JP4595889B2 - 圧電薄膜素子の製造方法 - Google Patents
圧電薄膜素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4595889B2 JP4595889B2 JP2006156318A JP2006156318A JP4595889B2 JP 4595889 B2 JP4595889 B2 JP 4595889B2 JP 2006156318 A JP2006156318 A JP 2006156318A JP 2006156318 A JP2006156318 A JP 2006156318A JP 4595889 B2 JP4595889 B2 JP 4595889B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- piezoelectric thin
- piezoelectric
- film element
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
Description
図2に示されるように、本発明を用いて膜厚10μmの(Na0.47K0.47Li0.06)NbO3からなる圧電薄膜24を有する圧電薄膜素子21を実施例#1として作製した。基板22は、(001)面方位、厚さ0.5mm、20mm×20mmの大きさに切り出したシリコン基板である。そのシリコン基板22上にRFマグネトロンスパッタリング法で、膜厚0.2μmの白金下部電極23を形成した。白金下部電極23の形成条件は、基板温度700℃、放電パワー200W、導入ガスAr雰囲気、圧力2.5Pa、成膜時間10分である。
(従来例)
次に、本発明と従来技術の比較のために、従来技術で図3の圧電薄膜素子31を従来例として作製した。基板32および白金下部電極33の形成手順、寸法は、実施例#1と全く同様である。原料としては、粒径が0.1〜2μmの良好な圧電特性を有するアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の結晶粉末を用いた。エアロゾル成膜の条件は実施例#1と全く同じ条件である。この結果、膜厚10μmの圧電薄膜34を有する圧電薄膜素子31を得た。
(実施例#2)
次に、図2に示されるように、本発明を用いて膜厚10μmの(Na0.47K0.47Li0.06)NbO3からなる圧電薄膜24を有する圧電薄膜素子21を実施例#2として作製した。
(従来例)
次に、本発明と従来技術の比較のために、従来技術で図3の圧電薄膜素子31を従来例として作製した。基板32および白金下部電極33の形成手順、寸法は、実施例#2と全く同様である。原料としては、粒径が0.1〜2μmの良好な圧電特性を有するアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の結晶粉末を用いた。エアロゾル成膜の条件は実施例#2と全く同じ条件である。この結果、膜厚10μmの圧電薄膜34を有する圧電薄膜素子31を得た。
2 基板
3 ガス源
4 エアロゾル化室
5 エアロゾル
6 ノズル
101 圧電薄膜素子
102 基板
103 下部電極
104 圧電薄膜
105 上部電極
Claims (4)
- (NaxKyLiz)NbO3(0<x<1、0<y<1、0≦z<1、x+y+z=1)で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の多結晶を主成分とする圧電薄膜を備える圧電薄膜素子の製造方法において、
(001)面方位のシリコン基板上に、スパッタリング法により、基板温度を700℃、放電パワー200W、Arガス雰囲気、圧力2.5Paの条件下で白金下部電極を形成する工程と、
前記白金下部電極上に、粒径が0.1〜2μmの上記アルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の結晶粉末からなる主原料に、粒径が0.1〜2μmのAl 2 O 3 微粒子からなる副原料を前記主原料に対し重量比で5%以上混合した混合材料を用いエアロゾルデポジション法により膜密度95%以上の圧電薄膜を形成する工程とを備えたことを特徴とする圧電薄膜素子の製造方法。 - 前記圧電薄膜を形成する工程において、基板温度を450℃とすることを特徴とする請求項1に記載の圧電薄膜素子の製造方法。
- 前記圧電薄膜の厚さが0.5μmから100μmの範囲であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電薄膜素子の製造方法。
- 前記白金下部電極を0.2μmの厚さに形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧電薄膜素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006156318A JP4595889B2 (ja) | 2006-06-05 | 2006-06-05 | 圧電薄膜素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006156318A JP4595889B2 (ja) | 2006-06-05 | 2006-06-05 | 圧電薄膜素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007324538A JP2007324538A (ja) | 2007-12-13 |
JP4595889B2 true JP4595889B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=38857028
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006156318A Expired - Fee Related JP4595889B2 (ja) | 2006-06-05 | 2006-06-05 | 圧電薄膜素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4595889B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5181538B2 (ja) * | 2007-06-06 | 2013-04-10 | 日立電線株式会社 | 圧電体及び圧電素子 |
JP2009210440A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Toin Gakuen | 筒型キャビテーションセンサ及びその製造方法 |
JP5214373B2 (ja) * | 2008-08-29 | 2013-06-19 | 太陽誘電株式会社 | 圧電セラミックス及びその製造方法並びに圧電デバイス |
JP5035374B2 (ja) * | 2009-06-10 | 2012-09-26 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子及びそれを備えた圧電薄膜デバイス |
JP5035378B2 (ja) | 2009-06-22 | 2012-09-26 | 日立電線株式会社 | 圧電薄膜素子及びその製造方法、並びに圧電薄膜デバイス |
JP2012106902A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-06-07 | Fujifilm Corp | ペロブスカイト型酸化物膜及びそれを用いた強誘電体膜、強誘電体素子、ペロブスカイト型酸化物膜の製造方法 |
JP7155730B2 (ja) * | 2018-03-22 | 2022-10-19 | 三菱マテリアル株式会社 | 圧電体膜形成用液組成物及びこの液組成物を用いて圧電体膜を形成する方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005143245A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Ricoh Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JP2006108638A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-04-20 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ |
-
2006
- 2006-06-05 JP JP2006156318A patent/JP4595889B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005143245A (ja) * | 2003-11-07 | 2005-06-02 | Ricoh Co Ltd | 圧電アクチュエータ |
JP2006108638A (ja) * | 2004-09-13 | 2006-04-20 | Denso Corp | 圧電アクチュエータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007324538A (ja) | 2007-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7323806B2 (en) | Piezoelectric thin film element | |
JP4595889B2 (ja) | 圧電薄膜素子の製造方法 | |
EP2044245B1 (en) | Piezoelectric substance, piezoelectric element, and liquid discharge head and liquid discharge apparatus using piezoelectric element | |
KR100978145B1 (ko) | 에피택셜 산화물막, 압전막, 압전막 소자, 압전막 소자를이용한 액체 토출 헤드 및 액체 토출 장치 | |
US9543501B2 (en) | Metal oxide | |
JP2007019302A (ja) | 圧電薄膜素子及びそれを用いたアクチュエータ並びにセンサ | |
EP2537195B1 (en) | Piezoelectric material and devices using the same | |
EP2819196B1 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, ultrasonic sensor, piezoelectric motor, and power generator | |
EP2819194B1 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, ultrasonic sensor, piezoelectric motor, and power generator | |
JP4258530B2 (ja) | 圧電薄膜素子 | |
US9190601B2 (en) | Piezoelectric material, piezoelectric element, liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, ultrasonic sensor, piezoelectric motor, and power generator | |
JPWO2010084711A1 (ja) | 圧電体薄膜とその製造方法、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 | |
JPWO2011045897A1 (ja) | 圧電体薄膜、インクジェットヘッド、インクジェットヘッドを用いて画像を形成する方法、角速度センサ、角速度センサを用いて角速度を測定する方法、圧電発電素子ならびに圧電発電素子を用いた発電方法 | |
US7984977B2 (en) | Piezoelectric element, manufacturing method for piezoelectric body, and liquid jet head | |
JP2007294593A (ja) | 圧電薄膜を用いた素子 | |
JP5103790B2 (ja) | 圧電薄膜、圧電薄膜を用いた素子及び圧電薄膜素子の製造方法 | |
JP2008270379A (ja) | 圧電薄膜素子 | |
JP2007084424A (ja) | ペブロスカイト型酸化物、これを用いた圧電素子、液体吐出ヘッド、液体吐出装置及びペブロスカイト型酸化物の製造方法 | |
JP5958718B2 (ja) | 圧電材料の製造方法 | |
JP2012234925A (ja) | 圧電膜素子及びそれを用いたアクチュエータ並びに小型振動発電装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100622 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100624 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100806 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100824 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100906 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |