出力を取り出し、第三中間電位出力と第四中間電位出力との第二電位出力差を求め、前記第一電位出力差と前記第二電位出力差から磁界方位を求める機器を有する。
2本の第二導体の一方と2本の第一導体の他方とで他の直角三角形平面コイルの2辺を形成して直列に接続されて前記直流電源に接続されていることができる。前記2個の直角三角形平面コイルの斜辺にある導体同士が隣り合って設けられていることができる。
1対の第一磁気抵抗素子の他方と1対の第二磁気抵抗素子の一方とに交差している第一導体の他方と、第二導体の一方が1対の第三磁気抵抗素子の一方と交差している第二導体の前記一方の部分と、第二導体の他方が1対の第四磁気抵抗素子の一方と交差している第二導体の前記他方の部分とによって他の長方形平面コイルの三辺を形成して接続されて前記直流電源につながれており、
前記2個の長方形平面コイルの残りの辺にある導体同士が隣り合って設けられていることができる。
1a′,1a″,1b′,1b″ 直角二等辺三角形平面コイル
1c′,1c″ 長方形平面コイル
11,12 第一導体
13,14 第二導体
2,3,4,5 磁気抵抗素子対
21,22,31,32,41,42,51,52 磁気抵抗素子
61,62,63,64 直流電源
70 測定電源
80 磁界方位を求める機器
90 制御器
H21=γ・Ia+Hoffx+He・cosθ
である。ここで、γは第一導体11の形状と、平面コイル1から磁気抵抗素子の平面までの距離によって決まる定数である。
Ia=Ib−Ioffx
この状態での磁気抵抗素子周りの磁界を図3に示す。磁気抵抗素子21に印加される磁界H21は次の式となる。
H21=γ・Ia+Hoffx+He・cosθ
=γ・(Ib−Ioffx)+Hoffx+He・cosθ
ここで、−Ioffxは外部オフセット磁界のX軸成分Hoffxを打ち消す電流であるから、
Hoffx=γ・Ioffx
であり、磁界H21は、
H21=γ・Ib+He・cosθ
となる。
R21=Rb−β・He・cosθ
となる。
Ic=Ib+Ioffx
この状態での磁気抵抗素子周りの磁界を図3に示す。
磁気抵抗素子22に印加される磁界H22は次の式となる。
H22=−γ・Ic+Hoffx+He・cosθ
=−γ・(Ib+Ioffx)+Hoffx+He・cosθ
=−γ・Ib+He・cosθ
となる。
この状態での磁気抵抗素子22の抵抗R22の特性は、図2と図4のグラフと対称になったグラフとなるため、
R22=Rb+β・He・cosθ
となる。
よって1対の第一磁気抵抗素子2の磁気抵抗素子21と磁気抵抗素子22の中間電位出力Vco2(+)は、
Vco2(+)=Vcc・[1/2+1/(2・Rb)・β・He・cosθ]
となる。
Vco3(+)=Vcc・[1/2−1/(2・Rb)・β・He・cosθ]
となる。
第一磁気抵抗素子対2と第二磁気抵抗素子対3の接続されている端の中間電位出力の差を図1のVxとして取りだしているので、中間電位出力差Vx(+)は、
Vx(+)=Vco2(+)−Vco3(+)
=Vcc・〈[1/2+1/(2・Rb)・β・He・cosθ]−[1/2−1/(2・Rb)・β・He・cosθ]〉
=Vcc・1/Rb・β・He・cosθ
となる。
Ia′=−Ib−Ioffx
この状態で磁気抵抗素子21に印加される磁界H21′は、
H21′=γ・Ia′+Hoffx+He・cosθ
=−γ・(Ib+Ioffx)+Hoffx+He・cosθ
=−γ・Ib+He・cosθ
となる。
この場合の磁気抵抗素子21の抵抗R21′は、
R21′=Rb+β・He・cosθ
となる。
Ic′=−Ib+Ioffx
この状態で磁気抵抗素子22に印加される磁界H22′は、
H22′=−γ・Ic′+Hoffx+He・cosθ
=−γ・(−Ib+Ioffx)+Hoffx+He・cosθ
=γ・Ib+He・cosθ
となる。
この場合の磁気抵抗素子22の抵抗R22′は、
R22′=Rb−β・He・cosθ
となり、1対の第一磁気抵抗素子2の磁気抵抗素子21と磁気抵抗素子22の中間電位出力Vco2(−)は、
Vco2(−)=Vcc・[1/2−1/(2・Rb)・β・He・cosθ]
となる。
Vco3(−)=Vcc・[1/2+1/(2・Rb)・β・He・cosθ]
となり、第一磁気抵抗素子対2と第二磁気抵抗素子対3との中間電位出力差Vx(−)は、
Vx(−)=Vco2(−)−Vco3(−)
=Vcc・〈[1/2−1/(2・Rb)・β・He・cosθ]−[1/2+1/(2・Rb)・β・He・cosθ]〉
=−Vcc・1/Rb・β・He・cosθ
となる。
これらの両中間電位出力差の差Vxを求めると、
Vx=Vx(+)−Vx(−)
=2Vcc・1/Rb・β・He・cosθ
となる。
上式から、X軸の出力値Vxは外部オフセット磁界のX軸成分Hoffxの影響を受けない。
Id=Ib−Ioffy
この状態で磁気抵抗素子41に印加される磁界H41は、
H41=γ・Id+Hoffy+He・sinθ
=γ・(Ib−Ioffy)+Hoffy+He・sinθ
=γ・Ib+He・sinθ
となる。
R41=Rb−β・He・sinθ
となる。他方の第二導体14に図1で時計廻り方向に流す電流Ieは、最適バイアス電流Ibと、外部オフセット磁界のY軸成分Hoffyを打ち消す磁界を磁気抵抗素子42に印加する電流Ioffyの和とする。
Ie=Ib+Ioffy
この状態で磁気抵抗素子42に印加される磁界H42は、
H42=−γ・Ie+Hoffy+He・sinθ
=−γ・(Ib+Ioffy)+Hoffy+He・sinθ
=−γ・Ib+He・sinθ
となる。この状態での磁気抵抗素子42の抵抗R42は、
R42=Rb+β・He・sinθ
となる。
よって1対の第三磁気抵抗素子4の磁気抵抗素子41と磁気抵抗素子42の中間電位出力Vco4(+)は、
Vco4(+)=Vcc・[1/2+1/(2・Rb)・β・He・sinθ]
となる。
Vco5(+)=Vcc・[1/2−1/(2・Rb)・β・He・sinθ]
となる。
第三磁気抵抗素子対4と第四磁気抵抗素子対5の接続されている端の中間電位出力の間の差を図1のVyとして取り出しているので、中間電位出力差Vy(+)は、
Vy(+)=Vco4(+)−Vco5(+)
=Vcc・〈[1/2+1/(2・Rb)・β・He・sinθ]−[1/2−1/(2・Rb)・β・He・sinθ]〉
=Vcc・1/Rb・β・He・sinθ
となる。
Id′=−Ib−Ioffy
この状態で磁気抵抗素子41に印加される磁界H41′は、
H41′=γ・Id′+Hoffy+He・sinθ
=γ・(−Ib−Ioffy)+Hoffy+He・sinθ
=−γ・Ib+He・sinθ
となる。
この状態での磁気抵抗素子41の抵抗R41′は、
R41′=Rb+β・He・sinθ
となる。
Ie′=−Ib+Ioffy
この状態で磁気抵抗素子42に印加される磁界H42′は、
H42′=−γ・Ie′+Hoffy+He・sinθ
=−γ・(−Ib+Ioffy)+Hoffy+He・sinθ
=γ・Ib+He・sinθ
となる。
この場合の磁気抵抗素子42の抵抗R42′は、
R42′=Rb−β・He・sinθ
となる。
第三磁気抵抗素子対4の磁気抵抗素子41と磁気抵抗素子42の中間電位出力Vco4(−)は、
Vco4(−)=Vcc・[1/2−1/(2・Rb)・β・He・sinθ]
となる。
Vco5(−)=Vcc・[1/2+1/(2・Rb)・β・He・sinθ]
となり、第三磁気抵抗素子対4と第四磁気抵抗素子対5の中間電位出力差Vy(−)は、
Vy(−)=Vco4(−)−Vco5(−)
=Vcc・〈[1/2−1/(2・Rb)・β・He・sinθ]−[1/2+1/(2・Rb)・β・He・sinθ]〉
=−Vcc・1/Rb・β・He・sinθ
となる。
これらの両中間電位出力差の差を求めると、
Vy=Vy(+)−Vy(−)
=2Vcc・1/Rb・β・He・sinθ
となる。
上式から、Y軸の出力値Vyは外部オフセット磁界のY軸成分Hoffyの影響を受けない。
前述した通り、
Vx=Vx(+)−Vx(−)
=2Vcc・1/Rb・β・He・cosθ
なので、地磁気の水平成分がX軸となす角度θは、
θ=tan−1(Vy/Vx)
として求めることができる。
a点:(Ioffxa,Ioffya),
b点:(Ioffxb,Ioffyb),
c点:(Ioffxc,Ioffyc)とすると、
これらは外部オフセット磁界を打ち消すのに必要なオフセット電流(Ioffx,Ioffy)と地磁気を打ち消すのに必要な電流との和である。外部オフセット磁界を打ち消すのに必要なオフセット電流は一定である。しかし、地磁気は一定の大きさであるが向きが違い、図5でX軸とY軸とをそれぞれ第一導体と第二導体に流す電流としたときに、原点から円弧の中心oまでがオフセット電流に相当し、oa,ob,ocが地磁気を打ち消す電流に相当する。a,b,cにおける地磁気は大きさが一定で向きが違うので、oa,ob,ocの長さが同じである。そこで、a,b,c3点の電流から円弧の中心oのオフセット電流を求めることが出来る。予め、円弧上の3点に円弧に沿った向きに2軸磁界センサを置いたときに、その出力を零とするのに必要な電流を測定して、その電流を使って次の簡単な計算によって外部オフセット磁界を打ち消すためのオフセット電流(Ioffx,Ioffy)を求めることが出来る。
Ioffy=(1/2)・〔(Ioffxa2+Ioffya2)・(Ioffxc−Ioffxb)+(Ioffxb2+Ioffyb2)・(Ioffxa−Ioffxc)+(Ioffxc2+Ioffyc2)・(Ioffxb−Ioffxa)〕/〔Ioffya・(Ioffxc−Ioffxb)+Ioffyb・(Ioffxa−Ioffxc)+Ioffyc・(Ioffxb−Ioffxa)〕
Ia=Ib−Ioffx
Ic=Ib+Ioffx
この状態での第一磁気抵抗素子対2の磁気抵抗素子21と磁気抵抗素子22との中間電位出力Vco2(+)は、
Vco2(+)=Vcc・[1/2+1/(2・Rb)・β・He・cosθ]
となる。
また、第二磁気抵抗素子対3の磁気抵抗素子31と磁気抵抗素子32との中間電位出力Vco3(+)は、
Vco3(+)=Vcc・[1/2−1/(2・Rb)・β・He・cosθ]
となる。
Vx(+)=Vco2(+)−Vco3(+)
=Vcc・〈[1/2+1/(2・Rb)・β・He・cosθ]−[(1/2−1/(2・Rb)・β・He・cosθ)〉
=Vcc・1/Rb・β・He・cosθ
となる。
Ia′=−Ib−Ioffx
Ic′=−Ib+Ioffx
この状態での第一磁気抵抗素子対2の磁気抵抗素子21と磁気抵抗素子22の中間電位出力Vco2(−)は、
Vco2(−)=Vcc・[1/2−1/(2・Rb)・β・He・cosθ]
となる。
また、第二磁気抵抗素子対3の磁気抵抗素子31と磁気抵抗素子32の中間電位出力Vco3(−)は、
Vco3(−)=Vcc・[1/2+1/(2・Rb)・β・He・cosθ]
となる。
Vx(−)=Vco2(−)−Vco3(−)
=Vcc・〈[1/2−1/(2・Rb)・β・He・cosθ]−[1/2+1/(2・Rb)・β・He・cosθ]〉
=−Vcc・1/Rb・β・He・cosθ
となる。
Ia=Ib−Ioffy
Ic=Ib+Ioffy
この状態での第三磁気抵抗素子対4の磁気抵抗素子41と磁気抵抗素子42との中間電位出力Vco4(+)は
Vco4(+)=Vcc・[1/2+1/(2・Rb)・β・He・sinθ]
となる。同様に第四磁気抵抗素子対5の磁気抵抗素子51と磁気抵抗素子52との中間電位出力Vco5(+)は
Vco5(−)=Vcc・[1/2−1/(2・Rb)・β・He・sinθ]
となる。
Vy(+)=Vco4(+)−Vco5(+)
=Vcc・〈[1/2+1/(2・Rb)・β・He・sinθ]−[1/2−1/(2・Rb)・β・He・sinθ]〉
=Vcc・1/Rb・β・He・sinθ
となる。
Ia′=−Ib−Ioffy
Ic′=−Ib+Ioffy
この状態での第三磁気抵抗素子対4の磁気抵抗素子41と磁気抵抗素子42との中間電位出力Vco4(−)は
Vco4(−)=Vcc・[1/2−1/(2・Rb)・β・He・sinθ]
となる。同様に第四磁気抵抗素子対5の磁気抵抗素子51と磁気抵抗素子52との中間電位出力Vco5(−)は
Vco5(−)=Vcc・[1/2+1/(2・Rb)・β・He・sinθ]
となる。
Vy(−)=Vco4(−)−Vco5(−)
=Vcc・〈[1/2−1/(2・Rb)・β・He・sinθ]−[1/2+1/(2・Rb)・β・He・sinθ]〉
=−Vcc・1/Rb・β・He・sinθ
となる。
Vx=Vx(+)−Vx(−)
=2Vcc・1/Rb・β・He・cosθ
Vy=Vy(+)−Vy(−)
=2Vcc・1/Rb・β・He・sinθ
となり、地磁気の水平成分がX軸となす角度θは、
θ=tan−1(Vy/Vx)
として求めることが出来る。
上式から、X軸、Y軸の出力値Vx,Vyは外部オフセット磁界のX軸成分Hoffx、Y軸成分Hoffyの影響を受けない。
Claims (5)
- 平行な2本の第一導体と、第一導体に垂直で平行な2本の第二導体とを有する平面コイルと、
2本の前記第一導体の一方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子と、2本の前記第一導体の他方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子とからなり、これら磁気抵抗素子の長手方向が互いに非平行で、これら磁気抵抗素子の2本の前記第一導体間にある端が互いに接続されている1対の第一磁気抵抗素子と、
2本の前記第一導体の前記他方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子と、2本の前記第一導体の前記一方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子とからなり、これら磁気抵抗素子の長手方向が互いに非平行で、これら磁気抵抗素子の2本の前記第一導体間にある端が互いに接続されている1対の第二磁気抵抗素子と、
2本の前記第二導体の一方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子と、2本の前記第二導体の他方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子とからなり、これら磁気抵抗素子の長手方向が互いに非平行で、これら磁気抵抗素子の2本の前記第二導体間にある端が互いに接続されている1対の第三磁気抵抗素子と、
2本の前記第二導体の前記他方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子と、2本の前記第二導体の前記一方のみと30度以上90度未満で交差している長手方向を持つ磁気抵抗素子とからなり、これら磁気抵抗素子の長手方向が互いに非平行で、これら磁気抵抗素子の2本の前記第二導体間にある端が互いに接続されている1対の第四磁気抵抗素子とを前記平面コイルに近接し平面コイルに平行な平面内に有し、
第一導体の一方と交差している2個の磁気抵抗素子を飽和させる磁界をそれら磁気抵抗素子に印加する電流を第一導体の前記一方に流し、
第一導体の他方と交差している2個の磁気抵抗素子を反対方向に飽和させる磁界をそれら磁気抵抗素子に印加する電流を第一導体の前記他方に流し、
第二導体の一方と交差している2個の磁気抵抗素子を飽和させる磁界をそれら磁気抵抗素子に印加する電流を第二導体の前記一方に流し、
第二導体の他方と交差している2個の磁気抵抗素子を反対方向に飽和させる磁界をそれら磁気抵抗素子に印加する電流を第二導体の前記他方に流し、
その後、各磁気抵抗素子に加えられた飽和させる磁界に反対向きのある大きさのバイアス磁界と、外部オフセット磁界を打ち消す磁界との合計磁界をそれぞれの磁気抵抗素子に印加する電流を第一導体と第二導体それぞれに流すための直流電源と、
1対の第一磁気抵抗素子の2本の第一導体の外側にある端間と、1対の第二磁気抵抗素子の2本の第一導体の外側にある端間と、1対の第三磁気抵抗素子の2本の第二導体の外側にある端間と、1対の第四磁気抵抗素子の2本の第二導体の外側にある端間とに測定用直流電圧を印加する測定電源と、
前記測定用直流電圧を各磁気抵抗素子対に印加している間に、1対の第一磁気抵抗素子の前記接続された端から第一中間電位出力を取り出し、1対の第二磁気抵抗素子の前記接続された端から第二中間電位出力を取り出し、第一中間電位出力と第二中間電位出力との第一電位出力差を求め、1対の第三磁気抵抗素子の前記接続された端から第三中間電位出力を取り出し、1対の第四磁気抵抗素子の前記接続された端から第四中間電位出力を取り出し、第三中間電位出力と第四中間電位出力との第二電位出力差を求め、前記第一電位出力差と前記第二電位出力差から磁界方位を求める機器とを有する2軸磁界センサ。 - 各磁気抵抗素子の長手方向が導体と40度以上70度未満で交差している請求の範囲1記載の2軸磁界センサ。
- 2本の第一導体の一方と2本の第二導体の他方とで直角三角形平面コイルの2辺を形成して直列に接続されて直流電源に接続されているとともに、2本の第二導体の一方と2本の第一導体の他方とで他の直角三角形平面コイルの2辺を形成して直列に接続されて直流電源に接続されている請求の範囲2記載の2軸磁界センサ。
- 前記2個の直角三角形平面コイルの斜辺にある導体同士が隣り合って設けられている請求の範囲3記載の2軸磁界センサ。
- 1対の第一磁気抵抗素子の一方と1対の第二磁気抵抗素子の他方とに交差している第一導体の一方と、第二導体の他方が1対の第三磁気抵抗素子の他方と交差している第二導体の前記他方の部分と、第二導体の一方が1対の第四磁気抵抗素子の他方と交差している第二導体の前記一方の部分とによって長方形平面コイルの三辺を形成して接続されて直流電源につながれており、
1対の第一磁気抵抗素子の他方と1対の第二磁気抵抗素子の一方とに交差している第一導体の他方と、第二導体の一方が1対の第三磁気抵抗素子の一方と交差している第二導体の前記一方の部分と、第二導体の他方が1対の第四磁気抵抗素子の一方と交差している第二導体の前記他方の部分とによって他の長方形平面コイルの三辺を形成して接続されて直流電源につながれており、
前記2個の長方形平面コイルの残りの辺にある導体同士が隣り合って設けられている請求の範囲2記載の2軸磁界センサ。
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