JPS6238449A - Photopolymerizable composition - Google Patents

Photopolymerizable composition

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JPS6238449A
JPS6238449A JP17822385A JP17822385A JPS6238449A JP S6238449 A JPS6238449 A JP S6238449A JP 17822385 A JP17822385 A JP 17822385A JP 17822385 A JP17822385 A JP 17822385A JP S6238449 A JPS6238449 A JP S6238449A
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JP
Japan
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meth
composition
acrylate
group
polymer
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JP17822385A
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Japanese (ja)
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Hideki Nagasaka
長坂 英樹
Noriaki Takahashi
徳明 高橋
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Mitsubishi Kasei Corp
Original Assignee
Mitsubishi Kasei Corp
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Abstract

PURPOSE:To obtain the titled composition having an excellent adhesive property against a substrate composed of copper and a less tendency for separating it from the substrate in a solder bath and a good sensitivity by incorporating a specific binder polymer to the titled composition. CONSTITUTION:The titled composition is composed of a high polymer compd. A having a polymerizable double bond in a side chain of a molecule, a (meth) acrylate compd. B having a phosphoric acid ester proup and a photopolymerization initiator C. The high polymer A has >=5,000 a weight average molecular weight with regard to a film formation, a heat resistance and a chemical resistance, more preferably, 10,000-200,000 the weight average molecular weight considering coating, developing and laminating properties in addition to the prescribed characteristics. The photopolymerizable composition B comprises the (meth)acrylate having the phosphoric acid ester group, more preferably, tris(meth)acryloxyethyl phosphate. The compounding ratio of each components is preferably (A):(B):(C)=100:(0.5-50):(0.5-10).

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発°明は新規な光重合性組成物に関し、特に永久保護
マスク用として好適な光重合性組成物に関する。更に詳
しくは、プリント配線板製造の際のソルダーレジストや
、無電解メツキレシスト用として優れた特性を有するこ
とから、このような永久保護マスク用途として好適な光
重合性組成物に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a novel photopolymerizable composition, and particularly to a photopolymerizable composition suitable for use in a permanent protective mask. More specifically, the present invention relates to a photopolymerizable composition that is suitable for use as a permanent protective mask because it has excellent properties as a solder resist in the production of printed wiring boards and as an electroless metal resist.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

プリント配線板製造時に用いるレジストの内、エツチン
グ用レジストおよび電解メッキ用レジストは、通常、一
時的保護マスクとして用いられ、従って、最終のプリン
ト配線板には残留しない。一方、ソルダー用レジストお
よびフルアディティブ法の無電解メツキレシストは、通
常、剥離することなく永久保護マスクとしてプリント配
線板の最終構成部材となる為に、一時的保護マスクとは
異なる様々な特性が要求される。
Among the resists used in the manufacture of printed wiring boards, etching resists and electrolytic plating resists are usually used as temporary protective masks and therefore do not remain on the final printed wiring board. On the other hand, solder resists and fully additive electroless metal resists are usually used as permanent protective masks as final components of printed wiring boards without peeling, so they require various characteristics different from those of temporary protective masks. Ru.

これらの諸性能の一つとしてソルダー用レジストの場合
、銅に対する接着性が挙げられる。すなわち、トリクロ
ロエチレンなどの溶剤に浸漬した場合やコロ0℃程度の
半田浴に浸漬した場合にレジストの銅からの剥離を生じ
ないことが重要である。
In the case of a solder resist, one of these various performances is adhesion to copper. That is, it is important that the resist does not peel off from the copper when immersed in a solvent such as trichlorethylene or in a solder bath at about 0°C.

従来、レジストの銅に対する接着性向上の為の添加剤が
多数提案されている。例えば、特公昭!0−9/77号
明細書には特定の窒素含有複素環化合物が有効であるこ
とが述べられている。また特公昭!グー5コ9−には特
定の硫黄化合物が提案されている。しかし、これらは主
として一時的保護マスクにはある程度有効ではあるもの
の、前記した様な過酷な条件下における耐性を必要とす
る永久保護マスク用としては極めて不充分であった。そ
の後、開示□された技術としては、特定の含窒素化合物
とリン酸化合物との併用(特公昭5tr−19033号
、特開昭Sクー/1113タコ号、同rg−qtJt号
、同!rざ一9/3E号、同S9−ダ6&ダー号、同l
IにりSコ号各間細書)、有機過酸化物とリン酸化合物
との併用(特開昭40−//、7コJり号明細書)など
が永久保護マスク用として提案されている。これらの報
告において、いずれもリン酸化合物の単独添加では殆ど
効果を有しないことが記載されている。また、特公昭!
3−ダ41.7ダ6号明細書には光重合性化合物の例示
の中にリン含有アクリレートが記載されているが接着性
向上の記載は無く、特開昭!グー6−〇’17号明細書
では特定リン酸化合物が一時的マスクの剥離現像用組成
物の添加成分として有効であることが開示されているが
永久マスク用としては充分では無い。また、仮シに複数
化合物の添加により接着性能が改善される場合において
も、しばしば、他の諸性能、例えば、感度、保存性等に
悪影響をもたらす為1通常、添加剤の種類は少ない方が
望ましい。
Conventionally, many additives have been proposed for improving the adhesion of resist to copper. For example, Tokko Akira! No. 0-9/77 states that certain nitrogen-containing heterocyclic compounds are effective. Tokko Akira again! Certain sulfur compounds have been proposed for goo. However, although these are effective to some extent mainly for temporary protective masks, they are extremely inadequate for permanent protective masks that require resistance under the harsh conditions mentioned above. Subsequently, techniques disclosed □ include the use of a specific nitrogen-containing compound and a phosphoric acid compound in combination (Japanese Patent Publication No. 5tr-19033, Japanese Patent Publication No. Sho S Ku/1113 Octopus, No. RG-QTJt, No. !R Za 19/3E issue, S9-da 6 & dar issue, same l
The combination of organic peroxides and phosphoric acid compounds (Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 1973-1977, specification of No. 7 J) has been proposed as a permanent protective mask. . All of these reports state that the addition of a phosphoric acid compound alone has almost no effect. Also, Tokko Akira!
3-Da 41.7 Da No. 6 describes phosphorus-containing acrylate as an example of a photopolymerizable compound, but there is no mention of improving adhesion, and JP-A-Sho! Gu 6-0'17 discloses that a specific phosphoric acid compound is effective as an additive component in a peeling and developing composition for temporary masks, but it is not sufficient for use in permanent masks. Furthermore, even when adhesive performance is improved by adding multiple compounds to the temporary adhesive, it often has a negative effect on other properties, such as sensitivity and storage stability. desirable.

〔発明の構成〕[Structure of the invention]

我々は光重合性組成物の構成成分とリン酸化合物添加効
果との関係に関し鋭意検討を行なった結果、特定なバイ
ンダーポリマーを含む場合にのみリン酸化合物は単独添
加で極めて効果的な接着性を示すことを見い出し本発明
に到達した。
As a result of intensive investigation into the relationship between the constituent components of photopolymerizable compositions and the effect of adding a phosphoric acid compound, we found that the phosphoric acid compound alone exhibits extremely effective adhesive properties only when a specific binder polymer is included. The inventors have discovered the following and arrived at the present invention.

すなわち1本発明の要旨とする所は、(A>側鎖に重合
性二重結合を有する重量平均分子量s、o o o以上
の高分子化合物、(B) リン酸エステル基含有の(メ
タ)アクリレート化合物、および(C)光重合開始剤か
ら成ることを特徴とする光重合性組成物に存する。
In other words, the gist of the present invention is (A> a polymer compound having a polymerizable double bond in the side chain and having a weight average molecular weight of s, o o o or more, (B) a (meth) phosphate group-containing A photopolymerizable composition comprising an acrylate compound and (C) a photopolymerization initiator.

次に、本発明に関し、詳細に説明する。Next, the present invention will be explained in detail.

本発明組成物の第1の成分としては(A)側鎖に重合性
二重結合を有する線状高分子化合物が使用できる。この
ものはバインダーポリマーとしての役割の他、第一の成
分のリン酸化合物と特異的な相乗効果を発現し、優れた
耐熱性、耐溶剤性をもたらすものである。
As the first component of the composition of the present invention, (A) a linear polymer compound having a polymerizable double bond in its side chain can be used. In addition to its role as a binder polymer, this material exhibits a specific synergistic effect with the phosphoric acid compound of the first component, resulting in excellent heat resistance and solvent resistance.

この高分子化合物を具体的に例示するに、例、tば、ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレートまタハヒドロキシ
グロビル(メタ)アクリレートを単独または共量体とし
て含む(メタ)アクリル系ポリマーに(メタ)アクリル
酸をエステル化導入したポリマー、フェノキシ樹脂の水
酸基に(メタ)アクリル酸をエステル化導入したポリマ
ー、同水酸基に(メタ)アリル基をエーテル化導入した
ポリマー、同水酸基にグリシジル(メタ)アクリレート
を付加変性したポリマー、ジアリル(イン)フタレート
かつ/またはトリアリルイソシアヌレートの(共)重合
ポリマー、グリシジル(メタ)アクリレートの(共)重
合ポリマーに(メタ)アクリル酸をエステル化導入した
ポリマー、カルボキシル基含有ポリマーにグリシジル(
メタ)アクリレートを付加導入したポリマー、無水マレ
イン酸の共重合体に水酸基と(メタ)アクリル基との両
者を含む化合物を付加反応させたポリマー、部分加水分
解した酢酸ビニルポリマーに(メタ)アクリル酸をエス
テル化導入したポリマー等が挙げられる。これらの内、
側鎖に(メタ)アクリル基を有するポリマーが有利であ
り、更に、グリシジル(メタ)アクリレート共重合体に
(メタ)アクリル酸をエステル化導入したポリマーが最
も好適である。
Specific examples of this polymer compound include (meth)acrylic polymers containing hydroxyethyl (meth)acrylate or hydroxyglobil (meth)acrylate alone or as a comer; Polymers with esterified acrylic acid, polymers with esterified (meth)acrylic acid introduced into the hydroxyl groups of phenoxy resin, polymers with etherified (meth)allyl groups introduced into the same hydroxyl groups, and polymers with glycidyl (meth)acrylate introduced into the same hydroxyl groups. Addition-modified polymers, (co)polymerized polymers of diallyl(yne)phthalate and/or triallyl isocyanurate, (co)polymerized polymers of glycidyl (meth)acrylate, polymers in which (meth)acrylic acid is esterified and introduced, carboxyl groups Glycidyl (
Polymers in which meth)acrylate has been added, polymers in which a copolymer of maleic anhydride is subjected to an addition reaction with a compound containing both hydroxyl groups and (meth)acrylic groups, and (meth)acrylic acid in partially hydrolyzed vinyl acetate polymers. Examples include polymers in which esterification has been introduced. Among these,
A polymer having a (meth)acrylic group in a side chain is advantageous, and a polymer obtained by esterifying (meth)acrylic acid into a glycidyl (meth)acrylate copolymer is most preferred.

これらの高分子化合物は成膜性、耐熱性、耐薬品性の面
から重量平均分子量が5,000以上であり、更に塗布
性、現像性、積層性も考慮した場合はio、ooθ〜2
00,000の範囲が最も好適である。
These polymer compounds should have a weight average molecular weight of 5,000 or more in terms of film-forming properties, heat resistance, and chemical resistance, and should also have a weight average molecular weight of io, ooθ~2 when coating properties, developability, and lamination properties are also taken into consideration.
A range of 00,000 is most preferred.

本発明の光重合性組成物の第コの成分は(B) リン酸
エステル基を有する(メタ)アクリレート化合物である
The third component of the photopolymerizable composition of the present invention is (B) a (meth)acrylate compound having a phosphate group.

これらを具体的に例示するに、例えば、(メタ)アクリ
ロキシエテルフォスフェート、(メタ)アクリロキシプ
ロピルフォスフェート、ビス(メタ)アクリロキシエチ
ルフォスフェートの様な遊離酸プロトンを有する化合物
、(メタ)アクリロキシエチルとスフェニルフオスフエ
ート、(メタ)アクリロキシプロピルビスフェニルフォ
スフェート、ビス(アクリロキシエチル)フェニルフォ
スフェート、ビス(メタクリロキシエチル)ブチルフォ
スフェート、トリス(アクリロキシエチル)フォスフェ
ート、トリス(メタクリロキシエチル)フォスフェート
等遊離酸プロトンを含まない化合物が挙げられる。
Specific examples of these include compounds having free acid protons such as (meth)acryloxy ether phosphate, (meth)acryloxypropyl phosphate, bis(meth)acryloxyethyl phosphate; ) Acryloxyethyl and sphenyl phosphate, (meth)acryloxypropyl bisphenyl phosphate, bis(acryloxyethyl) phenyl phosphate, bis(methacryloxyethyl) butyl phosphate, tris(acryloxyethyl) phosphate , tris(methacryloxyethyl) phosphate, and other compounds that do not contain free acid protons.

これらはいずれも前記の高分子化合物との配合により高
度な接着性をもたらすことが確認された。じかし、これ
らの内、遊離リン酸プロトンを有する化合物は、このも
のを組成物中に多量配合した場合、リン酸プロトンに起
因すると推定される保存安定性、電気絶縁性のわずかな
低下が認められた。従って、よシ好ましいリン酸化合物
は下記一般式(I)で示される遊離リン酸基を有しない
(メタ)アクリレート化合物である。
It has been confirmed that all of these provide a high degree of adhesiveness when combined with the above-mentioned polymer compound. However, among these compounds, when a large amount of compounds with free phosphate protons are incorporated into a composition, there is a slight decrease in storage stability and electrical insulation properties, which is presumed to be caused by the phosphate protons. Admitted. Therefore, a highly preferred phosphoric acid compound is a (meth)acrylate compound having no free phosphoric acid group represented by the following general formula (I).

R′ ■ 〔式中、R1は水素原子またはメチル基、R2はアルキ
レン基、Rsは置換基を有していてもよいアルキル基ま
たはフェニル基、nはl、コまたはJを示す・〕 更に、特に好ましくは、トリス(メタ)アクリロキシエ
チルフォスフェートでアル。
R' ■ [In the formula, R1 is a hydrogen atom or a methyl group, R2 is an alkylene group, Rs is an alkyl group or a phenyl group that may have a substituent, and n is l, co or J.] Furthermore, Particularly preferred is tris(meth)acryloxyethyl phosphate.

本発明の組成物に用いられる第3の成分は(C)光重合
開始剤である。具体的にはベンゾイン、ベンゾインアル
キルエーテル類、エチルアントラキノン、コ、ユージメ
トキシーコーフェニルアセトフェノン、ベンジル、ベン
ゾフェノン、亭、弘′−ビスージメチルアミノベンゾフ
ェノン、キサントン、チオキサントン、ビイミダゾール
/色素、トリクロルメチル−8−)リアジン類/色素等
公知のものをいずれも好適に使用し得る。
The third component used in the composition of the present invention is (C) a photopolymerization initiator. Specifically, benzoin, benzoin alkyl ethers, ethylanthraquinone, co-, eudimethoxycophenylacetophenone, benzyl, benzophenone, tei, hiro'-bis-dimethylaminobenzophenone, xanthone, thioxanthone, biimidazole/dye, trichloromethyl-8 -) Any known lyazine/dye may be suitably used.

以上述べた本発明の光重合性組成物の(A)、(B)、
(C)各成分の構成成分比は使用目的に応じて任意に変
えることができるが、通常、重量比で(A):(B) 
: (C) −/ 00 : 0./〜/ 00: 0
./〜ユO1よシ好ましくは(A) : (B) : 
(C) −/ o o : o、s−g。
(A), (B) of the photopolymerizable composition of the present invention described above,
(C) The component ratio of each component can be changed arbitrarily depending on the purpose of use, but usually the weight ratio is (A):(B)
: (C) −/00 : 0. /~/ 00: 0
.. /~ Yu O1, preferably (A): (B):
(C) −/o o: o, s-g.

:o、s”−ioの範囲で用いられる。:o, used in the range s''-io.

本組成物には、更に、必要ならば(D)2個以上の重合
性不飽和基を有する多官能重合性単量体をガロえること
ができる。
The present composition may further contain (D) a polyfunctional polymerizable monomer having two or more polymerizable unsaturated groups, if necessary.

これらを具体的に例示するに、ジオール類、例えば、エ
チレングリコール、ポリエチレングリコール、フロピレ
ンゲリコール、ブタンジオール、ヘキサメチレングリコ
ール、ビスフェノール人のジヒドロキシエチルエーテル
、四臭化ビスフェノール人、それのジヒドロキシエチル
エーテル、シクロヘキサンジメタツール等のアクリル酸
ジエステルまたはメタクリル酸ジエステル;トリメチロ
ールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリス
リトールまたはその誘導体、グリセロール等二価以上の
ポリオール類のアクリル酸またはメタクリル酸多価エス
テル;前述のポリオール化合物のイタコン酸、クロトン
酸、マレイン酸各エステル類;多価アリルエーテルまた
はエステル類;多価エポキシ化合物とアクリル酸または
メタクリル酸との反応生成物;ジインシアネート類、例
えば、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシ
アネートマたはトリメチルへキサメチレンジイソシアネ
ート等とモノヒドロキシ(メタ)アクリレート類、例え
ば、エチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、グ
リセロールジ(メタ)アクリレートまたはペンタエリス
リトールトリ(メタ)アクリレート等との反応生成物;
前記ジイソシアネート類、前記モノヒドロキシ(メタ)
アクリレート類およびジオール類、例えば、ヘキサメチ
レングリコール、ジエチレングリコールまたはシクロヘ
キサンジメタツール等との反応生成物、特願昭!9−/
A:4#29明細書記載の化合物等いずれも使用し得る
。これらの内、アクリル酸またはメタクリル酸の多官能
エステル類の単量体が好適である。
Specific examples of these include diols, such as ethylene glycol, polyethylene glycol, propylene gelylcol, butanediol, hexamethylene glycol, dihydroxyethyl ether of bisphenol, tetrabrominated bisphenol, and dihydroxyethyl ether thereof. , acrylic acid diester or methacrylic acid diester such as cyclohexane dimetatool; acrylic acid or methacrylic acid polyhydric ester of divalent or higher polyols such as trimethylolpropane, pentaerythritol, dipentaerythritol or its derivatives, glycerol; the above-mentioned polyols Itaconic acid, crotonic acid, and maleic acid esters of compounds; polyvalent allyl ethers or esters; reaction products of polyvalent epoxy compounds and acrylic acid or methacrylic acid; diincyanates, such as tolylene diisocyanate, isophorone diisocyanate A reaction product of trimethyl hexamethylene diisocyanate, etc., and monohydroxy (meth) acrylates, such as ethylene glycol mono (meth) acrylate, glycerol di (meth) acrylate, or pentaerythritol tri (meth) acrylate;
The diisocyanates, the monohydroxy (meth)
Reaction products with acrylates and diols, such as hexamethylene glycol, diethylene glycol or cyclohexane dimetatool, patent application! 9-/
A: 4#29 Any of the compounds described in the specification can be used. Among these, monomers of polyfunctional esters of acrylic acid or methacrylic acid are preferred.

以上述べた(D)成分は、重量比で成分(A) t−1
00とした場合300以下、好ましくは100以下加え
ることができる。
The above-mentioned component (D) has a weight ratio of component (A) t-1
When it is set to 00, 300 or less, preferably 100 or less can be added.

その他、本発明の組成物には、必要に応じ、熱重合禁止
剤、着色剤、可塑剤、露光可視画剤、難燃化剤、稀釈用
有機溶剤等を配合しても良い。
In addition, the composition of the present invention may also contain a thermal polymerization inhibitor, a coloring agent, a plasticizer, an exposure visualizing agent, a flame retardant, an organic solvent for dilution, etc., as necessary.

次に本発明の組成物を用いての使用態様に関して説明す
る。本組成物は被塗膜物品の表面に塗布、ラミネート又
は印刷し、次いで活性光線の全面照射によシ光硬化させ
ることができる。
Next, modes of use using the composition of the present invention will be explained. The composition can be applied, laminated or printed onto the surface of the article to be coated, and then photocured by irradiation of the entire surface with actinic radiation.

ま九光照射の際1画像マスクフィルムを用いて像状露光
を行ない、次いで未露光部を現像液で洗去して像状の永
久保護被膜を形成しても良い。
Alternatively, imagewise exposure may be carried out using a one-image mask film during light irradiation, and then the unexposed areas may be washed away with a developer to form an imagewise permanent protective coating.

最も好ましい態様の一つは、銅回路形成された配線板表
面に液状またはドライフィルム状の本組成物を適用し、
上記手順によシソルダー用永久保護マスクを形成するも
のであシ、更にこれを溶融半田浴に浸漬すれば所望部分
の半田付与を施すことができる。
One of the most preferred embodiments is to apply the present composition in liquid or dry film form to the surface of a wiring board on which a copper circuit is formed,
A permanent protective mask for the solder is formed by the above procedure, and by further immersing the mask in a molten solder bath, desired portions can be soldered.

本発明組成物の他の応用例としては電子部品や導線の永
久保護被覆、集積回路用の絶縁保護膜、その他恒久的な
保護コートや精密画像レジストとしても好適に用い得る
。また種々のレジスト類や印刷板等にも応用することが
できる。
Other applications of the composition of the present invention include permanent protective coatings for electronic components and conductive wires, insulating protective films for integrated circuits, other permanent protective coatings, and precision image resists. It can also be applied to various resists, printing plates, etc.

〔実施例〕〔Example〕

次に、本発明を実施例、比較例を用いて具体的に説明す
るが、本発明はその要旨を越えない限シ以下の実施例に
限定されるものではない。
Next, the present invention will be specifically explained using Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited to the following Examples as long as the gist thereof is not exceeded.

実施例1 で示される重量平均分子量g r、o o oのポリマ
ー(以下ポリマーAと略記)tpry−1下記構造式で
表わされる化合物を主成分とするウレタンアクリレート
/IIf、 A−IP−B−IP−A Hs −OCH,舎CH,O−を示す。〕 トリス(アクリロキシエチル)フォスフニートゲ、乙?
、テトラブロムビスフェノール人のジメタクリロキジエ
チルエーテルL、7%、ベンゾフェノン1.ルン、ミヒ
ラーケトンo、o g y、ビクトリアピュアーブルー
0.0 / J %、フタロシアニングリーン0./ 
7 fおよび三酸化アンチモンθJ 9−をメチルエチ
ルケトン4toyに溶解、分散して得られた感光gを用
いて23μm膜厚のポリエチレンテレフタレートフィル
ム上に塗布し、感光層膜厚50μm のドライフィルム
状フォトレジストを得た。次いで銅回路形成プリント配
線板上に上記ドライフィルムf/20℃でラミネートし
た。
Example 1 Polymer with weight average molecular weight gr, o o o (hereinafter abbreviated as polymer A) tpry-1 Urethane acrylate/IIf, A-IP-B-, whose main component is a compound represented by the following structural formula IP-A Hs -OCH, sha CH, O- is shown. ] Tris (acryloxyethyl) phosphine thorn, Otsu?
, tetrabromobisphenol dimethacrylokydiethyl ether L, 7%, benzophenone 1. Run, Michler Ketone O, O gy, Victoria Pure Blue 0.0/J%, Phthalocyanine Green 0. /
A photoresist obtained by dissolving and dispersing 7 f and antimony trioxide θJ 9- in methyl ethyl ketone 4 toy was used to coat a 23 μm thick polyethylene terephthalate film to form a dry film photoresist with a photosensitive layer thickness of 50 μm. Obtained. Next, the above dry film was laminated on a copper circuit-forming printed wiring board at f/20°C.

次に、コ堺の超高圧水銀燈により4QCmの距離にて画
像マスクフィルムを通して70秒間露光した後75℃に
70分間保持した。室温に冷却後ポリエチレンテレフタ
レートのフィルムを剥離し、クロロセン(i、i、t 
−ト!Jクロロエタン)現像液でコSCにて1分間スプ
レー現像してレジスト画像を得た。続いて光強度16o
vi/cmの高圧水銀燈を用い10cmの距離にてコン
ベアースピードハ5m/―で露光した後ljO℃にて3
0分間加熱処理し、評価用試料を作製した。錦上に7j
μm の幅を持つレジストパターン部を室温でトリクレ
ン中に70分間浸漬した後、強くこすった(以下細線ト
リクレンテストと略記)が、レジスト剥離は全く見られ
なかった。また同パターンをユ60℃の溶融半田浴に3
0秒間浸漬した(以下半田耐熱テストと略記)がレジス
トの銅からの剥離は見られなかった。また、錦上のレジ
ストをカミンリで/鵡角lOθ個にクロスカットしセロ
ハンテープ剥離テスト(以下クロスカットテストと略記
)を行なったが100個全部が完全に接着していた。
Next, it was exposed to light for 70 seconds through an image mask film at a distance of 4QCm using a Kosakai ultra-high pressure mercury lamp, and then held at 75° C. for 70 minutes. After cooling to room temperature, the polyethylene terephthalate film was peeled off and chlorocene (i, i, t
-T! A resist image was obtained by spraying development using a developer (J chloroethane) for 1 minute at CoSC. Then light intensity 16o
After exposure using a high-pressure mercury lamp of vi/cm at a distance of 10 cm at a conveyor speed of 5 m/-, the film was heated at ljO℃ for 3
A sample for evaluation was prepared by heat treatment for 0 minutes. 7j on Nishikigami
A resist pattern portion having a width of .mu.m was immersed in Trichlene for 70 minutes at room temperature and then rubbed vigorously (hereinafter abbreviated as fine line Trichlene test), but no peeling of the resist was observed. The same pattern was also placed in a molten solder bath at 60°C for 3
Although the resist was immersed for 0 seconds (hereinafter abbreviated as solder heat resistance test), no peeling of the resist from the copper was observed. Further, when the resist on the brocade was cross-cut into 1Oθ pieces with a Kaminri and a cellophane tape peeling test (hereinafter abbreviated as cross-cut test) was performed, all 100 pieces were completely adhered.

更K、ドライフィルム状態の感光層上にポリエチレンを
ラミネート性、り0℃、相対湿度go%の条件下にコO
日間保存した(以下保存安定性テストと略記)が、感度
、現像性ともに変化は見られず、色素の退色も見られな
かった。
Laminate polyethylene on the photosensitive layer in dry film state at 0°C and relative humidity of 0%.
Although it was stored for several days (hereinafter abbreviated as storage stability test), no changes were observed in both sensitivity and developability, and no fading of the dye was observed.

また感光層の成膜性、基板へのラミネート性は良好であ
った。
Furthermore, the film-forming properties of the photosensitive layer and the lamination properties on the substrate were good.

実施例コ ポリマー人に代えて、 で示される重量平均分子fki3o、oooのポリマー
lにy−を用いた以外は実施例/と同様に評価を行なっ
た。結果は表/に示す。
Example Copolymer Evaluation was carried out in the same manner as in Example 1, except that y- was used for the polymer l of the weight average molecules fki3o and ooo represented by the following instead of copolymer copolymer. The results are shown in Table/.

実施例3 ポリマーAに代えてトリアリルインシアヌレートとジア
リルイソフタレート3/7の重量平均分子量6!、θ0
0の共重合体/9f、トリス(アクリロキシエチル)フ
ォスフニートコ?、テトラブロムビスフェノール人のジ
メタクリロキジエチルエーテルコ、1ly−1実施例1
で用いたウレタンアクリレ−)4(、j51−、ベンゾ
フェノン/f、ミヒラーケトン0.0 j9−およびビ
クトリアピュアーブルー〇、0/ffメチルエチルケト
ンユj?に溶解して得られた感光液を用いた以外は実施
例1と同様に評価を行なった。結果は表1に示す。
Example 3 In place of Polymer A, triallyl in cyanurate and diallyl isophthalate 3/7 had a weight average molecular weight of 6! , θ0
Copolymer of 0/9f, tris(acryloxyethyl)phosphnitoco? , tetrabromo bisphenol dimethacrylokydiethyl ether co, 1ly-1 Example 1
Except for using a photosensitive solution obtained by dissolving urethane acrylate) 4(, j51-, benzophenone/f, Michler's ketone 0.0 j9- and Victoria Pure Blue〇, 0/ff methyl ethyl ketone/f) was evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

実施例グ 実施例1においてウレタンアクリレ−1m代え、アクリ
レートモノマーDPCA−1rθ(日本化薬社友)lコ
?を用いた以外は同様にして評価を行なった。結果は表
1K示す。
Example 4 In Example 1, urethane acrylate-1m was replaced with acrylate monomer DPCA-1rθ (Nippon Kayaku Co., Ltd.) l? Evaluation was performed in the same manner except that . The results are shown in Table 1K.

実施例S 実施例1においてトリス(アクリロキシエチル)フォス
フェートに代えてアクリロキシエチルビスフェニルフォ
スフニー) L! ff用いた以外は同様にして評価を
行なった。結果は表/に示す。
Example S In Example 1, tris(acryloxyethyl)phosphate was replaced with acryloxyethylbisphenylphosphny) L! Evaluation was performed in the same manner except that ff was used. The results are shown in Table/.

実施例6 実施例/においてトリス(アクリロキシエチル)フォス
フェートに代えてメタアクリロキシエチルフォスフニー
) 0.11 fを用いた以外は同様にして評価を行な
った。結果は表1に示す様に保存安定テストにおいて若
干の色素熱退色が見られた以外は優れた特性を示した。
Example 6 Evaluation was carried out in the same manner as in Example 1 except that 0.11 f of methacryloxyethyl phosphate was used in place of tris(acryloxyethyl) phosphate. As shown in Table 1, the results showed excellent properties, except for some thermal fading of the dye in the storage stability test.

比較例1 実施例1のポリマー人に代えて、 OHO で示される重量平均分子z !:、r o o oの不
飽和二重結合を有しないポリマーttpを用いた以外は
実施例/と同様に評価を行なった。試料をトリクレン中
に70分間浸漬することにより75μの細線は全部剥離
した。また、240℃の溶融半田浴に30秒浸漬すると
レジストの銅からの剥離が見られた。クロスカットテス
トでも100個全部が剥離した。
Comparative Example 1 In place of the polymer of Example 1, a weight average molecule z denoted by OHO ! :, r o o o The evaluation was carried out in the same manner as in Example 1, except that a polymer ttp having no unsaturated double bonds was used. By immersing the sample in Triclean for 70 minutes, all of the 75μ fine wires were peeled off. Further, when the resist was immersed in a molten solder bath at 240° C. for 30 seconds, peeling of the resist from the copper was observed. Even in the cross-cut test, all 100 pieces peeled off.

比較例コ 実施例1のポリマーAに代えて不飽和二重結合を含まな
いメチルメタクリレート/メチルアクリレ−) (g 
r / t s )の共重合体BR−75(重量平均分
子量1ooooo、三菱レイヨン■製)を用いた以外は
実施例1と同様の評価を行なった。結果は表/に示す様
に不良であった。
Comparative Example: Instead of polymer A in Example 1, methyl methacrylate/methyl acrylate containing no unsaturated double bonds (g
Evaluations were conducted in the same manner as in Example 1, except that copolymer BR-75 (weight average molecular weight 1ooooo, manufactured by Mitsubishi Rayon ■) of (r/ts) was used. The results were poor as shown in Table/.

比較例3 実施例1においてトリス(アクリロキシエチル)フォス
フェートに代え同様に3官能アクリレートであるトリメ
チロールプロパントリアクリレートを用いた以外は同様
に評価を行なった。
Comparative Example 3 Evaluation was carried out in the same manner as in Example 1 except that trimethylolpropane triacrylate, which is a trifunctional acrylate, was used instead of tris(acryloxyethyl)phosphate.

結果は表1に示す様に前例と同じく不良であった。As shown in Table 1, the results were poor as in the previous example.

比較例ケ 実施例1においてボリア−Aに代えアクリル変性したエ
ポキシ化ノボラック樹脂(重量平均分子量ユ、lIo 
o )を用いた以外は同様にして評価を行なった。結果
は表1に示す様に特に半田耐熱性と積層性が劣っていた
Comparative Example In Example 1, an acrylic-modified epoxidized novolac resin (weight average molecular weight, lIo) was used instead of Boria-A.
The evaluation was performed in the same manner except that 3.o) was used. As shown in Table 1, the results were particularly poor in solder heat resistance and lamination properties.

比較例よ 実施例乙においてポリマーAftアクリル系共重合体B
R−り!に代えた以外は同実施例と同様にして評価を行
なった。その結果、表1K示す様に可成シネ良な結果を
得た。
In Comparative Example and Example B, Polymer Aft Acrylic Copolymer B
R-ri! Evaluation was performed in the same manner as in the same example except that . As a result, as shown in Table 1K, fairly good results were obtained.

表−l 〔発明の効果〕 本発明の組成物は銅等の基板に対する接着性に優れ、半
田浴中でも剥離するようなことがなく、また、感度にも
優れるので、半導体加工用のフォトレジスト、特に永久
保護マスク用のフォトレジストとして用いて好適である
Table 1 [Effects of the Invention] The composition of the present invention has excellent adhesion to substrates such as copper, does not peel off even in solder baths, and has excellent sensitivity, so it can be used as a photoresist for semiconductor processing, It is particularly suitable for use as a photoresist for permanent protection masks.

出願人  三菱化成工業株式会社 代理人  弁理士 長谷用  − (ほか1名)Applicant: Mitsubishi Chemical Industries, Ltd. Agent: Patent Attorney Hase - (1 other person)

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)(A)側鎖に重合性二重結合を有する重量平均分
子量5,000以上の高分子化合物、(B)リン酸エス
テル基含有の(メタ)アクリレート化合物、および(C
)光重合開始剤から成ることを特徴とする光重合性組成
物。
(1) (A) A polymer compound having a polymerizable double bond in its side chain and having a weight average molecular weight of 5,000 or more, (B) a (meth)acrylate compound containing a phosphate group, and (C
) A photopolymerizable composition comprising a photopolymerization initiator.
(2)リン酸エステル基含有の(メタ)アクリレート化
合物が、一般式( I ) ▲数式、化学式、表等があります▼・・・( I ) 〔式中、R^1は水素原子またはメチル基、R^2はア
ルキレン基、R^3は置換基を有していてもよいアルキ
ル基またはフェニル基、nは1、2または3を示す。〕 で示される(メタ)アクリレート化合物である特許請求
の範囲第1項記載の組成物。
(2) A (meth)acrylate compound containing a phosphate ester group has the general formula (I) ▲There are mathematical formulas, chemical formulas, tables, etc.▼...(I) [In the formula, R^1 is a hydrogen atom or a methyl group. , R^2 represents an alkylene group, R^3 represents an alkyl group or phenyl group which may have a substituent, and n represents 1, 2 or 3. ] The composition according to claim 1, which is a (meth)acrylate compound represented by the following.
(3)一般式( I )で示される(メタ)アクリレート
化合物が▲数式、化学式、表等があります▼〔式中、 R^1は前記と同義〕である特許請求の範囲第2項記載
の組成物。
(3) The (meth)acrylate compound represented by the general formula (I) has a mathematical formula, a chemical formula, a table, etc. [wherein R^1 has the same meaning as above] Composition.
(4)組成物が、(D)2個以上の重合性不飽和基を有
する多官能重合性単量体を含有することを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の組成物。
(4) The composition according to claim 1, characterized in that the composition contains (D) a polyfunctional polymerizable monomer having two or more polymerizable unsaturated groups.
(5)高分子化合物が側鎖に(メタ)アクリル基を有す
る(メタ)アクリル系ポリマーである特許請求の範囲第
1項記載の組成物。
(5) The composition according to claim 1, wherein the polymer compound is a (meth)acrylic polymer having a (meth)acrylic group in a side chain.
(6)組成物がプリント配線板製造のソルダーレジスト
用である特許請求の範囲第1項記載の組成物。
(6) The composition according to claim 1, wherein the composition is used as a solder resist for manufacturing printed wiring boards.
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