JP4569894B2 - Flow control device - Google Patents

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Description

本発明は、流量制御装置に関し、特に、高圧のガスや液体が格納された格納容器の排出バルブを開閉制御し、格納容器から排出される流体の量を制御するための流量制御装置に関する。   The present invention relates to a flow rate control device, and more particularly to a flow rate control device for controlling the amount of fluid discharged from a storage container by controlling opening and closing of a discharge valve of a storage container storing high-pressure gas or liquid.

半導体工程をはじめ化学工程などでは、被作業物に多様な液体やガス(以下、「流体」という)を定量注入することが要求されている。
このような流体の定量供給のため、多くの電気的、機械的流量制御装置があるが、このような装置のほとんどは格納容器の排出バルブを一定に開放した状態で、排出バルブから流出される流体量を制御することにより被作業物に注入される流体の量を制御している。 In a chemical process including a semiconductor process, it is required to quantitatively inject various liquids and gases (hereinafter referred to as “fluid”) into a work piece.
There are many electrical and mechanical flow control devices for such fluid supply, but most of these devices are drained from the discharge valve with the containment discharge valve open constantly. By controlling the amount of fluid, the amount of fluid injected into the work is controlled.

特許文献１には、ボンベの元弁を開閉作動させるボンベ元弁作動装置が開示されている。このボンベ元弁作動装置は、図７においておねじの上端に回動角度表示部材を固定して、矢印の示す目盛りの数値を読み取ることにより元弁の弁開度を判別している。
特開平１０−２３８６４９号公報 Patent Document 1 discloses a cylinder main valve operating device that opens and closes a cylinder main valve. In the cylinder main valve operating device, the rotation angle display member is fixed to the upper end of the male screw in FIG. 7, and the valve opening degree of the main valve is determined by reading the numerical value of the scale indicated by the arrow.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-238649

しかしながら、このような方式は、排出バルブの開放状態が一定に固定されているため、格納容器に格納された流体量に応じて流量制御装置に流入される流体量が異なることになるので、正確な制御が行われにくい。   However, in such a method, since the open state of the discharge valve is fixed, the amount of fluid flowing into the flow control device differs depending on the amount of fluid stored in the containment vessel. Is difficult to control.

特に、格納容器の排出バルブを開閉させるための開閉部の操作は、通常、手動で行われているが、このように開閉部を一々手動操作することは非常に煩わしく、更に、流体が毒性を有する場合は、操作者の安全にも深刻な問題をもたらす恐れがある。   In particular, the operation of the opening / closing part for opening / closing the discharge valve of the containment vessel is normally performed manually, but it is very troublesome to manually operate the opening / closing part one by one, and the fluid is toxic. Doing so may pose serious problems for the safety of the operator.

また特許文献１に示す作動装置は、回転角度の数値を読み取ることにより元弁の弁開度を判別しているのみであり、何ら流量制御を行っていない。
よって、本発明の目的は、格納容器に残存する流体の量に応じて開閉バルブを制御し、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供することである。 Moreover, the actuator shown in Patent Document 1 only determines the valve opening of the original valve by reading the numerical value of the rotation angle, and does not perform any flow control.
Therefore, an object of the present invention is to provide a flow rate control device that can control the amount of fluid discharged from the containment vessel by controlling the on-off valve in accordance with the amount of fluid remaining in the containment vessel.

本発明の他の目的は、操作者が直接開閉バルブを操作しなくても、自動で流体格納容器のバルブを操作可能にし、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供することである。   Another object of the present invention is to provide a flow rate control device capable of automatically operating a valve of a fluid storage container and controlling the amount of fluid discharged from the storage container without the operator directly operating the opening / closing valve. That is.

前記目的を達成するための本発明の特徴は、外周面に溝と突出部が交互的に形成されたつまみを有する開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置において、固定支持物と、中心に設けられた回転軸を回転させるアクチュエータと、前記固定支持物に設けられ、下部に前記アクチュエータが結合されるケースを備え、前記回転軸の回転量に応じて信号を発生させる回転角検出部と、前記回転軸に結合されたギアと、前記ギアにより駆動される少なくとも一つ以上の駆動ギアが設けられたギアボックスと、前記駆動ギアの何れかに軸結合された中心軸と、前記中心軸の下端部に前記つまみと結合されるヘッドが形成されたつまみ締結アームと、前記回転角検出部の信号が入力され、前記アクチュエータを駆動させるアクチュエータ駆動部を制御するコントローラとを含むことである。   In order to achieve the above object, a feature of the present invention is a flow rate control device for controlling a flow rate discharged from a fluid storage container having an on-off valve having a knob having grooves and protrusions alternately formed on an outer peripheral surface. A fixed support, an actuator for rotating a rotation shaft provided at the center, and a case provided at the fixed support and coupled to the actuator at a lower portion, and a signal is output according to the amount of rotation of the rotation shaft. A rotation angle detector to be generated, a gear coupled to the rotation shaft, a gear box provided with at least one drive gear driven by the gear, and a shaft coupled to any of the drive gears A central axis, a knob fastening arm having a head coupled to the knob at the lower end of the central axis, and a signal from the rotation angle detector are input to drive the actuator. It is to include a controller for controlling the that actuator driving unit.

また、本発明において、前記アクチュエータは、モータであるか、または、流圧により動作する回転アクチュエータであるのが好ましい。
また、本発明において、前記中心軸は、前記駆動ギアの何れかに軸結合される上部軸と、前記上部軸にジョイント結合される連結軸と、前記連結軸にジョイント結合される下部軸からなり、前記下部軸の端部に前記ヘッドが形成されるのが好ましい。 In the present invention, the actuator is preferably a motor or a rotary actuator that operates by fluid pressure.
In the present invention, the central axis includes an upper shaft that is axially coupled to one of the drive gears, a coupling shaft that is jointly coupled to the upper shaft, and a lower shaft that is jointly coupled to the coupling shaft. The head is preferably formed at the end of the lower shaft.

また、本発明において、前記ヘッドは、前記下部軸の下端部が中心に設けられる円盤上のヘッド板と、前記ヘッド板の中心に対して９０°間隔で外周面に隣接されて下向突出された支持ポストと、前記ヘッド板の外周縁内側に沿って前記支持ポストとの間に形成された貫通穴を下部で挿入した後、上端部にネジにて締結されるＵ字状のクランプを含むのが好ましい。   In the present invention, the head is protruded downward adjacent to the outer peripheral surface at a 90 ° interval with respect to the center of the head plate on a disk provided at the lower end of the lower shaft. A U-shaped clamp that is tightened with a screw at the upper end after a through hole formed between the support post and the support post along the inner periphery of the head plate is inserted at the bottom. Is preferred.

また、本発明において、前記支持ポストは多角形の柱状であるのが好ましい。
また、本発明において、前記ギアボックスの下部には、更に、前記中心軸の回転角度を表示するための標識が形成された回転表示機が設けられるのが好ましい。 In the present invention, the support post is preferably a polygonal columnar shape.
Further, in the present invention, it is preferable that a rotation indicator having a mark for displaying a rotation angle of the central axis is further provided at a lower portion of the gear box.

また、本発明において、前記連結軸には、輪が設けられ、前記回転表示機には、留め金が設けられ、前記輪を前記留め金にかけられるようにするのが好ましい。
また、本発明において、更に、前記格納容器の重さを感知する重さ感知センサーが設けられ、前記コントローラは、前記重さ感知センサーから転送される信号に対応する前記回転軸の回転されるべき適正回転角を算出し、前記回転角検出部から転送される信号に応じて前記回転軸が回転された状態を検出し、前記適正回転角と前記回転軸の回転角の誤差を補正するように前記アクチュエータ駆動部を駆動するのが好ましい。 In the present invention, it is preferable that a ring is provided on the connecting shaft, and a clasp is provided on the rotary display so that the ring can be put on the clasp.
In the present invention, a weight sensor for sensing the weight of the storage container is further provided, and the controller should rotate the rotating shaft corresponding to a signal transferred from the weight sensor. An appropriate rotation angle is calculated, a state in which the rotation shaft is rotated is detected according to a signal transferred from the rotation angle detection unit, and an error between the appropriate rotation angle and the rotation angle of the rotation shaft is corrected. It is preferable to drive the actuator driving unit.

また、本発明において、更に、前記格納容器に残存する流体の圧力を感知する圧力感知センサーが設けられ、前記コントローラは、前記圧力感知センサーから転送される信号に対応する前記回転軸の回転されるべき適正回転角を算出し、前記回転角検出部から転送される信号に応じて前記回転軸が回転された状態を検出し、前記適正回転角と前記回転軸の回転角の誤差を補正するように前記アクチュエータ駆動部を駆動するのが好ましい。   In the present invention, a pressure sensor for sensing the pressure of the fluid remaining in the storage container is further provided, and the controller rotates the rotating shaft corresponding to a signal transferred from the pressure sensor. An appropriate rotation angle is calculated, a state in which the rotation shaft is rotated is detected according to a signal transferred from the rotation angle detection unit, and an error between the appropriate rotation angle and the rotation angle of the rotation shaft is corrected. Preferably, the actuator driving unit is driven.

上記の構成を有する本発明によると、流体格納容器に残存する流体量に応じて適正に格納容器のバルブを開放することにより、流体格納容器内に残存する流体量の多少に関わらず、一定量の流体が排出できるようにすることができる。
また、格納容器の開閉バルブつまみとバルブ開閉アーム１０の結合分離を容易にし、作業利便性と安全性を向上する。 According to the present invention having the above-described configuration, by opening the valve of the containment vessel appropriately according to the amount of fluid remaining in the fluid containment vessel, a constant amount regardless of the amount of fluid remaining in the fluid containment vessel. The fluid can be discharged.
In addition, the opening / closing valve knob of the storage container and the valve opening / closing arm 10 can be easily coupled and separated, thereby improving work convenience and safety.

特に、バルブ開閉アームの締結ヘッド構造により開閉バルブつまみと堅固に結合することによって、滑らずに開閉バルブつまみを回転できる。
また、回転角表示ユニットに表示された標識と目盛りにより、肉眼で回転軸の回転状態を感知できる。 In particular, the open / close valve knob can be rotated without slipping by firmly coupling with the open / close valve knob by the fastening head structure of the valve open / close arm.
Further, the rotation state of the rotation shaft can be detected with the naked eye by the marks and scales displayed on the rotation angle display unit.

以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態を詳しく説明する。
図１は、本発明の一実施形態による流量制御装置を示す外観構成図である。
図１に示すように、流体を格納する格納容器１は、格納容器締結装置２により支持物３に固定されている。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is an external configuration diagram showing a flow control device according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, a storage container 1 for storing a fluid is fixed to a support 3 by a storage container fastening device 2.

格納容器１の上端入口には、開閉バルブ５が設けられ、該開閉バルブ５に排出管４が結合し、開閉バルブ５の動作により格納容器１内部の流体を外部に排出する。
開閉バルブ５の上部には、開閉バルブつまみ６が設けられ、該開閉バルブつまみ６を回転させて開閉バルブ５を開閉する。好ましくは、開閉バルブつまみ６の周縁部は、凹凸状でなる。 An opening / closing valve 5 is provided at the upper end inlet of the storage container 1. A discharge pipe 4 is coupled to the opening / closing valve 5, and the fluid inside the storage container 1 is discharged to the outside by the operation of the opening / closing valve 5.
An open / close valve knob 6 is provided above the open / close valve 5, and the open / close valve knob 6 is rotated to open / close the open / close valve 5. Preferably, the peripheral edge portion of the opening / closing valve knob 6 is uneven.

格納容器１に格納される流体は、液体または気体であり、本発明によると、格納容器１に液体が格納される場合は、格納容器１に残存する液体の量を測定する重さ感知センサー(図示せず)が格納容器１の下端に設けられ、格納容器１に気体が格納される場合は、気体の圧力を感知するための圧力感知センサー(図示せず)が排出管４に設けられる。   The fluid stored in the storage container 1 is a liquid or a gas. According to the present invention, when a liquid is stored in the storage container 1, a weight detection sensor that measures the amount of liquid remaining in the storage container 1 ( (Not shown) is provided at the lower end of the storage container 1, and when gas is stored in the storage container 1, a pressure sensor (not shown) for detecting the pressure of the gas is provided in the discharge pipe 4.

図２は、本発明の一実施形態の流量制御装置の要部断面図である。
図１と図２を参照すると、流量制御装置１００は、制御モジュールが装着された印刷回路基板を内蔵した固定支持物８０と、固定支持物８０に固定され、回転力を発生させる回転アクチュエータ６０と、回転アクチュエータ６０の回転軸６１の回転数を変化させるギアボックス４０と、回転アクチュエータ６０上部に設けられ、回転アクチュエータ６０の回転軸６１の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニット７０と、ギアボックス４０のギア４１に結合して回転するバルブ開閉アーム１０と、ギアボックス４０の下部に設けられ、バルブ開閉アーム１０のメイン軸１１と軸結合して回転し、メイン軸１１の回転角を示す回転角表示ユニット９０とからなる。 FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the flow control device according to the embodiment of the present invention.
Referring to FIGS. 1 and 2, the flow control device 100 includes a fixed support 80 including a printed circuit board on which a control module is mounted, and a rotary actuator 60 that is fixed to the fixed support 80 and generates a rotational force. A gear box 40 that changes the rotational speed of the rotary shaft 61 of the rotary actuator 60, and a rotational angle detection unit 70 that is provided on the rotary actuator 60 and generates a signal corresponding to the rotational angle of the rotary shaft 61 of the rotary actuator 60; The valve opening / closing arm 10 coupled to the gear 41 of the gear box 40 and rotating, and provided at the lower part of the gear box 40, rotate with the shaft 11 coupled to the main shaft 11 of the valve opening / closing arm 10. And a rotation angle display unit 90.

上記の実施形態において、回転アクチュエータ６０は、流体により回転される流圧式アクチュエータの他、ステップモータにより動作する電気式アクチュエータを適用でき、このようなことは当業界における通常の技術者であれば、設計変更可能である。   In the above embodiment, the rotary actuator 60 can be an electric actuator operated by a step motor in addition to a fluid pressure actuator rotated by a fluid. The design can be changed.

ギアボックス４０のフレーム４２には、回転アクチュエータ６０の回転軸６１に軸結合した駆動ギア４３と、該駆動ギア４３にギア結合する被動ギア４１が水平に配置される。よって、回転アクチュエータ６０の回転軸６１が回転することにより駆動ギア４３及びこれにギア結合した被動ギア４１が回転する。この時、被動ギア４１の回転数は、結合したギア比により決定される。   On the frame 42 of the gear box 40, a drive gear 43 that is axially coupled to the rotation shaft 61 of the rotary actuator 60 and a driven gear 41 that is gear-coupled to the drive gear 43 are horizontally disposed. Therefore, when the rotary shaft 61 of the rotary actuator 60 rotates, the drive gear 43 and the driven gear 41 that is gear-coupled thereto rotate. At this time, the rotational speed of the driven gear 41 is determined by the coupled gear ratio.

被動ギア４１の中心には、バルブ開閉アーム１０のメイン軸１１が軸結合し、被動ギア４１の回転と共に回転する。
また、好ましくは、ギアボックス４０の下部において、バルブ開閉アーム１０のメイン軸１１に軸結合して回転する回転角表示ユニット９０は、円筒形であり、その外周面に回転角を示す複数の目盛りと、回転角表示ユニット９０の外周面から離隔されるように、ギアボックス４０の下部に設けられ、前記複数の目盛りの何れかと一致され、回転角表示ユニット９０の回転角度を確認できる表示針がある。 The main shaft 11 of the valve opening / closing arm 10 is axially coupled to the center of the driven gear 41 and rotates with the rotation of the driven gear 41.
Preferably, the rotation angle display unit 90 that rotates by being coupled to the main shaft 11 of the valve opening / closing arm 10 in the lower part of the gear box 40 has a cylindrical shape, and a plurality of scales showing rotation angles on the outer peripheral surface thereof. And a display hand provided at the lower part of the gear box 40 so as to be separated from the outer peripheral surface of the rotation angle display unit 90 and coincides with any one of the plurality of scales so that the rotation angle of the rotation angle display unit 90 can be confirmed. is there.

バルブ開閉アーム１０は、上記のメイン軸１１と、メイン軸１１に対して流動するようにジョイント結合した連結軸１２と、連結軸１２に対してジョイント結合した締結ヘッド１４とからなる。   The valve opening / closing arm 10 includes the main shaft 11, a connecting shaft 12 joint-coupled so as to flow with respect to the main shaft 11, and a fastening head 14 joint-joined with the connecting shaft 12.

締結ヘッド１４は、連結軸１２に流動可能にジョイント結合する連結軸１３と、該連結軸１３が突出される円盤上のヘッド板１５と、ヘッド板１５の裏面周縁部に沿って９０°間隔で下向突出された柱状の支持ポスト１６と、裏面周縁部より内側にヘッド板１５に分離可能に結合するＵ字状のクランプ１７とからなる。   The fastening head 14 has a connecting shaft 13 jointly connected to the connecting shaft 12 in a flowable manner, a head plate 15 on a disk from which the connecting shaft 13 protrudes, and a back surface peripheral portion of the head plate 15 at 90 ° intervals. It consists of a columnar support post 16 projecting downward, and a U-shaped clamp 17 that is detachably coupled to the head plate 15 on the inner side from the periphery of the back surface.

本実施形態では、クランプ１７がヘッド板１５に形成された貫通穴にナット結合にて結合することを示しているが、これに限定されない。また、図１には、一対のクランプ１７が設けられることを例と挙げているが、開閉バルブつまみ６の周縁部に形成された凹凸の個数に応じて異なるのは勿論である。   In the present embodiment, it is shown that the clamp 17 is coupled to the through hole formed in the head plate 15 by nut coupling, but is not limited thereto. In addition, FIG. 1 shows an example in which a pair of clamps 17 are provided, but it goes without saying that the number varies depending on the number of irregularities formed on the peripheral edge of the opening / closing valve knob 6.

締結ヘッド１４を開閉バルブつまみ６に締結するためには、開閉バルブつまみ６の周縁部に形成された凹凸の凹部に支持ポスト１６が位置するように締結ヘッド１４を下降した後、Ｕ字状のクランプ１７を下部からヘッド板１５に挿入し、蝶ナット１８を用いて結合する。これにより、開閉バルブつまみ６の周縁部に形成された凹凸の互いに隣接する凸部をクランプ１７がクランピングし、この凸部間の凹部は、支持ポスト１６が接触して支持することになる。よって、締結ヘッド１４が回転することになると、クランプ１７と支持ポスト１６により開閉バルブつまみ１６の周縁部を確実にクランピングした状態で、開閉バルブつまみ６を回転させる。   In order to fasten the fastening head 14 to the opening / closing valve knob 6, the fastening head 14 is lowered so that the support post 16 is positioned in the concave / convex recess formed on the peripheral edge of the opening / closing valve knob 6, and then the U-shaped The clamp 17 is inserted into the head plate 15 from below and is coupled using a wing nut 18. Thereby, the clamps 17 clamp the adjacent convex portions formed on the peripheral edge of the opening / closing valve knob 6, and the support posts 16 come into contact with and support the concave portions between the convex portions. Therefore, when the fastening head 14 is rotated, the opening / closing valve knob 6 is rotated in a state where the peripheral portion of the opening / closing valve knob 16 is securely clamped by the clamp 17 and the support post 16.

好ましくは、連結軸１２には、上下流動可能に円盤１９が設けられ、円盤１９には、リング２０が設けられ、締結ヘッド１４が開閉バルブつまみ６と分離された状態でリング２０は、回転角表示ユニット９０に設けられたフック９１にかけることができる。リング２０をフック９１にかけると、締結ヘッド１４が締結位置より押し上げられ、格納容器１の流体が全て消耗された場合、このように押し上げられた状態で、格納容器１の交替作業が便利に行われる。   Preferably, the connecting shaft 12 is provided with a disk 19 that can flow up and down, the disk 19 is provided with a ring 20, and the ring 20 has a rotation angle in a state where the fastening head 14 is separated from the opening / closing valve knob 6. It can be hooked on a hook 91 provided in the display unit 90. When the ring 20 is put on the hook 91, when the fastening head 14 is pushed up from the fastening position and all the fluid in the containment container 1 is consumed, the replacement work of the containment container 1 can be performed conveniently in the pushed state. Is called.

また、本発明によると、回転角検出ユニット７０は、回転アクチュエータ６０の回転軸６１を中心として既設定された角度ほどずらして配置された扇形の複数の板状接触部材７１と、各々の接触部材７１に接触される時、信号を制御モジュールに転送する複数のリミットスイッチ７２とからなる。よって、回転アクチュエータ６０の回転軸６１が回転する時、既設定された角度で複数の接触部材７１の何れかの接触部材７１とリミットスイッチ７２が接触され、接触されたリミットスイッチにより信号が発生して制御モジュールに転送され、制御モジュールにてこの信号を解釈し、回転軸６１の回転角度を検出する。   In addition, according to the present invention, the rotation angle detection unit 70 includes a plurality of fan-shaped plate-like contact members 71 arranged so as to be shifted by a preset angle around the rotation shaft 61 of the rotary actuator 60, and each contact member. When it comes into contact with 71, it consists of a plurality of limit switches 72 that transfer signals to the control module. Therefore, when the rotating shaft 61 of the rotary actuator 60 rotates, any one of the contact members 71 and the limit switch 72 are contacted at a preset angle, and a signal is generated by the contacted limit switch. The control module interprets this signal and detects the rotation angle of the rotary shaft 61.

図３は、本発明の制御モジュールを示すブロック図である。
制御モジュールは、コントローラ９２と、アクチュエータ駆動部９４からなり、コントローラ９２は、重さ感知センサー９３、圧力感知センサー９５からそれぞれ感知信号を受信し、回転角検出ユニット７０のリミットスイッチ７２から回転角による信号を受信する。 FIG. 3 is a block diagram showing the control module of the present invention.
The control module includes a controller 92 and an actuator driving unit 94. The controller 92 receives detection signals from the weight detection sensor 93 and the pressure detection sensor 95, respectively, and depends on the rotation angle from the limit switch 72 of the rotation angle detection unit 70. Receive a signal.

以下、本発明のコントローラの動作を図２と図３を参照して説明する。
上記のように、格納容器１に残存する流体の量は、格納された流体が気体である場合は、圧力センサー９５により感知され、流体が液体である場合は、重さ感知センサー９３により感知される。 Hereinafter, the operation of the controller of the present invention will be described with reference to FIGS.
As described above, the amount of the fluid remaining in the storage container 1 is detected by the pressure sensor 95 when the stored fluid is a gas, and is detected by the weight detection sensor 93 when the fluid is a liquid. The

コントローラ９２は、圧力感知センサー９５または重さ感知センサー９３から転送される感知信号を受信し、これに対応して回転アクチュエータ６０の回転軸６１が回転すべき基準回転角を算出する。
次に、回転角検出ユニット７０のリミットスイッチ７２から転送される信号に応じて実際回転軸６１が回転された角度を検出する。 The controller 92 receives the sensing signal transferred from the pressure sensing sensor 95 or the weight sensing sensor 93, and calculates a reference rotation angle that the rotation shaft 61 of the rotary actuator 60 should rotate in response to the sensing signal.
Next, the angle at which the actual rotation shaft 61 is rotated is detected in accordance with a signal transferred from the limit switch 72 of the rotation angle detection unit 70.

次に、コントローラ９２は、回転軸６１が回転すべき基準回転角と実際回転角６１が回転された回転角の差を算出し、この誤差を補正するようにアクチュエータ駆動部９４に駆動信号を転送する。
アクチュエータ駆動部９４は、入力される駆動信号に応じて回転アクチュエータ６０の作動流体の流れを制御し、回転軸６１が基準回転角に達するようにする。 Next, the controller 92 calculates the difference between the reference rotation angle at which the rotation shaft 61 should rotate and the rotation angle at which the actual rotation angle 61 is rotated, and transfers the drive signal to the actuator driver 94 so as to correct this error. To do.
The actuator drive unit 94 controls the flow of the working fluid of the rotary actuator 60 according to the input drive signal so that the rotary shaft 61 reaches the reference rotation angle.

本発明の一実施形態の格納容器と流量制御装置の斜視図である。It is a perspective view of the storage container and flow control device of one embodiment of the present invention. 本発明の流量制御装置の要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the flow control apparatus of this invention. 本発明のコントローラの動作を説明するための回路ブロック図である。It is a circuit block diagram for demonstrating operation | movement of the controller of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１………格納容器、２………格納容器締結装置、３………支持物、４………排出管、５………開閉バルブ、６………開閉バルブつまみ、１０………バルブ開閉アーム、１１………メイン軸、１２………連結軸、１３………連結軸、１４………締結ヘッド、１５………ヘッド板、１６………支持ポスト、１７………クランプ、１８………蝶ナット、１９………円盤、２０………リング、４０………ギアボックス、４１………被動ギア、４２………フレーム、４３………駆動ギア、６０………回転アクチュエータ、６１………回転軸、７０………回転角検出ユニット、７１………接触部材、７２………リミットスイッチ、８０………固定支持物、９０………回転角表示ユニット、９１………フック、９２………コントローラ、９３………重さ感知センサー、９４………アクチュエータ駆動部、９５………圧力感知センサー、１００………流量制御装置。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ......... Containment container, 2 ......... Containment container fastening device, 3 ......... Support, 4 ......... Drain pipe, 5 ...... Open / close valve, 6 ......... Open / close valve knob, 10 ......... Valve Opening / closing arm, 11 ......... Main shaft, 12 ... Connecting shaft, 13 ......... Connecting shaft, 14 ......... Fastening head, 15 ......... Head plate, 16 ...... Support post, 17 ......... Clamp , 18 ......... Wing nut, 19 ......... Disk, 20 ......... Ring, 40 ......... Gearbox, 41 ......... Driving gear, 42 ......... Frame, 43 ......... Driving gear, 60 ... ... Rotary actuator, 61 ......... Rotating shaft, 70 ......... Rotation angle detection unit, 71 ......... Contact member, 72 ......... Limit switch, 80 ......... Fixed support, 90 ......... Rotation angle display unit 91 ......... Hook, 92 ......... Controller, 93 ......... Weight detection Nsa, 94 ......... actuator driving unit, 95 ......... pressure sensing sensor, 100 ......... flow controller.

Claims (2)

開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置であって、
回転アクチュエータと、
前記回転アクチュエータの回転軸の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニットと、
前記回転アクチュエータの回転軸に軸結合する駆動ギアと、該駆動ギアにギア結合する被動ギアを備えたギアボックスと、
前記被動ギアの中心に軸結合して回転し、前記流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アームと、
前記流体格納容器に残存する流体の量を前記格納容器の重さ又は流体の圧力として感知し、制御ユニットに感知信号を転送する感知センサーと、
前記感知信号を受信して基準回転角を算出し、前記回転角検出ユニットから実際回転角を表す信号を受信し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように前記回転アクチュエータを駆動させる制御ユニットと、
前記ギアボックスの下部に設けられ、前記被動ギアと軸連結し、その外周面に回転角度を示す目盛りが表示された回転角表示ユニットと、を含むことを特徴とする流量制御装置。 A flow rate control device for controlling a flow rate discharged from a fluid containment vessel provided with an on-off valve,
A rotary actuator;
A rotation angle detection unit that generates a signal according to the rotation angle of the rotation shaft of the rotary actuator;
A drive gear that is axially coupled to the rotation shaft of the rotary actuator, and a gear box that includes a driven gear that is gear-coupled to the drive gear;
A valve opening / closing arm that is coupled to the center of the driven gear, rotates, and is detachably coupled to an opening / closing valve knob of the opening / closing valve of the fluid storage container;
A sensing sensor for sensing the amount of fluid remaining in the fluid containment vessel as the weight of the containment vessel or the pressure of the fluid, and transferring a sensing signal to a control unit;
A reference rotation angle is calculated by receiving the sensing signal , a signal representing an actual rotation angle is received from the rotation angle detection unit, and the rotary actuator is driven to correct an error between the reference rotation angle and the actual rotation angle. A control unit,
And a rotation angle display unit provided at a lower portion of the gear box and connected to the driven gear and having a scale indicating a rotation angle on an outer peripheral surface thereof. 前記回転角検出ユニットは、前記回転アクチュエータの上部に設けられ、
前記回転アクチュエータの回転軸を中心に既設定された角度でずらして配置された扇形の複数の板状接触部材と、
前記板状接触部材の各々に接触する時、回転角による信号を前記制御ユニットに転送する複数のリミットスイッチと、を含むことを特徴とする請求項１に記載の流量制御装置。 The rotation angle detection unit is provided on the rotation actuator,
A plurality of fan-shaped plate-like contact members arranged with a predetermined angle around the rotation axis of the rotary actuator; and
The flow control device according to claim 1, further comprising: a plurality of limit switches that transfer a signal based on a rotation angle to the control unit when contacting each of the plate-like contact members.
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