JP4596803B2 - 減圧蒸着装置 - Google Patents
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Description
蒸着膜である有機材料からなる膜が形成されるべき基板を収容するチャンバと、
ガス圧力調整手段と、を備え、
前記ガス圧力調整手段が、第1の不活性ガス発生源から発生する第1の不活性ガスを前記チャンバ内に導入するための第1の配管から前記チャンバに供給される、前記第1の不活性ガスの流量を調整する第1のガス流量調整手段と、
第2の不活性ガス発生源から発生する第2の不活性ガスを前記チャンバ内に導入するための第2の配管から前記チャンバに供給される、前記第2の不活性ガスの流量を調整する第2のガス流量調整手段と、
前記チャンバ内に導入された前記第1の不活性ガス発生源から発生する不活性ガス、及び第2の不活性ガス発生源から発生する不活性ガスを排気するポンプ手段とを備え、
前記ガス圧力調整手段により、前記基板に対する蒸着膜形成時における前記チャンバ内のガス圧力よりも、前記基板に対する蒸着膜非形成時における前記チャンバ内のガス圧力の方が高い状態に維持されており、
前記第1のガス流量調整手段が、前記第1の配管において前記チャンバ側に設けられる第1オリフィスと、
前記第1の配管において前記第1オリフィスよりも上流側に設けられる第1のバルブと、
前記第1のバルブよりも上流側に設けられる第1の不活性ガス発生源及び第1の圧力調整器と、
前記第1のオリフィスと前記第1のバルブとの間に設けられ前記第1のオリフィスと前記第1のバルブとの間の圧力を検知するための圧力計と、を有しており、
前記第2のガス流量調整手段が、前記第2の配管において前記チャンバ側に設けられる第2オリフィスと、
前記第2の配管において前記第2オリフィスよりも上流側に設けられる第2のバルブと、
前記第2のバルブよりも上流側に設けられる第3のバルブと、
前記第3のバルブよりも上流側に設けられる第2の不活性ガス発生源及び第2の圧力調整器と、を有していることを特徴とする減圧蒸着装置が得られる。
前記1次ポンプに接続される2次ポンプと、
前記1次ポンプと前記2次ポンプとの間に設けられるポンプバージガス導入機構と、を有することが望ましい。
ここで、1次ポンプ22の排気速度を1000l/secとし、処理室21内のガス圧力を0.1〜1mTorrとしたとき、処理室21内に導入されるガス流量fは次式であらわすことができる。
= 7.9cc/min(0.1mTorr)or 79cc/min(1mTorr)。
31 基板導入室
22、32 1次ポンプ
23、33 2次ポンプ
25 基板
26 基板ホルダー
28、38 ポンプ弁
29 処理室ガス導入機構
41 蒸着源室
42 蒸着源容器(蒸着皿)
43 ヒーター
44 シャッター機構
291、292 オリフィス
293〜295 バルブ
296 圧力計
Claims (2)
- 減圧蒸着装置において、
蒸着膜である有機材料からなる膜が形成されるべき基板を収容するチャンバと、
ガス圧力調整手段と、を備え、
前記ガス圧力調整手段が、第1の不活性ガス発生源から発生する第1の不活性ガスを前記チャンバ内に導入するための第1の配管から前記チャンバに供給される、前記第1の不活性ガスの流量を調整する第1のガス流量調整手段と、
第2の不活性ガス発生源から発生する第2の不活性ガスを前記チャンバ内に導入するための第2の配管から前記チャンバに供給される、前記第2の不活性ガスの流量を調整する第2のガス流量調整手段と、
前記チャンバ内に導入された前記第1の不活性ガス発生源から発生する不活性ガス、及び第2の不活性ガス発生源から発生する不活性ガスを排気するポンプ手段とを備え、
前記ガス圧力調整手段により、前記基板に対する蒸着膜形成時における前記チャンバ内のガス圧力よりも、前記基板に対する蒸着膜非形成時における前記チャンバ内のガス圧力の方が高い状態に維持されており、
前記第1のガス流量調整手段が、前記第1の配管において前記チャンバ側に設けられる第1オリフィスと、
前記第1の配管において前記第1オリフィスよりも上流側に設けられる第1のバルブと、
前記第1のバルブよりも上流側に設けられる第1の不活性ガス発生源及び第1の圧力調整器と、
前記第1のオリフィスと前記第1のバルブとの間に設けられ前記第1のオリフィスと前記第1のバルブとの間の圧力を検知するための圧力計と、を有しており、
前記第2のガス流量調整手段が、前記第2の配管において前記チャンバ側に設けられる第2オリフィスと、
前記第2の配管において前記第2オリフィスよりも上流側に設けられる第2のバルブと、
前記第2のバルブよりも上流側に設けられる第3のバルブと、
前記第3のバルブよりも上流側に設けられる第2の不活性ガス発生源及び第2の圧力調整器と、を有していることを特徴とする減圧蒸着装置。 - 前記ポンプ手段が、前記チャンバに接続されるガス排気用の1次ポンプと、
前記1次ポンプに接続される2次ポンプと、
前記1次ポンプと前記2次ポンプとの間に設けられるポンプバージガス導入機構と、を有することを特徴とする請求項1に記載の減圧蒸着装置。
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