JP4595413B2 - 超精密処理装置 - Google Patents
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Description
しかし、特許文献5に記載のXY軸駆動機構は、走査速度が遅く、また静圧パッドや気体軸受に清純な圧縮気体を供給するために、特殊なコンプレッサーを必要とするため、操作や維持管理に手間がかかって、コスト高となる傾向がある。
3 Z軸支持台 4 X軸駆動機構
5 Y軸駆動機構 6 Z軸駆動機構
7 ワーク保持台 8 ヘッド取付部
9 処理ヘッド 10 半同軸型空洞共振器
11 Y軸案内部材 12 Y軸駆動部材
13 側壁 14 X軸保持体
15 Y軸駆動体 16 X軸案内部材
17 X軸駆動部材 18 X軸移動体
19 X軸駆動体 20 連動部材
21 ベローズ 22 チャンバー胴体
23 チャンバーカバー 24 Z軸導入部
25 脚杆 26 Z軸ベース体
27 排気ポート 28 ポート
29 ハッチ 30 観察窓
31 観察ポート 32 支持脚
33 ガイド部材 34 導出ポート
35 ブロック台 36 貫通孔
37 リニアブッシュ 38 フランジ板
39 スライダー 40 駆動シャフト
41 支持軸 42 支持パイプ
43 Y軸駆動モータ 45 ボールナット
46 縮径部 47 ねじ部
48 アンギュラベアリング 49 スペーサ
50 スペーサ 51 固定ナット
52 拡径孔部 53 固定リング
54 軸孔 55 保持リング
58 継手 59 ブロック体
59 円筒体 60 円筒体
61 フランジ板 62 支持棒
63 リニアブッシュ 64 固定パイプ
65 シャフト 66 固定孔
67 スリーブ 68 リニアブッシュ
69 フランジ板 70 駆動シャフト
71 支持軸 72 支持パイプ
73 X軸駆動モータ 75 ボールナット
76 ブロック体 76 ボールナット
77 円筒体 78 フランジ板
79 支持棒 80 リニアブッシュ
81 吊支部材 82 連結部材
83 補強板 84 板ばね
85 カバー 86 保護パイプ
87 導出ポート 88 ベローズ
89 フランジ板 90 通気孔
91 気密カバー 92 ジャッキボルト
93 固定部 94 可動部
95 ベローズ 96 取付孔
97 固定スリーブ 98 保高部
99 継手ボックス 100 Z軸駆動モータ
101 貫通孔 102 ボールスプライン外筒
103 Z軸駆動体 104 挿通孔
105 アンギュラベアリング 106 Z軸駆動部材
108 ボールナット 109 継手
110 ケーブル 111 保護パイプ
112 フランジ板 113 引張りコイルばね
114 ヘッド容器 115 シャフト
116 回転電極 117 電極駆動モータ
Claims (7)
- ベース体の上に気密チャンバーを設置し、該チャンバー内に配したワーク保持台をX軸駆動機構とY軸駆動機構とでXY軸方向に駆動するとともに、前記ワーク保持台に対面して配した処理ヘッドをZ軸駆動機構で該ワーク保持台の移動面に直交したZ軸方向に駆動し、ワーク保持台に固定したワークを処理ヘッドで処理してなる超精密処理装置であって、前記チャンバー内に位置し、前記X軸駆動機構、Y軸駆動機構及びZ軸駆動機構における摺動部や駆動部でパーティクルや有機物が発生する部位を全て金属製ベローズで外覆してチャンバー内の処理空間と隔離するとともに、該ベローズ内の空間を大気開放してなることを特徴とする超精密処理装置。
- ベース体の上に気密チャンバーを設置し、該チャンバー内に配したワーク保持台をX軸駆動機構とY軸駆動機構とでXY軸方向に駆動するとともに、前記ワーク保持台に対面して配した処理ヘッドをZ軸駆動機構で該ワーク保持台の移動面に直交したZ軸方向に駆動し、ワーク保持台に固定したワークを処理ヘッドで処理してなる超精密処理装置であって、前記X軸駆動機構とY軸駆動機構はそれぞれ少なくとも一対の平行な案内部材とその中間に平行に配した駆動部材とを備え、前記Y軸駆動機構を構成するY軸案内部材とY軸駆動部材の両端を前記チャンバーの側壁を貫通させて前記ベース体に固定するとともに、該Y軸案内部材の中間部にY軸方向にスライド可能にX軸保持体を装着し、該Y軸駆動部材の中間部にY軸方向に駆動するY軸駆動体を有し、また前記X軸駆動機構を構成するX軸案内部材とX軸駆動部材の両端を両X軸保持体に固定するとともに、該X軸案内部材の中間部にX軸方向にスライド可能にX軸移動体を装着し、該X軸駆動部材の中間部にX軸方向へ駆動するX軸駆動体を有し、前記Y軸駆動体を両X軸保持体間に渡設した連動部材の中間に連結するとともに、前記X軸駆動体とX軸移動体を前記ワーク保持台に連結し、前記各案内部材及び駆動部材の摺動部や駆動部でパーティクルや有機物が発生する部位を全て金属製ベローズで外被して、X軸駆動機構とY軸駆動機構の摺動部をチャンバー内の処理空間と隔離してなることを特徴とする超精密処理装置。
- 前記駆動部材は、駆動シャフトと、該駆動シャフトの先端部を回動可能に支持する支持軸と、該駆動シャフトの基端側を貫通させて回転可能に支持する支持パイプとからなり、前記駆動シャフトの端部を駆動モータで回転させ、該駆動シャフトの一部で前記支持軸と支持パイプとの間に設けたボールねじに対して螺合した前記駆動体のボールナットが進退することで、当該駆動体を移動させるものである請求項2記載の超精密処理装置。
- 前記駆動シャフトは、前記ボールねじの基端側と先端側にそれぞれ縮径部とねじ部を形成し、基端側の縮径部には二つのアンギュラベアリングを背面組合せに配置し、その間に内外輪にそれぞれ当接するように円筒状のスペーサを介在させて、前記ねじ部に固定ナットを螺合してボールねじと縮径部の段差部に圧接して取付け、一方、先端側の縮径部には二つのアンギュラベアリングを並列組合せに配置し、その間に内外輪にそれぞれ当接するように円筒状のスペーサを介在させて、前記ねじ部に固定ナットを螺合してボールねじと縮径部の段差部に圧接して取付け、前記支持パイプを貫通させた駆動シャフトの基端側のアンギュラベアリングを該支持パイプのチャンバー内側端部に設けた拡径孔部内に嵌合するとともに、該支持パイプの端面に固定リングをねじ止めして両アンギュラベアリングの外輪を挟持して軸方向に移動不能に取付け、また前記駆動シャフトの先端側のアンギュラベアリングを前記支持軸の端部に形成した軸孔内に嵌挿するとともに、該支持軸の端面に保持リングで弾性的に保持してなる請求項2又は3記載の超精密処理装置。
- 前記案内部材を、リング状の円板からなるフランジ板にて複数のベローズを互に連結するとともに、前記フランジ板の内周部に設けたスライダーを該案内部材に接触させて該ベローズの撓みを防止してなる請求項2〜4何れかに記載の超精密処理装置。
- 前記駆動部材を、リング状の円板からなるフランジ板にて複数のベローズを互に連結するとともに、該ベローズ内に張設した一対の平行な支持棒を、各フランジ板に設けたボールブッシュに貫通し、該支持棒で各ベローズの荷重を支持してなる請求項2〜4何れかに記載の超精密処理装置。
- 前記X軸保持体の外側面にX軸駆動モータを取付け、該X軸駆動モータと該軸保持体の外側面に出現した前記X軸案内部材の端部を全て覆うようにカバーを設け、また該カバーからは前記X軸駆動モータを駆動制御するケーブルを引き出すための保護パイプを側方へ延設し、該保護パイプを前記チャンバーの側壁に設けた導出ポートを貫通させ、更に前記カバーの側面と導出ポートの内面間で、前記保護パイプを外覆するように、複数のベローズをフランジ板を介して連結して取付け、前記カバー内を大気開放してなる請求項2〜6何れかに記載の超精密処理装置。
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JP2001090848A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-03 | Tokyo Electron Ltd | 弁体の駆動機構 |
JP3265245B2 (ja) * | 1997-09-30 | 2002-03-11 | 科学技術振興事業団 | 回転電極を用いた高密度ラジカル反応による高能率加工装置 |
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2004
- 2004-07-09 JP JP2004203422A patent/JP4595413B2/ja not_active Expired - Lifetime
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