JP4630592B2 - Manufacturing method of inkjet head unit - Google Patents

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本発明は、インクをインク滴として吐出させるインクジェットヘッドを備えるインクジェットヘッドユニットの製造方法に関する。 The present invention relates to a manufacturing method of the ink jet head unit comprising an ink jet head for discharging ink as ink droplets.

インクジェットヘッドとしては、例えば、インクジェットプリンタ等に搭載されるインクジェットヘッドが挙げられる。インクジェットヘッドは、基本的に、インクを吐出するための圧力室を形成するインク吐出基板やその圧力室に連通するノズル等を備えており、圧力室内のインクをノズルからインク滴として吐出させる。   As an inkjet head, the inkjet head mounted in an inkjet printer etc. is mentioned, for example. The ink jet head basically includes an ink ejection substrate that forms a pressure chamber for ejecting ink, a nozzle that communicates with the pressure chamber, and the like, and ejects ink in the pressure chamber as ink droplets from the nozzle.

このようなインクジェットヘッドは、それを駆動制御する駆動回路を有する駆動回路基板と共にベース基板に接着されてユニット化されている。ベース基板には、通常、インクジェットヘッドのインク吐出基板が接着剤により直接接着されている。接着剤としては、熱硬化型のエポキシ接着剤等が用いられる。このエポキシ接着剤は、高強度で、インクやインクジェットヘッド製造工程で使用される洗浄剤に対して浸透膨潤・劣化をほとんど起こさないため、高い信頼性を得ている。しかし、その硬化温度は、100℃を超えるため、実用時の温度20〜30℃との差が大きく、反りを引き起こす原因となっている。   Such an ink jet head is unitized by being bonded to a base substrate together with a drive circuit substrate having a drive circuit for driving and controlling it. Usually, an ink discharge substrate of an inkjet head is directly bonded to the base substrate with an adhesive. As the adhesive, a thermosetting epoxy adhesive or the like is used. This epoxy adhesive has high strength and has high reliability because it hardly causes permeation swelling / deterioration with respect to the cleaning agent used in the ink or inkjet head manufacturing process. However, since the curing temperature exceeds 100 ° C., the difference from the practical temperature of 20 to 30 ° C. is large, which causes warping.

一方、特許文献1では、インク吐出基板とベース基板との間に熱膨張率がインク吐出基板と近い基板を設けることで、反りの発生を低減させる技術が提案されている。また、特許文献2では、インク吐出基板の強度を上げること又はベース基板の強度を下げることによって、反りの発生を低減させる技術が提案されている。   On the other hand, Patent Document 1 proposes a technique for reducing the occurrence of warpage by providing a substrate having a thermal expansion coefficient close to that of the ink discharge substrate between the ink discharge substrate and the base substrate. Patent Document 2 proposes a technique for reducing the occurrence of warping by increasing the strength of the ink discharge substrate or decreasing the strength of the base substrate.

特開2000−351215公報JP 2000-351215 A 特開2002−337343公報JP 2002-337343 A

しかしながら、特許文献1及び特許文献2では、熱膨張率がインク吐出基板に近い基板又はインク吐出基板の強度を上げるための基板が必要となり、それらの基板が必ずしも高い熱伝導率を有しているわけではないため、インク吐出基板の発熱による温度上昇や温度ムラを抑える効果が減少してしまう。   However, in Patent Document 1 and Patent Document 2, a substrate having a thermal expansion coefficient close to that of the ink discharge substrate or a substrate for increasing the strength of the ink discharge substrate is required, and these substrates necessarily have high thermal conductivity. Therefore, the effect of suppressing temperature rise and temperature unevenness due to heat generation of the ink discharge substrate is reduced.

特許文献1では、熱膨張率がインク吐出基板に近い基板の材料として、熱膨張率からアモルファスカーボンや窒化アルミが用いられている。特許文献1で挙げられている基板材料の熱伝導率は、アルミニウムで200W/mK、シリコンで100W/mK、窒化アルミで150W/mK、アモルファスカーボンで5W/mK、アルミナで40W/mKである。このため、特許文献1のように基板材料としてアモルファスカーボンを用いた場合には、インク吐出基板の発熱による温度上昇や温度ムラを抑える効果が減少してしまう。また、基材材料として窒化アルミを用いた場合には、インク吐出基板の発熱による温度上昇や温度ムラを抑える効果を低下させることはないが、窒化アルミが高価なため、インクジェットヘッドのコストがアップしてしまう。   In Patent Document 1, amorphous carbon or aluminum nitride is used as a material for a substrate having a thermal expansion coefficient close to that of an ink ejection substrate, based on the thermal expansion coefficient. The thermal conductivity of the substrate material described in Patent Document 1 is 200 W / mK for aluminum, 100 W / mK for silicon, 150 W / mK for aluminum nitride, 5 W / mK for amorphous carbon, and 40 W / mK for alumina. For this reason, when amorphous carbon is used as a substrate material as in Patent Document 1, the effect of suppressing temperature rise and temperature unevenness due to heat generation of the ink discharge substrate is reduced. In addition, when aluminum nitride is used as the base material, the effect of suppressing temperature rise and temperature unevenness due to heat generation of the ink discharge substrate is not reduced, but the cost of the inkjet head increases because aluminum nitride is expensive. Resulting in.

さらに、特許文献1及び特許文献2では、熱膨張率がインク吐出基板に近い基板又はインク吐出基板の強度を上げるための基板を必要とするため、部品点数が増え、インクジェットヘッドのコストがアップしてしまう。また、必要とする基板とインク吐出基板とベース基板とは接着剤で接着されるため、それらの間には2つの接着層が存在することになり、1つだけの接着層の場合と比べ、接着層の膨張又は収縮によって発生する反りが増大してしまう。   Furthermore, Patent Document 1 and Patent Document 2 require a substrate having a thermal expansion coefficient close to that of the ink discharge substrate or a substrate for increasing the strength of the ink discharge substrate, which increases the number of components and increases the cost of the inkjet head. End up. In addition, since the required substrate, the ink discharge substrate, and the base substrate are bonded with an adhesive, there are two adhesive layers between them, compared to the case of only one adhesive layer, Warpage generated by expansion or contraction of the adhesive layer is increased.

本発明の目的は、インク吐出基板をベース基板に取り付ける際に発生する反りを低減し、さらに、インク吐出基板での発熱を拡散することによりインクの吐出安定性の向上及び濃度ムラの低減を実現する安価なインクジェットヘッドユニットの製造方法を提供することである。 The object of the present invention is to reduce the warpage that occurs when the ink ejection substrate is attached to the base substrate, and further to improve the ink ejection stability and reduce the density unevenness by diffusing the heat generated on the ink ejection substrate. An inexpensive inkjet head unit manufacturing method is provided.

本発明は、ベース基板とインクを吐出させるための圧力室を形成するインク吐出基板とを、それらが積層された場合に互いに接触する各接触面を接着させて積層することで、インクジェットヘッドユニットを製造するインクジェットヘッドユニットの製造方法において、前記インク吐出基板の接触面の長手方向の中央領域を、浸透性を有する浸透接着剤より強い接着力を有する高強度接着剤により前記ベース基板の接触面に接着し、その後、前記インク吐出基板の接触面の両端領域に対し、前記インク吐出基板と前記ベース基板との間に前記浸透接着剤を浸透させて、前記インク吐出基板の接触面を前記ベース基板の接触面に接着するようにした、ことを特徴とする。 The present invention provides an inkjet head unit by laminating a base substrate and an ink ejection substrate that forms a pressure chamber for ejecting ink by bonding the contact surfaces that contact each other when they are stacked. In the manufacturing method of the ink jet head unit to be manufactured, the central region in the longitudinal direction of the contact surface of the ink discharge substrate is applied to the contact surface of the base substrate with a high-strength adhesive having a stronger adhesive force than the permeable adhesive having permeability. Then, the penetrating adhesive is infiltrated between the ink discharge substrate and the base substrate with respect to both end regions of the contact surface of the ink discharge substrate, and the contact surface of the ink discharge substrate becomes the base substrate. It is characterized by adhering to the contact surface.

本発明によれば、インク吐出基板をベース基板に取り付ける際に発生する反りを低減し、さらに、インク吐出基板での発熱を拡散することによりインクの吐出安定性の向上及び濃度ムラの低減を実現する安価なインクジェットヘッドユニットを提供することができる。   According to the present invention, the warpage generated when the ink discharge substrate is attached to the base substrate is reduced, and further, the heat generation in the ink discharge substrate is diffused, thereby improving the ink discharge stability and reducing the density unevenness. An inexpensive ink jet head unit can be provided.

本発明の前提技術を図1及び図2に基づいて説明する。図1は本前提技術のインクジェットヘッドユニット1を概略的に示す分解斜視図である。 The prerequisite technology of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is an exploded perspective view schematically showing an inkjet head unit 1 according to the premise technique .

図1に示すように、インクジェットヘッドユニット1は、各種の部材等を保持するベース基板2、ベース基板2上に設けられノズルプレート3に形成されたノズル4からインクをインク滴として吐出させるインクジェットヘッド5、ベース基板2上であってインクジェットヘッド5と同一面側に設けられインクジェットヘッド5を駆動する駆動回路である駆動IC(図示せず)を有する駆動回路基板6、インクジェットヘッド5と駆動回路基板とを電気的に接続する配線部7等から構成されている。   As shown in FIG. 1, an inkjet head unit 1 includes an inkjet head that ejects ink as ink droplets from a base substrate 2 that holds various members and the like, and nozzles 4 that are provided on the base substrate 2 and formed on a nozzle plate 3. 5. A drive circuit board 6 having a drive IC (not shown) which is provided on the same side of the base substrate 2 as the inkjet head 5 and is a drive circuit for driving the inkjet head 5, the inkjet head 5 and the drive circuit board And the wiring portion 7 and the like that are electrically connected to each other.

インクジェットヘッド5は、複数のノズル4が形成されたノズルプレート3、インクを吐出させるための複数の圧力室(図示せず)を形成するインク吐出基板8、それらの圧力室に連通する共通インク室(図示せず)を有するインク室基板9等を備えている。複数の圧力室は、複数のノズル4にそれぞれ対向する位置に設けられており、それぞれに共通インク室からインクが供給されるように構成されている。なお、インク吐出基板8は、少なくとも圧力室の一部を形成している。   The inkjet head 5 includes a nozzle plate 3 in which a plurality of nozzles 4 are formed, an ink ejection substrate 8 that forms a plurality of pressure chambers (not shown) for ejecting ink, and a common ink chamber that communicates with these pressure chambers. And an ink chamber substrate 9 (not shown). The plurality of pressure chambers are provided at positions facing the plurality of nozzles 4, respectively, and are configured to be supplied with ink from a common ink chamber. The ink discharge substrate 8 forms at least a part of the pressure chamber.

インク吐出基板8は圧電部材等により形成されており、駆動回路基板6の駆動ICに電気的に接続されている。このインク吐出基板8は、駆動ICによる駆動制御に基づいて圧力室の体積を変形させることで、圧力室内のインクをノズルプレート3のノズル4からインク滴として吐出させる構造になっている。なお、圧電部材としては、圧電素子(ピエゾ素子)等が用いられているが、これに限るものではない。   The ink discharge substrate 8 is formed of a piezoelectric member or the like, and is electrically connected to the drive IC of the drive circuit substrate 6. The ink discharge substrate 8 is configured to discharge the ink in the pressure chamber as ink droplets from the nozzles 4 of the nozzle plate 3 by deforming the volume of the pressure chamber based on drive control by the drive IC. In addition, although a piezoelectric element (piezo element) etc. are used as a piezoelectric member, it is not restricted to this.

インク室基板9には、共通インク室にインクを供給するためのインク供給口10が形成されている。このインク供給口10には、インクを収容するインクタンク(図示せず)がインク供給路11を介して接続されている。これにより、インクタンクに収容されたインクはインク供給路11を介してインク供給口10から共通インク室に供給される。   The ink chamber substrate 9 is formed with an ink supply port 10 for supplying ink to the common ink chamber. An ink tank (not shown) that stores ink is connected to the ink supply port 10 via an ink supply path 11. Thus, the ink stored in the ink tank is supplied from the ink supply port 10 to the common ink chamber via the ink supply path 11.

なお、インクとしては、例えば水性インク、油性インク、溶剤インク及びUVインク(紫外線硬化型インク)等の様々なインクが用いられる。UVインクは、例えば、顔料、モノマー、オリゴマー、光重合開始剤、分散剤やその他の添加剤(例えば表面張力調整剤)等から構成されている。   As the ink, various inks such as water-based ink, oil-based ink, solvent ink, and UV ink (ultraviolet curable ink) are used. The UV ink is composed of, for example, a pigment, a monomer, an oligomer, a photopolymerization initiator, a dispersant, and other additives (for example, a surface tension adjusting agent).

このようなインクジェットヘッド5は、駆動回路基板6の駆動ICによる駆動制御に基づいて、インク吐出基板8の所望の圧力室の体積を変化させてインクに圧力を加えることで、その圧力室に供給されたインクを複数のノズル4から選択的にインク滴として吐出させる。なお、圧力室の体積が増える過程では、共通インク室のインクが圧力室に吸引され、圧力室の体積が減る過程では、圧力室のインクがインク滴となってノズル4から外部に向けて吐出する。   Such an ink jet head 5 supplies the pressure chamber by applying pressure to the ink by changing the volume of the desired pressure chamber of the ink discharge substrate 8 based on the drive control of the drive circuit board 6 by the drive IC. The discharged ink is selectively ejected from a plurality of nozzles 4 as ink droplets. In the process of increasing the volume of the pressure chamber, the ink in the common ink chamber is sucked into the pressure chamber, and in the process of decreasing the volume of the pressure chamber, the ink in the pressure chamber is ejected as an ink droplet from the nozzle 4 to the outside. To do.

なお、本前提技術では、吐出力発生部材として圧電部材(例えばピエゾ素子)を利用する圧電方式のインクジェットヘッド5が用いられているが、これに限るものではなく、例えば吐出力発生部材として発熱体を利用するサーマル方式のインクジェットヘッドが用いられても良い。なお、どちらの方式でも、圧力室のインクに圧力(圧力室の体積変化による圧力又は気泡による圧力)を加えることで、圧力室内のインクをノズル4からインク滴として吐出させている。 In the base technology , the piezoelectric inkjet head 5 using a piezoelectric member (for example, a piezo element) is used as a discharge force generating member. However, the invention is not limited to this. For example, a heating element is used as the discharge force generating member. A thermal-type ink-jet head using the above may be used. In either method, the ink in the pressure chamber is ejected as ink droplets from the nozzle 4 by applying pressure to the ink in the pressure chamber (pressure due to volume change in the pressure chamber or pressure due to bubbles).

このようなインクジェットヘッド5は、異なる特性を有する2種類の接着剤12,13によりベース基板2上に接着されている。すなわち、インクジェットヘッド5のインク吐出基板8とベース基板2とは、それらが積層された場合に互いに接触する各接触面8a,2aを接着させて積層することで形成されている。   Such an ink jet head 5 is bonded onto the base substrate 2 by two types of adhesives 12 and 13 having different characteristics. That is, the ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 of the inkjet head 5 are formed by adhering and laminating the contact surfaces 8a and 2a that contact each other when they are laminated.

異なる特性を有する2種類の接着剤12,13としては、高強度接着剤12と弾性接着剤13とが用いられている。なお、ベース基板2としては、例えば熱伝導率が高い部材等が用いられている。   As the two types of adhesives 12 and 13 having different characteristics, a high-strength adhesive 12 and an elastic adhesive 13 are used. For example, a member having high thermal conductivity is used as the base substrate 2.

高強度接着剤12は、弾性接着剤13より強い接着力(高強度)を有する接着剤である。また、高強度接着剤12は、その接着強度がインクや洗浄剤等に対して低下しない優れた耐環境特性を有する耐環境接着剤でもある。高強度接着剤12としては、例えばエポキシ系の接着剤が用いられる。このエポキシ系の接着剤としては、例えば1液性の熱硬化型エポキシ接着剤等が用いられる。   The high-strength adhesive 12 is an adhesive having a stronger adhesive force (high strength) than the elastic adhesive 13. The high-strength adhesive 12 is also an environmental resistant adhesive having excellent environmental resistance characteristics that do not lower its adhesive strength with respect to ink, cleaning agents, and the like. For example, an epoxy adhesive is used as the high-strength adhesive 12. As this epoxy adhesive, for example, a one-component thermosetting epoxy adhesive or the like is used.

一方、弾性接着剤13は、硬化後も弾性を有する接着剤である。弾性接着剤13としては、例えばエポキシ系の弾性接着剤が用いられる。このエポキシ系の弾性接着剤としては、例えば変形しやすいゴム系/2液混合エポキシ接着剤等が用いられる。なお、本前提技術では、これらの高強度接着剤12及び弾性接着剤13は、熱により硬化する熱硬化型接着剤である。 On the other hand, the elastic adhesive 13 is an adhesive having elasticity even after curing. As the elastic adhesive 13, for example, an epoxy-based elastic adhesive is used. As the epoxy-based elastic adhesive, for example, a rubber-based / two-component mixed epoxy adhesive that is easily deformed is used. In the base technology , the high-strength adhesive 12 and the elastic adhesive 13 are thermosetting adhesives that are cured by heat.

インクジェットヘッド5のインク吐出基板8とベース基板2とは、ベース基板2の接触面2aの中央部分に高強度接着剤12を塗布し、その両端部分に弾性接着剤13を塗布し、その2種類の接着剤12,13上にインクジェットヘッド5を積層し、それらの接着剤12,13を硬化させることで接着されている。ここで、図2はインク吐出基板8の接触面8aを概略的に示す平面図である。   The ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 of the ink jet head 5 are coated with a high-strength adhesive 12 at the central portion of the contact surface 2a of the base substrate 2, and with an elastic adhesive 13 at both ends thereof. The inkjet head 5 is laminated on the adhesives 12 and 13 and the adhesives 12 and 13 are cured to be bonded. Here, FIG. 2 is a plan view schematically showing the contact surface 8 a of the ink discharge substrate 8.

このようにして、インク吐出基板8の接触面8aの第1領域である中央領域14(図2参照)は、高強度接着剤12によりベース基板2の接触面2aに接着されている。さらに、インク吐出基板8の接触面8aの第2領域である両端領域15(図2参照)は、弾性接着剤13によりベース基板2の接触面2aに接着されている。   In this way, the central region 14 (see FIG. 2), which is the first region of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8, is bonded to the contact surface 2a of the base substrate 2 with the high-strength adhesive 12. Further, both end regions 15 (see FIG. 2), which are the second regions of the contact surface 8 a of the ink discharge substrate 8, are bonded to the contact surface 2 a of the base substrate 2 by the elastic adhesive 13.

なお、本前提技術では、中央領域14は、インク吐出基板8の接触面8aを圧力室が並ぶ方向(すなわちノズル4が並ぶ方向)に垂直な2つの平行線により分割した3つの領域の真ん中の領域であり、両端領域15とは、その3つの領域の両端の領域であるが、これに限るものではない。また、中央領域14の面積は、両端領域15の面積に比べてかなり小さい。これにより、中央領域14に塗布される高強度接着剤12の膨張又は収縮による反り等への影響を低減させることができる。 In the base technology , the central region 14 is the middle of three regions obtained by dividing the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 by two parallel lines perpendicular to the direction in which the pressure chambers are arranged (that is, the direction in which the nozzles 4 are arranged). The two end regions 15 are regions at both ends of the three regions, but are not limited thereto. Further, the area of the central region 14 is considerably smaller than the area of the both end regions 15. Thereby, the influence on the curvature etc. by expansion | swelling or shrinkage | contraction of the high intensity | strength adhesive agent 12 apply | coated to the center area | region 14 can be reduced.

次に、インクジェットヘッド5とベース基板2とを接着する接着工程を備えるインクジェットヘッドユニット1の製造方法について図1及び図2を参照して説明する。   Next, the manufacturing method of the inkjet head unit 1 provided with the adhesion process which adhere | attaches the inkjet head 5 and the base substrate 2 is demonstrated with reference to FIG.1 and FIG.2.

インクジェットヘッドユニット1の製造方法は、高強度接着剤12によりインクジェットヘッド5のインク吐出基板8の接触面8aの中央領域14をベース基板2の接触面2aに接着し、同時に、弾性接着剤13によりインクジェットヘッド5のインク吐出基板8の接触面8aの両端領域15をベース基板2の接触面2aに接着する接着工程を備えている。   The inkjet head unit 1 is manufactured by bonding the central region 14 of the contact surface 8 a of the ink discharge substrate 8 of the inkjet head 5 to the contact surface 2 a of the base substrate 2 with the high-strength adhesive 12 and simultaneously using the elastic adhesive 13. An adhesion step of adhering both end regions 15 of the contact surface 8 a of the ink discharge substrate 8 of the inkjet head 5 to the contact surface 2 a of the base substrate 2 is provided.

この接着工程では、まず、ベース基板2の接触面2aの中央部分に高強度接着剤12を塗布し、その両端部分に弾性接着剤13を塗布する(塗布工程)。次に、ベース基板2の接触面2a上に塗布された2種類の接着剤12,13上にインクジェットヘッド5を積層し、それらの接着剤12,13を同時に熱硬化させる(熱硬化工程)。ここでは、例えば、インクジェットヘッド5が2種類の接着剤12,13を介して積層されたベース基板2をオーブン等に入れて加熱することで、2種類の接着剤12,13を同時に硬化させる。   In this bonding step, first, the high-strength adhesive 12 is applied to the central portion of the contact surface 2a of the base substrate 2, and the elastic adhesive 13 is applied to both end portions (application step). Next, the inkjet head 5 is laminated on the two types of adhesives 12 and 13 applied on the contact surface 2a of the base substrate 2, and the adhesives 12 and 13 are thermally cured simultaneously (thermosetting step). Here, for example, the base substrate 2 on which the inkjet head 5 is laminated via the two types of adhesives 12 and 13 is placed in an oven or the like and heated to cure the two types of adhesives 12 and 13 simultaneously.

このようにして、インク吐出基板8の接触面8aの中央領域14(図2参照)が高強度接着剤12によりベース基板2の接触面2aに接着され、インク吐出基板8の接触面8aの両端領域15(図2参照)が弾性接着剤13によりベース基板2の接触面2aに接着される。これにより、インクジェットヘッド5はベース基板2上に接着固定され、インクジェットヘッドユニット1が完成する。   In this way, the central region 14 (see FIG. 2) of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 is bonded to the contact surface 2a of the base substrate 2 by the high-strength adhesive 12, and both ends of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 are bonded. The region 15 (see FIG. 2) is bonded to the contact surface 2 a of the base substrate 2 by the elastic adhesive 13. Thereby, the inkjet head 5 is bonded and fixed on the base substrate 2, and the inkjet head unit 1 is completed.

このように本前提技術によれば、高強度接着剤12の接着力によりインク吐出基板8とベース基板2とに必要な強度(接着力)が与えられ、弾性接着剤13の弾性によりインク吐出基板8やベース基板2等の膨張や収縮による反りが抑えられる。これにより、インク吐出基板8をベース基板2に取り付ける際に発生する反りを低減することができる。さらに、インク吐出基板8は熱伝導率が高いベース基板2に直接設けられるため、インク吐出基板8での発熱を拡散することでインクの吐出安定性の向上及び濃度ムラの低減を実現することができる。また、従来のように部品点数も増えることなく、安価なインクジェットヘッドユニット1を提供することができる。 As described above, according to the base technology , necessary strength (adhesive force) is given to the ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 by the adhesive force of the high-strength adhesive 12, and the ink discharge substrate by the elasticity of the elastic adhesive 13. 8 and the warp due to expansion and contraction of the base substrate 2 can be suppressed. As a result, it is possible to reduce warpage that occurs when the ink discharge substrate 8 is attached to the base substrate 2. Further, since the ink discharge substrate 8 is directly provided on the base substrate 2 having high thermal conductivity, it is possible to improve the ink discharge stability and reduce the density unevenness by diffusing the heat generated in the ink discharge substrate 8. it can. Moreover, the inexpensive inkjet head unit 1 can be provided without increasing the number of parts as in the prior art.

さらに、インク吐出基板8の接触面8aの中央領域14だけを高強度接着剤12によりベース基板2の接触面2aに接着することによって、インク吐出基板8とベース基板2とを全面に渡って高強度接着剤12だけで接着した場合に比べ、高強度接着剤12による膨張や収縮によって発生する反りを低減することができる。また、インク吐出基板8の接触面8aの中央領域14以外を高強度接着剤12によりベース基板2の接触面2aに接着した場合に比べ、インク吐出基板8の両端部に加えられる各モーメントを両方とも小さくすることが可能になるため、インク吐出基板8の反りを低減することができる。   Further, only the central region 14 of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 is adhered to the contact surface 2a of the base substrate 2 with the high-strength adhesive 12, thereby making the ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 high over the entire surface. Compared with the case of bonding with the strength adhesive 12 alone, it is possible to reduce the warp caused by the expansion and contraction of the high strength adhesive 12. Further, both the moments applied to both end portions of the ink discharge substrate 8 are both compared to the case where the area other than the central region 14 of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 is bonded to the contact surface 2a of the base substrate 2 with the high strength adhesive 12. Since both can be reduced, the warpage of the ink discharge substrate 8 can be reduced.

本発明の実施の形態を図3及び図4に基づいて説明する。図3は本実施の形態のインクジェットヘッドユニット1を概略的に示す分解斜視図、図4は本実施の形態のインクジェットヘッドユニット1を概略的に示す外観斜視図である。 An embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is an exploded perspective view schematically showing the inkjet head unit 1 of the present embodiment, and FIG. 4 is an external perspective view schematically showing the inkjet head unit 1 of the present embodiment.

本実施の形態は、上述の前提技術と基本的に同じであり、ここではそれらの相違点について説明する。なお、前提技術で説明した部分は同一符号で示し、その説明も省略する。 The present embodiment is basically the same as the above-described base technology, and the difference between them will be described here. In addition, the part demonstrated by the base technology is shown with the same code | symbol, and the description is also abbreviate | omitted.

図3及び図4に示すように、インクジェットヘッド5は、異なる特性を有する2種類の接着剤21,22によりベース基板2上に接着されている。すなわち、インクジェットヘッド5のインク吐出基板8とベース基板2とは、それらが積層された場合に互いに接触する各接触面8a,2aを接着させて積層することで形成されている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the inkjet head 5 is bonded onto the base substrate 2 with two types of adhesives 21 and 22 having different characteristics. That is, the ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 of the inkjet head 5 are formed by adhering and laminating the contact surfaces 8a and 2a that contact each other when they are laminated.

異なる特性を有する2種類の接着剤21,22としては、高強度接着剤21と浸透接着剤22とが用いられている。なお、ベース基板2としては、例えば熱伝導率が高い部材等が用いられている。   As two types of adhesives 21 and 22 having different characteristics, a high-strength adhesive 21 and a penetrating adhesive 22 are used. For example, a member having high thermal conductivity is used as the base substrate 2.

高強度接着剤21は、浸透接着剤22より強い接着力(高強度)を有する接着剤である。また、高強度接着剤21は、その接着強度がインクや洗浄剤等に対して低下しない優れた耐環境特性を有する耐環境接着剤でもある。高強度接着剤21としては、例えばエポキシ系の接着剤が用いられる。このエポキシ系の接着剤としては、例えば1液性の熱硬化型エポキシ接着剤等が用いられる。なお、本実施の形態では、高強度接着剤21は、熱により硬化する熱硬化型接着剤である。   The high-strength adhesive 21 is an adhesive having a stronger adhesive force (high strength) than the penetrating adhesive 22. Further, the high-strength adhesive 21 is also an environment-resistant adhesive having excellent environmental resistance characteristics in which the adhesive strength does not decrease with respect to ink, cleaning agents, and the like. For example, an epoxy adhesive is used as the high-strength adhesive 21. As this epoxy adhesive, for example, a one-component thermosetting epoxy adhesive or the like is used. In the present embodiment, the high-strength adhesive 21 is a thermosetting adhesive that is cured by heat.

一方、浸透接着剤22は、浸透性(流動性)を有する接着剤である。浸透接着剤22としては、例えば、空気と遮断されると硬化する嫌気性接着剤が用いられる。この嫌気性接着剤としては、瞬間接着剤等が用いられる。なお、浸透接着剤22は、嫌気特性に加えて光硬化特性を有する接着剤であっても良い。   On the other hand, the penetrating adhesive 22 is an adhesive having penetrability (fluidity). As the osmotic adhesive 22, for example, an anaerobic adhesive that hardens when cut off from air is used. As this anaerobic adhesive, an instantaneous adhesive or the like is used. The penetrating adhesive 22 may be an adhesive having photocuring characteristics in addition to anaerobic characteristics.

インクジェットヘッド5のインク吐出基板8とベース基板2とは、ベース基板2の接触面2aの中央部分に高強度接着剤21を塗布し、その高強度接着剤21上にインクジェットヘッド5を積層して高強度接着剤21を硬化させ、そのインク吐出基板8とベース基板2との間に浸透接着剤22を注入して硬化させることで接着されている。   The ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 of the inkjet head 5 are formed by applying a high-strength adhesive 21 to the central portion of the contact surface 2 a of the base substrate 2 and laminating the inkjet head 5 on the high-strength adhesive 21. The high-strength adhesive 21 is cured, and the penetrating adhesive 22 is injected between the ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 to be cured.

このようにして、インク吐出基板8の接触面8aの第1領域である中央領域14(図2参照)は、高強度接着剤21によりベース基板2の接触面2aに接着されている。さらに、インク吐出基板8の接触面8aの第2領域である両端領域15(図2参照)は、浸透接着剤22によりベース基板2の接触面2aに接着されている。   In this way, the central region 14 (see FIG. 2), which is the first region of the contact surface 8a of the ink ejection substrate 8, is bonded to the contact surface 2a of the base substrate 2 by the high-strength adhesive 21. Further, both end regions 15 (see FIG. 2) that are the second regions of the contact surface 8 a of the ink ejection substrate 8 are bonded to the contact surface 2 a of the base substrate 2 by the penetrating adhesive 22.

なお、本実施の形態では、中央領域14は、インク吐出基板8の接触面8aを圧力室が並ぶ方向(すなわちノズル4が並ぶ方向)に垂直な2つの平行線により分割した3つの領域の真ん中の領域(インク吐出基板8の接触面8aの長手方向の中央領域)であり、両端領域15とは、その3つの領域の両端の領域である。また、中央領域14の面積は、両端領域15の面積に比べてかなり小さい。これにより、中央領域14に塗布される高強度接着剤12の膨張又は収縮による反り等への影響を低減させることができる。 In the present embodiment, the central region 14 is the middle of three regions obtained by dividing the contact surface 8a of the ink ejection substrate 8 by two parallel lines perpendicular to the direction in which the pressure chambers are arranged (that is, the direction in which the nozzles 4 are arranged). a region (longitudinal direction of the central area of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8), the ends regions 15, Ru region der of both ends of the three regions. Further, the area of the central region 14 is considerably smaller than the area of the both end regions 15. Thereby, the influence on the curvature etc. by expansion | swelling or shrinkage | contraction of the high intensity | strength adhesive agent 12 apply | coated to the center area | region 14 can be reduced.

次に、インクジェットヘッド5とベース基板2とを接着する接着工程を備えるインクジェットヘッドユニット1の製造方法について図3及び図4を参照して説明する。   Next, the manufacturing method of the inkjet head unit 1 provided with the adhesion process which adhere | attaches the inkjet head 5 and the base substrate 2 is demonstrated with reference to FIG.3 and FIG.4.

図3及び図4に示すように、インクジェットヘッドユニット1の製造方法は、高強度接着剤21によりインクジェットヘッド5のインク吐出基板8の接触面8aの中央領域14をベース基板2の接触面2aに接着し、その後、浸透接着剤22によりインクジェットヘッド5のインク吐出基板8の接触面8aの両端領域15をベース基板2の接触面2aに接着する接着工程を備えている。   As shown in FIGS. 3 and 4, the method for manufacturing the inkjet head unit 1 uses the high-strength adhesive 21 to change the central region 14 of the contact surface 8 a of the ink discharge substrate 8 of the inkjet head 5 to the contact surface 2 a of the base substrate 2. Then, an adhesion process is provided in which both end regions 15 of the contact surface 8 a of the ink discharge substrate 8 of the inkjet head 5 are bonded to the contact surface 2 a of the base substrate 2 by the penetrating adhesive 22.

この接着工程では、まず、ベース基板2の接触面2aの中央部分に高強度接着剤21を塗布する(塗布工程:図3参照)。次に、ベース基板2の接触面2a上に塗布された高強度接着剤21上にインクジェットヘッド5を積層し、その高強度接着剤21を熱硬化させる(熱硬化工程)。ここでは、例えば、インクジェットヘッド5が高強度接着剤21を介して積層されたベース基板2をオーブン等に入れて加熱することで、高強度接着剤21を硬化させる。その後、ベース基板2の接触面2aとインク吐出基板8の接触面8aと間に浸透接着剤22を注入して塗布する(塗布工程:図4参照)。ここでは、例えば、インク吐出基板8の両端部からベース基板2とインク吐出基板8との間に浸透接着剤22を注入する。このとき、浸透接着剤22はベース基板2とインク吐出基板8との間に浸透して直ぐに硬化する。なお、浸透接着剤22が嫌気特性に加えて光硬化特性を有する接着剤である場合には、インク吐出基板8の両端部からはみ出している浸透接着剤22に光を照射することで浸透接着剤22を硬化させる(光硬化工程:図4参照)。   In this bonding step, first, the high-strength adhesive 21 is applied to the central portion of the contact surface 2a of the base substrate 2 (application step: see FIG. 3). Next, the inkjet head 5 is laminated on the high-strength adhesive 21 applied on the contact surface 2a of the base substrate 2, and the high-strength adhesive 21 is thermally cured (thermosetting step). Here, for example, the high-strength adhesive 21 is cured by putting the base substrate 2 on which the inkjet head 5 is laminated via the high-strength adhesive 21 into an oven and heating it. Thereafter, a penetrating adhesive 22 is injected and applied between the contact surface 2a of the base substrate 2 and the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 (application process: see FIG. 4). Here, for example, the penetrating adhesive 22 is injected between the base substrate 2 and the ink discharge substrate 8 from both ends of the ink discharge substrate 8. At this time, the penetrating adhesive 22 penetrates between the base substrate 2 and the ink discharge substrate 8 and is cured immediately. When the penetrating adhesive 22 is an adhesive having photocuring characteristics in addition to anaerobic characteristics, the penetrating adhesive 22 protruding from both ends of the ink discharge substrate 8 is irradiated with light to penetrate the penetrating adhesive 22. 22 is cured (photocuring step: see FIG. 4).

このようにして、インク吐出基板8の接触面8aの中央領域14(図2参照)が高強度接着剤21によりベース基板2の接触面2aに接着され、インク吐出基板8の接触面8aの両端領域15(図2参照)が浸透接着剤22によりベース基板2の接触面2aに接着される。これにより、インクジェットヘッド5はベース基板2上に接着固定され、インクジェットヘッドユニット1が完成する。   In this way, the central region 14 (see FIG. 2) of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 is adhered to the contact surface 2a of the base substrate 2 by the high-strength adhesive 21, and both ends of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 are adhered. The region 15 (see FIG. 2) is bonded to the contact surface 2 a of the base substrate 2 by the penetrating adhesive 22. Thereby, the inkjet head 5 is bonded and fixed on the base substrate 2, and the inkjet head unit 1 is completed.

このように本実施の形態によれば、高強度接着剤21の接着力によりインク吐出基板8とベース基板2とに必要な強度(接着力)が与えられ、浸透接着剤22の使用により、高強度接着剤21への加熱時間が短縮されてインク吐出基板8やベース基板2等の膨張や収縮が抑えられる。これにより、インク吐出基板8をベース基板2に取り付ける際に発生する反りを低減することができる。さらに、インク吐出基板8は熱伝導率が高いベース基板2に直接設けられるため、インク吐出基板8での発熱を拡散することでインクの吐出安定性の向上及び濃度ムラの低減を実現することができる。また、従来のように部品点数も増えることなく、安価なインクジェットヘッドユニット1を提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, a necessary strength (adhesive force) is given to the ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 by the adhesive force of the high-strength adhesive 21, and the use of the penetrating adhesive 22 increases the strength. The heating time for the strength adhesive 21 is shortened, and the expansion and contraction of the ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 are suppressed. Thereby, the curvature generate | occur | produced when attaching the ink discharge substrate 8 to the base substrate 2 can be reduced. Furthermore, since the ink discharge substrate 8 is directly provided on the base substrate 2 having high thermal conductivity, it is possible to improve the ink discharge stability and reduce the density unevenness by diffusing the heat generated on the ink discharge substrate 8. it can. Moreover, the inexpensive inkjet head unit 1 can be provided without increasing the number of parts as in the prior art.

さらに、インク吐出基板8の接触面8aの中央領域14だけを高強度接着剤21によりベース基板2の接触面2aに接着させることによって、インク吐出基板8とベース基板2とを高強度接着剤21だけで接着した場合に比べ、高強度接着剤21による膨張や収縮によって発生する反りを低減することができる。また、インク吐出基板8の接触面8aの中央領域14以外を高強度接着剤12によりベース基板2の接触面2aに接着した場合に比べ、インク吐出基板8の両端部に加えられるモーメントを両方とも小さくすることが可能になるため、インク吐出基板8の反りを低減することができる。   Further, only the central region 14 of the contact surface 8a of the ink discharge substrate 8 is adhered to the contact surface 2a of the base substrate 2 with the high strength adhesive 21 to thereby bond the ink discharge substrate 8 and the base substrate 2 to the high strength adhesive 21. Compared with the case where the adhesive is simply bonded, it is possible to reduce the warpage caused by the expansion and contraction caused by the high-strength adhesive 21. In addition, both the moments applied to both ends of the ink ejection substrate 8 are compared to the case where the high-strength adhesive 12 adheres the area other than the central region 14 of the contact surface 8a of the ink ejection substrate 8 to the contact surface 2a of the base substrate 2. Since it becomes possible to make it small, the curvature of the ink discharge substrate 8 can be reduced.

なお、ベース基板2とインク吐出基板8との間に浸透接着剤22を注入した場合には、その注入付近に浸透接着剤22がはみ出して残ってしまうことがある。このはみ出し量が多い場合には、その部分が硬化するまでかなりの時間がかかってしまう。そこで、その浸透接着剤22に嫌気特性に加えて光硬化特性を持たせて、その光硬化特性を有する浸透接着剤22を光硬化により硬化させる。これにより、はみ出した浸透接着剤22を短時間で硬化させることが可能になり、未硬化接着剤による周囲への汚染を防止することができる。   When the penetrating adhesive 22 is injected between the base substrate 2 and the ink discharge substrate 8, the penetrating adhesive 22 may protrude and remain in the vicinity of the injection. When this amount of protrusion is large, it takes a considerable time until the portion is cured. Therefore, in addition to the anaerobic characteristics, the penetrating adhesive 22 has photocuring characteristics, and the penetrating adhesive 22 having the photocuring characteristics is cured by photocuring. As a result, the protruding penetrating adhesive 22 can be cured in a short time, and contamination to the surroundings by the uncured adhesive can be prevented.

本発明の前提技術のインクジェットヘッドユニットを概略的に示す分解斜視図である。1 is an exploded perspective view schematically showing an ink jet head unit of a prerequisite technology of the present invention. インクジェットヘッドユニットが備えるインク吐出基板の接触面を概略的に示す平面図である。It is a top view which shows roughly the contact surface of the ink discharge board | substrate with which an inkjet head unit is provided. 本発明の実施の形態のインクジェットヘッドユニットを概略的に示す分解斜視図である。The implementation in the form of an ink jet head unit of the present invention is an exploded perspective view schematically showing. 本発明の実施の形態のインクジェットヘッドユニットを概略的に示す外観斜視図である。The implementation in the form of an ink jet head unit of the present invention is an external perspective view schematically showing.

1 インクジェットヘッドユニット
2 ベース基板
2a 接触面
8 インク吐出基板
8a 接触面
12 高強度接着剤
13 弾性接着剤
14 第1領域(中央領域)
15 第2領域(両端領域)
21 高強度接着剤
22 浸透接着剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet head unit 2 Base board | substrate 2a Contact surface 8 Ink discharge board | substrate 8a Contact surface 12 High strength adhesive 13 Elastic adhesive 14 1st area | region (central area | region)
15 Second region (both end regions)
21 High strength adhesive 22 Penetration adhesive

Claims (2)

ベース基板とインクを吐出させるための圧力室を形成するインク吐出基板とを、それらが積層された場合に互いに接触する各接触面を接着させて積層することで、インクジェットヘッドユニットを製造するインクジェットヘッドユニットの製造方法において、
前記インク吐出基板の接触面の長手方向の中央領域を、浸透性を有する浸透接着剤より強い接着力を有する高強度接着剤により前記ベース基板の接触面に接着し、その後、前記インク吐出基板の接触面の両端領域に対し、前記インク吐出基板と前記ベース基板との間に前記浸透接着剤を浸透させて、前記インク吐出基板の接触面を前記ベース基板の接触面に接着するようにした、
ことを特徴とするインクジェットヘッドユニットの製造方法。
An ink jet head for manufacturing an ink jet head unit by laminating a base substrate and an ink ejection substrate forming a pressure chamber for ejecting ink by bonding the contact surfaces that contact each other when they are laminated. In the unit manufacturing method,
The central region in the longitudinal direction of the contact surface of the ink discharge substrate is bonded to the contact surface of the base substrate with a high-strength adhesive having a stronger adhesive force than the penetrating adhesive having permeability, and then the ink discharge substrate The penetrating adhesive is infiltrated between the ink discharge substrate and the base substrate with respect to both end regions of the contact surface, and the contact surface of the ink discharge substrate is bonded to the contact surface of the base substrate.
A method for manufacturing an ink jet head unit.
前記浸透接着剤は、光硬化特性を有する接着剤であり、
前記浸透接着剤に光を照射することで前記浸透接着剤を硬化させるようにした、
ことを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッドユニットの製造方法。
The penetrating adhesive is an adhesive having photocuring characteristics,
The penetrating adhesive was cured by irradiating the penetrating adhesive with light,
The manufacturing method of the inkjet head unit of Claim 2 characterized by the above-mentioned.
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