JP4583416B2 - 液晶配向システム - Google Patents
液晶配向システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4583416B2 JP4583416B2 JP2007197070A JP2007197070A JP4583416B2 JP 4583416 B2 JP4583416 B2 JP 4583416B2 JP 2007197070 A JP2007197070 A JP 2007197070A JP 2007197070 A JP2007197070 A JP 2007197070A JP 4583416 B2 JP4583416 B2 JP 4583416B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- alignment system
- crystal alignment
- plasma
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
本発明に係る好ましい実施形態に基づいて描かれた図面を図1ないし図3に示す。まず、図1Aないし図1Cは、本発明に係る好ましい実施形態の液晶配向システムの製法の流れを模式的に示す。
図4A、図4Bは、基材とプラズマビーム間の相対配置関係の第2の実施形態を模式的に示している。該液晶配向システム及び該システムに適用される製法は、前記実施形態とほぼ同様であるため、ここでは詳しい説明を省略する。この液晶配向システムの最大の相違点は、基材移動機構13が複数の基材3を移動させるとともに、プラズマビーム155により基材3への配向膜の配向を行うことができることである。このうち、複数の基材3の配置方式は、配向システムに水平または垂直になるか、プラズマビーム155に対して垂直、または傾斜角度が形成されるか、複数の基材3が互いに平行、または挟み角が形成されるかのいずれかである。
図5Aは、本発明に係る液晶配向システムの第3の実施形態であり、該液晶配向システム及び該システムに適用される製法は、前記実施形態とほぼ同様であるため、ここでは詳しい説明を省略する。この液晶配向システムの最大の相違点は、基材移動機構13がフレキシブルのに基材3を移動し、中心に設けられた複数のプラズマ生成装置15の外側に取り囲まれていることである。即ち、中心の複数のプラズマ生成装置15によって生成されたプラズマビーム155が連続的に周りに向けて配向膜33の配向を行うことができるため、基材3は、基材移動機構13のみで移動し、周りを取り囲めばそれでよく、しかも、マルチプラズマビーム155の角度及び傾斜角度を調整するには、中心軸を回すか、中心軸をある角度にシフトさせるかすればよく、極めて便利である。図5Bに示す実施形態において、該基材移動機構13は、複数のプラズマ生成装置15の外側に環状に設けられ、直角に設けられることに限定されるものではない。
11 プロセスチャンバー
111 第1の開口
113 第2の開口
13 基材移動機構
15 プラズマ生成装置
155 プラズマビーム
3 基材
31 導電層
33 配向膜
6 プラズマ生成装置
61 プラズマビーム
63 基材
B1、B2 矢印
Claims (13)
- 基材表面の配向膜を配向することに適用される液晶配向システムにおいて、
プロセスチャンバーを有する機台と、
前記プロセスチャンバーに設けられ、配向のために前記基材を移動させる基材移動機構と、
前記配向膜を改質するために前記プロセスチャンバーに方向や角度が調整可能になるように設けられ、前記基材移動機構に面してそれぞれ配列され、一回の製造工程によりプレチルト角が安定的になる配向効果を得られるようにした複数のプラズマ生成装置と、
を備えていることを特徴とする液晶配向システム。 - 前記プロセスチャンバーは、単一式チャンバーまたは連続式チャンバーのいずれかであることを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記基材の設置方式は、水平か、水平回転角度か、垂直か、傾斜角度かのいずれかにすることを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記基材移動機構は、配向膜の配向のために複数の基材を同時に移動することを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記の複数の基材の設置方式は、配向システムに対して水平または垂直になるか、プラズマビームに対して垂直または傾斜角度が形成されるか、複数の基材が互いに平行または挟み角が形成されるかのいずれかであることを特徴とする請求項4に記載の液晶配向システム。
- 前記基材移動機構は、複数のプラズマ生成装置の外側を囲んで設置されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記の複数のプラズマ生成装置は、基材移動機構の外側を囲んで設置されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記プラズマ生成装置は、プラズマ源またはイオン源のいずれかを生成するものであることを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記の複数のプラズマ生成装置は、並列配置または直列配置のいずれかにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記プロセスチャンバーの操作条件は、常圧と真空との間にある圧力雰囲気であることを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記プロセスチャンバーの圧力雰囲気は、760Torr〜1 ×10-5Torrの範囲内にあることを特徴とする請求項10に記載の液晶配向システム。
- 前記プラズマ生成装置は、前記基材表面の法線方向に対する角度が0°〜90°の範囲内にあることを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
- 前記プラズマ生成装置は、同一または異なるエネルギーであるプラズマ源を生成することを特徴とする請求項1に記載の液晶配向システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW95128093 | 2006-08-01 | ||
TW096113175A TW200809351A (en) | 2006-08-01 | 2007-04-14 | Method for fabricating liquid crystal (LC) alignment |
TW096113176A TW200809352A (en) | 2006-08-01 | 2007-04-14 | Liquid crystal (LC) alignment syatem |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008040491A JP2008040491A (ja) | 2008-02-21 |
JP4583416B2 true JP4583416B2 (ja) | 2010-11-17 |
Family
ID=39175480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007197070A Expired - Fee Related JP4583416B2 (ja) | 2006-08-01 | 2007-07-30 | 液晶配向システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4583416B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20110132616A (ko) * | 2009-03-26 | 2011-12-08 | 메르크 파텐트 게엠베하 | 입자 빔 정렬을 이용한 이방성 다중층의 제조방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0756172A (ja) * | 1993-08-17 | 1995-03-03 | Seiko Epson Corp | 液晶表示体の製造方法 |
JPH09230351A (ja) * | 1996-02-21 | 1997-09-05 | Nissin Electric Co Ltd | 配向膜の配向処理方法 |
JP2005107468A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Mikuni Denshi Kk | 液晶表示装置の配向方法とその組み立て方法 |
JP2006195111A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | International Display Technology Kk | Ips液晶表示パネル |
JP2007052435A (ja) * | 2005-08-18 | 2007-03-01 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置の製造方法 |
-
2007
- 2007-07-30 JP JP2007197070A patent/JP4583416B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0756172A (ja) * | 1993-08-17 | 1995-03-03 | Seiko Epson Corp | 液晶表示体の製造方法 |
JPH09230351A (ja) * | 1996-02-21 | 1997-09-05 | Nissin Electric Co Ltd | 配向膜の配向処理方法 |
JP2005107468A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Mikuni Denshi Kk | 液晶表示装置の配向方法とその組み立て方法 |
JP2006195111A (ja) * | 2005-01-13 | 2006-07-27 | International Display Technology Kk | Ips液晶表示パネル |
JP2007052435A (ja) * | 2005-08-18 | 2007-03-01 | Samsung Electronics Co Ltd | 液晶表示装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008040491A (ja) | 2008-02-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100368349B1 (ko) | 액정 디스플레이 디바이스 및 그 제조방법과, 경사진 호메오트로픽 배향 액정 디스플레이 디바이스 및 그 제조방법과, 호메오트로픽 배향 액정 디스플레이 디바이스, 멀티 도메인 액정 디바이스 및 멀티 도메인 호메오트로픽 배향 액정 디스플레이 디바이스 | |
KR100935875B1 (ko) | 액정 얼라인먼트 시스템 | |
TWI628203B (zh) | 液晶顯示器 | |
Cuypers et al. | VAN LCOS microdisplays: A decade of technological evolution | |
JP3738990B2 (ja) | 液晶配向膜、該液晶配向膜の製造方法、液晶パネルおよび液晶表示装置 | |
JPH02503482A (ja) | 正の誘電体異方性液晶及び著しく傾斜した非垂直表面配列を伴う光バルブと、それに関する操作方法 | |
JP4583416B2 (ja) | 液晶配向システム | |
Choi et al. | Anchoring strength of indium tin oxide electrode used as liquid crystal alignment layer | |
TW200422713A (en) | In-plane switching mode liquid crystal display | |
Plummer et al. | 36‐1: Invited Paper: The Evolution of the Vertically Aligned Liquid Crystal Display | |
US20050094072A1 (en) | Method and system for improving ion beam alignment for liquid crystal displays by a grooving under layer | |
US7532300B2 (en) | Method for producing alignment layer for liquid crystal panel | |
CN101126871A (zh) | 液晶配向制法 | |
CN100472299C (zh) | 液晶配向系统 | |
US7554639B2 (en) | Method to control the pretilt angle of liquid crystal device | |
Hwang et al. | Liquid crystal alignment capability by the UV alignment method in aC: H thin films | |
JP2008163375A (ja) | 蒸着膜とこれを用いた光路偏向素子、空間光変調素子、及び投射型画像表示装置 | |
US6671021B2 (en) | HTN mode liquid crystal display device | |
KR20050017593A (ko) | 액정 디스플레이 장치 및 그 제조방법 | |
US20050238801A1 (en) | Method for fabricating an alignment layer for liquid crystal applications | |
US7626662B2 (en) | Method for fabricating liquid crystal (LC) alignment | |
JP4963371B2 (ja) | 蒸着装置、蒸着方法および無機配向膜の形成方法 | |
KR0141909B1 (ko) | 액정 표시 디바이스 제조 방법 | |
TWI333584B (en) | Equipment and method for forming alignment layer | |
JP2003107243A (ja) | 光透過膜、該光透過膜の製造方法、配向膜並びに該配向膜を含む液晶パネルおよび表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100806 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4583416 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130910 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |