JP5958718B2 - 圧電材料の製造方法 - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 25
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 69
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 26
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 claims description 17
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 59
- 239000010408 film Substances 0.000 description 27
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 24
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 19
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 18
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 17
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 15
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 12
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 11
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 10
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 8
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- SMSVUYQRWYTTLI-UHFFFAOYSA-L 2-ethylhexanoate;iron(2+) Chemical compound [Fe+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O SMSVUYQRWYTTLI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- NJLQUTOLTXWLBV-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexanoic acid titanium Chemical compound [Ti].CCCCC(CC)C(O)=O.CCCCC(CC)C(O)=O.CCCCC(CC)C(O)=O.CCCCC(CC)C(O)=O NJLQUTOLTXWLBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VJFFDDQGMMQGTQ-UHFFFAOYSA-L barium(2+);2-ethylhexanoate Chemical compound [Ba+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O VJFFDDQGMMQGTQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- NUMHJBONQMZPBW-UHFFFAOYSA-K bis(2-ethylhexanoyloxy)bismuthanyl 2-ethylhexanoate Chemical compound [Bi+3].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O NUMHJBONQMZPBW-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical compound [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 4
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 4
- FHRAKXJVEOBCBQ-UHFFFAOYSA-L 2-ethylhexanoate;manganese(2+) Chemical compound [Mn+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O FHRAKXJVEOBCBQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- JGUAIAMPONKRLK-UHFFFAOYSA-N 2-ethylhexanoic acid;niobium Chemical compound [Nb].CCCCC(CC)C(O)=O JGUAIAMPONKRLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- ZUFQCVZBBNZMKD-UHFFFAOYSA-M potassium 2-ethylhexanoate Chemical compound [K+].CCCCC(CC)C([O-])=O ZUFQCVZBBNZMKD-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- VYPDUQYOLCLEGS-UHFFFAOYSA-M sodium;2-ethylhexanoate Chemical compound [Na+].CCCCC(CC)C([O-])=O VYPDUQYOLCLEGS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N lanthanum(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[La+3].[La+3] MRELNEQAGSRDBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MAZKNBXUMANNDL-UHFFFAOYSA-M lithium;2-ethylhexanoate Chemical compound [Li+].CCCCC(CC)C([O-])=O MAZKNBXUMANNDL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 239000008188 pellet Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexanoic acid Chemical compound CCCCC(CC)C(O)=O OBETXYAYXDNJHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSEJVYAWRQXNOV-UHFFFAOYSA-J 2-ethylhexanoate hafnium(4+) Chemical compound [Hf+4].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O JSEJVYAWRQXNOV-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- OFYFURKXMHQOGG-UHFFFAOYSA-J 2-ethylhexanoate;zirconium(4+) Chemical compound [Zr+4].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O OFYFURKXMHQOGG-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 TiO 3 Chemical class 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L barium(2+);oxomethanediolate Chemical compound [Ba+2].[O-][14C]([O-])=O AYJRCSIUFZENHW-DEQYMQKBSA-L 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012769 bulk production Methods 0.000 description 1
- SHZIWNPUGXLXDT-UHFFFAOYSA-N caproic acid ethyl ester Natural products CCCCCC(=O)OCC SHZIWNPUGXLXDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N dioxoiridium Chemical compound O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002241 glass-ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000457 iridium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical group [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052808 lithium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- DLWBHRIWCMOQKI-UHFFFAOYSA-L strontium;2-ethylhexanoate Chemical compound [Sr+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O DLWBHRIWCMOQKI-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- KSBAEPSJVUENNK-UHFFFAOYSA-L tin(ii) 2-ethylhexanoate Chemical compound [Sn+2].CCCCC(CC)C([O-])=O.CCCCC(CC)C([O-])=O KSBAEPSJVUENNK-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
かかる態様では、鉛を含有していないため環境負荷を低減することができ、広い使用環境温度範囲で圧電特性、誘電特性が高く、また、キュリー温度が高い圧電材料となる。
また、各成分を選定することにより、広い組成範囲で、使用環境温度範囲で圧電特性、誘電特性が高く、また、キュリー温度が高い圧電材料が製造できる。
これによれば、鉛を含有していないため環境負荷を低減することができ、広い使用環境温度範囲で優れた特性が維持できる圧電素子が実現できる。
これによれば、鉛を含有していないため環境負荷を低減することができ、広い使用環境温度範囲で優れた特性が維持できる圧電素子を具備する液体噴射ヘッドが実現できる。
これによれば、鉛を含有していないため環境負荷を低減することができ、広い使用環境温度範囲で優れた特性が維持できる圧電素子を具備する液体噴射ヘッドを備えた液体噴射装置が実現できる。
これによれば、鉛を含有していないため環境負荷を低減することができ、広い使用環境温度範囲で優れた特性が維持できる圧電素子を具備する超音波センサーが実現できる。
これによれば、鉛を含有していないため環境負荷を低減することができ、広い使用環境温度範囲で優れた特性が維持できる圧電素子を具備する圧電モーターが実現できる。
これによれば、鉛を含有していないため環境負荷を低減することができ、広い使用環境温度範囲で優れた特性が維持できる圧電素子を具備する発電装置が実現できる。
(圧電材料)
本発明の圧電材料は、単独組成では菱面体晶であり且つキュリー温度がTc1であるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなる第1成分と、単独組成では菱面体晶以外の結晶であり且つキュリー温度がTc2であるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなる第2成分と、単独組成では菱面体晶であるが前記第1成分とは異なり且つキュリー温度がTc3であるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなる第3成分とを含有し、前記Tc2は前記Tc1より高く、前記Tc3は前記Tc2以上であり、(0.1×Tc1+0.9×Tc2)の値が280℃以下である。
図1には、第1成分がBa(Zr,Ti)O3であり、第2成分がSrを添加した(K,Na)NbO3である場合の横軸に前記第2成分の、前記第1成分と前記第2成分の合計に対する割合(第2成分/(第1成分+第2成分))を、縦軸に温度を採った相図を示す。この場合、第1成分であるBa(Zr,Ti)O3のキュリー温度Tcが70℃、第2成分であるSrを添加した(K,Na)NbO3のキュリー温度が277℃であり、MPBラインm1は、第2成分の組成比が0.75〜0.60に亘る範囲で傾斜している。このような系に、第3成分であるBi(Fe,Mn)O3(キュリー温度Tc3=850℃)を、第1成分と第3成分との合計に対して0.30の割合で混合すると、第1成分及び第3成分の組成のキュリー温度は300℃となる。第2成分の、第1成分と第2成分と第3成分との合計に対する割合(第2成分/(第1成分+第2成分+第3成分))を横軸とした相図におけるMPBラインM1は、垂直に近く立って、第2成分の組成比が0.65〜0.70の範囲で傾斜するだけである。これにより、広い使用環境温度範囲で圧電特性、誘電特性が高く、また、キュリー温度が高い圧電材料が実現できる。ここで、相図は菱面体晶で構成される組成範囲(図ではRと表示)と正方晶(図ではTと表示)または斜方晶(図ではOと表示)と立方晶(図ではCと表示)で構成されている。
図4は、本発明の一実施形態に係る圧電素子を具備する液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの概略構成を示す分解斜視図であり、図5は、図4の平面図であり、図6は図5のA−A’線断面図である。図4〜図6に示すように、本実施形態の流路形成基板10は、シリコン単結晶基板からなり、その一方の面には二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。
第1成分としてBa(Zr0.3,Ti0.7)O3、第2成分としてSrを添加した(K0.5,Na0.5)NbO3、第3成分としてBi(Fe0.95,Mn0.05)O3を選定し、三者のモル比を0.36:0.44:0.20となる組成の圧電材料を以下の通り形成した。
第1成分としてBa(Sn0.3,Ti0.7)O3、第2成分としてLiを添加した(K0.5,Na0.5)NbO3、第3成分としてBi(Fe0.95,Mn0.05)O3を選定し、三者のモル比を0.43:0.37:0.23となる組成の圧電材料を以下の通り形成した。
第1成分としてBa(Hf0.2,Ti0.8)O3、第2成分としてLiを添加した(K0.5,Na0.5)NbO3、第3成分としてBi(Fe,Mn)O3を選定し、三者のモル比を0.36:0.40:0.24となる組成の圧電材料を以下の通り形成した。
以上、本発明の圧電材料に関する一実施形態を説明したが、本発明の圧電材料の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
I 正方晶系と斜方晶系
II 正方晶系と単斜晶系
III 斜方晶系と単斜晶系
Mn、Ge、Si、B、Cu、Ag。
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態では、流路形成基板10として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、SOI基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。
本発明の圧電素子は、良好な絶縁性及び圧電特性を示すため、上述したように、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドの圧電素子に適用することができるものであるが、これに限定されるものではない。本発明に係る圧電素子は、優れた変位特性を示すことから、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッドに限られず、液体噴射装置、超音波センサー、圧電モーター、超音波モーター、圧電トランス、振動式ダスト除去装置、圧力−電気変換機、超音波発信機、圧力センサー、加速度センサーなどに搭載して好適に用いることができる。
また、本発明に係る圧電素子は、良好なエネルギー−電気変換能力を示すことから、発電装置に搭載して好適に用いることができる。発電装置としては、圧力−電気変換効果を使用した発電装置、光による電子励起(光起電力)を使用した発電装置、熱による電子励起(熱起電力)を使用した発電装置、振動を利用した発電装置などが挙げられる。
Claims (8)
- 単独組成では菱面体晶であり且つキュリー温度がTc1であるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなる非鉛系圧電材料である第1成分と、単独組成では菱面晶以外の結晶であり且つキュリー温度がTc2であるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなる非鉛系圧電材料である第2成分と、単独組成では菱面体晶であるが前記第1成分とは異なり且つキュリー温度がTc3であるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなる非鉛系圧電材料である第3成分とであって、前記Tc2は前記Tc1より高く、前記Tc3は前記Tc2以上であり、(0.1×Tc1+0.9×Tc2)の値が280℃以下である前記第1成分、前記第2成分及び前記第3成分を選定し、横軸に前記第2成分の、前記第1成分と前記第2成分と前記第3成分との合計に対する割合(第2成分/(第1成分+第2成分+第3成分))を、縦軸に温度を採った相図におけるMPBライン近傍の組成を決定し、該組成を有し、キュリー温度Tc4が280℃以上である非鉛系圧電材料を製造することを特徴とする圧電材料の製造方法。
- 前記第1成分、前記第2成分、及び前記第3成分が、KxNa(1−x)NbO3、(Bi,Na)TiO3、BiFeO3、及びBaTiO3からなる群から選択されることを特徴とする請求項1に記載の圧電材料の製造方法。
- (第1成分+第3成分)の(第1成分+第2成分+第3成分)に対するモル比率が0.1以上0.9以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電材料の製造方法。
- 第3成分の(第1成分+第3成分)に対するモル比率が0.05から0.49であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記第1成分がBa(XTi)O3(Xは、Zr、Sn及びHfから選択される少なくとも1種)であり、前記第2成分がSr及びTiの少なくとも1種を添加した(K,Na)NbO3であり、前記第3成分がBi(Fe,Mn)O3であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記第1成分がBa(Zr,Ti)O3であり、前記第2成分がSr及びTiの少なくとも1種を添加した(K,Na)NbO3であり、前記第3成分がBi(Fe,Mn)O3であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記第1成分がBa(Sn,Ti)O3であり、前記第2成分がLi、Sb及びTaの少なくとも1種を添加した(K,Na)NbO3であり、前記第3成分がBi(Fe,Mn)O3であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記第1成分がBa(Hf,Ti)O3であり、前記第2成分がLi、Sb及びTaの少なくとも1種を添加した(K,Na)NbO3であり、前記第3成分がBi(Fe,Mn)O3であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014266703A JP5958718B2 (ja) | 2013-06-28 | 2014-12-26 | 圧電材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013137279 | 2013-06-28 | ||
JP2013137279 | 2013-06-28 | ||
JP2014266703A JP5958718B2 (ja) | 2013-06-28 | 2014-12-26 | 圧電材料の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014001900A Division JP5754660B2 (ja) | 2013-06-28 | 2014-01-08 | 圧電材料、圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波センサー、圧電モーター及び発電装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015111689A JP2015111689A (ja) | 2015-06-18 |
JP5958718B2 true JP5958718B2 (ja) | 2016-08-02 |
Family
ID=53526292
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014266703A Active JP5958718B2 (ja) | 2013-06-28 | 2014-12-26 | 圧電材料の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5958718B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6455669B2 (ja) | 2015-06-02 | 2019-01-23 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、及び圧電素子応用デバイス |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004323315A (ja) * | 2003-04-25 | 2004-11-18 | Nec Tokin Corp | 誘電体磁器組成物及びその製造方法並びにそれを用いた積層セラミックコンデンサ |
JP4684089B2 (ja) * | 2005-11-28 | 2011-05-18 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器組成物および圧電磁器 |
DE102008057721A1 (de) * | 2008-11-17 | 2010-05-20 | Epcos Ag | Keramischer Werkstoff, Verfahren zur Herstellung des keramischen Werkstoffs und Bauelement mit dem keramischen Werkstoff |
JP5616130B2 (ja) * | 2009-06-08 | 2014-10-29 | 富士フイルム株式会社 | 圧電素子及びそれを備えた圧電アクチュエータ、液体吐出装置、発電装置 |
JP6020784B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2016-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス及びセンサー |
-
2014
- 2014-12-26 JP JP2014266703A patent/JP5958718B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015111689A (ja) | 2015-06-18 |
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