JP4576656B2 - 赤外線光源及び赤外線ガス分析計 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、大気中などのガス濃度を、赤外線を用いて測定する赤外線ガス分析計に使用される赤外線光源に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ガス分析においては、ガスの種類によって吸収される赤外線の波長が異なることを利用し、この吸収量を検出することによりそのガス濃度を測定する、非分散赤外線(Non−Dispersive InfraRed)ガス分析計(以下、NDIRガス分析計と記す)が使用されている。
【0003】
NDIRガス分析計は、寸法を特定したセル内に被測定ガスを導入し、被測定ガスに赤外光を入射し、ある特定した赤外波長帯の強度の減衰量から被測定ガス成分の濃度を測定するもので、例えば二酸化炭素を測定する場合には、4.25μm近傍の赤外線の透過量を測定すれば良い。
【0004】
図4は、NDIRガス分析計の構成図である。
図4おいて、NDIRガス分析計は、セル100と、赤外線光源101と、波長選択フィルタ102と、赤外線検出器103と、赤外線検出器の信号を処理する信号処理回路(図示しない)とから構成されている。
【0005】
セル100の内部には被測定ガスが供給され、赤外線光源から放射されて被測定ガスに照射された赤外光は、波長選択フィルタ102に入射する。
そして、被測定ガスの吸収特性に対応した波長帯域近傍の赤外光が波長選択フィルタ102を透過し、赤外線検出器103により検出され、信号処理回路は、赤外線検出器103からの信号に基づいて被測定ガスの濃度を算出する。
【0006】
図5(a)は、従来の赤外線光源の平面図であり、図5(b)は、図5(a)に示した赤外線光源のA−A‘断面図である。
図5(a),(b)において、赤外線光源は、シリコン基板1にマイクロブリッジ状のフィラメント2が、シリコン基板1に形成された堀3の両端に固定されるように形成されている。
【0007】
フィラメント2は、シリコン基板1上に形成された二酸化シリコン4の上に、ボロンが高濃度にドープされた多結晶シリコン層5を形成した後、この多結晶シリコン層5を直線状にパターニングすることによりその平面形状が形成されている。
【0008】
そして、シリコン基板1の両面に形成された二酸化シリコン4をマスクとして、フィラメント2下部のシリコン基板1を異方性の濃度差エッチングすることにより堀3を形成し、直線状のフィラメント2が堀3上の空中に浮き、その両端が堀3の両端に固定されたマイクロブリッジ構造を形成している。
【0009】
そして、多結晶シリコン層5上に形成された二酸化シリコン6を窓開け加工した後、フィラメント2に通電可能に電極7a,7bを形成し、この電極7a,7bを介してフィラメント2に電流を流すと、フィラメント2は発熱しその温度に対応した赤外線を放出する。
【0010】
このような赤外線光源は、熱応答特性が高速であると共に、赤外線放射率が高く、簡単な駆動回路で駆動することができる。
また、その製造においては、半導体製造プロセスを使用するので、高性能な赤外線光源を低コストに大量生産することができる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような赤外線光源においては、フィラメント2は直線状で、その両端の固定部2a,2bが堀3の縁に固定された構造となっているため、急峻な温度変化による熱膨張と収縮の繰り返しによる応力がその両端の固定部2a,2bに集中することとなり、フィラメント2が疲労破壊してしまう恐れがあり、長期の使用に耐えないという問題点があった。
【0012】
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、フィラメントの形状を、温度変化によって加えられる応力を分散させる形状とすることにより、フィラメントの疲労破壊強度を増し、長期に渡って使用することができる赤外線光源を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1においては、フィラメントの両端が基板に形成された堀の両縁に固定されてこのフィラメントの両端間がこの堀上の空中に浮くマイクロブリッジ構造として構成され、前記フィラメントに通電して発熱させることにより赤外線を発光させる赤外線光源であって、前記フィラメントの両端間には、複数の折返部が形成され、前記フィラメントの両端間の形状を、ミアンダ状またはスパイラル状としたことを特徴とする赤外線光源である。
【0016】
本発明の請求項2においては、被測定ガスに赤外線を照射する光源と、この光源からの赤外線を波長選択的に透過させる波長選択フィルタと、この波長選択フィルタを透過した赤外線を検出する赤外線検出器とを有し、前記赤外線検出器の出力に基づいて前記被測定ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析計において、前記光源として、請求項1記載の赤外線光源を使用することを特徴とする赤外線ガス分析計である。
【0017】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
尚、以下の図面において、図5と重複する部分は同一番号を付してその説明は適宜に省略する。
図1(a)は本発明の一実施例の平面図であり、図1(b)は、図1(a)に示した赤外線光源のA−A‘断面図である。
【0018】
図1(a),(b)において、フィラメント2は、図5に示した多結晶シリコン層5が、複数の直線部が折り返された板バネ状(ミアンダ型)にパターニングされている。
【0019】
そして、フィラメント2下部のシリコン基板1を、二酸化シリコン4をマスクとして異方性(の濃度差)エッチングを行うことにより、堀3を形成する。
【0020】
濃度差エッチングは、濃度差によりシリコンのエッチング速度が異なるアルカリ系の溶液として、例えば、KOHを使用してシリコン基板1を異方性エッチングすることにより行なわれ、濃度の高いフィラメント2はエッチングされずに残り、この堀3の縁に固定部2a,2bが固定され、堀3上の空中に浮いた状態となる。
【0021】
尚、濃度差エッチングをシリコン基板の裏面より行い、図2に示すように堀3がシリコン基板1を完全に貫通するような構造としても良い。
【0022】
そして、フィラメント2の固定部2a,2b上部には、フィラメント2に通電する電極7a,7bが形成され、この電極7a,7bを介してフィラメント2に電流を流すと、フィラメント2は発熱し、その温度に対応した赤外線を放出する。
【0023】
この場合、急激な温度変化によりフィラメント2に加えられる応力は、複数の直線部2cが折り返される複数の折返部2dに分散されることとなり、その破壊強度を増すことができる。
【0024】
また、フィラメント2の形状を図3に示すようなスパイラル型としても、ミアンダ型と同様にフィラメント2に加わる応力を全体に分散させることが可能であり、その破壊強度を増すことができる。
【0025】
尚、説明においてはフィラメントの材質を、高濃度のボロンが注入された多結晶シリコンとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、その材質を単結晶シリコンとすることもできる。
例えば、単結晶シリコン基板上に絶縁膜を介して不純物濃度の高い単結晶シリコン層が形成されたSOI基板を使用し、この高濃度の単結晶シリコン層をマイクロブリッジ加工することによりフィラメントを作成すれば、単結晶シリコン層の厚さ及び不純物濃度の制御性が高いことからフィラメントの厚さ及び不純物濃度の制御性も高めることができるので、投入電力と光源の強度の関係のばらつき等の固体差の小さい赤外線光源を実現することが可能となる。
【0026】
そして、被測定ガスに赤外線を照射する光源と、この光源からの所望の波長の赤外線を選択して透過させる波長選択フィルタと、この波長選択フィルタを透過した赤外線を検出する赤外線検出器とを有し、赤外線検出器の出力に基づいて被測定ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析計において、光源として上述のような赤外線光源使用した場合は、フィラメントの寿命が長い赤外線ガス分析計を実現できる。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の請求項1から請求項3によれば、フィラメントの形状を、温度変化によって加えられる応力を分散させる形状としたので、フィラメントの疲労破壊強度を増し、長期に渡って使用することができる赤外線光源を提供することができ、請求項4によれば、請求項1から請求項3記載の赤外線光源を赤外線ガス分析計に適用することにより、長期使用に耐える赤外線ガス分析計を実現することができる。
【0028】
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施例の構成図である。
【図2】本発明の第二実施例の断面図である。
【図3】本発明の第三実施例の平面図である。
【図4】NDIRガス分析計の構成図である。
【図5】従来の赤外線光源の構成図である。
【符号の説明】
1 シリコン基板
2 フィラメント
Claims (2)
- フィラメントの両端が基板に形成された堀の両縁に固定されてこのフィラメントの両端間がこの堀上の空中に浮くマイクロブリッジ構造として構成され、前記フィラメントに通電して発熱させることにより赤外線を発光させる赤外線光源であって、
前記フィラメントの両端間には、複数の折返部が形成され、
前記フィラメントの両端間の形状を、ミアンダ状またはスパイラル状としたことを特徴とする赤外線光源。 - 被測定ガスに赤外線を照射する光源と、この光源からの赤外線を波長選択的に透過させる波長選択フィルタと、この波長選択フィルタを透過した赤外線を検出する赤外線検出器とを有し、前記赤外線検出器の出力に基づいて前記被測定ガスの濃度を測定する赤外線ガス分析計において、
前記光源として、請求項1記載の赤外線光源を使用することを特徴とする赤外線ガス分析計。
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