JPS5854337A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPS5854337A
JPS5854337A JP15440481A JP15440481A JPS5854337A JP S5854337 A JPS5854337 A JP S5854337A JP 15440481 A JP15440481 A JP 15440481A JP 15440481 A JP15440481 A JP 15440481A JP S5854337 A JPS5854337 A JP S5854337A
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JP
Japan
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polymer
photosensitive resin
resin composition
ethylenically unsaturated
methyl
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JP15440481A
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Kunio Yanagisawa
柳沢 邦夫
Katsumi Tashiro
田代 勝美
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Sekisui Chemical Co Ltd
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
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Abstract

PURPOSE:To obtain a photosensitive resin composition unrestrainable in photohardening reaction even when exposed in the air, by using a mixture of a specified polymer having ethylenically unsatd. bonds in the side chains, a photosensitizer, and when needed, a functional olygomer having a vinyl group in the end of the molecule. CONSTITUTION:A photosensitive resin composition contains (A) a polymer having ethylenically unsatd. bonds in the side chains, (B) a photo sensitizer such as benzoin, and when needed, (C) a multifunctional olygomer having a vinyl group in the end of the molecule, such as diethylene glycol diacrylate. The polymer (A) is obtained by adding an ethylenically unsatd. compd. contg. an oxilane ring to the carboxyl groups of a copolymer having as structural units unsatd. carboxylic acid and (meth)acrylate contg. a cyclic compd. of formulaIin which R1 is H or methyl; R2 is one of formula II-V; R3 is H or methyl; m is an integer of 0-6; when m is 1, n is 2-5, and when m is 2-6, n is 2.

Description

【発明の詳細な説明】 本尭明は光の作用で硬化する性質を有する感光性樹脂組
成物に関するものである。露光によりて薬品に不溶性の
硬膜を形成し得る物質は一般にツオトレジストと称され
、写真製版の分腎の他、印刷回路などの産業分野に利用
されている。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a photosensitive resin composition that has the property of being cured by the action of light. A substance that can form a hard film that is insoluble in chemicals when exposed to light is generally called a photoresist, and is used in industrial fields such as printed circuits as well as photolithography.

種々の感光性樹脂組成物のうちの多くは酸素の存在下て
は感光反応が抑制されるので1通常真空中又は不活性気
体中で光照射を行ったり、感光性樹脂層の上に酸素遮断
層を設けなければならないという煩わしさがあり、酸素
による影響が少なく大気中で光照射の可能な感光性樹脂
組成物が望まれていた。
The photosensitive reaction of many of the various photosensitive resin compositions is suppressed in the presence of oxygen. Since it is troublesome to have to provide a layer, there has been a desire for a photosensitive resin composition that is less affected by oxygen and can be irradiated with light in the atmosphere.

本発明は上記従来技術に鑑み、空中で露光しても光硬化
反応が抑制されな込新規な樹脂組成物を提供することを
目的とするもので、その要旨は、側鎖にエチレン性不飽
和結合t*rする重合体、光増感剤及び必要に19分子
末端にビニル基を含有する官能性オリゴマーが含!され
てなり、前記側鎖にエチレン性不飽和結合を有する重合
体が、 10 6の整数、nは次の関係を満足する整数である。
In view of the above-mentioned prior art, the present invention aims to provide a novel resin composition in which the photocuring reaction is not suppressed even when exposed to light in the air. Contains a polymer for binding t*r, a photosensitizer, and optionally a functional oligomer containing a vinyl group at the end of 19 molecules! The polymer having an ethylenically unsaturated bond in the side chain is an integer of 10 6 , and n is an integer that satisfies the following relationship.

am = 1のときl’l m = 2−6 、 m 
= 2〜flhのとき11mx!、)て示される環状不
飽和基を有するアクリル酸又はメタクリル酸のエステル
と不飽和カルボン酸とtsi*単位として有する共重合
体中のカルボキシル基にオキシフン環含有エチレン性不
飽和化合物が付加されたものであることt特徴とする感
光性樹脂組成物に存する。
When am = 1, l'l m = 2-6, m
= 11mx when 2~flh! ,) A copolymer containing an ester of acrylic acid or methacrylic acid having a cyclic unsaturated group, an unsaturated carboxylic acid, and a tsi* unit, in which an oxyphrine ring-containing ethylenically unsaturated compound is added to the carboxyl group. A photosensitive resin composition is characterized in that:

本発明において用いられる環状不飽和基を有するアクリ
ル酸又はメタクリル酸のエステルの内、環状不飽和基が
ジシクロベンテニw4前記一般式におけるmがOの場合
は、8191−1クリロキレトリシクロ(5,2,1,
0m−@)−4−デセン(これは8−1クリロキシトリ
シクロ(5、2、1、Oh・〕−〕4−デセと9−アク
リロキシトリシクロ(5、2,16gs、@)−−4−
デセンの両方を意味する。以下同じ、)、8(−)−メ
タクリロキシトリシクロ(1,!、IQl、・〕−〕4
−デセン貫用名、ジシクロペンテニルメタク・jレー)
)%8(91−アクリロキレトリシクロ(5,!、1.
O雪−6〕−2−メチルー4−デセン、8(91−アク
リロキシトリシクロ(s、z、i、om−・〕−〕3−
メチルー4−ダセン81@)−メタクリロキシトリシク
ロ〔5,2,1,611)−z−メチル−デセン、II
 till−メタクリロキシトリシフEl(5,2m1
.0s*・〕−〕3−メチルー4−デセンが挙げられる
Among the esters of acrylic acid or methacrylic acid having a cyclic unsaturated group used in the present invention, when the cyclic unsaturated group is dicyclobentenyelium w4 and m in the above general formula is O, 8191-1 chlorochlorotricyclo(5,2 ,1,
0m-@)-4-decene (this is 8-1 acryloxytricyclo(5,2,1,Oh・]-)4-dace and 9-acryloxytricyclo(5,2,16gs,@) --4-
Desen means both. Same hereafter), 8(-)-methacryloxytricyclo(1,!, IQl, .]-]4
−Decene general name, dicyclopentenylmethacryl)
)% 8 (91-acrylokiretricyclo(5,!, 1.
O snow-6]-2-methyl-4-decene, 8(91-acryloxytricyclo(s, z, i, om-・]-]-]3-
Methyl-4-dacene 81@)-methacryloxytricyclo[5,2,1,611)-z-methyl-decene, II
till-Methacryloxytricif El (5,2ml
.. 0s*.]-]3-methyl-4-decene.

父、前記一般式におけるmが10場合は、2−ジシクロ
ペンテノキシエチルアクリレート(クロペンテノキシエ
チルメタクリレート、2−リシクロペンテノキシプロビ
A/(メタ)アクリレート(これは2−ジシクロペンテ
ノキシプロピルアクリレートと2−ジシクロペンテノキ
シプロビルメタクリレートを意味する。以下同じ、、)
、3−ジシクロペンテノキシイソブチル(メタ)アクリ
レート、3−ジシクロペンテノキシネオベンチA/(メ
タ)アクリレート等が挙けられ、mがトIの場合は、ジ
エチレングリプール=七ノ=ジシクロペンテニルエーテ
ルアクリレート エチレングリコール=モノ=ジシクロベンテニルエーテ
〃メタクリレ−)、)11エチレングリコール=モノ=
ジシクロペンテニルエーテル(メタ)アクリレート、テ
トラエチレングリコール=七ノ=ジシクロペンテニルエ
ーテ&(メタ)アクリレート、ペンタエチレングリコー
ル=モノ=ジシクaペンテニル、(メタ)1クリレート
、へキデエチレングリコール=セノ=ジシクロペンテニ
ルエーテル(メタ)アクリレート等が挙げられる。
Father, when m in the above general formula is 10, 2-dicyclopentenoxyethyl acrylate (clopentenoxyethyl methacrylate, 2-dicyclopentenoxyprobi A/(meth)acrylate (this is 2-dicyclopentenoxyethyl methacrylate) Means pentenoxypropyl acrylate and 2-dicyclopentenoxypropyl methacrylate. The same applies hereinafter.)
, 3-dicyclopentenoxyisobutyl (meth)acrylate, 3-dicyclopentenoxyneobenchi A/(meth)acrylate, etc., and when m is tI, diethylene glycol = 7 no = dicyclopentenyl ether acrylate ethylene glycol = mono = dicyclobentenyl ether (methacrylate),) 11 ethylene glycol = mono =
Dicyclopentenyl ether (meth)acrylate, tetraethylene glycol 7-dicyclopentenyl ether & (meth)acrylate, pentaethylene glycol mono-dicyclopentenyl, (meth)1 acrylate, hexideethylene glycol seno- Examples include dicyclopentenyl ether (meth)acrylate.

更に前記一般式で表わされるエステルがaする環状不飽
和基としては、ジシクロペンテニルけられ、m=0の場
合の具体例としてH13141−7クリロキシー1−シ
クロペンテン%3(41−メタクリロキシ−1−シクロ
ペンテン、4(61−アクリロキシ−1−シクロヘキセ
ン、4+il−メタクリロキシ−1−シクロヘキセン、
5i61−1クリロキシピシクロ(2,2,1)−2−
へブテン、5(@l−メタクリロキシビシクロ〔2,2
,1)−2−ヘゲテン等が挙げられる。
Furthermore, the cyclic unsaturated group represented by a in the ester represented by the above general formula is dicyclopentenyl, and a specific example when m=0 is H13141-7cryloxy1-cyclopentene%3(41-methacryloxy-1- cyclopentene, 4(61-acryloxy-1-cyclohexene, 4+il-methacryloxy-1-cyclohexene,
5i61-1 Chryloxypicyclo(2,2,1)-2-
hebutene, 5(@l-methacryloxybicyclo[2,2
, 1)-2-hegetene and the like.

しかしてこれらエステルのうち、上記環状不飽和基の有
する二重結合に基づくと思われる空気存在下での光硬化
性に優れる点、及び硬化した皮膜の強靭性に優れる点で
8 (91−アクリロキレトリシクロ(5,2,1,0
”I・〕−〕4−ダセンS (S)−メタクリロキシト
リシクロ(5,2,1,0s・・〕−〕4−デセン2−
ジシクロペンテノキシエチル(メタ)アクリレートが特
に好適に用いられる。
Among these esters, 8 (91-acrylic lokiretricyclo(5,2,1,0
"I・]-]4-daceneS (S)-methacryloxytricyclo(5,2,1,0s...]-]4-decene2-
Dicyclopentenoxyethyl (meth)acrylate is particularly preferably used.

前記一般式におけるmが1〜6のエステルは一般に、)
Q/りKl(5,2,1,Olリ−3−デセンオール(
慣用名、ジシクロペンテニル、2.1.0  )メチル
−3−デセン−オール′2−メチルーシクロペンテン−
1−オール、シクロヘキセン−1−オーに12−メチル
シクロへキャン−l−オール、ビシクロ(2,2,1)
−2−へブテンオール、ビシクロ(2,2,1)−3−
メチル−2−ヘプテンオール等のアルコールに、エチレ
ンオキシドやプロピレンオキシド等を反応させて得られ
良生成物に、更に(メタ)アクリル酸を反応させてエス
テル化する方法により製造される。
In general, the ester in which m is 1 to 6 in the above general formula is
Q/ri-Kl(5,2,1,Ol-3-decenol(
Common name, dicyclopentenyl, 2.1.0) Methyl-3-decen-ol'2-methyl-cyclopenten-
1-ol, cyclohexene-1-o, 12-methylcyclohecan-l-ol, bicyclo(2,2,1)
-2-hebutenol, bicyclo(2,2,1)-3-
It is produced by a method in which a good product obtained by reacting an alcohol such as methyl-2-heptenol with ethylene oxide, propylene oxide, etc. is further reacted with (meth)acrylic acid to esterify it.

本発明において用いる上記一般式で示されるエステルと
不飽和カルボン酸とt**単位として何する共重合体(
以下ペースポリマーという)は上記一般式で示されるエ
ステルt−3〜50重量%(以下、%は1量%を示すも
のとする。)の範囲て含有するのが好適である。396
より少いと、得られる感光性樹脂組成物が露光の際空中
の酸素の影響を受けて感光反応が抑制され易くなり、5
0%を越えると側鎖にエチレン性不飽和結合を有する重
合体の合成時にゲル化し易(又該エチレン性不飽和結合
【IIする重合体と他の必要に応じて加えられる曝@惨
成分との相客性が悪くなる傾向にある。
A copolymer of an ester represented by the above general formula, an unsaturated carboxylic acid, and a t** unit (
It is preferable that the ester (hereinafter referred to as a pace polymer) is contained in a range of 3 to 50% by weight (hereinafter, % indicates 1% by weight) of the ester represented by the above general formula. 396
If the amount is less, the resulting photosensitive resin composition will be affected by oxygen in the air during exposure, and the photosensitive reaction will be more likely to be suppressed.
If it exceeds 0%, it is easy to gel during the synthesis of a polymer having ethylenically unsaturated bonds in the side chain (also, when the polymer having the ethylenically unsaturated bonds and other exposure ingredients added as necessary) There is a tendency for customer friendliness to deteriorate.

また上記一般式で示されるエステルと共重合させる不飽
和カルボン酸には多価カルボン酸の無水物やモノアルキ
ルエステルも含まれ、その具体例としては(メタ)アク
リル酸、イタコン酸、りU事ン酸、マレイン酸、フマル
酸、ビニル酢酸、無水イタコン酸、無水マレイン酸、マ
レイン酸又はフマル酸のモノメチルエステル、モノエチ
ルエステル、モノプロピルエステル、モツプチルエステ
ル等が挙げられ、これら社単独で又は適宜混合して用い
られる。ペースポリマー中の不飽和カルボン酸が多過ぎ
ると該ポリマーの極性が著しく高くなりかつガラス転移
温度が上昇する良め、感光性樹脂組成物から形成される
皮膜がもろくなり、少な過ぎると充分な光菫合性を発現
しなくなるのて、ペースポリマーH上記不飽和カルボン
酸t*成単位として5〜5096の範囲で含有するのが
好適である。
In addition, the unsaturated carboxylic acids to be copolymerized with the ester represented by the above general formula include anhydrides and monoalkyl esters of polycarboxylic acids, and specific examples thereof include (meth)acrylic acid, itaconic acid, and polycarboxylic acid. monomethyl ester, monoethyl ester, monopropyl ester, motubutyl ester, etc. of maleic acid, maleic acid, fumaric acid, vinyl acetic acid, itaconic anhydride, maleic anhydride, maleic acid or fumaric acid, and these companies alone or They are used by appropriately mixing them. If the amount of unsaturated carboxylic acid in the pace polymer is too large, the polarity of the polymer will become extremely high and the glass transition temperature will rise, while the film formed from the photosensitive resin composition will become brittle. It is preferable that the unsaturated carboxylic acid t* component unit of the pace polymer H is contained in the range of 5 to 5096, since it does not exhibit the ability to merge.

又、ペースポリマーには可撓性の調節等のために他のラ
ジカル重合性単量体が共重合されていてもよく、その具
体例としてはアクリル酸メチル、アクリル酸エチル、ア
クリル酸n−プロピル、アクリル酸イングロビル、アク
リル酸n−グチル、アクリル酸第三ブチル、アクリル酸
n−へキシル、アクリル酸ガーオクチル、アクリルw1
(2−エチルへキシル)等のアクリル酸アルキルエステ
ル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタク
リル酸胞−プロビル。
In addition, other radically polymerizable monomers may be copolymerized with the pace polymer to adjust flexibility, and specific examples thereof include methyl acrylate, ethyl acrylate, and n-propyl acrylate. , inglovir acrylate, n-butyl acrylate, tert-butyl acrylate, n-hexyl acrylate, garoctyl acrylate, acrylic w1
Acrylic acid alkyl esters such as (2-ethylhexyl), methyl methacrylate, ethyl methacrylate, methacrylate-provil.

メタクリル酸イソプロピル、メタクリル酸型−グチル、
メタクリル酸第三グチル、メタクリル酸烏−ヘキシル、
メタクリル酸n−オクチル、メタクリル酸(2−エチル
ヘキシA/)等のメタクリル酸アルキルエステル、スチ
レン、α−メチルスチレン、ビニルトルエン幡のアルケ
ニルベンゼンの他酢酸ビニル、アクリロニトリル、メタ
クqロニトリル等が挙げられる。
Isopropyl methacrylate, goutyl methacrylate,
Tertiary glutyl methacrylate, utohexyl methacrylate,
Examples include methacrylic acid alkyl esters such as n-octyl methacrylate and methacrylic acid (2-ethylhexyA/), styrene, α-methylstyrene, alkenylbenzenes such as vinyltoluene, vinyl acetate, acrylonitrile, and methaqlonitrile.

上記ベースポリマーは従来公知の重合法によって得られ
るが、通常、溶液重合法が好適に用いられ、その際に使
用する有機溶剤の具体例としてはプロ/4ノール、メチ
ルセロソルブ、ブチルセロソルブ、ブチ〃セロソルプア
七テート、エチルカルピトール、アセトン、メチルエチ
ルグトン、酢酸エチル等が享げられこれらは単独て又は
適宜混合して用−られる。
The above base polymer can be obtained by a conventionally known polymerization method, but a solution polymerization method is usually suitably used. Specific examples of organic solvents used at that time include pro/4-nol, methyl cellosolve, butyl cellosolve, buty cellosolve. Heptatate, ethyl calpitol, acetone, methylethylgtone, ethyl acetate, etc. are available, and these can be used alone or in appropriate mixtures.

本発明において、上記ベースポリマー中のカルボキシル
基に付加されるオキシラン環含有エチレン性不飽和化合
物の好適な例としては、アク1371/酸グリシジル、
メタクリル酸グリシジル、アクリルグリシジルエーテル
、マレイン酸モノグリシジルのモノアルキルエステルな
どをあげることができる。
In the present invention, preferable examples of the oxirane ring-containing ethylenically unsaturated compound added to the carboxyl group in the base polymer include Aku1371/acid glycidyl,
Examples include glycidyl methacrylate, acrylic glycidyl ether, and monoalkyl ester of monoglycidyl maleate.

ベースポリマー中のカルボキシル基への仁れらオキシク
ン環含有化合物の付加反応は通常溶液中で行われ、その
溶媒としてはケトン類、エステル類、アルコール類、エ
ーテA/類等が用いられ、特に好適な例としては、炭素
数3〜Sのアルコールや該アルコ−A/を主成分とし他
に上記溶媒を含有する混合溶媒が挙げられる。又、反応
触媒としてはトリメチルペンジルアンモニクムハイドロ
オキサイド等が好適に用いられる。
The addition reaction of the oxykune ring-containing compound to the carboxyl group in the base polymer is usually carried out in a solution, and ketones, esters, alcohols, ether A/s, etc. are used as the solvent, and are particularly suitable. Examples include alcohols having 3 to S carbon atoms and mixed solvents containing the alcohol-A/ as a main component and the above-mentioned solvents. Moreover, trimethylpendylammonicum hydroxide or the like is preferably used as a reaction catalyst.

又、この反応を行うにあえり、オキシラン環含有エチレ
ン性不飽和化合物のビニル型付加重合を抑制するため、
ハイドロキノンのような重合禁止剤を反応系に存在させ
ておくのが好ましい。
In addition, in carrying out this reaction, in order to suppress vinyl type addition polymerization of the oxirane ring-containing ethylenically unsaturated compound,
Preferably, a polymerization inhibitor such as hydroquinone is present in the reaction system.

上記オキシラン環含有エチレン性不飽和化合物は、上記
反応によ1生成される側鎖にエチレン性不飽和結合tW
する重合体の感光速度、基材への密着性、アルカリ性水
溶液に容易に溶解し得る所謂アルカリ現像性及び皮膜の
強靭性峰の面から、ベースポリマー中のカルボキシル基
に対し好ましくはa03〜LO当量、特に好ましくFi
ax〜(L8当量付加されている。
The oxirane ring-containing ethylenically unsaturated compound has an ethylenically unsaturated bond tW in the side chain generated by the above reaction.
From the viewpoints of the photosensitive speed of the polymer, adhesion to the substrate, so-called alkali developability that can be easily dissolved in an alkaline aqueous solution, and the toughness peak of the film, it is preferable that the amount of a03 to LO equivalent to the carboxyl group in the base polymer is , particularly preferably Fi
ax~(L8 equivalent is added.

かくして得られた側鎖にエチレン性不飽和結合tWする
重合体の分子量は感光性組成物の用途により適宜決定さ
れるが、通常r、ooo 〜SOへ000の範囲、好ま
しくは1へ000〜10へ000の範囲とされる。
The molecular weight of the thus obtained polymer having an ethylenically unsaturated bond tW in the side chain is appropriately determined depending on the use of the photosensitive composition, but is usually in the range of r, ooo to SO, 000, preferably 1,000 to 10. The range is 000 to 000.

また光増感剤は、本発明組成物に活性光線が照射され九
ときに光励起によって光重合反応を容易に生起せしめる
役割を果すものであり、種々の、ものが使用されるが、
その代表的な例としては、2−エチルアントツキノン、
ベンゾイン、α−メチルベンツイン、α−アリルベンゾ
イン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロ
ピルエーテル、ベンゾイン−冨−メチルエーテル、アセ
トフェノン、ベンゾフェノン、?−プロ^ベンゾフェノ
ン、ジフェニルジスルフィド、ベンジル、ジアセチル、
硝酸クツニル等を挙げることが出来る。これらの光増感
剤はlIl或いFi2樵以上の混合VC歎いて使用する
ことが出来る。かかる光増感剤は感光性樹脂組成物全量
中aoox−io%の範囲で用い得る。添加量がa00
1%未満であるときは、光重合が極めて緩慢となる為実
用上不利であり、逆<1G96を超えるようなときは、
特に顕著な増感作用が期待し得るわけでもなく不経済と
なる。
In addition, the photosensitizer plays the role of easily causing a photopolymerization reaction by photoexcitation when the composition of the present invention is irradiated with actinic rays, and various types can be used.
Typical examples include 2-ethylanttotsuquinone,
Benzoin, α-methylbenzoin, α-allylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-rich methyl ether, acetophenone, benzophenone, ? -Pro^benzophenone, diphenyl disulfide, benzyl, diacetyl,
Examples include cutunyl nitrate. These photosensitizers can be used in mixed VCs of lIl or Fi2 or more. Such a photosensitizer may be used in an amount of aoox-io% in the total amount of the photosensitive resin composition. Addition amount is a00
When it is less than 1%, it is practically disadvantageous because photopolymerization becomes extremely slow, and when it exceeds 1G96,
A particularly remarkable sensitizing effect cannot be expected, and it is uneconomical.

本発明組成物の光硬化速度を高めるため必要に応じて用
−られる分子末端にビニル基を含有する多官能性オリゴ
マーとしては、ジエチレングリコールジアクリレート、
トリエチレングリg→ジアクリレート、テトラエチレン
グリコールジアクリレート、分子量zoo−sooのポ
リエチレングリコールのジアクリレート、ジエチレング
リコールジメタクリレート、テトラエチレングリコール
ジアクリレート、分子量200〜500のポリエチレン
グリコールのジメタクリレート、グリセリントリメタク
リレート、トリメチロールプロ、4ントリアクリレート
、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリ
スリトールテトラアクリレート、メチレンビX 7 l
 e)〜アミド、エチレンビスアクリルアミド、1伊6
−へキナンビスアクリルアミド、メチレンビスーメタク
q#アミド、エチレングリコールビスジアクリルカーボ
ネート、ジアクリル7タレート等の他、分子末端にイソ
シア゛ネ−)基tWするクレタンプレボリマーと一分子
中にビニル基及び活性水素を含有する化合物との反応物
、分子末端に工メキシ基を有するいわゆるエポキシ樹脂
とアクリル酸もしくはメタクリN酸との反応物等が挙げ
られ、特にペンタエリスリトールテトラアクリレート等
の官11!墓数の多い化合物が好適に用いられる。これ
らは単独で又は適宜組合せて好ましくは全組成物中に1
096以下の範囲で使用される。その理由は多官能性第
11ゴマ−の量が704を越えると得られた光硬化被膜
の強靭性が低下したり、空気中の酸素の影響が大きくな
る傾向があるからであるO 本発明組成物は、貯蔵安定性を向上させる為重合禁止剤
を含有しているのが好ましく、該禁止剤の例としては、
ベンゾキノン、2.s−ジフェニル−P−ベンゾキノン
、ハイドロキノン、ハイFoキノンモノメチルエーテル
、カテコール、β−す7トール、モノーtert−ブチ
ルハイドロキノン、ピロガロ−#◆従来公知のものを挙
げることができる。
Examples of the polyfunctional oligomer containing a vinyl group at the molecular end, which can be used as necessary to increase the photocuring speed of the composition of the present invention, include diethylene glycol diacrylate,
Triethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, diacrylate of polyethylene glycol with a molecular weight zoo-soo, diethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, dimethacrylate of polyethylene glycol with a molecular weight of 200 to 500, glycerin trimethacrylate, Trimethylolpro, 4-triacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, methylene bi-X 7 l
e) ~amide, ethylenebisacrylamide, 1ite6
In addition to -hequinane bisacrylamide, methylene bis-methacrylamide, ethylene glycol bis-diacryl carbonate, diacryl heptatalate, etc., cretan prepolymer having an isocyanate group at the end of the molecule and a vinyl group and a vinyl group in one molecule. Examples include reaction products with compounds containing active hydrogen, and reaction products of so-called epoxy resins having an engineered mexyl group at the end of the molecule with acrylic acid or methacrylic acid, and in particular, reaction products with compounds containing active hydrogen such as pentaerythritol tetraacrylate. Compounds with a large number of graves are preferably used. These may be used alone or in appropriate combinations, preferably 1% in the total composition.
Used in the range of 096 or less. The reason for this is that if the amount of polyfunctional 11th sesame exceeds 704, the toughness of the resulting photocured film tends to decrease and the influence of oxygen in the air tends to increase. The product preferably contains a polymerization inhibitor to improve storage stability, and examples of the inhibitor include:
Benzoquinone, 2. Examples include s-diphenyl-P-benzoquinone, hydroquinone, high Foquinone monomethyl ether, catechol, β-su7tol, mono-tert-butylhydroquinone, and pyrogallo-#◆ conventionally known ones.

史に本発明組成物は、必要に応じてシリカ微粉末等のレ
オaジー特性改質材、顔料、染料、充填剤、可塑剤等が
含有されていてもよく、使用の際は通常、上記側鎖にエ
チレン性不飽和結合t−有する重合体の溶液に光増感剤
、及び必要に応じよと多官能性オリゴマー、重合禁止剤
、可塑剤等を加え、得られた感光性樹脂組゛酸物の溶液
を基材に瞼布後乾燥する・ 仁の様にして得られた感光性樹脂層に対する線光は一般
に1800〜70GOAの波長を有する活性光線によっ
て行われ、その光源は光増感剤の種類により使い分けら
れるが、通常太陽光線、タングステン灯、炭素アーク灯
、水銀灯、なされ、上記特異な環状不飽和基を有するエ
ステルと不飽和カルボン酸とを含有する共重合体中の力
〃ホキシル基にオキシラン環含有エチレン性不飽和化合
物が付加された重合体と光増感剤とが含有されてなるの
で、酸素の存在下でも感光反応が大巾に抑制されること
がなく、従って空中で活性光線の照射を受ければ光イヒ
学的に架橋反応を生起して耐有機溶剤性、耐酸性、耐ブ
ルカ11性等の耐薬品性に優れた硬化物を与えるのであ
る。
The composition of the present invention may contain rheological property modifiers such as fine silica powder, pigments, dyes, fillers, plasticizers, etc., as necessary, and when used, the compositions mentioned above are usually added. A photosensitizer, and if necessary, a polyfunctional oligomer, a polymerization inhibitor, a plasticizer, etc. are added to a solution of a polymer having an ethylenically unsaturated bond in the side chain, resulting in a photosensitive resin composition. The acid solution is used as a base material, and the resulting photosensitive resin layer is dried using an active light source with a wavelength of 1800 to 70 GOA, and the light source is a photosensitizer. Depending on the type of agent, it is usually used in sunlight, tungsten lamps, carbon arc lamps, mercury lamps, etc. Since it contains a polymer in which an oxirane ring-containing ethylenically unsaturated compound is added to the base and a photosensitizer, the photosensitization reaction is not significantly suppressed even in the presence of oxygen, and therefore When irradiated with actinic rays, a crosslinking reaction occurs photochemically, resulting in a cured product with excellent chemical resistance such as organic solvent resistance, acid resistance, and Burka 11 resistance.

かくして本発明感光性樹脂組成物は、具体的には写真像
の形成、印刷板の作成、ネームプレートの作成、プリン
ト回路の作成、プラスチックス、紙、木材、金属の被覆
等の広汎な用途に於いて有利に用いられる。
Thus, the photosensitive resin composition of the present invention can be used in a wide range of applications, including forming photographic images, making printing plates, making name plates, making printed circuits, and coating plastics, paper, wood, and metals. It is advantageously used in

次に本発明を実施例を以て詳細に説明することにするが
、本発明はこれらにより限定されるものではない。
EXAMPLES Next, the present invention will be explained in detail with reference to Examples, but the present invention is not limited thereto.

参考例1 撹拌機、温度計、滴下ロート、冷却管及び窒素導入管を
備えた11セーラグルフラスコにイソプロピルアルコー
ル200ft仕込み、窒素気流中で80℃で、アゾビス
イソブチロニトリル10 ft溶解口た8(又は9)−
アクリロキシトリシクロ(5,2,1,0寓・・〕−〕
4−デセン20f、アクリル酸70fメチルメタクリレ
ート30f、スチレン&Of。
Reference Example 1 200 ft of isopropyl alcohol was charged into a No. 11 Seragle flask equipped with a stirrer, a thermometer, a dropping funnel, a cooling tube and a nitrogen inlet tube, and a 10 ft melting spout of azobisisobutyronitrile was charged at 80°C in a nitrogen stream. 8 (or 9) -
Acryloxytricyclo (5, 2, 1, 0...) -]
4-decene 20f, acrylic acid 70f methyl methacrylate 30f, styrene &Of.

ブチルアクリレ−) 20 y、アクリロエト1Jpv
 10 f t 2時間かけて滴下し、80℃で5時間
反応させた後85℃で2時間反応させてビニル共重合体
のインプロピルアルコール溶液を得た。
butyl acrylate) 20 y, acryloeth 1 Jpv
10 ft was added dropwise over 2 hours, reacted at 80°C for 5 hours, and then reacted at 85°C for 2 hours to obtain an inpropyl alcohol solution of a vinyl copolymer.

次にこのビニル八重合体溶液にf f JL/ −t’
 0イド(メタノールの40%溶液)itspt加え、
80℃に加温した後、ノ〜イドυキノンをQ6F溶解し
たグリシジルメタクリレート60ft1時間かけて滴下
し、80℃で6時間反応させて%−鎮にエチレン性不飽
和結合を有する重合体等液を得た。
Next, add f f JL/ -t' to this vinyl octapolymer solution.
0 id (40% solution in methanol) itspt added,
After heating to 80°C, noide υquinone was added dropwise to 60 ft of glycidyl methacrylate dissolved in Q6F over 1 hour, and reacted at 80°C for 6 hours to form a polymer solution having %-ethylenically unsaturated bonds. Obtained.

重量平均分子量は45,000であった。The weight average molecular weight was 45,000.

舅施例1 参考例1で得られた重合体温@205!とペンタエリス
リトールテトラアクリレート2F。
Example 1 Polymerization temperature obtained in Reference Example 1 @205! and pentaerythritol tetraacrylate 2F.

2−エチルアントラキノン(LaF3)1イドロキノン
α02f、メチルバイオレット(LO5を及びメチルエ
チルケトンxsyt混合し均一に溶解して感光性樹脂層
#Lを4九〇この感光性溶液を厚さ25声のポリエステ
ルフィルムに°塗布したのち乾燥して、感光性樹脂層の
厚さが25μのポリエステルフィルムを得九〇 次に、研磨処理後さらに希塩酸で衰向処理シタ銅栢1g
層したプリント記線函板に、前記感光層が膜性られたポ
リエステルフィルムを感光性樹脂層を介して積層した。
2-ethyl anthraquinone (LaF3), 1-hydroquinone α02f, methyl violet (LO5) and methyl ethyl ketone xsyt were mixed and dissolved uniformly to form a photosensitive resin layer #L. This photosensitive solution was made into a polyester film with a thickness of 25 degrees. After coating, drying to obtain a polyester film with a photosensitive resin layer thickness of 25 μm.Next, polishing treatment and further attenuating treatment with dilute hydrochloric acid (1 g)
A polyester film having the photosensitive layer formed thereon was laminated on the layered printed marking box plate with a photosensitive resin layer interposed therebetween.

このプリント配線基板のポリエステルフィルムの上にネ
ガフイ5yAtおき、zoowのケミカルクンプで5a
wwの距離から1分間露光し、ネガ74〃ム及びポリエ
ステルフィルムをはがして1%の炭酸ソーダ水溶液で2
5℃で1分藺現丁 像した。感光性の感度tステップガイドで調べたところ
、8段までしつか9と硬化しておす、又、非常に鮮明な
ポジのプリント配線−線図が得られていた。
Place a negative film of 5yAt on the polyester film of this printed wiring board, and use zoow's chemical pump to attach 5a
After exposing for 1 minute from a distance of
Developed for 1 minute at 5°C. When I checked it with a photosensitive sensitivity t-step guide, I found that it had cured up to 8 stages but only 9, and a very clear positive printed wiring diagram was obtained.

次に該基板’i120℃で5分間乾燥後、該基板の銅箔
を塩化第二鉄溶液で腐食し、20%のメタノールを含む
塩化メチレンてレジス)Ilt剥離した−ところ極めて
鮮明なプリント配線図が得られた。
Next, after drying the board at 120°C for 5 minutes, the copper foil of the board was corroded with a ferric chloride solution, and the resist was peeled off using methylene chloride containing 20% methanol - an extremely clear printed wiring diagram. was gotten.

比較例1 8(又#−j9)−アクリロキシ−トリシクロ(5,2
,1,Ol・〕−〕4−デ’t> ノ代りKメチルメメ
タリレーFを用い友以外は全て参考例1と同様にしてビ
ニル共重合体のインプロピルアルコール溶液を得た。参
考例1において用いたビニル共重合体溶液の代りに上記
ビニル共重合体溶液t−用い参考例1と同様にして側鎖
にエチレン性不飽和結合管含有する重合体溶液を得た。
Comparative Example 1 8(also #-j9)-acryloxy-tricyclo(5,2
,1,Ol·]-]4-de't> Instead of K-methyl memetallyl F, an inpropyl alcohol solution of a vinyl copolymer was obtained in the same manner as in Reference Example 1 except for the above. In place of the vinyl copolymer solution used in Reference Example 1, the above vinyl copolymer solution t- was used to obtain a polymer solution containing ethylenically unsaturated bond tubes in the side chain in the same manner as in Reference Example 1.

重量平均分子量i;j 4400Gで6つ九。Weight average molecular weight i;j 4400G and 69.

実施例において用いた重合体溶液の代りに上記重合体溶
液を用V%爽諏例1と同様にして感光性樹脂溶液を得た
A photosensitive resin solution was obtained in the same manner as in Example 1 using the above polymer solution instead of the polymer solution used in the example.

この感光性樹脂溶液を用い以下実施例1と同様にしてプ
リント配線基板上の銅箔に感光性樹脂層を設は数軒的に
は銅のプリント配線図を得喪。
Using this photosensitive resin solution, a photosensitive resin layer was then applied to the copper foil on the printed wiring board in the same manner as in Example 1. In some cases, a copper printed wiring diagram was obtained.

残存空気の影響のためか、感光度の目安であるステップ
ガイドによる硬化ステップは4段テあり、ポジのプリン
ト配線画線gij細かいところが一部脱落していて、銅
箔のエツチング及びレジースト映の剥離により得られた
銅プリント配線図は細いところが一部脱落し不完全なも
のであった。
Perhaps due to the influence of residual air, the curing step using the step guide, which is a measure of photosensitivity, has four steps, and some of the fine parts of the positive printed wiring image have fallen off, and the copper foil has been etched and the resist film has peeled off. The resulting copper printed wiring diagram was incomplete, with some of the thin parts falling off.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 L  #j1mlKエチレン性不飽和結合を有する重合
体、光増感剤及び必要により分子木端にビニル基を含有
する多官能性オリゴマーが含苔されてなり、前記細組に
エチレン性不飽和結合t−Wする重合体が、 一般式CH1= CCO+CnHmaOh「T。 鵬=1のときは1=2〜S%vh=2〜・のと拳は飽=
3.)で示される環状不飽和基を何するアクリル酸又は
メタク11ル酸のエステルと不飽和力にボン酸とt構成
単位として有する共重壺体中のカルボキシル基にオキシ
ラン環含有エチレン性不飽和化合物が付加されたもので
あるξとを特徴とする感光性樹脂組成物。 る第1項記載の組成物。 亀 共重合体が5−SO重量%の不飽和カルボン酸を構
成単位として含有するものである第1項又は第2項記載
の組成物。 ζ 全l1vL物中の多官能性オリゴマー含有量が70
重量%以下である第1項〜第3項何れか11[Kε職の
組成物。 翫 アクリル酸のエステA/が8−1クリ曹キシトリシ
ク四(5,2,1,9m、5)−4−ダセン又Fi9−
アクリロキシトリシクロ(5,2,1゜03−一) −
4−f’センである第1項〜第4項何れかAllに記載
の組成物。
[Scope of Claims] L#j1mlK A polymer having an ethylenically unsaturated bond, a photosensitizer, and optionally a polyfunctional oligomer containing a vinyl group at the end of the molecule is contained in the moss. A polymer with ethylenically unsaturated bonds t-W has the general formula CH1=CCO+CnHmaOh "T. When Peng=1, 1=2~S%vh=2~・Notoken is Saku=
3. ) An ethylenically unsaturated compound containing an oxirane ring in the carboxyl group in a copolymer containing an ester of acrylic acid or methacrylic acid having a cyclic unsaturated group shown in A photosensitive resin composition characterized by having ξ added thereto. The composition according to item 1. The composition according to item 1 or 2, wherein the turtle copolymer contains 5-SO weight % of unsaturated carboxylic acid as a constituent unit. ζ The polyfunctional oligomer content in the total l1vL product is 70
A composition of any one of the first to third terms 11 [Kε] which is at most % by weight.翫 Acrylic acid ester A/ is 8-1 chloromethane (5,2,1,9m,5)-4-dacene or Fi9-
Acryloxytricyclo(5,2,1゜03-1) -
The composition according to any one of Items 1 to 4, which is 4-f'sen.
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