JP4534697B2 - Colored photosensitive resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、紫外線硬化型インキやフォトレジストなどに広く利用されている感光性樹脂組成物に関するものであり、特に、カラー液晶表示装置や撮像素子などに使用される着色画像(以下、画素と言うことがある。)を形成するためのレジストに好適な着色感光性樹脂組成物に関するものである。   The present invention relates to a photosensitive resin composition that is widely used in ultraviolet curable inks, photoresists, and the like, and in particular, a colored image (hereinafter referred to as a pixel) used in a color liquid crystal display device, an imaging device, and the like. In particular, the present invention relates to a colored photosensitive resin composition suitable for a resist for forming the above.

カラー液晶表示装置や撮像素子などにおけるカラーフィルタは通常、ガラスやシリコンウェハーなどの基板上に、赤、緑および青の三原色画素を形成することにより製造されている。また、これら画素間を遮光するためのブラックマトリックスを設けるのが普通である。そして、これら各色の画素を形成するには、ブラックマトリックスがパターン形成された基板上に、各色に相当する顔料を含有する感光性樹脂組成物をスピンコーターにより均一に塗布した後、加熱乾燥(以下、プリベークということがある。)し、その塗膜を露光、現像し、必要によりさらに加熱硬化(以下、ポストベークということがある。)する方法が採用されており、これらの操作をカラーフィルタに必要とされる色毎に繰り返すことにより、各色の画像を得ている。このような感光性樹脂組成物として、顔料およびバインダー樹脂とともに、光重合性化合物および光重合開始剤を含有する組成物が多く使用されている。また、ブラックマトリックスの形成にも、黒色顔料を含有する感光性樹脂組成物を用いることがある。このような感光性着色組成物には、耐光性に優れ、色変化が少ないことから側鎖にカルボキシル基を有するアクリル系樹脂が使用されている。例えば、側鎖にカルボキシル基を含有するアクリル系樹脂に顔料と多官能アクリレートを含有してなる着色樹脂組成物が開示されている(例えば、特許文献1など参照。)。また、感度を高めるため、エポキシ基と不飽和二重結合を有する単量体からなる重合体に不飽和カルボン酸を付加した後に多塩基酸無水物を付加させてなる反応性アクリル系樹脂を使用した感光性樹脂組成物が開示されている(例えば、特許文献2など参照。)。   A color filter in a color liquid crystal display device or an image sensor is usually manufactured by forming red, green, and blue three primary color pixels on a substrate such as glass or a silicon wafer. Further, it is usual to provide a black matrix for shielding light between these pixels. In order to form the pixels of each color, a photosensitive resin composition containing a pigment corresponding to each color is uniformly applied on a substrate on which a black matrix is formed by a spin coater, and then dried by heating (hereinafter referred to as a “black matrix”). , Pre-baking)), and exposing and developing the coating film, and further heat-curing (hereinafter sometimes referred to as post-baking) if necessary. By repeating for each required color, an image of each color is obtained. As such a photosensitive resin composition, many compositions containing a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator are used together with a pigment and a binder resin. Moreover, the photosensitive resin composition containing a black pigment may be used also for formation of a black matrix. In such a photosensitive coloring composition, an acrylic resin having a carboxyl group in the side chain is used because of excellent light resistance and little color change. For example, a colored resin composition is disclosed in which an acrylic resin containing a carboxyl group in the side chain contains a pigment and a polyfunctional acrylate (see, for example, Patent Document 1). In addition, in order to increase sensitivity, a reactive acrylic resin is used, in which a polybasic acid anhydride is added after adding an unsaturated carboxylic acid to a polymer composed of a monomer having an epoxy group and an unsaturated double bond. A photosensitive resin composition is disclosed (see, for example, Patent Document 2).

ところが、従来パターン状に形成された着色層(着色画素)は、感度と硬度の両方がともに優れたものがなく、例えば、感度が低い場合は、カラーフィルタの生産性に劣り、硬度が低い場合は、カラーフィルタ作製後の配向膜ラビング処理などの後工程で、着色層に傷がつきやすく、また、液晶パネルの組み立ての際、2枚の基板の間に介在させるスペーサ材からの圧力で着色層が変形しやすく、その結果、セルギャップが局所的に変動するため、表示欠陥を生じやすくなる、などの問題点があった。一般に、カラーフィルタの着色層は、少なくとも顔料(有機顔料や無機顔料)や染料などの着色剤、および樹脂成分(分散剤やバインダー樹脂等)から構成されており、樹脂成分は、光や熱により架橋されていた場合であっても、柔らかいものであり、その表面の鉛筆硬度は、通常、HB〜2H程度である。   However, the conventional colored layer (colored pixel) formed in a pattern is not excellent in both sensitivity and hardness. For example, when the sensitivity is low, the productivity of the color filter is inferior and the hardness is low. In the post-process such as alignment film rubbing after color filter fabrication, the colored layer is easily damaged, and when the liquid crystal panel is assembled, it is colored by the pressure from the spacer material interposed between the two substrates As a result, the layer is easily deformed, and as a result, the cell gap fluctuates locally, which causes display defects. In general, the colored layer of a color filter is composed of at least a colorant such as a pigment (organic pigment or inorganic pigment) or dye, and a resin component (dispersant, binder resin, etc.). Even if it is cross-linked, it is soft, and the pencil hardness of the surface is usually about HB to 2H.

特開平3−53201号公報 3頁左欄7行目−20行目JP-A-3-53201, page 3, left column, lines 7-20 特開平8−297366号公報 2頁左欄1行目−6行目JP-A-8-297366, page 2, left column, lines 1-6

本発明の目的は、着色材料を含有しても、高感度であり、硬度も高い着色感光性樹脂組成物を提供することにある。また、本発明の別の目的は、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて画素を形成する際に、基板上に現像残渣が発生したり、画素部に表面荒れが発生したりすることがなく、さらに、得られた画素は鉛筆硬度が高く信頼性に優れた高品質のカラーフィルタを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a colored photosensitive resin composition having high sensitivity and high hardness even if it contains a coloring material. Another object of the present invention is that when a pixel is formed using the colored photosensitive resin composition, a development residue may be generated on the substrate or surface roughness may be generated on the pixel portion. Furthermore, the obtained pixel is to provide a high-quality color filter having high pencil hardness and excellent reliability.

本発明者は、前記の課題を解決しうる新たな手段について鋭意検討の結果、特定の不飽和基含有バインダー樹脂と特定の光重合開始剤とを含む着色感光性樹脂組成物が前述の課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
すなわち本発明は、バインダー樹脂(A)、
光重合性化合物(B)、
光重合開始剤(C)、
着色材料(D)および
溶剤(E)を含有する着色感光性樹脂組成物において、
バインダー樹脂(A)が、下記(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体に、さらに(A4)を反応させて得られる不飽和基含有樹脂であり、
かつ光重合開始剤(C)が、トリアジン化合物、アセトフェノン化合物、ビイミダゾール化合物およびオキシム化合物からなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物を提供する。
(A1);一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物
(A2);(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物
(A3);不飽和カルボン酸
(A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
また、本発明は、前記の着色感光性樹脂組成物を、基板または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物層から揮発成分を除去し、フォトマスクを介して前記の層を露光し、現像するパターンの形成方法、前記の方法で形成されたパターンを含むカラーフィルタならびに前記のカラーフィルタを使用した液晶表示装置を提供する。
As a result of intensive studies on new means that can solve the above-mentioned problems, the present inventors have found that a colored photosensitive resin composition containing a specific unsaturated group-containing binder resin and a specific photopolymerization initiator has the above-mentioned problems. The inventors have found that this can be solved, and have reached the present invention.
That is, the present invention provides a binder resin (A),
Photopolymerizable compound (B),
Photopolymerization initiator (C),
In the colored photosensitive resin composition containing the coloring material (D) and the solvent (E),
The binder resin (A) is an unsaturated group-containing resin obtained by further reacting (A4) with a copolymer obtained by copolymerizing the following (A1) to (A3):
The photopolymerization initiator (C) is at least one compound selected from the group consisting of a triazine compound, an acetophenone compound, a biimidazole compound, and an oxime compound, and provides a colored photosensitive resin composition.
(A1); Compound (A2) having at least one skeleton selected from the group consisting of a tricyclodecane skeleton and a dicyclopentadiene skeleton and an unsaturated bond in one molecule; and (A1) and (A3) Compound (A3) having polymerizable unsaturated bond; Unsaturated carboxylic acid (A4); Compound having unsaturated bond and epoxy group in one molecule. The present invention also includes the above colored photosensitive resin composition. The layer is applied on the substrate or the layer formed of the solid content of the colored photosensitive resin composition previously formed, the volatile component is removed from the applied colored photosensitive resin composition layer, and the layer is formed through a photomask. A pattern forming method of exposing and developing a color filter, a color filter including the pattern formed by the above method, and a liquid crystal display device using the color filter are provided.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、感度および鉛筆硬度に優れ、画素を形成する際に、基板上に現像残渣が発生することがない。したがって、本発明の着色感光性樹脂組成物を顔料分散レジストとして使用し、カラーフィルタを作製する場合、生産性に優れ、かつ高品質なカラーフィルタを得ることができる。また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、着色フォトスペーサとして使用することもできる。さらに着色材料を除いた感光性樹脂組成物は、絶縁膜、フォトスペーサ、オーバーコート(平坦化膜)および液晶配向制御用の突起形成材に応用することもできる。   The colored photosensitive resin composition of the present invention is excellent in sensitivity and pencil hardness, and no development residue is generated on the substrate when pixels are formed. Therefore, when producing the color filter using the colored photosensitive resin composition of the present invention as a pigment dispersion resist, it is possible to obtain a color filter having excellent productivity and high quality. The colored photosensitive resin composition of the present invention can also be used as a colored photospacer. Further, the photosensitive resin composition excluding the coloring material can be applied to an insulating film, a photo spacer, an overcoat (planarization film), and a protrusion forming material for controlling liquid crystal alignment.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、主に顔料分散レジストとして使用されるものであって、着色材料(D)、バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)および光重合開始剤(C)、さらに任意にその他の添加剤(F)が、溶剤(E)に溶解または分散されている。   The colored photosensitive resin composition of the present invention is mainly used as a pigment dispersion resist, and includes a coloring material (D), a binder resin (A), a photopolymerizable compound (B), and a photopolymerization initiator ( C) and optionally other additives (F) are dissolved or dispersed in the solvent (E).

バインダー樹脂(A)は、一般に、光や熱の作用による反応性およびアルカリ溶解性を有し、また着色材料の分散媒として作用するものである。本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(A)は、下記(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体に、さらに(A4)を反応させて得られる不飽和基含有樹脂である。
(A1);一分子中にトリシクロデカン骨格およびジシクロペンタジエン骨格からなる群から選ばれる少なくとも1種の骨格と、不飽和結合とを有する化合物
(A2);(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物
(A3);不飽和カルボン酸
(A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
The binder resin (A) generally has reactivity and alkali solubility due to the action of light and heat, and acts as a dispersion medium for the coloring material. The binder resin (A) used in the colored photosensitive resin composition of the present invention is obtained by reacting (A4) with a copolymer obtained by copolymerizing the following (A1) to (A3). It is a saturated group-containing resin.
(A1); Compound (A2) having at least one skeleton selected from the group consisting of a tricyclodecane skeleton and a dicyclopentadiene skeleton and an unsaturated bond in one molecule; and (A1) and (A3) Compound (A3) having polymerizable unsaturated bond; Unsaturated carboxylic acid (A4); Compound having unsaturated bond and epoxy group in one molecule

前記の一分子中に不飽和結合とトリシクロデカン骨格および/またはジシクロペンタジエン骨格を有する化合物(A1)としては、具体的には、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレートが挙げられる。これらは、それぞれ単独で、または両者を組み合わせて用いることができる。ここで、本明細書中における(メタ)アクリレートの記載は、アクリレートおよび/またはメタクリレートを表す。   Specific examples of the compound (A1) having an unsaturated bond and a tricyclodecane skeleton and / or a dicyclopentadiene skeleton in one molecule include dicyclopentanyl (meth) acrylate and dicyclopentenyl (meth). Examples include acrylate, dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate, and dicyclopentenyloxyethyl (meth) acrylate. These can be used alone or in combination. Here, description of (meth) acrylate in this specification represents an acrylate and / or a methacrylate.

前記の、(A1)および(A3)と共重合可能な不飽和結合を有する化合物(A2)としては、具体的には、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートおよびアミノエチル(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸の無置換または置換アルキルエステル;
シクロペンチル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘプチル(メタ)アクリレート、シクロオクチル(メタ)アクリレート、メンチル(メタ)アクリレート、シクロペンテニル(メタ)アクリレート、シクロヘキセニル(メタ)アクリレート、シクロヘプテニル(メタ)アクリレート、シクロオクテニル(メタ)アクリレート、メンタジエニル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ピナニル(メタ)アクリレート、アダマンチル(メタ)アクリレート、ノルボルネニル(メタ)アクリレート、ピネニル(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸の脂環式基を含むエステル化合物;
オリゴエチレングリコールモノアルキル(メタ)アクリレートのようなグリコール類のモノ飽和カルボン酸エステル化合物;
ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシ(メタ)アクリレートのような不飽和カルボン酸の芳香環を含むエステル化合物;
スチレン、α−メチルスチレンおよびビニルトルエンのような芳香族ビニル化合物;
酢酸ビニルおよびプロピオン酸ビニルのようなカルボン酸ビニルエステル;
(メタ)アクリロニトリルおよびα−クロロアクリロニトリルのようなシアン化ビニル化合物;
N−シクロヘキシルマレイミドやN−フェニルマレイミドのようなマレイミド化合物などが挙げられる。これらは、それぞれ単独で、または両者を組み合わせて用いることができる。
Specific examples of the compound (A2) having an unsaturated bond copolymerizable with (A1) and (A3) include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, Unsubstituted or substituted alkyl esters of unsaturated carboxylic acids such as 2-hydroxyethyl (meth) acrylate and aminoethyl (meth) acrylate;
Cyclopentyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, methylcyclohexyl (meth) acrylate, cycloheptyl (meth) acrylate, cyclooctyl (meth) acrylate, menthyl (meth) acrylate, cyclopentenyl (meth) acrylate, cyclohexenyl (meta) ) Acrylate, cycloheptenyl (meth) acrylate, cyclooctenyl (meth) acrylate, mentadienyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, pinanyl (meth) acrylate, adamantyl (meth) acrylate, norbornenyl (meth) acrylate, pinenyl (meth) acrylate An ester compound containing an alicyclic group of an unsaturated carboxylic acid such as
Monosaturated carboxylic acid ester compounds of glycols such as oligoethylene glycol monoalkyl (meth) acrylate;
Ester compounds containing an aromatic ring of an unsaturated carboxylic acid such as benzyl (meth) acrylate and phenoxy (meth) acrylate;
Aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene and vinyltoluene;
Carboxylic acid vinyl esters such as vinyl acetate and vinyl propionate;
Vinyl cyanide compounds such as (meth) acrylonitrile and α-chloroacrylonitrile;
Examples thereof include maleimide compounds such as N-cyclohexylmaleimide and N-phenylmaleimide. These can be used alone or in combination.

前記の不飽和カルボン酸(A3)としては、具体的には、アクリル酸およびメタクリル酸が挙げられる。アクリル酸およびメタクリル酸は、それぞれ単独で、または両者を組み合わせて用いることができる。また、これらのアクリル酸やメタクリル酸に加えて、その他の酸を用いることができる。その他の酸としては、具体的に、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸など、他の不飽和カルボン酸から選ばれる少なくとも1種のカルボン酸を併用することもできる。また、α−(ヒドロキシメチル)アクリル酸のような、同一分子中にヒドロキシ基およびカルボキシル基を含有するモノマーを併用することもできる。   Specific examples of the unsaturated carboxylic acid (A3) include acrylic acid and methacrylic acid. Acrylic acid and methacrylic acid can be used alone or in combination. In addition to these acrylic acid and methacrylic acid, other acids can be used. Specifically, as the other acid, at least one carboxylic acid selected from other unsaturated carboxylic acids such as crotonic acid, itaconic acid, maleic acid and fumaric acid can be used in combination. A monomer containing a hydroxy group and a carboxyl group in the same molecule, such as α- (hydroxymethyl) acrylic acid, can also be used in combination.

まず、本発明における(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体において、(A1)〜(A3)のそれぞれから導かれる構成成分の比率が、前記の共重合体を構成する構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲にあることが好ましい。
(A1)から導かれる構成単位;2〜30モル%
(A2)から導かれる構成単位;2〜95モル%
(A3)から導かれる構成単位;2〜70モル%
また、前記の構成成分の比率が以下の範囲であると、より好ましい。
(A1)から導かれる構成単位;5〜25モル%
(A2)から導かれる構成単位;5〜80モル%
(A3)から導かれる構成単位;5〜60モル%
前記の構成比率が、上記の範囲にあると、現像性、可とう性および耐熱性のバランスが良好であり、好ましい幹ポリマーが得られる。
また、さらに、次に、前記の共重合体に(A4)を付加してバインダー樹脂に光/熱硬化性を付与することができる。
前記の一分子中に不飽和結合とエポキシ基を有する化合物(A4)としては、具体的には、グリシジル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシル(メタ)アクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチル(メタ)アクリレート、メチルグリシジル(メタ)アクリレートが挙げられる。好ましくは、グリシジル(メタ)アクリレートが挙げられる。これらはそれぞれ単独で、または二種以上を組み合わせて用いることができる。
(A4)の付加量は、(A1)〜(A3)を重合させて得られた樹脂中のカルボキシル基(A3成分に由来)に対して、5〜90モル%、好ましくは10〜80モル%である。
(A4)の組成比が上記範囲内にあると、十分な光硬化性や熱硬化性が得られ、感度と鉛筆硬度を両立し、信頼性に優れるので好ましい。
First, in the copolymer obtained by copolymerizing (A1) to (A3) in the present invention, the ratio of the components derived from each of (A1) to (A3) constitutes the copolymer. It is preferable to be in the following range in terms of mole fraction with respect to the total number of moles of the constituent components.
Structural units derived from (A1); 2 to 30 mol%
Structural units derived from (A2); 2 to 95 mol%
Structural units derived from (A3); 2 to 70 mol%
Moreover, it is more preferable in the ratio of the said structural component being the following ranges.
Structural units derived from (A1); 5 to 25 mol%
Structural units derived from (A2); 5 to 80 mol%
Structural units derived from (A3); 5 to 60 mol%
When the composition ratio is in the above range, the balance of developability, flexibility and heat resistance is good, and a preferable trunk polymer is obtained.
Furthermore, next, (A4) can be added to the copolymer to impart photo / thermosetting properties to the binder resin.
Specific examples of the compound (A4) having an unsaturated bond and an epoxy group in one molecule include glycidyl (meth) acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth) acrylate, and 3,4-epoxycyclohexylmethyl. (Meth) acrylate and methyl glycidyl (meth) acrylate are mentioned. Preferably, glycidyl (meth) acrylate is used. These can be used alone or in combination of two or more.
The amount of (A4) added is 5 to 90 mol%, preferably 10 to 80 mol%, based on the carboxyl group (derived from the A3 component) in the resin obtained by polymerizing (A1) to (A3). It is.
When the composition ratio of (A4) is within the above range, sufficient photocurability and thermosetting are obtained, both sensitivity and pencil hardness are achieved, and reliability is preferable.

前記のバインダー樹脂(A)は、そのポリスチレン換算の重量平均分子量が3,000〜100,000の範囲にあることが好ましく、5,000〜50,000の範囲にあることがより好ましい。バインダー樹脂(A)の重量平均分子量が、3,000〜100,000の範囲にあると、現像時に膜減りが生じにくく、また現像時に非画素部分の抜け性が良好である傾向にあり、好ましい。
バインダー樹脂(A)の分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、1.5〜6.0であることが好ましく、1.8〜4.0であることがより好ましい。分子量分布[重量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]が、1.5〜6.0であると、現像性に優れるので好ましい。
本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられるバインダー樹脂(A)は、着色感光性樹脂組成物中の全固形分に対して、通常5〜90質量%、好ましくは10〜70質量%の範囲で含有される。バインダー樹脂(A)の含有量が、前記の基準で5〜90質量%であると、現像液への溶解性が十分であり、非画素部分の基板上に現像残渣が発生しにくく、また現像時に露光部の画素部分の膜減りが生じにくく、非画素部分の抜け性が良好な傾向にあり、好ましい。
The binder resin (A) preferably has a polystyrene-equivalent weight average molecular weight in the range of 3,000 to 100,000, and more preferably in the range of 5,000 to 50,000. When the weight average molecular weight of the binder resin (A) is in the range of 3,000 to 100,000, film loss is unlikely to occur during development, and non-pixel portion omission tends to be good during development, which is preferable. .
The molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of the binder resin (A) is preferably 1.5 to 6.0, more preferably 1.8 to 4.0. preferable. A molecular weight distribution [weight average molecular weight (Mw) / number average molecular weight (Mn)] of 1.5 to 6.0 is preferable because of excellent developability.
The binder resin (A) used in the colored photosensitive resin composition of the present invention is usually in the range of 5 to 90% by mass, preferably 10 to 70% by mass, based on the total solid content in the colored photosensitive resin composition. Contained. When the content of the binder resin (A) is 5 to 90% by mass on the basis of the above, the solubility in the developer is sufficient, and a development residue is hardly generated on the non-pixel portion of the substrate. It is sometimes preferable because the film thickness of the pixel portion of the exposed portion is less likely to occur, and the non-pixel portion tends to be easily removed.

本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物(B)は、光および後述する光重合開始剤の作用で重合しうる化合物であり、単官能モノマーの他、2官能、その他の多官能モノマーであることができる。
単官能モノマーの具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、N−ビニルピロリドンなどが挙げられる。
また2官能モノマーの具体例としては、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイロキシエチル)エーテル、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。
その他の多官能モノマーの具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。なかでも、2官能以上の多官能モノマーが好ましく用いられる。
光重合性化合物(B)は、着色感光性樹脂組成物中のバインダー樹脂(A)および光重合性化合物(B)の合計100質量部に対して、通常1〜60質量部、好ましくは5〜50質量部の範囲で含有される。光重合性化合物(B)の含有量が、前記の基準で1〜60質量部の範囲であると、画素部の強度や平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。
The photopolymerizable compound (B) contained in the colored photosensitive resin composition of the present invention is a compound that can be polymerized by the action of light and a photopolymerization initiator described later. It can be a polyfunctional monomer.
Specific examples of the monofunctional monomer include nonylphenyl carbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl carbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, N-vinyl pyrrolidone and the like.
Specific examples of the bifunctional monomer include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, and bisphenol A. Bis (acryloyloxyethyl) ether, 3-methylpentanediol di (meth) acrylate, and the like.
Specific examples of other polyfunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa ( And (meth) acrylate. Of these, polyfunctional monomers having two or more functions are preferably used.
A photopolymerizable compound (B) is 1-60 mass parts normally with respect to a total of 100 mass parts of binder resin (A) and a photopolymerizable compound (B) in a coloring photosensitive resin composition, Preferably it is 5-5. It is contained in the range of 50 parts by mass. When the content of the photopolymerizable compound (B) is in the range of 1 to 60 parts by mass based on the above criteria, the strength and smoothness of the pixel part tend to be favorable, which is preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる光重合開始剤(C)は、トリアジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物の少なくとも一種を含んでなる開始剤系で得られる着色感光性樹脂組成物は高感度となり、またこれを用いて形成する膜はその画素部の強度や表面平滑性が良好となる。さらに、光重合開始助剤(C−1)を併用することで、得られる着色感光性樹脂組成物は更に高感度となり、これを用いてカラーフィルタを形成する際の生産性が向上するので、好ましい。   The photopolymerization initiator (C) contained in the colored photosensitive resin composition of the present invention is a colored photosensitive resin obtained by an initiator system comprising at least one of a triazine compound, an acetophenone compound, and a biimidazole compound. The composition has high sensitivity, and a film formed using the composition has good strength and surface smoothness of the pixel portion. Furthermore, by using the photopolymerization initiation assistant (C-1) in combination, the resulting colored photosensitive resin composition becomes more sensitive, and the productivity when forming a color filter using this is improved. preferable.

前記のトリアジン系化合物としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(フラン−2−イル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−〔2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル〕−1,3,5−トリアジンなどが挙げられる。
また、前記のアセトフェノン系化合物としては、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−〔4−(1−メチルビニル)フェニル〕プロパン−1−オンのオリゴマーなどが挙げられる。さらに、アセトフェノン系化合物としては、特開昭63−264560号公報に記載されているものを使用することができる。前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、下記式(1)で示される。
Examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4- Methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxy Styryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4 -Bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4-diethylamino- 2-methylphenyl) Thenyl] -1,3,5-triazine, such as 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine.
Examples of the acetophenone compound include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-1- [4- (2-hydroxyethoxy). Phenyl] -2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino- Examples include oligomers of 1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one, and the like. Further, as acetophenone compounds, those described in JP-A-63-264560 can be used. As said acetophenone series compound, it shows by following formula (1), for example.

Figure 0004534697
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[式(1)中、R〜Rはそれぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、炭素数1〜12のアルキル基によって置換されていてもよいフェニル基、炭素数1〜12のアルキル基によって置換されていてもよいベンジル基または炭素数1〜12のアルキル基によって置換されていてもよいナフチル基を表す。] [In Formula (1), R 1 to R 4 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a phenyl group optionally substituted by an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, or an alkyl having 1 to 12 carbon atoms. The benzyl group which may be substituted by group, or the naphthyl group which may be substituted by the C1-C12 alkyl group is represented. ]

さらに、前記のビイミダゾール化合物としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2、3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール(例えば、特開平6−75372号公報、特開平6−75373号公報など参照。)、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(ジアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール(例えば、特公昭48−38403号公報、特開昭62−174204号公報など参照。)、4,4’5,5’−位のフェニル基がカルボアルコキシ基により置換されているイミダゾール化合物(例えば、特開平7−10913号公報など参照。)などが挙げられ、好ましくは2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2、3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
さらに、オキシム化合物としては、O−エトキシカルボニル−α−オキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、
Furthermore, as the biimidazole compound, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenylbiimidazole (see, for example, JP-A-6-75372 and JP-A-6-75373), 2,2'-bis (2-chlorophenyl)- 4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′- Bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (dialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra ( Trialkoxyphenyl) bi Dazole (for example, see JP-B-48-38403, JP-A-62-174204, etc.), an imidazole compound in which the phenyl group at the 4,4′5,5′-position is substituted with a carboalkoxy group ( For example, see JP-A-7-10913, etc.), preferably 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2 Examples include '-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetraphenylbiimidazole.
Furthermore, as the oxime compound, O-ethoxycarbonyl-α-oximino-1-phenylpropan-1-one,

Figure 0004534697
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などが挙げられる。 Etc.

また、本発明の効果を損なわない程度であれば、この分野で通常用いられている光重合開始剤等をさらに併用することができ、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、アントラセン系化合物などの光重合開始剤が挙げられる。
より具体的には以下のような化合物を挙げることができ、これらをそれぞれ単独で、または2種以上組み合わせて用いることができる。
In addition, a photopolymerization initiator or the like commonly used in this field can be used in combination as long as the effect of the present invention is not impaired. For example, a benzoin compound, a benzophenone compound, a thioxanthone compound, an anthracene And photopolymerization initiators such as a series compound.
More specifically, the following compounds can be mentioned, and these can be used alone or in combination of two or more.

前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。   Examples of the benzoin-based compound include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, and benzoin isobutyl ether.

前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4′−メチルジフェニルサルファイド、3,3′,4,4′−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。   Examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4'-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ', 4,4'-tetra (tert-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、2−イソプロピルチオキサントン、4−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。   Examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, and the like.

前記のアントラセン系化合物としては、例えば、9,10−ジメトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジメトキシアントラセン、9,10−ジエトキシアントラセン、2−エチル−9,10−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。   Examples of the anthracene compound include 9,10-dimethoxyanthracene, 2-ethyl-9,10-dimethoxyanthracene, 9,10-diethoxyanthracene, and 2-ethyl-9,10-diethoxyanthracene. It is done.

その他にも、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、10−ブチル−2−クロロアクリドン、2−エチルアントラキノン、ベンジル、9,10−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などが光重合開始剤として例示される。   In addition, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 10-butyl-2-chloroacridone, 2-ethylanthraquinone, benzyl, 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, methyl phenylglyoxylate And titanocene compounds are exemplified as photopolymerization initiators.

また、連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤として、特表2002−544205号公報に記載されているものを使用することができる。
前記の連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤としては、例えば、下記式(2)〜(7)のものが挙げられる。
Moreover, what is described in Japanese translations of PCT publication No. 2002-544205 gazette can be used as a photoinitiator which has the group which can raise | generate chain transfer.
As a photoinitiator which has the group which can raise | generate the said chain transfer, the thing of following formula (2)-(7) is mentioned, for example.

Figure 0004534697
Figure 0004534697

前記の連鎖移動を起こしうる基を有する光重合開始剤は、前記の(A1)および(A3)を共重合させて得られる共重合体の構成成分(A2)として使用することができる。そして、得られた共重合物は、本発明のバインダー樹脂に併用することができる。   The photopolymerization initiator having a group capable of causing the chain transfer can be used as a constituent component (A2) of a copolymer obtained by copolymerizing the above (A1) and (A3). And the obtained copolymer can be used together with the binder resin of this invention.

また、光重合開始剤に光重合開始助剤(C−1)を組み合わせて用いることもできる。前記の光重合開始助剤(C−1)としては、アミン化合物および下記のカルボン酸化合物が好ましく、アミン化合物は芳香族アミン化合物がより好ましい。
光重合開始助剤の具体例としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどの脂肪族アミン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4′−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称;ミヒラーズケトン)、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンのような芳香族アミン化合物が挙げられる。
前記のカルボン酸化合物としては、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸などの芳香族ヘテロ酢酸類が挙げられる。
Moreover, a photoinitiator (C-1) can also be used in combination with a photoinitiator. As said photoinitiation adjuvant (C-1), an amine compound and the following carboxylic acid compound are preferable, and an amine compound has an aromatic amine compound more preferable.
Specific examples of the photopolymerization initiation aid include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid. Isoamyl, 2-dimethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-dimethylaminoethyl benzoate, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (common name; Michler's ketone), 4,4'- Examples include aromatic amine compounds such as bis (diethylamino) benzophenone.
Examples of the carboxylic acid compound include phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthioacetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, Examples include aromatic heteroacetic acids such as N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, and naphthoxyacetic acid.

光重合開始剤(C)において、バインダー樹脂(A)および光重合性化合物(B)の合計100質量部に対し、光重合開始剤(C)の合計量は、通常0.1〜40質量部、好ましくは1〜30質量部、(3)光重合開始助剤の合計量は、前記の基準で、通常0.1〜50質量部、好ましくは1〜40質量部の範囲で含有される。
光重合開始剤(C)の合計量が前記の範囲にあると、着色感光性樹脂組成物が高感度となり、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成した画素部の強度や、前記の画素の表面における平滑性が良好になる傾向があり、好ましい。前記に加えて、光重合開始助剤(C−1)の量が前記の範囲にあると、得られる着色感光性樹脂組成物の感度がさらに高くなり、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成するカラーフィルタの生産性が向上する傾向にあり、好ましい。
In the photopolymerization initiator (C), the total amount of the photopolymerization initiator (C) is usually 0.1 to 40 parts by mass with respect to 100 parts by mass in total of the binder resin (A) and the photopolymerizable compound (B). The total amount of (3) photopolymerization initiation assistant is usually 0.1 to 50 parts by mass, preferably 1 to 40 parts by mass based on the above-mentioned criteria.
When the total amount of the photopolymerization initiator (C) is within the above range, the colored photosensitive resin composition becomes highly sensitive, and the strength of the pixel portion formed using the colored photosensitive resin composition, The smoothness on the surface of the pixel tends to be good, which is preferable. In addition to the above, when the amount of the photopolymerization initiation assistant (C-1) is in the above range, the sensitivity of the obtained colored photosensitive resin composition is further increased, and the above colored photosensitive resin composition is used. This is preferable because the productivity of the color filter to be formed tends to be improved.

本発明の着色感光性樹脂組成物は着色材料(D)を含む。前記の着色材料(D)は、通常顔料であり、顔料分散レジストに通常用いられる有機顔料または無機顔料であることができる。無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩のような金属化合物が挙げられ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属の酸化物または複合金属酸化物が挙げられる。また有機顔料および無機顔料として具体的には、カラーインデックス(Colour Index)(The Society of Dyers and Colourists 出版)で、ピグメント(Pigment)に分類されている化合物が挙げられる。より具体的には、以下のようなカラーインデックス(C.I.)番号の顔料が挙げられるが、これらに限定されるわけではない。   The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a coloring material (D). The coloring material (D) is usually a pigment, and can be an organic pigment or an inorganic pigment usually used for a pigment dispersion resist. Examples of inorganic pigments include metal compounds such as metal oxides and metal complex salts. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony and other metal compounds. Oxides or mixed metal oxides may be mentioned. Specific examples of organic pigments and inorganic pigments include compounds classified as Pigment in the Color Index (published by The Society of Dyers and Colorists). More specifically, pigments having the following color index (C.I.) numbers may be mentioned, but the invention is not limited thereto.

C.I.ピグメントイエロー20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173および180;
C.I.ピグメントオレンジ13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65および71;
C.I.ピグメントレッド9、97、105、122、123、144、149、166、168、176、177、180、192、215、216、224、242、254、255および、264;
C.I.ピグメントバイオレット14、19、23、29、32、33、36、37および38;
C.I.ピグメントブルー15(15:3、15:4、15:6など)、21、28、60、64および76;
C.I.ピグメントグリーン7、10、15、25、36および47;
C.I.ピグメントブラウン28;
C.I.ピグメントブラック1および7など。
C. I. Pigment Yellow 20, 24, 31, 53, 83, 86, 93, 94, 109, 110, 117, 125, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 153, 154, 166, 173 and 180;
C. I. Pigment orange 13, 31, 36, 38, 40, 42, 43, 51, 55, 59, 61, 64, 65 and 71;
C. I. Pigment red 9, 97, 105, 122, 123, 144, 149, 166, 168, 176, 177, 180, 192, 215, 216, 224, 242, 254, 255, and 264;
C. I. Pigment violet 14, 19, 23, 29, 32, 33, 36, 37 and 38;
C. I. Pigment blue 15 (15: 3, 15: 4, 15: 6, etc.), 21, 28, 60, 64 and 76;
C. I. Pigment green 7, 10, 15, 25, 36 and 47;
C. I. Pigment brown 28;
C. I. Pigment Black 1 and 7, etc.

これらの着色材料(D)は、それぞれ単独で、または2種以上組み合わせて用いることができる。着色材料(D)は、着色感光性樹脂組成物中の全固形分量を基準に、通常3〜60質量%、好ましくは5〜55質量%の範囲で用いられる。着色材料(D)の含有量が、前記の基準で5〜60質量%の範囲であると、薄膜を形成しても画素の色濃度が十分であり、現像時に非画素部の抜け性が低下することがないため、残渣が発生しにくい傾向があり、好ましい。   These coloring materials (D) can be used alone or in combination of two or more. The coloring material (D) is usually used in the range of 3 to 60% by mass, preferably 5 to 55% by mass, based on the total solid content in the colored photosensitive resin composition. When the content of the coloring material (D) is in the range of 5 to 60% by mass based on the above criteria, the color density of the pixel is sufficient even when a thin film is formed, and the non-pixel portion omission is reduced during development. Therefore, there is a tendency that a residue is hardly generated, which is preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物は溶剤(E)を含む。前記の溶剤(E)は、着色感光性樹脂組成物の分野で用いられている各種の有機溶剤であることができる。その具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテルおよびエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類;
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテルおよびジエチレングリコールジブチルエーテルのようなジエチレングリコールジアルキルエーテル類;
メチルセロソルブアセテートおよびエチルセロソルブアセテートのようなエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテートおよびメトキシペンチルアセテートのようなアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;
ベンゼン、トルエン、キシレンおよびメシチレンのような芳香族炭化水素類;
メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトンおよびシクロヘキサノンのようなケトン類;
エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコールおよびグリセリンのようなアルコール類;
3−エトキシプロピオン酸エチルおよび3−メトキシプロピオン酸メチルのようなエステル類;
γ−ブチロラクトンのような環状エステル類などが挙げられる。
上記の溶剤のうち、塗布性、乾燥性の点から、好ましくは上記溶剤の中で沸点が100℃〜200℃の有機溶剤が挙げられ、より好ましくは、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ケトン類3−エトキシプロピオン酸エチルおよび3−メトキシプロピオン酸メチルのようなエステル類が挙げられ、とりわけ好ましくは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、3−エトキシプロピオン酸エチルおよび3−メトキシプロピオン酸メチルが挙げられる。
これらの溶剤(E)は、それぞれ単独で、または2種類以上混合して用いることができる。
本発明の着色感光性樹脂組成物における溶剤(E)の含有量は、それを含む着色感光性樹脂組成物全体の量に対して、質量分率で、通常60〜90質量%、好ましくは70〜85質量%である。溶剤(E)の含有量が、前記の基準で60〜90質量%の範囲であると、ロールコーター、スピンコーター、スリット&スピンコーター、スリットコーター(ダイコーターとも呼ばれることがある。)、インクジェットなどの塗布装置で塗布したときに塗布性が良好になる傾向があり、好ましい。
The colored photosensitive resin composition of the present invention contains a solvent (E). The solvent (E) can be various organic solvents used in the field of colored photosensitive resin compositions. Specific examples thereof include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether and ethylene glycol monobutyl ether;
Diethylene glycol dialkyl ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether and diethylene glycol dibutyl ether;
Ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate;
Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate and methoxypentyl acetate;
Aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene and mesitylene;
Ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone;
Alcohols such as ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol and glycerin;
Esters such as ethyl 3-ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate;
and cyclic esters such as γ-butyrolactone.
Among the above-mentioned solvents, organic solvents having a boiling point of 100 ° C. to 200 ° C. are preferable among the above solvents from the viewpoint of coating properties and drying properties, and more preferable are alkylene glycol alkyl ether acetates and ketones 3 -Esters such as ethyl ethoxypropionate and methyl 3-methoxypropionate, particularly preferably propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, ethyl 3-ethoxypropionate and 3-methoxy And methyl propionate.
These solvents (E) can be used alone or in admixture of two or more.
Content of the solvent (E) in the colored photosensitive resin composition of this invention is a mass fraction with respect to the quantity of the whole colored photosensitive resin composition containing it, and is 60-90 mass% normally, Preferably it is 70. It is -85 mass%. When the content of the solvent (E) is in the range of 60 to 90% by mass based on the above criteria, a roll coater, a spin coater, a slit & spin coater, a slit coater (sometimes called a die coater), an ink jet, and the like. The coating property tends to be good when applied with the above-described coating apparatus, which is preferable.

本発明の着色感光性樹脂組成物には、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、顔料分散剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止材などの添加剤(F)を併用することもできる。
充填剤として具体的には、ガラス、シリカ、アルミナなどが例示される。
他の高分子化合物として具体的には、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂などの硬化性樹脂やポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂などを用いることができる。
顔料分散剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、それぞれ単独でまたは2種以上を組み合わせて用いられる。前記の界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でKP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素(株)製)などが挙げられる。
密着促進剤として具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
酸化防止剤として具体的には、2,2′−チオビス(4−メチル−6−tert−ブチルフェノール)、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノールなどが挙げられる。
紫外線吸収剤として具体的には、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げられる。
また凝集剤として具体的には、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
In the colored photosensitive resin composition of the present invention, if necessary, additives such as fillers, other polymer compounds, pigment dispersants, adhesion promoters, antioxidants, ultraviolet absorbers, anti-aggregation materials ( F) can also be used in combination.
Specific examples of the filler include glass, silica, and alumina.
Specific examples of other polymer compounds include curable resins such as epoxy resins and maleimide resins, and thermoplastic resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, polyester, and polyurethane. Can be used.
Commercially available surfactants can be used as the pigment dispersant, and examples include silicone-based, fluorine-based, ester-based, cationic-based, anionic-based, nonionic-based, and amphoteric surfactants. Or a combination of two or more. Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, and polyethyleneimines. In addition, KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoei Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products), MegaFuck (manufactured by Dainippon Ink & Chemicals, Inc.) ), FLORARD (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Geneca Corporation), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS), PB821 (manufactured by Ajinomoto Co., Inc.) ) And the like.
Specific examples of the adhesion promoter include vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2- Aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) Examples include ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane.
Specific examples of the antioxidant include 2,2′-thiobis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2,6-di-tert-butyl-4-methylphenol, and the like.
Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone.
Specific examples of the flocculant include sodium polyacrylate.

本発明の着色感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして調製することができる。すなわち、着色材料(D)を予め溶剤(E)と混合し、着色材料の平均粒子径が0.2μm以下程度となるまで、ビーズミルなどを用いて分散させる。この際、必要に応じて顔料分散剤が使用され、またバインダー樹脂(A)の一部または全部が配合されることもある。得られた分散液(以下、ミルベースということがある。)に、バインダー樹脂(A)の残り、光重合性化合物(B)および光重合開始剤(C)、必要に応じて使用されるその他の成分、さらには必要により追加の溶剤を、所定の濃度となるように添加し、目的の着色感光性樹脂組成物を得る。   The colored photosensitive resin composition of the present invention can be prepared, for example, as follows. That is, the coloring material (D) is preliminarily mixed with the solvent (E) and dispersed using a bead mill or the like until the average particle diameter of the coloring material is about 0.2 μm or less. At this time, a pigment dispersant is used as necessary, and a part or all of the binder resin (A) may be blended. In the obtained dispersion (hereinafter sometimes referred to as mill base), the remainder of the binder resin (A), the photopolymerizable compound (B) and the photopolymerization initiator (C), and other used as necessary Components and, if necessary, an additional solvent are added so as to have a predetermined concentration to obtain a desired colored photosensitive resin composition.

こうして調製された感光性樹脂組成物は、例えば、以下のようにして基材上に塗布し、光硬化および現像を行って、ブラックマトリックスまたは着色画像とすることができる。まず、この組成物を基板(通常はガラス)または先に形成された着色感光性樹脂組成物の固形分からなる層の上に塗布し、塗布された着色感光性樹脂組成物層からプリベークすることにより溶剤などの揮発成分を除去して、平滑な塗膜を得る。このときの塗膜の厚さは、およそ1〜3μm程度である。このようにして得られた塗膜に、目的のブラックマトリックスまたは画像を形成するためのマスクを介して紫外線を照射する。この際、露光部全体に均一に平行光線が照射され、かつマスクと基板の正確な位置合わせが行われるよう、マスクアライナーやステッパーなどの装置を使用するのが好ましい。さらにこの後、硬化の終了した塗膜をアルカリ水溶液に接触させて非露光部を溶解させ、現像することにより、目的とするブラックマトリックスまたは画像が得られる。現像後、必要に応じて150〜230℃で10〜60分程度のポストベークを施すこともできる。   The photosensitive resin composition thus prepared can be applied on a substrate as described below, and photocured and developed to form a black matrix or a colored image. First, this composition is applied on a substrate (usually glass) or a layer made of a solid content of a previously formed colored photosensitive resin composition, and prebaked from the applied colored photosensitive resin composition layer. Volatile components such as solvents are removed to obtain a smooth coating film. At this time, the thickness of the coating film is about 1 to 3 μm. The coating film thus obtained is irradiated with ultraviolet rays through a target black matrix or a mask for forming an image. At this time, it is preferable to use an apparatus such as a mask aligner or a stepper so that the entire exposed portion is uniformly irradiated with parallel light rays and the mask and the substrate are accurately aligned. Further, after that, the cured coating film is brought into contact with an alkaline aqueous solution to dissolve the non-exposed portion and developed to obtain the intended black matrix or image. After development, post-baking can be performed at 150 to 230 ° C. for about 10 to 60 minutes as necessary.

パターニング露光後の現像に使用する現像液は、通常、アルカリ性化合物と界面活性剤を含む水溶液である。
アルカリ性化合物は、無機および有機のアルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、燐酸水素二ナトリウム、燐酸二水素ナトリウム、燐酸水素二アンモニウム、燐酸二水素アンモニウム、燐酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニアなどが挙げられる。
また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミンなどが挙げられる。これらの無機および有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独でまたは2種以上組み合わせて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の好ましい濃度は、0.01〜10質量%の範囲であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。
The developer used for development after patterning exposure is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant.
The alkaline compound may be either an inorganic or organic alkaline compound. Specific examples of the inorganic alkaline compound include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate, potassium silicate, Examples thereof include sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate, and ammonia.
Specific examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropylamine, and ethanolamine. Etc. These inorganic and organic alkaline compounds can be used alone or in combination of two or more. The preferable concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is in the range of 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass.

またアルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤またはカチオン系界面活性剤のいずれでもよい。
ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロックコポリマー、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミンなどが挙げられる。
アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウムのような高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウムのようなアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウムのようなアルキルアリールスルホン酸塩類などが挙げられる。
カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロライドのようなアミン塩または第四級アンモニウム塩などが挙げられる。
これらの界面活性剤は、それぞれ単独で用いることも、また2種以上組み合わせて用いることもできる。
アルカリ現像液中の界面活性剤の濃度は、通常0.01〜10質量%の範囲、好ましくは0.05〜8質量%、より好ましくは0.1〜5質量%である。
The surfactant in the alkaline developer may be any of a nonionic surfactant, an anionic surfactant, or a cationic surfactant.
Specific examples of nonionic surfactants include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene Examples thereof include oxyethylene sorbitan fatty acid ester, polyoxyethylene sorbitol fatty acid ester, glycerin fatty acid ester, polyoxyethylene fatty acid ester, and polyoxyethylene alkylamine.
Specific examples of anionic surfactants include higher alcohol sulfate salts such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, And alkyl aryl sulfonates such as sodium dodecyl naphthalene sulfonate.
Specific examples of the cationic surfactant include amine salts or quaternary ammonium salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride.
These surfactants can be used alone or in combination of two or more.
The concentration of the surfactant in the alkali developer is usually in the range of 0.01 to 10% by mass, preferably 0.05 to 8% by mass, and more preferably 0.1 to 5% by mass.

以上のような感光性樹脂液の塗布、乾燥、得られる乾燥塗膜へのパターニング露光、そして現像という各操作を経て、感光性樹脂組成物中の着色材料の色に相当する画素またはブラックマトリックスが得られ、さらにこれらの操作を、カラーフィルタに必要とされる色の数だけ繰り返すことにより、カラーフィルタが得られる。すなわち、カラーフィルタは通常、ブラックマトリックス並びに、赤、緑および青の三原色画素を基板上に配置したものであるが、ある色に相当する着色材料を含む本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて上記の操作を行うことにより、その色のブラックマトリックスまたは画素を得、他の色についても所望の色に相当する着色材料を含む本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて同様の操作を行い、ブラックマトリックスおよび三原色画素を基板上に配置することができる。もちろん、ブラックマトリックスおよび三原色のうちいずれか一色、二色または三色にのみ、本発明の感光性樹脂組成物を適用することも可能である。なお、遮光層であるブラックマトリックスは、例えば、クロム層などで形成されることもあるので、この場合にはもちろん、ブラックマトリックスの形成に本発明の着色感光性樹脂組成物を用いる必要はない。   The pixel or black matrix corresponding to the color of the coloring material in the photosensitive resin composition is obtained through the operations such as application of the photosensitive resin liquid, drying, patterning exposure to the resulting dried coating film, and development. Further, by repeating these operations for the number of colors required for the color filter, a color filter is obtained. That is, the color filter is usually a black matrix and pixels of three primary colors of red, green and blue arranged on the substrate, but the colored photosensitive resin composition of the present invention containing a coloring material corresponding to a certain color is used. By performing the above operation, a black matrix or pixel of that color is obtained, and the same operation is performed using the colored photosensitive resin composition of the present invention containing a coloring material corresponding to the desired color for the other colors. Yes, a black matrix and three primary color pixels can be placed on the substrate. Of course, it is also possible to apply the photosensitive resin composition of the present invention to only one, two or three of the black matrix and the three primary colors. In addition, since the black matrix which is a light shielding layer may be formed, for example by a chromium layer etc., in this case, of course, it is not necessary to use the coloring photosensitive resin composition of this invention for formation of a black matrix.

そして、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて製造されたカラーフィルタは、面内の膜厚差が小さく、例えば1〜3μmの膜厚で、面内膜厚差を0.15μm以下、さらには0.05μm以下とすることができる。したがって、こうして得られるカラーフィルタは、平滑性に優れたものであり、またこれをカラー液晶表示装置に組み込むことにより、優れた品質の液晶表示装置を高い歩留りで製造することができる。   And the color filter manufactured using the colored photosensitive resin composition of the present invention has a small in-plane film thickness difference, for example, a film thickness of 1 to 3 μm and an in-plane film thickness difference of 0.15 μm or less, Furthermore, it can be 0.05 μm or less. Therefore, the color filter obtained in this way is excellent in smoothness, and an excellent quality liquid crystal display device can be manufactured with a high yield by incorporating it into the color liquid crystal display device.

上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。例中、含有量ないし使用量を表す%および部は、特に断らないかぎり質量基準である。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, and includes the meaning equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope. EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention in detail, this invention is not limited by these Examples. In the examples, “%” and “part” representing the content or amount used are based on mass unless otherwise specified.

<樹脂Aの合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート182gを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、100℃に昇温後、ベンジルメタクリレート70.5g(0.40モル)、メタクリル酸43.0g(0.5モル)、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート(日立化成(株)製FA−513M)22.0g(0.10モル)およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート136gからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル3.6gを添加した溶液を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに100℃で5時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、グリシジルメタクリレート35.5g[0.25モル、(本反応に用いたメタクリル酸のカルボキシル基に対して50モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9gおよびハイドロキノン0.145gをフラスコ内に投入し、110℃で6時間反応を続け、固形分酸価が79mgKOH/gの樹脂Aを得た。GPCにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は13,000で、分子量分布(Mw/Mn)は2.1であった。
<樹脂Bの合成>
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよび窒素導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート333gを導入し、フラスコ内雰囲気を空気から窒素にした後、100℃に昇温後、ベンジルメタクリレート70.5g(0.40モル)、グリシジルメタクリレート71.1g(0.50モル)、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート(日立化成(株)製FA−513M)22.0g(0.10モル)および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート164gからなる混合物にアゾビスイソブチロニトリル3.6gを添加した溶液を滴下ロートから2時間かけてフラスコに滴下し、さらに100℃で5時間撹拌し続けた。次に、フラスコ内雰囲気を窒素から空気にし、メタクリル酸43.0g[0.5モル、(本反応に用いたグリシジルメタクリレートのグリシジル基に対して100モル%)]、トリスジメチルアミノメチルフェノール0.9gおよびハイドロキノン0.145gをフラスコ内に投入し、110℃で6時間反応を続け固形分酸価が1mgKOH/gとなったところで反応を終了した。次に、テトラヒドロフタル無水フタル酸60.9g(0.40モル)、トリエチルアミン0.8gを加え、120℃で3.5時間反応させ固形分酸価80mgKOH/gの樹脂Bを得た。GPCにより測定したポリスチレン換算の重量平均分子量は12,000で、分子量分布(Mw/Mn)は2.1であった。
<Synthesis of Resin A>
After introducing 182 g of propylene glycol monomethyl ether acetate into a flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introduction tube, and changing the atmosphere in the flask from air to nitrogen, the temperature was raised to 100 ° C., 70.5 g (0.40 mol) of benzyl methacrylate, 43.0 g (0.5 mol) of methacrylic acid, 22.0 g (0.10 mol) of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) ) And propylene glycol monomethyl ether acetate (136 g) in a solution obtained by adding 3.6 g of azobisisobutyronitrile to the flask from the dropping funnel over 2 hours, and further stirring at 100 ° C. for 5 hours. Next, the atmosphere in the flask was changed from nitrogen to air, and 35.5 g of glycidyl methacrylate [0.25 mol, (50 mol% with respect to the carboxyl group of methacrylic acid used in this reaction)], trisdimethylaminomethylphenol, 0.5%. 9 g and 0.145 g of hydroquinone were charged into the flask, and the reaction was continued at 110 ° C. for 6 hours to obtain a resin A having a solid content acid value of 79 mgKOH / g. The weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC was 13,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.1.
<Synthesis of Resin B>
After introducing 333 g of propylene glycol monomethyl ether acetate into a flask equipped with a stirrer, a thermometer, a reflux condenser, a dropping funnel and a nitrogen introducing tube, and changing the atmosphere in the flask from air to nitrogen, the temperature was raised to 100 ° C., 70.5 g (0.40 mol) of benzyl methacrylate, 71.1 g (0.50 mol) of glycidyl methacrylate, 22.0 g (0.10 mol) of monomethacrylate having a tricyclodecane skeleton (FA-513M manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) ) And 3.6 g of azobisisobutyronitrile added to a mixture of 164 g of propylene glycol monomethyl ether acetate was added dropwise to the flask from the dropping funnel over 2 hours, and stirring was continued at 100 ° C. for 5 hours. Next, the atmosphere in the flask was changed from nitrogen to air, 43.0 g of methacrylic acid [0.5 mol, (100 mol% with respect to the glycidyl group of glycidyl methacrylate used in this reaction)], trisdimethylaminomethylphenol,. 9 g and 0.145 g of hydroquinone were charged into the flask, and the reaction was continued at 110 ° C. for 6 hours. When the solid content acid value reached 1 mgKOH / g, the reaction was terminated. Next, 60.9 g (0.40 mol) of tetrahydrophthalic anhydride and 0.8 g of triethylamine were added and reacted at 120 ° C. for 3.5 hours to obtain a resin B having a solid content acid value of 80 mgKOH / g. The weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by GPC was 12,000, and the molecular weight distribution (Mw / Mn) was 2.1.

上記のバインダーポリマーの重量平均分子量(Mw)および数平均分子量(Mn)の測定については、GPC法を用いて、以下の条件で行なった。
装置;HLC-8120GPC(東ソー(株)製)
カラム;TSK−GELG4000HXL+TSK−GELG2000HXL(直列接続)
カラム温度;40℃
移動相溶媒;テトラヒドロフラン
流速;1.0ml/min
注入量;50μl
検出器;RI
測定試料濃度;0.6質量%(溶媒;テトラヒドロフラン)
校正用標準物質;TSK STANDARD POLYSTYRENE F−40、F−4、F−1、A−2500、A−500(東ソー(株)製)
上記で得られた重量平均分子量および数平均分子量の比を分子量分布(Mw/Mn)とした。
The weight average molecular weight (Mw) and the number average molecular weight (Mn) of the binder polymer were measured using the GPC method under the following conditions.
Equipment: HLC-8120GPC (manufactured by Tosoh Corporation)
Column; TSK-GELG4000HXL + TSK-GELG2000HXL (series connection)
Column temperature: 40 ° C
Mobile phase solvent; tetrahydrofuran flow rate; 1.0 ml / min
Injection volume: 50 μl
Detector; RI
Measurement sample concentration: 0.6% by mass (solvent: tetrahydrofuran)
Standard material for calibration; TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40, F-4, F-1, A-2500, A-500 (manufactured by Tosoh Corporation)
The ratio of the weight average molecular weight and the number average molecular weight obtained above was defined as molecular weight distribution (Mw / Mn).

実施例1
下記表1に記載された各成分のうち、予め着色材料(D)である顔料および添加剤(F)である顔料分散剤の合計量が、顔料、顔料分散剤およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートとの混合物に対して、20質量%となるように混合し、ビーズミルを用いて顔料を十分に分散させた後、ビーズミルを分離し、さらにプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートの残量を含む残りの成分を加えて混合し、着色感光性樹脂組成物得た。
Example 1
Among the components described in Table 1 below, the total amount of the pigment as the coloring material (D) and the pigment dispersant as the additive (F) is the same as that of the pigment, the pigment dispersant, and propylene glycol monomethyl ether acetate. After mixing the mixture to 20% by mass and sufficiently dispersing the pigment using a bead mill, the bead mill is separated, and the remaining components including the remaining amount of propylene glycol monomethyl ether acetate are added. By mixing, a colored photosensitive resin composition was obtained.

Figure 0004534697
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2インチ角のガラス基板(コーニング社製、#1737)を、中性洗剤、水およびアルコールで順次洗浄してから乾燥した。このガラス基板上に、前記の着色感光性樹脂組成物(表1)を、100mJ/cmの露光量(365nm)で露光し、現像工程を省略したときのポストベーク後の膜厚が1.9μmになるようにスピンコートし、次にクリーンオーブン中、100℃で3分間プリベークした。冷却後、この着色感光性樹脂組成物を塗布した基板と石英ガラス製フォトマスク(透過率を1〜100%の範囲で階段状に変化させるパターンと1μmから50μmまでのライン/スペースパターンとを有する。)との間隔を100μmとし、ウシオ電機(株)製の超高圧水銀ランプ(商品名;USH−250D)を用いて大気雰囲気下、100mJ/cmの露光量(365nm)で光照射した。その後、非イオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.06%を含む水系現像液に上記塗膜を26℃で所定時間浸漬して現像し、水洗後、220℃で30分間ポストベークを行った。得られた画素部には表面荒れが見られなかった。また、非画素部には基板上に現像残渣が発生しなかった。そして、現像しても表面荒れがないパターンを形成するために必要な最低必要露光量は15mJ/cmであった。 A 2-inch square glass substrate (manufactured by Corning, # 1737) was sequentially washed with a neutral detergent, water and alcohol and then dried. On this glass substrate, the colored photosensitive resin composition (Table 1) is exposed at an exposure amount (365 nm) of 100 mJ / cm 2 , and the film thickness after post-baking when the developing step is omitted is 1. It spin-coated so that it might become 9 micrometers, and it prebaked for 3 minutes at 100 degreeC then in clean oven. After cooling, a substrate coated with the colored photosensitive resin composition and a quartz glass photomask (having a pattern that changes the transmittance stepwise in the range of 1 to 100% and a line / space pattern from 1 μm to 50 μm )) Was set to 100 μm, and irradiation was performed using an ultrahigh pressure mercury lamp (trade name; USH-250D) manufactured by Ushio Electric Co., Ltd. in an air atmosphere at an exposure amount (365 nm) of 100 mJ / cm 2 . Thereafter, the coating film is immersed in an aqueous developer containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.06% of potassium hydroxide at 26 ° C. for a predetermined time, developed, washed with water, and post-treated at 220 ° C. for 30 minutes. Bake was done. No surface roughness was observed in the obtained pixel portion. Further, no development residue was generated on the substrate in the non-pixel portion. And the minimum required exposure amount required in order to form a pattern without surface roughness even if it developed was 15 mJ / cm < 2 >.

実施例2
実施例1において、Irgacure−369を、下記のオキシム系開始剤に変更する以外は、実施例1と同様の操作を行い、評価の結果を表2に示した。
Example 2
In Example 1, except that Irgacure-369 was changed to the following oxime initiator, the same operation as in Example 1 was performed, and the evaluation results are shown in Table 2.

Figure 0004534697
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比較例1
実施例1において、樹脂Aを樹脂Bに変更する以外は、実施例1と同様の操作を行った。評価の結果を表2に示す。
Comparative Example 1
In Example 1, the same operation as in Example 1 was performed except that the resin A was changed to the resin B. The evaluation results are shown in Table 2.

Figure 0004534697
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表中の注釈の説明
*1:現像しても表面荒れがないパターンを形成するために必要な最低必要露光量を示す。
*2:○;基板上現像残渣なし、×;基板上現像残渣あり
*3:画素端部の断面形状を、SEMを用いて観察した。○;順テーパー状、×;逆テーパー状
*4:フォトマスクを使用しない以外は、実施例と同様にして硬化塗膜を作製した。鉛筆硬度の測定は、JIS K5600−5−4に従った。
Explanation of annotations in the table * 1: Indicates the minimum necessary exposure amount necessary to form a pattern having no surface roughness even after development.
* 2: ○: No development residue on substrate, ×: Development residue on substrate * 3: The cross-sectional shape of the pixel end was observed using SEM. ○: Forward taper shape, ×: Reverse taper shape * 4: A cured coating film was prepared in the same manner as in Example except that a photomask was not used. The pencil hardness was measured according to JIS K5600-5-4.

表2から、本発明の不飽和基含有バインダー樹脂を含む実施例1および2の感光性樹脂組成物は高感度で現像残渣も少なく、さらに得られた画素の鉛筆硬度が高く、高品質なカラーフィルタが得られることがわかるが、本発明の不飽和基含有バインダー樹脂を含まない比較例1の着色感光性樹脂組成物では、現像残渣の発生がカラーフィルタの品質を低下させ、得られた画素の鉛筆硬度が低く、高品質なカラーフィルタを得ることができない。   From Table 2, the photosensitive resin compositions of Examples 1 and 2 containing the unsaturated group-containing binder resin of the present invention have high sensitivity and little development residue, and the resulting pixels have high pencil hardness and high quality color. It can be seen that a filter is obtained, but in the colored photosensitive resin composition of Comparative Example 1 that does not contain the unsaturated group-containing binder resin of the present invention, the occurrence of development residue reduces the quality of the color filter, and the obtained pixel The pencil hardness is low and a high quality color filter cannot be obtained.

本発明の着色感光性樹脂組成物によると、感度が高く、画素の硬度が高い、さらに現像残渣が少ない、高品質なカラーフィルタを得ることができる。   According to the colored photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to obtain a high-quality color filter having high sensitivity, high pixel hardness, and less development residue.

Claims (4)

バインダー樹脂(A)、
光重合性化合物(B)、
光重合開始剤(C)、
着色材料(D)および
溶剤(E)を含有する着色感光性樹脂組成物において、
バインダー樹脂(A)が、下記(A1)〜(A3)を共重合させて得られる共重合体に、さらに(A4)を反応させて得られる不飽和基含有樹脂であり、かつ(A1)〜(A3)のそれぞれから導かれる構成成分の比率が、当該構成成分の合計モル数に対してモル分率で、以下の範囲の共重合体に、さらに前記の共重合体に含有される(A3)に対して、(A4)を5〜80モル%反応させたバインダー樹脂であり、
かつ光重合開始剤(C)が、トリアジン化合物、アセトフェノン化合物、およびビイミダゾール化合物からなる群から選ばれる少なくとも一種の化合物であり、
かつ溶剤(E)の含有量が、着色感光性樹脂組成物全量に対して、60〜90質量%であり、
さらに、光重合開始助剤(C−1)を含有し、
光重合開始助剤(C−1)が、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸2−エチルヘキシル、安息香酸2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4′−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン及び4,4′−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンからなる群から選ばれる少なくとも一種であることを特徴とする着色感光性樹脂組成物。
(A1);一分子中にトリシクロデカン骨格と不飽和結合とを有する化合物;2〜30モル%
(A2);ベンジルメタクリレート;2〜95モル%
(A3);不飽和カルボン酸;2〜70モル%
(A4);一分子中に不飽和結合とエポキシ基とを有する化合物
Binder resin (A),
Photopolymerizable compound (B),
Photopolymerization initiator (C),
In the colored photosensitive resin composition containing the coloring material (D) and the solvent (E),
The binder resin (A) is an unsaturated group-containing resin obtained by further reacting (A4) with a copolymer obtained by copolymerizing the following (A1) to (A3), and (A1) to The ratio of the component derived from each of (A3) is a molar fraction with respect to the total number of moles of the component, and is contained in the copolymer in the following range and further in the copolymer (A3 ), A binder resin obtained by reacting 5 to 80 mol% of (A4),
And the photopolymerization initiator (C) is at least one compound selected from the group consisting of a triazine compound, an acetophenone compound, and a biimidazole compound,
And content of a solvent (E) is 60-90 mass% with respect to coloring photosensitive resin composition whole quantity,
Furthermore, it contains a photopolymerization initiation assistant (C-1),
Photopolymerization initiation aid (C-1) is methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-ethylhexyl 4-dimethylaminobenzoate, 2-benzoic acid 2- Coloring characterized by being at least one selected from the group consisting of dimethylaminoethyl, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone and 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone Photosensitive resin composition.
(A1); a compound having an unsaturated bond tricyclodecane bone skeleton in one molecule; 2-30 mole%
(A2); benzyl methacrylate; 2 to 95 mol%
(A3); unsaturated carboxylic acid; 2-70 mol%
(A4); Compound having an unsaturated bond and an epoxy group in one molecule
請求項1に記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されるパターン。   A pattern formed using the colored photosensitive resin composition according to claim 1. 請求項2に記載のパターンを含むカラーフィルタ。   A color filter comprising the pattern according to claim 2. 請求項3に記載のカラーフィルタを使用した液晶表示装置。   A liquid crystal display device using the color filter according to claim 3.
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