JP4562034B2 - Photovoltaic panel manufacturing method - Google Patents
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Description
本発明は、多数の粒状の光発電素子を千鳥状又はマトリックス状に配列して透明樹脂でパネル状に成形する光発電パネルの製造方法に関する発明である。 The present invention relates to a photovoltaic panel manufacturing method in which a large number of granular photovoltaic elements are arranged in a staggered pattern or a matrix pattern and are molded into a panel shape with a transparent resin.
近年、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する光発電パネルの発電効率を高めるために、例えば、特許文献1(特公平7−54855号公報)、特許文献2(特開2002−164554号公報)に示すように、光発電素子を粒状(若しくは球状)に形成するようにしたものがある。粒状の光発電素子は、様々な方向から入射する太陽光に対してその光入射方向から見た素子投影面積(受光量)がほぼ一定となるため、太陽高度が低くても効率良く発電できる利点がある。 In recent years, for example, Patent Document 1 (Japanese Patent Publication No. 7-54855) and Patent Document 2 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-164554) have been proposed in order to increase the power generation efficiency of photovoltaic panels that convert solar energy into electrical energy. As shown, there is one in which the photovoltaic element is formed in a granular shape (or spherical shape). Granular photovoltaic elements have the advantage that the element projected area (light receiving amount) seen from the light incident direction is almost constant with respect to sunlight incident from various directions, so that it is possible to generate power efficiently even when the solar altitude is low. There is.
これらの特許文献1,2の技術では、表面電極を兼ねたベースプレートに形成された多数の円形孔にそれぞれ粒状シリコンを嵌め込み、ベースプレートの下面側に突出した粒状シリコン露出部に、絶縁層を介して電極を形成するようにしている。 In the techniques of these Patent Documents 1 and 2, granular silicon is fitted into a large number of circular holes formed in the base plate that also serves as a surface electrode, and the granular silicon exposed portion protruding on the lower surface side of the base plate is interposed via an insulating layer. An electrode is formed.
しかし、上記特許文献1,2の技術では、ベースプレートの上面側に露出する粒状シリコン受光領域の面積と、下面側の電極形成領域の大きさ(高さ)は、ベースプレートに形成された円形孔の内径と粒状シリコンの外径との関係によって決定されるため、粒状シリコン受光領域の面積と電極形成領域の大きさ(高さ)を均一化するためには、粒状シリコンの外径寸法や形状・真球精度に対して高い均一性が要求される。このため、粒状シリコン製造工程の管理が複雑化して粒状シリコンの生産性が低下すると共に、粒状シリコンの歩留まりが悪くなってしまい、製造コストが高くなるという欠点がある。 However, in the techniques of Patent Documents 1 and 2, the area of the granular silicon light receiving region exposed on the upper surface side of the base plate and the size (height) of the electrode forming region on the lower surface side are the same as the circular holes formed in the base plate. Since it is determined by the relationship between the inner diameter and the outer diameter of the granular silicon, in order to make the area of the granular silicon light receiving area and the size (height) of the electrode forming area uniform, High uniformity is required for true spherical accuracy. For this reason, the management of the granular silicon manufacturing process is complicated, the productivity of the granular silicon is lowered, the yield of the granular silicon is deteriorated, and the manufacturing cost is increased.
また、電極と粒状光発電素子との接合部分には、オーミックコンタクトを形成する必要があり、そのために、光発電素子上に直接に電極材料を堆積するか、光発電素子上にコンタクト穴を有する絶縁膜を形成し、このコンタクト穴から露出する光発電素子の部分に電極材料を堆積する方法がある。 In addition, it is necessary to form an ohmic contact at the junction between the electrode and the granular photovoltaic device. For this purpose, electrode material is directly deposited on the photovoltaic device, or a contact hole is provided on the photovoltaic device. There is a method of forming an insulating film and depositing an electrode material on the portion of the photovoltaic element exposed from the contact hole.
例えば、特許文献3(特開2004−63564号公報)の電極形成方法は、球状第1半導体表面の第2半導体層を開口して第1半導体の一部を露出させ、第1半導体の露出部及び第2半導体の外周部にそれぞれ内部電極を形成する方法において、底部に接続孔を設けた複数の凹部を有する電気絶縁層及び接続孔としてその周辺部を残して凹部内に形成された第2導電体層からなる支持体を用意し、次いで第2導電体層開口部と第1半導体露出部接続孔周辺部に接するように球状光発電素子を凹部内に配置し、接合部を溶着した後、各部電極を対応する導電体層に半田付けなどで接続するようにしている。 For example, in the electrode forming method disclosed in Patent Document 3 (Japanese Patent Laid-Open No. 2004-63564), the second semiconductor layer on the spherical first semiconductor surface is opened to expose a part of the first semiconductor, and the exposed portion of the first semiconductor. And a method of forming internal electrodes on the outer periphery of the second semiconductor, respectively, and an electrical insulating layer having a plurality of recesses provided with connection holes at the bottom, and a second formed in the recesses as the connection holes, leaving the periphery. After preparing a support made of a conductor layer, and then placing the spherical photovoltaic device in the recess so as to contact the periphery of the second conductor layer opening and the first semiconductor exposed portion connection hole, and welding the joint Each electrode is connected to a corresponding conductor layer by soldering or the like.
また、特許文献4(特開2004−95826号公報)の電極形成方法は、球状光発電素子の表面に、インクジェット方式により導電性インクを塗布し、これを熱処理することにより少なくとも1つの電極を形成する。この方式により、球状の第1導電体の露出面に第1電極を形成し、第2導電型半導体層の外周面の一部に第2電極を形成するようにしている。 In addition, in the electrode forming method disclosed in Patent Document 4 (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-95826), at least one electrode is formed by applying conductive ink to the surface of the spherical photovoltaic device by an ink jet method and heat-treating it. To do. With this method, the first electrode is formed on the exposed surface of the spherical first conductor, and the second electrode is formed on a part of the outer peripheral surface of the second conductivity type semiconductor layer.
また、特許文献5(特開2004−140217号公報)の電極形成方法は、光発電素子の表面の第2半導体層の開口部内の第1半導体に第1電極を形成し、第2半導体層の外周部に第2電極を形成し、これを電気絶縁層及び第2導電層からなる支持体の凹部の所定位置に配置し、第1の半田により第1電極と第1導電層とを半田付けし、次いで、第1の電極の半田の固相線温度よりも低い液相線温度を有する半田により第2電極を第2導電層に接繚するようにしている。 Moreover, the electrode formation method of patent document 5 (Unexamined-Japanese-Patent No. 2004-140217) forms a 1st electrode in the 1st semiconductor in the opening part of the 2nd semiconductor layer on the surface of a photovoltaic device, A second electrode is formed on the outer periphery, and the second electrode is disposed at a predetermined position of the concave portion of the support made of the electrical insulating layer and the second conductive layer, and the first electrode and the first conductive layer are soldered by the first solder. Then, the second electrode is brought into contact with the second conductive layer with solder having a liquidus temperature lower than the solidus temperature of the solder of the first electrode.
これら特許文献3,4,5の技術では、球状光発電素子上にオーミックな電極を形成するには、球状シリコンの外径寸法や形状、真球精度に対して高い均一性が要求されるとともに、ベースプレートと粒状シリコンとの間に、高い真球精度が要求されることになり、量産性が低く製造コストが高くなるという欠点がある。
In the technologies of these
また、特許文献6(特開2003−282480号公報)には、半導体の電極形成部に電極材製のディスクまたはブラシを擦り付けることにより電極材を塗布し、擦り付けに伴う摩擦熱によりシンタリングを行う方法が開示されているが、電極部周辺にある封止材に働く摩擦熱や物理的な力が働き、光発電素子を保持する樹脂層に損傷を与える可能性がある。
本発明は上述した課題を解決しようとしてなされたものであり、従って、本発明の目的は、光発電パネルの要求品質レベルを満たしつつ、光発電素子(粒状シリコン)の外径寸法や形状・真球精度に対する許容範囲を広げることができて、光発電素子の生産性向上、歩留まり向上を製品品質を落とさずに実現できる光発電パネルの製造方法を提供することにある。また、本発明の他の目的は、光発電素子を保持する樹脂層に損傷を与えることなく、電極と前記光発電素子との接合部分にオーミックな接触抵抗部を容易に形成することができる光発電パネルの製造方法を提供することにある。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems. Therefore, the object of the present invention is to satisfy the required quality level of the photovoltaic panel, while maintaining the outer diameter size, shape and trueness of the photovoltaic element (granular silicon). It is an object of the present invention to provide a photovoltaic panel manufacturing method that can widen an allowable range for the sphere accuracy and can realize improvement in productivity and yield of photovoltaic elements without deteriorating product quality. Another object of the present invention is to provide an optical device capable of easily forming an ohmic contact resistance portion at the junction between the electrode and the photovoltaic device without damaging the resin layer holding the photovoltaic device. It is providing the manufacturing method of an electric power generation panel.
上記目的を達成するために、請求項1に係る発明は、多数の粒状の光発電素子を配列して透明樹脂でパネル状に成形し、且つ、各光発電素子の一部を樹脂部から突出させた光発電パネルを製造する方法において、成形キャビティに前記多数の光発電素子が1個ずつ収容される多数の椀状凹部が形成され、且つ各椀状凹部の底部に前記各光発電素子の一部が下向きに突出する円形の貫通孔が形成された成形型と、少なくとも前記貫通孔に対向する部分に逃げ凹部が形成された受け台とを用い、
前記受け台の逃げ凹部に可塑性シール材を充填する工程と、
前記受け台上に前記成形型をセットする工程と、
前記成形型の各椀状凹部に前記光発電素子を1個ずつ収容する工程と、
前記成形型の各椀状凹部内に収容された前記各光発電素子を上方から押さえ付けて前記各光発電素子の下部を各椀状凹部の貫通孔に嵌まり込ませて前記可塑性シール材の内部にほぼ一定量だけ押し込む素子押し込み工程と、
前記成形型の成形キャビティ内に前記透明樹脂の樹脂液を注入する工程と、
前記成形型の成形キャビティ内の前記樹脂液を硬化させて前記多数の光発電素子を透明樹脂でパネル状に一体化した光発電パネルを成形する工程と、
前記成形型の成形キャビティから前記光発電パネルを取り出す工程と
を含むことを特徴とする光発電パネルの製造方法である。
In order to achieve the above object, according to the first aspect of the present invention, a large number of granular photovoltaic elements are arranged and formed into a panel shape with a transparent resin, and a part of each photovoltaic element protrudes from the resin portion. In the method for manufacturing a photovoltaic panel, a plurality of bowl-shaped recesses for receiving the plurality of photovoltaic elements one by one are formed in a molding cavity, and the bottom of each bowl-shaped depression is formed on each photovoltaic element. Using a molding die in which a circular through hole partially protruding downward is formed, and a cradle in which a relief recess is formed at least in a portion facing the through hole,
Filling the relief recess of the cradle with a plastic sealing material;
Setting the mold on the cradle;
Storing one photovoltaic element in each bowl-shaped recess of the mold;
By pressing the photovoltaic elements housed in the bowl-shaped recesses of the mold from above, the lower portions of the photovoltaic elements are fitted into the through holes of the bowl-shaped recesses, and the plastic sealing material An element pushing process for pushing a substantially constant amount inside,
Injecting a resin liquid of the transparent resin into a molding cavity of the mold;
Curing the resin liquid in the molding cavity of the mold and molding a photovoltaic panel in which the photovoltaic elements are integrated into a panel with a transparent resin;
Removing the photovoltaic panel from the molding cavity of the molding die.
要するに、本発明では、受け台の逃げ凹部に可塑性シール材を充填して、この受け台上に成形型をセットし、この成形型の各椀状凹部内に収容した各光発電素子を上方から押さえ付けて各光発電素子の下部を各椀状凹部の貫通孔に嵌まり込ませて受け台の逃げ凹部内の可塑性シール材の内部にほぼ一定量だけ押し込んだ後、成形型の成形キャビティ内に透明樹脂の樹脂液を注入して硬化させることで、多数の光発電素子を透明樹脂でパネル状に一体化した光発電パネルを成形するものである。このようにすれば、光発電パネルの製造に用いる光発電素子の外径寸法や形状・真球精度に多少のばらつきがあっても、光発電パネルの樹脂部からの素子突出量を均一化することができると共に、光発電素子の外径寸法や形状・真球精度のばらつきによって生じる各椀状凹部の貫通孔と光発電素子との隙間を可塑性シール材でシールすることができて、その隙間からの樹脂漏れを防止することができる(この際、樹脂の粘度を調整して樹脂漏れをより確実に防止するようにしても良い)。これにより、光発電パネルの要求品質レベルを満たしつつ、光発電素子(粒状シリコン)の外径寸法や形状・真球精度に対する許容範囲を広げることができて、光発電素子の生産性向上、歩留まり向上を製品品質を落とさずに実現することができる。 In short, in the present invention, a plastic sealing material is filled in the relief recess of the cradle, a molding die is set on the cradle, and each photovoltaic element housed in each bowl-shaped recess of the molding die is viewed from above. Press down and fit the lower part of each photovoltaic device into the through hole of each bowl-shaped recess and push it into the plastic seal material in the relief recess of the cradle by an almost constant amount, then inside the molding cavity of the mold A photovoltaic panel in which a number of photovoltaic elements are integrated into a panel shape with a transparent resin is formed by injecting a resin solution of a transparent resin into the resin. In this way, even if there is some variation in the outer diameter size, shape, and true sphere accuracy of the photovoltaic elements used in the production of the photovoltaic panel, the amount of element protrusion from the resin portion of the photovoltaic panel is made uniform. The gap between the through hole of each bowl-shaped recess and the photovoltaic element caused by variations in the outer diameter size, shape, and true spherical accuracy of the photovoltaic element can be sealed with a plastic sealing material. Can be prevented (in this case, the viscosity of the resin may be adjusted to prevent the resin leakage more reliably). As a result, the allowable range for the outer diameter size, shape and true spherical accuracy of photovoltaic elements (granular silicon) can be expanded while meeting the required quality level of photovoltaic panels, improving the productivity of photovoltaic elements and yield. Improvements can be realized without compromising product quality.
この場合、請求項2のように、素子押し込み工程において、各光発電素子の下端を受け台の逃げ凹部の底面に当接又はほぼ当接させるように押し込むことで、各光発電素子の下部を可塑性シール材の内部にほぼ一定量だけ押し込むようにすると良い。このようにすれば、極めて簡単な作業で樹脂部からの素子突出量を均一化することができ、生産性を更に高めることができる。但し、本発明は、可塑性シール材の粘度を調整することで、光発電素子の下部を可塑性シール材の内部にほぼ一定量だけ押し込むようにしても良い。 In this case, as in claim 2, in the element pushing step, the lower end of each photovoltaic element is pushed by pushing the lower end of each photovoltaic element so as to contact or substantially contact the bottom surface of the relief recess of the receiving base. It is preferable to push the plastic seal material into the plastic seal material by a substantially constant amount. In this way, the amount of element protrusion from the resin portion can be made uniform by an extremely simple operation, and productivity can be further increased. However, in the present invention, the lower part of the photovoltaic device may be pushed into the plastic sealing material by a substantially constant amount by adjusting the viscosity of the plastic sealing material.
更に、請求項3のように、各光発電素子の下端が受け台の逃げ凹部の底面に当接又はほぼ当接した状態において各光発電素子の外周面が各貫通孔の内周縁に当接又はほぼ当接した状態になるように各貫通孔の孔径を設定するようにすると良い。このようにすれば、素子押し込み工程で、各椀状凹部の貫通孔と光発電素子との隙間を小さくすることができて、その隙間から可塑性シール材の一部が椀状凹部内に押し込まれることを防止できて、光発電素子と樹脂部との境界を滑らかに形成することができる。これにより、光発電パネルの裏面側に、光反射面を兼ねる電極を形成する工程で、光発電素子と樹脂部との境界周辺の電極(光反射面)を滑らかに形成することができ、光発電素子への反射光の受光量を増加させることができて、光発電効率を高めることができる。 Further, as in claim 3, the outer peripheral surface of each photovoltaic device is in contact with the inner peripheral edge of each through-hole in a state where the lower end of each photovoltaic device is in contact with or substantially in contact with the bottom surface of the recess of the cradle. Or it is good to set the hole diameter of each through-hole so that it may be in the substantially contact | abutted state. In this way, in the element pushing step, the gap between the through hole of each bowl-shaped recess and the photovoltaic element can be reduced, and a part of the plastic seal material is pushed into the bowl-shaped recess from the gap. This can be prevented, and the boundary between the photovoltaic device and the resin portion can be formed smoothly. Thereby, the electrode (light reflecting surface) around the boundary between the photovoltaic element and the resin portion can be smoothly formed in the step of forming the electrode that also serves as the light reflecting surface on the back surface side of the photovoltaic panel. The amount of reflected light received by the power generation element can be increased, and the photovoltaic power generation efficiency can be increased.
また、請求項4のように、光発電パネルの各光発電素子のうちの樹脂部から突出する部分に電極を形成するようにすると良い。本発明では、樹脂部からの素子突出量が均一化されるため、この突出部分に形成する電極の大きさや高さ位置を均一化することができる。
Further, as in
また、他の目的を達成するために、請求項5に係る発明は、多数の粒状の光発電素子を配列して透明樹脂でパネル状に成形し、且つ各光発電素子の一部を樹脂部から露出させてその部分に電極を形成した光発電パネルを製造する方法において、前記光発電素子のうちの前記樹脂部から露出する部分に前記電極を形成した後、レーザー光を前記電極に照射してシンタリングすることで、前記電極と前記光発電素子との接合部分にオーミックな接触抵抗部を形成するようにしたものである。このようにすれば、光発電パネルの製造に用いる光発電素子の外径寸法や形状・真球精度に多少のばらつきがあっても、レーザー光によるシンタリングによって、電極と光発電素子との接合部分にオーミックな接触抵抗部を容易に形成することができる。 In order to achieve another object, the invention according to claim 5 is arranged in such a manner that a large number of granular photovoltaic elements are arranged and formed into a panel shape with a transparent resin, and a part of each photovoltaic element is a resin portion. In the method of manufacturing a photovoltaic panel in which an electrode is formed on the exposed portion, the electrode is formed on a portion of the photovoltaic element exposed from the resin portion, and then the laser beam is applied to the electrode. Thus, an ohmic contact resistance portion is formed at the junction between the electrode and the photovoltaic element. In this way, even if there is some variation in the outer diameter size, shape, and true sphere accuracy of the photovoltaic elements used in the production of photovoltaic panels, the electrodes and photovoltaic elements are joined by laser beam sintering. An ohmic contact resistance portion can be easily formed in the portion.
以下、本発明を実施するための最良の形態を具体化した3つの実施例1〜3を説明する。 Hereinafter, three Examples 1 to 3 embodying the best mode for carrying out the present invention will be described.
本発明の実施例1を図1乃至図15に基づいて説明する。まず、図15に基づいて本実施例の製造方法で製造した光発電パネル10の構造を説明する。
A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. First, the structure of the
光発電パネル10は、多数の粒状の光発電素子11を千鳥状又はマトリックス状に配列して透明樹脂12(樹脂部)で一体化したものである。この透明樹脂12としては、例えば、光透過性の紫外線硬化性樹脂を用いると良い。
The
各光発電素子11は、外周部にn型半導体層が薄く形成され、その内周側がp型半導体層となっている。この光発電素子11の製造方法は、特に限定されず、例えば、国際公開WO99/10935号公報に示すように、加熱融解されたシリコン液滴を自由落下させて、そのシリコン液滴を表面張力で球状の形状に変形させて凝固させる自由落下法や、特開2002−60943号公報に示すように、プラズマCVD装置内で、芯材の表面全体にSiを堆積させて球状の光発電素子を製造するプラズマCVD法を用いても良いし、それ以外の製造方法を用いても良い。
Each
光発電パネル10の裏面側(図15において上面側)には、各光発電素子11の外周部のn型半導体層に導通するn電極13が透明樹脂12の裏側を覆うように形成されている。このn電極13は、2層の絶縁性樹脂層14,15によって完全に覆われている。下層の絶縁性樹脂層14は、後述するエッチング時に保護層(マスク)として機能し、上層の絶縁性樹脂層15は、n電極13とp電極16とを絶縁する絶縁層として機能する。
On the back surface side (upper surface side in FIG. 15) of the
各光発電素子11の後端部には、研磨等によってn型半導体層が部分的に取り除かれてp型半導体層が露出する部分が形成され、このp型半導体層にp電極16が導通するように形成されている。このp電極16は、絶縁性樹脂等で形成された耐候性の保護絶縁層17によって完全に覆われ、保護・絶縁されている。
A portion where the n-type semiconductor layer is partially removed by polishing or the like to expose the p-type semiconductor layer is formed at the rear end portion of each
以上のように構成した光発電パネル10の製造方法を説明する。前述したように、粒状の光発電素子11の製造方法は、特に限定されず、どの様な方法で粒状の光発電素子11を製造しても良く、1つのメーカーで光発電素子11の製造から光発電パネル10の製造までを一貫して行っても良いし、他のメーカーで製造した光発電素子11を購入して光発電パネル10を製造するようにしても良い。以下、何等かの方法で製造された粒状の光発電素子11を用いて光発電パネル10を製造する各工程を図1乃至図15に基づいて順番に説明する。
A method for manufacturing the
[1]可塑性シール材充填工程
まず、図1に示すように、上面側に浅底の逃げ凹部21が形成された受け台22を使用し、この受け台22の逃げ凹部21内に可塑性シール材23を充填する。この可塑性シール材23は、塑性変形可能で、透明樹脂12(紫外線硬化性樹脂)の樹脂液が浸透しないシール性を有し、且つ透明樹脂12が接着しない材料が用いられる。具体的には、可塑性シール材23として、油粘土、糊、タイル目地用のウレタン系シーリング材、型抜き用の熱硬化性の液状シリコンゴム等を用いれば良い。
[1] Plastic Seal Material Filling Step First, as shown in FIG. 1, a
受け台22の逃げ凹部21の深さ寸法は、光発電パネル10の透明樹脂12からの光発電素子11の突出量(素子突出量)とほぼ同一の深さ寸法又はこれよりも若干大きい深さ寸法に設定されている。
The depth dimension of the
[2]成形型セット工程
可塑性シール材充填工程終了後に、成形型セット工程に進み、図2に示すように、受け台22上に成形型24をセットする。この成形型24の成形キャビティ25には、多数の光発電素子11が1個ずつ収容される多数の椀状凹部26が形成され、且つ各椀状凹部26の底部に各光発電素子11の一部が下向きに突出する円形の貫通孔27が形成されている。尚、図2〜図6には、椀状凹部26が3個のみ図示されているが、実際には椀状凹部26が多数形成されている。
[2] Mold Die Setting Process After the plastic seal material filling process is completed, the process proceeds to the mold setting process, and the
[3]光発電素子収容工程
成形型セット工程終了後に、光発電素子収容工程に進み、図3に示すように、成形型24の各椀状凹部26に光発電素子11を1個ずつ収容する。尚、成形型24の各椀状凹部26に光発電素子11を収容した後、この成形型24を受け台22上にセットするようにしても良い。
[3] Photovoltaic element accommodation process After the molding die setting process is completed, the process proceeds to the photovoltaic element accommodation process, and as shown in FIG. 3, the
[4]素子押し込み工程
光発電素子収容工程終了後に、素子押し込み工程に進み、図4に示すように、成形型24の各椀状凹部26内に収容された各光発電素子11を治具(図示せず)で上方から押さえ付けて各光発電素子11の下部を各椀状凹部26の貫通孔27に嵌まり込ませて、受け台22の逃げ凹部21内の可塑性シール材23の内部にほぼ一定量だけ押し込む。この素子押し込み工程において、各光発電素子11の下端を受け台22の逃げ凹部21の底面に当接又はほぼ当接させるように押し込むことで、各光発電素子11の下部を可塑性シール材23の内部にほぼ一定量だけ押し込むようにすれば良い。
[4] Element Pushing Process After the photovoltaic element housing process is completed, the process proceeds to the element pushing process, and as shown in FIG. 4, each
この場合、各光発電素子11の下端が受け台22の逃げ凹部21の底面に当接又はほぼ当接した状態において各光発電素子11の外周面が各貫通孔27の内周縁に当接又はほぼ当接した状態になるように各貫通孔27の孔径が設定されている。
In this case, the outer peripheral surface of each
[5]樹脂液注入工程
素子押し込み工程終了後に、樹脂液注入工程に進み、図5に示すように、成形型24の成形キャビティ25内に透明樹脂12(紫外線硬化性樹脂)の樹脂液を注入して、全ての椀状凹部26を樹脂液中に完全に沈めた状態にする。この際、各椀状凹部26の貫通孔27と光発電素子11との隙間が可塑性シール材23でシールされ、その隙間からの樹脂漏れが防止される。
[5] Resin liquid injection process After the element pushing process is completed, the process proceeds to the resin liquid injection process, and the resin liquid of transparent resin 12 (ultraviolet curable resin) is injected into the
[6]樹脂硬化工程
樹脂液注入工程終了後に、樹脂硬化工程に進み、図6に示すように、成形型24の成形キャビティ25内の透明樹脂12(紫外線硬化性樹脂)の樹脂液に紫外線を照射して該樹脂液を硬化させることで、多数の光発電素子11を透明樹脂12でパネル状に一体化した光発電パネル10を成形する。
[6] Resin curing process After the resin liquid injection process is completed, the process proceeds to the resin curing process. As shown in FIG. 6, the resin liquid of the transparent resin 12 (ultraviolet curable resin) in the
[7]離型工程
樹脂硬化工程終了後に、離型工程に進み、図7に示すように、成形型24の成形キャビティ25から光発電パネル10を取り出す。
[7] Mold Release Process After the resin curing process is completed, the process proceeds to the mold release process, and the
[8]n電極形成工程
離型工程終了後に、n電極形成工程に進み、図8に示すように、光発電パネル10の裏面全体に、蒸着、めっき、塗布、CVD、スパッタリング等の導体成膜技術を用いてn電極13を形成する。n電極13を形成する導体は、Ag、Ag系導体等の電気抵抗値が小さく、且つ、光を反射しやすい導体(入射光の反射面としても機能させるため)を用いることが好ましい。このn電極13は、各光発電素子11の外周部のn型半導体層に導通し、且つ透明樹脂12の裏側を覆って入射光の反射面としても機能するようになっている。尚、n電極13の一部は、後述するサンドブラスト工程で光発電素子11の一部を露出させるように取り除かれるため、その部分にはn電極13を形成しない部分があっても良い。
[8] n-electrode formation process After the mold release process, the process proceeds to the n-electrode formation process. As shown in FIG. 8, conductor film formation such as vapor deposition, plating, coating, CVD, and sputtering is performed on the entire back surface of the
[9]保護層(下層の絶縁性樹脂層)形成工程
n電極形成工程終了後に、保護層形成工程に進み、図9に示すように、光発電パネル10の裏面のn電極13全面に、エポキシ系樹脂等の絶縁性樹脂を塗布して硬化させて保護層(下層の絶縁性樹脂層)14を形成し、n電極13全面を保護層14で覆った状態にする。この保護層14を形成する樹脂は、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気性硬化樹脂等のいずれを用いても良いが、絶縁性と耐エッチング性(エッチング時のマスクとして用いるため)を備えている必要がある。尚、保護層14の一部は、次のサンドブラスト工程で光発電素子11の一部を露出させるように取り除かれるため、その部分には保護層14を形成しない部分があっても良い。
[9] Protection Layer (Lower Insulating Resin Layer) Formation Process After the n electrode formation process is completed, the process proceeds to the protection layer formation process. As shown in FIG. An insulating resin such as a resin is applied and cured to form a protective layer (lower insulating resin layer) 14, and the entire surface of the
[10]サンドブラスト工程
保護層形成工程終了後に、サンドブラスト工程に進み、図10に示すように、サンドブラストにより、各光発電素子11の後端部の保護層14とn電極13を部分的に取り除いて、各光発電素子11の後端部のn型半導体層を露出させた状態にする。尚、サンドブラストに代えて、研磨、レーザ加工、放電加工等によって保護層14とn電極13を部分的に取り除くようにしても良い。
[10] Sandblasting process After the protective layer forming process is completed, the process proceeds to the sandblasting process. As shown in FIG. 10, the
[11]エッチング工程
サンドブラスト工程終了後に、エッチング工程に進み、保護層14をマスク(エッチングレジスト)として用いて、該保護層14から露出する光発電素子11の後端部のn型半導体層を化学エッチングして取り除き、その内側のp型半導体層を露出させた状態にする。尚、化学エッチングに代えて、ドライエッチングを用いても良い。
[11] Etching Process After the sandblasting process, the process proceeds to the etching process, and the
[12]絶縁層(上層の絶縁性樹脂層)形成工程
エッチング工程終了後に、絶縁層(上層の絶縁性樹脂層)形成工程に進み、図11に示すように、光発電パネル10の裏面全体に、エポキシ系樹脂等の絶縁性樹脂を塗布して硬化させて絶縁層(上層の絶縁性樹脂層)15を形成し、前記サンドブラスト工程で部分的に露出されたn電極13を完全に覆って絶縁した状態にする。この絶縁層15を形成する樹脂は、その下層の保護層14と同種、異種のいずれの絶縁性樹脂を用いても良く、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気性硬化樹脂等のいずれを用いても良い。尚、絶縁層15の一部は、次の研磨工程で光発電素子11の一部を露出させるように除かれるため、その部分には絶縁層15を形成しない部分があっても良い。
[12] Insulating layer (upper insulating resin layer) forming step After the etching step is completed, the process proceeds to the insulating layer (upper insulating resin layer) forming step, and as shown in FIG. Then, an insulating resin such as an epoxy resin is applied and cured to form an insulating layer (upper insulating resin layer) 15, and the
[13]研磨工程
絶縁層形成工程終了後に、研磨工程に進み、図12に示すように、光発電パネル10の裏面の絶縁層15を研磨装置で研磨して平坦化すると共に、光発電素子11の後端部のp型半導体層を絶縁層15から露出させると共に、該p型半導体層の露出面を平坦化する。尚、サンドブラストで研磨するようにしても良い。
[13] Polishing Step After the insulating layer forming step, the process proceeds to the polishing step. As shown in FIG. 12, the insulating
[14]p電極形成工程
研磨工程終了後に、p電極形成工程に進み、図13に示すように、光発電パネル10の裏面全体にp電極16を各光発電素子11のp型半導体層の露出面に密着させるように形成する。このp電極16を形成する導体は、前述したn電極13と同じ導体でも良いし、異なる導体を用いても良く、p電極16の形成方法も、n電極13と同じ方法でも異なる方法でも良く、例えば、アルミニウム等の導体の蒸着、印刷、スパッタを用いても良いし、或は、アルミニウム箔等の導体箔を光発電パネル10の裏面全体に貼り付けてp電極16を形成しても良い。
[14] p-electrode formation process After the polishing process, the process proceeds to the p-electrode formation process. As shown in FIG. 13, the p-
[15]レーザーシンタ工程
p電極形成工程終了後に、図14に示すように、レーザーシンタ工程に進み、p電極16と各光発電素子11の後端部のp型半導体層との接合部分の中央部付近に、レーザー光を所定パターンでスポット的に1回又は複数回照射して、その部分をスポット的に加熱し、オーミックな接触抵抗部を形成するためのp電極16の熱処理(シンタ)を行う。
[15] Laser Sintering Step After the p-electrode forming step is completed, as shown in FIG. 14, the laser sintering step proceeds to the center of the junction between the p-
このレーザーシンタ工程で使用するレーザーは、例えばYVO4 レーザー(LD励起個体レーザー)で、照射条件は、Qスイッチ周波数:20kHz、照射面積:直径0.3mm、照射密度:25μmとした。この条件では、透明樹脂12を損傷することなく、良好なオーミック接触抵抗部が形成された。尚、使用するレーザーは、YVO4 レーザー(LD励起個体レーザー)に限定されず、例えばYAGレーザー、CO2 レーザー等を用いても、同様の効果が得られる。また、上記の照射条件も一例に過ぎず、適宜変更しても良いことは言うまでもない。
The laser used in this laser sintering process is, for example, a YVO 4 laser (LD-excited solid laser), and the irradiation conditions were a Q switch frequency: 20 kHz, an irradiation area: a diameter of 0.3 mm, and an irradiation density: 25 μm. Under this condition, a good ohmic contact resistance portion was formed without damaging the
ところで、光発電パネル10における各光発電素子11の配列が正確な等ピッチ配列であれば、配列された各光発電素子11の中心位置(レーザー光の照射位置)が一義的に決められるため、レーザー光照射装置に対して光発電パネル10の各光発電素子11の位置を位置決めして、各光発電素子11の中心位置にスポット的にレーザー光を1回又は複数回照射する処理を光発電素子11の配列に従って順番に自動的に実行するようにすれば良い。
By the way, if the arrangement of the
しかし、本実施例1で使用する光発電素子11は、外径寸法や形状・真球精度に多少のばらつきがあるため、光発電パネル10における各光発電素子11の配列が、必ずしも等ピッチ配列とはならない。このような場合は、画像処理等の技術を使用して各光発電素子11の中心位置を1個ずつ探り出し、その点にレーザー光を1回又は複数回照射するようにすれば良い。このようにすれば、各光発電素子11の配列が不均一になっていても、各光発電素子11の中心位置にレーザー光を正確に照射することができる。
However, since the
[16]保護絶縁層形成工程
レーザーシンタ工程終了後に、保護絶縁層形成工程に進み、図15に示すように、光発電パネル10の裏面のp電極16全面に、絶縁性樹脂を塗布して硬化させて耐候性の保護絶縁層17を形成し、p電極16全面を保護絶縁層17で覆った状態にする。この保護絶縁層17を形成する樹脂は、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、嫌気性硬化樹脂等のいずれを用いても良い。以上説明した各工程[1]〜[16]を一通り実行すれば、光発電パネル10の製造が完了する。
[16] Protective insulating layer forming process After the laser sintering process, the process proceeds to the protective insulating layer forming process, and as shown in FIG. 15, an insulating resin is applied to the entire surface of the p-
以上説明した本実施例1の光発電パネル10の製造方法によれば、受け台22の逃げ凹部21に可塑性シール材23を充填して、この受け台22上に成形型24をセットし、成形型24の各椀状凹部26内に収容した各光発電素子11を上方から押さえ付けて各光発電素子11の下部を各椀状凹部26の貫通孔27に嵌まり込ませて受け台22の逃げ凹部21内の可塑性シール材23の内部にほぼ一定量だけ押し込んだ後、成形型24の成形キャビティ25内に透明樹脂12の樹脂液を注入して硬化させることで、多数の光発電素子11を透明樹脂12でパネル状に一体化した光発電パネル10を成形するようにしたので、光発電パネル10の製造に用いる光発電素子11の外径寸法や形状・真球精度に多少のばらつきがあっても、光発電パネル10の透明樹脂12部分からの素子突出量を均一化することができると共に、光発電素子11の外径寸法や形状・真球精度のばらつきによって生じる各椀状凹部26の貫通孔27と光発電素子11との隙間を可塑性シール材23でシールすることができて、その隙間からの樹脂漏れを防止することができる(この際、樹脂の粘度を調整して樹脂漏れをより確実に防止するようにしても良い)。これにより、光発電パネル10の要求品質レベルを満たしつつ、光発電素子11の外径寸法や形状・真球精度に対する許容範囲を広げることができて、光発電素子11の生産性向上、歩留まり向上を製品品質を落とさずに実現することができる。
According to the manufacturing method of the
しかも、本実施例1では、素子押し込み工程において、各光発電素子11の下端を受け台22の逃げ凹部21の底面に当接又はほぼ当接させるように押し込むようにしたので、極めて簡単な作業で光発電パネル10の透明樹脂12(樹脂部)からの素子突出量を均一化することができて、この突出部分に形成するn電極13の大きさや高さ位置を均一化することができる。本発明は、可塑性シール材の粘度を調整することで、光発電素子の下部を可塑性シール材の内部にほぼ一定量だけ押し込むようにしても良い。
Moreover, in the first embodiment, in the element pushing step, the lower end of each
更に、本実施例1では、各光発電素子11の下端が受け台22の逃げ凹部21の底面に当接又はほぼ当接した状態において各光発電素子11の外周面が各貫通孔27の内周縁に当接又はほぼ当接した状態になるように各貫通孔27の孔径を設定するようにしたので、素子押し込み工程で、各椀状凹部26の貫通孔27と光発電素子11との隙間を小さくすることができて、その隙間から可塑性シール材23の一部が椀状凹部26内に押し込まれることを防止できて、光発電素子11と透明樹脂12との境界を滑らかに形成することができる。これにより、光発電パネル10の裏面側に、光反射面を兼ねるn電極13を形成する工程で、光発電素子11と透明樹脂12との境界周辺のn電極13(光反射面)を滑らかに形成することができ、光発電素子11への反射光の受光量を増加させることができて、光発電効率を高めることができる利点がある。
Furthermore, in the first embodiment, the outer peripheral surface of each
また、本実施例1では、光発電素子11のうちの透明樹脂12から露出する部分にp電極16を形成した後、レーザー光をp電極16に照射してシンタリングすることで、p電極16と光発電素子11との接合部分にオーミックな接触抵抗部を形成するようにしたので、光発電パネル10の製造に用いる光発電素子11の外径寸法や形状・真球精度に多少のばらつきがあっても、レーザー光によるシンタリングによって、p電極16と光発電素子11との接合部分にオーミックな接触抵抗部を容易に形成することができる。
In Example 1, the p-
尚、本実施例1では、光発電素子11の外周側をn型半導体層、内周側をp型半導体層としたが、これとは反対に、外周側をp型半導体層、内周側をn型半導体層としても良い。この場合、n電極とp電極の位置も反対となり、レーザー光によるシンタリングによってn電極と光発電素子11との接合部分にオーミックな接触抵抗部を形成するようにすれば良い。
In Example 1, the outer peripheral side of the
また、レーザー光によるシンタリングによって電極と光発電素子11との接合部分にオーミックな接触抵抗部を形成する技術は、上記実施例1以外の製造方法で製造した光発電パネルについても適用して実施できる。
In addition, the technique of forming an ohmic contact resistance portion at the joint between the electrode and the
上記実施例1では、受け台22の逃げ凹部21に可塑性シール材23を充填するようにしたが、本発明に関連する参考例としての実施例2では、図16に示すように、可塑性シール材23が充填されていない受け台22上に成形型24をセットし、図17に示すように、この成形型24の各椀状凹部26に光発電素子11を1個ずつ収容して各光発電素子11の下部を各椀状凹部26の貫通孔27に嵌まり込ませて、各光発電素子11の下端を受け台22の逃げ凹部21の底面に当接又はほぼ当接させた状態にする。この場合も、各光発電素子11の下端が受け台22の逃げ凹部21の底面に当接又はほぼ当接した状態において各光発電素子11の外周面が各貫通孔27の内周縁に当接又はほぼ当接した状態になるように各貫通孔27の孔径を設定するようにすると良い。
In the first embodiment, the
この後、図18に示すように、成形型24の成形キャビティ25内に透明樹脂12の樹脂液を注入して硬化させて光発電パネル10を成形する。この際、透明樹脂12としては、各椀状凹部26の貫通孔27と光発電素子11との隙間から漏れない程度の粘度(非流動性)を有する紫外線硬化性樹脂を用いると良い。
Thereafter, as shown in FIG. 18, the
尚、成形した光発電パネル10を成形型24から取り出した後は、前記実施例1と同様に、前述した[8]n電極形成工程から[16]保護絶縁層形成工程までの各工程が順番に実行される。
After the molded
以上説明した本実施例2においても、光発電パネル10の製造に用いる光発電素子11の外径寸法や形状・真球精度に多少のばらつきがあっても、極めて簡単な作業で光発電パネル10の透明樹脂12からの素子突出量を均一化することができ、この突出部分に形成するn電極13の大きさや高さ位置を均一化することができる。しかも、光発電素子11の外径寸法や形状・真球精度に対する許容範囲を広げることができて、光発電素子11の生産性向上、歩留まり向上を製品品質を落とさずに実現することができる。
Even in the second embodiment described above, the
更に、各光発電素子11の下端が受け台22の逃げ凹部21の底面に当接又はほぼ当接した状態において各光発電素子11の外周面が各貫通孔27の内周縁に当接又はほぼ当接した状態になるように各貫通孔27の孔径を設定するようにしたので、成形型24の成形キャビティ25内に樹脂液を注入する際に、各椀状凹部26の貫通孔27と光発電素子11との隙間を小さくすることができて、その隙間から樹脂液が漏れることをより効果的に防止することができる。
Further, the outer peripheral surface of each
尚、本実施例2では、受け台22の上面に逃げ凹部21を形成することで、成形型24と受け台22との間に各光発電素子11の下端を逃がすための隙間をあけるようにしたが、図19に示すように、成形型24の下面に逃げ凹部24aを形成することで、成形型24と受け台22との間に各光発電素子11の下端を逃がすための隙間をあけるようにしても良い。或は、成形型24と受け台22との間に隙間形成用のスペーサを挟み込んで、各光発電素子11の下端を逃がすための隙間をあけるようにしても良い。この場合は、成形型24と受け台22のいずれにも逃げ凹部を形成する必要はない。
In the second embodiment, the
上記実施例1,2では、光発電パネル10の透明樹脂12(樹脂部)を成形するために成形型24を用いるようにしたが、図20乃至図27に示す本発明に関連する参考例としての実施例3では、受け台31の凹部32に充填した可塑性シール材33に成形キャビティ34を形成し、これを成形型として用いるようにしている。
In the first and second embodiments, the
具体的には、図20に示すように、受け台31の上面側に形成された凹部32に可塑性シール材33を充填した後、図21に示すように、光発電パネル10の透明樹脂12を成形する成形キャビティ34の形状を転写するための転写型35を可塑性シール材33に押し付けることで、多数の光発電素子11が1個ずつ収容される多数の椀状凹部36を有する成形キャビティ34を可塑性シール材33に形成する(図22参照)。
Specifically, as shown in FIG. 20, after filling the
この後、図23に示すように、成形キャビティ34の各椀状凹部36に光発電素子11を1個ずつ収容した後、図24に示すように、各椀状凹部36内に収容された各光発電素子11を上方から押さえ付けて各光発電素子11の下部を可塑性シール材33の内部にほぼ一定量だけ押し込む。この際、各光発電素子11の下端を受け台31の凹部32の底面に当接又はほぼ当接させるように押し込むことで、各光発電素子11の下部を可塑性シール材33の内部にほぼ一定量だけ押し込むようにすると良い。
Thereafter, as shown in FIG. 23, after one
この後、図25に示すように、成形キャビティ34内に透明樹脂12(紫外線硬化性樹脂)の樹脂液を注入して、全ての椀状凹部36を樹脂液中に完全に沈めた状態にする。この後、図26に示すように、成形キャビティ34内の透明樹脂12(紫外線硬化性樹脂)の樹脂液に紫外線を照射して該樹脂液を硬化させることで、多数の光発電素子11を透明樹脂12でパネル状に一体化した光発電パネル10を成形した後、図27に示すように、成形キャビティ34から光発電パネル10を取り出す。この後は、前記実施例1と同様に、前述した[8]n電極形成工程から[16]保護絶縁層形成工程までの各工程が順番に実行される。
Thereafter, as shown in FIG. 25, the resin liquid of the transparent resin 12 (ultraviolet curable resin) is injected into the
以上説明した本実施例3では、受け台31の凹部32に充填した可塑性シール材33に転写型35を押し付けて成形キャビティ34を形成し、この成形キャビティ34の各椀状凹部36に収容した各光発電素子11を上方から押さえ付けて各光発電素子11の下部を可塑性シール材33の内部にほぼ一定量だけ押し込んだ後、成形キャビティ34内に透明樹脂12(紫外線硬化性樹脂)の樹脂液を注入して光発電パネル10を成形するようにしたので、光発電パネル10の製造に用いる光発電素子11の外径寸法や形状・真球精度に多少のばらつきがあっても、光発電パネル10の透明樹脂12からの素子突出量を均一化することができて、この突出部分に形成するn電極13の大きさや高さ位置を均一化することができる。しかも、光発電素子11と透明樹脂12との境界を滑らかに形成することができるので、光発電パネル10の裏面側に、光反射面を兼ねるn電極13を形成する工程で、光発電素子11と透明樹脂12との境界周辺のn電極13(光反射面)を滑らかに形成することができ、光発電素子11への反射光の受光量を増加させることができて、光発電効率を高めることができる。
In the third embodiment described above, the transfer die 35 is pressed against the
10…光発電パネル、11…光発電素子、12…透明樹脂(樹脂部)、13…n電極、14…保護層(下層の絶縁性樹脂層)15…絶縁層(上層の絶縁性樹脂層)、16…p電極、17…保護絶縁層、21…逃げ凹部、22…受け台、23…可塑性シール材、24…成形型、24a…逃げ凹部、25…成形キャビティ、26…椀状凹部、27…貫通孔、31…受け台、32…凹部、33…可塑性シール材、34…成形キャビティ、35…転写型、36…椀状凹部
DESCRIPTION OF
Claims (5)
成形キャビティに前記多数の光発電素子が1個ずつ収容される多数の椀状凹部が形成され、且つ各椀状凹部の底部に前記各光発電素子の一部が下向きに突出する円形の貫通孔が形成された成形型と、
少なくとも前記貫通孔に対向する部分に逃げ凹部が形成された受け台とを用い、
前記受け台の逃げ凹部に可塑性シール材を充填する工程と、
前記受け台上に前記成形型をセットする工程と、
前記成形型の各椀状凹部に前記光発電素子を1個ずつ収容する工程と、
前記成形型の各椀状凹部内に収容された前記各光発電素子を上方から押さえ付けて前記各光発電素子の下部を各椀状凹部の貫通孔に嵌まり込ませて前記可塑性シール材の内部にほぼ一定量だけ押し込む素子押し込み工程と、
前記成形型の成形キャビティ内に前記透明樹脂の樹脂液を注入する工程と、
前記成形型の成形キャビティ内の前記樹脂液を硬化させて前記多数の光発電素子を透明樹脂でパネル状に一体化した光発電パネルを成形する工程と、
前記成形型の成形キャビティから前記光発電パネルを取り出す工程と
を含むことを特徴とする光発電パネルの製造方法。 In a method of manufacturing a photovoltaic panel in which a large number of granular photovoltaic elements are arranged and molded into a panel shape with a transparent resin, and a part of each photovoltaic element is protruded from the resin portion,
A circular through-hole in which a plurality of bowl-shaped recesses for accommodating each of the plurality of photovoltaic elements is formed in the molding cavity, and a part of each of the photovoltaic elements protrudes downward at the bottom of each bowl-shaped recess. A mold formed with,
Using a cradle with a relief recess formed in at least a portion facing the through hole,
Filling the relief recess of the cradle with a plastic sealing material;
Setting the mold on the cradle;
Storing one photovoltaic element in each bowl-shaped recess of the mold;
By pressing the photovoltaic elements housed in the bowl-shaped recesses of the mold from above, the lower portions of the photovoltaic elements are fitted into the through holes of the bowl-shaped recesses, and the plastic sealing material An element pushing process for pushing a substantially constant amount inside,
Injecting a resin liquid of the transparent resin into a molding cavity of the mold;
Curing the resin liquid in the molding cavity of the mold and molding a photovoltaic panel in which the photovoltaic elements are integrated into a panel with a transparent resin;
Removing the photovoltaic panel from a molding cavity of the molding die. A method for producing a photovoltaic panel, comprising:
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