JP4615932B2 - 差圧測定システム及び差圧測定方法 - Google Patents
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w =(PO1 - PI1)× (a2 - r2)2 / (64 ×D) …(1)
ここでr(r : 0 ≦ r ≦ a)は第1感圧膜50aの中心位置Mから測定位置までの距離である。Dは下記(2)式で与えられる。:
D = E ×c3 / {12 × (1 - υ2)} …(2)
(2)式において、Eは第1感圧膜50aのヤング率、cは第1感圧膜50aの厚さ、υは第1感圧膜50aのポアッソン比である。(1)式を用いることにより、第1感圧膜50aの撓みwから第1外部圧力PO1を算出することが可能である。
= 2 + 2cos{2π{(L1s - L2r) / λ1 + (L2s - L1r) / λ2}} × cos{2π{(L1s - L2r) / λ1 - (L2s - L1r) / λ2}} …(3)
ここで図1に示す第1感圧部3の反射光と、第2感熱部16の反射光との第1の光路差L12は下記(4)式で表される。また第2感圧部13の反射光と、第1感熱部6の反射光との第2の光路差L21は下記(5)式で表される。
L21 = L2s - L1r …(5)
したがって(3)乃至(5)式より、合成干渉縞の光強度Iは下記(6)式に示す高周波成分cos{2π(L12 / λ1 + L21 / λ2)}と低周波成分cos{2πφ}の積で表される。
なお(6)式中のφは、下記(7)式で表される第1波長λ1の光と第2波長λ2の光との位相差である。
ここで、図1に示す第1測定ユニット5と第2測定ユニット15との間に圧力差が生じた場合、第1の光路差L12及び第2の光路差L21の変動に応じて位相差φも変動する。しかし、第1測定ユニット5と第2測定ユニット15との間に温度差が生じても、差圧測定システムを図1に示す配置で構成することにより、位相差φは変動しないとみなすことができる。位相差φが温度差で変動しないとみなすことができる理由を以下説明する。
L21 = L21(PO2, T1, T2) …(9)
図12に示す第1の組み合わせによる経路を伝搬する光の第1波長λ1は、第1感圧部3に加わる第1温度T1及び第2感熱部16に加わる第2温度T2に依存して波長シフトするため、下記(10)式で与えられる第1温度T1及び第2温度T2の関数に書き直すことができる。さらに図13に示す第2の組み合わせによる経路を伝搬する光の第2波長λ2は、第1感熱部6に加わる第1温度T1及び第2感圧部13に加わる第2温度T2に依存して波長シフトするため、下記(11)式で与えられる第1温度T1及び第2温度T2の関数で書き直すことができる。
λ2 = λ2(T1, T2) …(11)
ここで、第1外部圧力PO1、第2外部圧力PO2、第1温度T1及び第2温度T2のそれぞれに変動が生じた場合、(7)式で示された位相差φの変動量Δφは下記(12)式で表される。
= [(1 / λ1) {(δL12 / δPO1)ΔPO1 + (δL12 / δT1)ΔT1 +(δL12 / δT2)ΔT2 } + L12 {(δ(1 / λ1) / δT1)ΔT1 + (δ(1 / λ1) / δT2)ΔT2]
- [(1 / λ2) {(δL21 / δPO2)ΔPO2 + (δL21 / δT1)ΔT1 +(δL21 / δT2)ΔT2 } + L21 {(δ(1 / λ2) / δT1)ΔT1 + (δ(1 / λ2) / δT2)ΔT2] …(12)
(12)式の各項を、それぞれ第1外部圧力PO1の変動量ΔPO1、第2外部圧力PO2の変動量ΔPO2、第1温度T1の変動量ΔT1、及び第2温度T2の変動量ΔT2を有する項で整理すると、下記(13)式が導かれる。
+ [(1 / λ1)(δL12 / δT1) + L12 (δ(1 / λ1) / δT1) - {(1 / λ2)(δL21 / δT1) + L21 (δ(1 / λ2) / δT1)}]ΔT1
+ [(1 / λ1)(δL12 / δT2) + L12 (δ(1 / λ1) / δT2) - {(1 / λ2)(δL21 / δT2) + L21 (δ(1 / λ2) / δT2)}]ΔT2 …(13)
さらに(13)式を変形すると、下記(14)式が導かれる。
+ [(1 / λ1)(δL12 / δT1) - (L12 / λ1 2)(δλ1 / δT1)
- {(1 / λ2)(δL21 / δT1) - (L21 / λ2 2)(δλ2 / δT1)}]ΔT1
+ [(1 / λ1)(δL12 / δT2) - (L12 / λ1 2)(δλ1 / δT2)
- {(1 / λ2)(δL21 / δT2) - (L21 / λ2 2)δλ2 / δT2}]ΔT2 …(14)
ここで、第1の光路差L12の第1外部圧力PO1に対する第1圧力感度αP1 (1)、及び第2の光路差L21の第2外部圧力PO2に対する第2圧力感度αP2 (2)のそれぞれは、下記(15)及び(16)式で定義することができる。
αP2 (2) = δL21 / δPO2 …(16)
また、第1の光路差L12の第1温度T1に対する熱膨張量C12 (1)、第1の光路差L12の第2温度T2に対する熱膨張量C12 (2)、第2の光路差L21の第1温度T1に対する熱膨張量C21 (1)、及び第2の光路差L21の第2温度T2に対する熱膨張量C21 (2)のそれぞれは、下記(17)乃至(20)式で定義することができる。
C12 (2) = δL12 / δT2 …(18)
C21 (1) = δL21 / δT1 …(19)
C21 (2) = δL21 / δT2 …(20)
さらに、第1波長λ1の第1温度T1に対する反射波長温度係数D1 (1)、第1波長λ1の第2温度T2に対する反射波長温度係数D1 (2)、第2波長λ2の第1温度T1に対する反射波長温度係数D2 (1)、及び第2波長λ2の第2温度T2に対する反射波長温度係数D2 (2)のそれぞれは、下記(21)乃至(24)式で定義することができる。
D1 (2) = δλ1 / δT2 …(22)
D2 (1) = δλ2 / δT1 …(23)
D2 (2) = δλ2 / δT2 …(24)
したがって(15)乃至(24)式を(14)式に代入することにより、位相差φの変動量Δφは下記(25)式で表される。
+ [(1 / λ1)C12 (1) - (L12 / λ1 2)D1 (1)
- {(1 / λ2)C21 (1) - (L21 / λ2 2)D2 (1)}]ΔT1
+ [(1 / λ1)C12 (2) - (L12 / λ1 2)D1 (2)
- {(1 / λ2)C21 (2) - (L21 / λ2 2)D2 (2)}]ΔT2 …(25)
また、第1感圧部3と第2感熱部16のそれぞれは、第1熱膨張係数E1及び第1反射波長温度係数D1を有する材料からなるため、下記(26)を近似することができ、また(27)式が成立する。さらに第1感熱部6と第2感圧部13のそれぞれは、第2熱膨張係数E2及び第2反射波長温度係数D2を有する材料からなるため、下記(28)を近似することができ、また(29)式が成立する。
D1 = D1 (1) = D1 (2) …(27)
C21 = C21 (1) = C21 (2) …(28)
D2 = D2 (1) = D2 (2) …(29)
(26)乃至(29)式において、C12は第1の光路差L12の第1温度T1及び第2温度T2に対する第1近似熱膨張量、C21は第2の光路差L21の第1温度T1及び第2温度T2に対する第2近似熱膨張量を示す。よって(25)乃至(29)式から、位相差φの変動量Δφは下記(30)式で表される。
+ [(1 / λ1)C12 - (L12 / λ1 2)D1
- {(1 / λ2)C21 - (L21 / λ2 2)D2}]ΔT1
+ [(1 / λ1)C12 - (L12 / λ1 2)D1
- {(1 / λ2)C21 - (L21 / λ2 2)D2}]ΔT2 …(30)
さらに(30)式を変形すると、位相差φの変動量Δφは下記(31)式で表される。
+ [(1 / λ1)C12 - (L12 / λ1 2)D1](ΔT1 + ΔT2)
- [(1 / λ2)C21 - (L21 / λ2 2)D2](ΔT1 + ΔT2 ) …(31)
ここで、第1近似熱膨張量C12と、第1熱膨張係数E1及び第1の光路差L12との間には下記(32)式の関係が成り立つ。
したがって、(31)式の第2項は第1熱膨張係数E1を用いて下記(33)式で表すことができる。
= [(1 / λ1)E1 × L12 - (L12 / λ1 2)D1](ΔT1 + ΔT2)
= [(L12 / λ1) {E1 - (D1 / λ1)}](ΔT1 + ΔT2) …(33)
(33)式より、下記(34)式に示す関係が成立する場合に(31)式の第2項は0となる。
D1 = E1×λ1 …(34)
また第2近似熱膨張量C21と、第2熱膨張係数E2及び第2の光路差L21との間には下記(35)式の関係が成り立つ。
したがって、(31)式の第3項は第2熱膨張係数E2を用いて下記(36)式で表すことができる。
= [(1 / λ2)E2 × L21 - (L21 / λ2 2)D2](ΔT1 + ΔT2)
= [(L21 / λ2) {E2 - (D2 / λ2)}](ΔT1 + ΔT2) …(36)
(36)式より、下記(37)式に示す関係が成立する場合に(31)式の第3項は0となる。
D2 = E2×λ2…(37)
したがって、(34)式に示したように、第1感圧部3及び第2感熱部16のそれぞれの第1反射波長温度係数D1の値が、第1熱膨張係数E1に第1波長λ1を掛けた値と等しく、また(37)式に示したように、第2感圧部13及び第1感熱部6のそれぞれの第2反射波長温度係数D2の値が、第2熱膨張係数E2に第2波長λ2を掛けた値と等しくなる材料で図1のシステムを構成すれば、(31)式の第2項及び第3項は消去され、位相差φの変動量Δφは下記(38)式で表される。
そのため、図1に示す第1測定ユニット5と第2測定ユニット15との間に圧力差が生じた場合には位相差φは変動するが、温度差が生じても位相差φは変動しないとみなすことができる。なお図3に示す第1感圧膜50aは第1感圧部3と同じ第1熱膨張係数E1を有し、図11に示す第2感圧膜50bは第2感圧部13と同じ第2熱膨張係数E2を有するのが望ましい。
= (3.18 ×10-5 - 3.14 ×10-5 )×(ΔT1 + ΔT2)
= 0.04 ×10-5 ×(ΔT1 + ΔT2) …(39)
また第2波長λ2を1.31μm、第2の光路差L21を5μmとし、第1感熱部6及び第2感圧部13の材料に第2熱膨張係数E2が4.13×10-6 /Kの単結晶Siを用いると第2近似熱膨張量C21が2.06 × 10-11 m/Kとなる。さらに第1感熱部6及び第2感圧部13の成膜条件を第2反射波長温度係数D2が5.30 ×10-12 m/Kとなるように設定すると、(31)式の第3項は下記(40)式で表される。
= - (1.57 ×10-5 - 1.54 ×10-5)×(ΔT1 + ΔT2)
= - 0.03 ×10-5 ×(ΔT1 + ΔT2) …(40)
したがって、上記条件では(31)式は下記(41)式で表されるので、(38)式を近似することが可能となる。
+ 1.00 ×10-7×(ΔT1 + ΔT2)
≒ (1 / λ1)αP1 (1)ΔPO1 - (1 / λ2)αP2 (2)ΔPO2 …(41)
図1に示す受光素子8は光強度Iを電気信号に変換し、信号処理装置7に出力する。信号処理装置7は上記(7)式で表される第1波長λ1の光と第2波長λ2の光との位相差φの(38)式で表される変動量Δφを観測する。ここで、第1波長λ1、第2波長λ2、第1圧力感度αP1 (1)、及び第2圧力感度αP2 (2)のそれぞれの値は既知であるから、(38)式より信号処理装置7は第1外部圧力PO1と第2外部圧力PO2との差圧を算出することが可能となる。
図26に示す実施の形態の変形例1に係る差圧測定システムは、図1と異なり、第1及び第4反射光による第1干渉縞と第2及び第3反射光による第2干渉縞との合成干渉縞を形成させる干渉計28をさらに有する。図26において、スプリッタ21で分割された一方の光は光ファイバ31aで伝搬され、第1干渉用スプリッタ22で光ファイバ31b, 36のそれぞれに分割される。光ファイバ31bは第1測定ユニット5に接続される。第1測定ユニット5からの反射光は、第1干渉用スプリッタ22に接続された光ファイバ34に分割される。
= 2 + 2cos{2πd{1 / λ1 + 1 / λ2}} × cos{2πd{1 / λ1 - 1 / λ2}} …(42)
したがって、実施の形態で示した(6)式乃至(41)式の第1の光路差L12及び第2の光路差L21のそれぞれを光路差dと置き換えることにより、図26及び図27に示した差圧測定システムでも位相差φの変動量Δφは第1測定ユニット5と第2測定ユニット15との間に圧力差が生じた場合には変動するが、温度差が生じても変動しないとみなすことができる。さらに図1に示した差圧測定システムと比較して、図26及び図27に示す配置をとることにより、より測定レンジを大きくすることも可能となる。
図1に示す差圧測定システムに、外乱要因によるノイズを除去するためのノイズ除去手段を付加してもよい。例えば図31に示す差圧測定システムは、ロックインアンプ27をさらに有する。ロックインアンプ27は、既知の周波数の参照信号Rを発生させる発振器74、参照信号Rを基に光源4から照射される光に位相変調Aを加える位相変調器71、受光素子8が出力する電気信号を増幅するアンプ72、アンプ72の出力に参照信号Rを重畳する積算器73、及び積算器73に接続され、参照信号Rと同じ周波数の電気信号のみが通過できるローパスフィルタ75を有する。発振器74が発生させる参照信号Rは下記(43)式で表される。
(43)式において、Gは任意の定数、fは周波数、及びtは時間を表す。位相変調器71は光源4が照射する光を伝搬する光ファイバ30aに接続されている。位相変調器71が光に加える位相変調Aは下記(44)式で与えられる。
(44)式においてΔLは光路長変化範囲を表す。位相変調Aを加えられた光は、位相変調器71に接続された光ファイバ30bでスプリッタ21に伝搬される。
×cos{2π(L12 /λ1- L21 /λ2) + 2πΔL(1 /λ1 - 1 /λ2)sin(2π・f・t)} …(45)
ここで(45)式の低周波成分V0に着目すると、下記(46)式が導かれる。
= cosθ×cos(ηsin(2π・f・t)) - sinθ×sin(ηsin(2π・f・t)) …(46)
(46)式において、θ及びηは下記(47)式及び(48)式で定義される。
一方遅延回路176は、発振器74が発生させる参照信号Rをπ/2遅延させ、下記(51)式で与えられる遅延参照信号RDを出力する。
積算器173は第1ローパスフィルタ76及び遅延回路176のそれぞれの出力に接続されている。積算器173は第1透過成分VLPF1に遅延参照信号RDを重畳し、下記(52)式で与えられる積算成分VAを出力する。
アンプ172は第2ローパスフィルタ77の出力に接続される。アンプ172の増幅率Bは下記(53)式で表される。
第2ローパスフィルタ77でフィルタリングされ、アンプ172で増幅された第2透過成分VLPF2は下記(54)式で与えられる。
積算器173の出力は、バンドパスフィルタ178に接続されている。バンドパスフィルタ178は積算成分VAをフィルタリングする。加算器175はバンドパスフィルタ178及びアンプ172のそれぞれの出力に接続されている。加算器175は積算成分VA に第2透過成分VLPF2を加算し、下記(55)式で与えられる処理後成分VFを信号処理装置7に出力する。
= G ×B ×J0(η)cos(2π(φ+ f・t)) …(55)
したがって、信号処理装置7はより高い精度で位相差φの変動量Δφを観測することが可能となる。
図33に示す実施の形態の変形例3に係る第1測定ユニット105は、筐体11内部に配置された第1感熱部106及び第1感圧部103のそれぞれにファイバブラッググレーティングを用いている。図34に示すように、第1感熱部106は、コア130aにおいて第1屈折率部100a, 100b, 100c, …と第2屈折率部200a, 200b, 200c, …のそれぞれが交互に配置された周期構造を有する。第1感熱部106に入射した光は、第1屈折率部100a, 100b, 100c, …と第2屈折率部200a, 200b, 200c, …の周期構造により、特定の波長のみ選択的に反射される。ここで、第1屈折率部100a, 100b, 100c, …と第2屈折率部200a, 200b, 200c, …の周期構造における平均屈折率をnD2とし、周期構造の間隔を第2格子間隔Λm2として、下記(56)式で表され図8で示される第2波長λ2に強度のピークが現れる第2波長帯域WB2の光を第1感熱部106は反射する。
図33に示す第1感圧部103は第1感圧ファイバ107及び第1回折格子108を有する。第1感圧ファイバ107上部には、図33のA-A方向から見た断面図である図35及び図36に示すように筐体11に感圧窓49が設けら、さらに第1感圧ファイバ107下部には中空部59が設けられている。そのため、第1外部圧力PO1と中空部59内部の第1内部圧力PI1が等しい場合は図35に示すように第1感圧ファイバ107は撓まない。これに対し、第1外部圧力PO1が第1内部圧力PI1を上回る場合には、図36に示すように、第1感圧ファイバ107は筐体11内部方向に撓む。第1回折格子108は、周期構造の間隔が第2格子間隔Λm2と異なる第1格子間隔Λm1を有する以外は、図34と同様の構造を有する。第1回折格子108の平均屈折率をnD1として、第1回折格子108は下記(57)式で表され図8で示される第1波長λ1に強度のピークが現れる第1波長帯域WB1の光を反射する。
第1感圧部103では、図36に示した第1外部圧力PO1によって第1感圧ファイバ107が撓み、図1で説明した第1感圧光距離L1sが変化する。ここで第1感熱部106及び第1感圧部103のそれぞれは、周囲の第1温度T1の変動量ΔT1に依存して膨張あるいは収縮する。さらに第1感熱部106及び第1感圧部103のそれぞれは、周囲の第1温度T1の変動量ΔT1に依存して平均屈折率nD2, nD1が変化し、反射光λ2 , λ1に波長シフトが生じうる。
図37に示す差圧測定システムが図1と異なるのは、第1光源44と第2光源45の2つの光源が配置されている点である。第1光源44は、第1感圧部3及び第2感熱部16のそれぞれの図8(a)及び図8(b)に示した第1波長λ1に対応する光を照射する。また第2光源45は、第2感圧部13及び第1感熱部6のそれぞれの第2波長λ2に対応する光を照射する。なお図37に示す第2光源45には、図8(a)及び図8(b)に示した第2波長λ2での光強度が第1光源44の第1波長λ1での光強度と等しく、照射される光のスペクトルが第1光源44と相似となる光源が好適である。
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。例えば図1に示す第1測定ユニット5においては、光ファイバ31に対して第1感熱部6と第1感圧部3を直列に配置したが、実施の形態はこれに限定されない。図38に示す第1測定ユニット105のように、光ファイバ31に対して第1感圧部103及び第1感熱部106のそれぞれを並列に配置してもよい。同様に、第2測定ユニット115においても、第2感圧部113及び第2感熱部116のそれぞれを光ファイバ32に対して並列に配置してもよい。
4…光源
5…第1測定ユニット
6…第1感熱部
7…信号処理装置
8…受光素子
11…筐体
13…第2感圧部
15…第2測定ユニット
16…第2感熱部
21…スプリッタ
22…第1干渉用スプリッタ
23…第2干渉用スプリッタ
27…ロックインアンプ
28…干渉計
30, 30a, 30b, 31, 31a, 31b, 32, 32a, 32b, 33, 34, 35, 300a, 300b…光ファイバ
40a…第1測定センサ基底部
40b…第2測定センサ基底部
43a…第1測定用筐体
43b…第2測定用筐体
44…第1光源
45…第2光源
49…感圧窓
50a…第1感圧膜
50b…第2感圧膜
59…中空部
60a, 60b…ホルダ
62…貫通孔
70a, 70b…開放弁
71…位相変調器
72, 172…アンプ
73, 173…積算器
74…発振器
75…ローパスフィルタ
76…第1ローパスフィルタ
77…第2ローパスフィルタ
90…レンズ
91…プリズム
92…ビームスプリッタ
93…第1全反射鏡
94…第2全反射鏡
100a, 100b, 100c, ……第1屈折率部
103…第1感圧部
105…第1測定ユニット
106…第1感熱部
107…第1感圧ファイバ
108…第1回折格子
113…第2感圧部
115…第2測定ユニット
116…第2感熱部
121, 123…凹部
127…位相検波手段
130a, 130b…コア
131a, 131b…クラッド
141…第1半導体層
142…第2半導体層
160a, 160b…通気孔
161a, 161b, 162a, 162b…レジストマスク
175…加算器
176…遅延回路
180, 181…メタルマスク
200a, 200b, 200c……第2屈折率部
221…光源用スプリッタ
Claims (9)
- 第1及び第2波長の光を照射する光源と、
前記第1波長の第1反射光を反射し、第1外部圧力及び第1温度が加えられ、第1熱膨張係数及び前記第1熱膨張係数に前記第1波長を掛けた第1反射波長温度係数を有する第1感圧部と、
前記第2波長の第2反射光を反射し、前記第1温度が加えられ、第2熱膨張係数及び前記第2熱膨張係数に前記第2波長を掛けた第2反射波長温度係数を有する第1感熱部と、
前記第2波長の第3反射光を反射し、第2外部圧力及び第2温度が加えられ、前記第2熱膨張係数及び第2反射波長温度係数を有する第2感圧部と、
前記第1波長の第4反射光を反射し、前記第2温度が加えられ、前記第1熱膨張係数及び第1反射波長温度係数を有する第2感熱部と、
前記第1及び第4反射光による第1干渉縞と前記第2及び第3反射光による第2干渉縞の位相差の変動から前記第1及び第2外部圧力の差圧を算出する信号処理装置
とを備えることを特徴とする差圧測定システム。 - 前記第1及び第2感圧部、及び第1及び第2感熱部のそれぞれの材料はシリコンを含むことを特徴とする請求項1に記載の差圧測定システム。
- 前記第1及び第2感圧部、及び第1及び第2感熱部のそれぞれの材料は酸化珪素及び酸化チタンを含むことを特徴とする請求項1に記載の差圧測定システム。
- 前記第1及び第2感圧部、及び第1及び第2感熱部のそれぞれは多層膜を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の差圧測定システム。
- 前記第1及び第2感圧部、及び第1及び第2感熱部のそれぞれはファイバブラッググレーティングを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の差圧測定システム。
- 前記第1及び第4反射光による第1干渉縞と前記第2及び第3反射光による第2干渉縞との合成干渉縞を形成させる干渉計を更に備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の差圧測定システム。
- 前記第1乃至第4反射光に加わるノイズを除去するロックインアンプを更に備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の差圧測定システム。
- 前記第1乃至第4反射光に加わるノイズを除去する位相検波手段を更に備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の差圧測定システム。
- 第1及び第2波長の光を照射するステップと、
第1外部圧力及び第1温度が加えられ、第1熱膨張係数及び前記第1熱膨張係数に前記第1波長を掛けた第1反射波長温度係数を有する第1感圧部で前記光を受け、前記第1波長の第1反射光を反射するステップと、
前記第1温度が加えられ、第2熱膨張係数及び前記第2熱膨張係数に前記第2波長を掛けた第2反射波長温度係数を有する第1感熱部で前記光を受け、前記第2波長の第2反射光を反射するステップと、
第2外部圧力及び第2温度が加えられ、前記第2熱膨張係数及び第2反射波長温度係数を有する第2感圧部で前記光を受け、前記第2波長の第3反射光を反射するステップと、
前記第2温度が加えられ、前記第1熱膨張係数及び第1反射波長温度係数を有する第2感熱部で前記光を受け、前記第1波長の第4反射光を反射するステップと、
前記第1及び第4反射光の第1干渉縞と前記第2及び第3反射光の第2干渉縞の位相差の変動から前記第1及び第2外部圧力の差圧を算出するステップ
とを含むことを特徴とする差圧測定方法。
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