JP4619807B2 - Component built-in module and electronic device equipped with component built-in module - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a module with a built-in component which can be produced without necessitating a via-forming process. <P>SOLUTION: The module with a built-in component 100 has an insulating sheet substrate 10 which has an upper surface 10a, a lower surface 10b opposite to the upper surface and a side surface 10c which joins these surfaces; at least one wiring 20 which extends from the upper surface to the lower surface through the side surface; and electronic components 32 disposed within the sheet substrate. <P>COPYRIGHT: (C)2005,JPO&amp;NCIPI

Description

本発明は、部品内蔵モジュールおよびそのような部品内蔵モジュールを備えた電子装置、例えば携帯用電子機器に関する。本発明のモジュールは、詳しくは電子部品が基体内に配置されたモジュールである。   The present invention relates to a component built-in module and an electronic device including such a component built-in module, for example, a portable electronic device. Specifically, the module of the present invention is a module in which electronic components are arranged in a base.

近年のエレクトロニクス機器の小型化・薄型化、高機能化に伴って、プリント回路基板に実装される電子部品の高密度実装、および電子部品が実装された回路基板の高機能化への要求が益々強くなっている。このような状況の下、電子部品を回路基板中に埋め込んだ部品内蔵モジュール(または部品内蔵回路基板)が開発されている(例えば、後述の特開平11−220262号公報参照)。   With recent downsizing, thinning, and high functionality of electronic equipment, there is an increasing demand for high density mounting of electronic components mounted on printed circuit boards and higher functionality of circuit boards mounted with electronic components. It is getting stronger. Under such circumstances, a component built-in module (or a component built-in circuit board) in which an electronic component is embedded in a circuit board has been developed (for example, see JP-A-11-220262 described later).

部品内蔵モジュールでは、通常、プリント基板(またはプリント回路基板)の表面に実装している能動部品(例えば半導体素子)、受動部品(例えばコンデンサ)等の電子部品を基体の中に埋め込んでいるので、基板の面積を削減することができる。また、部品表面実装の場合と比較して、電子部品を配置する自由度が高くなるため、電子部品間の配線の最適化によって高周波特性の改善等も見込むことができる。   In a component built-in module, electronic components such as active components (for example, semiconductor elements) and passive components (for example, capacitors) mounted on the surface of a printed circuit board (or a printed circuit board) are usually embedded in the substrate. The area of the substrate can be reduced. In addition, since the degree of freedom for arranging electronic components is higher than in the case of component surface mounting, improvement of high frequency characteristics can be expected by optimizing the wiring between the electronic components.

セラミック基板の分野では、電子部品を内蔵したLTCC(low temperature cofired ceramics)基板が既に実用化されている。しかしながら、これは重く割れやすいため大型の基板に適用することが難しく、しかも、高温焼結が必要なのでLSIのような半導体素子を内蔵できない等、制約が大きい。最近注目されているのは、樹脂を用いたプリント基板内に部品を内蔵した部品内蔵モジュールであり、これは、LTCC基板とは異なり、基板の大きさに対する制約が少なく、LSIの内蔵も可能であるという利点も有している。   In the field of ceramic substrates, LTCC (low temperature cofired ceramics) substrates incorporating electronic components have already been put into practical use. However, since this is heavy and easily broken, it is difficult to apply it to a large-sized substrate. Moreover, since high-temperature sintering is required, there is a great restriction such that a semiconductor element such as an LSI cannot be incorporated. Recently, a component built-in module in which a component is built in a printed circuit board using resin, unlike an LTCC board, there are few restrictions on the size of the board, and an LSI can be built in. It also has the advantage of being.

次に、図1を参照しながら、特開平11−220262号公報に開示された部品内蔵モジュール(または回路部品内蔵モジュール)について説明する。図1に示した回路部品内蔵モジュール400は、絶縁性基板401a、401bおよび401cを積層して成る基板401と、基板401の主表面および内部に形成された配線パターン(または配線層)402a、402b、402cおよび402dと、基板401の内部に配置され、配線パターンに接続された回路部品403aおよび403bとから構成されている。配線パターン402a、402b、402cおよび402dは、インナービア404によって電気的に接続されている。絶縁性基板401a、401bおよび401cは、例えば無機フィラーと熱硬化性樹脂とを含む混合物から構成されている。   Next, a component built-in module (or a circuit component built-in module) disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-220262 will be described with reference to FIG. The circuit component built-in module 400 shown in FIG. 1 includes a substrate 401 formed by laminating insulating substrates 401a, 401b and 401c, and wiring patterns (or wiring layers) 402a and 402b formed on the main surface and inside of the substrate 401. , 402c and 402d, and circuit components 403a and 403b arranged inside the substrate 401 and connected to the wiring pattern. The wiring patterns 402a, 402b, 402c and 402d are electrically connected by the inner via 404. The insulating substrates 401a, 401b, and 401c are made of a mixture containing, for example, an inorganic filler and a thermosetting resin.

特開平11−220262号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-220262

特開平11−220262号公報に示される回路部品内蔵モジュール400では、インナービア404によって各配線パターン(402a、402b、402c、402d)の電気的接続を行っている。そのようなインナービア接続法は、必要な配線パターン間で接続が可能であり、また、回路部品の実装性にも優れているので、好適に使用することができる。図示するような回路部品内蔵モジュール400を含めて従来の部品回路基板は、インタービアまたはスルーホールによって上側主表面と下側主表面との電気的な導通を確保している。   In the circuit component built-in module 400 disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 11-220262, each wiring pattern (402a, 402b, 402c, 402d) is electrically connected by an inner via 404. Such an inner via connection method can be used preferably because it can connect between necessary wiring patterns and is excellent in mountability of circuit components. In the conventional component circuit board including the circuit component built-in module 400 as shown in the figure, electrical conduction between the upper main surface and the lower main surface is ensured by intervias or through holes.

従来のプリント配線板およびビルドアップ配線基板に関する分野における技術常識に基づくと、部品内蔵モジュールを製造するにあたり、インナービアまたはスルーホール等のビアを形成することは必須である。当該ビアの形成は、穴あけ工程と共に、導電性ペーストを埋める工程またはメッキ工程を必要とするため、これらの工程を行う煩雑さを伴う。しかしながら、それらの工程は必須であるので、その工程を省いて、効率のより良い製造方法を開発をすることは難しい。また、ビアによる接続はランドのような接続部材を必要とするので、その接続部材が占める分だけモジュールの寸法が大きくなってしまう。更には、電子部品の内蔵とビアの形成とを両立させる条件(例えば、絶縁性基板を製造する場合の樹脂混合物の粘度等)に関する自由度が小さく、それ故に、例えばワイヤーボンディングを行う ことが難しいこともある。   Based on the common general technical knowledge in the field of conventional printed wiring boards and build-up wiring boards, it is essential to form vias such as inner vias or through holes when manufacturing a component built-in module. Since the formation of the via requires a step of filling a conductive paste or a plating step together with a drilling step, it is complicated to perform these steps. However, since these steps are essential, it is difficult to develop a more efficient manufacturing method without the steps. Further, since connection by vias requires a connection member such as a land, the size of the module is increased by the amount occupied by the connection member. Furthermore, the degree of freedom with respect to conditions for achieving both the incorporation of electronic components and the formation of vias (for example, the viscosity of the resin mixture in the case of manufacturing an insulating substrate) is small, and therefore, for example, wire bonding is difficult. Sometimes.

このような状況の中、本発明者らは、従来の技術常識にとらわれることなく、従来とは異なるタイプの、ビア形成工程を必須としない部品内蔵モジュールの開発に取り組んだ。   Under such circumstances, the present inventors worked on the development of a module with a built-in component that is different from the conventional type and does not require a via formation process, without being bound by conventional common general knowledge.

本発明はかかる諸点に鑑みてなされたものであり、その主たる課題は、比較的効率的に製造をすることができる部品内蔵モジュールおよびその製造方法を提供することにある。本発明の他の目的は、そのような部品内蔵モジュールを備えた電子機器を提供することにある。   The present invention has been made in view of such various points, and a main problem thereof is to provide a component built-in module that can be manufactured relatively efficiently and a manufacturing method thereof. Another object of the present invention is to provide an electronic apparatus including such a component built-in module.

第1の要旨において、本発明は、部品内蔵モジュールを提供し、そのような部品内蔵モジュールは、
上側表面および該上側表面に対向する下側表面ならびにこれらを接続する側面を有して成る絶縁性シート状基体、
i)側面の少なくとも一部に位置する側面配線部と、ii)側面配線部と相互に接続され、且つ上側表面の少なくとも一部に位置する上側表面配線部、および側面配線部と相互に接続され、且つ下側表面の少なくとも一部に位置する下側表面配線部のうち少なくとも一方とを有して成る、少なくとも1本の配線、ならびに
該シート状基体内に配置された電子部品
を含むことを特徴とする。
In the first aspect, the present invention provides a component built-in module,
An insulating sheet-like substrate having an upper surface, a lower surface opposite to the upper surface, and a side surface connecting them;
i) a side wiring part located on at least a part of the side surface; ii) connected to the side wiring part and connected to the upper surface wiring part located on at least a part of the upper surface and the side wiring part. And at least one wiring having at least one of the lower surface wiring portions located on at least a part of the lower surface, and an electronic component disposed in the sheet-like substrate. Features.

本発明の部品内蔵モジュールにおいて、「シート状基体」は、一般に、厚さのディメンションが他のディメンションと比較して小さい形態を有し、「側面」は厚さ方向と平行な面に相当し、「上側表面」および「下側表面」はそれぞれ厚さ方向と垂直な面に相当する。尤も、シート状基体は、厚さのディメンションが他のディメンションと略同じ形態(例えば、立方体)であってもよい。その場合、シート状基体の1つの表面(これを便宜的に側面とする)に位置する配線が当該表面と直交する互いに平行な2つの表面のうち少なくとも一方にさらに延在している形態のものは、本発明の部品内蔵モジュールに含まれ、側面に直交する当該2つの表面を上側表面および下側表面とする。シート状基体は、後述するように、上側表面および/または下側表面に凹部を有してよい。また、絶縁性基体が上側表面から下側表面に貫通する開口部を有する場合には、当該開口部を規定する面も、側面となる。また、「上側」および「下側」という用語は、厚さ方向に垂直な2つの表面を指すために便宜的に用いられ、使用時等の位置を絶対的に決定する意味において使用されていないことに留意されたい。   In the component built-in module of the present invention, the “sheet-like substrate” generally has a form in which the thickness dimension is smaller than other dimensions, and the “side surface” corresponds to a surface parallel to the thickness direction, “Upper surface” and “lower surface” correspond to surfaces perpendicular to the thickness direction, respectively. However, the sheet-like substrate may have a shape (for example, a cube) in which the thickness dimension is substantially the same as the other dimensions. In that case, the wiring located on one surface of the sheet-like substrate (which is referred to as a side surface for the sake of convenience) further extends to at least one of two parallel surfaces orthogonal to the surface. Are included in the component built-in module of the present invention, and the two surfaces orthogonal to the side surfaces are an upper surface and a lower surface. As will be described later, the sheet-like substrate may have a recess on the upper surface and / or the lower surface. When the insulating base has an opening that penetrates from the upper surface to the lower surface, the surface that defines the opening is also a side surface. In addition, the terms “upper side” and “lower side” are used for convenience to refer to two surfaces perpendicular to the thickness direction, and are not used in the sense of absolutely determining the position during use or the like. Please note that.

本発明の部品内蔵モジュールは、シート状基体の表面において、側面から上側表面および下側表面の少なくとも一方にかけて延在する配線を有することを特徴とする。この配線は、側面の少なくとも一部に位置し、これが上側表面および/または下側表面の少なくとも一部にてさらに延在する。本明細書においては、この配線を、上側表面または下側表面にのみ位置する他の配線と区別するために、便宜的に「U/L形側配線(U/L-shaped side wiring)」と称する。U形側配線は、シート状基体の側面に位置する側面配線部と、上側表面配線部および下側表面配線部の両方を有し、側面と上側表面との境界および側面と下側表面との境界にて垂直に又は弧を描くように曲がって、略U字となる部分を有する配線である。L形側配線は、側面配線部と、上側表面配線部および下側表面配線部のいずれか一方のみを有し、側面と上側表面または下側表面の境界にて垂直に又は弧を描くように曲がって、略L字となる部分を有する。本明細書では、これらの配線を「/」を使用して、「U/L形側配線」と総称する。U/L形側配線は、側面配線部が、上側表面と下側表面との電気的な導通を確保し、あるいは部品内蔵モジュールの下側表面(または上側表面)を実装面として別の回路基板に実装するときに、上側表面(または下側表面)と該別の回路基板との電気的な導通を確保する。本発明の部品内蔵モジュールにおいて、概して、U/L形側配線は、その一部分がシート状基体の上側表面上で延在し、別の一部分がシート状基体の下側表面で延在し、これらの一部分の間に位置する他の一部分がシート状基体の側面上で延在するU形側配線である。   The component built-in module of the present invention is characterized by having a wiring extending from the side surface to at least one of the upper surface and the lower surface on the surface of the sheet-like substrate. The wiring is located on at least a part of the side surface, which further extends on at least a part of the upper surface and / or the lower surface. In this specification, in order to distinguish this wiring from other wiring located only on the upper surface or the lower surface, it is referred to as “U / L-shaped side wiring” for convenience. Called. The U-shaped side wiring has both a side surface wiring portion located on the side surface of the sheet-like substrate, an upper surface wiring portion and a lower surface wiring portion, and a boundary between the side surface and the upper surface and a side surface and a lower surface. It is a wiring having a portion that is bent in a vertical or arcuate manner at the boundary and becomes a substantially U-shape. The L-shaped side wiring has only one of the side surface wiring portion and the upper surface wiring portion and the lower surface wiring portion, and draws an arc vertically or at the boundary between the side surface and the upper surface or the lower surface. It has a portion that is bent and is substantially L-shaped. In this specification, these wirings are collectively referred to as “U / L-shaped side wirings” using “/”. The U / L-shaped side wiring has a side wiring portion that ensures electrical continuity between the upper surface and the lower surface, or another circuit board with the lower surface (or upper surface) of the component built-in module as the mounting surface. When mounted on, the electrical connection between the upper surface (or the lower surface) and the other circuit board is ensured. In the component built-in module of the present invention, generally, a part of the U / L-shaped side wiring extends on the upper surface of the sheet-like substrate, and another part extends on the lower surface of the sheet-like substrate. The other part located between the parts of the U-side wiring extends on the side surface of the sheet-like substrate.

U/L形側配線は、後述のように、他の電気的要素(例えば上側表面に形成される配線パターン)と一体化されて、当該他の電気的要素と明確に区別することができない場合がある。そのような場合でも、側面配線部と、上側表面配線部および下側表面配線部の少なくとも一方とを有する配線部分を含んでいる限りにおいて、そのような配線部分を含む部品内蔵モジュールは、本発明の部品内蔵モジュールに含まれる。また、U/L形側配線は、例えば、側面配線部が厚さ方向と平行な方向に延びていない場合には、捩れた又は歪んだU字またはL字形となり得るが、そのようなものもU/L形側配線に含まれる。U/L形側配線は、例えば側面で分岐していてよいが、分岐した各配線がたどる経路が略U字または略L字となる限りにおいて、そのような分岐した配線もU/L形側配線に含まれる。   When the U / L-shaped side wiring is integrated with other electrical elements (for example, a wiring pattern formed on the upper surface) and cannot be clearly distinguished from the other electrical elements, as will be described later. There is. Even in such a case, as long as it includes a wiring portion having a side wiring portion and at least one of an upper surface wiring portion and a lower surface wiring portion, a component built-in module including such a wiring portion is provided by the present invention. Included in the built-in module. Further, the U / L-shaped side wiring can be a twisted or distorted U-shape or L-shape, for example, when the side surface wiring portion does not extend in the direction parallel to the thickness direction. Included in U / L-shaped side wiring. The U / L-shaped side wiring may be branched at the side surface, for example. However, as long as the route taken by each branched wiring is substantially U-shaped or substantially L-shaped, such branched wiring is also U / L-shaped side. Included in the wiring.

本発明の部品内蔵モジュールの1つの態様では、シート状基体の上側表面および下側表面の少なくとも一方、好ましくは双方は、配線パターン(または配線層)、電気的接続要素および電子部品の少なくとも1つを電気要素として有し、U/L形側配線は、その一部分(端部、またはそれ以外の部分、即ち、端部以外の途中の部分)にてそのような電気要素に接続されている。例えば、部品内蔵モジュールの1つの態様では、上側表面の電気要素と下側表面の電気要素との間に、シート状基体の側面を経由してそれらの間で延在するU/L形側配線が存在する、即ち、そのような電気要素間の電気的導通は、U/L形側配線によって確保されている。   In one aspect of the component built-in module of the present invention, at least one of the upper surface and the lower surface, preferably both, of the sheet-like substrate is at least one of a wiring pattern (or wiring layer), an electrical connection element, and an electronic component. As an electric element, the U / L-shaped side wiring is connected to such an electric element at a part thereof (an end part or other part, that is, an intermediate part other than the end part). For example, in one aspect of the component built-in module, the U / L-shaped side wiring that extends between the electrical element on the upper surface and the electrical element on the lower surface via the side surface of the sheet-like substrate I.e., electrical continuity between such electrical elements is ensured by U / L-shaped side wiring.

尚、シート状基体内に配置された電子部品は、1つの態様では、上側表面および/または下側表面の電気要素の少なくとも1つと所定のように電気的に接続されている。これに代えてまたはこれに加えて、電子部品は、U/L形側配線の一部分(例えば端部)と直接電気的に接続されていてもよい。別の態様では、電子部品は、部品内蔵モジュールのいずれの他の部分とも電気的に接続されていなくてもよい、即ち、単に内蔵されているだけであってもよい。   In one aspect, the electronic component disposed in the sheet-like substrate is electrically connected in a predetermined manner to at least one of the electric elements on the upper surface and / or the lower surface. Alternatively or in addition, the electronic component may be directly electrically connected to a part (for example, an end) of the U / L-shaped side wiring. In another aspect, the electronic component may not be electrically connected to any other part of the component built-in module, i.e., it may simply be embedded.

シート状基体に内蔵される電子部品としては、例えば半導体素子のような能動部品や、コンデンサ、インダクタ、抵抗、および弾性表面波素子等の受動部品を例示できる。内蔵されている電子部品の数は、特に限定されるものではなく、部品内蔵モジュールが所定のように機能するように、電子部品の数および種類が選択される。   Examples of electronic components incorporated in the sheet-like substrate include active components such as semiconductor elements and passive components such as capacitors, inductors, resistors, and surface acoustic wave elements. The number of built-in electronic components is not particularly limited, and the number and type of electronic components are selected so that the component built-in module functions in a predetermined manner.

本発明の部品内蔵モジュールの1つの好ましい態様では、モジュールの上側表面の電気要素と下側表面の電気要素とを電気的に接続するために、シート状基体の側面を経由してそれらの電気要素の間で延在するU/L形側配線が存在し、上述のような上側表面から下側表面へと貫通するビアは存在しない。即ち、U/L形側配線がビアを代替している。より好ましくは、上側表面および下側表面に電気要素が複数存在し、従って、それを接続するビアを代替するU/L形側配線が複数存在し、特に好ましくは、上側表面および下側表面に電気要素が多数存在する。   In one preferred embodiment of the component built-in module of the present invention, in order to electrically connect the electrical element on the upper surface and the electrical element on the lower surface of the module, those electrical elements are connected via the side surface of the sheet-like substrate. There are U / L-shaped side wirings extending between the upper surface and the vias penetrating from the upper surface to the lower surface as described above. That is, the U / L-shaped side wiring substitutes for the via. More preferably, there are a plurality of electrical elements on the upper surface and the lower surface, and therefore there are a plurality of U / L-shaped side wirings that replace the vias connecting them, and particularly preferably, the upper surface and the lower surface are provided. There are many electrical elements.

電気要素としての配線パターンは、シート状基体の上側表面または下側表面に形成された所定の配線の集合体であり、そのような配線の一部分にU/L形側配線の一部分(例えば端部)が接続されている。電気要素としての電気的接続要素は、配線および電子部品等を電気的に接続するために介在する要素を意味し、例えばランド、パッドおよび端子等を例示できる。そのような電気的接続要素は、U/L形側配線の一部分に接続されている。このような配線パターンまたは電気的接続要素は、U/L形側配線の当該一部分と予め一体に形成されていることが一般的には好ましい。例えば、後述のように、1枚の金属層を例えばエッチングすることによって、U/L形側配線および電気要素が繋がった状態でこれらを一緒に形成してよい。一体に形成されていない場合には、U/L形側配線と電気要素とを電気的接続材料(例えば、半田、金属またはワイヤー等の導電性材料)を用いて接続してよい。   A wiring pattern as an electric element is a set of predetermined wirings formed on the upper surface or lower surface of a sheet-like substrate, and a part (for example, an end portion) of a U / L-shaped side wiring is formed on a part of such wiring. ) Is connected. The electrical connection element as the electrical element means an element that is interposed to electrically connect wiring, an electronic component, and the like, and examples thereof include lands, pads, terminals, and the like. Such an electrical connection element is connected to a part of the U / L-shaped side wiring. It is generally preferable that such a wiring pattern or electrical connection element is previously formed integrally with the part of the U / L-shaped side wiring. For example, as will be described later, a single metal layer may be etched, for example, so that the U / L-shaped side wiring and the electrical elements are connected together. If not integrally formed, the U / L-shaped side wiring and the electrical element may be connected using an electrical connection material (for example, a conductive material such as solder, metal, or wire).

更に、電気要素を構成する電子部品としては、例えば半導体素子といった能動部品、およびコンデンサ、インダクタ、抵抗および弾性表面波素子等の受動部品を例示でき、そのような電子部品の端子にU/L形側配線の一部分(例えば端部)が直接または上述の電気的接続材料を介して接続されている。1つの好ましい態様において、複数本のU/L形側配線が電子部品の複数のターミナルに電気的に接続されている。   Furthermore, examples of the electronic components constituting the electric element include active components such as semiconductor devices and passive components such as capacitors, inductors, resistors, and surface acoustic wave devices, and U / L type terminals are provided for such electronic components. A part (for example, end part) of the side wiring is connected directly or via the above-described electrical connection material. In one preferable aspect, a plurality of U / L-shaped side wirings are electrically connected to a plurality of terminals of the electronic component.

本発明の部品内蔵モジュールにおいて、シート状基体は、樹脂を含む材料で構成されてよく、好ましくは樹脂と無機フィラーとを含むコンポジット材料から構成された絶縁性基体である。樹脂は、硬化性樹脂(好ましくは熱硬化性樹脂)および熱可塑性樹脂の少なくとも一方であってよい。硬化性樹脂の場合、完成状態の部品内蔵モジュールにおいて、硬化性樹脂は、実質的に完全に硬化している。1つの態様では、シート状基体の上側表面または下側表面は、長辺と、当該長辺よりも長さが短い短辺とから構成される略長方形の形状を有している。   In the component built-in module of the present invention, the sheet-like substrate may be made of a material containing a resin, and is preferably an insulating substrate made of a composite material containing a resin and an inorganic filler. The resin may be at least one of a curable resin (preferably a thermosetting resin) and a thermoplastic resin. In the case of the curable resin, the curable resin is substantially completely cured in the completed component built-in module. In one aspect, the upper surface or the lower surface of the sheet-like substrate has a substantially rectangular shape composed of a long side and a short side shorter than the long side.

1つの態様では、上述または後述の本発明の部品内蔵モジュールの上方および/または下方に、別の部品内蔵モジュールが積層されている。この別の部品内蔵モジュールは、本発明の部品内蔵モジュールであっても、あるいは既知の他の種類の部品内蔵モジュールであってもよい。また、別の部品内蔵モジュールの代わりに、通常の回路基板(部品を内蔵していない)が積層されていてもよい。別の態様では、部品内蔵モジュールの上側表面および下側表面の少なくとも一方に、電子部品が実装されている。   In one aspect, another component built-in module is laminated above and / or below the component built-in module of the present invention described above or below. This another component built-in module may be the component built-in module of the present invention, or may be another known type of component built-in module. Further, instead of another component built-in module, a normal circuit board (with no built-in components) may be laminated. In another aspect, an electronic component is mounted on at least one of the upper surface and the lower surface of the component built-in module.

本発明の部品内蔵モジュールの1つの態様では、U/L形側配線の内、側面配線部の少なくとも一部分は、シート状基体の厚さ方向に対して垂直な方向でシート状基体内に埋設されて形成されている。その結果、埋設されている配線の表面はシート状基体の側面から窪んだ位置に存在する。このような埋設された配線は、側面配線部の一部を構成し、好ましくは側面配線部の全部を構成する。より好ましい態様では、U/L形側配線の内、側面配線部に加えて、上側表面配線部および下側表面配線部についても、側面配線部に隣接する部分または全体の表面がシート状基体内に埋設されて形成されている。その結果、U/L形側配線のコーナー部、即ち、シート状基体の角部分の周囲で延在する配線の部分がシート状基体の表面から窪んだ状態となる。別の態様では、U/L形側配線の表面が、シート状基体の表面と面一であってもよい。   In one aspect of the component built-in module of the present invention, at least a part of the side wiring portion of the U / L-shaped side wiring is embedded in the sheet-like substrate in a direction perpendicular to the thickness direction of the sheet-like substrate. Is formed. As a result, the surface of the embedded wiring exists at a position recessed from the side surface of the sheet-like substrate. Such embedded wiring constitutes a part of the side wiring part, and preferably constitutes the entire side wiring part. In a more preferable aspect, in addition to the side surface wiring portion of the U / L-shaped side wiring, the upper surface wiring portion and the lower surface wiring portion also have a portion adjacent to the side wiring portion or the entire surface within the sheet-like substrate. It is buried and formed. As a result, the corner portion of the U / L-shaped side wiring, that is, the portion of the wiring extending around the corner portion of the sheet-like substrate is in a state of being recessed from the surface of the sheet-like substrate. In another aspect, the surface of the U / L-shaped side wiring may be flush with the surface of the sheet-like substrate.

従って、上述のような配線部分が存在する場合の1つの好ましい態様では、U/L形側配線の側面配線部の露出面は、その全部がシート状基体内に埋設されており、その結果、U/L形側配線の側面配線部の露出面が基体の側面と面一の状態または側面からシート状基体の内部に窪んだ状態で延在する。特に好ましい態様では、U/L形側配線の側面配線部の端部、即ち、U/L形側配線のコーナー部分(基体の上側表面または下側表面と側面とが交差する部分)においてもU/L形側配線の露出面が窪みの底面を形成する。   Therefore, in one preferable aspect in the case where the wiring portion as described above exists, the exposed surface of the side wiring portion of the U / L-shaped side wiring is entirely embedded in the sheet-like substrate, and as a result, The exposed surface of the side wiring portion of the U / L-shaped side wiring extends in a state where it is flush with the side surface of the base body or is recessed from the side face into the sheet-like base body. In a particularly preferable aspect, the end portion of the side wiring portion of the U / L-shaped side wiring, that is, the corner portion of the U / L-shaped side wiring (the portion where the upper surface or the lower surface of the substrate intersects the side surface) is also U. / The exposed surface of the L-shaped side wiring forms the bottom surface of the depression.

本発明の部品内蔵モジュールの1つの態様において、U/L形側配線は、部品内蔵モジュールにおいて、例えばコプレーナ線路として機能できる。コプレーナ線路として機能するU/L形側配線は、上記のように、シート状基体の側面に埋め込まれて形成されることが好ましい。   In one aspect of the component built-in module of the present invention, the U / L side wiring can function as, for example, a coplanar line in the component built-in module. The U / L side wiring functioning as a coplanar line is preferably formed by being embedded in the side surface of the sheet-like substrate as described above.

シート状基体は、電子部品に加えて、シールド部材をその内部に含んでよい。この態様の一例において、シート状基体は、シールド部材の両側に電子部品を内蔵し(即ち、シールド部材を挟んで対向する2以上の電子部品を内蔵し)、それぞれの電子部品は、必要に応じて、上側表面に位置する電気要素(例えば配線パターン)に所定のように接続され、また、下側表面に位置する電気要素(例えば配線パターン)に所定のように接続されている。   The sheet-like substrate may include a shield member in addition to the electronic component. In one example of this aspect, the sheet-like substrate incorporates electronic components on both sides of the shield member (that is, incorporates two or more electronic components facing each other with the shield member interposed therebetween), and each electronic component is Thus, the electrical elements (for example, wiring patterns) located on the upper surface are connected in a predetermined manner, and the electrical elements (for example, wiring patterns) located on the lower surface are connected in a predetermined manner.

本発明の部品内蔵モジュールの1つの態様では、シート状基体内に配置された電子部品の一部は、シート状基体にて露出している。1つの好ましい例では、電子部品の露出した部位に接するように放熱部材が形成されている。   In one aspect of the component built-in module of the present invention, a part of the electronic component disposed in the sheet-like substrate is exposed on the sheet-like substrate. In one preferable example, the heat dissipating member is formed in contact with the exposed part of the electronic component.

第2の要旨において、本発明は、部品内蔵モジュールの製造方法(後述の部品内蔵モジュールの製造方法と区別するために「第1部品内蔵モジュール製造方法」とも呼ぶ)を提供し、その方法は、
(1−A)キャリヤシート、その上に配置された少なくとも1本の配線を有して成る配線パターンおよび電子部品、ならびにこれらの配線パターンおよび電子部品の上に配置された樹脂を含む絶縁層を有して成る、部品内蔵モジュール形成部材(後述の部品内蔵モジュールの製造方法で使用する部品内蔵モジュール形成部材と区別するために、この部品内蔵モジュール形成部材を便宜的に「部品内蔵モジュール形成部材A」とも呼ぶ)を準備する工程、
(1−B)部品内蔵モジュール形成部材を折り曲げて(または折り畳んで)絶縁層を相互に対向させ、該少なくとも1本の配線の一部が、対向する絶縁層を介して相互に対向し、かつ該少なくとも1本の配線の他の部分が、絶縁層の折り曲げ部分により形成される、折り曲げ後の絶縁層の側面上で延在するようにする工程、および
(1−C)折り曲げた部品内蔵モジュール形成部材Aの絶縁層の樹脂を硬化する工程
を含んで成る。
In a second aspect, the present invention provides a method for manufacturing a component built-in module (also referred to as a “first component built-in module manufacturing method” for distinction from a method for manufacturing a component built-in module described later), and the method includes:
(1-A) Carrier sheet, wiring pattern and electronic component having at least one wiring arranged thereon, and insulating layer containing resin arranged on these wiring pattern and electronic component The component built-in module forming member (in order to distinguish it from the component built-in module forming member used in the manufacturing method of the component built-in module described later, this component built-in module forming member is referred to as “component built-in module forming member A” for convenience. )),
(1-B) The component-embedded module forming member is folded (or folded) so that the insulating layers are opposed to each other, and a part of the at least one wiring is opposed to each other via the opposing insulating layers; The other part of the at least one wiring is formed by a bent portion of the insulating layer, and extends on the side surface of the insulating layer after the bending; and (1-C) the module with the folded component built-in A step of curing the resin of the insulating layer of the forming member A.

工程(1−B)においては、折り曲げによって、絶縁層が接触状態で相互に対向するのが好ましい。絶縁層が対向するとは、絶縁層が重なる状態にあることを意味し、絶縁層の間に空間が存在する状態で重なっていても、あるいは絶縁層が接触状態で重なっていてもよい。   In the step (1-B), the insulating layers are preferably opposed to each other in a contact state by bending. When the insulating layers are opposed to each other, it means that the insulating layers are in an overlapping state, and the insulating layers may overlap in a state where there is a space between the insulating layers, or the insulating layers may overlap in a contact state.

部品内蔵モジュール形成部材Aの準備、即ち、工程(1−A)は、
(1−a)キャリヤシートおよびその上に形成された金属層を有して成る積層体を準備する工程、
(1−b)金属層を加工して少なくとも1本の配線を有して成る配線パターンを形成すると共に、必要な場合、電子部品を配置すべき箇所の下方に位置するキャリヤシートを露出させる工程、
(1−c)露出したキャリヤシートおよび/または配線パターン上に電子部品を配置する工程、および
(1−d)配線パターンおよび電子部品上に、樹脂を含んで成る絶縁層を形成する工程
を含む製造方法によって実施できる。
Preparation of the component built-in module forming member A, that is, the step (1-A)
(1-a) preparing a laminate having a carrier sheet and a metal layer formed thereon,
(1-b) a step of processing the metal layer to form a wiring pattern having at least one wiring and, if necessary, exposing a carrier sheet located below the location where the electronic component is to be placed ,
(1-c) including a step of placing an electronic component on the exposed carrier sheet and / or wiring pattern, and (1-d) a step of forming an insulating layer containing a resin on the wiring pattern and the electronic component. It can be implemented by a manufacturing method.

工程(1−c)において、電子部品を配線パターン上にのみ配置して、キャリヤシート上に直接接触して配置する必要がない場合には、工程(1−b)において、電子部品を配置する箇所にてキャリヤシートを露出させる必要はなく、その意味で、「必要な場合」と記載している。   In the step (1-c), when the electronic component is arranged only on the wiring pattern and does not need to be arranged in direct contact with the carrier sheet, the electronic component is arranged in the step (1-b). It is not necessary to expose the carrier sheet at the location, and in this sense, “when necessary” is described.

また、必要に応じて、工程(1−c)の後、工程(1−d)の前に、電子部品と配線パターンとを所定のように電気的に接続してよい。このような電気的な接続は、工程(1−c)において、電子部品を配置することによって、配線パターンと電子部品とが電気的に接続され、且つそれ以上の接続が必要でない場合には、省略できる。部品内蔵モジュール形成部材において、電子部品を電気的に独立させておく必要がある場合には、このような電気的な接続は不要である。   Further, if necessary, the electronic component and the wiring pattern may be electrically connected in a predetermined manner after the step (1-c) and before the step (1-d). Such electrical connection is performed when the wiring pattern and the electronic component are electrically connected by arranging the electronic component in the step (1-c) and no further connection is required. Can be omitted. In the component built-in module forming member, when it is necessary to keep the electronic components electrically independent, such an electrical connection is unnecessary.

この製造方法において、工程(1−d)における絶縁層の形成は、配線パターンの全体を覆うように形成しても、あるいは、配線パターンの一部分が絶縁層によって覆われないように形成してもよい。   In this manufacturing method, the insulating layer in step (1-d) may be formed so as to cover the entire wiring pattern, or may be formed so that a part of the wiring pattern is not covered with the insulating layer. Good.

第3の要旨において、本発明は、部品内蔵モジュールの別の製造方法(上述の部品内蔵モジュールの製造方法と区別するために「第2部品内蔵モジュール製造方法」とも呼ぶ)を提供し、その方法は、
(2−A)キャリヤシート、その上に配置された少なくとも1本の配線を有して成る配線パターン、配線パターンの上に配置された樹脂を含んで成る絶縁層および絶縁層の上に配置された電子部品を有して成る、部品内蔵モジュール形成部材(上述の第1の製造方法において使用する部品内蔵モジュール形成部材と区別するために、「部品内蔵モジュール形成部材B」と呼ぶことがある)を準備する工程、
(2−B)部品内蔵モジュール形成部材Bを折り曲げて(または折り畳んで)絶縁層を相互に対向させ、該少なくとも1本の配線の一部が、対向する絶縁層を介して相互に対向し、かつ該少なくとも1本の配線の他の部分が、絶縁層の折り曲げ部分により形成される、折り曲げ後の絶縁層の側面上で延在するようにする工程、および
(2−C)折り曲げた部品内蔵モジュール形成部材Bの絶縁層の樹脂を硬化する工程
を含んで成る。この製造方法において、折り曲げの結果、対向する絶縁層を介して相互に対向する配線部分は、本発明の部品内蔵モジュールにおける上側表面配線部および下側表面配線部となり、絶縁層の側面上で延在する部分は、本発明の部品内蔵モジュールにおける側面配線部となる。
In a third aspect, the present invention provides another method for manufacturing a component built-in module (also referred to as a “second component built-in module manufacturing method” for distinction from the above-described method for manufacturing a component built-in module), and the method Is
(2-A) a carrier sheet, a wiring pattern having at least one wiring disposed thereon, an insulating layer including a resin disposed on the wiring pattern, and an insulating layer. A component built-in module forming member having an electronic component (to be distinguished from a component built-in module forming member used in the first manufacturing method described above, sometimes referred to as “component built-in module forming member B”) Preparing the process,
(2-B) The component built-in module forming member B is folded (or folded) so that the insulating layers are opposed to each other, and a part of the at least one wiring is opposed to each other via the opposing insulating layers; And the other part of the at least one wiring is formed by the bent part of the insulating layer so as to extend on the side surface of the insulating layer after the bending, and (2-C) the folded component is embedded A step of curing the resin of the insulating layer of the module forming member B. In this manufacturing method, as a result of bending, the wiring portions facing each other through the opposing insulating layers become the upper surface wiring portion and the lower surface wiring portion in the component built-in module of the present invention, and extend on the side surface of the insulating layer. The existing part becomes the side wiring part in the component built-in module of the present invention.

工程(2−B)においては、折り曲げによって、絶縁層が接触状態で相互に対向するのが好ましい。絶縁層が対向するとは、絶縁層が重なる状態にあることを意味し、絶縁層の間に空間が存在する状態で重なっていても、あるいは絶縁層が接触状態で重なっていてもよい。   In the step (2-B), the insulating layers are preferably opposed to each other in a contact state by bending. When the insulating layers are opposed to each other, it means that the insulating layers are in an overlapping state, and the insulating layers may overlap in a state where there is a space between the insulating layers, or the insulating layers may overlap in a contact state.

部品内蔵モジュール形成部材Bの準備、即ち、工程(2−A)は、
(2−a)キャリヤシートおよびその上に形成された金属層を有して成る積層体を準備する工程、
(2−b)金属層を加工して少なくとも1本の配線を有して成る配線パターンを形成する工程、
(2−c)配線パターン上に、樹脂を含んで成る絶縁層を形成する工程、および
(2−d)絶縁層上に電子部品を配置する工程
を含む製造方法によって実施できる。
Preparation of the component built-in module forming member B, that is, the step (2-A)
(2-a) preparing a laminate having a carrier sheet and a metal layer formed thereon,
(2-b) processing the metal layer to form a wiring pattern having at least one wiring;
(2-c) A manufacturing method including a step of forming an insulating layer containing a resin on the wiring pattern, and (2-d) a step of arranging an electronic component on the insulating layer.

この部品内蔵モジュール形成部材Bの製造方法において、絶縁層は、配線パターンの全体を覆うように形成しても、あるいは配線パターンの一部分が絶縁層によって覆われずに、露出するように形成してもよい。配線パターンの一部分を絶縁層で覆わない場合、電子部品を配置した後、必要に応じて、電子部品と配線パターンの露出部分とを適切な方法により電気的に接続してよい。   In the manufacturing method of the component built-in module forming member B, the insulating layer is formed so as to cover the entire wiring pattern, or formed so that a part of the wiring pattern is not covered with the insulating layer but exposed. Also good. When a part of the wiring pattern is not covered with an insulating layer, the electronic component may be electrically connected to the exposed portion of the wiring pattern by an appropriate method after the electronic component is arranged.

1つの態様では、いずれの部品内蔵モジュールの製造方法においても、部品内蔵モジュール形成部材を折り畳む工程は、少なくとも1本の配線がU/L形側配線を形成するように実施する。別の態様では、そのように折り畳む前に、部品内蔵モジュール形成部材の他の部分(即ち、折り畳みによりU/L形側配線を形成する部分とは異なる別の部分)を折り畳んで、配線パターンに含まれる他の配線(これを便宜的に「配線s」と呼ぶ)の一部が、接触状態で対向する絶縁層を介して相互に対向し、かつ配線sの他の部分が絶縁層の折り曲げ部分により形成された、折り曲げ後の絶縁層の側面上で延在するようにする。その後、少なくとも1本の配線がU/L形側配線を形成するように、部品内蔵モジュール形成部材を折り畳み、対向する配線sの一部が、絶縁層の厚さ方向において、U/L形側配線を形成するように折り曲げた後の絶縁層の上側表面と下側表面との間に位置するようにする。配線sの一部は、例えば、U/L形側配線と絶縁層を介して対向してよく、特に、U形側配線の上側表面配線部と下側表面配線部との間に位置するようにしてよい。絶縁層内に位置する配線sの部分は、後述するようにシールド部材を構成できる。   In one aspect, in any method for manufacturing a component built-in module, the step of folding the component built-in module forming member is performed such that at least one wiring forms a U / L-shaped side wiring. In another aspect, before the folding, the other part of the component built-in module forming member (that is, another part different from the part that forms the U / L-shaped side wiring by folding) is folded into a wiring pattern. Some of the other wirings included (referred to as “wiring s” for the sake of convenience) are opposed to each other via the insulating layers facing each other in a contact state, and the other parts of the wiring s are bent of the insulating layer. It extends on the side surface of the insulating layer after being bent, formed by the portion. Thereafter, the component built-in module forming member is folded so that at least one wiring forms a U / L-shaped side wiring, and a part of the facing wiring s is formed on the U / L-shaped side in the thickness direction of the insulating layer. The insulating layer after being bent so as to form a wiring is positioned between the upper surface and the lower surface. For example, a part of the wiring s may be opposed to the U / L-shaped side wiring through an insulating layer, and is particularly located between the upper surface wiring portion and the lower surface wiring portion of the U-shaped side wiring. You can do it. The portion of the wiring s located in the insulating layer can constitute a shield member as will be described later.

上述の2種の第1および第2部品内蔵モジュールの製造方法ならびに部品内蔵モジュール形成部材AおよびBの製造方法のそれぞれにおいて、使用する材料(例えば樹脂、積層体等)は実質的に同じ種類のものを使用できる。キャリヤシート上に形成する絶縁層は、硬化性樹脂、特に熱硬化性樹脂を含むのが好ましい。その場合、部品内蔵モジュール形成部材を製造した時点においては、完全に硬化しておらず、好ましくはいわゆる半硬化状態である。部品内蔵モジュールを製造するに際して、硬化させる際に(即ち、工程(1−C)または工程(2−C)において)完全に硬化させるのが好ましい。   In each of the above-described two types of first and second component built-in module manufacturing methods and component built-in module forming members A and B manufacturing methods, the materials used (for example, resin, laminate, etc.) are substantially the same type. Things can be used. The insulating layer formed on the carrier sheet preferably contains a curable resin, particularly a thermosetting resin. In that case, when the component built-in module forming member is manufactured, it is not completely cured, and is preferably in a so-called semi-cured state. When manufacturing the module with a built-in component, it is preferable that the module is completely cured when it is cured (that is, in the step (1-C) or the step (2-C)).

いずれの部品内蔵モジュールの製造方法においても、工程(C)において樹脂を硬化することによって、対向する絶縁層が実質的に一体となり、本発明の部品内蔵モジュールのシート状基体を構成する。硬化は、いずれの適当な手段によって実施してもよく、例えば熱によって硬化させてよい。この場合、硬化性樹脂は特に好ましくは熱硬化性樹脂(例えばエポキシ樹脂)であり、無機充填材料(例えばAl、MgO、BN、AlN、およびSiC)を含んでいてよい。樹脂が熱可塑性の樹脂である場合、樹脂層を形成する際に加熱して、樹脂を溶融または軟化させて、溶融または軟化した状態で折り曲げを実施し、その後、樹脂を冷却することによって硬化することができる。 In any of the component built-in module manufacturing methods, the opposing insulating layers are substantially integrated by curing the resin in the step (C), thereby constituting the sheet-like substrate of the component built-in module of the present invention. Curing may be performed by any suitable means, for example by heat. In this case, the curable resin is particularly preferably a thermosetting resin (for example, epoxy resin), and may contain an inorganic filler (for example, Al 2 O 3 , MgO, BN, AlN, and SiC). When the resin is a thermoplastic resin, it is heated when the resin layer is formed, and the resin is melted or softened, bent in the melted or softened state, and then cured by cooling the resin. be able to.

さらに、本発明は、第4の要旨において、部品内蔵モジュールの別の製造方法(上述の部品内蔵モジュールの製造方法と区別するために「第3部品内蔵モジュール製造方法」とも呼ぶ)を提供し、その方法は、
(3−A)キャリヤシート、その上に配置された少なくとも1本の配線を有して成る配線パターンおよび電子部品を有して成る部品内蔵モジュール形成部材(上述の第1および第2の製造方法において使用する部品内蔵モジュール形成部材と区別するために、「部品内蔵モジュール形成部材C」と呼ぶことがある)を準備する工程、
(3−B)部品内蔵モジュール形成部材Cを、配線パターンを内側にして、該少なくとも1本の配線の一部が相互に対向し、かつ対向した部分の間に空隙が形成されるように曲げる工程、
(3−C)硬化性樹脂を含んで成る材料を、空隙に注入して配線パターンの間に樹脂層を形成する工程、
(3−D)該樹脂層を硬化させる工程、および
(3−E)キャリヤシートを除去して該配線パターンを露出させる工程
を含む、部品内蔵モジュールの製造方法を提供する。この製造方法においては、先にU/L形側配線が部品内蔵モジュール形成部材Cの折り曲げにより形成され、絶縁層は、部品内蔵モジュール形成部材Cの折り曲げにより形成された空隙に硬化性樹脂を含む材料を注入して、さらに硬化させることにより形成される。部品内蔵モジュール形成部材Cは、上記部品内蔵モジュール形成部材Aの製造方法のうち、工程(1−a)ないし(1−c)を実施することにより得られる。キャリヤシートは、少なくとも1本の配線がU字形状となるように折り曲げて、凹部が形成されるように折り曲げてよい。あるいは、キャリヤシートは、少なくとも1本の配線が矩形の輪を形成するように(即ち、最終的なモジュールにおいて2つのU/L形側配線が形成されるように)、矩形の筒形に折り曲げてよい。あるいはまた、キャリヤシートを適当な金型内で折り曲げて、配線の間に形成される空隙を、当該金型とキャリヤシートにより密閉してもよい。折り曲げにより、空隙に通じる部分がキャリヤシートにおいて存在しない場合(即ち、空隙がキャリヤシートおよび/または金型によって完全に包囲される場合)にはキャリヤシートまたは金型に樹脂注入用の孔を設けて、樹脂を注入する。適当な折り曲げ方を選択することにより、U/L形側配線を、六面体の2以上の側面(例えば4つの側面すべて)に配置させることが可能となる。
Furthermore, the present invention provides, in the fourth aspect, another method for manufacturing a component built-in module (also referred to as “third component built-in module manufacturing method” in order to distinguish from the above-described component built-in module manufacturing method). The method is
(3-A) A component built-in module forming member having a carrier sheet, a wiring pattern having at least one wiring disposed thereon, and an electronic component (the first and second manufacturing methods described above) In order to distinguish it from the component built-in module forming member used in the above) (sometimes referred to as “component built-in module forming member C”),
(3-B) The component built-in module forming member C is bent so that a part of the at least one wiring faces each other with a wiring pattern inside, and a gap is formed between the facing parts. Process,
(3-C) a step of injecting a material comprising a curable resin into the gap to form a resin layer between the wiring patterns;
(3-D) Provided is a method for manufacturing a component built-in module, including a step of curing the resin layer, and (3-E) a step of removing a carrier sheet to expose the wiring pattern. In this manufacturing method, the U / L-shaped side wiring is first formed by bending the component built-in module forming member C, and the insulating layer includes a curable resin in the gap formed by bending the component built-in module forming member C. It is formed by injecting material and further curing. The component built-in module forming member C is obtained by performing the steps (1-a) to (1-c) in the manufacturing method of the component built-in module forming member A. The carrier sheet may be bent so that at least one wiring is U-shaped and a recess is formed. Alternatively, the carrier sheet is folded into a rectangular cylinder so that at least one wire forms a rectangular ring (ie, two U / L side wires are formed in the final module). It's okay. Alternatively, the carrier sheet may be bent in a suitable mold, and the gap formed between the wirings may be sealed with the mold and the carrier sheet. If there is no portion that leads to the gap in the carrier sheet due to bending (that is, the gap is completely surrounded by the carrier sheet and / or the mold), the carrier sheet or mold is provided with holes for resin injection. Inject the resin. By selecting an appropriate bending method, the U / L-shaped side wiring can be arranged on two or more side surfaces (for example, all four side surfaces) of the hexahedron.

本発明の部品内蔵モジュールは、適当な電子機器のいずれにも使用することができ、例えば、携帯用電子機器に使用することができる。その場合、電子機器は、本発明の部品内蔵モジュールと、部品内蔵モジュールを収納する筐体とを備えている。従って、第5の要旨において、本発明は、上述の本発明の部品内蔵モジュールを有して成る電子機器を提供する。   The component built-in module of the present invention can be used for any suitable electronic device, for example, a portable electronic device. In this case, the electronic device includes the component built-in module of the present invention and a housing that houses the component built-in module. Accordingly, in a fifth aspect, the present invention provides an electronic apparatus comprising the above-described component built-in module of the present invention.

本発明の部品内蔵モジュールは、絶縁性のシート状基体と、シート状基体内に配置された電子部品と、シート状基体の上側表面から側面を経由して下側表面に延びる、またはシート状基体の上側表面もしくは下側表面から側面に延びて側面にて終端するU/L形側配線とを有するので、ビアを形成する必要がない。したがって、本発明によれば、従来と比較して、効率的に製造できる部品内蔵モジュールを提供できる。   The component built-in module according to the present invention includes an insulating sheet-like substrate, an electronic component disposed in the sheet-like substrate, and extends from the upper surface of the sheet-like substrate to the lower surface via the side surface. Since there is a U / L-shaped side wiring extending from the upper surface or the lower surface to the side surface and terminating at the side surface, there is no need to form a via. Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a component built-in module that can be manufactured more efficiently than in the past.

発明を実施するための形態BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。図面においては、説明の簡潔化および理解の容易化のため、原則として、実質的に同一の機能を有する構成要素を同一の参照符号で示す。尚、本発明は、以下の実施形態のみに限定されるものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings, components having substantially the same functions are denoted by the same reference numerals in principle for the sake of brevity and ease of understanding. In addition, this invention is not limited only to the following embodiment.

(実施形態1)
図2および図3を参照しながら、本発明の実施形態1に係る部品内蔵モジュール(または、回路部品内蔵モジュール)100について説明する。図2は、本実施形態の部品内蔵モジュール100の構成を模式的に示す斜視図であり、図3は、図2に示した部品内蔵モジュール100の模式的断面図である。
(Embodiment 1)
A component built-in module (or circuit component built-in module) 100 according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to FIGS. 2 and 3. FIG. 2 is a perspective view schematically showing the configuration of the component built-in module 100 of the present embodiment, and FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the component built-in module 100 shown in FIG.

図2および図3に示した部品内蔵モジュール100は、シート状基体10と、シート状基体10内に配置された電子部品30(32、34)と、複数のU/L形側配線20(図示した形態においてはU形側配線)とを有している。シート状基体10は、上側表面10aと、上側表面10aに対向する下側表面10bと、上側表面10aと下側表面10bとを接続する側面10cとを有している。U/L形側配線20の一端は、シート状基体10の上側表面10aに位置する電気要素20a(例えばランドのような端子)に接続されている。電気要素20aから延びたU/L形側配線20は、シート状基体10の側面10c上を通って下側表面10bに至り、そしてシート状基体10の下側表面10bに位置する電気要素(例えばランドのような端子)20bにU/L形側配線20の他端が接続されている。図示した形態では、複数本のU/L形側配線20の少なくとも1本は、図3に示すように電気要素20aおよびリード(または金属細線)32bを経由して、電子部品32に電気的に接続されている。別の形態では、U/L形側配線20は、直接的にリード(または金属細線)32bのみを介して、または電気要素20aのみを介して電子部品30(32、34)に電気的に接続されていてよい。   The component built-in module 100 shown in FIGS. 2 and 3 includes a sheet substrate 10, electronic components 30 (32, 34) disposed in the sheet substrate 10, and a plurality of U / L-shaped side wires 20 (illustrated). In this case, the U-shaped side wiring) is included. The sheet-like substrate 10 has an upper surface 10a, a lower surface 10b that faces the upper surface 10a, and a side surface 10c that connects the upper surface 10a and the lower surface 10b. One end of the U / L-shaped side wiring 20 is connected to an electric element 20a (for example, a terminal such as a land) located on the upper surface 10a of the sheet-like substrate 10. The U / L-shaped side wiring 20 extending from the electrical element 20a passes over the side surface 10c of the sheet-like substrate 10 to the lower surface 10b and is located on the lower surface 10b of the sheet-like substrate 10 (for example, The other end of the U / L-shaped side wiring 20 is connected to a terminal 20b like a land. In the illustrated form, at least one of the plurality of U / L-shaped side wires 20 is electrically connected to the electronic component 32 via the electric element 20a and the lead (or fine metal wire) 32b as shown in FIG. It is connected. In another form, the U / L-shaped side wiring 20 is electrically connected to the electronic component 30 (32, 34) directly through only the lead (or fine metal wire) 32b or only through the electrical element 20a. May have been.

図2および図3に示した例では、シート状基体10内の上方に半導体素子(例えばベアチップ等)が電子部品32として内蔵されており、シート状基体10内の下方にチップ部品(例えばチップインダクタ、チップコンデンサ、またはチップ抵抗等)が電子部品34として内蔵されている。半導体素子32には、端子(素子端子)32aが形成されており、素子端子32aとランド20aとは、ワイヤーボンディングによって金属細線32bにより接続されている。チップ部品32は、シート状基体10の下側表面10bに形成された配線パターン(ランド20bを含む配線パターン)に例えば半田によって実装されている。   In the example shown in FIGS. 2 and 3, a semiconductor element (for example, a bare chip or the like) is incorporated as an electronic component 32 above the sheet-like substrate 10, and a chip component (for example, a chip inductor) is located below the sheet-like substrate 10. , A chip capacitor, a chip resistor, or the like) is built in as the electronic component 34. A terminal (element terminal) 32a is formed in the semiconductor element 32, and the element terminal 32a and the land 20a are connected by a thin metal wire 32b by wire bonding. The chip part 32 is mounted on a wiring pattern (a wiring pattern including the land 20b) formed on the lower surface 10b of the sheet-like substrate 10 by, for example, solder.

本実施形態では、U/L形側配線20は両端でランド20aおよび20bに接続されている。ランド20aおよび20bは、この部品内蔵モジュールを別の回路基板または半導体素子等に接続する端子となるものであり、その意味で符号20aおよび20bで示される電気要素を端子と呼ぶことがある。U/L形側配線20ならびにランド20aおよび20bは予め一体に形成されているのが好ましい。シート状基体10の上側表面10a(および下側表面10b)は略平面であり、略矩形の形状を有している。詳細は後述するが、本実施形態のシート状基体10は、半硬化状態の樹脂を含む絶縁層を折り畳み、その後、折り畳まれた半硬化状態の樹脂を含む絶縁層を完全硬化状態にすることによって形成するのが好ましい。このことを表現すべく、図3では、折り畳んだ際に生じる重ね合わせ面(即ち、接触状態で対向する絶縁層が規定する面)11を点線で示しているが、実際には、完全硬化状態にする際に絶縁層に含まれる樹脂は軟化または溶融して一体になるので、点線11のような重ね合わせ面は存在しないことが多い。   In the present embodiment, the U / L-shaped side wiring 20 is connected to the lands 20a and 20b at both ends. The lands 20a and 20b serve as terminals for connecting the component built-in module to another circuit board or a semiconductor element. In this sense, the electrical elements indicated by reference numerals 20a and 20b may be referred to as terminals. It is preferable that the U / L-shaped side wiring 20 and the lands 20a and 20b are integrally formed in advance. The upper surface 10a (and the lower surface 10b) of the sheet-like substrate 10 is substantially flat and has a substantially rectangular shape. Although details will be described later, the sheet-like substrate 10 of the present embodiment is formed by folding an insulating layer containing a semi-cured resin and then bringing the folded insulating layer containing a semi-cured resin into a fully cured state. Preferably formed. In order to express this, in FIG. 3, the overlapping surface (that is, the surface defined by the opposing insulating layer in the contact state) 11 generated when folded is indicated by a dotted line, but in reality, it is in a completely cured state. In this case, since the resin contained in the insulating layer is softened or melted and integrated, there is often no overlapping surface such as the dotted line 11.

本実施形態の部品内蔵モジュール100では、シート状基体10における上側表面10aと下側表面10bとの間の電気的導通は、U/L形側配線20によって行われている。U/L形側配線20が、シート状基体10における上側表面10aと下側表面10bとの電気的導通を行う機能を有しているので、シート状基体10には、上側表面10aと下側表面10bとの間の電気的導通を確保するためのビアは形成されていない。言い換えると、本実施形態の部品内蔵モジュール100では、従来の部品内蔵モジュールで必須であったビアは必要ではない。   In the component built-in module 100 of the present embodiment, the electrical continuity between the upper surface 10a and the lower surface 10b of the sheet-like substrate 10 is performed by the U / L-shaped side wiring 20. Since the U / L-shaped side wiring 20 has a function of conducting electrical continuity between the upper surface 10a and the lower surface 10b of the sheet-like substrate 10, the sheet-like substrate 10 includes the upper surface 10a and the lower surface. A via for ensuring electrical continuity with the surface 10b is not formed. In other words, in the component built-in module 100 of the present embodiment, the via that is essential in the conventional component built-in module is not necessary.

本明細書において、「ビア」なる用語は、「インナービア」および「スルーホール」を含む総称的な用語として使用している。一般的に、「ビア」および「スルーホール」は、明確に区別されて使用するものではないが、「ビア」とは、配線パターンを相互に電気的に接続する貫通穴を意味し、主として、多層配線基板の絶縁層の両側の配線パターン間を電気的に接続するために形成されるものを意味し、「スルーホール」は、主として、上側表面の配線パターンと下側表面の配線パターンとの間の電気的な接続を行うための貫通穴のことを意味する。本明細書においては、「ビア」は、シート状基体を通過する孔であって、電気的導通を達成するように機能するものを意図している。そのような孔は、導電性材料が充填された状態であっても、あるいは導電性材料により形成された被膜を有してもよい。   In this specification, the term “via” is used as a generic term including “inner via” and “through hole”. In general, “via” and “through hole” are not clearly distinguished, but “via” means a through hole that electrically connects wiring patterns to each other. It means what is formed to electrically connect the wiring patterns on both sides of the insulating layer of the multilayer wiring board, and the “through hole” is mainly formed between the wiring pattern on the upper surface and the wiring pattern on the lower surface. It means a through hole for making an electrical connection between them. As used herein, a “via” is intended to be a hole that passes through a sheet-like substrate and functions to achieve electrical continuity. Such holes may be filled with a conductive material or may have a coating formed of a conductive material.

部品内蔵モジュール100は、樹脂のような有機材料を含む材料から構成されたシート状基体を含むオーガニック(organic)部品内蔵モジュールであってよい。本実施形態の部品内蔵モジュールのシート状基体10は、1つの形態では、樹脂(例えば熱硬化性樹脂および/または熱可塑性樹脂)と無機フィラーとを含むコンポジット材料から形成されており、樹脂として熱硬化性樹脂を用いるのが好ましい。無機フィラーを実質的に用いずに、熱硬化性樹脂のみからシート状基体10を構成することも可能である。熱硬化性樹脂は、例えばエポキシ樹脂等であり、無機フィラーを添加する場合、例えばAl、SiO、MgO、BN、およびAlN等のフィラーを使用できる。無機フィラーの添加により、シート状基体10の種々の物性を制御することができるので、無機フィラーを含むコンポジット材料からシート状基体10を形成することが好適である。 The component built-in module 100 may be an organic component built-in module including a sheet-like substrate made of a material including an organic material such as a resin. In one embodiment, the sheet-like substrate 10 of the component built-in module according to the present embodiment is formed of a composite material including a resin (for example, a thermosetting resin and / or a thermoplastic resin) and an inorganic filler, It is preferable to use a curable resin. It is also possible to construct the sheet-like substrate 10 from only a thermosetting resin without substantially using an inorganic filler. The thermosetting resin is, for example, an epoxy resin. When an inorganic filler is added, for example, fillers such as Al 2 O 3 , SiO 2 , MgO, BN, and AlN can be used. Since various physical properties of the sheet-like substrate 10 can be controlled by adding the inorganic filler, it is preferable to form the sheet-like substrate 10 from a composite material containing the inorganic filler.

U/L形側配線20は、例えば銅箔から形成され、その厚さは例えば3〜50μm程度である。U/L形側配線20の本数は、例えば8本以上である。図2に示した構成では、18本形成されている。図2および図3に示した構成において、図示したU/L形側配線20に加えて、端子20aおよび20bを1枚の銅箔から同時に形成することによってこれらを一体に形成できる。また、図示したモジュールにおいて、U/L形側配線に加えて、端子20aおよび20bに接続されていないU/L形側配線をダミー配線として形成してもよい。   The U / L-shaped side wiring 20 is formed from, for example, a copper foil, and the thickness thereof is, for example, about 3 to 50 μm. The number of U / L-shaped side wires 20 is, for example, eight or more. In the configuration shown in FIG. 2, 18 lines are formed. In the configuration shown in FIGS. 2 and 3, in addition to the U / L-shaped side wiring 20 shown in the figure, the terminals 20a and 20b can be formed integrally by simultaneously forming a single copper foil. Further, in the illustrated module, in addition to the U / L-shaped side wiring, a U / L-shaped side wiring not connected to the terminals 20a and 20b may be formed as a dummy wiring.

ダミー配線には、配線密度を均一にする役割を付与することができる。また、ダミー配線を、検査用の配線として利用することも可能である。更に、ダミー配線によって、部品内蔵モジュール100が実装されるプリント基板とのマッチングを調べたり、あるいはダミー配線に検査用部品(または回路定数調整用部品)を載置して、部品内蔵モジュールおよび/または回路基板の常数(例えば、特性インピーダンス)を調整することもできる。検査用部品(または回路定数調整用部品)は、例えばチップ部品(チップインダクタ、チップ抵抗、およびチップコンデンサ等)であり、その部品は、最終製品段階で取り外してもよいし、あるいはそのまま載置しておいてもよい。   The dummy wiring can be given a role of making the wiring density uniform. It is also possible to use the dummy wiring as the inspection wiring. Further, the matching with the printed circuit board on which the component built-in module 100 is mounted is checked by dummy wiring, or the inspection component (or circuit constant adjustment component) is placed on the dummy wiring, and the component built-in module and / or The constant (for example, characteristic impedance) of the circuit board can be adjusted. The inspection component (or circuit constant adjustment component) is, for example, a chip component (chip inductor, chip resistor, chip capacitor, etc.), and the component may be removed at the final product stage or placed as it is. You may keep it.

U/L形側配線20の最大本数は、半導体素子のような電子部品32の端子数および部品内蔵モジュール100の寸法などに依存する。さらに、U/L形側配線の最大本数は、U/L形側配線20のライン幅及びスペーシング(ライン−スペース;L/S)を考慮して決定される。例えば、汎用的な実装面積に対応した所定の寸法の部品内蔵モジュールにおいては、U/L形側配線20の最大本数は、例えば500本程度とし得る。当然のことながら、それ以上またはそれ以下のU/L形側配線20を形成することも可能である。   The maximum number of U / L-shaped side wires 20 depends on the number of terminals of the electronic component 32 such as a semiconductor element, the dimensions of the component built-in module 100, and the like. Further, the maximum number of U / L-shaped side wirings is determined in consideration of the line width and spacing (line-space; L / S) of the U / L-shaped side wiring 20. For example, in a component built-in module having a predetermined size corresponding to a general-purpose mounting area, the maximum number of U / L-shaped side wirings 20 can be about 500, for example. Naturally, it is also possible to form more or less U / L-shaped side wirings 20.

図2に示した構成においては、端子(ランド)20aは、U/L形側配線20が接続される電気要素であり、シート状基体10の上側表面10aにおける外縁領域に配列されている。即ち、この例では、シート状基体10の上側表面10aの直下に内蔵される電子部品(例えばベアチップ半導体素子)32の端子32aの配列に対応して、U/L形側配線20の一端が接続される端子(ランド)20aはペリフェラル型で配列されている。シート状基体10の下側表面10bにおけるU/L形側配線20の他方の端部が接続される端子(ランド)20bの配列は、チップ部品34の配置に対応させたり、部品内蔵モジュール100を実装するプリント基板(例えばマザーボード)の端子配列に対応させて決定すればよい。例えば、端子20bは、シート状基体10の下側表面10bにおいて格子状に配列することができる。具体的には、端子20bをランドとしてランド・グリッド・アレイ(LGA)状にしてもよいし、あるいは、半田ボールを載置してボール・グリッド・アレイ(BGA)状にしてもよい。   In the configuration shown in FIG. 2, the terminals (lands) 20 a are electrical elements to which the U / L-shaped side wires 20 are connected, and are arranged in the outer edge region on the upper surface 10 a of the sheet-like substrate 10. That is, in this example, one end of the U / L-shaped side wiring 20 is connected to correspond to the arrangement of the terminals 32a of the electronic component (for example, a bare chip semiconductor element) 32 built directly under the upper surface 10a of the sheet-like substrate 10. The terminals (lands) 20a are arranged in a peripheral type. The arrangement of the terminals (lands) 20b to which the other end of the U / L-shaped side wiring 20 is connected on the lower surface 10b of the sheet-like substrate 10 corresponds to the arrangement of the chip components 34, or the component built-in module 100 is arranged. What is necessary is just to determine corresponding to the terminal arrangement of the printed circuit board (for example, motherboard) to mount. For example, the terminals 20b can be arranged in a grid pattern on the lower surface 10b of the sheet-like substrate 10. Specifically, a land grid array (LGA) shape may be used with the terminal 20b as a land, or a ball grid array (BGA) shape may be formed by placing solder balls.

部品内蔵モジュール100の寸法は、部品内蔵モジュール100内に配置される電子部品30の寸法および個数、部品内蔵モジュール100を実装するプリント基板の大きさ、ならびに部品内蔵モジュール100の配線数と配線のライン−スペース(L/S)などを考慮して決定され、特に限定されるものではない。一例では、シート状基体10の上側表面の面積は、200mm以下である。 The size of the component built-in module 100 includes the size and number of the electronic components 30 arranged in the component built-in module 100, the size of the printed circuit board on which the component built-in module 100 is mounted, and the number of wirings and wiring lines of the component built-in module 100. -Determined in consideration of space (L / S) and the like, and is not particularly limited. In one example, the area of the upper surface of the sheet-like substrate 10 is 200 mm 2 or less.

本実施形態の部品内蔵モジュール100におけるシート状基体10は、略六面体(通常、厚さのディメンションが他のディメンションに比べて相当小さい直方体)の形状を有しており、シート状基体10の上側表面10aおよび下側表面10bは、略矩形をしている。ここでいう、「略六面体および略矩形」には、幾何学的な意味での六面体および矩形(長方形)に加えて、角および辺に丸みを帯びているものも含まれ、また、面が完全に平面ではなく湾曲等があるものも含まれ得る。図2に示した構成においてシート状基体10の辺が位置する領域が角張っているのではなく、丸みを帯びている場合(即ち、面取りされた形状である場合)、U/L形側配線20の断線等を緩和する効果が得られる。   The sheet-like substrate 10 in the component built-in module 100 of the present embodiment has a substantially hexahedron shape (usually a rectangular parallelepiped whose thickness dimension is considerably smaller than other dimensions), and the upper surface of the sheet-like substrate 10. 10a and the lower surface 10b are substantially rectangular. Here, “substantially hexahedrons and rectangles” include not only hexahedrons and rectangles (rectangles) in the geometrical sense but also those whose corners and sides are rounded, and the faces are completely May include a curved surface or the like instead of a flat surface. In the configuration shown in FIG. 2, when the region where the side of the sheet-like substrate 10 is located is not square but rounded (that is, in the case of a chamfered shape), the U / L-shaped wiring 20 The effect which eases disconnection etc. of this is acquired.

図2に示した例では、シート状基体10の上側表面10aは、長辺10Lと、短辺10Sとを有する略長方形の形状を有しており、長辺10Lの長さは、短辺10Sの長さの例えば3倍以下である。本実施形態の構成では、シート状基体10の側面10cに存在するU/L形側配線20の幅を0.25mm以下にしてよく、また、配線20間のスペースを0.3mm以下にしてよい。シート状基体10の厚さは、例えば0.1〜2mm程度である。   In the example shown in FIG. 2, the upper surface 10a of the sheet-like substrate 10 has a substantially rectangular shape having a long side 10L and a short side 10S. The length of the long side 10L is 10S. For example, 3 times or less. In the configuration of the present embodiment, the width of the U / L-shaped side wiring 20 existing on the side surface 10c of the sheet-like substrate 10 may be 0.25 mm or less, and the space between the wirings 20 may be 0.3 mm or less. . The thickness of the sheet-like substrate 10 is, for example, about 0.1 to 2 mm.

部品内蔵モジュールにビアを形成する場合、基体が正方形であると、最も効果的に多くビアを配列させることができる。言い換えると、基体が細長い長方形や長円形である場合には、正方形の場合と比較して、効果的に数多くのビアを設けることはできない。一方、本実施形態の部品内蔵モジュール100の場合、U/L形側配線20のライン−スペース(L/S)を規定することによって、U/L形側配線20を配列することができるので、正方形の基体のみならず、長方形(例えば長辺10Lが短辺10Sの1.4倍以上ある長方形)の基体にも効果的に数多くのU/L形側配線20を形成することができる。図2に示した形態では、略六面体のシート状基体10における2つの側面10cにU/L形側配線20を形成しているが、U/L形側配線が延在する面、位置および長さ等は、これに限定されない。例えば、U/L形側配線20をより多く形成する場合、全ての側面10cにU/L形側配線20を形成することも可能である。   When vias are formed in the component built-in module, the vias can be arranged most effectively when the base is square. In other words, when the substrate is an elongated rectangle or an ellipse, a large number of vias cannot be effectively provided as compared with a square shape. On the other hand, in the case of the component built-in module 100 of the present embodiment, the U / L side wiring 20 can be arranged by defining the line-space (L / S) of the U / L side wiring 20. Many U / L-shaped side wirings 20 can be effectively formed not only on a square substrate but also on a rectangle (for example, a rectangle having a long side 10L of 1.4 times or more of the short side 10S). In the form shown in FIG. 2, the U / L-shaped side wiring 20 is formed on the two side surfaces 10 c of the substantially hexahedral sheet-like substrate 10, but the surface, position, and length of the U / L-shaped side wiring extend. However, the present invention is not limited to this. For example, when more U / L-shaped side wirings 20 are formed, the U / L-shaped side wirings 20 can be formed on all the side surfaces 10c.

次に、図4〜図6を参照しながら、図2および図3に示すような本実施形態に係る部品内蔵モジュール100の製造方法の1つの態様について説明する。図4〜図6は、図3と同様に模式的な断面図である。   Next, an aspect of a method for manufacturing the component built-in module 100 according to the present embodiment as shown in FIGS. 2 and 3 will be described with reference to FIGS. 4 to 6 are schematic cross-sectional views similar to FIG.

図4(a)〜(d)および図5(a)〜(c)は、部品内蔵モジュール形成部材Aとしての半硬化状態の樹脂を含むシート15を形成する方法を説明するための工程を示す。上述のように、部品内蔵モジュール形成部材Aは、キャリヤシート、その上に配置された少なくとも1本の配線(U/L形側配線となるべき配線)を有して成る配線パターンおよび電子部品、これらの配線パターンおよび電子部品の上に配置された硬化性樹脂を含む絶縁層を有して成る。電子部品は、配線パターンの上に直接配置してもよく(図4(c)参照)、あるいは金属箔を除去して露出したキャリヤシート上に直接配置してもよい(図4(d)参照)。   4 (a) to 4 (d) and FIGS. 5 (a) to 5 (c) show steps for explaining a method of forming a sheet 15 containing a semi-cured resin as the component built-in module forming member A. FIG. . As described above, the component built-in module forming member A includes a carrier sheet, a wiring pattern and an electronic component having at least one wiring (wiring to be a U / L-shaped side wiring) disposed thereon, An insulating layer containing a curable resin disposed on these wiring patterns and electronic components is provided. The electronic component may be disposed directly on the wiring pattern (see FIG. 4C), or may be disposed directly on the carrier sheet exposed by removing the metal foil (see FIG. 4D). ).

部品内蔵モジュール形成部材Aは、
(1−a)キャリヤシート40およびその上に形成された金属層42を有して成る積層体41を準備する工程、
(1−b)金属層42を加工して、少なくとも1本の配線を有して成る配線パターン44を形成すると共に、必要に応じて、電子部品32を配置すべき箇所の下方に位置するキャリヤシートを露出させる工程、
(1−c)露出したキャリヤシートおよび/または配線パターン上に電子部品32を配置する工程、および
(1−d)配線パターン44および電子部品32の上に硬化性樹脂を含む絶縁層15を形成する工程
を含む方法によって準備できる。
The component built-in module forming member A is
(1-a) preparing a laminate 41 having a carrier sheet 40 and a metal layer 42 formed thereon,
(1-b) The metal layer 42 is processed to form a wiring pattern 44 having at least one wiring, and if necessary, a carrier positioned below the location where the electronic component 32 is to be disposed. Exposing the sheet,
(1-c) a step of placing the electronic component 32 on the exposed carrier sheet and / or wiring pattern, and (1-d) forming the insulating layer 15 containing a curable resin on the wiring pattern 44 and the electronic component 32. It can prepare by the method including the process to do.

図4(c)に示すように、電子部品32を配線パターン44の上にのみ所定のように配置する場合(即ち、電子部品をキャリヤシート上に直接接触して配置する必要がない場合)には、工程(1−b)において、電子部品32を配置すべき箇所の下方に位置するキャリヤシート40を露出させる必要はない。図4(d)に示すように、キャリヤシート40上に電子部品32を直接配置する場合には、配置する箇所に対応する部分にてキャリヤシート40を露出させる。当然のことではあるが、キャリヤシート40は、配線パターンの形成により、配線が位置しない部分において露出している。   As shown in FIG. 4C, when the electronic component 32 is arranged in a predetermined manner only on the wiring pattern 44 (that is, when the electronic component does not need to be arranged in direct contact with the carrier sheet). In the step (1-b), it is not necessary to expose the carrier sheet 40 located below the portion where the electronic component 32 is to be disposed. As shown in FIG. 4D, when the electronic component 32 is directly arranged on the carrier sheet 40, the carrier sheet 40 is exposed at a portion corresponding to the place to be arranged. As a matter of course, the carrier sheet 40 is exposed at a portion where the wiring is not located due to the formation of the wiring pattern.

また、必要に応じて、工程(1−c)の後、工程(1−d)の前に、図4(c)および(d)に示すように、電子部品32と配線パターン44とを所定のように電気的に接続してよく、例えば金属細線32bによって接続してよい。このような電気的な接続は、工程(1−c)において、電子部品を配置することによって、配線パターンと電子部品とが電気的に接続される場合、あるいは配線パターンと電子部品との接続が必要でない場合には、省略できる。   Further, if necessary, after the step (1-c) and before the step (1-d), as shown in FIGS. 4C and 4D, the electronic component 32 and the wiring pattern 44 are predetermined. For example, they may be connected by a thin metal wire 32b. Such electrical connection is performed when the wiring pattern and the electronic component are electrically connected by arranging the electronic component in the step (1-c), or when the wiring pattern and the electronic component are connected. If not needed, it can be omitted.

最初に、積層体を準備する工程(1−a)は、図4(a)に示すように、金属層42が一方の表面に形成されたキャリヤシート40を準備することによって実施する。金属層42は例えば銅箔からなり、キャリヤシート40は、例えば金属箔(銅箔もしくはアルミ箔)または樹脂シート等からなる。金属層42およびキャリヤシート40の厚さは、例えばそれぞれ3〜50μm程度および25〜200μm程度である。このような積層体として、回路基板を製造するために種々のものが知られている。   First, the step (1-a) of preparing a laminate is performed by preparing a carrier sheet 40 having a metal layer 42 formed on one surface, as shown in FIG. 4 (a). The metal layer 42 is made of, for example, copper foil, and the carrier sheet 40 is made of, for example, metal foil (copper foil or aluminum foil) or a resin sheet. The thicknesses of the metal layer 42 and the carrier sheet 40 are, for example, about 3 to 50 μm and 25 to 200 μm, respectively. Various types of laminates are known for manufacturing circuit boards.

次に、上述の積層体の金属層42を加工する工程(1−b)は、いずれの適当な既知の方法で実施してもよい。図4(b)に示すように、所定の配線パターン44を形成すること、および電子部品32を配置すべき部分に対応する金属層部分を除去してキャリヤシートを露出させることは、パターニング工程として知られている。このような工程は、例えばマスクを用いるエッチング加工によって実施できる。   Next, the step (1-b) of processing the metal layer 42 of the above-described laminate may be performed by any appropriate known method. As shown in FIG. 4B, forming the predetermined wiring pattern 44 and removing the metal layer portion corresponding to the portion where the electronic component 32 is to be disposed to expose the carrier sheet are a patterning process. Are known. Such a process can be performed by, for example, etching using a mask.

次に、工程(1−c)において電子部品を配置する。1つの態様では、図4(c)に示すように、配線パターン44上に電子部品32および34を配置する。別の態様では、図4(d)に示すように、露出したキャリヤシート40上に電子部品32および34を直接配置する。いずれの態様においても、必要に応じて、配線パターン44と電子部品32および34とを電気的に接続するように実装する。図示した態様では、部品内蔵モジュールにおいてU/L形側配線を構成することになる配線20の一端に形成されたランド20aと電子部品(例えば半導体素子(ベアチップ))32の端子(不図示)とをワイヤボンディングによって金属細線32bを用いて接続する。また、他の電子部品(例えばチップ部品)34は、部品内蔵モジュールにおいてU/L形側配線20を構成することになる配線20の他端に形成されたランド20bに接続し、それによって配線パターン44に電気的に接続する。ここでは、チップ部品34の実装は半田接合によって行うことができる。   Next, electronic components are arranged in the step (1-c). In one aspect, as shown in FIG. 4C, electronic components 32 and 34 are arranged on the wiring pattern 44. In another embodiment, electronic components 32 and 34 are placed directly on the exposed carrier sheet 40, as shown in FIG. 4 (d). In any aspect, the wiring pattern 44 and the electronic components 32 and 34 are mounted so as to be electrically connected as necessary. In the illustrated embodiment, a land 20a formed at one end of a wiring 20 that forms a U / L-shaped side wiring in a component built-in module, and a terminal (not shown) of an electronic component (for example, a semiconductor element (bare chip)) 32 are provided. Are connected using a fine metal wire 32b by wire bonding. Further, another electronic component (for example, a chip component) 34 is connected to a land 20b formed at the other end of the wiring 20 that constitutes the U / L-shaped side wiring 20 in the component built-in module, whereby a wiring pattern is formed. 44 is electrically connected. Here, the chip component 34 can be mounted by solder bonding.

次に、工程(1−d)において絶縁層を形成する。図5(a)および(b)に示すように、電子部品32および34ならびに配線パターン44を覆うように、キャリヤシート40上に樹脂を塗布して絶縁層15を形成する。用いる樹脂は、電気絶縁性の熱硬化性樹脂および/または熱可塑性樹脂である。特に好ましいのは、半硬化状態にある硬化性樹脂、特に熱硬化性樹脂である。樹脂は、上述のようにフィラーを含んでいてよい。絶縁層15の厚さは、例えば50〜100μm程度である。   Next, an insulating layer is formed in step (1-d). As shown in FIGS. 5A and 5B, the insulating layer 15 is formed by applying resin on the carrier sheet 40 so as to cover the electronic components 32 and 34 and the wiring pattern 44. The resin used is an electrically insulating thermosetting resin and / or a thermoplastic resin. Particularly preferred are curable resins in a semi-cured state, in particular thermosetting resins. The resin may contain a filler as described above. The thickness of the insulating layer 15 is, for example, about 50 to 100 μm.

例えば、B−ステージ状態にある熱硬化性樹脂と無機フィラーとを含むコンポジット材料を、キャリヤシート40上に塗布する。一例では、熱硬化性樹脂100重量部に対して、無機フィラーは100重量部以上(好ましくは、140〜180重量部)含まれている。B−ステージ状態とは硬化反応を中間段階でストップさせた状態を意味し、B−ステージ状態の樹脂を更に加熱すると一旦軟化(溶融)した後、完全硬化に至る。尚、完全に硬化した状態をC−ステージと呼ぶ。   For example, a composite material including a thermosetting resin in a B-stage state and an inorganic filler is applied onto the carrier sheet 40. In one example, 100 parts by weight or more (preferably 140 to 180 parts by weight) of the inorganic filler is included with respect to 100 parts by weight of the thermosetting resin. The B-stage state means a state in which the curing reaction is stopped at an intermediate stage. When the resin in the B-stage state is further heated, it is once softened (melted) and then completely cured. The completely cured state is called a C-stage.

無機フィラーとして、Al、BN、またはAlN等を添加した場合には、部品内蔵モジュールの熱伝導性を良好にすることができる。また、適切な無機フィラーを選択することによって、熱膨張係数を調整することが可能である。樹脂成分は、熱膨張係数が比較的大きいが、SiOまたはAlNなどの添加により、絶縁層(部品内蔵モジュールにおけるシート状基体)の熱膨張係数を小さくすることができる。また、場合によっては、MgOを添加することで、熱伝導度を良好にしつつ、熱膨張係数を大きくすることもできる。更に、SiO(特に、非晶質SiO)であれば、熱膨張係数を小さくすることができるともに、誘電率を低くすることができる。 When Al 2 O 3 , BN, AlN or the like is added as the inorganic filler, the thermal conductivity of the component built-in module can be improved. Moreover, it is possible to adjust a thermal expansion coefficient by selecting a suitable inorganic filler. The resin component has a relatively large thermal expansion coefficient, but the thermal expansion coefficient of the insulating layer (the sheet-like substrate in the component built-in module) can be reduced by adding SiO 2 or AlN. In some cases, the thermal expansion coefficient can be increased while improving the thermal conductivity by adding MgO. Further, SiO 2 (in particular, amorphous SiO 2) if both can be reduced thermal expansion coefficient, it is possible to lower the dielectric constant.

上述のように絶縁層を形成すると、部品内蔵モジュール形成部材Aを得ることができる。工程(1−d)の後では、部品内蔵モジュール形成部材Aはキャリヤシートを有した状態であり、そのままの状態で、部品内蔵モジュールの第1の製造方法の工程(1−A)において使用できる   When the insulating layer is formed as described above, the component built-in module forming member A can be obtained. After the step (1-d), the component built-in module forming member A is in a state having a carrier sheet, and can be used in the step (1-A) of the first manufacturing method of the component built-in module as it is.

上述のようにして得られた部品内蔵モジュール形成部材Aを用いて、
(1−B)部品内蔵モジュール形成部材Aの絶縁層が接触状態で対向するように、部品内蔵モジュール形成部材Aを折り曲げて、配線パターンを構成する少なくとも1本の配線の一部が、接触状態で対向する絶縁層を介して対向する上側表面配線部と下側表面配線部となり、かつ該少なくとも1本の配線の他の部分が側面配線部となって、接触状態で対向する絶縁層の側面上で延在するようにする工程、および
(1−C)折り曲げた状態で部品内蔵モジュール形成部材Aの絶縁層の樹脂を硬化する工程
を含む第1部品内蔵モジュール製造方法によって部品内蔵モジュールを製造できる。
Using the component built-in module forming member A obtained as described above,
(1-B) The component built-in module forming member A is bent so that the insulating layers of the component built-in module forming member A face each other in a contact state, and at least one part of the wiring constituting the wiring pattern is in a contact state. The side surface of the insulating layer facing in contact with the upper surface wiring portion and the lower surface wiring portion facing each other through the insulating layer facing each other, and the other portion of the at least one wiring becomes the side wiring portion A component built-in module by a first component built-in module manufacturing method including: a step of extending the upper part; and (1-C) a step of curing the resin of the insulating layer of the component built-in module forming member A in a bent state. it can.

工程(1−B)を実施するに際して、部品内蔵モジュール形成部材Aを折り曲げる前に、図5(c)に示すように、キャリヤシート40を除去してよく、配線パターン44が表面に形成された絶縁層15をシート形態で得ることができる。このシート15では、配線パターン44がその表面で露出すると共に、電子部品32および34が内蔵されている。部品内蔵モジュール形成部材Aの製造に際して、図4(d)に示すように、電子部品を直接キャリヤシート上に配置する場合には、電子部品32の下側表面が露出した状態となる。   When carrying out the step (1-B), before folding the component built-in module forming member A, the carrier sheet 40 may be removed as shown in FIG. 5C, and the wiring pattern 44 is formed on the surface. The insulating layer 15 can be obtained in sheet form. In the sheet 15, the wiring pattern 44 is exposed on the surface, and the electronic components 32 and 34 are incorporated. When the component built-in module forming member A is manufactured, as shown in FIG. 4D, when the electronic component is arranged directly on the carrier sheet, the lower surface of the electronic component 32 is exposed.

工程(1−B)において、例えば、シート15を折り畳んで、図6(a)に示すような構造にする(図示した態様では、シート15を丁度半分に折り畳んでいる)。即ち、絶縁層15が点線11で示す面で接触状態で対向するように折り曲げて、配線パターンを構成する少なくとも1本の配線20の一部(20−1および20−2)が絶縁層15を介して対向する上側表面配線部および下側表面配線部となり、かつ該少なくとも1本の配線の他の部分(20−3)が、折り曲げ後の絶縁層15の側面上で延在する側面配線部となるようにする。従って、上側表面配線部20−1、下側表面配線部20−2および側面配線部20−3から成る配線20は、絶縁層15の上側表面から側面を経由して下側表面に延在する少なくとも一本の配線、即ち、U/L形側配線を構成する。図6(a)に示す構造は、絶縁層15の図中左側の側面にU/L形側配線が存在していないこと、および絶縁層が重なっていることを除いて、図3に示す部品内蔵モジュール100の構造と実質的に同様である。図3に示す構造のものを得るためには、例えば、部品内蔵モジュール形成部材Aを2箇所にU/L形側配線を形成する配線を位置させ、当該箇所にて部材を折り畳む必要がある(図8参照)。あるいは、図6(a)は、図2に示す部品内蔵モジュールにおいて、一方の側面にU/L形側配線が位置しない箇所にて切断した断面を示しているともいえる。   In step (1-B), for example, the sheet 15 is folded into a structure as shown in FIG. 6A (in the illustrated embodiment, the sheet 15 is folded in half). That is, the insulating layer 15 is bent so as to face each other in a contact state on the surface indicated by the dotted line 11, and a part (20-1 and 20-2) of at least one wiring 20 constituting the wiring pattern forms the insulating layer 15. A side wiring portion that becomes an upper surface wiring portion and a lower surface wiring portion that face each other and the other portion (20-3) of the at least one wiring extends on the side surface of the insulating layer 15 after being bent To be. Accordingly, the wiring 20 composed of the upper surface wiring portion 20-1, the lower surface wiring portion 20-2, and the side surface wiring portion 20-3 extends from the upper surface of the insulating layer 15 to the lower surface via the side surface. At least one wiring, that is, a U / L-shaped side wiring is configured. The structure shown in FIG. 6A is the component shown in FIG. 3 except that there is no U / L-shaped side wiring on the left side surface of the insulating layer 15 and that the insulating layers overlap. The structure of the built-in module 100 is substantially the same. In order to obtain the structure shown in FIG. 3, for example, the component built-in module forming member A needs to be located at two places where the U / L-shaped side wiring is formed, and the member needs to be folded at that place ( (See FIG. 8). Alternatively, it can be said that FIG. 6A shows a cross section of the component built-in module shown in FIG. 2 cut at a location where the U / L-shaped side wiring is not located on one side surface.

次いで、工程(1−C)において、図6(a)に示した構造体を、加熱および加圧して完全硬化させると、図6(b)に示すように、重ねた絶縁層が1つのシート状基体10となり、このシート状基体が本発明の部品内蔵モジュール100となる。図6(b)に示した状態では、シート状基体10は完全硬化しているので、Cステージとなっている。樹脂が、熱可塑性である場合には、加熱および加圧の後、単に冷却すれば硬化状態となる。尚、図6(b)では絶縁層の接触面11を示しているが、硬化後には明確に存在しなくてもよい。   Next, in the step (1-C), when the structure shown in FIG. 6A is heated and pressed to be completely cured, as shown in FIG. 6B, the stacked insulating layers form one sheet. The sheet-like substrate becomes the component built-in module 100 of the present invention. In the state shown in FIG. 6B, since the sheet-like substrate 10 is completely cured, it is a C stage. If the resin is thermoplastic, it will be cured by simply cooling after heating and pressing. Although FIG. 6B shows the contact surface 11 of the insulating layer, it may not be clearly present after curing.

上述のように部品内蔵モジュール形成部材を折り畳む前に図5(c)のようにキャリヤシート40を取り除くのではなく、部品内蔵モジュール形成部材を折り畳んだ後、硬化する前に、キャリヤシート40を取り除いてもよい。また、キャリヤシート40の除去は、部品内蔵モジュールが完成した後、例えば、硬化させた後に、あるいは部品内蔵モジュールを実装する前に、実施してもよい。   Instead of removing the carrier sheet 40 as shown in FIG. 5C before folding the component built-in module forming member as described above, the carrier sheet 40 is removed after folding the component built-in module forming member and before curing. May be. Further, the carrier sheet 40 may be removed after the component built-in module is completed, for example, after being cured, or before the component built-in module is mounted.

図6(a)では、理解しやすいように、シート15を折り畳んだ際に現れる合わせ面を点線11で示している。加熱および加圧後は、シート15は一体化してシート状基体10となるため、合わせ面11は存在しないことが多いが、残っていてもよい。   In FIG. 6A, for easy understanding, a mating surface that appears when the sheet 15 is folded is indicated by a dotted line 11. After heating and pressurization, the sheet 15 is integrated into the sheet-like substrate 10, so that the mating surface 11 does not often exist but may remain.

次に、第2部品内蔵モジュール製造方法を説明する。第2部品内蔵モジュール製造方法は、上述の工程(2−A)において使用する部品内蔵モジュール形成部材が部品内蔵基盤形成部材Bである点で、第1部品内蔵モジュール製造方法と異なる。その他の点においては、第1部品内蔵モジュール製造方法と同じであってよい。   Next, the second component built-in module manufacturing method will be described. The second component built-in module manufacturing method is different from the first component built-in module manufacturing method in that the component built-in module forming member used in the step (2-A) is the component built-in substrate forming member B. Other points may be the same as the first component built-in module manufacturing method.

部品内蔵モジュール形成部材Bの製造方法を図56および図57を参照して説明する。この製造方法では、先の部品内蔵モジュール形成部材Aの製造方法と同様に、
(2−a)キャリヤシート40およびその上に形成された金属層を有して成る積層体を準備する工程、および
(2−b)金属層を加工して少なくとも1本の配線を有して成る配線パターン44を形成する工程
を実施する。
A method of manufacturing the component built-in module forming member B will be described with reference to FIGS. In this manufacturing method, similarly to the manufacturing method of the component built-in module forming member A,
(2-a) preparing a laminate comprising the carrier sheet 40 and a metal layer formed thereon; and (2-b) processing the metal layer to have at least one wiring. A step of forming the wiring pattern 44 is performed.

その後、
(2−c)配線パターン44上に樹脂を含んで成る絶縁層15、好ましくは硬化性樹脂(特に熱硬化性樹脂)を含んで成る絶縁層15を形成する工程、および
(2−d)絶縁層15上に電子部品32を配置する工程
を実施する。
afterwards,
(2-c) forming an insulating layer 15 containing a resin on the wiring pattern 44, preferably an insulating layer 15 containing a curable resin (especially a thermosetting resin); and (2-d) insulation. A step of arranging the electronic component 32 on the layer 15 is performed.

この方法では、部品内蔵モジュール形成部材Aの製造方法とは異なり、先に絶縁層15を形成し、形成した絶縁層の上に電子部品32を配置する。絶縁層は、形成した配線パターン44の全体を覆うように形成してもよく(図56(a)参照)、あるいは、配線パターンの一部分が露出して残りの部分が覆われるように形成してもよい(図57(a)参照)。配線パターンの一部分を露出させる場合、必要に応じて、配線パターンの露出部分と配置した電子部品32を所定のように、例えば金属細線32bによって、電気的に接続することができる。このようにして得られた部品内蔵モジュール形成部材Bを、第1部品内蔵モジュール製造方法の工程(1−B)および(1−C)と同様にして、上述の工程(2−B)および工程(2−C)を経て、部品内蔵モジュール形成部材Bを折り畳んで絶縁層を硬化させることによって本発明の部品内蔵モジュール500を得ることができる。   In this method, unlike the manufacturing method of the component built-in module forming member A, the insulating layer 15 is formed first, and the electronic component 32 is arranged on the formed insulating layer. The insulating layer may be formed so as to cover the entire formed wiring pattern 44 (see FIG. 56A), or formed so that a part of the wiring pattern is exposed and the remaining part is covered. It is also possible (see FIG. 57 (a)). When exposing a part of the wiring pattern, the exposed part of the wiring pattern and the arranged electronic component 32 can be electrically connected in a predetermined manner, for example, by a thin metal wire 32b. The component built-in module forming member B obtained in this way is the same as the steps (1-B) and (1-C) of the first component built-in module manufacturing method described above. Through (2-C), the component built-in module 500 of the present invention can be obtained by folding the component built-in module forming member B and curing the insulating layer.

図56(a)は、部品内蔵モジュール形成部材Bの模式的断面図を示し、キャリヤシート40上に形成した配線パターン44の全体を覆うように絶縁層15が形成され、絶縁層の上に端子33を有する電子部品32が配置されている。このような部品内蔵モジュール形成部材を、図56(b)に示すように、工程(2−A)にて配線パターン44を構成する少なくとも1本の配線がU/L形側配線20を形成するように折り畳み、その後、工程(2−B)にて加熱および加圧することによって部品内蔵モジュールを得る。尚、部品内蔵モジュールは、図56(a)に示す部品内蔵モジュール形成部材Bの状態からキャリヤシート40を除去した後に、図56(c)に示すように折り畳んで、その後、硬化させる方法で製造してよい。別の形態では、図56(a)に示すようなキャリヤシート40を有する状態で折り畳んで図56(b)の状態として硬化させた後、キャリヤシート40を除去して部品内蔵モジュールを得てもよく、あるいは部品内蔵モジュールとして使用するまで、キャリヤシートを有する状態のままとしておいてもよい。   FIG. 56A is a schematic cross-sectional view of the component built-in module forming member B. The insulating layer 15 is formed so as to cover the entire wiring pattern 44 formed on the carrier sheet 40, and the terminal is formed on the insulating layer. An electronic component 32 having 33 is arranged. In such a component built-in module forming member, as shown in FIG. 56B, at least one wiring constituting the wiring pattern 44 forms the U / L-shaped side wiring 20 in the step (2-A). After that, the component built-in module is obtained by heating and pressurizing in the step (2-B). The component built-in module is manufactured by a method in which the carrier sheet 40 is removed from the state of the component built-in module forming member B shown in FIG. 56A, then folded as shown in FIG. 56C, and then cured. You can do it. In another form, even if the carrier sheet 40 as shown in FIG. 56 (a) is folded and cured as shown in FIG. 56 (b), the carrier sheet 40 is removed to obtain a component built-in module. Alternatively, the carrier sheet may be left until it is used as a component built-in module.

容易に理解できるように、工程(2−A)において、部品内蔵モジュール形成部材Bを折り畳んで、絶縁層を接触状態で相互に対向させるときに、対向する絶縁層の重なりの程度を変えることによって、部品内蔵モジュール形成部材Bにおいて露出している電子部品の表面(図56または図57では上側表面)を、部品内蔵モジュールの上側表面および下側表面のいずれか一方(図56では上側表面)にて露出させる(例えば、図56に示すように部品内蔵モジュールの上側にて露出状態にする)、あるいは図57に示すように部品内蔵モジュールの内部に完全に埋設することができる。さらに、必要に応じて、絶縁層の重なりの程度および/または加熱加圧条件を調整して、絶縁層を構成する材料が端子33の間の領域を埋めるようにしてよい(図56(a)参照)。   As can be easily understood, in the step (2-A), when the component built-in module forming member B is folded and the insulating layers are opposed to each other in a contact state, the overlapping degree of the opposing insulating layers is changed. The surface of the electronic component exposed in the component built-in module forming member B (upper surface in FIG. 56 or 57) is set to one of the upper surface and the lower surface (upper surface in FIG. 56) of the component built-in module. (For example, as shown in FIG. 56, it is exposed above the component built-in module), or as shown in FIG. 57, it can be completely embedded in the component built-in module. Further, if necessary, the degree of overlapping of the insulating layers and / or the heating and pressing conditions may be adjusted so that the material constituting the insulating layers fills the region between the terminals 33 (FIG. 56A). reference).

さらに、図58を参照して、第3部品内蔵モジュール製造方法を説明する。第3部品内蔵モジュール製造方法においては、上述の部品内蔵モジュール部材Aの製造工程(1−a)から(1−c)を実施して、図58(a)に示すような、部品内蔵モジュール形成部材Cを得る(工程(3−A))。次に、図58(b)に示すように、この部品内蔵モジュール形成部材Cを、配線層44を内側にして、U/L形側配線20となるべき部分が略U字形となるように折り曲げる(工程(3−B)。次に、図58(c)に示すように、硬化性樹脂を含む材料15aを折り曲げにより形成された凹部に注入し(工程3−C)する。注入する材料は、絶縁性のシート状基体を構成する材料として先に例示した材料から選択され、好ましくは、熱硬化性樹脂および無機フィラーを含むコンポジット材料である。注入した材料に含まれる硬化性樹脂を加熱および加圧により硬化させた後(工程3−D)、キャリヤシート40を除去して配線層を露出させると(工程3−E)、図58(d)に示す本発明の部品内蔵モジュール100が得られる。   Further, the third component built-in module manufacturing method will be described with reference to FIG. In the third component built-in module manufacturing method, the above-described component built-in module member A manufacturing steps (1-a) to (1-c) are performed to form a component built-in module as shown in FIG. The member C is obtained (step (3-A)). Next, as shown in FIG. 58 (b), the component built-in module forming member C is bent with the wiring layer 44 on the inside so that the portion to be the U / L-shaped side wiring 20 is substantially U-shaped. (Step (3-B). Next, as shown in FIG. 58 (c), a material 15a containing a curable resin is injected into the recessed portion formed by bending (step 3-C). The composite material containing the thermosetting resin and the inorganic filler is preferably selected from the materials exemplified above as the material constituting the insulating sheet-like substrate, and the curable resin contained in the injected material is heated and After curing by pressurization (step 3-D), the carrier sheet 40 is removed to expose the wiring layer (step 3-E), whereby the component built-in module 100 of the present invention shown in FIG. 58 (d) is obtained. It is done.

以上のようにして部品内蔵モジュールを製造すれば、U/L形側配線20を有し、電子部品32、34が内蔵されたシート状基体10を得ることができる。シート状基体10の上側表面10aと下側表面10bとの間の電気的導通はU/L形側配線20によって確保されるので、シート状基体10に、ビアを形成する必要がなく、従って、ビアを形成する工程を省略することができる。   If the component built-in module is manufactured as described above, the sheet-like substrate 10 having the U / L-shaped side wiring 20 and incorporating the electronic components 32 and 34 can be obtained. Since electrical conduction between the upper surface 10a and the lower surface 10b of the sheet-like substrate 10 is ensured by the U / L-shaped side wiring 20, there is no need to form vias in the sheet-like substrate 10, and therefore The step of forming the via can be omitted.

このように、本発明の部品内蔵モジュールにおいては、ビアを形成する必要がないので、パンチまたはレーザー等を用いるビアの加工に伴う、基体シートを構成する材料の制限は無くなる。したがって、例えば、基体シートを構成する材料(即ち、絶縁層を形成する材料)に、レーザー光を吸収し難い材料(ガラス、シリカ等)のフィラーを混入させることが可能となる。その結果、そのようなフィラーを用いて基体材料の物性(熱伝導率、熱膨張率)を調整することができるようになる。また、導電性ペーストを用いるビア接続には、絶縁層を構成する材料の粘度を最適化してビア形状を安定化することが一般的に必要であるため、電子部品の内蔵に伴ってボイドが生じやすい。これに対し、本発明の部品内蔵モジュールにおいては、電子部品の内蔵に適した柔らかい樹脂を用いることができるので、そのようなボイドの生成を抑制することができる。加えて、材料の制限を受けないことにより、ワイヤーボンディング等の実装方法も比較的自由に採用することができる。   Thus, in the component built-in module of the present invention, since there is no need to form a via, there is no restriction on the material constituting the base sheet accompanying the processing of the via using a punch or a laser. Therefore, for example, a filler (material such as glass or silica) that hardly absorbs laser light can be mixed into the material constituting the base sheet (that is, the material forming the insulating layer). As a result, the physical properties (thermal conductivity, thermal expansion coefficient) of the base material can be adjusted using such a filler. In addition, via connection using conductive paste generally requires optimization of the viscosity of the material constituting the insulating layer and stabilization of the via shape, so voids are generated with the incorporation of electronic components. Cheap. On the other hand, in the component built-in module of the present invention, since a soft resin suitable for incorporating an electronic component can be used, generation of such voids can be suppressed. In addition, mounting methods such as wire bonding can be used relatively freely by not being restricted by the material.

さらに、本発明の部品内蔵モジュールの製造方法は、高精度が要求されるビア形成工程自体を省略し得ることによって、モジュールの製造方法の簡略化および低コスト化が可能となる。加えて、パンチャーおよびレーザー装置等の設備も不要となるので、その点でも部品内蔵モジュールの製造コストを低下させることができる。また、配線パターンおよびその上に形成されたシート状絶縁層を有する部品内蔵モジュール形成部材を折り畳むことによって部品内蔵モジュールを形成するので、ビア接続において必要である、部品内蔵モジュールの上下面でランドを位置合わせして形成することが不要となり、また、ビア含有部品内蔵モジュールを作製する場合における、ビアとランドとの位置合わせ工程を実行する必要もない。   Furthermore, the method for manufacturing a module with a built-in component according to the present invention can omit the via formation process itself that requires high accuracy, thereby simplifying the manufacturing method and reducing the cost of the module. In addition, since facilities such as a puncher and a laser device are not required, the manufacturing cost of the component built-in module can be reduced in this respect. In addition, since the component built-in module is formed by folding the component built-in module forming member having the wiring pattern and the sheet-like insulating layer formed thereon, the land is formed on the upper and lower surfaces of the component built-in module, which is necessary for via connection. It is not necessary to form by alignment, and it is not necessary to perform a via and land alignment process in the case of producing a via-containing component built-in module.

更に、U/L形側配線20は、部品内蔵モジュール形成部材を折り畳むことにより比較的容易に形成でき、また、ビア接続と比較して狭ピッチに容易に対応できる。更に、ビアではなく、U/L形側配線20によって上側表面と下側表面とを繋ぐことで部品内蔵モジュールの信頼性を向上させることもできる。つまり、ビア接続の場合、ビア部(導電性ペーストやメッキ)とランド部との接触によって電気的に結合しているため、基体が厚さ方向に熱膨張すると、接触部が離間することがあり、その結果、モジュールの信頼性が低下してしまうことがある。他方、本発明の場合、金属層(例えば銅箔)から加工したU/L形側配線20(即ち、U/L形側配線は一体である)によって上側表面と下側表面とを接続できるので、ビア接続と比較して、信頼性を向上させることができる。U/L形側配線20は、電解銅箔(ED箔)を有する積層体から形成することが好適である。電解銅箔からU/L形側配線20を形成すると、銅箔厚みが均一であるので、インピーダンス制御および/または配線パターン形成を有利にできる。   Further, the U / L-shaped side wiring 20 can be formed relatively easily by folding the component built-in module forming member, and can easily cope with a narrow pitch as compared with the via connection. Furthermore, the reliability of the component built-in module can be improved by connecting the upper surface and the lower surface not by the via but by the U / L-shaped side wiring 20. In other words, in the case of via connection, since the via portion (conductive paste or plating) and the land portion are electrically coupled to each other, the contact portion may be separated when the base is thermally expanded in the thickness direction. As a result, the reliability of the module may be reduced. On the other hand, in the case of the present invention, the upper surface and the lower surface can be connected by the U / L-shaped side wiring 20 processed from the metal layer (for example, copper foil) (that is, the U / L-shaped side wiring is integrated). Compared with via connection, the reliability can be improved. The U / L-shaped side wiring 20 is preferably formed from a laminate having an electrolytic copper foil (ED foil). When the U / L-shaped side wiring 20 is formed from the electrolytic copper foil, since the thickness of the copper foil is uniform, impedance control and / or wiring pattern formation can be advantageously performed.

また、本発明の部品内蔵モジュールの製造方法では、製造の途中の段階において検査を行うことができる利点もある。例えば、図4(c)に示した部品内蔵モジュール形成部材の製造の途中の段階において、電子部品と配線パターンとの電気的な接続を完了させることが可能であるから、この段階で電気的な検査を行うことができる。検査は、所定箇所の電気抵抗値を調べ、例えばスキャナ及びマルチメータを用いて自動的にテストすることによって実行することができる。更に、電気抵抗値の確認だけでなく、実動作の確認もできる。これらの検査を実施して、部品内蔵モジュール形成部材の段階で、接続不良と判断された場合には、電子部品のリペア(取り替え)を容易に行うことができる。その結果、部品内蔵モジュールの製造における歩留まりを向上させることができる。また、試作タイプの部品内蔵モジュールを作製する場合でも、リペアを行うことができるのは非常に都合が良い。これに対して、図1に示した従来の部品内蔵モジュール400では、製造途中の段階において電子部品と配線との間の電気的接続の検査を行うのは困難である。   In addition, the method for manufacturing a component built-in module according to the present invention has an advantage that inspection can be performed in the middle of manufacturing. For example, since it is possible to complete the electrical connection between the electronic component and the wiring pattern in the middle of manufacturing the component built-in module forming member shown in FIG. Inspection can be performed. The inspection can be performed by checking the electrical resistance value at a predetermined location and automatically testing using, for example, a scanner and a multimeter. Furthermore, not only the electrical resistance value but also the actual operation can be confirmed. When these inspections are performed and it is determined that the connection is defective at the stage of the component built-in module forming member, the electronic component can be easily repaired (replaced). As a result, the yield in manufacturing the component built-in module can be improved. In addition, it is very convenient that repair can be performed even when a prototype type component built-in module is manufactured. On the other hand, in the conventional component built-in module 400 shown in FIG. 1, it is difficult to inspect the electrical connection between the electronic component and the wiring in the middle of manufacturing.

本発明の部品内蔵モジュールの製造方法によれば、従来必須であったビア形成工程を必要とすることなく部品内蔵モジュールを提供できるので、部品内蔵モジュールの製造効率を向上させることができる。また、本発明の部品内蔵モジュールは、実装面積が小さいものでも、ビアを形成する必要がないので、より多くの端子を形成することができる。その結果、小型化、多ピン化および狭ピッチ化のトレンドに対応できる。加えて、本発明の部品内蔵モジュールにおいては、電子部品間の接続距離を短くでき、モジュールの雑音を低減することができる。   According to the method for manufacturing a component built-in module of the present invention, the component built-in module can be provided without requiring a via formation step that has been essential in the past, so that the manufacturing efficiency of the component built-in module can be improved. Moreover, even if the component built-in module of the present invention has a small mounting area, it is not necessary to form vias, so that more terminals can be formed. As a result, it is possible to cope with the trend of downsizing, increasing the number of pins and narrowing the pitch. In addition, in the component built-in module of the present invention, the connection distance between the electronic components can be shortened, and the noise of the module can be reduced.

(実施形態2)
次に、図7(a)および(b)を参照しながら、本発明の実施形態2に係る部品内蔵モジュールについて説明する。図7(a)は、本実施形態の部品内蔵モジュール200の構成を模式的に示す底面図であり、図7(b)は、図7(a)に示した部品内蔵モジュール200の模式的断面図である。但し、図7(b)に図示した端子33の位置は、図7(a)に示す端子の位置と正確に対応していない。電子部品に応じて、1つの形態では図7(a)に示す配列であり、別の形態では図7(b)に示す配列であってよい。後述するいずれの実施形態においても、説明の簡略化のため、実施形態1に関連して説明した部品、要素、および製造方法は、その説明を省略または簡略化する。
(Embodiment 2)
Next, a component built-in module according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to FIGS. 7 (a) and 7 (b). FIG. 7A is a bottom view schematically showing the configuration of the component built-in module 200 of the present embodiment, and FIG. 7B is a schematic cross section of the component built-in module 200 shown in FIG. FIG. However, the position of the terminal 33 illustrated in FIG. 7B does not exactly correspond to the position of the terminal illustrated in FIG. Depending on the electronic component, the arrangement shown in FIG. 7A may be used in one form, and the arrangement shown in FIG. 7B may be used in another form. In any of the embodiments described later, the description of the components, elements, and manufacturing method described in connection with the first embodiment is omitted or simplified for the sake of simplicity.

図7(a)および(b)に示した部品内蔵モジュール200は、電子部品としての半導体素子32と、半導体素子32を内蔵するシート状基体10と、シート状基体10の上側表面10a、下側表面10bおよび側面10cにわたって延びるU/L形側配線20とを有している。図2に示した部品内蔵モジュール100における半導体素子32はU/L形側配線20と電気的に接続されているが、本実施形態の部品内蔵モジュール200では、半導体素子32はシート状基体10に内蔵されているものの、半導体素子32はU/L形側配線20と電気的に接続されていない。   The component built-in module 200 shown in FIGS. 7A and 7B includes a semiconductor element 32 as an electronic component, a sheet-like substrate 10 incorporating the semiconductor element 32, an upper surface 10a of the sheet-like substrate 10, and a lower side. U / L-shaped side wiring 20 extending over the surface 10b and the side surface 10c. The semiconductor element 32 in the component built-in module 100 shown in FIG. 2 is electrically connected to the U / L side wiring 20. However, in the component built-in module 200 of this embodiment, the semiconductor element 32 is attached to the sheet-like substrate 10. Although incorporated, the semiconductor element 32 is not electrically connected to the U / L-shaped side wiring 20.

本実施形態の部品内蔵モジュール200では、半導体素子32の底面がシート状基体10の底面(下側表面)10bにて露出しており、そして、半導体素子32の底面には複数の端子33が二次元的に配列されている。シート状基体10の底面10bには、U/L形側配線20と接続されるランド20bが複数配置されている。本実施形態の部品内蔵モジュール200では、半導体素子32とU/L形側配線20とが直接電気的に接続されていないので、両者を電気的に接続したい場合には、部品内蔵モジュール200を例えば配線基板(マザーボード)に実装して、その配線基板を介して両者を電気的に接続できる。本実施形態の部品内蔵モジュールは、内蔵する半導体素子32を他の配線等と接続する必要がないという利点を有する。半導体素子32に加えて、シート状基体10内に受動部品(例えば図3のチップ部品34)を内蔵させることも可能である。   In the component built-in module 200 of the present embodiment, the bottom surface of the semiconductor element 32 is exposed at the bottom surface (lower surface) 10b of the sheet-like substrate 10, and a plurality of terminals 33 are provided on the bottom surface of the semiconductor element 32. Dimensionally arranged. A plurality of lands 20 b connected to the U / L-shaped side wiring 20 are arranged on the bottom surface 10 b of the sheet-like substrate 10. In the component built-in module 200 according to the present embodiment, the semiconductor element 32 and the U / L-shaped side wiring 20 are not directly electrically connected. It can be mounted on a wiring board (mother board), and both can be electrically connected via the wiring board. The component built-in module of the present embodiment has an advantage that the built-in semiconductor element 32 does not need to be connected to other wiring or the like. In addition to the semiconductor element 32, a passive component (for example, the chip component 34 in FIG. 3) can be incorporated in the sheet-like substrate 10.

本実施形態における半導体素子32は、例えば端子33がエリアアレイ状に配列されたエリアレイ型半導体パッケージである。図7に示した例では、半導体素子32として、エリアアレイCSP(エリアアレイ・チップサイズパッケージ)を用いている。エリアアレイCSPとしては、例えばLGA(ランド・グリッド・アレイ)タイプのCSP、またはBGA(ボール・グリッド・アレイ)タイプのCSPを使用することができる。図7に示した半導体素子(エリアアレイCSP)32は、LGAタイプのCSPである。エリアアレイCSPとしては、ベアチップをインタポーザ(中間基板)に実装し、そのインタポーザによって、ベアチップのペリフェラル端子配列をエリアアレイ端子配列に変換した構成のもの(例えばFBGA、FLGA等)、あるいはインタポーザを用いずに、ベアチップ上に絶縁層を形成し、その絶縁層上で再配線(配線の引き回し)を行うことによって、ベアチップのペリフェラル端子配列をエリアアレイ端子配列に変換した構成のもの(例えばRCSP、リアルサイズCSP等)を用いることができる。   The semiconductor element 32 in the present embodiment is, for example, an area lay type semiconductor package in which terminals 33 are arranged in an area array. In the example shown in FIG. 7, an area array CSP (area array chip size package) is used as the semiconductor element 32. As the area array CSP, for example, an LGA (Land Grid Array) type CSP or a BGA (Ball Grid Array) type CSP can be used. The semiconductor element (area array CSP) 32 shown in FIG. 7 is an LGA type CSP. As the area array CSP, a bare chip is mounted on an interposer (intermediate substrate), and the peripheral terminal arrangement of the bare chip is converted into an area array terminal arrangement by the interposer (for example, FBGA, FLGA, etc.), or an interposer is not used. In addition, an insulating layer is formed on the bare chip, and rewiring (wiring routing) is performed on the insulating layer to convert the peripheral terminal arrangement of the bare chip into an area array terminal arrangement (for example, RCSP, real size). CSP, etc.) can be used.

次に、図8(a)〜(c)を参照しながら、本実施形態の部品内蔵モジュール200の製造方法の一例を説明する。   Next, an example of a method for manufacturing the component built-in module 200 of the present embodiment will be described with reference to FIGS.

まず、部品内蔵モジュール形成部材Bを準備する。部品内蔵モジュール形成部材Bは、図8(a)に示すように、キャリヤシート40上に配線パターン44が形成され、その上に絶縁層15が形成され、その上に電子部品としての半導体素子(エリアアレイCSP)32が配置された構成を有する。絶縁層15は、U/L形側配線20となる配線を含む配線パターン44を有するキャリヤシート40上に形成された、例えば半硬化状態(Bステージ)の樹脂層である。このような部品内蔵モジュール形成部材Bは、図4(a)〜図4(b)に示すように配線パターン44を形成した後、図56(a)に示すように、配線パターン44を覆うようにキャリヤシート40上に絶縁層15を形成し、その後、電子部品32を配置することにより得られる。   First, the component built-in module forming member B is prepared. In the component built-in module forming member B, as shown in FIG. 8A, a wiring pattern 44 is formed on a carrier sheet 40, an insulating layer 15 is formed thereon, and a semiconductor element (electronic component) (electronic component) is formed thereon. Area array CSP) 32 is arranged. The insulating layer 15 is, for example, a semi-cured (B stage) resin layer formed on the carrier sheet 40 having the wiring pattern 44 including the wiring to be the U / L-shaped side wiring 20. Such a component built-in module forming member B covers the wiring pattern 44 as shown in FIG. 56A after forming the wiring pattern 44 as shown in FIGS. 4A to 4B. Then, the insulating layer 15 is formed on the carrier sheet 40, and then the electronic component 32 is disposed.

次に、図8(b)に示すように、部品内蔵モジュール形成部材Bの右側の絶縁層15を、キャリヤシート40と共に折り曲げる。次いで、図8(c)に示すように、絶縁層15を折り畳んで絶縁層(15−1および15−2)を相互に対向させ、シート状基体10の一部の形状を形作る。これらの絶縁層は、図示するように接触していても(接触面を点線で図示している)、あるいは対向する絶縁層の間に空隙部が存在してもよい。この折り畳みによって、U/L形側配線20の側面配線部が、絶縁層15の折り曲げ部で延在する。この折り曲げ部は、シート状基体10の側面となる。部品内蔵モジュール形成部材Bの左側の絶縁層15も同様に折り畳み、シート状基体10の全体の形状を完成させた後、その折り畳み体を加熱および加圧すれば、樹脂が完全硬化して、シート状基体10を含む、本発明の部品内蔵モジュール200が得られる。   Next, as shown in FIG. 8B, the insulating layer 15 on the right side of the component built-in module forming member B is bent together with the carrier sheet 40. Next, as shown in FIG. 8C, the insulating layer 15 is folded so that the insulating layers (15-1 and 15-2) face each other, thereby forming a partial shape of the sheet-like substrate 10. These insulating layers may be in contact as shown (the contact surface is indicated by a dotted line), or there may be a gap between the opposing insulating layers. By this folding, the side wiring portion of the U / L-shaped side wiring 20 extends at the bending portion of the insulating layer 15. This bent portion becomes the side surface of the sheet-like substrate 10. The insulating layer 15 on the left side of the component built-in module forming member B is similarly folded, and after the entire shape of the sheet-like substrate 10 is completed, if the folded body is heated and pressurized, the resin is completely cured, and the sheet The component built-in module 200 of the present invention including the substrate 10 is obtained.

次に、部品内蔵モジュール200の変形例について説明する。1つの変形例では、本発明の部品内蔵モジュール200に、追加の電子部品を更に実装することができる。図9に示す部品内蔵モジュール210では、図7に示した部品内蔵モジュール200の上面に、追加の電子部品62として半導体パッケージが実装されている。図9に示した部品内蔵モジュール210においては、シート状基体10の上面に位置し、U/L形側配線20と接続されている端子(ランド)20aと、半導体パッケージ62の端子(リード)63とが接続されている。図9に示した態様では、電子部品32および62が三次元方向に並んで(即ち、シート状基体の厚さ方向に重ねて)配置されており、実質的に利用可能な実装面積が拡大されている。   Next, a modified example of the component built-in module 200 will be described. In one modification, an additional electronic component can be further mounted on the component built-in module 200 of the present invention. In the component built-in module 210 shown in FIG. 9, a semiconductor package is mounted as an additional electronic component 62 on the upper surface of the component built-in module 200 shown in FIG. In the component built-in module 210 shown in FIG. 9, a terminal (land) 20 a that is located on the upper surface of the sheet substrate 10 and is connected to the U / L-shaped side wiring 20, and a terminal (lead) 63 of the semiconductor package 62. And are connected. In the embodiment shown in FIG. 9, the electronic components 32 and 62 are arranged side by side in the three-dimensional direction (that is, overlapped in the thickness direction of the sheet-like base), and the mounting area that can be practically used is enlarged. ing.

尚、図9に示した構成において、符号20a’は、ランド20aから延びた配線パターンの配線部分を表しており、これを含めて回路が形成されている。また、半導体パッケージ62とシート状基体10の上側表面との間には、隙間が形成されていてもよく、シート状基体10の上側表面上にハンダレジストが形成されていてもよい。また、半導体パッケージ62のリード63にある程度のリード高さ(または長さ)があれば、半導体パッケージ62とシート状基体10の上面との間に別の電子部品を配置することも可能である。   In the configuration shown in FIG. 9, reference numeral 20a 'represents a wiring portion of a wiring pattern extending from the land 20a, and a circuit is formed including this. Further, a gap may be formed between the semiconductor package 62 and the upper surface of the sheet-like substrate 10, and a solder resist may be formed on the upper surface of the sheet-like substrate 10. Further, if the lead 63 of the semiconductor package 62 has a certain lead height (or length), another electronic component can be disposed between the semiconductor package 62 and the upper surface of the sheet-like substrate 10.

図10に示した部品内蔵モジュール220は、図9に示した部品内蔵モジュール210と比べて、半導体素子32の構成が相違する。図10に示した部品内蔵モジュール220は、半導体素子32が例えばベアチップであり、そのベアチップ32をフリップチップ実装した構成を有している。ベアチップ32の素子端子32aは、接続部材(例えば、バンプ)32cを介して配線20b’に接続されている。配線20b’は、他の配線と相互に接続されていてよく、あるいは独立したランドであってよい。配線20b’は、部品内蔵モジュールを別の回路基板に接続するための端子として作用し得ることがあり、その意味で「端子」と呼ぶことがある。半導体素子32と接続される配線20b’が端子として機能する場合、その配列は、一次元的配列(周辺端子配列)であってもよいし、二次元的配列(エリアアレイ端子配列)であってもよい。また、配線20b’は、U/L形側配線20が接続される端子(20b)として構成することも可能であるし、配線20b’とU/L形側配線20とを電気的に接続しないようにすることも可能である。この部品内蔵モジュール220は、第1部品内蔵モジュール製造方法により製造できる。   The component built-in module 220 shown in FIG. 10 differs from the component built-in module 210 shown in FIG. 9 in the configuration of the semiconductor element 32. The component built-in module 220 shown in FIG. 10 has a configuration in which the semiconductor element 32 is a bare chip, for example, and the bare chip 32 is flip-chip mounted. The element terminal 32a of the bare chip 32 is connected to the wiring 20b 'via a connection member (for example, bump) 32c. The wiring 20b 'may be interconnected with other wiring, or may be an independent land. The wiring 20b 'may act as a terminal for connecting the component built-in module to another circuit board, and may be referred to as a "terminal" in that sense. When the wiring 20b ′ connected to the semiconductor element 32 functions as a terminal, the array may be a one-dimensional array (peripheral terminal array) or a two-dimensional array (area array terminal array). Also good. The wiring 20b ′ can be configured as a terminal (20b) to which the U / L-shaped side wiring 20 is connected, and the wiring 20b ′ and the U / L-shaped side wiring 20 are not electrically connected. It is also possible to do so. The component built-in module 220 can be manufactured by the first component built-in module manufacturing method.

図9および図10に示した態様において、半導体素子32の他に、他の電子部品(例えばチップ部品)を内蔵することも可能である。また、実施形態1および2では、半導体素子32を内蔵した構成について説明したが、本発明の部品内蔵モジュールは、図11に示すように受動部品(図示するようなチップ部品等)34だけを内蔵した構成、またはこれらを追加的に内蔵した構成にすることも可能である。図11に示した受動部品34は、半田70によって、配線20b’の一部に電気的に接続されている。配線20b’は、U/L形側配線20の端部が電気的に接続されている電気要素(例えば、ランド)であってもよい。   9 and 10, in addition to the semiconductor element 32, other electronic components (for example, chip components) can be incorporated. In the first and second embodiments, the configuration including the semiconductor element 32 has been described. However, the component-embedded module of the present invention includes only a passive component (such as a chip component as shown) 34 as shown in FIG. It is also possible to adopt the configuration described above or a configuration in which these are additionally incorporated. The passive component 34 shown in FIG. 11 is electrically connected to a part of the wiring 20 b ′ by the solder 70. The wiring 20b 'may be an electrical element (for example, a land) to which the end of the U / L-shaped side wiring 20 is electrically connected.

図4(a)〜図5(c)の状態を経て、U/L形側配線となる配線20を含む配線パターン44を形成すると、シート状基体10の表面上に位置するU/L形側配線20は、その全体がシート状基体10の表面内に埋め込まれる。そのことを、シート状基体の一部を拡大して斜視図にて模式的に図13に示す。即ち、図示するように、配線20の頂面(露出面)20fと、シート状基体10の表面(例えば、側面10c)とが面一(実質的に同一面)となっている。このようにU/L形側配線20を配置すると、配線20(特に、コーナー部20c)をシート状基体の表面から突出させる場合と比較して、配線20が切断および破損することを抑制することができ、配線20の接続信頼度が向上する。   When the wiring pattern 44 including the wiring 20 serving as the U / L-shaped side wiring is formed through the states of FIGS. 4A to 5C, the U / L-shaped side positioned on the surface of the sheet-like substrate 10. The entire wiring 20 is embedded in the surface of the sheet substrate 10. This is schematically shown in FIG. 13 in an enlarged perspective view of a part of the sheet-like substrate. That is, as illustrated, the top surface (exposed surface) 20f of the wiring 20 and the surface (for example, the side surface 10c) of the sheet-like substrate 10 are flush with each other (substantially the same surface). When the U / L-shaped side wiring 20 is arranged in this way, the wiring 20 (in particular, the corner portion 20c) is suppressed from being cut and damaged as compared with the case where the wiring 20 (particularly, the corner portion 20c) is protruded from the surface of the sheet-like substrate. The connection reliability of the wiring 20 is improved.

更に、図12に示すように、U/L形側配線20の露出面20fが、シート状基体10の側面10cから窪んでシート状基体10の内部側に位置している場合には、露出面20fが外部のものと接触する確率が大幅に低減するので、U/L形側配線20の切断および破損等を有効に防止することができる。とりわけ、U/L形側配線20のコーナー部20cは、外部のものとの接触が生じやすい部分であるので、図12に示すように、このコーナー部20cはシート状基体の表面(またはエッジ)から窪んで形成されているのが配線保護の点からは特に好ましい。したがって、U/L形側配線20の上側表面配線部および/または下側表面配線部の露出面も、図示するように、それぞれの表面から窪んで位置するのが好ましい。   Furthermore, as shown in FIG. 12, when the exposed surface 20 f of the U / L-shaped side wiring 20 is recessed from the side surface 10 c of the sheet-like substrate 10 and is located on the inner side of the sheet-like substrate 10, the exposed surface. Since the probability that 20f comes into contact with an external object is greatly reduced, cutting and breakage of the U / L-shaped side wiring 20 can be effectively prevented. In particular, the corner portion 20c of the U / L-shaped side wiring 20 is a portion where contact with the outside is likely to occur. Therefore, as shown in FIG. 12, the corner portion 20c is the surface (or edge) of the sheet-like substrate. It is particularly preferable from the viewpoint of wiring protection that it is formed to be recessed. Therefore, it is preferable that the exposed surface of the upper surface wiring portion and / or the lower surface wiring portion of the U / L-shaped side wiring 20 is also recessed from each surface as shown in the figure.

図12に示すように、シート状基体10の側面10cよりも、配線20の頂面(または露出面)20fが窪んで、段差10dが形成されるようにすることは、以下に示す方法により実施される。まず、図4(b)に示した配線パターン44の形成工程において、金属層42の不要部分(即ち、配線パターンを形成しない金属層の部分)を除去する時、そのような金属層の不要部分に加えて、その下方に位置するキャリヤシート40の一部分をもエッチングして除去して、キャリヤシートに凹部を形成する。その後、図5(a)に示した、絶縁層を形成するための樹脂塗布工程(例えばコンポジット材料を塗布する工程)を実施すると、樹脂が配線パターン44の表面(金属層とキャリヤシートとの接触面)のレベルを越えて、キャリヤシート40に形成された凹部に入り込んだ部品内蔵モジュール形成部材が得られる。これを折り畳んで加圧および加熱して一体にして、その後、キャリヤシートを除去すると、シート状基体10の表面とU/L形側配線20の露出面との間に段差10dが形成されることになる。この方法によれば、キャリヤシートに形成した凹部の深さに対応する段差10dが形成される。   As shown in FIG. 12, the top surface (or exposed surface) 20f of the wiring 20 is recessed from the side surface 10c of the sheet-like substrate 10 to form the step 10d by the following method. Is done. First, in the step of forming the wiring pattern 44 shown in FIG. 4B, when an unnecessary portion of the metal layer 42 (that is, a portion of the metal layer that does not form the wiring pattern) is removed, such an unnecessary portion of the metal layer. In addition, a part of the carrier sheet 40 located therebelow is also etched away to form a recess in the carrier sheet. Thereafter, when a resin application step (for example, a step of applying a composite material) for forming an insulating layer shown in FIG. 5A is performed, the resin is in contact with the surface of the wiring pattern 44 (contact between the metal layer and the carrier sheet). The component built-in module forming member that enters the recess formed in the carrier sheet 40 beyond the level of the surface) is obtained. When the carrier sheet is removed after being folded and pressurized and heated to be integrated, a step 10d is formed between the surface of the sheet-like substrate 10 and the exposed surface of the U / L-shaped side wiring 20. become. According to this method, the step 10d corresponding to the depth of the recess formed in the carrier sheet is formed.

別法として、U/L形側配線20を保護するための樹脂またはフィルムを、シート状基体の配線を除く部分に付与することによって、U/L形側配線20の頂面20fとシート状基体10の表面との間で段差を設ける、あるいは頂面20fとシート状基体10の表面とを面一にすることも可能である。   Alternatively, the top surface 20f of the U / L-shaped side wiring 20 and the sheet-shaped substrate are provided by applying a resin or film for protecting the U / L-shaped side wiring 20 to a portion of the sheet-shaped substrate excluding the wiring. It is also possible to provide a level difference between the top surface 20 and the top surface 20f and the surface of the sheet-like substrate 10 to be flush with each other.

また、本発明の部品内蔵モジュール100において、U/L形側配線20をコプレーナ線路にすることも可能である。これにより、高速信号用配線に適した部品内蔵モジュールを構成することができる。より詳細に説明すると、図14に示すように、信号配線としてのU/L形側配線20sおよびグランド配線としてその両隣に位置するU/L形側配線20gを形成すれば、これらのU/L形側配線20sおよび20gはコプレーナ構造となる。これにより、特性インピーダンスの制御をすることができ、また、ビアを有する部品内蔵モジュールにおいて生じていた、ビアと配線とのインピーダンス不整合部の問題を回避することができる。   Further, in the component built-in module 100 of the present invention, the U / L-shaped side wiring 20 can be a coplanar line. Thereby, a component built-in module suitable for high-speed signal wiring can be configured. More specifically, as shown in FIG. 14, if the U / L-shaped side wiring 20s as the signal wiring and the U / L-shaped wiring 20g located on both sides thereof are formed as the ground wiring, these U / L The shape side wires 20s and 20g have a coplanar structure. Thereby, the characteristic impedance can be controlled, and the problem of the impedance mismatching portion between the via and the wiring, which has occurred in the component built-in module having the via, can be avoided.

(実施形態3)
本発明の部品内蔵モジュールの製造方法では、半硬化状態の樹脂を含むシート15を有する部品内蔵モジュール形成部材を折りたたみ、その後、当該シート15を完全硬化状態にすることによって、シート状基体10を形成する。この方法によれば、折り畳み方に応じて三次元的な立体構造(即ち、シートの厚さ方向にもある程度のディメンションを有する構造)を持った部品内蔵モジュールを簡便に製造することができる。例えば、凸部および凹部の少なくとも一方を備えた形状を有する部品内蔵モジュールを形成することもできる。そのようなモジュールは、凸部および凹部の少なくとも一方を備えた形状となるように、シート15を折り畳み、その後、完全硬化させることにより形成できる。ここでは、そのような部品内蔵モジュールを製造する方法を実施形態3として説明する。
(Embodiment 3)
In the method for manufacturing a component built-in module according to the present invention, the sheet-like base 10 is formed by folding a component built-in module forming member having a sheet 15 containing a semi-cured resin, and then bringing the sheet 15 into a completely cured state. To do. According to this method, a component built-in module having a three-dimensional structure (that is, a structure having a certain dimension in the thickness direction of the sheet) can be easily manufactured according to the folding method. For example, a component built-in module having a shape having at least one of a convex portion and a concave portion can be formed. Such a module can be formed by folding the sheet 15 so as to have a shape having at least one of a convex part and a concave part, and then completely curing the sheet 15. Here, a method for manufacturing such a component built-in module will be described as a third embodiment.

そのような部品内蔵モジュールは、具体的には、例えば図15(a)〜(e)に示す工程を含む方法により製造される。まず、図15(a)に示すように、配線パターン44が形成され、電子部品32が内蔵されたシート(半硬化状態の樹脂を含むシート)15を部品内蔵モジュール形成部材Aとして用意する。次いで、図15(b)および(c)に示すように、凸部55および凹部56を有する形状となるように折り曲げる。その後、加熱加圧して、図15(d)に示すように、3次元的形状(ここでは、Uの字型)の部品内蔵モジュール100を得る。   Specifically, such a component built-in module is manufactured by a method including the steps shown in FIGS. First, as shown in FIG. 15A, a sheet (sheet containing a semi-cured resin) 15 in which the wiring pattern 44 is formed and the electronic component 32 is embedded is prepared as a component built-in module forming member A. Next, as shown in FIGS. 15B and 15C, it is bent so as to have a shape having a convex portion 55 and a concave portion 56. Thereafter, heating and pressurization are performed to obtain a component built-in module 100 having a three-dimensional shape (here, U-shaped) as shown in FIG.

図15(d)に示した部品内蔵モジュール100は、図15(e)に示すように、3次元方向に実装可能な部品内蔵モジュールとなり得る。より詳細に説明すると、部品内蔵モジュール100の凸部55の下面(図15(d)において最も下の面)を、プリント基板60に実装し、部品内蔵モジュール100とプリント基板60との間には、プリント基板60に実装された別の電子部品(例えばチップ部品)64を配置し得る。部品内蔵モジュール100の頂面(図15(d)において最も上の面)には、更に別の電子部品(例えば半導体チップ)62が実装されている。つまり、図15(d)に示した部品内蔵モジュール100を用いれば、それを上方から見たときに、同一領域に、内蔵された電子部品32に加えて、別の電子部品62および64を立体的に実装することができる。その結果、実装面積が少ない場合であっても、より多くの電子部品を実装することが可能となる。   The component built-in module 100 shown in FIG. 15D can be a component built-in module that can be mounted in a three-dimensional direction, as shown in FIG. More specifically, the lower surface of the convex portion 55 of the component built-in module 100 (the lowermost surface in FIG. 15D) is mounted on the printed circuit board 60, and between the component built-in module 100 and the printed circuit board 60, Another electronic component (for example, a chip component) 64 mounted on the printed circuit board 60 may be disposed. Another electronic component (for example, a semiconductor chip) 62 is mounted on the top surface (the uppermost surface in FIG. 15D) of the component built-in module 100. That is, if the component built-in module 100 shown in FIG. 15D is used, when viewed from above, in addition to the built-in electronic component 32, another electronic components 62 and 64 are three-dimensionally formed in the same region. Can be implemented. As a result, even when the mounting area is small, more electronic components can be mounted.

部品内蔵モジュール100内に内蔵する電子部品(図15(e)中では例えば半導体チップ32)および/または部品内蔵モジュール100上に載置する電子部品(図15(e)中では例えば半導体チップ62)として狭ピッチや多ピンの半導体チップを用いる場合、高密度実装の観点から、例えば端子のピッチ間隔が150μm以下の半導体チップ、および16個以上の端子を有する半導体チップ等を好適に用いることができる。部品内蔵モジュール100上には、半導体チップのような電子部品だけでなく、表面実装素子(チップ素子、例えばチップインダクタ、チップ抵抗、およびチップコンデンサ等)のような電子部品を載置することもでき、あるいは半導体チップおよび表面実装素子の両方を載置してもよい。   Electronic component built in the component built-in module 100 (for example, the semiconductor chip 32 in FIG. 15E) and / or electronic component placed on the component built-in module 100 (for example, the semiconductor chip 62 in FIG. 15E). In the case of using a semiconductor chip having a narrow pitch or multiple pins, for example, a semiconductor chip having a terminal pitch interval of 150 μm or less and a semiconductor chip having 16 or more terminals can be suitably used from the viewpoint of high-density mounting. . On the component built-in module 100, not only an electronic component such as a semiconductor chip but also an electronic component such as a surface mount element (chip element, for example, a chip inductor, a chip resistor, and a chip capacitor) can be mounted. Alternatively, both a semiconductor chip and a surface mount element may be mounted.

本実施形態の部品内蔵モジュール100は、図15(d)に示した形状だけでなく、折り畳み方によって種々の凹凸を有する形状にすることが比較的容易である。これに対して、ビアによって上下面の導通を確保する部品内蔵モジュールの場合には、意図するモジュールの形状によってはビアの形状が変化したり、あるいは位置合わせが困難になる可能性があり、その結果、接続信頼性の低下を招くことがある。また、本実施形態の部品内蔵モジュールは、半硬化状態の樹脂シートを折りたたみ、その後、当該折りたたまれた半硬化状態の樹脂シートを完全硬化状態にすることによって製造できるので、自由な形状にするのが比較的容易であり、従って、形状の自在性の観点からも有利である。   The component built-in module 100 of the present embodiment is relatively easy to have not only the shape shown in FIG. 15D but also a shape having various irregularities depending on how it is folded. On the other hand, in the case of a component built-in module that secures conduction between the upper and lower surfaces by a via, the shape of the via may change depending on the intended shape of the module, or alignment may be difficult. As a result, connection reliability may be reduced. In addition, the component built-in module according to the present embodiment can be manufactured by folding a semi-cured resin sheet, and then bringing the folded semi-cured resin sheet into a fully cured state. Is relatively easy, and is therefore advantageous from the viewpoint of shape flexibility.

さらに、ビアを有する部品内蔵モジュールの場合、部品内蔵モジュールの厚さを自由に変更する(特に、厚くする)ことが難しい。即ち、ビアを有する部品内蔵モジュールにおいて、その厚さを厚くし過ぎると、高アスペクト比のビア(スルーホール)を形成することになるため、適切にビアを形成することが困難となる。例えば、レーザ等での穴開けを実施する場合においてはテーパー状のビアが形成されやすくなったり、他方、ドリル等で穴開けを実施する場合、ビアが曲がって形成されたり、あるいはドリルが曲がったり、折れたりすることがある。本実施形態の部品内蔵モジュール100の場合、U/L形側配線20によって上下面の電気要素の導通を確保するので、高アスペクト比のビアにおいて発生する問題を回避することができる。   Furthermore, in the case of a component built-in module having a via, it is difficult to freely change the thickness of the component built-in module (in particular, to increase the thickness). That is, in a component built-in module having vias, if the thickness is excessively increased, vias (through holes) with a high aspect ratio are formed, making it difficult to form vias appropriately. For example, when drilling with a laser or the like, a tapered via is easily formed. On the other hand, when drilling with a drill or the like, the via is bent or the drill is bent. May break. In the case of the component built-in module 100 according to the present embodiment, the conduction of the electrical elements on the upper and lower surfaces is ensured by the U / L-shaped side wiring 20, so that problems that occur in high aspect ratio vias can be avoided.

(実施形態4)
本発明の部品内蔵モジュールの別の形態では、図16(a)および(b)に示すように、シート15の折り畳み方によっては、部品内蔵モジュール100の内部にシールド部材(シールド層)35を設けることもできる。図示するように、シート15を折り畳むだけで、部品内蔵モジュールの内部にシールド部材35を形成することができる。即ち、簡便にシールド部材を追加することができる。この場合、シールド部材35は、基本的に、U/L形側配線20と同じ材料から構成される。この手法によれば、簡便に、部品内蔵モジュールの内部にシールド部材を導入することができ、容易にノイズ対策を講じることができる。
(Embodiment 4)
In another embodiment of the component built-in module of the present invention, as shown in FIGS. 16A and 16B, a shield member (shield layer) 35 is provided inside the component built-in module 100 depending on how the sheet 15 is folded. You can also. As shown in the figure, the shield member 35 can be formed inside the component built-in module simply by folding the sheet 15. That is, a shield member can be easily added. In this case, the shield member 35 is basically made of the same material as the U / L-shaped side wiring 20. According to this method, the shield member can be easily introduced into the component built-in module, and noise countermeasures can be easily taken.

シールド部材を有する部品内蔵モジュールは、第1および第2の製造方法のいずれにおいても、折り畳み工程(B)を以下のように実施することによって製造できる。まず、図5と同様の部品内蔵モジュール形成部材39の左側部分の絶縁層15−1を、その下方に位置する配線と一緒に折り曲げて、図16(a)に示すように絶縁層15−1および15−2を相互に対向させると共に、折り曲げた配線44の一部44−1および44−2を対向する絶縁層15−1および15−2を介して対向させ、かつ、配線44の残りの部分44−3を対向する絶縁層15−1および15−2の側面上で延在させる。   The component built-in module having the shield member can be manufactured by performing the folding step (B) as follows in both the first and second manufacturing methods. First, the insulating layer 15-1 on the left side of the component built-in module forming member 39 similar to that in FIG. 5 is bent together with the wiring located below the insulating layer 15-1, and as shown in FIG. And 15-2 are made to face each other, and parts 44-1 and 44-2 of the bent wiring 44 are made to face each other through the opposing insulating layers 15-1 and 15-2, and the remaining part of the wiring 44 The portion 44-3 extends on the side surfaces of the opposing insulating layers 15-1 and 15-2.

その後、図16(b)に示すように、右側部分の絶縁層15−3をその下方に位置する配線と一緒に折り曲げて、配線部分44−1の上に絶縁層15−3を位置させ、これらの絶縁層15−1〜3を相互に対向させてU/L形側配線20を形成すると共に、先に折り曲げた配線部分44−1を絶縁層の間に位置させることによって、先に折り曲げた配線部分44−1をシールド部材35とすることができる。   After that, as shown in FIG. 16B, the insulating layer 15-3 in the right part is bent together with the wiring located below the insulating layer 15-3, and the insulating layer 15-3 is positioned on the wiring part 44-1. These insulating layers 15-1 to 15-3 are opposed to each other to form the U / L-shaped wiring 20, and the previously bent wiring portion 44-1 is positioned between the insulating layers to be bent first. The wiring portion 44-1 can be used as the shield member 35.

部品内蔵モジュール100の内部(すなわち、シート状基体10の内部)にシールド部材35が形成されていると、部品内蔵モジュール100を回路基板(例えばマザーボード)に実装したときに、当該基板からの電磁波を遮断して電子部品32を保護することができる。また、図16(b)に示すように、部品内蔵モジュール100のシート状基体の上面側と下面側との両方に電子部品(32,34)が配置されているときには、電子部品32と電子部品34との間にシールド部材35が位置することにより、部品内蔵モジュール100内で近接して配置された電子部品32と電子部品34との間の電磁波の干渉を効果的に抑制することができる。   When the shield member 35 is formed inside the component built-in module 100 (that is, inside the sheet-like substrate 10), when the component built-in module 100 is mounted on a circuit board (for example, a mother board), electromagnetic waves from the board are emitted. The electronic component 32 can be protected by blocking. Further, as shown in FIG. 16B, when the electronic components (32, 34) are arranged on both the upper surface side and the lower surface side of the sheet-like substrate of the component built-in module 100, the electronic component 32 and the electronic component When the shield member 35 is positioned between the electronic component 34 and the electronic component 32, the interference of electromagnetic waves between the electronic component 32 and the electronic component 34 that are arranged close to each other in the component built-in module 100 can be effectively suppressed.

本実施形態の部品内蔵モジュール100は、複数個積層して、多段化してよい。例えば、第1の部品内蔵モジュール100の上に、さらに、第2の部品内蔵モジュール100を載置してもよい。この場合、これらのモジュールを所定のように電気的に接続する。更に、多段化(3段以上)にすることも可能である。同一種類の部品内蔵モジュール100を積層してもよいし、異なる種類のものを積層してもよい。例えば、第1の部品内蔵モジュール100として半導体メモリを内蔵したものを使用し、第2の部品内蔵モジュール100としてLSI(例えば、ロジックLSI)を内蔵したものを使用して、多段化したモジュールを得てよい。多段化したモジュールは、後述するように、シールド部材を有しない他の形態の部品内蔵モジュールを用いて組み立ててよい。   A plurality of the component built-in modules 100 of this embodiment may be stacked to be multistage. For example, the second component built-in module 100 may be placed on the first component built-in module 100. In this case, these modules are electrically connected in a predetermined manner. Furthermore, it is possible to make it multi-stage (three or more stages). The same type of component built-in modules 100 may be stacked, or different types of modules may be stacked. For example, a module with a built-in semiconductor memory is used as the first component built-in module 100, and a module with a built-in LSI (for example, a logic LSI) is used as the second component built-in module 100 to obtain a multistage module. It's okay. As will be described later, the multi-stage module may be assembled using a component built-in module of another form that does not have a shield member.

(実施形態5)
上記の実施形態において、U/L形側配線はシート状基体の側面に加えて、上側表面および下側表面上で延在している、U形側配線である。別の好ましい形態において、U/L形側配線は、上側表面および下側表面のいずれか一方の表面上では延在しない。即ち、U/L形側配線は、基体シートの側面上および基体シートの上または下側表面上で延在するL形側配線であってよい。L形配線もまた、配線の露出面が基体シートの側面または上側表面もしくは下側表面と実質的に面一状態であっても、あるいは側面から突出していてもよい。あるいは、L形配線は、シート状基体の側面および上側(または下側)表面から窪んだ状態であってもよく、そのような態様を図17に示す。
(Embodiment 5)
In the above embodiment, the U / L-shaped side wiring is a U-shaped side wiring extending on the upper surface and the lower surface in addition to the side surface of the sheet-like substrate. In another preferred form, the U / L-shaped side wiring does not extend on either the upper surface or the lower surface. That is, the U / L-shaped side wiring may be an L-shaped side wiring that extends on the side surface of the base sheet and on the top or bottom surface of the base sheet. In the L-shaped wiring, the exposed surface of the wiring may be substantially flush with the side surface or the upper surface or the lower surface of the base sheet, or may protrude from the side surface. Alternatively, the L-shaped wiring may be recessed from the side surface and the upper (or lower) surface of the sheet-like substrate, and such an embodiment is shown in FIG.

図17に示す部品内蔵モジュール100’において、U/L形側配線20の一方の端部20bは、シート状基体10の側面の下縁(即ち、側面10cと下側表面10bとの境界部(またはコーナー部))に位置する。U/L形側配線20は下側表面10b上では延在していない。   In the component built-in module 100 ′ shown in FIG. 17, one end portion 20b of the U / L-shaped side wiring 20 is a lower edge of the side surface of the sheet-like substrate 10 (that is, a boundary portion between the side surface 10c and the lower surface 10b ( Or the corner part)). The U / L-shaped side wiring 20 does not extend on the lower surface 10b.

図17に示した構成は、図12に示した構成と類似しており、側面10c上に位置するU/L形側配線20の露出面20fは、側面10cよりも、シート状基体10の内部側に位置している。また、シート状基体10の上側のコーナー部に位置するU/L形側配線20の露出面20cも、当該コーナー部の表面よりも、シート状基体10の内部側に位置している。   The configuration shown in FIG. 17 is similar to the configuration shown in FIG. 12, and the exposed surface 20f of the U / L-shaped side wiring 20 located on the side surface 10c is more inside the sheet-like substrate 10 than the side surface 10c. Located on the side. Further, the exposed surface 20c of the U / L-shaped side wiring 20 located at the upper corner portion of the sheet-like substrate 10 is also located on the inner side of the sheet-like substrate 10 with respect to the surface of the corner portion.

図18は、図17に示した部品内蔵モジュール100’をプリント基板60に実装した形態を模式的に示す。U/L形側配線20の端部20b(図17参照)上に半田接続部70が形成されて、それによって、部品内蔵モジュール100’とプリント基板60の配線パターン61とが電気的に接続されている。図17に示した部品内蔵モジュール100’ではU/L形側配線がシート状基体の側面から段差10d分だけ窪んで位置する結果、側面10cの一部に溝部分が形成される。この溝は、半田接続部を形成する際に、半田を溜めるダムとして機能すると共にガイドとして機能するので好都合である。また、図18に示すような実装方法(半田付け)においては、プリント基板60の上方(例えば法線方向)から見て、半田70の付き具合を簡単に確認することができる。即ち、U/L形側配線20が側面で終端する部品内蔵モジュール100’を用いると、半田付け後に行う半田接合部の検査が容易になる。   FIG. 18 schematically shows a form in which the component built-in module 100 ′ shown in FIG. 17 is mounted on the printed circuit board 60. A solder connection portion 70 is formed on the end portion 20b (see FIG. 17) of the U / L-shaped side wiring 20, and thereby, the component built-in module 100 ′ and the wiring pattern 61 of the printed circuit board 60 are electrically connected. ing. In the component built-in module 100 ′ shown in FIG. 17, the U / L-shaped side wiring is positioned so as to be recessed by a step 10 d from the side surface of the sheet-like substrate, so that a groove portion is formed in a part of the side surface 10 c. This groove is convenient because it functions as a dam for storing solder and as a guide when the solder connection portion is formed. Further, in the mounting method (soldering) as shown in FIG. 18, it is possible to easily confirm the degree of attachment of the solder 70 when viewed from above the printed circuit board 60 (for example, the normal direction). That is, when the component built-in module 100 ′ in which the U / L-shaped side wiring 20 is terminated at the side surface is used, it is easy to inspect the solder joint portion performed after soldering.

図19は、シート状基体10の側面10cとU/L形側配線20の頂面である露出面20fとが実質的に同一面を構成している部品内蔵モジュール100”を示す。図17に示すように段差10dがない場合でも(あるいは、U/L形側配線20の頂面20fが側面10cから突出している場合でも)、ハンダ接続部70をU/L形側配線20の端部に設けて、部品内蔵モジュール100”とプリント基板60の配線パターン61とを半田接合することは可能である。この場合にも、同様に、半田接合部の検査が容易になる。   FIG. 19 shows a component built-in module 100 ″ in which the side surface 10c of the sheet-like substrate 10 and the exposed surface 20f that is the top surface of the U / L-shaped side wiring 20 constitute substantially the same surface. As shown, even when there is no step 10d (or even when the top surface 20f of the U / L-shaped side wiring 20 protrudes from the side surface 10c), the solder connection portion 70 is connected to the end of the U / L-shaped side wiring 20. It is possible to provide and solder-bond the component built-in module 100 ″ and the wiring pattern 61 of the printed circuit board 60 to each other. In this case as well, the inspection of the solder joint is facilitated.

半田付けの観点からみれば、図17〜図19に示す部品内蔵モジュール100’および100”において、U/L形側配線20の端部20bは、シート状基体10の側面10cに一定間隔で離間して位置していることが好ましい。この場合、端部だけではなく、U/L形側配線の側面配線部がシート状基体の側面上で一定間隔で離間して配列されていてもよい。   From the viewpoint of soldering, in the component built-in modules 100 ′ and 100 ″ shown in FIG. 17 to FIG. 19, the end 20b of the U / L-shaped side wiring 20 is separated from the side surface 10c of the sheet-like substrate 10 at a constant interval. In this case, not only the end portions but also the side wiring portions of the U / L-shaped side wirings may be arranged at regular intervals on the side surface of the sheet-like substrate.

上記において説明した部品内蔵モジュールはいずれも、シート状基体10の側面10c上でU/L形側配線20が延在するように形成されているので、図20に示すように実装することも可能である。即ち、例えば図2に示すような部品内蔵モジュール100と、それに実装された電子部品(例えば、チップ部品または半導体チップ)66とからなるモジュールを、プリント基板(マザー基板)60上に配置されたコネクタ(メカニカルコネクタ)80に嵌合させることができる。この場合、部品内蔵モジュール100におけるU/L形側配線20の側面配線部とコネクタ80とが電気的および物理的に接続されるので、コネクタ80を介してモジュールとプリント基板60とが電気的に接続されることとなる。コネクタ80は、部品内蔵モジュール100の側面10cを嵌合できるように構成されており、このコネクタによって、電子部品66の垂直実装が可能となり、実装面積が小さい電子機器において、数多くの部品を実装させることができる。図20では、図2に示す部品内蔵モジュールを示しているが、垂直実装は、上記および下記に説明するいずれの部品内蔵モジュールについても適用できる。   Since the component built-in modules described above are formed so that the U / L-shaped side wiring 20 extends on the side surface 10c of the sheet-like substrate 10, it can be mounted as shown in FIG. It is. That is, for example, a connector comprising a component built-in module 100 as shown in FIG. 2 and an electronic component (for example, a chip component or a semiconductor chip) 66 mounted thereon is arranged on a printed circuit board (mother substrate) 60. (Mechanical connector) 80 can be fitted. In this case, since the side wiring portion of the U / L-shaped side wiring 20 and the connector 80 in the component built-in module 100 are electrically and physically connected, the module and the printed board 60 are electrically connected via the connector 80. Will be connected. The connector 80 is configured so that the side surface 10c of the component built-in module 100 can be fitted. With this connector, the electronic component 66 can be vertically mounted, and a large number of components are mounted in an electronic device having a small mounting area. be able to. Although FIG. 20 shows the component built-in module shown in FIG. 2, the vertical mounting can be applied to any of the component built-in modules described above and below.

実装面積が小さい電子機器としては、携帯電話、およびPDA等の携帯用電子機器が挙げられる。即ち、電子部品66と、部品内蔵モジュール100と、コネクタ80と、プリント基板60とを備えたアセンブリを用いれば、電子部品の垂直実装を比較的容易に行うことができる。部品内蔵モジュール100の配線パターンに応じて、部品内蔵モジュール100のシート状基体10の下側表面10bに電子部品66を実装することもできる。   Examples of the electronic device having a small mounting area include portable electronic devices such as mobile phones and PDAs. That is, if an assembly including the electronic component 66, the component built-in module 100, the connector 80, and the printed circuit board 60 is used, the vertical mounting of the electronic component can be performed relatively easily. Depending on the wiring pattern of the component built-in module 100, the electronic component 66 can be mounted on the lower surface 10 b of the sheet-like substrate 10 of the component built-in module 100.

(実施形態6)
図21を参照しながら、本発明の部品内蔵モジュールを連続的に製造する方法について説明する。図21は、本発明の部品内蔵モジュールの製造方法における工程を示す模式図である。本発明の部品内蔵モジュールは、例えば図21に示すように、ロールを用いる工程を含む製造方法によって連続的に製造できる。
(Embodiment 6)
A method for continuously producing the component built-in module of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 21 is a schematic diagram showing steps in the method of manufacturing a component built-in module according to the present invention. The component built-in module of the present invention can be continuously manufactured by a manufacturing method including a process using a roll, for example, as shown in FIG.

図21に示すように、金属層を加工して形成した所定の配線パターンを有するキャリヤシート40が第1のロール71から供給され、半硬化状態の樹脂からなるシート15が第2のロール72から供給される。その後、矢印81の箇所でキャリヤシート40および/または配線パターン上に、電子部品30が載置される。次いで、矢印82の箇所にて、ロール73の間でキャリヤシート40とシート15とは積層され、それによって、シート15内に電子部品30が埋め込まれる。   As shown in FIG. 21, a carrier sheet 40 having a predetermined wiring pattern formed by processing a metal layer is supplied from a first roll 71, and a sheet 15 made of a semi-cured resin is supplied from a second roll 72. Supplied. Thereafter, the electronic component 30 is placed on the carrier sheet 40 and / or the wiring pattern at the position of the arrow 81. Next, at the position of the arrow 82, the carrier sheet 40 and the sheet 15 are laminated between the rolls 73, whereby the electronic component 30 is embedded in the sheet 15.

その後、矢印83の箇所で、電子部品30を内蔵したシート15とキャリヤシートとの積層体を折り曲げて所定の形状とした後、矢印84の箇所で切断し、その後、加熱および加圧すると、本発明の部品内蔵モジュールが得られる。電子部品を配線パターン上に配置しても電子部品が配線パターンと所望のように電気的に接続されない場合、あるいは電子部品をキャリヤシート上に配置する場合には、必要に応じて、電子部品30を配置した後、電子部品30を配線パターンに適宜電気的に接続してよい(図示せず)。   Thereafter, the laminated body of the sheet 15 containing the electronic component 30 and the carrier sheet is bent at a position indicated by an arrow 83 to have a predetermined shape, and then cut at a position indicated by an arrow 84, and then heated and pressurized. The component built-in module of the invention is obtained. When the electronic component is not electrically connected to the wiring pattern as desired even when the electronic component is arranged on the wiring pattern, or when the electronic component is arranged on the carrier sheet, the electronic component 30 is necessary. Then, the electronic component 30 may be appropriately electrically connected to the wiring pattern (not shown).

また、別の態様では、電子部品を載置することをロール73の手前で実施するのではなく、所定の配線パターンを有するキャリヤシート40とシート15とをロール73によって一体に積層した後に、電子部品30をシート15上に配置してもよい。この場合、図56(c)に示すような部品内蔵モジュールを製造できる。   In another aspect, the electronic component is not placed before the roll 73, but the carrier sheet 40 and the sheet 15 having a predetermined wiring pattern are integrally laminated by the roll 73, and then the electronic component is placed. The component 30 may be disposed on the sheet 15. In this case, a component built-in module as shown in FIG. 56 (c) can be manufactured.

図21に示すような製造方法は、ロールを用いて部品内蔵モジュールを連続的に製造することを可能にし、必要とされる搬送手段が簡便であるという点において有利である。また、連続的に部品内蔵モジュールを作製することは、バッチ処理と比較して、装置の待機時間の短縮化および人員の削減等の効果をもたらす。   The manufacturing method as shown in FIG. 21 is advantageous in that the component built-in module can be continuously manufactured using a roll, and the required conveying means is simple. Further, continuously producing the component built-in module brings about effects such as shortening the standby time of the apparatus and reducing the number of personnel as compared with batch processing.

(実施形態7)
図22〜図55を参照しながら、本発明の部品内蔵モジュールの種々の態様を実施形態7として説明する。図22〜図38及び図43〜図55は、本発明の部品内蔵モジュール300の構造を模式的に示す断面図であり、図39〜図42は、本発明の部品内蔵モジュール300を下側(または上側)から見た様子を模式的に示す底面図(または上面図)である。尚、上述の実施形態において説明した事項と実質的に相違しない事項については、省略または簡略化する。また、これらの図に示す部品内蔵モジュールは、上述した実施形態のいずれかの変形例として把握してよい場合があることに留意されたい。
(Embodiment 7)
Various aspects of the component built-in module of the present invention will be described as Embodiment 7 with reference to FIGS. 22 to 38 and FIGS. 43 to 55 are sectional views schematically showing the structure of the component built-in module 300 of the present invention. FIGS. 39 to 42 show the component built-in module 300 of the present invention on the lower side ( It is a bottom view (or top view) schematically showing a state seen from the upper side. Note that items that are not substantially different from the items described in the above embodiment are omitted or simplified. It should be noted that the component built-in module shown in these drawings may be grasped as any modification of the above-described embodiment.

図22に示した部品内蔵モジュール300は、シート状基体10の底面に形成された配線20b’に、電子部品として内蔵されたベアチップの半導体素子32が半田ボール32dを介して接続された構成を有している。配線20b’は、図10に示す配線20b’と同様、独立したランドであってよく、あるいは他の配線と接続されていてよい。電子部品と接続される配線20b’の少なくとも一つ(即ち、複数の配線20b’のうちの一部または全部)を、U/L形側配線20の端部が接続される電気要素とする、即ち、端子20bとすることも可能である。この形態においても、U/L形側配線20の端部と端子20bとは、キャリヤシート上に積層された金属層から形成することによって一体となっているのが好ましい。   The component built-in module 300 shown in FIG. 22 has a configuration in which a bare chip semiconductor element 32 incorporated as an electronic component is connected to a wiring 20b ′ formed on the bottom surface of the sheet-like substrate 10 via a solder ball 32d. is doing. Similar to the wiring 20b 'shown in FIG. 10, the wiring 20b' may be an independent land or may be connected to another wiring. At least one of the wirings 20b ′ connected to the electronic component (that is, some or all of the plurality of wirings 20b ′) is an electrical element to which the end of the U / L-shaped side wiring 20 is connected. That is, the terminal 20b can be used. Also in this embodiment, it is preferable that the end portion of the U / L-shaped side wiring 20 and the terminal 20b are integrated by being formed from a metal layer laminated on the carrier sheet.

図23に示した部品内蔵モジュール300は、リード32eを有する、電子部品としての半導体パッケージ32がシート状基体10内に内蔵された構成を有している。半導体パッケージ32のリード32eは、シート状基体10の底面に位置する配線パターンの配線20b’に接続されている。図22の場合と同様に、複数の配線20b’のうちの少なくとも一つを、U/L形側配線20が接続される端子20bとすることもできる。この部品内蔵モジュール300は第1の部品内蔵モジュール製造方法によって製造することができる。その場合、半導体パッケージ32をキャリヤシートに形成された配線パターンにリード32eにより接続した後、半導体パッケージ32とキャリヤシートとの間に形成される空隙は、後の加熱および加圧により絶縁層の材料で充填される。その結果、半導体パッケージ32の底面はシート状基体の材料で覆われることとなる。   The component built-in module 300 shown in FIG. 23 has a configuration in which a semiconductor package 32 as an electronic component having a lead 32 e is built in the sheet-like substrate 10. The lead 32 e of the semiconductor package 32 is connected to the wiring 20 b ′ of the wiring pattern located on the bottom surface of the sheet-like substrate 10. As in the case of FIG. 22, at least one of the plurality of wirings 20 b ′ can be a terminal 20 b to which the U / L-shaped side wiring 20 is connected. This component built-in module 300 can be manufactured by the first component built-in module manufacturing method. In that case, after the semiconductor package 32 is connected to the wiring pattern formed on the carrier sheet by the lead 32e, the gap formed between the semiconductor package 32 and the carrier sheet becomes a material of the insulating layer by subsequent heating and pressing. Filled with. As a result, the bottom surface of the semiconductor package 32 is covered with the sheet-like base material.

図22に示す部品内蔵モジュール300は、図24に示すように、上下を逆転させた構造とすることも可能である。この場合、電子部品32は、上側表面に位置する配線パターンの配線20a’に接続されることとなる。図24に示した部品内蔵モジュール300は、図22に示した部品内蔵モジュールと実質的に同じ構造であっても、あるいは部品を実装するための端子、および回路基板に実装するための端子の位置が上下逆になる等の点で相違してもよい   The component built-in module 300 shown in FIG. 22 may have a structure in which the top and bottom are reversed as shown in FIG. In this case, the electronic component 32 is connected to the wiring 20a 'of the wiring pattern located on the upper surface. The component built-in module 300 shown in FIG. 24 has substantially the same structure as the component built-in module shown in FIG. 22, or terminals for mounting the components and positions of the terminals for mounting on the circuit board May be different in that they are upside down

図23に示す部品内蔵モジュール300は、図25に示すように、上下を逆転させた構造とすることも可能である。図25に示した部品内蔵モジュール300は、図23に示した部品内蔵モジュールと実質的に同じ構造であっても、あるいは部品を実装するための端子、および回路基板に実装するための端子の位置が上下逆になる等の点で相違してもよい。   As shown in FIG. 25, the component built-in module 300 shown in FIG. The component built-in module 300 shown in FIG. 25 has substantially the same structure as that of the component built-in module shown in FIG. 23, or the positions of the terminals for mounting the components and the terminals for mounting on the circuit board. May be different from each other in that they are upside down.

図26に示す部品内蔵モジュール300は、複数の電子部品、例えばベアチップの半導体素子32とチップ部品34とをシート状基体10内に有する構成を有している。ベアチップ32は金属細線32bによって端子20aに接続されている。チップ部品34は、端子20bに接して実装されている。端子20aおよび20bはいずれも、U/L形側配線20に接続されている電気要素である。チップ部品34と端子20bとは、半田等の接続部材を介して電気的に接続することができる。この部品内蔵モジュールは、例えば、図57を参照して説明した第2部品内蔵モジュール製造方法により製造できる。   The component built-in module 300 shown in FIG. 26 has a configuration in which a plurality of electronic components, for example, a bare chip semiconductor element 32 and a chip component 34 are included in the sheet-like substrate 10. The bare chip 32 is connected to the terminal 20a by a thin metal wire 32b. The chip component 34 is mounted in contact with the terminal 20b. Both of the terminals 20 a and 20 b are electric elements connected to the U / L-shaped side wiring 20. The chip component 34 and the terminal 20b can be electrically connected via a connecting member such as solder. This component built-in module can be manufactured by, for example, the second component built-in module manufacturing method described with reference to FIG.

図27に示す部品内蔵モジュール300は、シート状基体10内の側面の内側に追加の電子部品、例えばチップ部品34が実装された構成を有している。即ち、この部品内蔵モジュール300は、図26に示した構成のモジュールに、チップ部品34が更に内蔵された構成を有する。この部品内蔵モジュール300において、チップ部品34は、シート状基体10の側面に位置するU/L形側配線20に接して実装されている。   The component built-in module 300 shown in FIG. 27 has a configuration in which an additional electronic component, for example, a chip component 34 is mounted on the inside of the side surface in the sheet-like substrate 10. That is, this component built-in module 300 has a configuration in which the chip component 34 is further built in the module having the configuration shown in FIG. In this component built-in module 300, the chip component 34 is mounted in contact with the U / L-shaped side wiring 20 located on the side surface of the sheet-like substrate 10.

図28に示した部品内蔵モジュール300は、図7(b)に示した部品内蔵モジュール200と同様であるが、電子部品、例えば半導体素子32の上面および下面の両方がシート状基体10の上側表面および下側表面で露出している点で異なる。端子33が形成された面と反対の電子部品の面をシート状基体10から露出させることによって、半導体素子32のような電子部品の放熱性を向上させるようにした構成となっている。この部品内蔵モジュールは、例えば、半導体素子32をキャリアシートの露出表面に載置して、図8に示す工程と同様の工程を実施することにより製造できる。   The component built-in module 300 shown in FIG. 28 is the same as the component built-in module 200 shown in FIG. 7B, but both the upper surface and the lower surface of the electronic component, for example, the semiconductor element 32 are the upper surface of the sheet substrate 10. And is different in that it is exposed on the lower surface. The surface of the electronic component opposite to the surface on which the terminals 33 are formed is exposed from the sheet-like substrate 10 so that the heat dissipation of the electronic component such as the semiconductor element 32 is improved. This component built-in module can be manufactured, for example, by mounting the semiconductor element 32 on the exposed surface of the carrier sheet and performing the same process as the process shown in FIG.

図29に示した部品内蔵モジュール300は、図28に示した構成の部品内蔵モジュールの上側表面に、金属膜35を形成したものである。即ち、図29に示した構成では、金属膜35は、半導体素子32の上面からの放熱を促進する放熱部材として機能し、これによって、半導体素子32の放熱性を更に向上させることができる。なお、金属膜35は、少なくとも配線パターンと接触する部分に関しては電気絶縁性として、配線パターンから電気的に絶縁してよい。配線パターンと金属膜との間の電気的絶縁は、例えば、両者の間に樹脂フィルムを配置することにより実現できる。また、金属膜に放熱フィンを設けることも可能である。   The component built-in module 300 shown in FIG. 29 is obtained by forming a metal film 35 on the upper surface of the component built-in module having the configuration shown in FIG. That is, in the configuration shown in FIG. 29, the metal film 35 functions as a heat radiating member that promotes heat radiated from the upper surface of the semiconductor element 32, thereby further improving the heat dissipation of the semiconductor element 32. The metal film 35 may be electrically insulated from the wiring pattern as at least a portion in contact with the wiring pattern. The electrical insulation between the wiring pattern and the metal film can be realized, for example, by disposing a resin film between the two. It is also possible to provide heat radiating fins on the metal film.

図30に示した部品内蔵モジュール300は、ベアチップの半導体素子32の底面がシート状基体10の下側表面で露出した構成を有している。ベアチップ32は、金属細線32bを介して、U/L形側配線20と接続されている端子20bに接続されている。   The component built-in module 300 shown in FIG. 30 has a configuration in which the bottom surface of the bare chip semiconductor element 32 is exposed on the lower surface of the sheet-like substrate 10. The bare chip 32 is connected to a terminal 20b connected to the U / L-shaped side wiring 20 via a thin metal wire 32b.

図30に示す部品内蔵モジュール300は、図31に示すように、上下を逆転させた構造とすることも可能である。図31に示した部品内蔵モジュール300は、図30に示した部品内蔵モジュールと実質的に同じ構造であっても、あるいは部品を実装するための端子、および回路基板に実装するための端子の位置が上下逆になる等の点で相違してもよい。   The component built-in module 300 shown in FIG. 30 may have a structure in which the top and bottom are reversed as shown in FIG. The component built-in module 300 shown in FIG. 31 has substantially the same structure as that of the component built-in module shown in FIG. 30, or positions of terminals for mounting the components and terminals for mounting on the circuit board. May be different from each other in that they are upside down.

図32に示した部品内蔵モジュール300は、シート状基体10内に2つの電子部品、例えば半導体素子32A、32Bを離間して重ねた状態で有する構成を有している。半導体素子(ベアチップ)32Aは、U/L形側配線20と接続されている端子20aに、金属細線32bを介して接続されている。半導体素子(ベアチップ)32Bは、金属細線32bを介して、U/L形側配線20と接続されている端子20bに接続されている。更に、追加の電子部品(例えば受動部品(チップ部品))をシート状基体10内に配置することも可能である。   The component built-in module 300 shown in FIG. 32 has a configuration in which two electronic components, for example, semiconductor elements 32A and 32B are stacked in the sheet-like substrate 10 while being separated from each other. The semiconductor element (bare chip) 32A is connected to a terminal 20a connected to the U / L-shaped side wiring 20 via a thin metal wire 32b. The semiconductor element (bare chip) 32B is connected to a terminal 20b connected to the U / L-shaped side wiring 20 through a fine metal wire 32b. Furthermore, an additional electronic component (for example, a passive component (chip component)) can be disposed in the sheet-like substrate 10.

図32に示すように複数の電子部品32Aおよび32Bを内蔵させる場合、図33に示すように、これらの電子部品を接触するように直接重ねてもよい、即ち、スタック状態としてもよい。   When a plurality of electronic components 32A and 32B are built in as shown in FIG. 32, these electronic components may be directly stacked so as to contact each other as shown in FIG.

図33に示す部品内蔵モジュール300は、図34に示すように、チップ部品等の電子部品34を更に有してよい。   The component built-in module 300 shown in FIG. 33 may further include an electronic component 34 such as a chip component as shown in FIG.

図28〜図31に示した部品内蔵モジュール300は、電子部品32の一部がシート状基体10の表面で露出した構成のものであるが、図32〜34ならびに図35〜図38に示す部品内蔵モジュール300は、半導体素子32の全てがシート状基体10内に配置され、シート状基体10から露出していない構成(即ち、完全に内蔵された状態)のものである。これらの図面からも明らかなように、本発明において、部品内蔵モジュールとは、少なくとも1つの電子部品の少なくとも一部が基体内に位置する(即ち、含まれている)モジュールを意味する。電子部品が内蔵されているか否かは、当業者であれば容易に判断できる。   The component built-in module 300 shown in FIGS. 28 to 31 has a configuration in which a part of the electronic component 32 is exposed on the surface of the sheet-like substrate 10, but the components shown in FIGS. 32 to 34 and FIGS. 35 to 38. The built-in module 300 has a configuration in which all of the semiconductor elements 32 are arranged in the sheet-like base body 10 and are not exposed from the sheet-like base body 10 (that is, in a state of being completely built-in). As is apparent from these drawings, in the present invention, the component built-in module means a module in which at least a part of at least one electronic component is located (that is, included) in the base. A person skilled in the art can easily determine whether or not an electronic component is incorporated.

そのような電子部品内蔵モジュールは、電子部品が埋設されているシート状基体を含み、この場合、「埋設」とは、電子部品の少なくとも1つの表面がシート状基体の表面で露出して電子部品の当該表面とシート状基体の当該表面とが実質的に面一の関係にある状態(例えば図28〜図31に示す状態)および電子部品が実質的に封入された状態(例えば図32〜図38に示す状態)のいずれかの状態にあることを意味する。ここでいう「電子部品の表面」とは、電子部品本体の表面であって、電子部品本体から突出する要素、例えば電子部品に付属する端子、リード、および接続用の突起電極等は無視される。   Such an electronic component built-in module includes a sheet-like substrate in which the electronic component is embedded. In this case, the term “embedding” means that at least one surface of the electronic component is exposed on the surface of the sheet-like substrate. The surface of the sheet-like substrate and the surface of the sheet-like substrate are substantially flush with each other (for example, the state shown in FIGS. 28 to 31) and the electronic component is substantially enclosed (for example, FIGS. The state shown in FIG. 38). The term “surface of the electronic component” as used herein refers to the surface of the electronic component main body, and elements protruding from the electronic component main body, such as terminals, leads, connection protruding electrodes, etc. attached to the electronic component are ignored. .

図35に示した部品内蔵モジュール300は、電子部品としてのベアチップの半導体素子32に形成されたバンプ32cと、U/L形側配線20と接続されている端子20bとが接続された構成を有している。バンプ32cは、例えば金バンプであり、ベアチップ32の素子端子(図示せず)上に形成されている。   The component built-in module 300 shown in FIG. 35 has a configuration in which a bump 32c formed on a bare chip semiconductor element 32 as an electronic component and a terminal 20b connected to the U / L-shaped side wiring 20 are connected. is doing. The bump 32c is, for example, a gold bump, and is formed on an element terminal (not shown) of the bare chip 32.

図36に示した部品内蔵モジュール300は、ベアチップの半導体素子32が金属細線32bによってU/L形側配線20と接続されている端子20bに接続された構成を有している。この部品内蔵モジュール300は、図57を参照して説明した第2部品内蔵モジュール製造方法により製造することができる。   The component built-in module 300 shown in FIG. 36 has a configuration in which a bare chip semiconductor element 32 is connected to a terminal 20b connected to the U / L-shaped side wiring 20 by a thin metal wire 32b. The component built-in module 300 can be manufactured by the second component built-in module manufacturing method described with reference to FIG.

図35および図36に示す部品内蔵モジュール300は、それぞれ図37および図38に示すように、上下を逆転させた構造とすることも可能である。図37および図38に示した部品内蔵モジュール300は、図35および図36に示した部品内蔵モジュールと実質的に同じ構造であっても、あるいは部品を実装するための端子、および回路基板に実装するための端子の位置が上下逆になる等の点で相違してもよい。   The component built-in module 300 shown in FIGS. 35 and 36 can also have a structure in which the top and bottom are reversed, as shown in FIGS. 37 and 38, respectively. The component built-in module 300 shown in FIGS. 37 and 38 has substantially the same structure as the component built-in module shown in FIGS. 35 and 36, or is mounted on a terminal and a circuit board for mounting components. The positions of the terminals for doing so may be different from each other, for example, upside down.

図39に示した底面図は、例えば図28に示した部品内蔵モジュール300の底面における端子33の配列を示している。端子33が半田ボールの場合、半導体素子32の表面にソルダーレジストを形成することが好ましい。また、上述した他の形態の部品内蔵モジュールも、同様の端子配列をその表面において有してよい。例えば、図22に示す部品内蔵モジュールにおいて、配線20b’が端子として形成されている場合、端子の配列は図39と同様であるが、底面において半導体素子32は露出しない。図24に示す部品内蔵モジュールの場合、配線20a’が端子として形成されている場合、端子の配列は図39と同様であるが、半導体素子32は露出しない。   The bottom view shown in FIG. 39 shows the arrangement of the terminals 33 on the bottom surface of the component built-in module 300 shown in FIG. 28, for example. When the terminal 33 is a solder ball, it is preferable to form a solder resist on the surface of the semiconductor element 32. Moreover, the component built-in module of the other form mentioned above may also have the same terminal arrangement | sequence in the surface. For example, in the component built-in module shown in FIG. 22, when the wiring 20b 'is formed as a terminal, the terminal arrangement is the same as that in FIG. 39, but the semiconductor element 32 is not exposed on the bottom surface. In the case of the component built-in module shown in FIG. 24, when the wiring 20a 'is formed as a terminal, the arrangement of the terminals is the same as that in FIG. 39, but the semiconductor element 32 is not exposed.

図40に示した底面図は、例えば図23に示した部品内蔵モジュール300の底面における端子33の配列を示している。図23に示した部品内蔵モジュール300の場合、図40に示した底面構成において半導体素子32は露出せず、シート状基体の材料が半導体素子32の底面を被覆している。図面では理解の容易のために、半導体素子32の位置を表示していることに留意されたい。また、例えば図25に示した部品内蔵モジュール300の場合、図40に示した端子配列は、部品内蔵モジュールの上側表面に対応する。   The bottom view shown in FIG. 40 shows the arrangement of the terminals 33 on the bottom surface of the component built-in module 300 shown in FIG. 23, for example. In the case of the component built-in module 300 shown in FIG. 23, the semiconductor element 32 is not exposed in the bottom face configuration shown in FIG. 40, and the sheet-like base material covers the bottom face of the semiconductor element 32. It should be noted that the position of the semiconductor element 32 is displayed in the drawing for easy understanding. For example, in the case of the component built-in module 300 shown in FIG. 25, the terminal arrangement shown in FIG. 40 corresponds to the upper surface of the component built-in module.

図41は、図40と同様の部品内蔵モジュールの底面図であり、部品内蔵モジュールにおけるランド20b(または20a)およびU/L形側配線20をシート状基体の4辺に配列した点で、図40に示すものと異なる。図40および図41に示したランド20bは角ランドであるが、図39のように、これを丸ランドにしてもよく、他方、図39に示した丸ランドを角ランドにしてもよい。   FIG. 41 is a bottom view of the component built-in module similar to FIG. 40, in that the land 20b (or 20a) and the U / L-shaped side wiring 20 in the component built-in module are arranged on four sides of the sheet-like substrate. 40 is different The land 20b shown in FIGS. 40 and 41 is a corner land. However, as shown in FIG. 39, the land 20b may be a round land, while the round land shown in FIG. 39 may be a corner land.

図42は、半導体素子(素子自体はシート状基体内に封入されているので見えない)の端子32aに金属細線32bを介して接続されたランド状配線20b’(または20a’)の配列、およびU/L形側配線20と接続されているランド20b(または20a)の配列の一例を模式的に示している。端子32aは、典型的にはシート状基体内に埋まっていて、露出していない(一例として図3参照)状態であり、別の態様ではシート状基体の下側(または上側)表面にて露出していても、あるいはそのような表面から突出していてもよい。図42に示した例では、ランド状配線20b’はU/L形側配線20と電気的に接続されていないが、ランド状配線20b’をU/L形側配線20に電気的に接続してもよいし、ランド状配線20b’の少なくとも一つをU/L形側配線20と接続されているランド20bとしてもよい。   FIG. 42 shows an array of land-like wirings 20b ′ (or 20a ′) connected to terminals 32a of semiconductor elements (the elements themselves are not visible because they are enclosed in a sheet-like substrate) via metal thin wires 32b, and An example of the arrangement of lands 20b (or 20a) connected to the U / L-shaped side wiring 20 is schematically shown. The terminal 32a is typically embedded in the sheet-like substrate and is not exposed (see FIG. 3 as an example). In another embodiment, the terminal 32a is exposed on the lower (or upper) surface of the sheet-like substrate. Or may protrude from such a surface. In the example shown in FIG. 42, the land-like wiring 20b ′ is not electrically connected to the U / L-shaped side wiring 20, but the land-shaped wiring 20b ′ is electrically connected to the U / L-shaped side wiring 20. Alternatively, at least one of the land-like wirings 20b ′ may be a land 20b connected to the U / L-shaped side wiring 20.

図43〜図49に示す本発明の部品内蔵モジュール300は、その上側表面に電子部品が載置された構成を有している。以下、そのような部品内蔵モジュールの種々の形態を説明する。   The component built-in module 300 of the present invention shown in FIGS. 43 to 49 has a configuration in which an electronic component is placed on the upper surface thereof. Hereinafter, various forms of such a component built-in module will be described.

図43に示した部品内蔵モジュール300は、その上側表面に(即ち、半導体素子32を内蔵したシート状基体10の上側表面に)、半導体パッケージ62が配置された構成を有している。半導体パッケージ62のリード63は、U/L形側配線20と接続されている端子20aに接続されている。半導体素子(ベアチップ)32は、シート状基体10の底面(下側表面)に形成された、ランド状に独立した又は他の配線と相互に接続されている配線20b’(またはU/L形側配線20と接続されているランド20b)に、金属細線32bを介して接続されている。   The component built-in module 300 shown in FIG. 43 has a configuration in which the semiconductor package 62 is disposed on the upper surface thereof (that is, on the upper surface of the sheet-like substrate 10 incorporating the semiconductor element 32). The lead 63 of the semiconductor package 62 is connected to a terminal 20 a connected to the U / L-shaped side wiring 20. The semiconductor element (bare chip) 32 is formed on the bottom surface (lower surface) of the sheet-like substrate 10 and is independent of the land or connected to another wiring 20b ′ (or U / L-shaped side). It is connected to a land 20b) connected to the wiring 20 through a thin metal wire 32b.

図44に示した部品内蔵モジュール300は、シート状基体10の上側表面にベアチップ62が配置された構成を有している。ベアチップ62は、金属細線62bを介して、シート状基体10の上側表面に形成されたU/L形側配線20と接続されているランド20aに接続されている。また、半導体素子(ベアチップ)32も、U/L形側配線20と接続されているランド20aに金属細線32bを介して接続されている。図45に示した構成では、半導体素子(ベアチップ)32は、配線20b’(またはU/L形側配線20と接続されているランド20b)に金属細線32bを介して接続されている。   The component built-in module 300 shown in FIG. 44 has a configuration in which the bare chip 62 is disposed on the upper surface of the sheet-like substrate 10. The bare chip 62 is connected to the land 20a connected to the U / L-shaped side wiring 20 formed on the upper surface of the sheet-like substrate 10 through the fine metal wire 62b. In addition, the semiconductor element (bare chip) 32 is also connected to the land 20a connected to the U / L-shaped side wiring 20 via a thin metal wire 32b. In the configuration shown in FIG. 45, the semiconductor element (bare chip) 32 is connected to the wiring 20b '(or the land 20b connected to the U / L-shaped side wiring 20) via the thin metal wire 32b.

図46に示した部品内蔵モジュール300は、バンプ62cを有する半導体素子(ベアチップ)62がシート状基体10の上側表面に配置された構成を有している。バンプ62cはU/L形側配線20と接続されている端子20aに接続されている。半導体素子(ベアチップ)32は、ランド状に独立した又は他の配線と相互に接続されている配線20b’(またはU/L形側配線20と接続されているランド20b)に金属細線32bを介して接続されている。図46に示した例では、半導体素子62cとシート状基体10の上側表面との間に、アンダーフィル64が形成されている。アンダーフィル64によって、半導体素子32の下にボイドが発生することを抑制でき、半導体素子32とシート状基体10との間の接着強度を向上させることができる。また、適切な材料を選択することによって、半導体素子32とシート状基体10との間の熱膨張差を緩和することもできる。   The component built-in module 300 shown in FIG. 46 has a configuration in which a semiconductor element (bare chip) 62 having bumps 62 c is arranged on the upper surface of the sheet-like substrate 10. The bump 62 c is connected to a terminal 20 a connected to the U / L-shaped side wiring 20. The semiconductor element (bare chip) 32 is connected to a wiring 20b ′ that is independent in land form or connected to another wiring (or a land 20b that is connected to the U / L-shaped side wiring 20) via a thin metal wire 32b. Connected. In the example shown in FIG. 46, an underfill 64 is formed between the semiconductor element 62 c and the upper surface of the sheet-like substrate 10. The underfill 64 can suppress the generation of voids under the semiconductor element 32, and can improve the adhesive strength between the semiconductor element 32 and the sheet-like substrate 10. In addition, the difference in thermal expansion between the semiconductor element 32 and the sheet-like substrate 10 can be reduced by selecting an appropriate material.

図47に示した部品内蔵モジュール300は、素子端子62a上に半田ボール62dが載置された半導体素子62がシート状基体10の上側表面の配線パターン上に配置された構成を有している。半導体素子(ベアチップ)62は、ランド状に独立した又は他の配線と相互に接続されている配線20b’(またはU/L形側配線20と接続されているランド20b)に金属細線32bを介して接続されている。   The component built-in module 300 shown in FIG. 47 has a configuration in which the semiconductor element 62 in which the solder ball 62d is placed on the element terminal 62a is arranged on the wiring pattern on the upper surface of the sheet-like substrate 10. The semiconductor element (bare chip) 62 is connected to a wiring 20b ′ that is independent in land form or connected to another wiring (or a land 20b that is connected to the U / L-shaped side wiring 20) via a thin metal wire 32b. Connected.

図48に示した部品内蔵モジュール300は、2つの半導体素子62Aおよび62Bがシート状基体10の上方に設けられた構成を有している。図48に示した例では、図47に示したモジュールにおいて、半導体素子62Aの上方に、リード63を有する半導体パッケージ62Bが配置されており、リード63はU/L形側配線20と接続されているランド20aに接続されている。   The component built-in module 300 shown in FIG. 48 has a configuration in which two semiconductor elements 62A and 62B are provided above the sheet-like substrate 10. In the example shown in FIG. 48, in the module shown in FIG. 47, a semiconductor package 62B having leads 63 is arranged above the semiconductor element 62A, and the leads 63 are connected to the U / L-shaped side wiring 20. It is connected to the land 20a.

上述の図43〜図48に示した態様では、電子部品として半導体素子63をシート状基体10の上面に載置したが、図49に示すように、電子部品として受動部品(チップ部品)64を載置してもよい。また、半導体素子および受動部品の両方を載置してもよい。   In the embodiment shown in FIGS. 43 to 48, the semiconductor element 63 is placed on the upper surface of the sheet substrate 10 as an electronic component. However, as shown in FIG. 49, a passive component (chip component) 64 is used as the electronic component. It may be placed. Moreover, you may mount both a semiconductor element and passive components.

先に説明したように、本発明の部品内蔵モジュールを複数積層して、多段化されたモジュールを得ることも可能である。図50に示した部品内蔵モジュール300は、2つの部品内蔵モジュールが積層された構成を有している。この例では、上方の部品内蔵モジュールと下方の部品内蔵モジュールとは、接続部材(半田ボール)64dによって電気的に接続されている。積層する部品内蔵モジュールの数は2つに限られず、3つ以上の部品内蔵モジュールを積層することも可能である。   As described above, it is also possible to obtain a multistage module by stacking a plurality of component built-in modules of the present invention. The component built-in module 300 shown in FIG. 50 has a configuration in which two component built-in modules are stacked. In this example, the upper component built-in module and the lower component built-in module are electrically connected by a connecting member (solder ball) 64d. The number of component built-in modules to be stacked is not limited to two, and three or more component built-in modules can be stacked.

本発明の部品内蔵モジュールは、前述のように、比較的容易に任意の形状にすることができるので、図51に示すように、凸部22を有するシート状基体10を備えた部品内蔵モジュール300を構成することができる。さらに、図52に示すように、2つの凸部22の間に存在するシート状基体10の凹部の底面の部分にチップ部品64を実装することが可能である。別の態様では、図53に示すように、シート状基体10の凹部が、配線基板(マザーボード)60上に位置するチップ部品64を収容するように、部品内蔵モジュールを配線基板60に実装することも可能である。   Since the component built-in module of the present invention can be formed into an arbitrary shape relatively easily as described above, as shown in FIG. 51, the component built-in module 300 including the sheet-like substrate 10 having the convex portions 22. Can be configured. Furthermore, as shown in FIG. 52, it is possible to mount the chip component 64 on the bottom surface portion of the concave portion of the sheet-like substrate 10 existing between the two convex portions 22. In another mode, as shown in FIG. 53, the component built-in module is mounted on the wiring board 60 so that the concave portion of the sheet-like substrate 10 accommodates the chip part 64 located on the wiring board (motherboard) 60. Is also possible.

更に、図54に示すように、凸部22はシート状基体10の下側と上側の両方に形成することも可能である。また、図55に示した部品内蔵モジュール300では、上下の凸部22により形成された凹部の底となるシート状基体10の表面にチップ部品64を実装し、実装された上側のチップ部品64の上方に半導体素子62を配置している。図55に示した例では、半導体素子62のリード63は、U/L形側配線20に接続されている。   Furthermore, as shown in FIG. 54, the convex portion 22 can be formed on both the lower side and the upper side of the sheet-like substrate 10. Also, in the component built-in module 300 shown in FIG. 55, the chip component 64 is mounted on the surface of the sheet-like substrate 10 that becomes the bottom of the concave portion formed by the upper and lower convex portions 22, and the upper chip component 64 mounted is mounted. A semiconductor element 62 is disposed above. In the example shown in FIG. 55, the lead 63 of the semiconductor element 62 is connected to the U / L-shaped side wiring 20.

本発明の部品内蔵モジュール、例えば上述の実施形態に係る部品内蔵モジュール100、200、300等は、携帯用電子機器の筐体内に収納されて、携帯用電子機器の他の部品とともに携帯用電子機器を構築できる。本発明の実施形態に係る部品内蔵モジュールは、携帯用電子機器のうち、実装面積について厳しい制限が課される電子機器、例えば携帯電話に好適に適用され、他の携帯用電子機器(例えば、PDAなど)にも好適に用いることができる。更に、本発明の部品内蔵モジュールは、本発明の部品内蔵モジュールの製造方法により比較的効率的に製造することができる。   The component built-in module of the present invention, for example, the component built-in module 100, 200, 300 or the like according to the above-described embodiment is housed in the casing of the portable electronic device and is portable electronic device together with other components of the portable electronic device. Can be built. The component built-in module according to the embodiment of the present invention is preferably applied to an electronic device in which a strict limitation is imposed on a mounting area among portable electronic devices, for example, a mobile phone, and other portable electronic devices (for example, PDAs). Etc.). Furthermore, the component built-in module of the present invention can be relatively efficiently manufactured by the method for manufacturing a component built-in module of the present invention.

従来の部品内蔵モジュール400を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional component built-in module 400 typically. 本発明の実施形態1に係る部品内蔵モジュール100を模式的に示す斜視図である。1 is a perspective view schematically showing a component built-in module 100 according to Embodiment 1 of the present invention. 本発明の実施形態1に係る部品内蔵モジュール100を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the component built-in module 100 which concerns on Embodiment 1 of this invention. (a)〜(d)は、部品内蔵モジュール形成部材の製造方法を説明するための工程断面図である。(A)-(d) is process sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of a component built-in module formation member. (a)〜(c)は、部品内蔵モジュール形成部材の製造方法を説明するための工程断面図である。(A)-(c) is process sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of a component built-in module formation member. (a)および(b)は、部品内蔵モジュールの第1の製造方法を説明するための工程断面図である。(A) And (b) is process sectional drawing for demonstrating the 1st manufacturing method of a component built-in module. (a)および(b)は、それぞれ、本発明の実施形態2に係る部品内蔵モジュール200を模式的に示す底面図および断面図である。(A) And (b) is the bottom view and sectional view which show typically component built-in module 200 concerning Embodiment 2 of the present invention, respectively. (a)〜(c)は、部品内蔵モジュール200の製造方法を説明するための工程断面図である。(A)-(c) is process sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the component built-in module 200. FIG. 本発明の実施形態2に係る部品内蔵モジュール210を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the component built-in module 210 which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態2に係る部品内蔵モジュール220を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the component built-in module 220 which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施形態2に係る部品内蔵モジュールを模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the component built-in module which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の部品内蔵モジュールにおけるU/L形側配線20の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the U / L-shaped side wiring 20 in the component built-in module of this invention. 本発明の部品内蔵モジュールにおけるU/L形側配線20の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the U / L-shaped side wiring 20 in the component built-in module of this invention. 本発明の部品内蔵モジュールにおけるU/L形側配線20の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the U / L-shaped side wiring 20 in the component built-in module of this invention. (a)〜(e)は、本発明の実施形態3に係る部品内蔵モジュール100の製造方法を説明するための工程断面図である。(A)-(e) is process sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the component built-in module 100 which concerns on Embodiment 3 of this invention. (a)および(b)は、本発明の実施形態4に係る、シールド部材(シールド層)35が内部に設けられた部品内蔵モジュール100を製造する方法を説明するための工程断面図である。(A) And (b) is process sectional drawing for demonstrating the method to manufacture the component built-in module 100 with which the shield member (shield layer) 35 provided in the inside based on Embodiment 4 of this invention. 本発明の実施形態5に係る部品内蔵モジュール100’におけるU/L形側配線20の要部拡大図である。It is a principal part enlarged view of the U / L-shaped side wiring 20 in the component built-in module 100 'concerning Embodiment 5 of this invention. 図17に示す部品内蔵モジュール100’をプリント基板60に半田付けした状態を示す要部拡大図である。FIG. 18 is an enlarged view of a main part showing a state in which the component built-in module 100 ′ shown in FIG. 本発明の実施形態5に係る部品内蔵モジュール100”をプリント基板60に半田付けした状態を示す要部拡大図である。It is a principal part enlarged view which shows the state which soldered the component built-in module 100 '' concerning Embodiment 5 of this invention to the printed circuit board 60. FIG. 部品内蔵モジュール100をコネクタ80を介してプリント基板60に実装した構成を示す断面図である。3 is a cross-sectional view showing a configuration in which a component built-in module 100 is mounted on a printed circuit board 60 via a connector 80. 本発明の実施形態6に係る部品内蔵モジュールの製造方法を説明するための工程断面図である。It is process sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the component built-in module which concerns on Embodiment 6 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す底面図である。It is a bottom view which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す底面図である。It is a bottom view which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す底面図である。It is a bottom view which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300における半導体素子の端子と配線の配列を模式的に示す底面図である。It is a bottom view which shows typically the arrangement | sequence of the terminal of a semiconductor element and wiring in the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. 本発明の実施形態7に係る部品内蔵モジュール300の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the component built-in module 300 which concerns on Embodiment 7 of this invention. (a)〜(c)は、部品内蔵モジュールの第2の製造方法を説明するための工程断面図である。(A)-(c) is process sectional drawing for demonstrating the 2nd manufacturing method of a component built-in module. (a)〜(c)は、部品内蔵モジュールの第2の製造方法を説明するための工程断面図である。(A)-(c) is process sectional drawing for demonstrating the 2nd manufacturing method of a component built-in module. (a)〜(d)は、部品内蔵モジュールの第3の製造方法を説明するための工程断面図である。(A)-(d) is process sectional drawing for demonstrating the 3rd manufacturing method of a component built-in module.

符号の説明Explanation of symbols

10 シート状基体
15 シート
20 配線
22 凸部
30 電子部品
32 半導体素子
33 端子
32a 素子端子
32b 金属細線
32c バンプ
33d 半田ボール
33 端子
34 受動部品(チップ部品)
35 シールド部材(シールド層)
40 キャリヤシート
42 金属層
44 配線パターン
60 プリント基板
62 半導体素子
63 リード
64 受動部品(チップ部品)
66 電子部品
70 半田
71 第1ロール
72 第2ロール
73 ロール
80 コネクタ
100 部品内蔵モジュール
100’、100” 部品内蔵モジュール
200、210、220、300 部品内蔵モジュール
400、500 部品内蔵モジュール
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Sheet-like base | substrate 15 Sheet | seat 20 Wiring 22 Convex part 30 Electronic component 32 Semiconductor element 33 Terminal 32a Element terminal 32b Metal fine wire 32c Bump 33d Solder ball 33 Terminal 34 Passive component (chip component)
35 Shield member (shield layer)
40 Carrier sheet 42 Metal layer 44 Wiring pattern 60 Printed circuit board 62 Semiconductor element 63 Lead 64 Passive component (chip component)
66 Electronic component 70 Solder 71 First roll 72 Second roll 73 Roll 80 Connector 100 Component built-in module 100 ′, 100 ”Component built-in module 200, 210, 220, 300 Component built-in module 400, 500 Component built-in module

Claims (27)

上側表面および該上側表面に対向する下側表面ならびにこれらを接続する側面を有して成る絶縁性シート状基体、
i)側面の少なくとも一部に位置する側面配線部と、ii)側面配線部と相互に接続され、且つ上側表面の少なくとも一部に位置する上側表面配線部、および側面配線部と相互に接続され、且つ下側表面の少なくとも一部に位置する下側表面配線部のうち少なくとも一方とを有して成る、少なくとも1本の配線、ならびに
シート状基体内に配置された電子部品
を含み、
前記配線の側面配線部は、その少なくとも一部がシート状基体の側面に埋め込まれて形成されている、部品内蔵モジュール。
An insulating sheet-like substrate having an upper surface, a lower surface opposite to the upper surface, and a side surface connecting them;
i) a side wiring part located on at least a part of the side surface; ii) connected to the side wiring part and connected to the upper surface wiring part located on at least a part of the upper surface and the side wiring part. and comprising and at least one of the lower surface wiring portion located on at least a portion of the lower surface, viewed contains at least one wiring, and electronic components arranged in sheet form in the substrate,
The module with a built- in component , wherein at least a part of the side wiring portion of the wiring is embedded in the side surface of the sheet-like substrate .
前記少なくとも1本の配線は、上側表面の電気要素と下側表面の電気要素とを電気的に接続する、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein the at least one wiring electrically connects the electrical element on the upper surface and the electrical element on the lower surface. シート状基体を貫通するビアを有さない、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein the module does not have a via penetrating the sheet-like substrate. 前記配線の少なくとも一方の端部はランドに接続されており、該配線とランドとは一体に形成されている、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein at least one end of the wiring is connected to a land, and the wiring and the land are integrally formed. 前記配線と電子部品とが電気的に接続されている、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein the wiring and the electronic component are electrically connected. シート状基体は、樹脂を含む材料から成る、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein the sheet-like substrate is made of a material containing a resin. シート状基体は、樹脂と無機フィラーとを含むコンポジット材料から成る、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein the sheet-like substrate is made of a composite material including a resin and an inorganic filler. 樹脂は、熱硬化性樹脂および熱可塑性樹脂の少なくとも一方である、請求項6に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 6, wherein the resin is at least one of a thermosetting resin and a thermoplastic resin. シート状基体の上側表面は、長辺と長辺よりも長さが短い短辺とから構成される略長方形の形状を有している、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein the upper surface of the sheet-like substrate has a substantially rectangular shape including a long side and a short side shorter than the long side. 電子部品は半導体素子である、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein the electronic component is a semiconductor element. 複数種類の電子部品がシート状基体内に配置されており、電子部品の少なくとも一つは半導体素子である、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein a plurality of types of electronic components are arranged in the sheet-like substrate, and at least one of the electronic components is a semiconductor element. 部品内蔵モジュールの上側表面および下側表面の少なくとも一方に、別の部品内蔵モジュールが積層されている、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein another component built-in module is stacked on at least one of an upper surface and a lower surface of the component built-in module. 部品内蔵モジュールの上側表面および下側表面の少なくとも一方に、電子部品が載置されている、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein an electronic component is placed on at least one of an upper surface and a lower surface of the component built-in module. 前記配線の側面配線部の頂面は、シート状基体の側面よりもシート状基体の内部側に位置している、請求項に記載の部品内蔵モジュール。 2. The component built-in module according to claim 1 , wherein a top surface of the side wiring portion of the wiring is located on an inner side of the sheet-like substrate than a side surface of the sheet-like substrate. 前記配線のシート状基体のコーナー部に位置する部分が、コーナー部を規定するシート状基体の表面よりも、シート状基体の内部側に位置している、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein a portion of the wiring located at a corner portion of the sheet-like substrate is located on an inner side of the sheet-like substrate with respect to a surface of the sheet-like substrate defining the corner portion. 複数本の前記配線が、コプレーナ線路を規定する、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, wherein the plurality of wirings define a coplanar line. シート状基体の内部にシールド部材を有する、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   The component built-in module according to claim 1, further comprising a shield member inside the sheet-like substrate. 少なくとも2つの電子部品がシート状基体内に配置され、少なくとも1つの電子部品は、シールド部材とシート状基体の上側表面との間に位置し、他の少なくとも1つの電子部品は、シールド部材とシート状基体の下側表面との間に位置する、請求項17に記載の部品内蔵モジュール。 At least two electronic components are disposed in the sheet-like substrate, the at least one electronic component is located between the shield member and the upper surface of the sheet-like substrate, and the other at least one electronic component is the shield member and the sheet. The module with a built-in component according to claim 17 , which is located between the lower surface of the cylindrical substrate. 電子部品の一部分は、シート状基体の表面にて露出しており、露出した電子部品の一部分に接するように、放熱部材が配置されている請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   2. The component built-in module according to claim 1, wherein a part of the electronic component is exposed on a surface of the sheet-like substrate, and a heat dissipation member is disposed so as to contact the exposed part of the electronic component. シート状基体は、半硬化状態の樹脂を含んで成るシートを折り畳み、その後、折り畳んだシートを完全に硬化することによって形成されている、請求項1に記載の部品内蔵モジュール。   2. The component built-in module according to claim 1, wherein the sheet-like substrate is formed by folding a sheet containing a resin in a semi-cured state, and then completely curing the folded sheet. 樹脂を含んで成るシートが、前記配線を一部として含む配線パターンを有している、請求項20に記載の部品内蔵モジュール。 The component built-in module according to claim 20 , wherein a sheet including resin has a wiring pattern including the wiring as a part thereof. 請求項1に記載の部品内蔵モジュールおよびそれを収納する筐体とを有している電子機器。   An electronic device comprising the component built-in module according to claim 1 and a housing for housing the module. 部品内蔵モジュールの製造方法であって、
(1−A)キャリヤシート、その上に配置された少なくとも1本の配線を有して成る配線パターンおよび電子部品、ならびにこれらの配線パターンおよび電子部品の上に配置された樹脂を含む絶縁層を有して成る、部品内蔵モジュール形成部材を準備する工程、
(1−B)部品内蔵モジュール形成部材を折り畳んで絶縁層を相互に対向させ、該少なくとも1本の配線の一部が、対向する絶縁層を介して相互に対向し、かつ該少なくとも1本の配線の他の部分が、絶縁層の折り曲げ部分により形成される、折り曲げ後の絶縁層の側面上で延在するようにする工程、および
(1−C)折り畳んだ部品内蔵モジュール形成部材の絶縁層の樹脂を硬化する工程
を含んで成る部品内蔵モジュールの製造方法。
A method of manufacturing a component built-in module,
(1-A) Carrier sheet, wiring pattern and electronic component having at least one wiring arranged thereon, and insulating layer containing resin arranged on these wiring pattern and electronic component A step of preparing a component built-in module forming member,
(1-B) The component built-in module forming member is folded so that the insulating layers are opposed to each other, and a part of the at least one wiring is opposed to each other via the opposing insulating layer, and the at least one The other part of the wiring is formed by the bent part of the insulating layer, and extends on the side surface of the insulating layer after bending; and (1-C) the insulating layer of the folded component built-in module forming member A method of manufacturing a component built-in module comprising a step of curing the resin.
部品内蔵モジュール形成部材を、
(1−a)キャリヤシートおよびその上に形成された金属層を有して成る積層体を準備する工程、
(1−b)金属層を加工して少なくとも1本の配線を有して成る配線パターンを形成すると共に、必要な場合、電子部品を配置すべき箇所の下方に位置するキャリヤシートを露出させる工程、
(1−c)露出したキャリヤシートおよび/または配線パターン上に電子部品を配置する工程、および
(1−d)配線パターンおよび電子部品上に、樹脂を含んで成る絶縁層を形成する工程
を含む部品内蔵モジュール形成部材の製造方法によって準備する、請求項23に記載の部品内蔵モジュールの製造方法。
The component built-in module forming member
(1-a) preparing a laminate having a carrier sheet and a metal layer formed thereon,
(1-b) a step of processing the metal layer to form a wiring pattern having at least one wiring and, if necessary, exposing a carrier sheet located below the location where the electronic component is to be placed ,
(1-c) including a step of placing an electronic component on the exposed carrier sheet and / or wiring pattern, and (1-d) a step of forming an insulating layer containing a resin on the wiring pattern and the electronic component. The method for manufacturing a component built-in module according to claim 23 , which is prepared by a method for manufacturing a component built-in module forming member.
部品内蔵モジュールの製造方法であって、
(2−A) キャリヤシート、その上に配置された少なくとも1本の配線を有して成る配線パターン、配線パターンの上に配置された樹脂を含んで成る絶縁層、および絶縁層の上に配置された電子部品を有して成る、部品内蔵モジュール形成部材を準備する工程、
(2−B) 部品内蔵モジュール形成部材を折り畳んで絶縁層を相互に対向させ、該少なくとも1本の配線の一部が、対向する絶縁層を介して相互に対向し、かつ該少なくとも1本の配線の他の部分が、絶縁層の折り曲げ部分により形成される、折り曲げ後の絶縁層の側面上で延在するようにする工程、および
(2−C)折り畳んだ部品内蔵モジュール形成部材の絶縁層の樹脂を硬化する工程
を含んで成る部品内蔵モジュールの製造方法。
A method of manufacturing a component built-in module,
(2-A) A carrier sheet, a wiring pattern having at least one wiring arranged thereon, an insulating layer including a resin arranged on the wiring pattern, and arranged on the insulating layer A step of preparing a component built-in module forming member comprising the electronic component
(2-B) The component built-in module forming member is folded so that the insulating layers are opposed to each other, and a part of the at least one wiring is opposed to each other via the opposing insulating layer, and the at least one The other part of the wiring is formed by the bent portion of the insulating layer, and extends on the side surface of the insulating layer after the bending; and (2-C) the insulating layer of the folded component built-in module forming member A method of manufacturing a component built-in module comprising a step of curing the resin.
部品内蔵モジュール形成部材を、
(2−a)キャリヤシートおよびその上に形成された金属層を有して成る積層体を準備する工程、
(2−b)金属層を加工して少なくとも1本の配線を有して成る配線パターンを形成する工程、
(2−c)配線パターン上に、樹脂を含んで成る絶縁層を形成する工程、および
(2−d)絶縁層上に電子部品を配置する工程
を含む部品内蔵モジュール形成部材の製造方法によって準備する、請求項25に記載の部品内蔵モジュールの製造方法。
The component built-in module forming member
(2-a) preparing a laminate having a carrier sheet and a metal layer formed thereon,
(2-b) processing the metal layer to form a wiring pattern having at least one wiring;
(2-c) Prepared by a method for producing a component built-in module forming member, including a step of forming an insulating layer containing a resin on a wiring pattern, and (2-d) a step of placing an electronic component on the insulating layer The method for manufacturing a component built-in module according to claim 25 .
部品内蔵モジュールの製造方法であって、
(3−A)キャリヤシート、その上に配置された少なくとも1本の配線を有して成る配線パターンおよび電子部品を有して成る部品内蔵モジュール形成部材を準備する工程、
(3−B)部品内蔵モジュール形成部材を、配線パターンを内側にして、該少なくとも1本の配線の一部が相互に対向し、かつ対向した部分の間に空隙が形成されるように曲げる工程、
(3−C)硬化性樹脂を含んで成る材料を空隙に注入して樹脂層を形成する工程、
(3−D)該樹脂層を硬化させて電気絶縁層を形成する工程、および
(3−E)キャリヤシートを除去して該配線層を露出させる工程
を含む、接続部材の製造方法。
A method of manufacturing a component built-in module,
(3-A) preparing a component built-in module forming member having a carrier sheet, a wiring pattern having at least one wiring disposed thereon, and an electronic component;
(3-B) A step of bending the component built-in module forming member with the wiring pattern inside, so that a part of the at least one wiring faces each other, and a gap is formed between the facing parts. ,
(3-C) a step of injecting a material comprising a curable resin into the gap to form a resin layer;
(3-D) A method of manufacturing a connection member, comprising: curing the resin layer to form an electrical insulating layer; and (3-E) removing the carrier sheet to expose the wiring layer.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101278383B (en) * 2005-11-02 2011-04-13 松下电器产业株式会社 Electronic circuit device and method for manufacturing same
JP5006746B2 (en) * 2007-10-05 2012-08-22 三共化成株式会社 Three-dimensional circuit component structure
JP6390434B2 (en) * 2015-01-13 2018-09-19 日立化成株式会社 Manufacturing method of resin film for embedding electronic component, manufacturing method of electronic component device
TWI664881B (en) 2017-01-13 2019-07-01 日商村田製作所股份有限公司 Component module
TWI712136B (en) 2020-02-26 2020-12-01 頎邦科技股份有限公司 Flip chip interconnection and circuit substrate thereof
JP7198856B2 (en) * 2021-03-30 2023-01-04 Nissha株式会社 Resin case with electronic parts and its manufacturing method

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6134963A (en) * 1984-05-18 1986-02-19 ブリテイツシユ テレコミユニケ−シヨンズ ピ−エルシ− Integrated circuit chip carrier
JPH08298356A (en) * 1995-04-27 1996-11-12 Toppan Printing Co Ltd Printed wiring board
JPH11220262A (en) * 1997-11-25 1999-08-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Circuit part built-in module and manufacture thereof
JP2000312060A (en) * 1999-04-28 2000-11-07 Kyocera Corp Substrate for mounting of electronic component
JP2002319750A (en) * 2001-04-23 2002-10-31 Toshiba Chem Corp Printed-wiring board, semiconductor device, and their manufacturing methods
JP2003312060A (en) * 2002-04-24 2003-11-06 Minolta Co Ltd Color imaging apparatus
JP2005203674A (en) * 2004-01-19 2005-07-28 Nitto Denko Corp Method of manufacturing electronic-component built-in board

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6134963A (en) * 1984-05-18 1986-02-19 ブリテイツシユ テレコミユニケ−シヨンズ ピ−エルシ− Integrated circuit chip carrier
JPH08298356A (en) * 1995-04-27 1996-11-12 Toppan Printing Co Ltd Printed wiring board
JPH11220262A (en) * 1997-11-25 1999-08-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Circuit part built-in module and manufacture thereof
JP2000312060A (en) * 1999-04-28 2000-11-07 Kyocera Corp Substrate for mounting of electronic component
JP2002319750A (en) * 2001-04-23 2002-10-31 Toshiba Chem Corp Printed-wiring board, semiconductor device, and their manufacturing methods
JP2003312060A (en) * 2002-04-24 2003-11-06 Minolta Co Ltd Color imaging apparatus
JP2005203674A (en) * 2004-01-19 2005-07-28 Nitto Denko Corp Method of manufacturing electronic-component built-in board

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