JP4580656B2 - 二重露光フォトマスクおよび露光方法 - Google Patents
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Description
前記中間ピッチパターンの隣り合う第1および第2のパターンのうち該第1のパターンと前記密ピッチパターンとが形成され、前記第2のパターンの形成部位と前記疎ピッチパターンの形成部位とがマスキングされた第1のフォトマスクと、
前記第2のパターンと前記疎ピッチパターンとが形成され、前記第1のパターンの形成部位と前記密ピッチパターンの形成部位とがマスキングされた第2のフォトマスクと、
を有する構成である。
前記密ピッチパターンのピッチは前記kが0.8以下の値であり、
前記中間ピッチパターンのピッチは前記kが0.8よりも大きく、1.3未満の値であり、
前記疎ピッチパターンのピッチは前記kが1.3以上の値であることとしてもよい。
前記第1のフォトマスクで前記密ピッチパターンおよび前記第1のパターンのそれぞれをそれぞれの目標寸法に前記レジストに形成するための露光量で露光するステップと、
前記第2のフォトマスクで前記疎ピッチパターンおよび前記第2のパターンのそれぞれをそれぞれの目標寸法に前記レジストに形成するための露光量で露光するステップと、を有するものである。
110、160 第2のフォトマスク
112、116 微細ライン
113、117 レジストパターン
114、120、122、126 位相シフタ
118、124 マスキングパターン
152 第1の微細ライン
154、158、164、168 位相シフタ
156、166 マスキングパターン
162 第2の微細ライン
172、174 レジストパターン
400 位相シフトマスク
410 トリムマスク
412 微細ライン
414 開口部
Claims (5)
- 所定のピッチのパターンとなる密ピッチパターンと、該密ピッチパターンよりもピッチの大きいパターンである中間ピッチパターンと、該中間ピッチパターンよりもピッチの大きいパターンである疎ピッチパターンとをレジストに形成するための露光工程で用いられる二重露光フォトマスクであって、
前記中間ピッチパターンの隣り合う第1および第2のパターンのうち該第1のパターンと前記密ピッチパターンとが形成され、前記第2のパターンの形成部位と前記疎ピッチパターンの形成部位とがマスキングされた第1のフォトマスクと、
前記第2のパターンと前記疎ピッチパターンとが形成され、前記第1のパターンの形成部位と前記密ピッチパターンの形成部位とがマスキングされた第2のフォトマスクと、
を有する二重露光フォトマスク。 - 前記第1のフォトマスクの前記密ピッチパターンの形成部位および前記第1のパターンの形成部位に位相シフタが設けられた請求項1記載の二重露光フォトマスク。
- 前記第2のフォトマスクの前記疎ピッチパターンの形成部位および前記第2のパターンの形成部位に位相シフタが設けられた請求項1または2記載の二重露光フォトマスク。
- 前記露光工程における露光処理の光源波長をλ、レンズの開口数をNAとし、k×(λ/NA)で示される解像度でピッチを表わすと、
前記密ピッチパターンのピッチは前記kが0.8以下の値であり、
前記中間ピッチパターンのピッチは前記kが0.8よりも大きく、1.3未満の値であり、
前記疎ピッチパターンのピッチは前記kが1.3以上の値である請求項2または3記載の二重露光フォトマスク。 - 請求項1から4のいずれか1項記載の二重露光フォトマスクを用いた露光方法であって、
前記第1のフォトマスクで前記密ピッチパターンおよび前記第1のパターンのそれぞれをそれぞれの目標寸法に前記レジストに形成するための露光量で露光するステップと、
前記第2のフォトマスクで前記疎ピッチパターンおよび前記第2のパターンのそれぞれをそれぞれの目標寸法に前記レジストに形成するための露光量で露光するステップと、を有する露光方法。
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