JPS63296036A - Photopolymerizable composition - Google Patents

Photopolymerizable composition

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JPS63296036A
JPS63296036A JP13301987A JP13301987A JPS63296036A JP S63296036 A JPS63296036 A JP S63296036A JP 13301987 A JP13301987 A JP 13301987A JP 13301987 A JP13301987 A JP 13301987A JP S63296036 A JPS63296036 A JP S63296036A
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meth
acrylate
photopolymerizable composition
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acid
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Yuichi Wakata
裕一 若田
Masato Satomura
里村 正人
Sadao Fujikura
藤倉 貞雄
Masayuki Iwasaki
政幸 岩崎
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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/028Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with photosensitivity-increasing substances, e.g. photoinitiators
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Abstract

PURPOSE:To prevent the titled composition from the formation of a chip and the generation of cold flow in a dry film by incorporating a specified compd. in the titled composition. CONSTITUTION:The titled composition contains an addition polymerizable unsatd. compd. (A), having two or more of ethylenic unsatd. double bonds in a molecule, a photopolymerization initiator (such as benzophenone) and a binding agent (B). And, the copolymer component of the component (B) is exemplified by the addition polymerizable compd. having two or more of the ethylenic unsatd. double bonds in the molecule such as a (meth)acrylic acid ester of polyol, and said exemplified compd., etc., is used for the component (A). The component capable of copolymerizing with the component (A) is exemplified by a (meth) acrylic acid ester, and can be copolymerized with a monomer having an acidic group to enable the development in a weak alkaline aqueous solution.

Description

【発明の詳細な説明】 (発明の利用分野) 本発明は新規な光重合性組成物に関するものであシ、特
に、有機溶剤を含有しない弱アルカリ水溶液によって現
像できる光重合性組成物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (Field of Application of the Invention) The present invention relates to a novel photopolymerizable composition, and particularly to a photopolymerizable composition that can be developed with a weakly alkaline aqueous solution containing no organic solvent.

(従来技術) 光重合性組成物はフォトレジスト用、凸版用、レリーフ
像用等に広く用いられている。これらは一般的にUV光
によって露光された後現像が行なわれるが、この現像に
用いられる現像液によって有機溶剤型(有機溶剤によっ
て現像できるもの)とアルカリ水溶液型(弱アルカリ水
溶液、又は水と混和性の有機溶剤と弱アルカリ水溶液の
混合物によって現像できるもの)に大別される。光重合
性組成物は当初は有機溶剤型が主流であったが、近年は
コスト面、公害対策面等からアルカリ水溶液型への移行
が盛んになシつつある。しかしいずれの場合においても
一般に光重合性組成物の溶解性およびその他の性質を決
定するのは光重合性組成物の結合剤成分である。
(Prior Art) Photopolymerizable compositions are widely used for photoresists, letterpress printing, relief images, and the like. These are generally developed after being exposed to UV light, and depending on the developer used for this development, organic solvent type (those that can be developed with organic solvents) and alkaline aqueous type (weak alkaline aqueous solution, or those that are miscible with water) (can be developed with a mixture of a strong organic solvent and a weak alkaline aqueous solution). Initially, organic solvent type photopolymerizable compositions were mainstream, but in recent years there has been an active shift to alkaline aqueous solution type photopolymerizable compositions due to cost and pollution control considerations. In either case, however, it is generally the binder component of the photopolymerizable composition that determines the solubility and other properties of the photopolymerizable composition.

有機溶剤で現像できる光重合性組成物に用いられる結合
剤としては、メタクリル酸メチル/アクリル酸エチルの
2元共重合体、メタクリル酸メチル/メタクリル酸/ア
クリル酸エチルの3元共重合体等のメタクリル酸メデル
共重合体が一般的である。
Binders used in photopolymerizable compositions that can be developed with organic solvents include binary copolymers of methyl methacrylate/ethyl acrylate, ternary copolymers of methyl methacrylate/methacrylic acid/ethyl acrylate, etc. Medel methacrylate copolymers are common.

一方弱アルカリ水溶液で現像できる光重合性組成物に用
いられる結合剤は数多くのものが知られておシ、これに
関する文献の代表的な(のKは、次のようなものがある
。特公昭弘j−Jコア/≠号(結合剤は例えばメタクリ
ル酸メチル/メタクリル酸共重合体である)、特公昭!
!−Jyり41号(結合剤は例えばスチレン/マレイン
酸モノn−7’チルエステル共重合体である)、持分1
[t4−JJ4cIJ号(結合剤は例えばメタクリル酸
エチル/アクリル酸エチル/メタクリル酸の3元共重合
体である。)、および特開昭5r−ii≠2号(結合剤
は例えばメタクリル酸メチル/メタクリル酸/アクリル
酸2−エチルヘキシル3元共重合体又はメタクリル酸/
メタクリル酸メチル/アクリル酸−一エチルヘキシル/
メタクリル酸n−ブチル参元共重合体である)。
On the other hand, there are many known binders used in photopolymerizable compositions that can be developed with weakly alkaline aqueous solutions. Akihiro j-J core/≠ issue (the binder is, for example, methyl methacrylate/methacrylic acid copolymer), Tokuko Aki!
! - Jyri No. 41 (the binder is, for example, styrene/maleic acid mono-n-7' methyl ester copolymer), share 1
[t4-JJ4cIJ (the binder is, for example, a ternary copolymer of ethyl methacrylate/ethyl acrylate/methacrylic acid), and JP-A-5R-II≠2 (the binder is, for example, a terpolymer of ethyl methacrylate/ethyl acrylate/methacrylic acid). Methacrylic acid/2-ethylhexyl acrylate terpolymer or methacrylic acid/
Methyl methacrylate/monoethylhexyl acrylate/
n-butyl methacrylate base copolymer).

これらの結合剤を含有する光重合性組成物は各種の用途
に用いられているが近年%にドライフィルムレジストと
しての利用が拡大している。このドライフィルムレジス
ト法については特公昭−よ−Jjコ3/号やW、S、D
e Forest著rPhotoresistJ Mc
  Graw−Hill、NewYork、/り7!、
/A3−472頁等に記載されている。
Photopolymerizable compositions containing these binders are used for various purposes, and in recent years, their use as dry film resists has been expanding by 30%. This dry film resist method is described in Tokko Sho-Yo-JJ Co. No. 3/W, S, D.
e Forest Author Photoresist J Mc
Graw-Hill, New York, /ri7! ,
/A3-472 page etc.

(発明が解決しようとする問題点) しかし前述の結合剤を含有する光重合性組成物は、ある
用途においては利点があるが、しかし特にフォトレジス
トとして使用された場合には以下に述べる如き欠点を示
すのである。この方法に適合しうる光重合性組成物は例
えば現像性およびレジスト剥離性(ただし重合された状
態においてはエツチング又はメッキ溶液に対する抵抗性
)、低い粘着性、基体に対する高い接着性等とともに適
度の可撓性が必要である。この可撓性が不足の場合には
、フィルムの切断時に切シ粉と呼ばれるフォトレジスト
の細片の飛散がおこる。この切シ粉は、そのものが粘着
性を有するが吸湿によシ粘着性となり、マスクに付着し
たシ基板上に積層済のドライフィルム上に付着すると露
光時に焼けぼけを起こす等の不都合を生じる。しかし逆
に可撓性を付与しようとすると切シ粉の問題は解決する
が。
(Problems to be Solved by the Invention) However, although photopolymerizable compositions containing the above-mentioned binders have advantages in certain applications, they have the following drawbacks, particularly when used as photoresists. It shows. Photopolymerizable compositions that are compatible with this method have, for example, good developability and resist stripping properties (but in the polymerized state, resistance to etching or plating solutions), low tackiness, high adhesion to substrates, etc., as well as moderate flexibility. Flexibility is required. If this flexibility is insufficient, small pieces of photoresist called cutting chips will scatter when the film is cut. This cutting powder itself is sticky, but it becomes sticky when it absorbs moisture, and if it adheres to the dry film laminated on the substrate attached to the mask, it will cause problems such as blurring during exposure. However, if you try to add flexibility, the problem of chips will be solved.

コールドフローが発生する。このコールドフローの発生
はドライフィルムの保存中におけるロール端部の融着故
障を引き起こす。特にアルカリ性水溶液で現像可能壜ド
ライフィルムレジストにおいては、保存時の吸湿により
コールドフローが発生しやすい傾向くある。その為この
対策が゛種々検討され、例えば特公昭j’l−212!
7号、特開昭!7−2(7732号等に結合剤組成から
の改良が記載されている。しかしながらこれらの方法で
は耐コールドフロー性は改良されるものの切シ粉の問題
が発生する。仁の様に耐コールドフロー性と切シ粉を同
時に満足させる事は非常に困難であった。
Cold flow occurs. The occurrence of this cold flow causes failure of the fusion at the ends of the roll during storage of the dry film. In particular, bottle dry film resists that can be developed with alkaline aqueous solutions tend to suffer from cold flow due to moisture absorption during storage. For this reason, various countermeasures have been considered, such as the Special Publication Shoj'l-212!
No. 7, Tokukai Akira! 7-2 (No. 7732, etc.) describes improvements from the binder composition. However, although these methods improve cold flow resistance, the problem of chipping occurs. It was extremely difficult to satisfy both sex and cutting power at the same time.

(発明の目的) 本発明の目的は、切り粉の問題の無い光重合性組成物の
、耐コールド70−性を改良するととKある。
(Object of the Invention) An object of the present invention is to improve the cold resistance of a photopolymerizable composition free from the problem of chips.

(問題点を解決する為の手段) 本発明者等は、次のよう表光重合性組成物を用いること
で上記の問題点誉解決できることを見出し本出願に到っ
た。
(Means for Solving the Problems) The present inventors have discovered that the above problems can be solved by using a surface photopolymerizable composition as follows, and have arrived at the present application.

本発明の光重合性組成物は1分子中に少なくとも2個の
エチレン性不飽和二重結合を含有する付加重合性不飽和
化合物と光重合開始剤および結合剤を含有し、Wa結合
剤が共重合体成分として少なくとも2個のエチレン性不
飽和二重結合を含有する付加重合性不飽和化合物を用い
た事を特徴とする。
The photopolymerizable composition of the present invention contains an addition polymerizable unsaturated compound containing at least two ethylenically unsaturated double bonds in one molecule, a photopolymerization initiator, and a binder, and the Wa binder is It is characterized in that an addition polymerizable unsaturated compound containing at least two ethylenically unsaturated double bonds is used as a polymer component.

本発明の光重合性組成物の各成分につき以下に説明する
Each component of the photopolymerizable composition of the present invention will be explained below.

結合剤中に共重合成分として含まれる、分子中に少なく
とも2個のエチレン性不飽和二重結合を含有する付加重
合性不飽和化合物の例としては以下の化合物を挙げる事
ができる。エチレン性不飽和二重結合としては、アクリ
ロイル基、メタクリロイル基、ビニル基、等がある。ア
クリロイル基、メタクリロイル基を含む化合物例として
は、ポリオールのアクリル酸又はメタクリル酸エステル
類。
Examples of the addition-polymerizable unsaturated compound containing at least two ethylenically unsaturated double bonds in the molecule, which is contained as a copolymerization component in the binder, include the following compounds. Examples of ethylenically unsaturated double bonds include acryloyl groups, methacryloyl groups, vinyl groups, and the like. Examples of compounds containing an acryloyl group or a methacryloyl group include acrylic acid or methacrylic esters of polyols.

すなわちジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート
、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ナ
ト2エテレングリコールジ(メタ)アクリレート、ノナ
エテレングリコールジ(メタ)アクリレート、ドデカエ
テレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラデカ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエ
リスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルプロノξントリ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルプロパンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリト
ールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリト
ールはメタ(メタ)アクリレート。
Namely, diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, nato2-ethylene glycol di(meth)acrylate, nonaetelene glycol di(meth)acrylate, dodecaetelene glycol di(meth)acrylate, and tetradecaethylene. Glycol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, trimethylolpronoξtri(meth)acrylate, trimethylolpropane di(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol is meta(meth)acrylate Acrylate.

ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレ−)、
/、A−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート等、
あるいはポリアミンよυ得られるアクリルアミド又はメ
タクリルアミド類、すなわちメチレンビス(メタ)アク
リルアミド、エチレンビス(メタ)アクリルアミド、m
−キシリレンビス(メタ)アクリルアミド等、おるいは
ウレタン基を含有する化合物、すなわち、ジー(コーメ
タクリロキシエチル)−λ、4cm)リレンジクレタン
、ジー(コーアクリロキシエチル)へキサメチレンジウ
レタン、又はポリオールとジインシアネートとを予め反
応させて得られる末端イソシアネート化合物に更にβ−
ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートを反応せしめ
ることで得られる(メタ)アクリルウレタンオリゴマー
、例えば、2゜弘−トリレンジインシアネートを弘モル
とエチレングリコールを3モルとの反応生成物に1モル
のβ−ヒドロキシエチルアクリレートを反応して得うレ
ルオリゴマー等、あるいはビスフェノール人から変性誘
導されたアクリル酸、メタクリル酸エステル類、すなわ
ちビスフェノールA−エピクロルヒドリン系エポキシ樹
脂プレポリマーとアクリル酸あるいはメタクリル酸との
反応生成物、ビスフェノールAのフルキレンオキシド付
加体あるいはその水素添加物のアクリル酸、メタクリル
酸エステル等、あるいは芳香族多価カルメン酸のエステ
ル類、すなわち下記の構造式で示される化合物等が挙げ
られる。
dipentaerythritol hexa(meth)acrylate),
/, A-hexanediol di(meth)acrylate, etc.
Alternatively, acrylamide or methacrylamide obtained from polyamines, i.e. methylene bis(meth)acrylamide, ethylene bis(meth)acrylamide, m
- xylylene bis(meth)acrylamide, etc., or a compound containing a urethane group, i.e., di(co-acryloxyethyl)-λ, 4 cm) lylene dicretane, di(co-acryloxyethyl) hexamethylene diurethane, or β-
A (meth)acrylic urethane oligomer obtained by reacting a hydroxyalkyl (meth)acrylate, for example, 1 mol of β- to a reaction product of 2 mol of 2゜hiro-tolylene diincyanate and 3 mol of ethylene glycol. Relugomer etc. obtained by reacting hydroxyethyl acrylate, or acrylic acid and methacrylic acid esters modified and derived from bisphenols, i.e. reaction products of bisphenol A-epichlorohydrin epoxy resin prepolymer and acrylic acid or methacrylic acid. , acrylic acid, methacrylic acid esters of bisphenol A fullkylene oxide adducts or hydrogenated products thereof, and esters of aromatic polyhydric carmenic acids, that is, compounds represented by the following structural formula.

またエチレン性不飽和二重結合としてビニル基を含有す
る化合物例としては、ジビニルベンゼン、ジアリルフタ
レート、ジアリルマレート等が挙げられる。
Furthermore, examples of compounds containing a vinyl group as an ethylenically unsaturated double bond include divinylbenzene, diallyl phthalate, diallyl maleate, and the like.

これらの付加重合性不飽和化合物の、結合剤中における
含有率は0,000/mo1%〜t 、。
The content of these addition-polymerizable unsaturated compounds in the binder is 0,000/mo1% to t.

mo1%が適当であシ、好ましくはo 、 o o t
 molチ〜コ、Omolチであシ、さらに好ましくは
0600jmo1%〜1 、 o mol %である。
Mo1% is appropriate, preferably o, o o t
It is preferably 1% to 1%, more preferably 1% to 1%, omol%.

該含有率が0.000/moノチ以下では耐コールド7
0−性が劣?)、j 、Omo1%以上では重合時のゲ
ル化、および/又は現像不良を引き起こしやすい。
If the content is less than 0.000/mo, the cold resistance is 7.
0- Inferior gender? ), j, Omo of 1% or more tends to cause gelation during polymerization and/or poor development.

これらの付加重合性不飽和化合物と共重合させる単量体
としては、分子中に1個のエチレン性不飽和二重結合を
含有する付加重合性単量体を用いる事が可能である。
As the monomer to be copolymerized with these addition-polymerizable unsaturated compounds, it is possible to use addition-polymerizable monomers containing one ethylenically unsaturated double bond in the molecule.

代表的な単量体としてはメタクリル酸メチル、メタクリ
ル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチ
ル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリルWl−−エチル
ヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸2−ヒ
ドロキシエチル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル
、アクリル酸ブチル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸
2−エチルヘキシル、アクリル酸コーヒドロキシエチル
、アクリロニトリル、スチレン、α−メチルスチレン、
ビニルトルエン、アクリルアミド、メタクリルアミド、
ビニルメチルケトン、ビニルプロピルケトン、ビニルメ
チルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルヘキシル
エーテル及ヒビニルアセテート等が挙げられる。
Typical monomers include methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, hexyl methacrylate, methacrylic Wl-ethylhexyl, benzyl methacrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, methyl acrylate, and acrylic. Ethyl acid, butyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, co-hydroxyethyl acrylate, acrylonitrile, styrene, α-methylstyrene,
vinyltoluene, acrylamide, methacrylamide,
Examples include vinyl methyl ketone, vinyl propyl ketone, vinyl methyl ether, vinyl ethyl ether, vinyl hexyl ether, and vinyl acetate.

また弱アルカリ性水溶液で現像できる光重合性組成物の
場合においては、これらの単量体とともに酸性基を有す
る単量体を10〜60mo1%共重合させる事が望まし
い。酸性基としては例えばカルボキシル基、スルホン酸
基、リン酸基等があシ、カルボキシル基を有する単量体
としてはアクリル酸、メタクリル酸、7マル酸、けい皮
酸、イタコン酸、マレイン酸等、スルホン酸基を有する
単量体としてはビニルベンゼンスルホンa!、2−7ク
リルアミドーコーメチルゾロノンスルホン酸等、リン酸
基を有する単量体としては油脂製品■製の登録商標ホス
マーM(アシッドフォスフオキシエチルメタクリレート
)、ホスマーCL (J−クロローコーアシツドフオス
フオキシプロビルメタアクリレート)、日本化薬■製の
登録商標KAYAMERシリーズのPM−,2(ビス(
メタアクリロキシエチル)7オスフエート)、PA−/
(アクリロキシエテル7オス7エー))、PA−コ(ビ
ス(アクリロキシエチル)フォスフェート)、■大人化
学工業所製の登録商標ビニエイ)−R,PS−A参等が
挙げられる。これらを共重合体成分として含む結合剤は
、当業者には公知の任意の重合技術によシ製造するとと
ができる。以下に合成例を示す。
In the case of a photopolymerizable composition that can be developed with a weakly alkaline aqueous solution, it is desirable to copolymerize 10 to 60 mo1% of a monomer having an acidic group with these monomers. Examples of acidic groups include carboxyl groups, sulfonic acid groups, phosphoric acid groups, etc., and examples of monomers having carboxyl groups include acrylic acid, methacrylic acid, hexamaric acid, cinnamic acid, itaconic acid, maleic acid, etc. As a monomer having a sulfonic acid group, vinylbenzenesulfone a! , 2-7crylamide-co-methylzolonone sulfonic acid, etc., as monomers having a phosphoric acid group, registered trademarks of Hosmer M (acid phosphoxyethyl methacrylate) and Hosmer CL (J-chlorocor) manufactured by Oil Products ■ are used. Nippon Kayaku's registered trademark KAYAMER series PM-,2 (bis(
(methacryloxyethyl) 7 phosphate), PA-/
(acryloxyethyl 7m7a)), PA-co(bis(acryloxyethyl)phosphate), (registered trademark VINYE)-R, manufactured by Daiton Chemical Industry Co., Ltd., and PS-A. Binders containing these as copolymer components can be prepared by any polymerization technique known to those skilled in the art. A synthesis example is shown below.

合成例(表−lの4/の共重合体) メタクリル酸参44.4P、メタクリル酸メチルタタ、
ip、アクリル酸2−エチルヘキシル37゜rP、メタ
クリル酸ベンジル/u、Jli、テトラエチレングリコ
ールジアクリレート00j4cμm、λ、2′−アソヒ
ス(2,4cmジメチルバレロニトリル)o、yztp
、メチルエチルケトンyr。
Synthesis example (copolymer of 4/in Table 1) Methyl methacrylate 44.4P, methyl methacrylate,
ip, 2-ethylhexyl acrylate 37°rP, benzyl methacrylate/u, Jli, tetraethylene glycol diacrylate 00j4cμm, λ, 2'-asohis (2,4cm dimethylvaleronitrile) o, yztp
, methyl ethyl ketone yr.

7り、l−メトキシ−コープロバノールP!、71を!
00117ラスコに入れ窒素気流下to0cで要時間加
熱攪拌した。さらにコ、λ′−アゾビス(−2,4&−
ジメチルバレロニトリル)o、P。
7, l-methoxy-coprobanol P! , 71!
The mixture was placed in a 00117 flask and heated and stirred at TO0C for a required period of time under a nitrogen stream. Furthermore, λ′-azobis(-2,4&-
dimethylvaleronitrile) o, P.

りを加え90”Cで要時間加熱攪拌した。冷却後メチル
エチルケトンタIr、7pを加える事によジメタクリル
酸/メタクリル酸メチル/アクリル酸λ−エチルヘキシ
ル/メタクリル酸ベンジル/テトラエチレングリコール
ジアクリレー)(Jr。
After cooling, 7p of methyl ethyl ketonta Ir was added to form dimethacrylic acid/methyl methacrylate/λ-ethylhexyl acrylate/benzyl methacrylate/tetraethylene glycol diacrylate). (Jr.

l:j弘、り://、7:Il、!:0.Imol比)
からのj元共重合体(表−lの4/の共重合体)のメチ
ルエチルケトン、l−メトキシ−コープロバノール(2
=7重量比)の4c6重量%溶液を得た。(重量平均分
子量yzooo)また、本発明に用いられる結合剤とし
て好ましい共重合体の具体例を表Iに示すが、これのみ
に限定されるものではない。
l:j Hiro, ri://, 7:Il,! :0. Imol ratio)
Methyl ethyl ketone, l-methoxy-coprobanol (2
A 6% by weight solution of 4c (=7 weight ratio) was obtained. (Weight average molecular weight yzooo) Further, specific examples of copolymers preferable as the binder used in the present invention are shown in Table I, but the present invention is not limited thereto.

本発明における結合剤の含有量は光重合性組成物の全重
量基準で、好ましくは約ao−to重量%、そしてよシ
好ましくは約10〜70重量%である。
The content of binder in the present invention is preferably about ao-to weight percent, and more preferably about 10 to 70 weight percent, based on the total weight of the photopolymerizable composition.

本発明の光重合性組成物に好適に用いられる、重合性不
飽和化合物は、分子中(少なくとも2個のエチレン不飽
和二重結合を含有するものであシ付加重合しうるもので
あればよい。
The polymerizable unsaturated compound suitably used in the photopolymerizable composition of the present invention may be one containing at least two ethylenically unsaturated double bonds in the molecule and capable of undergoing addition polymerization. .

重合性不飽和化合物として1種又はコ稽以上の化合物を
存在させることができる。好ましい具体例としては、特
公昭J j−j Oり3号、特公昭3j−/4c7/2
号、特公昭pu−λr7λ7号に記載されている。ポリ
オールのアクリル酸又はメタクリル酸エステル類、すな
わちジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ト
リエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ノナエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ドデカエチレ
ングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラデカエチ
レングリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールトリ(メタ)アクリレ−)、トIJメチロール
プロノントリ(メタ)アクリレート、トリメテロールプ
ロパンジ(メタ)アクリレート、はメタエリスリトール
テトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトール
ヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトール
ヘキサ(メタ)アクリレート、/、6−ヘキサンシオー
ルジ(メタ)アクリレート等、あるいはポリアミンよシ
得られるアクリルアミド又はメタクリルアミド類、すな
わちメチレンビス(メタ)アクリルアミド、エチレンビ
ス(メタ)アクリルアミド、m−キシリレンビス(メタ
)アクリルアミド等、あるいはウレタン基を含有する化
合物、すなわち、ジー(コーメタクリロキシエチル)−
λ。
One or more compounds may be present as the polymerizable unsaturated compound. Preferred specific examples include Tokko Sho J-j Ori No. 3, Tokko Sho 3j-/4c7/2
No., Tokuko Shopu-λr7λ7. Acrylic or methacrylic esters of polyols, namely diethylene glycol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, tetraethylene glycol di(meth)acrylate, nonaethylene glycol di(meth)acrylate, dodecaethylene glycol di(meth)acrylate, etc. meth)acrylate, tetradecaethylene glycol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate), toIJ methylolpronone tri(meth)acrylate, trimeterolpropane di(meth)acrylate, metaerythritol tetra(meth)acrylate ) acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, 6-hexanethiol di(meth)acrylate, etc., or acrylamide or methacrylamide obtained from polyamine, i.e., methylene bis(meth)acrylate, etc. ) acrylamide, ethylenebis(meth)acrylamide, m-xylylenebis(meth)acrylamide, etc., or compounds containing a urethane group, i.e., di(comethacryloxyethyl)-
λ.

参−トリレンジウレタン、ジー(コーアクリロキシエチ
ル)へキサメチレンジウレタン、又はポリオールとジイ
ソシアネートとを予め反応させて得られる末端イソシア
ネート化合物(更にβ−ヒドロキシアルキル(メタ)ア
クリレートを反応せしめることで得られる(メタ)アク
リルウレタンオリボマー1例えば、J、参−)リレンジ
イソシアネートを参モルとエチレングリコールを3モル
との反応生成物に/そルのβ−ヒドロキシエチルアクリ
レートを反応して得られるオリゴマー等、あるいはビス
フェノールAから変性誘導されたアクリル酸、メタクリ
ル酸エステル類、すなわちビスフェノール人−エビクロ
ルヒドリン系エポキシ樹脂ゾレポリマーとアクリル酸あ
るいはメタクリル酸との反応生成物、ビスフェノール人
のアルキレンオキシド付加体あるいはその水素添加物の
アクリル酸、メタクリル酸エステル等、あるいは芳香族
多価カルボン酸のエステル類、すなわち下記の構造式で
示される化合物等が挙げられる。
Reference-tolylene diurethane, di(co-acryloxyethyl)hexamethylene diurethane, or a terminal isocyanate compound obtained by reacting a polyol with a diisocyanate in advance (further reacting with β-hydroxyalkyl (meth)acrylate) (meth)acrylic urethane oligomer 1 For example, oligomers obtained by reacting a reaction product of 3 moles of lylene diisocyanate and 3 moles of ethylene glycol with β-hydroxyethyl acrylate. or acrylic acid or methacrylic acid esters modified and derived from bisphenol A, i.e., reaction products of bisphenol-ebichlorohydrin epoxy resin sol polymer with acrylic acid or methacrylic acid, alkylene oxide adducts of bisphenol or the like. Examples include hydrogenated acrylic acid, methacrylic ester, etc., and esters of aromatic polycarboxylic acids, that is, compounds represented by the following structural formula.

さらKこれらの重合性不飽和化合物とともに、分子中に
7個のエチレン性不飽和二重結合を含有する重合性不飽
和化合物を含んでもよい。好ましい具体例としては、エ
チレングリコールモノ(メタ)アクリレート、トリエチ
レングリコールメチルエーテル(メタ)アクリレート、
エチレングリコールフェニルエーテル(メタ)アクリレ
ート、テトラエチレングリコールモノ(メタ)アクリレ
ート、ジアセトンアクリルアミド、(メタ)アクリルア
ミド、N−n−ブチル(メタ)アクリルアミド等が挙げ
られる。
Furthermore, in addition to these polymerizable unsaturated compounds, a polymerizable unsaturated compound containing seven ethylenically unsaturated double bonds in the molecule may be included. Preferred specific examples include ethylene glycol mono(meth)acrylate, triethylene glycol methyl ether (meth)acrylate,
Examples include ethylene glycol phenyl ether (meth)acrylate, tetraethylene glycol mono(meth)acrylate, diacetone acrylamide, (meth)acrylamide, N-n-butyl (meth)acrylamide, and the like.

重合性不飽和化合物の含有量は光重合性組成物の全重量
基準で、好ましくは約7.j−jji量チ、そしてよシ
好ましくは約lj−弘!重量%である。
The content of the polymerizable unsaturated compound is preferably about 7.5% based on the total weight of the photopolymerizable composition. j-jji quantity chi, and preferably about lj-hiro! Weight%.

本発明の組成物に好適に用いられる光重合開始剤として
は、前記重合性不飽和化合物の重合を開始させうる単一
の化合物、または二種以上の化合物を組合せた光重合開
始剤系はすべて用いることができる。好ましくは、この
光重合開始剤又は光重合開始剤系は約3000〜roo
o^、好ましくは3300−j000^の範囲内に少な
くとも約!0の分子吸光係数を有する成分を少なくとも
一種含有している。
The photopolymerization initiator suitably used in the composition of the present invention includes a single compound capable of initiating the polymerization of the polymerizable unsaturated compound, or a photopolymerization initiator system consisting of a combination of two or more compounds. Can be used. Preferably, the photoinitiator or photoinitiator system has a molecular weight of about 3000 to roo.
o^, preferably at least about in the range 3300-j000^! Contains at least one component having a molecular extinction coefficient of 0.

光重合開始剤の好ましい具体例として1次の化合物を挙
げることができる。芳香族ケトン類、例えばベンゾフェ
ノン、4!、参′−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン、p、l−ビス(ジエチルアミン)ベンゾフェノン
、≠−メトキシー弘′−ジメチルアミノベンゾフェノン
、<z、4c’−ジメトキシベンゾフェノン、≠−ジメ
チルアミノベンゾフェノ/、弘−ジメチルアミノアセト
7二ノン、ベンジル、アントラキノン、 2−tert
−7’チルアントラキノン、2−メチルアントラキノン
、7エナントラキノン、キサントン、チオキサントン、
コークロルーチオサキントン、コ、4!−ジエチルチオ
キサントン、フルオレノン、アクリドンおよびベンゾイ
ン、ベンゾインエーテル類、例えハヘンゾインメチルエ
ーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピ
ルエーテル、インゾインイソプロビルエーテル、ベンゾ
イン7二二ルエーテル、およびλ、≠、1−)リアリー
ルイミダゾール二量体類1例えばλ−(0−クロロフェ
ニル)−≠、!−ジフェニルイミダゾールニ量体、λ−
(0−クロロフェニル)−≠、j−ジ(m−メトキシフ
ェニル)イミダゾールニ量体、コー(0−フルオロフェ
ニル)−≠、!−ジフェニルイミダゾールニ量体、2−
(0−メトキシ7エ二ル)−≠、j−ジフェニルイミダ
ゾールニ量体。
Preferred specific examples of the photopolymerization initiator include primary compounds. Aromatic ketones, such as benzophenone, 4! , 3'-bis(dimethylamino)benzophenone, p,l-bis(diethylamine)benzophenone, ≠-methoxyhiro'-dimethylaminobenzophenone, <z,4c'-dimethoxybenzophenone, ≠-dimethylaminobenzophenone/, hiro- dimethylaminoaceto7dinone, benzyl, anthraquinone, 2-tert
-7' thylanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 7 enanthraquinone, xanthone, thioxanthone,
Kokroruthiosakinton, Ko, 4! - diethylthioxanthone, fluorenone, acridone and benzoin, benzoin ethers, such as hachenzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin propyl ether, inzoin isopropyl ether, benzoin 722yl ether, and λ,≠,1-) Realyl imidazole dimers 1 such as λ-(0-chlorophenyl)-≠,! -diphenylimidazole dimer, λ-
(0-chlorophenyl)-≠, j-di(m-methoxyphenyl)imidazole dimer, co(0-fluorophenyl)-≠,! -diphenylimidazole dimer, 2-
(0-Methoxy7enyl)-≠, j-diphenylimidazole dimer.

λ−(p−メトキシフェニル)−参、j−ジフェニルイ
ミダゾールニ量体、およびポリハロゲン化合物、例えば
四臭化炭素、フェニルトリブロモメチルスルホン、フェ
ニルトリクロロメチルケトン、およびクマリン類、例え
ばJ−(2−ベンゾフロイル)−7−ジエチルアミノク
マリン、J−(λ−ベンゾ70イル)−7−(/−ピロ
リジニル)クマリン、3−ベンゾイル−7−ジエチルア
ミノクマリン、J−(o−メトキシベンゾイル)−7−
ジエチルアミノクマリン、3−(p−ジメチルアミノベ
ンゾイル)−7−ジエチルアミノクマリン、3,3′−
カルボニルビス(!、7−ジーn−フロポキシクマリン
)、J、!’−カルボニルビス(7−ジエチルアミノク
マリン)、3−ベンゾイル−7−メドキシクマリン、J
−(λ−フロイル)−7−ジエチルアミノクマリン、J
−(p−ジエチルアミノシンナモイル)−7−ジエチル
アミノクマリン、7−メドキシーJ−(j−ピリジルカ
ルボニル)クマリン、J−ベンゾイル−!。
λ-(p-methoxyphenyl)-, j-diphenylimidazole dimer, and polyhalogen compounds such as carbon tetrabromide, phenyltribromomethylsulfone, phenyltrichloromethylketone, and coumarins such as J-(2 -benzofuroyl)-7-diethylaminocoumarin, J-(λ-benzo70yl)-7-(/-pyrrolidinyl)coumarin, 3-benzoyl-7-diethylaminocoumarin, J-(o-methoxybenzoyl)-7-
Diethylaminocoumarin, 3-(p-dimethylaminobenzoyl)-7-diethylaminocoumarin, 3,3'-
Carbonylbis(!, 7-di-n-flopoxycoumarin), J,! '-Carbonylbis(7-diethylaminocoumarin), 3-benzoyl-7-medoxycoumarin, J
-(λ-furoyl)-7-diethylaminocoumarin, J
-(p-diethylaminocinnamoyl)-7-diethylaminocoumarin, 7-medoxy J-(j-pyridylcarbonyl)coumarin, J-benzoyl-! .

7−ジプロポキシクマリン、およびアミン類1例えばp
−ジメチルアミノ安息香酸エテル、p−ジメチルアミノ
安息香酸n−ブチル、p−ジメチルアミノ安息香酸7エ
ネデル、p−ジメチルアミノ安息香酸コー7タルイミド
エチル、p−ジメチルアミノ安息香酸コーメタクリロイ
ルオキシエチル、ペンタメチレンビス(p−ジメチルア
ミノベンゾエート)1m−ジメチルアミノ安息香酸の7
エネチルおよびペンタメチレンエステル、p−ジメチル
アミノベンズアルデヒド、コークロルー≠−ジメチルア
ミノベンズアルデヒド、p−ジメチルアミノベンジルア
ルコール、エチル(p−ジメチルアミノ)ベシゾイルア
セテート、p−ピイリジノアセトフェノン、l−ジメチ
ルアミノベンゾイン、N、N−ジメチル−p−)ルイジ
ン、N、N−ジエチルーm−7エネチジン、トリベンジ
ルアミン。
7-dipropoxycoumarin, and amines 1 such as p
-dimethylaminobenzoic acid ether, p-dimethylaminobenzoic acid n-butyl, p-dimethylaminobenzoic acid 7-enedel, p-dimethylaminobenzoic acid co-7talimidoethyl, p-dimethylaminobenzoic acid co-methacryloyloxyethyl, penta Methylenebis(p-dimethylaminobenzoate) 1m-dimethylaminobenzoic acid 7
enethyl and pentamethylene esters, p-dimethylaminobenzaldehyde, cochrolu≠-dimethylaminobenzaldehyde, p-dimethylaminobenzyl alcohol, ethyl (p-dimethylamino) besizoyl acetate, p-pyridinoacetophenone, l-dimethylaminobenzoin, N,N-dimethyl-p-)luidine, N,N-diethyl-m-7enetidine, tribenzylamine.

ジインジルフェニルアミン、N−メ?ルーN−フェニル
ベンジルアミン、 p−、−ロムーNsN−ジメチルア
ニリン、トリドデシルアミン、ロイコクリスタルバイオ
レット、訃よび特開昭!!−/JJuJt号、特公昭j
7−/r/り号、I!!f公昭j7−402を号、米国
特許第Jt/jダj!号に開示されている化合物。二種
以上の組合せ、例えばコ、参、J−)リアリールイミダ
ゾールニ量体と2−メルカプトベンズオキサゾール又は
ロイコクリスタルバイオレット等との組合せ、tた米国
特許第Jダコ7/l/号に記載の弘、参′−ビス(シメ
テルアξ、))ベンゾフェノンとベンゾフェノン又はベ
ンゾインメチルエーテルとの組合せおよび米国特許第ダ
コ3り110号に記載の、ベンゾイル−N−メチルナフ
トチアゾリンと2.タービス(トリクロロメチル)−j
−m−メトキシフェニルトリアゾールの組合せ、また特
開昭17一コJtOコ号に記載のジメチルチオキサント
ンと参−ジアルキルアミノ安息香酸エステルの組合せが
挙げられる。
Diindylphenylamine, N-me? Leu-N-phenylbenzylamine, p-,-Romu-NsN-dimethylaniline, tridodecylamine, leuco crystal violet, Kan and Tokukaisho! ! -/JJuJt issue, Tokuko Shoj
7-/r/ri issue, I! ! No. f Kosho J7-402, U.S. Patent No. Jt/jdaj! Compounds disclosed in No. A combination of two or more types, such as a combination of a 2-mercaptobenzoxazole or a leuco crystal violet, etc., with a 2-mercaptobenzoxazole or a 2-mercaptobenzoxazole or a leuco crystal violet, as described in U.S. Pat. 2. Combinations of benzophenone and benzophenone or benzoin methyl ether and benzoyl-N-methylnaphthothiazoline as described in U.S. Pat. No. 3,110. Tervis (trichloromethyl)-j
Examples include a combination of -m-methoxyphenyltriazole and a combination of dimethylthioxanthone and dialkylaminobenzoic acid ester described in JP-A-17-171 JtO.

光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は光重合性組
成物の総重量基準で、好ましくは約0゜/−10重量%
、そしてよシ好ましくは約0.2〜を重量%である。
The content of the photoinitiator or photoinitiator system is preferably about 0°/-10% by weight based on the total weight of the photopolymerizable composition.
, and more preferably from about 0.2% by weight.

本発明の光重合性組成物は、光重合開始剤とエチレン不
飽和化合物と結合剤を必須成分とするが。
The photopolymerizable composition of the present invention includes a photopolymerization initiator, an ethylenically unsaturated compound, and a binder as essential components.

必要に応じて熱重合防止剤、可塑剤、色素、変色剤、単
官能エチレン不飽和化合物、さらに基体表面への密着促
進剤およびその他の助剤類を併用してもよく、これKよ
って目的とするフォトレジストの写真性、焼出し性、膜
物性等の性質を調節することができる。
If necessary, a thermal polymerization inhibitor, a plasticizer, a pigment, a color change agent, a monofunctional ethylenically unsaturated compound, an adhesion promoter to the substrate surface, and other auxiliary agents may be used in combination. Properties such as photographic properties, printout properties, and film properties of the photoresist can be adjusted.

熱重合防止剤は、本発明の光重合性組成物の熱的な重合
又は経時的な重合を防止するために添加するもので、例
えば、p−メトキシフェノール、ヒドロキノン、t−7
’チルカテコール、ピロガロール、コー6ヒドロキシイ
ンゾフエノン、l−メトキシーコーヒドロキシベンゾフ
ェノン、塩(tJEz銅、フェノチアジン、クロラニル
、す7チルアミン、β−ナフトール、コ、4−ジーt−
ブチルーp−ルゾール、ニトロベンゼン、ジニトロベン
ゼン、ピクリン酸、p−トルイジン等が挙げられる。
The thermal polymerization inhibitor is added to prevent thermal polymerization or temporal polymerization of the photopolymerizable composition of the present invention, and examples thereof include p-methoxyphenol, hydroquinone, and t-7.
'Tylcatechol, pyrogallol, co-6-hydroxyinzophenone, l-methoxy-co-hydroxybenzophenone, salt (tJEz copper, phenothiazine, chloranil, 7-thylamine, β-naphthol, co-,4-di-t-
Examples include butyl-p-ruzole, nitrobenzene, dinitrobenzene, picric acid, p-toluidine, and the like.

可塑剤は、膜物性をコントロールするために添加するも
ので1例えば、ジブチルフタレート、ジアリルフタレー
ト、ジオクチルフタレート、ジアリルフタレート等のフ
タル酸エステル類;トリエチレングリコールジアセテー
ト、テトラエチレングリコールジアセテート等のグリコ
ールエステル類;トリクレジルホスフェート、トリフェ
ニルホスフェート等のリン酸エステル類;p  )ルエ
ンスルホンアミド、ベンゼンスルホンアミド、N−n−
ブチルアセトアミド等のアミド類;ジイソブチルアジベ
ート、ジオクチルアジイード、ジメチルセパケート、ジ
オクチルアゼレート、ジブチルマレート等の脂肪族二塩
基酸エステル類;クエン駿トリエチル、クエン酸トリブ
チル、グリセリントリアセチルエステル、ラウリン酸ブ
チル、り。
Plasticizers are added to control the physical properties of the film. For example, phthalate esters such as dibutyl phthalate, diallyl phthalate, dioctyl phthalate, and diallyl phthalate; glycols such as triethylene glycol diacetate and tetraethylene glycol diacetate. Esters; Phosphate esters such as tricresyl phosphate and triphenyl phosphate; p) Luenesulfonamide, benzenesulfonamide, N-n-
Amides such as butylacetamide; aliphatic dibasic acid esters such as diisobutyl adibate, dioctyl azide, dimethyl sepacate, dioctyl azelate, dibutyl maleate; triethyl citrate, tributyl citrate, glycerin triacetyl ester, laurin Butyl acid, Ri.

!−ジエポキシシク筒ヘキサンー/、2−ジカルボン酸
ジオクチル等が挙げられる。
! -diepoxycyclohexane/, dioctyl 2-dicarboxylate, and the like.

色素の例は、ブリリアントグリーン、エオシン、クシン
、フェノールフタレイン、l、3−ジ7工二ルトリアジ
ン、アリザリンレッドS、チモールフタレイン、メチル
バイオレットJB、キナルジンレッド、ローズベンガル
、メタニルイエロー、チモールスルホフタレイン、キシ
レノールブルー。
Examples of pigments are brilliant green, eosin, cucine, phenolphthalein, l,3-di7-dirutriazine, alizarin red S, thymolphthalein, methyl violet JB, quinaldine red, rose bengal, methanil yellow, Thymol sulfophthalein, xylenol blue.

メチルオレンジ、オレンジ■、ジフェニルチオカルバゾ
ン、2.7−ジクロロフルオレセイン、パラメチルレッ
ド、コンゴーレッド、ベンゾプルプリン参B、α−す7
テルレツド、ナイルブル−A。
Methyl orange, orange ■, diphenylthiocarbazone, 2,7-dichlorofluorescein, paramethyl red, Congo red, benzopurpurin ginseng B, α-su 7
Terretsud, Nile Blue-A.

7エナセタリン、メチルバイオレット、マラカイトクリ
ーン 、e7フクシン、オイルブルー≠603〔オリエ
ント化学工業■製〕、ビクトリアピュアブ#−BOH,
スピロンブルーGN(保土谷化学工業■製〕、ローダミ
ンB、ローダミン6Gなどである。
7 enacetarin, methyl violet, malachite clean, e7 fuchsin, oil blue ≠ 603 [manufactured by Orient Chemical Industry ■], Victoria Pureb #-BOH,
These include Spilon Blue GN (manufactured by Hodogaya Chemical Industry Co., Ltd.), Rhodamine B, Rhodamine 6G, and the like.

変色剤は、露光によシ可視像を与えることができるよう
に光重合組成物中に添加される。これらの具体例として
、前記色素の他にジフェニルアミン、ジベンジルアニリ
ン、トリフェニルアミン、ジエチルアニリン、ジフェニ
ル−p−フェニレンジアミン、p−トルイジン、4/−
、参′−ビフェニルジアミン、o−クロロアニリン、ロ
イコクリスタルバイオレット、ロイコマラカイトグリー
ン、ロイコアニリン、ロイコメチルバイオレット等が挙
げられる。
A color change agent is added to the photopolymerizable composition so that it can provide a visible image upon exposure to light. Specific examples of these include, in addition to the above dyes, diphenylamine, dibenzylaniline, triphenylamine, diethylaniline, diphenyl-p-phenylenediamine, p-toluidine, 4/-
, biphenyl diamine, o-chloroaniline, leuco crystal violet, leucomalachite green, leucoaniline, leucomethyl violet and the like.

密着促進剤の具体例としては、ベンズイミダゾール、ベ
ンズチアゾール、ベンズオキサゾール、ベンズトリアゾ
ールなど特公昭!0−タ/77号に記載の化合物、2−
メルカプトベンズチアゾール、コーメルカブトペンズイ
ミダゾールなど特開昭13−702号に記載の化合物等
が皐げられる。
Specific examples of adhesion promoters include benzimidazole, benzthiazole, benzoxazole, and benztriazole. Compound described in No. 0-ta/77, 2-
Compounds such as mercaptobenzthiazole and comelkabutopenzimidazole described in JP-A-13-702 are used.

本発明の光重合性組成物は前述の各種構成成分を溶媒中
に溶解せしめ、所望の支持体上に公知の方法によシ塗布
して用いられる。その場合に使用される溶媒としてはエ
チレンジクロリド、モノクロルベンゼン、シクロヘキサ
ノン、メfk工fkトキシーコープロパノール、トルエ
ン、キシレンなどの単独、又は混合物である。
The photopolymerizable composition of the present invention is used by dissolving the above-mentioned various components in a solvent and applying the solution onto a desired support by a known method. Solvents used in this case include ethylene dichloride, monochlorobenzene, cyclohexanone, methoxypropanol, toluene, xylene, etc. alone or in mixtures.

本発明の光重合性組成物は、ドライフィルムレジストの
7オトレジスト層として好適である。その場合%フォト
レジスト層の厚みとしてはO6lμから100μが適当
であり、l#に好ましくは/μから200μの範囲であ
る。また本発明の光重合性組成物を用いて感光性平版印
刷版を製造する場合、塗布量は一般的に乾燥時0./−
10,0g7m2が適当であり特に好ましくは0.1−
j。
The photopolymerizable composition of the present invention is suitable as the 7th photoresist layer of a dry film resist. In that case, the appropriate thickness of the photoresist layer is from O6lμ to 100μ, and preferably from /μ to 200μ for l#. Further, when producing a photosensitive lithographic printing plate using the photopolymerizable composition of the present invention, the coating amount is generally 0.000. /-
10.0g7m2 is suitable, particularly preferably 0.1-
j.

Ogl展2である。This is Ogl Exhibition 2.

本発明の光重合性組成物をドライフィルムレジストとし
て使用する場合、好適な支持体としてはポリアミド、ポ
リオレフィン、ポリエステル、ビニル重合体お°よびセ
ルロースエステルなどのフィルムから選ばれる3μから
100μの厚みを持つものがよい。特に好適な支持体フ
ィルムは約i。
When the photopolymerizable composition of the present invention is used as a dry film resist, a suitable support is selected from films such as polyamides, polyolefins, polyesters, vinyl polymers, and cellulose esters having a thickness of 3μ to 100μ. Things are good. Particularly suitable support films have a thickness of about i.

から2Iμの厚さを持つ透明なポリエチレンテレフタレ
ートフィルムである。又この場合好適々保8フィルムと
してはポリオレフィンが挙げられ、特に好ましいものと
してλO〜コ!μの厚さのポリエチレンフィルムを挙げ
ることができる。
A transparent polyethylene terephthalate film having a thickness of 2 to 2 Iμ. In this case, polyolefins are preferably used as the protective film, and particularly preferred are λO~co! Mention may be made of polyethylene films with a thickness of μ.

ま九本発明の光重合性組成物をフォトマスク用フィルム
の製造に使用する場合、好適な支持体としてはアルミニ
ウム、アルミニウム合金やクロムを蒸着させたポリエチ
レンテレフタレートフィルムや着色層を設けたポリエチ
レンテレフタレートフィルムを挙げることができる。
(9) When the photopolymerizable composition of the present invention is used to produce a photomask film, suitable supports include polyethylene terephthalate films deposited with aluminum, aluminum alloys, and chromium, and polyethylene terephthalate films provided with colored layers. can be mentioned.

また本発明の光重合性組成物を感光性平版印刷版の感光
層として使用する場合の好適な支持体としては、親水性
処理したアルミニウム板、たとえばシリケート処理した
アルミニウム板、陽極酸化したアルミニウム板、砂目立
てしたアルミニウム板、シリケート電着したアルミニウ
ム板があシ、それ以外にも、亜鉛板、ステンレス板、ク
ローム処理銅板、親水化処理したプラスチックフィルム
や紙を挙けることができる。
Further, when the photopolymerizable composition of the present invention is used as a photosensitive layer of a photosensitive lithographic printing plate, suitable supports include hydrophilically treated aluminum plates, such as silicate-treated aluminum plates, anodized aluminum plates, Examples include grained aluminum plates, silicate electrodeposited aluminum plates, zinc plates, stainless steel plates, chrome-treated copper plates, and hydrophilic plastic films and paper.

また印刷用カラープルーフ、オーバーヘッドプロジェク
タ−用フィルム、第2原図用フィルムの製造K、本発明
の光重合性組成物を用いる場合、これらに適する支持体
としてはポリエチレンテレフタレートフィルム、 三酢
酸セルローズフィルム等の透明フィルムや、これらのプ
ラスチックフィルムの表面を化学的又は物理的に粗面化
したものを挙げることができる。
In addition, when the photopolymerizable composition of the present invention is used for producing color proofs for printing, films for overhead projectors, and films for second original drawings, suitable supports include polyethylene terephthalate film, cellulose triacetate film, etc. Examples include transparent films and plastic films whose surfaces have been chemically or physically roughened.

本発明の光重合性組成物は、/eerl )’Jジクロ
ルタン等の有機溶剤、または炭酸ナトリウム水溶液等の
弱アルカリ水溶液、または弱アルカリ水溶液と水と混和
性の有機溶剤からなる半溶剤水溶液等によって現像でき
る。
The photopolymerizable composition of the present invention can be prepared by using an organic solvent such as /eerl)'J dichlorothane, a weak alkaline aqueous solution such as a sodium carbonate aqueous solution, or a semi-solvent aqueous solution consisting of a weak alkaline aqueous solution and an organic solvent miscible with water. Can be developed.

本発明をさらに詳しく説明する為に以下に実施例を示す
Examples are shown below to explain the present invention in more detail.

実施例−1 表−7のムlの共重合体の弘O重量%溶液(溶媒はメチ
ルエチルケト/、l−メトキシー−一プロノセノール(
コニ1重量比))37.17 ウンデカプロピレングリコール   7.O6fジアク
リレート テトラデカエチレングリコール   ノ、944Fジア
クリレート エチルミヒラーズケトン      O0Oμ!インシ
フエノン          o、ajyλ、参−ジエ
チルチオキサン)    0./llン p−ジメチルアミノ安息香酸二   0.2タテル トリブロモメチルフェニルスル   a、/19ホン j、4−ビス(ジフェニルアミ   o、oり1))フ
ルオラン l−フェニル−3−モルホリノ   0,0/pメチル
−I、3.ダートリア ゾール−λ−テオン ビクトリアビニアブルーBOHO,0/1p上記組成よ
シ成る感光液をi!jlinし、ロッドコーターで、2
!μ厚のポリエチレンテレフタレートフィルムに乾燥膜
厚が約jθμになるように塗布し、100°Cのオーブ
ン中で2分間乾燥した。
Example-1 A Hiro O weight% solution of the copolymer of Table 7 (the solvent was methyl ethyl keto/, l-methoxy-pronocenol (
1 weight ratio)) 37.17 Undecapropylene glycol 7. O6f diacrylate tetradecaethylene glycol no, 944F diacrylate ethyl Michler's ketone O0Oμ! Inciphenone o, ajyλ, 3-diethylthioxane) 0. /llnp-dimethylaminobenzoic acid di0.2tertribromomethylphenylsul a,/19honj,4-bis(diphenylamino,o1))fluoran l-phenyl-3-morpholino 0,0 /p methyl-I, 3. Dirt Triazole-λ-Theon Victoria Vinia Blue BOHO, 0/1p A photosensitive liquid having the above composition is used as i! jlin and rod coater, 2
! It was coated on a μ-thick polyethylene terephthalate film so that the dry film thickness was approximately jθμ, and dried in an oven at 100°C for 2 minutes.

この様にして得られたドライフィルムレジストを整面し
、乾燥した銅張積層板上に、上記塗膜面が銅表面に接触
するように、Aλ≠型ラミネーター(Du Pknt 
社製)を用いてtso 0cでラミネートした。配線パ
ターン(導体パターン(線幅100μ)が不透明背景上
に透明部分として現れている高コントラスト透明体画像
)を通してl16 m J / 0M2で露光した(j
KW超高圧水銀灯両面同時露光装置HMW−j−N型(
オーク■製)を使用>。ポリエチレンテレフタレートフ
ィルムを剥ぎ取り、JOc′Cの1重量%炭酸ナトリウ
ムを得た。
The dry film resist thus obtained was leveled and placed on the dried copper-clad laminate using an Aλ≠ type laminator (Du Pknt) so that the coating surface was in contact with the copper surface.
It was laminated using TSO 0c (manufactured by Co., Ltd.). The wiring pattern (a high-contrast transparent image in which a conductor pattern (line width 100 μ) appears as a transparent part on an opaque background) was exposed at l16 m J/0 M2 (j
KW ultra-high pressure mercury lamp double-sided simultaneous exposure device HMW-j-N type (
Made of oak)>. The polyethylene terephthalate film was peeled off to obtain 1% by weight sodium carbonate of JOc'C.

また、このドライフィルムレジストの切シ粉、耐コール
ド70−性を評価した結果を表−コに示す。
In addition, the results of evaluating the chipping and cold resistance of this dry film resist are shown in Table 1.

実施例−一 結合剤として表−7のAコの共重合体を用いる他は実施
例−7と同様にして、ドライフィルムレジストを得九。
Example 1 A dry film resist was obtained in the same manner as in Example 7 except that copolymer A in Table 7 was used as the binder.

このドライフィルムレジストを実施例−7と同様にして
側光、現像する事によシ、良好なレジストノターン像を
得た。ま九このドライフィルムレジストの切シ粉、耐コ
ールド70−性を評価した結果を表−2に示す。
By side-lighting and developing this dry film resist in the same manner as in Example 7, a good resist pattern image was obtained. Table 2 shows the results of evaluating the cutting dust and cold resistance of Makuko's dry film resist.

実施例−3 結合剤として表−7のJIIL3の共重合体を用いる他
は実施例−7と同様にして、ドライフィルムレジストを
得た。このドライフィルムレジストを実施例−7と同様
にして震光、現ず象する事によシ、良好なレジストノタ
ーン像を得た。またこのドライフィルムレジストの切シ
粉、耐コールド70−性を評価した結果を表ニーに示す
Example 3 A dry film resist was obtained in the same manner as in Example 7, except that the copolymer of JIIL3 shown in Table 7 was used as the binder. A good resist pattern image was obtained by subjecting this dry film resist to tremor and light imaging in the same manner as in Example 7. In addition, the results of evaluating the chipping and cold resistance of this dry film resist are shown in Table 1.

比較例−/ 結合剤として下記の結合剤を用いる他は実施例−7と同
様にしてドライフィルムレジストを得た。
Comparative Example-/A dry film resist was obtained in the same manner as in Example-7 except that the following binder was used as the binder.

メタクリル酸/メタクリル酸メチル/アクリル酸コーエ
チルヘキシル/メタクリル酸ベンジル(21,r:!!
:// 、7:4I# mol比)からの−元共重合体 このドライフィルムレジストの切り粉、耐コールド70
−性を評価した結果を表−コに示す。
Methacrylic acid/methyl methacrylate/coethylhexyl acrylate/benzyl methacrylate (21, r:!!
:// , 7:4I# mol ratio) - Original copolymer This dry film resist chips, cold resistance 70
- The results of evaluating the performance are shown in Table-C.

(切シ粉の評価法) 整面し、乾燥した銅張積層板上にドライフィルムレジス
トの塗膜面が鋼表面に接触する様KA−2参型ラ電型ラ
ミネーター Pont社製)を用いて120°Cでラミ
ネートした。これを銅張積層板にそってカッターでレジ
ストを切断しその断俄面の状態(滑らかに切れるか)を
目視で評価。
(Evaluation method for cutting chips) A KA-2 laden type laminator (manufactured by Pont) was used to make sure that the coated surface of the dry film resist was in contact with the steel surface on a leveled and dried copper-clad laminate. Laminated at 120°C. The resist is cut along the copper-clad laminate using a cutter, and the condition of the cut surface (does it cut smoothly) is visually evaluated.

(O:良好 Δ:可 ×:不良) (耐コールドフロー性の評価) ドライフィルムレジストをポリエチレンフィルムでラミ
ネートした後!偏角に切断する。これを10枚重ねにし
た後鋼板間にはさみ/、、2Kfの荷重をかける。ao
 0cro%RHに保存し感光層が浸み出し始めた日数
で評価。
(O: Good Δ: Fair ×: Poor) (Evaluation of cold flow resistance) After laminating dry film resist with polyethylene film! Cut at a declination angle. After stacking 10 of these sheets, a load of 2 Kf was applied between the steel plates. ao
It was stored at 0cro%RH and evaluated based on the number of days the photosensitive layer started to seep out.

表−2切シ粉と耐コールドフロー性の比較(発明の効果
) 本発明の結合剤を含む光重合性組成物は特に耐コールド
フロー性に優れかつ切シ粉の問題のないものである。
Table 2: Comparison of cutting dust and cold flow resistance (effects of the invention) The photopolymerizable composition containing the binder of the present invention has particularly excellent cold flow resistance and is free from the problem of cutting dust.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和二重結合を
含有する付加重合性不飽和化合物と光重合開始剤および
結合剤を含有する光重合性組成物において、前記結合剤
の共重合体成分として少なくとも一種の、分子中に少な
くとも2個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重
合性不飽和化合物を用いた事を特徴とする光重合性組成
物。
In a photopolymerizable composition containing an addition polymerizable unsaturated compound containing at least two ethylenically unsaturated double bonds in the molecule, a photopolymerization initiator, and a binder, as a copolymer component of the binder A photopolymerizable composition comprising at least one addition polymerizable unsaturated compound having at least two ethylenically unsaturated double bonds in the molecule.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007262414A (en) * 1998-10-29 2007-10-11 Advanced Medical Optics Inc Polymer composition and ophthalmic lens main body

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