JP2009138933A - Flow control device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、流量制御装置に関し、特に、高圧のガスや液体が格納された格納容器の排出バルブを開閉制御し、格納容器から排出される流体の量を制御するための流量制御装置に関する。 The present invention relates to a flow rate control device, and more particularly to a flow rate control device for controlling the amount of fluid discharged from a storage container by controlling opening and closing of a discharge valve of a storage container storing high-pressure gas or liquid.
半導体工程をはじめ化学工程などでは、被作業物に多様な液体やガス(以下、「流体」という)を定量注入することが要求されている。
このような流体の定量供給のため、多くの電気的、機械的流量制御装置があるが、このような装置のほとんどは格納容器の排出バルブを一定に開放した状態で、排出バルブから流出される流体量を制御することにより被作業物に注入される流体の量を制御している。
In a chemical process including a semiconductor process, it is required to quantitatively inject various liquids and gases (hereinafter referred to as “fluid”) into a work piece.
There are many electrical and mechanical flow control devices for such fluid supply, but most of these devices are drained from the discharge valve with the containment discharge valve open constantly. By controlling the amount of fluid, the amount of fluid injected into the work is controlled.
特許文献1には、ボンベの元弁を開閉作動させるボンベ元弁作動装置が開示されている。このボンベ元弁作動装置は、図7においておねじの上端に回動角度表示部材を固定して、矢印の示す目盛りの数値を読み取ることにより元弁の弁開度を判別している。
しかしながら、このような方式は、排出バルブの開放状態が一定に固定されているため、格納容器に格納された流体量に応じて流量制御装置に流入される流体量が異なることになるので、正確な制御が行われにくい。 However, in such a method, since the open state of the discharge valve is fixed, the amount of fluid flowing into the flow control device differs depending on the amount of fluid stored in the containment vessel. Is difficult to control.
特に、格納容器の排出バルブを開閉させるための開閉部の操作は、通常、手動で行われているが、このように開閉部を一々手動操作することは非常に煩わしく、更に、流体が毒性を有する場合は、操作者の安全にも深刻な問題をもたらす恐れがある。 In particular, the operation of the opening / closing part for opening / closing the discharge valve of the containment vessel is normally performed manually, but it is very troublesome to manually operate the opening / closing part one by one, and the fluid is toxic. Doing so may pose serious problems for the safety of the operator.
また特許文献1に示す作動装置は、回転角度の数値を読み取ることにより元弁の弁開度を判別しているのみであり、何ら流量制御を行っていない。
よって、本発明の目的は、格納容器に残存する流体の量に応じて開閉バルブを制御し、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供することである。
Moreover, the actuator shown in Patent Document 1 only determines the valve opening of the original valve by reading the numerical value of the rotation angle, and does not perform any flow control.
Therefore, an object of the present invention is to provide a flow rate control device that can control the amount of fluid discharged from the containment vessel by controlling the on-off valve in accordance with the amount of fluid remaining in the containment vessel.
本発明の他の目的は、操作者が直接開閉バルブを操作しなくても、自動で流体格納容器のバルブを操作可能にし、格納容器から排出される流体量を制御できる流量制御装置を提供することである。 Another object of the present invention is to provide a flow rate control device capable of automatically operating a valve of a fluid storage container and controlling the amount of fluid discharged from the storage container without the operator directly operating the opening / closing valve. That is.
前記目的を達成するための本発明の特徴は、外周面に溝と突出部が交互的に形成されたつまみを有する開閉バルブを備えた流体格納容器から排出される流量を制御する流量制御装置において、固定支持物と、中心に設けられた回転軸を回転させるアクチュエータと、前記固定支持物に設けられ、下部に前記アクチュエータが結合されるケースを備え、前記回転軸の回転量に応じて信号を発生させる回転角検出部と、前記回転軸に結合されたギアと、前記ギアにより駆動される少なくとも一つ以上の駆動ギアが設けられたギアボックスと、前記駆動ギアの何れかに軸結合された中心軸と、前記中心軸の下端部に前記つまみと結合されるヘッドが形成されたつまみ締結アームと、前記回転角検出部の信号が入力され、前記アクチュエータを駆動させるアクチュエータ駆動部を制御するコントローラとを含むことである。 In order to achieve the above object, a feature of the present invention is a flow rate control device for controlling a flow rate discharged from a fluid storage container having an on-off valve having a knob having grooves and protrusions alternately formed on an outer peripheral surface. A fixed support, an actuator for rotating a rotation shaft provided at the center, and a case provided at the fixed support and coupled to the actuator at a lower portion, and a signal is output according to the amount of rotation of the rotation shaft. A rotation angle detector to be generated, a gear coupled to the rotation shaft, a gear box provided with at least one drive gear driven by the gear, and a shaft coupled to any of the drive gears A central axis, a knob fastening arm having a head coupled to the knob at the lower end of the central axis, and a signal from the rotation angle detector are input to drive the actuator. It is to include a controller for controlling the that actuator driving unit.
また、本発明において、前記アクチュエータは、モータであるか、または、流圧により動作する回転アクチュエータであるのが好ましい。
また、本発明において、前記中心軸は、前記駆動ギアの何れかに軸結合される上部軸と、前記上部軸にジョイント結合される連結軸と、前記連結軸にジョイント結合される下部軸からなり、前記下部軸の端部に前記ヘッドが形成されるのが好ましい。
In the present invention, the actuator is preferably a motor or a rotary actuator that operates by fluid pressure.
In the present invention, the central axis includes an upper shaft that is axially coupled to one of the drive gears, a coupling shaft that is jointly coupled to the upper shaft, and a lower shaft that is jointly coupled to the coupling shaft. The head is preferably formed at the end of the lower shaft.
また、本発明において、前記ヘッドは、前記下部軸の下端部が中心に設けられる円盤上のヘッド板と、前記ヘッド板の中心に対して90°間隔で外周面に隣接されて下向突出された支持ポストと、前記ヘッド板の外周縁内側に沿って前記支持ポストとの間に形成された貫通穴を下部で挿入した後、上端部にネジにて締結されるU字状のクランプを含むのが好ましい。 In the present invention, the head is protruded downward adjacent to the outer peripheral surface at a 90 ° interval with respect to the center of the head plate on a disk provided at the lower end of the lower shaft. A U-shaped clamp that is tightened with a screw at the upper end after a through hole formed between the support post and the support post along the inner periphery of the head plate is inserted at the bottom. Is preferred.
また、本発明において、前記支持ポストは多角形の柱状であるのが好ましい。
また、本発明において、前記ギアボックスの下部には、更に、前記中心軸の回転角度を表示するための標識が形成された回転表示機が設けられるのが好ましい。
In the present invention, the support post is preferably a polygonal columnar shape.
Further, in the present invention, it is preferable that a rotation indicator having a mark for displaying a rotation angle of the central axis is further provided at a lower portion of the gear box.
また、本発明において、前記連結軸には、輪が設けられ、前記回転表示機には、留め金が設けられ、前記輪を前記留め金にかけられるようにするのが好ましい。
また、本発明において、更に、前記格納容器の重さを感知する重さ感知センサーが設けられ、前記コントローラは、前記重さ感知センサーから転送される信号に対応する前記回転軸の回転されるべき適正回転角を算出し、前記回転角検出部から転送される信号に応じて前記回転軸が回転された状態を検出し、前記適正回転角と前記回転軸の回転角の誤差を補正するように前記アクチュエータ駆動部を駆動するのが好ましい。
In the present invention, it is preferable that a ring is provided on the connecting shaft, and a clasp is provided on the rotary display so that the ring can be put on the clasp.
In the present invention, a weight sensor for sensing the weight of the storage container is further provided, and the controller should rotate the rotating shaft corresponding to a signal transferred from the weight sensor. An appropriate rotation angle is calculated, a state in which the rotation shaft is rotated is detected according to a signal transferred from the rotation angle detection unit, and an error between the appropriate rotation angle and the rotation angle of the rotation shaft is corrected. It is preferable to drive the actuator driving unit.
また、本発明において、更に、前記格納容器に残存する流体の圧力を感知する圧力感知センサーが設けられ、前記コントローラは、前記圧力感知センサーから転送される信号に対応する前記回転軸の回転されるべき適正回転角を算出し、前記回転角検出部から転送される信号に応じて前記回転軸が回転された状態を検出し、前記適正回転角と前記回転軸の回転角の誤差を補正するように前記アクチュエータ駆動部を駆動するのが好ましい。 In the present invention, a pressure sensor for sensing the pressure of the fluid remaining in the storage container is further provided, and the controller rotates the rotating shaft corresponding to a signal transferred from the pressure sensor. An appropriate rotation angle is calculated, a state in which the rotation shaft is rotated is detected according to a signal transferred from the rotation angle detection unit, and an error between the appropriate rotation angle and the rotation angle of the rotation shaft is corrected. Preferably, the actuator driving unit is driven.
上記の構成を有する本発明によると、流体格納容器に残存する流体量に応じて適正に格納容器のバルブを開放することにより、流体格納容器内に残存する流体量の多少に関わらず、一定量の流体が排出できるようにすることができる。
また、格納容器の開閉バルブつまみとバルブ開閉アーム10の結合分離を容易にし、作業利便性と安全性を向上する。
According to the present invention having the above-described configuration, by opening the valve of the containment vessel appropriately according to the amount of fluid remaining in the fluid containment vessel, a constant amount regardless of the amount of fluid remaining in the fluid containment vessel. The fluid can be discharged.
In addition, the opening / closing valve knob of the containment vessel and the valve opening /
特に、バルブ開閉アームの締結ヘッド構造により開閉バルブつまみと堅固に結合することによって、滑らずに開閉バルブつまみを回転できる。
また、回転角表示ユニットに表示された標識と目盛りにより、肉眼で回転軸の回転状態を感知できる。
In particular, the open / close valve knob can be rotated without slipping by being firmly coupled to the open / close valve knob by the fastening head structure of the valve open / close arm.
Further, the rotation state of the rotation shaft can be detected with the naked eye by the marks and scales displayed on the rotation angle display unit.
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態を詳しく説明する。
図1は、本発明の一実施形態による流量制御装置を示す外観構成図である。
図1に示すように、流体を格納する格納容器1は、格納容器締結装置2により支持物3に固定されている。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is an external configuration diagram showing a flow control device according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, a storage container 1 for storing a fluid is fixed to a
格納容器1の上端入口には、開閉バルブ5が設けられ、該開閉バルブ5に排出管4が結合し、開閉バルブ5の動作により格納容器1内部の流体を外部に排出する。
開閉バルブ5の上部には、開閉バルブつまみ6が設けられ、該開閉バルブつまみ6を回転させて開閉バルブ5を開閉する。好ましくは、開閉バルブつまみ6の周縁部は、凹凸状でなる。
An opening / closing valve 5 is provided at the upper end inlet of the storage container 1. A discharge pipe 4 is coupled to the opening / closing valve 5, and the fluid inside the storage container 1 is discharged to the outside by the operation of the opening / closing valve 5.
An open / close valve knob 6 is provided above the open / close valve 5, and the open / close valve knob 6 is rotated to open / close the open / close valve 5. Preferably, the peripheral edge portion of the opening / closing valve knob 6 is uneven.
格納容器1に格納される流体は、液体または気体であり、本発明によると、格納容器1に液体が格納される場合は、格納容器1に残存する液体の量を測定する重さ感知センサー(図示せず)が格納容器1の下端に設けられ、格納容器1に気体が格納される場合は、気体の圧力を感知するための圧力感知センサー(図示せず)が排出管4に設けられる。 The fluid stored in the storage container 1 is a liquid or a gas. According to the present invention, when a liquid is stored in the storage container 1, a weight detection sensor that measures the amount of liquid remaining in the storage container 1 ( (Not shown) is provided at the lower end of the storage container 1, and when gas is stored in the storage container 1, a pressure sensor (not shown) for detecting the pressure of the gas is provided in the discharge pipe 4.
図2は、本発明の一実施形態の流量制御装置の要部断面図である。
図1と図2を参照すると、流量制御装置100は、制御モジュールが装着された印刷回路基板を内蔵した固定支持物80と、固定支持物80に固定され、回転力を発生させる回転アクチュエータ60と、回転アクチュエータ60の回転軸61の回転数を変化させるギアボックス40と、回転アクチュエータ60上部に設けられ、回転アクチュエータ60の回転軸61の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニット70と、ギアボックス40のギア41に結合して回転するバルブ開閉アーム10と、ギアボックス40の下部に設けられ、バルブ開閉アーム10のメイン軸11と軸結合して回転し、メイン軸11の回転角を示す回転角表示ユニット90とからなる。
FIG. 2 is a cross-sectional view of a main part of the flow control device according to the embodiment of the present invention.
Referring to FIGS. 1 and 2, the
上記の実施形態において、回転アクチュエータ60は、流体により回転される流圧式アクチュエータの他、ステップモータにより動作する電気式アクチュエータを適用でき、このようなことは当業界における通常の技術者であれば、設計変更可能である。
In the above embodiment, the
ギアボックス40のフレーム42には、回転アクチュエータ60の回転軸61に軸結合した駆動ギア43と、該駆動ギア43にギア結合する被動ギア41が水平に配置される。よって、回転アクチュエータ60の回転軸61が回転することにより駆動ギア43及びこれにギア結合した被動ギア41が回転する。この時、被動ギア41の回転数は、結合したギア比により決定される。
On the
被動ギア41の中心には、バルブ開閉アーム10のメイン軸11が軸結合し、被動ギア41の回転と共に回転する。
また、好ましくは、ギアボックス40の下部において、バルブ開閉アーム10のメイン軸11に軸結合して回転する回転角表示ユニット90は、円筒形であり、その外周面に回転角を示す複数の目盛りと、回転角表示ユニット90の外周面から離隔されるように、ギアボックス40の下部に設けられ、前記複数の目盛りの何れかと一致され、回転角表示ユニット90の回転角度を確認できる表示針がある。
The
Preferably, the rotation
バルブ開閉アーム10は、上記のメイン軸11と、メイン軸11に対して流動するようにジョイント結合した連結軸12と、連結軸12に対してジョイント結合した締結ヘッド14とからなる。
The valve opening /
締結ヘッド14は、連結軸12に流動可能にジョイント結合する連結軸13と、該連結軸13が突出される円盤上のヘッド板15と、ヘッド板15の裏面周縁部に沿って90°間隔で下向突出された柱状の支持ポスト16と、裏面周縁部より内側にヘッド板15に分離可能に結合するU字状のクランプ17とからなる。
The fastening
本実施形態では、クランプ17がヘッド板15に形成された貫通穴にナット結合にて結合することを示しているが、これに限定されない。また、図1には、一対のクランプ17が設けられることを例と挙げているが、開閉バルブつまみ6の周縁部に形成された凹凸の個数に応じて異なるのは勿論である。
In the present embodiment, it is shown that the
締結ヘッド14を開閉バルブつまみ6に締結するためには、開閉バルブつまみ6の周縁部に形成された凹凸の凹部に支持ポスト16が位置するように締結ヘッド14を下降した後、U字状のクランプ17を下部からヘッド板15に挿入し、蝶ナット18を用いて結合する。これにより、開閉バルブつまみ6の周縁部に形成された凹凸の互いに隣接する凸部をクランプ17がクランピングし、この凸部間の凹部は、支持ポスト16が接触して支持することになる。よって、締結ヘッド14が回転することになると、クランプ17と支持ポスト16により開閉バルブつまみ16の周縁部を確実にクランピングした状態で、開閉バルブつまみ6を回転させる。
In order to fasten the
好ましくは、連結軸12には、上下流動可能に円盤19が設けられ、円盤19には、リング20が設けられ、締結ヘッド14が開閉バルブつまみ6と分離された状態でリング20は、回転角表示ユニット90に設けられたフック91にかけることができる。リング20をフック91にかけると、締結ヘッド14が締結位置より押し上げられ、格納容器1の流体が全て消耗された場合、このように押し上げられた状態で、格納容器1の交替作業が便利に行われる。
Preferably, the connecting
また、本発明によると、回転角検出ユニット70は、回転アクチュエータ60の回転軸61を中心として既設定された角度ほどずらして配置された扇形の複数の板状接触部材71と、各々の接触部材71に接触される時、信号を制御モジュールに転送する複数のリミットスイッチ72とからなる。よって、回転アクチュエータ60の回転軸61が回転する時、既設定された角度で複数の接触部材71の何れかの接触部材71とリミットスイッチ72が接触され、接触されたリミットスイッチにより信号が発生して制御モジュールに転送され、制御モジュールにてこの信号を解釈し、回転軸61の回転角度を検出する。
In addition, according to the present invention, the rotation
図3は、本発明の制御モジュールを示すブロック図である。
制御モジュールは、コントローラ92と、アクチュエータ駆動部94からなり、コントローラ92は、重さ感知センサー93、圧力感知センサー95からそれぞれ感知信号を受信し、回転角検出ユニット70のリミットスイッチ72から回転角による信号を受信する。
FIG. 3 is a block diagram showing the control module of the present invention.
The control module includes a
以下、本発明のコントローラの動作を図2と図3を参照して説明する。
上記のように、格納容器1に残存する流体の量は、格納された流体が気体である場合は、圧力センサー95により感知され、流体が液体である場合は、重さ感知センサー93により感知される。
Hereinafter, the operation of the controller of the present invention will be described with reference to FIGS.
As described above, the amount of the fluid remaining in the storage container 1 is detected by the
コントローラ92は、圧力感知センサー95または重さ感知センサー93から転送される感知信号を受信し、これに対応して回転アクチュエータ60の回転軸61が回転すべき基準回転角を算出する。
次に、回転角検出ユニット70のリミットスイッチ72から転送される信号に応じて実際回転軸61が回転された角度を検出する。
The
Next, the angle at which the
次に、コントローラ92は、回転軸61が回転すべき基準回転角と実際回転角61が回転された回転角の差を算出し、この誤差を補正するようにアクチュエータ駆動部94に駆動信号を転送する。
アクチュエータ駆動部94は、入力される駆動信号に応じて回転アクチュエータ60の作動流体の流れを制御し、回転軸61が基準回転角に達するようにする。
Next, the
The
1………格納容器、2………格納容器締結装置、3………支持物、4………排出管、5………開閉バルブ、6………開閉バルブつまみ、10………バルブ開閉アーム、11………メイン軸、12………連結軸、13………連結軸、14………締結ヘッド、15………ヘッド板、16………支持ポスト、17………クランプ、18………蝶ナット、19………円盤、20………リング、40………ギアボックス、41………被動ギア、42………フレーム、43………駆動ギア、60………回転アクチュエータ、61………回転軸、70………回転角検出ユニット、71………接触部材、72………リミットスイッチ、80………固定支持物、90………回転角表示ユニット、91………フック、92………コントローラ、93………重さ感知センサー、94………アクチュエータ駆動部、95………圧力感知センサー、100………流量制御装置。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ......... Containment container, 2 ......... Containment container fastening device, 3 ......... Support, 4 ......... Drain pipe, 5 ...... Open / close valve, 6 ......... Open / close valve knob, 10 ......... Valve Opening / closing arm, 11 ......... main shaft, 12 ......... connection shaft, 13 ......... connection shaft, 14 ......... fastening head, 15 ......... head plate, 16 ...... support post, 17 ......... clamp , 18 ......... Wing nut, 19 ......... Disk, 20 ......... Ring, 40 ......... Gearbox, 41 ......... Driving gear, 42 ......... Frame, 43 ......... Driving gear, 60 ... ... Rotary actuator, 61 ......... Rotating shaft, 70 ......... Rotation angle detection unit, 71 ......... Contact member, 72 ......... Limit switch, 80 ......... Fixed support, 90 ......... Rotation
Claims (10)
回転アクチュエータと、
前記回転アクチュエータの回転軸の回転角に応じた信号を発生する回転角検出ユニットと、
前記回転アクチュエータの回転軸に軸結合して回転し、前記流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アームと、
前記流体格納容器に残存する流体の量による感知信号を受信して基準回転角を算出し、前記回転角検出ユニットの信号を入力して実際回転角を検出し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように前記回転アクチュエータを駆動させる制御ユニットと、を含むことを特徴とする流量制御装置。 A flow rate control device for controlling a flow rate discharged from a fluid containment vessel provided with an on-off valve,
A rotary actuator;
A rotation angle detection unit that generates a signal according to the rotation angle of the rotation shaft of the rotary actuator;
A valve opening / closing arm that is coupled to a rotation shaft of the rotary actuator and rotates, and is detachably coupled to an opening / closing valve knob of the opening / closing valve of the fluid storage container;
A sensing signal based on the amount of fluid remaining in the fluid storage container is received to calculate a reference rotation angle, a signal of the rotation angle detection unit is input to detect an actual rotation angle, and the reference rotation angle and the actual rotation angle are detected. And a control unit for driving the rotary actuator so as to correct the error.
回転アクチュエータと、
前記回転アクチュエータの回転軸の回転角による信号を発生する回転角検出ユニットと、
前記回転アクチュエータの回転軸に軸結合する駆動ギアと、該駆動ギアにギア結合する被動ギアを備えたギアボックスと、
前記被動ギアの中心に軸結合して回転し、前記流体格納容器の開閉バルブの開閉バルブつまみと分離可能に結合するバルブ開閉アームと、
前記流体格納容器に残存する流体の量による感知信号を受信して基準回転角を算出し、前記回転角検出ユニットの信号を入力して実際回転角を検出し、前記基準回転角と実際回転角の誤差を補正するように前記回転アクチュエータを駆動させる制御ユニットと、を含むことを特徴とする流量制御装置。 A flow rate control device for controlling a flow rate discharged from a fluid containment vessel provided with an on-off valve,
A rotary actuator;
A rotation angle detection unit for generating a signal based on the rotation angle of the rotation shaft of the rotary actuator;
A drive gear that is axially coupled to the rotation shaft of the rotary actuator, and a gear box that includes a driven gear that is gear-coupled to the drive gear;
A valve opening / closing arm that is coupled to the center of the driven gear, rotates, and is detachably coupled to an opening / closing valve knob of the opening / closing valve of the fluid storage container;
A sensing signal based on the amount of fluid remaining in the fluid storage container is received to calculate a reference rotation angle, a signal of the rotation angle detection unit is input to detect an actual rotation angle, and the reference rotation angle and the actual rotation angle are detected. And a control unit for driving the rotary actuator so as to correct the error.
前記回転軸に軸結合するメイン軸と、
前記メイン軸にジョイント結合する連結軸と、
前記連結軸にジョイント結合する締結ヘッドと、を含むことを特徴とする請求項1に記載の流量制御装置 。 The valve opening / closing arm is
A main shaft that is axially coupled to the rotating shaft;
A connecting shaft jointly coupled to the main shaft;
The flow control device according to claim 1, further comprising a fastening head that is jointly connected to the connection shaft.
前記被動ギアの中心に軸結合するメイン軸と、
前記メイン軸にジョイント結合する連結軸と、
前記連結軸にジョイント結合する締結ヘッドと、を含むことを特徴とする請求項2に記載の流量制御装置。 The valve opening / closing arm is
A main shaft that is axially coupled to the center of the driven gear;
A connecting shaft jointly coupled to the main shaft;
The flow control device according to claim 2, further comprising a fastening head that is jointly connected to the connection shaft.
前記連結軸にジョイント結合するヘッド連結軸と、
前記ヘッド連結軸が一体に突出される円盤状のヘッド板と、
前記ヘッド板の周縁部に沿って一定間隔で下降突出される支持ポストと、
前記周縁部内側に、前記支持ポスト間において、前記ヘッド板に下部から分離可能に結合するU状のクランプと、を含むことを特徴とする請求項3または4に記載の流量制御装置。 The fastening head is
A head coupling shaft that is jointly coupled to the coupling shaft;
A disk-shaped head plate from which the head connecting shaft projects integrally;
A support post protruding downward at regular intervals along the peripheral edge of the head plate;
5. The flow rate control device according to claim 3, further comprising a U-shaped clamp that is detachably coupled to the head plate from a lower portion between the support posts inside the peripheral edge portion. 6.
前記感知信号は、前記重さ感知センサーから転送されることを特徴とする請求項1または2に記載の流量制御装置。 A weight sensing sensor for sensing the weight of the containment vessel according to the amount of fluid remaining in the fluid containment vessel;
The flow rate control device according to claim 1, wherein the sensing signal is transferred from the weight sensing sensor.
前記感知信号は、前記圧力感知センサーから転送されることを特徴とする請求項1または2に記載の流量制御装置。 A pressure sensing sensor for sensing the pressure of the fluid according to the amount of fluid remaining in the fluid containment vessel;
The flow rate control device according to claim 1, wherein the sensing signal is transferred from the pressure sensing sensor.
前記回転アクチュエータの回転軸を中心に既設定された角度ほどずらして配置された扇形の複数の板状接触部材と、
前記接触部材の各々に接触する時、回転角による信号を前記制御ユニットに転送する複数のリミットスイッチと、を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の流量制御装置。 The rotation angle detection unit is provided on the rotation actuator,
A plurality of fan-shaped plate-like contact members arranged so as to be shifted by a preset angle around the rotation axis of the rotary actuator;
The flow control device according to claim 1, further comprising: a plurality of limit switches that transfer a signal based on a rotation angle to the control unit when contacting each of the contact members.
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