JP4545723B2 - ヘイズ測定方法及びその装置 - Google Patents
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Description
20 試料(曲面のある試料)
30 積分球
30a 第1の開口部
30b 第2の開口部
30c 第3の開口部
40a 第1のセンサ
40b 第2のセンサ
50 ナルレンズ
60 液体レンズ
Claims (17)
- 光源から発生した光を、曲面状試料を介して透過させるステップと、
前記曲面状試料を介して透過された光を、ナルレンズ(Null Lens)を介して平行光にするステップと、
前記ナルレンズを介して透過された平行光を、積分球を介して平行光と拡散光とに分離した後、ヘイズを測定するステップと、を含むヘイズ測定方法。 - 前記平行光は、前記平行光が入射する方向の積分球の開口部にセンサを設置して検出することを特徴とする請求項1または2に記載のヘイズ測定方法。
- 前記拡散光は、前記平行光が入射する方向と直交する方向に形成された積分球の開口部にセンサを設置して検出することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のヘイズ測定方法。
- 前記曲面状試料は、透明な平面状試料、ガラスレンズ、プラスチックレンズ、液体レンズのうち、いずれかであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のヘイズ測定方法。
- 前記曲面状試料は、凹レンズであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のヘイズ測定方法。
- 前記曲面状試料は、凸レンズであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のヘイズ測定方法。
- 光を発生する光源と、
前記光源から光を入射して透過させる曲面状試料と、
前記曲面状試料を介して透過された光を検出し、ヘイズを測定する積分球と、
前記曲面状試料と前記積分球との間に位置し、前記曲面状試料を介して前記積分球に入射する光を平行光に変えるナルレンズと、を備えるヘイズ測定装置。 - 前記曲面状試料は、透明な平面状試料、ガラスレンズ、プラスチックレンズ、液体レンズのうち、いずれかであることを特徴とする請求項8に記載のヘイズ測定装置。
- 前記曲面状試料は、凹レンズであることを特徴とする請求項8または9に記載のヘイズ測定装置。
- 前記曲面状試料は、凸レンズであることを特徴とする請求項8または9に記載のヘイズ測定装置。
- 前記積分球は、
前記曲面状試料を透過した光を入射する第1の開口部と、
前記第1の開口部と対応する位置に形成された第2の開口部と、
前記第1の開口部及び第2の開口部に垂直の方向に形成された第3の開口部と、
前記第2の開口部に設置され、前記曲面状試料を透過した光のうち、平行光を測定する第1のセンサと、
前記第3の開口部に設置され、前記曲面状試料を透過した光のうち、拡散光を測定する第2のセンサと、
を備えることを特徴とする請求項8〜11のいずれか一項に記載のヘイズ測定装置。 - 光を発生する光源と、
前記光源から光を入射して透過させる曲面状試料と、
前記曲面状試料を介して透過された光を検出し、ヘイズを測定する積分球と、
前記曲面状試料と前記積分球との間に位置し、前記曲面状試料を介して前記積分球に入射する光を平行光に変える液体レンズと、
を備えるヘイズ測定装置。 - 前記液体レンズは、前記曲面状試料の種類に応じて印加電圧が変化し、変化した印加電圧に応じて曲率が変化することにより、焦点距離が変化することを特徴とする請求項13に記載のヘイズ測定装置。
- 前記曲面状試料は、透明な平面状試料、ガラスレンズ、プラスチックレンズ、液体レンズのうち、いずれかであることを特徴とする請求項13または14に記載のヘイズ測定装置。
- 前記曲面状試料は、凹レンズであることを特徴とする請求項13〜15のいずれか一項に記載のヘイズ測定装置。
- 前記曲面状試料は、凸レンズであることを特徴とする請求項13〜15のいずれか一項に記載のヘイズ測定装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20050077098 | 2005-08-23 | ||
KR1020050077094A KR100675216B1 (ko) | 2005-08-23 | 2005-08-23 | 헤이즈 측정 방법 및 그 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007057534A JP2007057534A (ja) | 2007-03-08 |
JP4545723B2 true JP4545723B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=37803616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006226949A Expired - Fee Related JP4545723B2 (ja) | 2005-08-23 | 2006-08-23 | ヘイズ測定方法及びその装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070046944A1 (ja) |
JP (1) | JP4545723B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101515246B1 (ko) * | 2007-07-19 | 2015-04-24 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 광학 특성 센서 |
US20170109895A1 (en) * | 2015-10-19 | 2017-04-20 | Honeywell International Inc. | Apparatus and method for measuring haze of sheet materials or other materials using off-axis detector |
JP6751214B1 (ja) * | 2020-02-12 | 2020-09-02 | デクセリアルズ株式会社 | 測定装置及び成膜装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59143939A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | Suga Shikenki Kk | ヘ−ズ値連続測定装置 |
JP2004177915A (ja) * | 2002-11-27 | 2004-06-24 | Akira Ishii | 可変焦点光学装置 |
JP2005114379A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズ特性検査方法と装置 |
-
2006
- 2006-08-22 US US11/507,476 patent/US20070046944A1/en not_active Abandoned
- 2006-08-23 JP JP2006226949A patent/JP4545723B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59143939A (ja) * | 1983-02-07 | 1984-08-17 | Suga Shikenki Kk | ヘ−ズ値連続測定装置 |
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JP2005114379A (ja) * | 2003-10-03 | 2005-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レンズ特性検査方法と装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007057534A (ja) | 2007-03-08 |
US20070046944A1 (en) | 2007-03-01 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090928 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
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A521 | Written amendment |
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RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20100107 |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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