JPS5810737A - Photosensitive resin composition - Google Patents

Photosensitive resin composition

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JPS5810737A
JPS5810737A JP10984081A JP10984081A JPS5810737A JP S5810737 A JPS5810737 A JP S5810737A JP 10984081 A JP10984081 A JP 10984081A JP 10984081 A JP10984081 A JP 10984081A JP S5810737 A JPS5810737 A JP S5810737A
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Japan
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acrylate
resin composition
meth
photosensitive resin
composition
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JP10984081A
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Kunio Yanagisawa
柳沢 邦夫
Takashi Nakagawa
隆司 中川
Yasuhiro Kawasaki
康弘 川崎
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Sekisui Chemical Co Ltd
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Sekisui Chemical Co Ltd
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
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    • G03F7/033Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers

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Abstract

PURPOSE:To obtain a photosensitive resin composition not restrained in photohardening reaction even when it is exposed to light in the air, by incorporating a vinyl copolymer of a specified (meth)acrylate and a radically polymerizable monomer, a multifunctional olygomer, and a photosensitizer. CONSTITUTION:A resin composition contains (A) a vinyl copolymer composed of 10-70wt% (meth)acrylate having a cyclic unsaturated group represented by formulaIin which R1 is H or CH3; R2 is formula II, III, or IV; R3 is H or CH3; m is 0-6; and when m=1, n=2-5, and when m=2-6, n=2: and 30-90wt% radically polymerizable monomer as constituent units, (B) a multifunctional olygomer containing a vinyl group in the terminal of the molecule, and (C) a photosensitizer. As the (meth)acrylate to be used having the cyclic unsaturated group, 8(9)-acryloxytricyclo[5.2.1.0<2.6>]-4-decene, etc. are embodied.

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は党の作用で硬化する性質を有する1光性樹脂組
成物に関するものである。露光によって薬品に不一性の
硬膜t*lEL得る物質は一般に7オトレジストと称さ
れ、写真製版の分針O他、印11m賂などの産業分奇に
利用されて−る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention relates to a photosensitive resin composition which has the property of being cured by the action of photoresist. A substance that obtains a chemical-inconsistent dura t*lEL by exposure to light is generally called 7-otoresist, and is used in industrial applications such as the minute hand O of photolithography and the mark 11m.

種々の感光性樹脂組成物のうちの多くは酸素の存在下で
社感党rLw5が伸側されるので、通常真空中又は不活
性気体中で光照射を行ったり、感光性樹脂層の上に酸素
遮゛断閣it叶なければならないと−う煩わしさがあり
、酸素による影響が夕なく大気中て光照射の可能な感覚
性樹脂組成物が望まれていえ。
In many of the various photosensitive resin compositions, the social photosensitive layer rLw5 is stretched in the presence of oxygen. It is troublesome to have to block out oxygen, and there is a desire for a sensory resin composition that can be irradiated with light in the atmosphere without being affected by oxygen.

大発明は上記従来技術に艦み、空中で露光しても光硬化
[j6が抑制されない新規な樹脂組成物1擬供すること
を目的とするもので、その要助 6の整数、騰は次のW4係を満足する整数で−る。
The great invention builds on the above-mentioned prior art, and aims to provide a novel resin composition 1 that does not suppress photocuring [j6] even when exposed to light in the air. An integer that satisfies the W4 coefficient.

■−1のときはmwm2〜S%ta−2〜6のときは−
−2゜)で示される環状不飽和基を有するアクリル酸又
はメタクリj@/WIのエステル10〜70重量%とラ
ジカル重合性単量体s卜I。
■When -1, mwm2~S%ta-When 2~6, -
10 to 70% by weight of an ester of acrylic acid or methacrylic acid @/WI having a cyclic unsaturated group represented by -2°) and a radically polymerizable monomer S-I.

重量%とを構成単位として有するビニル共重合する感光
性樹脂履威物に存する。
% by weight as a constituent unit of vinyl copolymerized photosensitive resin footwear.

大発明において用いられる環状不飽和基を有するアクリ
ル酸又はメタクリルII!0エステルの内、環状不飽和
基がシンクロペンテニル基前記一般式にお叶る―がOの
場合は、5(S)−アクリロキシトリシクロ[s、z、
x、o”・6〕−纏−デセン(これは8−アクリロキシ
トリシフアクリロ−シトリシクロ[5,!、1.0雪−
〕−4−ダセンの両方を意味する・以下同じ。)。
Acrylic acid or methacrylic acid with a cyclic unsaturated group used in the great invention! Among the 0 esters, if the cyclic unsaturated group is O, which satisfies the above general formula, 5(S)-acryloxytricyclo[s, z,
x, o”・6]-Mato-decene (This is 8-acryloxytricifacrylo-citricyclo[5,!, 1.0 snow-
]-4-Means both dasen・Hereinafter the same shall apply. ).

8(I)−メタクリロキシトリシクロ(S、Z、t01
°0〕−4−デセン(貫用名、ジシクロペンテニルメタ
クリレート)、811)−アクリロキシトリシクロ(5
,!、1.0”・6〕−2−メチル−4−デセン、5(
S)−アクリロキシトリシクロ(5,2,1,0”’ 
 )−3−メチル−4−デセン、all)−メタクリロ
キシトリシクロ〔!!、2.1.O!l@)−1−メチ
ルーダセン、虐(9)−メタクリロキシトリシクロ(i
、z、x。
8(I)-Methacryloxytricyclo (S, Z, t01
°0]-4-decene (common name, dicyclopentenyl methacrylate), 811)-acryloxytricyclo(5
,! , 1.0"・6]-2-methyl-4-decene, 5(
S)-acryloxytricyclo(5,2,1,0'''
)-3-methyl-4-decene, all)-methacryloxytricyclo[! ! , 2.1. O! l@)-1-methyldacene, cyclo(9)-methacryloxytricyclo(i
,z,x.

6 m+@ ) −3B−メチル−4−デセン等が挙げ
られる。
6 m+@ ) -3B-methyl-4-decene and the like.

又、前記一般式におけるmが1の場合は、2−ジシクロ
ペンテノキシエチルアクリレート(り曹ペンテノキシエ
チルメタクリレート、2−ジシク蓼ペンテノ辱ジプロピ
ル(メタ)アクリレート(これは2−ジシクロペンテノ
キシプ替ピルアクダレートと2−ジシクロペンテノキシ
プ嘗ビルメタクリシートを意味する。以下同じ。)、3
−ジシクロペンテノキシイソダチル(メタ)アクリレー
ト、3−ジシクロペンテノキシネオペンチル(メタ)ア
クリレート等が挙げられ、論がトIO場合は、ジエチレ
ングリコール−璧ノージシクロペンテニルエーテルアク
リレ−ト ルエーテルメタクリレート、トリエチレングリクール■
七ノ車シシクロペンテニルエーf sy (メタ)アク
リレート、テトラエチレングリプール讃モノージ・シク
ロペンテニルエーテル(メタ)アクリレート、ペンタエ
チレンクリコール冨毫ノ廊ジシクロペンテニル(メタ)
アクリレート、ヘキサエチレングリコール誼モノ纏ジシ
クロベタ ンテニ〃エーテル(メー)アクリレート等が挙げられる
When m in the general formula is 1, 2-dicyclopentenoxyethyl acrylate (2-dicyclopentenoxyethyl methacrylate), 2-dicyclopentenoxyethyl methacrylate (2-dicyclopentenoxyethyl methacrylate), 2-dicyclopentenoxypyl methacrylate (the same applies hereinafter), 3
- dicyclopentenoxy isodatyl (meth)acrylate, 3-dicyclopentenoxyneopentyl (meth)acrylate, etc., and when the argument is IO, diethylene glycol - dicyclopentenyl ether acrylate tolu ether Methacrylate, triethylene glycol■
Seven-wheel cyclopentenyl ether f sy (meth)acrylate, tetraethylene glycol monodi cyclopentenyl ether (meth)acrylate, pentaethylene glycol Tomigami dicyclopentenyl (meth)
Examples include acrylate, hexaethylene glycol monomer dicyclobetanthene ether (meth)acrylate, and the like.

更に前記一般式で表わされるエステルが有する環状不飽
和基としては、ジシクロペンテエルけられ、wamOt
)場合の具体例としては、3〇−アクリロキシ−1−シ
クロペンテン、3(4)−メタクリロキシ−1−シクロ
ペンテン、4(Il−アクリ豐キシー1−シクロへキセ
ン%4(Iil−メタクリロキシ−1−シクロへキセン
、5(1)−アクリロキシビシクロ[2,2,1]−2
−へブテン、6悼)−メタクリロキシビシクロ(!、!
、1)−2−ヘプテン等が挙けちれる。
Furthermore, the cyclic unsaturated group possessed by the ester represented by the above general formula includes dicyclopentele, wamOt
), specific examples include 30-acryloxy-1-cyclopentene, 3(4)-methacryloxy-1-cyclopentene, 4(Il-acryloxy-1-cyclohexene%4(Iil-methacryloxy-1-cyclopentene)). Hexene, 5(1)-acryloxybicyclo[2,2,1]-2
-hebutene, 6 mourning) - methacryloxybicyclo (!,!
, 1)-2-heptene and the like.

しかしてこれらエステ7&10うも、上記環状不麹和基
O有する二腫結合に基づくと思われる空気存在下での先
便化性に優れる点、及び硬化した度羨の貧榔性に優れる
点で8(−1−アクリロキシ) 95y9tl (S 
、 2 、1 、0”’]−4−9’セン、・(It−
メタクリロキシトリシクロ(S、Z、t、・*、a )
 −、−デセン、2−ジシクロペンテノキレエチル(メ
タ)アクリレートが特に好適に用いられる。
However, these esthetics 7 & 10 have excellent defecating properties in the presence of air, which is thought to be based on the dimatoid bond having the above-mentioned cyclic non-maltable group O, and excellent defecating properties of hardened doxane. 8(-1-acryloxy) 95y9tl (S
, 2 , 1 , 0''']-4-9'sen, ・(It-
Methacryloxytricyclo (S, Z, t, *, a)
-, -decene and 2-dicyclopentenokylethyl (meth)acrylate are particularly preferably used.

前記一般式にシ叶る鵬が1〜6のエステA/け一欽に、
トリシクロ(1,2,1,0″、@’3 3−デセンオ
ール(慣用名、ジシクロペンテニル、鵞 1.ol・0
〕メチsy −3−デセン−オール意一メチルーシクロ
ペンテン−1−オール、シクロへキャン−1−オール、
2−メチルシクロヘキセン−1−オール、ビシクロ〔意
、鵞、1〕−3−へブテンオール、ビシクロ(!、2.
1)−3−/チルー2−へブテンオー#噂Oフルコール
に、エチレンオキシドやプロピレンオキシド等を反応さ
せて得られた生成物に%j!K(メタ)アクリル酸を反
応させてエステル化する方法によ#)IlI造される。
Peng who fulfills the above general formula is 1 to 6 esthetics A / Keichikin,
Tricyclo(1,2,1,0″, @'3 3-decenol (common name, dicyclopentenyl, 1.ol・0
] Methysy-3-decen-ol, methyl-cyclopenten-1-ol, cyclohecan-1-ol,
2-Methylcyclohexen-1-ol, bicyclo(!, 2.
1) -3-/thiru-2-hebutene-oh #rumor O The product obtained by reacting ethylene oxide, propylene oxide, etc. with ethylene oxide, %j! #)IlI is produced by a method of reacting K(meth)acrylic acid to esterify it.

本発明において用いるビニル共重合体は前記一般式で示
されるエステルを10〜70重量%(以下、%は電量%
を示すものとする。)の範囲で含有する。10%より少
いと、得られる感光性樹脂組成物が露光0IIII空中
0I11素の影響を受けて一光反6が抑制され易くなり
、70%を越えると共重合体の合疵時にゲル化し易く又
ビニル共重合体と他の混合物成分との相客性が悪くな愚
頷崗にある。
The vinyl copolymer used in the present invention contains 10 to 70% by weight of the ester represented by the above general formula (hereinafter, % is coulometric %).
shall be shown. ). If it is less than 10%, the resulting photosensitive resin composition will be affected by the exposed 0III and airborne 0I11 elements, and the one-light reflection 6 will be easily suppressed, and if it exceeds 70%, the copolymer will tend to gel at the time of coalescence. The compatibility between the vinyl copolymer and other mixture components is poor.

を九上記一般式で示されるエステルと共重合させるラジ
カル重合性単量体として社メチル(メタ)アクリレート
、エチA/(メタ)アクリソート、ブチル(メタ)アク
リレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート等
の(メダ)199th−アルキルエステル、スチレンα
−メチルスチレン、ビニルトルエン等のアルケニルン ベンゼン、2−ヒトミキー1エチル(7り)アクリレー
ト、グlシジル(メタ)アクリレートさらKは酢酸ビニ
ル、アクリジニトリル、メタクリロエトリル、アクリル
酸、メタクリル酸、イタコン酸、無水マレイン酸、アク
リルアミド、メタクリルアミド、メタクリA/@−ジメ
7A/アミノエチル、スチレンスルホン酸等従来−知の
4oが絋(用いられる。
The radically polymerizable monomer to be copolymerized with the ester represented by the above general formula includes methyl (meth)acrylate, ethyl A/(meth)acrylate, butyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, etc. (Meda) 199th-alkyl ester, styrene α
- Alkenylbenzenes such as methylstyrene and vinyltoluene, 2-hytomythyl (7) acrylate, glycidyl (meth)acrylate, and K is vinyl acetate, acridinitrile, methacryloethryl, acrylic acid, methacrylic acid, Conventionally known 4Os such as itaconic acid, maleic anhydride, acrylamide, methacrylamide, methacryl A/@-dime7A/aminoethyl, and styrene sulfonic acid are used.

これらラジカル重合性単量体はビニル共重合体中の構成
単位として30〜90%の範囲で用いられる。
These radically polymerizable monomers are used as structural units in the vinyl copolymer in an amount of 30 to 90%.

上記ビニル共重合体は従来公知の菫合法、溶液重合、懸
濁重合、乳化型hKよって得られるが、通常、溶液重合
法が好適に用いられ、その際に使用する有機溶剛の具体
例としてはプロ、It)−ル、メチルセロソルブ、メチ
ルセロソルブ、ブチルセロソルブアセテート、エチルカ
ルピトール、アセトン、メチルコチルケトン、酢酸エチ
A/41が挙けられこれらは単独で又は適宜混合して用
いられる。ビニル共重合体の分子量は一党性組威物の用
途により適宜決定されるが、一般K100O〜10へ0
00の範囲にあるのが好ましく、又全組成物中に占める
ビニル共重合体の割合Fiso〜90%であるのが好ま
しい。
The above-mentioned vinyl copolymer can be obtained by the conventionally known violet method, solution polymerization, suspension polymerization, or emulsion type hK, but the solution polymerization method is usually preferably used. Examples include pro, It)-l, methyl cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve acetate, ethyl carpitol, acetone, methyl cotyl ketone, and ethyl acetate A/41, and these may be used alone or in appropriate mixtures. The molecular weight of the vinyl copolymer is determined appropriately depending on the use of the monomer composite material, but generally ranges from K100 to 10.
It is preferable that the vinyl copolymer is in the range of Fiso 00 to 90% in the total composition.

大発明における分子末端にビニル基を含有する多官能性
オリゴマーとしては、ジエチレングリコールジアクリレ
ート、トリエチレンクリコールジアクリレート、テトラ
エチレングリコールジアクリレート、分子量200〜5
00のポリエチレングリコールのジアクリレート、ジエ
チレングリコールジメタクリレート、テトラエチレング
リコールジメタクリレート、分子量200〜500のポ
リエチレングリコールのジメタクリレート、グリセリン
トリツタクリレート、トリメチロールプロ/喝ントリア
クリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、
メチレンビスアクリルアミド、エチレンビスアクリルア
ミド、1.6−へキサンビスアクリルアミド、エチレン
ビスーメタクリルアミド、エチレンダリコールビス−ジ
アクリルカーボネート、ジアクリルフタレート等の他、
分子末端にインシアネート基を有するクレタングレボリ
マーと一分子牛にビニル基及び活性水素を含有する化合
物とのJ[お物、分子末端にエポキシ基を有するいわゆ
る工Iキシ樹脂とアクリル酸もしくはメクラ9ル酸との
反応物等、従来感光性樹脂組成物−)411011能基
歇O多い化合物が好適に用いら0%使用される。その理
由祉多官能性オリゴマーの量が10%よ抄少いと光硬化
速度が遅くなa、yo*以上になると得られ九光硬化被
膜の強−性が低下しえり、空気中の酸素の影響が大きく
なる傾向があるからである。
Examples of the polyfunctional oligomer containing a vinyl group at the molecular terminal in the invention include diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, and molecular weight 200 to 5.
00 polyethylene glycol diacrylate, diethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, polyethylene glycol dimethacrylate with a molecular weight of 200 to 500, glycerin tritacrylate, trimethylol pro/acrylic triacrylate, pentaerythritol triacrylate,
In addition to methylene bis-acrylamide, ethylene bis-acrylamide, 1,6-hexane bis-acrylamide, ethylene bis-methacrylamide, ethylene dalycol bis-diacryl carbonate, diacryl phthalate, etc.
Cretane polymer having an incyanate group at the end of the molecule and a compound containing a vinyl group and active hydrogen in one molecule; Compounds containing a large amount of functional groups such as 411011 in conventional photosensitive resin compositions, such as reactants with 9-fluoric acid, are preferably used in an amount of 0%. The reason for this is that if the amount of polyfunctional oligomer is less than 10%, the photocuring speed will be slow. This is because there is a tendency for the value to increase.

11九党増感剤社、木−明組成物Ktli性光線が順射
されえときに光励起によって光重合反応を春墨に生起ぜ
しめる役割を果すものであ秒、種々O%Oが使用される
が、その代表的な例としてハ、ベンゾイン、α−メチル
ベンゾイン、a−アリルベンゾイン、ベンゾインメチル
エーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイ
ン一式−メチルエーテル、アセトフェノン、ベンゾフェ
ノン、P−fロムベンゾフェノン、ジフェニルジスルフ
ィド、ベンジル、ジアセチル、硝酸クラニA/4Iを挙
げることが出来る。これら0光増感剤は1種或いは2種
以上Oi1台に於いて使用することが出来る。かかる光
増感剤は感光性樹脂組成物全量中ao01〜10g6の
範囲で用い得る。添加量かへ001%未満であるときは
、光重度が極めて緩慢となる為実用上不利であり、逆に
10%を超えるようなときは、特に顕著な増感作用が期
待し得るわけでもなく不経済となる。
11 Kutou Sensitizer Co., Ltd., Mo-Ming composition This plays the role of causing a photopolymerization reaction in the spring ink by photoexcitation when the Ktli light is irradiated with it. Various O%O is used. Typical examples include benzoin, α-methylbenzoin, a-allylbenzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin monomethyl ether, acetophenone, benzophenone, P-frombenzophenone, diphenyl disulfide, Mention may be made of benzyl, diacetyl and Kurani A/4I nitrate. One or more of these 0 photosensitizers can be used in one Oi unit. Such a photosensitizer may be used in an amount of ao01 to 10g6 in the total amount of the photosensitive resin composition. If the amount added is less than 0.01%, it is disadvantageous in practice because the photo-severity becomes extremely slow; on the other hand, if it exceeds 10%, no particularly significant sensitizing effect can be expected. It becomes uneconomical.

本発明組成物は、貯蔵安定性を向上させる為、通常は、
全組成物の4001〜2%の範囲で重合禁止剤を含有し
ているのが好ましく、該禁止剤の倒としては、ベンゾキ
ノン、2.5−ジツエエルーデーペンゾキノン、ハイド
ロキノン、−イドロキノン毫ツメチルエーテル、カテコ
ール、β−す7トール、モノーtart−ブチβハイド
ロキノン、ピロガロール勢従来公知のものを挙けること
ができる。
In order to improve the storage stability of the composition of the present invention, usually
It is preferable that a polymerization inhibitor is contained in an amount of 4001 to 2% of the total composition, and examples of the inhibitor include benzoquinone, 2,5-ditheludebenzoquinone, hydroquinone, and hydroquinone. Conventionally known compounds such as trimethyl ether, catechol, β-su7tol, monotart-butyβ-hydroquinone, and pyrogallol can be mentioned.

更に本発明組成物は、必要KI6じてシリカ微粉末勢の
レオロジー特性改質材、顔料、染料、充填剤、可塑剤等
が含有されていてもよく、使用のlIIは通常、溶液重
合法で得られた上記環状不倫和基を有する共重合体溶液
に上記多官能性オリゴマー、光増感剤、重合禁止剤、可
塑剤等を加え、得られた感光性樹脂組成物の溶液を基材
に塗布費乾燥する。露光後の皮膜を水溶性現像液に浸酸
する場合は、予め前記組成物の溶液中にアルコールアミ
ン等の塩基を添加しておいて該組成物の現像液に対する
分散性、溶解性が増す111Kシておいてもよい。
Furthermore, the composition of the present invention may contain rheological property modifiers such as silica fine powder, pigments, dyes, fillers, plasticizers, etc., as well as necessary KI6, and lII used is usually obtained by solution polymerization. The above polyfunctional oligomer, photosensitizer, polymerization inhibitor, plasticizer, etc. are added to the obtained copolymer solution having a cyclic immobilized group, and the obtained solution of the photosensitive resin composition is used as a base material. Dry the coating cost. When the film after exposure is immersed in an aqueous developer, a base such as alcohol amine is added to the solution of the composition in advance to increase the dispersibility and solubility of the composition in the developer. You can leave it as is.

露光は一般に1800〜7000λの波長を有する活性
党IIIKよって行われ、その光#l祉党増感剤011
1[Kより使い分けなければなら表いが、通常太陽光線
、タングステン灯、縦索アーク灯、水銀灯、紫外蛍光灯
等が使用される。
Exposure is generally carried out by activator IIIK with a wavelength of 1800-7000λ, and the light #l sensitizer 011
1 [K] Although different types of lamps must be used, usually solar rays, tungsten lamps, vertical arc lamps, mercury lamps, ultraviolet fluorescent lamps, etc. are used.

本発明I1党性樹脂組成物社上述の通りの構成になされ
、特異″&環状不飽和基を有するエステルを含有するビ
ニル共重合体と分子末端にビニル基を含有する多官能性
オリゴマーと光増感剤とが含有されてなるので、酸素の
存在下でも感橋反応を生起して耐薬品性に優れた硬化物
を与えるのである。
The present invention I1-Party Resin Composition Co., Ltd. has the above-mentioned structure, a vinyl copolymer containing an ester having a specific & cyclic unsaturated group, a polyfunctional oligomer containing a vinyl group at the molecular end, and photosensitization. Since it contains a chemical agent, a cross-linking reaction occurs even in the presence of oxygen, and a cured product with excellent chemical resistance is obtained.

かくして本発明感光性樹脂組成物は、具体的ム には写真像の形成、印刷板の作成、ネーープレートの作
成、プリント回路の作成、プクスチツクス、紙、木材、
金@0被覆等の人乳な用途に於いて有利に用いられる。
Thus, the photosensitive resin composition of the present invention can be used for forming photographic images, making printing plates, making plates, making printed circuits, printing materials, paper, wood, etc.
It is advantageously used in human milk applications such as gold@0 coating.

次に本発明を実施例を以て詳細に説明することにするが
、未発明はこれらにより限定されるものではない。
Next, the present invention will be explained in detail with reference to Examples, but the invention is not limited thereto.

参考例1 攪拌機、漁度計、滴下ロート、冷却管及び窒jI−欅入
管を備え九1tセΔラプルフツスコにプチルセロンル!
1oorを仕込み、窒素気流中で188℃で、アゾビス
イソブチロニトリ#8fを溶解した8(又Fi9)−ア
クリロキシートリシクロ〔5,鵞、1.0″、@)  
4−デセン72t、メタクリル931f、ブチルメタク
リレート50t、2−エチルへキシルアクリレート47
を及びラクリルメルカブタン4ft3時間かけて滴下し
、更に2時開攪拌して共重合反応を溶液を得え。
Reference Example 1 A 91-ton cellar equipped with a stirrer, a fishometer, a dropping funnel, a cooling pipe, and a nitrogen pipe.
8 (also Fi9)-acryloxytricyclo[5, Goose, 1.0'', @) in which azobisisobutyronitri #8f was dissolved at 188°C in a nitrogen stream.
4-decene 72t, methacrylic 931f, butyl methacrylate 50t, 2-ethylhexyl acrylate 47
and lacrylic mercabutane were added dropwise over a period of 3 hours, and stirring was continued for 2 hours to obtain a solution for the copolymerization reaction.

参考例:〜4 参考例IKおける各単量体の種類と量等を表IK示す如
(替える以外は参考例1と同様にして、麦IK示す物性
憤等を有する共重合体溶液を11え。
Reference Example: ~4 The type and amount of each monomer in Reference Example IK are as shown in Table IK. .

*        I +18(又は9)−アクリロキシトリシクロ(5,2,
,1,0’・6〕−4−デセンを示す。
* I +18 (or 9)-acryloxytricyclo(5,2,
,1,0'・6]-4-decene.

実施例! 参考例1と同様の1tセラプル7ラスプに参考例1で得
た共重合体溶液100 fKペンタエリスリトールトリ
アクリレ−)35F、ベンゾインイソプロピルエーテル
Sf、ハイドロキノン毫ツメチルエーテルaiF、ジメ
チルアミノエタノール10を加え均一に溶解して感光性
樹脂溶液を得た。
Example! Add 100 fK pentaerythritol triacrylate) 35F of the copolymer solution obtained in Reference Example 1, benzoin isopropyl ether Sf, hydroquinone methyl ether aiF, and 10 dimethylaminoethanol to the same 1t Cerapul 7 rasp as in Reference Example 1, and mix uniformly. A photosensitive resin solution was obtained.

該組成物を麦Ii研磨されたa8■の亜鉛板に乾燥to
膜厚が2pKなるようにワイヤーコーターで塗布し、8
0℃で10分間乾燥して感光性組成物被覆亜鉛板を得九
The composition was dried on a polished A8 inch zinc plate.
Coat with a wire coater so that the film thickness is 2pK,
A zinc plate coated with the photosensitive composition was obtained by drying at 0°C for 10 minutes.

該′感光性亜鉛板の表面にネガフィルムを軽くおきzo
owのケミカルランプで53の距離から1分同露光した
後、グチルセロソルブの30%水溶波に浸漬して現像し
たところ、露光されなかった部分#i溶解され露光され
た部分は硬化してい九為不溶で鮮明なポジの画像が得ら
れた。
Lightly place a negative film on the surface of the photosensitive zinc plate.
After exposing for 1 minute from a distance of 53 mm using a chemical lamp of OW, I immersed it in a 30% aqueous solution of gucci cellosolve and developed it. Insoluble and clear positive images were obtained.

次に鋏憂鉛板を120℃で5分間乾燥した徒市販O腐食
液でエツチングしたところ感光性樹脂が凸部のみを安定
に被覆した亜鉛白板が得られ九〇 実施例鵞 実施例1と同様のILセ/(ラブルフラスコに参考例2
で得た共重合体溶液100fKペンタエリスリトールト
リアクリレート35f、ベンゾインイソプロピルエーテ
ル5f1)・イドロキノンモノメチルエーテルalt、
ジメチルアミノエタノール10fを加え均一に溶解し、
感光性樹脂溶液を得た。該組成物を銅箔で被覆されたプ
リント配線基板に、実施例1で行ったと同様にして、塗
布、乾燥し次いでネガフィルムを軽くおいた後露光、現
像したところ鮮明なポジ像が得られた。該基板vt12
0℃で5分間乾燥後部化第二鉄溶液で銅箔をエツチング
した後30g6のメタノールを含む塩化メチレンでレジ
スト膜を剥離して良好なプリント配線板を得た。
Next, the zinc plate was etched with a commercially available etchant that had been dried at 120°C for 5 minutes, and a white zinc plate with only the convex parts stably coated with the photosensitive resin was obtained, which was the same as in Example 1. IL cell/(Reference example 2 in a rubble flask)
Copolymer solution obtained in 100fK pentaerythritol triacrylate 35f, benzoin isopropyl ether 5f1)/hydroquinone monomethyl ether alt,
Add 10 f of dimethylaminoethanol and dissolve uniformly.
A photosensitive resin solution was obtained. The composition was applied to a printed wiring board covered with copper foil in the same manner as in Example 1, dried, and then a negative film was lightly placed on it, followed by exposure and development. A clear positive image was obtained. . The board vt12
After drying at 0° C. for 5 minutes, the copper foil was etched with a ferric solution and the resist film was peeled off with methylene chloride containing 30 g of methanol to obtain a good printed wiring board.

実施例3 実施例1と同様の1tセーラプル72スブに参考例3で
得九共重合体溶液100 fKヘンタ゛エリスリトール
・トリアクリレート35t、ペンゾインイソプνビルエ
ーテル5f、ハイ「ロキノンモノメチルエーテルalt
、ジメチルアミノエタノールtore加え均一に1s解
し感光性−***を得た。
Example 3 Into a 1t Serapur 72 tube similar to Example 1, 100 fK of the copolymer solution obtained in Reference Example 3 was added.
, dimethylaminoethanol tore was added and dissolved uniformly for 1 s to obtain photosensitivity -***.

該組成物に実施例2と同様の方法で党照射し九ところ該
部分は溶剤に不溶となり、更に同様にしてプリント配線
板をn威し九とζろ、原図に41Lい#IIIW!4な
プリント配線板が得られた。
The composition was irradiated in the same manner as in Example 2, and the portion became insoluble in the solvent.Furthermore, when a printed wiring board was irradiated in the same manner as in Example 2, the original pattern showed 41L #IIIW! 4 printed wiring boards were obtained.

比較例1 実施例1と同様の1tのセパラブル7ラスコに参考側4
で得た共重合体溶液100fにペンタエリスリトールト
リアクリレート35t1ベンゾインイソプロピルエーテ
ル5t1ハイドロキノン毫ノメチルエーテ+Qlf、ジ
メチルアミノエタノール10tを加え均一に溶解し、感
光性樹脂溶液を得た。
Comparative Example 1 Reference side 4 was attached to 1t separable 7 lasco similar to Example 1.
To 100 f of the copolymer solution obtained in step 1, 35 t of pentaerythritol triacrylate, 5 t of benzoin isopropyl ether, 10 t of hydroquinone methyl ether + Qlf, and 10 t of dimethylamino ethanol were added and uniformly dissolved to obtain a photosensitive resin solution.

該組成物を用い実施例1と同様の方法で亜鉛白板を作直
した。但し露光後の組成物を現像波に浸漬して現像した
とζろ、残存空気の影響のず、像の風筒現象が与られた
A zinc white board was remade using the composition in the same manner as in Example 1. However, when the exposed composition was developed by immersing it in a developing wave, the image had a wind cylinder effect without the influence of residual air.

例雪と同@にしてプリント配線板の作vLtした。I made a printed wiring board at the same @ as Yuki.

露光後の1組成物を現像液に浸漬して現像したところ、
残存空気の影響のためか、光硬化カ監不充分で鮮明愈ポ
ジ画像が得られず、像の脱1ml象がみられた。tた残
った像も塩化第二鉄溶液でエツチングしたWIAK鋼箔
−らかなり脱落し曳好なプリント配線板が得られなかっ
た。
When one composition after exposure was immersed in a developer and developed,
Perhaps due to the influence of residual air, a clear positive image could not be obtained due to insufficient supervision of the photocuring force, and a 1 ml difference in the image was observed. The remaining image was also considerably removed from the WIAK steel foil etched with a ferric chloride solution, and a printed wiring board with good handling could not be obtained.

特許出願人 積水化学工業株式会社 代表者 5F13  基 利patent applicant Sekisui Chemical Co., Ltd. Representative 5F13 Motori

Claims (1)

【特許請求の範囲】 @()111に、mは次の間係を満足する整数である。 m−1/)!14m−! 〜s1m−ax 〜soとき
#fm1m!、)で示される環状不飽和基を有するアク
リル蒙又はメタクリA/al!のエステル10〜70重
量%とラジカル重合性単量体30〜90重量%とを構成
単位として有するビニル共重合体、分子木場にビニル基
を含有する多官能性オリゴ7−及び光増感剤が含有され
てなることを0重量%である111項記載の感覚性樹脂
組成物。 亀 全組成物中の多官能性オリゴマー含有量が10〜7
0重量%である@1項又は第2項記載の感光性樹脂組成
物。
[Claims] In @()111, m is an integer that satisfies the following equation. m-1/)! 14m-! ~s1m-ax ~so time #fm1m! , ) having a cyclic unsaturated group represented by A/al! A vinyl copolymer having as constituent units 10 to 70% by weight of an ester of 112. The sensory resin composition according to item 111, which contains 0% by weight. Turtle Polyfunctional oligomer content in the total composition is 10-7
0% by weight of the photosensitive resin composition according to item 1 or item 2.
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