JP4571603B2 - リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
放射ビームを条件付けるようになされた照明システムと、
パターン化された放射ビームを形成するべく放射ビームに断面パターンを付与するように構築されたパターニング・デバイスを支持するように構築されたサポートと、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
パターン化された放射ビームを基板の細長い目標部分に投射するようになされた投影システムと、
基板の目標部分の長さに沿った放射強度のプロファイルを制御するようになされた、時間に対する放射強度プロファイルの照射誘導変化を実質的に補償するための一様性コントローラと
を備えたリソグラフィ装置が提供される。
基板を提供するステップと、
照明システムを使用して放射ビームを提供するステップと、
放射ビームを透過又は反射し、且つ、パターン化された放射ビームを形成するべく放射ビームに断面パターンを付与するためにパターニング・デバイスを使用するステップと、
パターン化された放射ビームを基板の細長い目標部分に投射するステップと、
時間に対する放射強度プロファイルの照射誘導変化を実質的に補償するために、基板の目標部分の長さに沿った放射強度のプロファイルを制御するステップと
を含むデバイス製造方法が提供される。
− 放射(例えばUV放射)の投影ビームPBを提供するための照明システム(イルミネータ)IL
− パターニング手段(例えばマスク)MAを支持するための、該パターニング手段をアイテムPLに対して正確に位置決めするための第1の位置決め手段PMに接続された支持構造(例えばマスク・テーブル)MT
− 基板(例えばレジスト被覆ウェハ)Wを保持するための、該基板をアイテムPLに対して正確に位置決めするための第2の位置決め手段PWに接続された基板テーブル(例えばウェハ・テーブル)WT
− パターニング手段MAによって投影ビームPBに付与されたパターンを基板Wの目標部分C(例えば1つ又は複数のダイが含まれている)に画像化するための投影システム(例えば屈折投影レンズ又は反射投影レンズ)PL
を備えている。
1.ステップ・モード:マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTが基本的に静止状態に維持され、放射ビームに付与されたパターン全体が目標部分Cに1回で投影される(即ち単一静止露光)。次に、基板テーブルWTがX方向及び/又はY方向にシフトされ、異なる目標部分Cが露光される。ステップ・モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一静止露光で画像化される目標部分Cのサイズが制限される。
2.走査モード:放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間、マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTが同期走査される(即ち単一動的露光)。マスク・テーブルMTに対する基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPLの倍率(縮小率)及び画像反転特性によって決めることができる。走査モードでは、露光視野の最大サイズによって、単一動的露光における目標部分の幅(非走査方向の幅)が制限され、一方、走査運動の長さによって目標部分の高さ(走査方向の高さ)が決まる。
3.その他のモード:プログラム可能パターニング・デバイスを保持するべくマスク・テーブルMTが基本的に静止状態に維持され、放射ビームに付与されたパターンが目標部分Cに投影されている間、基板テーブルWTが移動又は走査される。このモードでは、通常、パルス放射源が使用され、走査中、基板テーブルWTが移動する毎に、又は連続する放射パルスと放射パルスの間に、必要に応じてプログラム可能パターニング・デバイスが更新される。この動作モードは、上で参照したタイプのプログラム可能ミラー・アレイなどのプログラム可能パターニング・デバイスを利用しているマスクレス・リソグラフィに容易に適用することができる。
(b)コールド・システムに対応する静的非一様性。この成分は、すべての瞬間で全く同じである。
(c)放射誘導透過率変動。この成分は、スリット位置全体にわたって一定である。
(d)放射誘導一様性変動。目的は、この特定の成分を記述し、且つ、補償することである。最初の2つの成分(プロット(b)及び(c))は、他の方法によって既に補償済みであることを理解されたい。
B 放射ビーム
BD ビーム引渡しシステム
C 基板の目標部分
d 光路長
IF 位置センサ
IFL スリットの幅
IL 照明システム(イルミネータ)
MA パターニング手段(マスク)
MT 支持構造(マスク・テーブル)
M1、M2 マスク・アライメント・マーク
PB 投影ビーム
PL 投影システム(レンズ)
PM 第1の位置決め手段
PW 第2の位置決め手段
P1、P2 基板アライメント・マーク
SO 放射源
W 基板
WT 基板テーブル
10 一様性制御デバイス
11、14 ブレード
12 アクチュエータ
13 コントローラ
13A シャフト
15 光源
16 光検出器
17 可動磁石
18 ヨーク
19 コイル
Claims (15)
- 放射ビームを条件付けるようになされた照明システムと、
パターン化された放射ビームを形成するべく前記放射ビームに断面パターンを付与するように構成されたパターニング・デバイスを支持するように構成されたサポートと、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記パターン化された放射ビームを前記基板の細長い目標部分に投射するようになされた投影システムと、
前記基板の前記目標部分の長さに沿った放射強度のプロファイルを制御するようになされた、時間に対する前記プロファイルの照射誘導変化を実質的に補償するための一様性コントローラと、を備え、
前記一様性コントローラが、
前記照明システムと前記目標部分の間に挿入された、前記目標部分内の一連の部分に適用される強度の相対値を変化させるべく時間に対して調整可能な複数の補償用ブレードと、
前記複数の補償用ブレードに各々接続された複数の配向測定用ブレードと、
前記複数の配向測定用ブレードのそれぞれに可視光を照射する可視光源と、
前記複数の配向測定用ブレードのそれぞれを挟むように前記可視光源に対向して配置され、前記可視光の光量を測定する複数の検出器と、
を備え、
前記測定された可視光の光量に基づき、前記複数の補償用ブレードのそれぞれの配向が測定される、
リソグラフィ装置。 - 前記複数の補償用ブレードのそれぞれが、前記目標部分を照射している前記放射ビームに半影を投げかけ、前記半影を時間に対して変化させるべく調整可能である、請求項1に記載の装置。
- 前記複数の補償用ブレードのそれぞれが投げかける半影の幅を調整するべく前記複数の補償用ブレードのそれぞれを傾斜軸の周りに傾斜させることができ、前記複数の補償用ブレードが互いに実質的に平行な傾斜軸を有するように配置された、請求項1又は2に記載の装置。
- 前記複数の補償用ブレードのそれぞれが投げかける半影の長さを調整するべく移動可能である、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記パターン化された放射ビームと前記目標部分の間に、前記目標部分を横切る走査方向の相対移動を提供する走査システムをさらに備えた、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の装置。
- 前記走査システムに、前記目標部分に投射される前記パターン化された放射ビームが通過する湾曲したスリットが組み込まれた、請求項5に記載の装置。
- 前記一様性コントローラが、連続するダイ又はウェハの露光と露光の間の強度を制御するようになされた、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の装置。
- 前記一様性コントローラが、前記強度プロファイルの前記照射誘導変化を実質的に補償するための修正曲線に基づく修正モデルを提供する一様性修正モジュールを備えた、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の装置。
- 前記一様性修正モジュールが、前記リソグラフィ装置の動作中における光学素子の加熱及び冷却の時定数に基づく修正モデルを使用する、請求項8に記載の装置。
- 前記一様性修正モジュールが、較正段階で決定される所定の修正プロファイルに基づく修正モデルを使用する、請求項8又は9に記載の装置。
- 前記一様性コントローラが、前記目標部分内の一連の位置における、前記目標部分に沿った前記プロファイルの変化を実質的に補償するために必要な強度を予測するフィード・フォワード制御信号を利用する、請求項1乃至10のいずれか1項に記載の装置。
- 基板を提供するステップと、
照明システムを使用して放射ビームを提供するステップと、
前記放射ビームを透過又は反射し、且つ、パターン化された放射ビームを形成するべく前記放射ビームに断面パターンを付与するためにパターニング・デバイスを使用するステップと、
前記パターン化された放射ビームを前記基板の細長い目標部分に投射するステップと、
時間に対する放射強度プロファイルの照射誘導変化を実質的に補償するために、前記基板の前記目標部分の長さに沿った前記放射強度プロファイルを制御するステップと、を含み、
前記制御するステップにおいて、
前記照明システムと前記目標部分の間に挿入された、前記目標部分内の前記一連の部分に適用される強度の相対値を変化させるべく時間に対して調整可能な複数の補償用ブレードと、
前記複数の補償用ブレードに各々接続された複数の配向測定用ブレードと、
前記複数の配向測定用ブレードのそれぞれに可視光を照射する可視光源と、
前記複数の配向測定用ブレードのそれぞれを挟むように前記可視光源に対向して配置され、前記可視光の光量を測定する複数の検出器と、
を備える一様性コントローラが用いられ、
前記測定された可視光の光量に基づき、前記複数の補償用ブレードのそれぞれの配向が測定されるステップを更に含む、
デバイス製造方法。 - 前記放射強度が、前記強度プロファイルの前記照射誘導変化を実質的に補償するための修正曲線を使用した修正モデルによって制御される、請求項12に記載の方法。
- 前記放射強度が、リソグラフィ装置の光学素子の加熱及び冷却の時定数に基づく修正モデルによって制御される、請求項12に記載の方法。
- 前記放射強度が、較正段階で決定される所定のプロファイルに基づく修正モデルによって制御される、請求項12に記載の方法。
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