JP4581844B2 - ガラス母材の製造方法 - Google Patents
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Description
この方法に用いるプラズマトーチとしては、円筒状のトーチの周囲に誘導コイルを設け、トーチ内にアルゴンなどのプラズマ生成用ガスを流してプラズマ炎を発生させて、プラズマ炎により生成したガラス粉末を容器内で堆積させるものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
この場合、反応容器とトーチとを分離させれば位置調整が可能となるが、そうすると誘導コイルの表面にスパークが生じて、誘導コイルへ高周波交流電流を供給する発振器が過電流により異常停止してしまうことがあった。スパークが生じる原因としては、プラズマ生成用ガスが電離した電離ガスがトーチと反応容器との隙間を通って誘導コイルに接触することや、プラズマ炎による熱などが例として考えられる。
しかも、反応容器に対してトーチを直接固定せず、トーチとコイルとの隙間に設けられたガス遮蔽部材を用いるため、ガス遮蔽部材に対してトーチの位置を少なくともその軸方向に移動させることができる。そのため、ガラス母材の製造条件の変更を容易に行うことができる。
すなわち、本発明のガラス母材の製造方法によれば、スパークの発生を防ぐことと、反応容器内に配置したガラス体に対するトーチの位置を調節することを両立可能である。
従って、ガラス棒12をチャック14a、14bによって把持して把持手段13a、13bに固定し、チャック14a、14bを回転させながら把持手段13a、13bを同期して往復移動させる。これにより、図1中において矢印で示すようにガラス棒12を回転しながら往復移動させて、反応容器20内においてガラス棒12の表面にクラッドガラス層16を形成し、ガラス母材17を形成する。
まず、コア部となるガラス棒12を、反応容器20の反応室41へ挿通し、その端部を、把持手段13a、13bのチャック14a、14bにそれぞれ把持させて、水平に支持させる。そして、チャック14a、14bを回転させることにより、ガラス棒12を、その中心軸を中心として回転させる。
このように、本実施形態に係るガラス母材の製造方法によれば、ガス遮蔽部材44によって電離ガスの誘導コイル22への接触を確実に防止することができるので、誘導コイル22への電離ガスの接触によるスパークの発生を確実に阻止することができ、誘導コイル22に流す電流の出力を上げてプラズマ炎24を強くしても、ガラス棒12へのガラスの形成を安定して行うことができる。
プラズマ炎24はこのような温度分布および温度勾配をもっているので、温度の位置への依存度が大きい。このため、ガラス粉末の堆積を開始する前に、炎の様子を見て、トーチ位置調整機構25によりプラズマトーチ21をX軸、Y軸、Z軸方向へ移動させて最適な位置に調整すると良い。また、発振器27の出力、プラズマ生成用ガス及びガラス原料ガスの供給量なども適宜調節して、プラズマ炎24の強さを適切に調整すると良い。
また、プラズマトーチ21をX軸、Y軸方向(プラズマトーチ21の中心軸と直交する方向)へ移動させる場合には、反応室41の隔壁41aに対してガス遮蔽部材44を移動させるが、ガス遮蔽部材44に設けられている鍔部46が隔壁41aの開口部43を塞いだ状態を保つことができる。
12 ガラス棒(ガラス体)
20 反応容器
21 プラズマトーチ
22 誘導コイル(コイル)
41 反応室
41a 隔壁
43 開口部
44 ガス遮蔽部材
45 遮蔽板
46 鍔部
Claims (2)
- ガラス生成用の原料ガスとプラズマ生成用ガスとを流すトーチと、前記ト−チの一部を囲み前記プラズマ生成用ガスを電離させるコイルとを用い、
前記トーチと前記コイルの隙間にガス遮蔽部材を設けた状態で、前記コイルの巻き部中心付近に生成されるプラズマ炎を使って形成したガラス粉末を反応容器内に放出して前記反応容器内に配置したガラス体に堆積させ、前記ガス遮蔽部材の外側において前記反応容器の開口部と反対側の前記コイルの端部から、前記反応容器の開口部に近接した前記コイルの端部に向けてクリーンエアまたは窒素を流し、ガラス母材を製造するガラス母材の製造方法。 - 前記コイルの表面を絶縁材で覆うことを特徴とする請求項1に記載のガラス母材の製造方法。
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