JP4969189B2 - Curable composition for forming color filter for solid-state image sensor, color filter for solid-state image sensor, and method for producing the same - Google Patents

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Description

本発明は、固体撮像素子(CCD、CMOSなど)に用いられるカラーフィルタを作製するのに好適な硬化性組成物、及び該硬化性組成物により形成されたカラーフィルタ、及びその製造方法に関する。 The present invention is a solid-state imaging device (CCD, CMOS, etc.) suitable curable composition for producing a color filter used in, and a color filter formed by the curable composition, and a method for producing the same.

カラーフィルタは、液晶ディスプレイや固体撮像素子に不可欠な構成部品である。
液晶ディスプレイは、表示装置として汎用されるCRTと比較すると、コンパクトであり、且つ、性能面では同等以上であることから、テレビ画面、パソコン画面、その他の表示装置としてCRTに置き換わりつつある。また、近年では、液晶ディスプレイの開発の動向としては、画面が比較的小面積であった従来のモニター用途から、画面が大型で高度な画質が求められるTV用途に向かいつつある。
The color filter is an essential component for liquid crystal displays and solid-state image sensors.
Liquid crystal displays are more compact than CRTs that are widely used as display devices and have the same or better performance, so CRTs are being replaced as television screens, personal computer screens, and other display devices. Also, in recent years, the development trend of liquid crystal displays is moving from conventional monitor applications where the screen has a relatively small area to TV applications where a large screen and high image quality are required.

液晶ディスプレイ(LCD)用カラーフィルタに関しては、大型TV生産のため基板サイズが拡大している。このような大型基板を用いたカラーフィルタ製造用途の硬化性組成物には、生産性向上のため、低エネルギーでの硬化が望まれている。
また、TV用途の液晶ディスプレイでは、従来のモニター用途のものに比し、より高度な画質が求められている。すなわち、コントラスト及び色純度の向上である。
As for color filters for liquid crystal displays (LCDs), the substrate size is increasing due to the production of large TVs. A curable composition for use in color filter production using such a large substrate is desired to be cured with low energy in order to improve productivity.
In addition, liquid crystal displays for TV use are required to have higher image quality than those for conventional monitor use. That is, improvement in contrast and color purity.

カラーフィルタ製造用途の硬化性組成物に関しては、コントラスト向上のため、使用する着色剤(有機顔料等)の粒子サイズとして、より微小なものが求められている(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、硬化性組成物に粒子サイズの小さな顔料を含有させた際の分散安定性向上のために、分散剤の顔料吸着性を向上させると、分散剤が顔料間を橋渡しして顔料凝集を促進し、分散安定性等の経時安定性が低下したり、当該硬化性組成物を用いてパターン形成した際の現像性が低下する傾向にあった。
また、顔料を微細化するとその表面積が増加するため、微細化した顔料の使用は、硬化性組成物における顔料分散のための分散剤添加量を増加させる傾向にあった。
さらに、現像性確保のために分散時添加樹脂の酸価を向上させると、酸基間の水素結合等の相互作用により、顔料凝集を促進する傾向があった。
顔料の分散後に硬化性組成物に樹脂を添加することによって現像性を得ようとすると、樹脂を多量に添加する必要があった。
With respect to the curable composition for use in color filter production, a finer particle size is required as the particle size of the colorant (organic pigment or the like) used for improving contrast (see, for example, Patent Document 1).
However, in order to improve dispersion stability when pigments with small particle sizes are incorporated into the curable composition, if the pigment adsorbability of the dispersant is improved, the dispersant bridges the pigment and promotes pigment aggregation. However, the stability over time such as dispersion stability is lowered, and the developability when a pattern is formed using the curable composition tends to be lowered.
Moreover, since the surface area increases when the pigment is refined, the use of the refined pigment tends to increase the amount of dispersant added for dispersing the pigment in the curable composition.
Furthermore, when the acid value of the resin added at the time of dispersion is improved in order to ensure developability, there is a tendency to promote pigment aggregation due to interactions such as hydrogen bonding between acid groups.
In order to obtain developability by adding a resin to the curable composition after dispersion of the pigment, it is necessary to add a large amount of the resin.

また、カラーフィルタ製造用途の硬化性組成物には、色純度向上のため、固形分中に占める着色剤(有機顔料)の含有率として、より高いものが求められている。しかしながら、硬化性組成物において着色剤を高濃度に含有させると、硬化性組成物に占める光重合開始剤及び光重合性モノマーの含有率が減少してしまうことから、当該硬化性組成物には低エネルギーでの硬化性が望まれている一方で、露光部の硬化性が得にくいことが問題となっている。   In addition, a curable composition for use in color filter production is required to have a higher colorant (organic pigment) content in the solid content in order to improve color purity. However, when the colorant is contained at a high concentration in the curable composition, the content of the photopolymerization initiator and the photopolymerizable monomer in the curable composition is decreased. While curability at low energy is desired, there is a problem that it is difficult to obtain curability at the exposed portion.

一方、固体撮像素子用カラーフィルタ製造用途の硬化性組成物においても、低エネルギーでの硬化が望まれている。また、固体撮像素子用途のカラーフィルタについては、着色パターンの薄膜化が進んでおり、これに伴い、組成物中の顔料濃度が向上している。
更に、顔料系カラーフィルタにおいては、顔料が比較的粗大な粒子であることに起因する色ムラ低減のための顔料微細化に伴って、硬化性組成物中における顔料分散剤の含有率が増加する傾向ある。硬化性組成物における顔料分散剤の含有率の増加は、LCD製造用途の硬化性組成物と同様、分散安定性等の経時安定性が低下したり、当該硬化性組成物を用いてパターン形成をした際に現像性が低下したりする傾向にあると共に、硬化性が得にくいことが問題となっている。
On the other hand, curing with low energy is also desired for curable compositions for use in the production of color filters for solid-state imaging devices. In addition, for color filters for solid-state imaging devices, the coloring pattern is becoming thinner, and accordingly, the pigment concentration in the composition is improved.
Furthermore, in the pigment-based color filter, the content of the pigment dispersant in the curable composition increases as the pigment is refined to reduce color unevenness due to the pigment being relatively coarse particles. There is a tendency. The increase in the content of the pigment dispersant in the curable composition is similar to the curable composition for LCD production, and the stability over time such as dispersion stability is reduced, or pattern formation is performed using the curable composition. When developing, there is a tendency that developability tends to decrease, and it is difficult to obtain curability.

また、形成された着色パターンにおける色ムラ等の問題に対応するため、着色剤として顔料の代わりに有機溶剤可溶性の染料を用いる技術が提案されている(例えば、特許文献2参照)。しかしながら、染料系カラーフィルタにおいては染料濃度の増加に伴い、染料由来の重合禁止効果や、染料が析出するなどの経時安定性低下の問題も顕著になってきている。   In order to cope with problems such as color unevenness in the formed coloring pattern, a technique using an organic solvent-soluble dye instead of a pigment as a colorant has been proposed (for example, see Patent Document 2). However, in dye-based color filters, with the increase in dye concentration, problems such as a polymerization-inhibiting effect derived from dyes and a decrease in stability over time, such as precipitation of dyes, have become prominent.

以上述べたように、カラーフィルタ製造用途の硬化性組成物については、液晶ディスプレイ用、固体撮像素子用いずれの場合においても、当該硬化性組成物を硬化させるために必要な成分である光重合開始剤及び光重合性モノマーの含有量が制限される上に、着色剤濃度が高くなっているため、感度が低く充分な硬化が得られない、基板との密着性が不充分である、未露光部の現像速度低下や残渣の発生がみられる、所望のパターン形成が著しく困難である、着色剤が顔料の場合は分散安定性と現像性が悪い、着色剤が染料の場合は染料の析出などといった経時安定性が低いなどの種々の問題が生じていた。   As described above, in the case of a curable composition for use in manufacturing a color filter, in either case for a liquid crystal display or a solid-state imaging device, photopolymerization is an essential component for curing the curable composition. In addition to limiting the content of the colorant and the photopolymerizable monomer, the concentration of the colorant is high, so the sensitivity is low and sufficient curing cannot be obtained, the adhesion to the substrate is insufficient, unexposed The development rate is reduced and the generation of residues is observed. Desirable pattern formation is extremely difficult. Dispersion stability and developability are poor when the colorant is a pigment. Precipitation of dye when the colorant is a dye. Various problems such as low temporal stability have occurred.

カラーフィルタにおける着色層の基板密着性を向上させるため、該着色層の形成に用いる着色硬化性組成物にシランカップリング剤を導入する技術が提案されている(例えば、特許文献3、4参照。)。しかし、これらの硬化性組成物により形成された着色層では、未だ満足する基板密着性が得られていないうえに、未露光部における着色層と基板との密着性が高まることに伴って、未露光部に残渣が残りやすいという問題も生じていた。また、シランカップリング剤の導入だけでは、未露光部の現像速度低下や、感度低下、着色剤として顔料を使用した場合の分散安定性等低下などの諸問題は改善できないか、又は不充分であった。中でも、現像性改良、分散安定性等の経時安定性向上のための施策としては、アルコール性水酸基を有するモノマーのカラ−フィルタ用有機顔料分散液への導入が提案されているが(例えば、特許文献5参照)、充分な効果は得られていない。
特開2006−30541号公報 特開平2−127602号公報 特許第2874091号公報) 特開平11−38226号公報) 特開平8−259876号公報
In order to improve the substrate adhesion of the colored layer in the color filter, techniques for introducing a silane coupling agent into the colored curable composition used for forming the colored layer have been proposed (see, for example, Patent Documents 3 and 4). ). However, in the colored layer formed with these curable compositions, satisfactory substrate adhesion has not yet been obtained, and the adhesion between the colored layer and the substrate in the unexposed area has increased. There has also been a problem that the residue tends to remain in the exposed area. In addition, the introduction of a silane coupling agent alone cannot solve the problems such as a decrease in the developing speed of unexposed areas, a decrease in sensitivity, a decrease in dispersion stability when a pigment is used as a colorant, or the like. there were. Among them, as a measure for improving stability over time, such as improvement in developability and dispersion stability, introduction of a monomer having an alcoholic hydroxyl group into an organic pigment dispersion for color filters has been proposed (for example, patents). Reference 5), a sufficient effect is not obtained.
JP 2006-30541 A JP-A-2-127602 (Patent No. 2874091) (Japanese Patent Laid-Open No. 11-38226) JP-A-8-259876

前記従来における問題点を考慮してなされた本発明の目的は、着色剤を高濃度に含有する場合であっても、分散安定性等の経時安定性が良好で、露光により高感度で硬化し、硬質基材表面におけるパターン形成に適用した際に、硬化領域では硬質材料表面との密着性が高く、未硬化領域ではその除去性に優れた、良好なパターン形成性を有する硬化性組成物を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、本発明の硬化性組成物を用いて形成された、解像力と支持体との密着性に優れた着色パターンを備えるカラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することにある。
The object of the present invention made in consideration of the problems in the prior art is that even when a colorant is contained in a high concentration, stability over time such as dispersion stability is good, and it is cured with high sensitivity by exposure. When applied to pattern formation on the surface of a hard substrate, a curable composition having a good pattern forming property that has high adhesion to the surface of a hard material in a cured region and excellent removability in an uncured region. It is to provide.
In addition, another object of the present invention is to provide a color filter having a coloring pattern that is formed using the curable composition of the present invention and has excellent resolving power and adhesion to the support, and high production of the color filter. It is in providing the manufacturing method which can be manufactured by property.

前記課題を解決するための手段は、以下の通りである。
<1> (A)下記の群から選ばれる1種以上である、複数のエチレン性不飽和二重結合と2級水酸基とを有する下記一般式(I)で表される化合物(以下、適宜「特定化合物」と称する。)、(B)オキシム系化合物である光重合開始剤、及び(C)着色剤を含有することを特徴とする固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。
チレングリコールジグリシジルエーテルジメタクリレート
プロピレングリコールジグリシジルエーテルジアクリレート
1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート
ビスフェノールAジグリシジルエーテルジアクリレート
ビスフェノールAエポキシジアクリレートオリゴマー
> 更に、(D)前記(A)複数のエチレン性不飽和二重結合と2級水酸基とを有する一般式(I)で表される化合物以外の、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物を含有することを特徴とする<1>に記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。
> 更に、(E)増感剤を含有することを特徴とする<1>又は<2>に記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。
> 前記(C)着色剤の含有量が、硬化性組成物に含有される全固形分中、30質量%以上85質量%以下であることを特徴とする<1>乃至<>のいずれかに記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。
> 前記(C)着色剤が顔料であることを特徴とする<1>乃至<>のいずれか1項に記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。
> 前記(C)着色剤が染料であることを特徴とする<1>乃至<>のいずれか1項に記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。
> 支持体上に、<1>乃至<>のいずれか1項に記載の硬化性組成物により形成された着色パターンを有することを特徴とする固体撮像素子用途のカラーフィルタ。
> 支持体上に、<1>乃至<>のいずれか1項に記載の硬化性組成物を塗布して該硬化性組成物からなる着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層をマスクを介して露光する露光工程と、露光後の着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程と、を含むことを特徴とする固体撮像素子用途のカラーフィルタの製造方法。
Means for solving the above problems are as follows.
<1> (A) A compound represented by the following general formula (I) having a plurality of ethylenically unsaturated double bonds and a secondary hydroxyl group, which is one or more selected from the following group (hereinafter referred to as “ A curable composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device, comprising: (B) a photopolymerization initiator that is an oxime-based compound; and (C) a colorant .
Et Chi glycol diglycidyl ether dimethacrylate propylene glycol diglycidyl ether diacrylate 1,6-hexanediol diglycidyl ether diacrylate of bisphenol A diglycidyl ether diacrylate of bisphenol A epoxy diacrylate oligomer <2> Further, (D) the (A ) Containing a compound having an ethylenically unsaturated double bond other than the compound represented by formula (I) having a plurality of ethylenically unsaturated double bonds and secondary hydroxyl groups <1 > A curable composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device.
< 3 > The curable composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device according to <1> or <2> , further comprising (E) a sensitizer.
< 4 > The content of the colorant (C) is 30% by mass or more and 85% by mass or less in the total solid content contained in the curable composition. <1> to < 3 > A curable composition for forming a color filter for use in any one of the solid-state imaging devices.
< 5 > The curable composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device according to any one of <1> to < 4 >, wherein the colorant (C) is a pigment.
< 6 > The curable composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device according to any one of <1> to < 4 >, wherein the colorant (C) is a dye.
< 7 > A color filter for use in a solid-state imaging device, having a colored pattern formed of the curable composition according to any one of <1> to < 6 > on a support.
< 8 > A colored layer forming step of applying a curable composition according to any one of <1> to < 6 > on a support to form a colored layer comprising the curable composition; A method for producing a color filter for use in a solid-state imaging device, comprising: an exposure step of exposing a colored layer through a mask; and a developing step of developing the colored layer after exposure to form a colored pattern.

本発明の硬化性組成物の作用は明確ではないが、以下のように推定される。
本発明の硬化性組成物は、(A)複数のエチレン性不飽和二重結合と2級水酸基とを有する化合物(特定化合物)を必須成分として含有し、当該特定化合物が硬化性組成物中に分散された着色剤(顔料など)の間に入り込み、着色剤間又は着色剤を覆う分散剤間の相互作用を抑制することで着色剤の凝集を抑制することにより、着色剤の高分散安定性が発揮されるものと考えられる。
また、本発明の硬化性組成物が含有する特定化合物は、2級水酸基に起因して極性が向上していること、及び、2級水酸基に隣接する水素原子が引き抜かれ易いことに起因して、露光部における酸素による重合阻害が抑制されて、高感度化が顕著に現われるものと考えられる。
また、特定化合物は、露光部についてはゲル硬化効率を向上させる一方で、未露光部については2級水酸基に起因する極性向上及び顔料の凝集抑制により除去性(現像性)を向上させることから、本発明の硬化性組成物を硬質材料表面上におけるパターン形成に適用した際には優れたパターン形成性を発揮するものと考えられる。また、硬化性組成物を用いたパターン形成において、1級の水酸基を有する化合物を用いた場合には、当該化合物中における水酸基の運動性が高いことから、未露光部のみならず露光部まで現像液等による影響を受けやすく膜性の低下が懸念されるが、本発明における特定化合物は2級水酸基を有することで、未露光部における優れた除去性を発揮しつつも、露光部に対するが現像液等の影響を抑制することができる。したがって、本発明の硬化性組成物を用いたパターン形成においては、露光部における優れた硬化性と未露光部における優れた除去性とが両立されるものと考えられる。
さらに、本発明の硬化性組成物が極性基を有する硬質材料表面に適用された際には、特定化合物が有する2級水酸基が当該硬質材料表面上の極性基との間で相互作用を形成しうることから、露光部と硬質材料表面との密着性についても向上するものとの考えられる。
Although the effect | action of the curable composition of this invention is not clear, it estimates as follows.
The curable composition of the present invention contains (A) a compound (specific compound) having a plurality of ethylenically unsaturated double bonds and secondary hydroxyl groups as an essential component, and the specific compound is contained in the curable composition. High dispersion stability of the colorant by suppressing the aggregation of the colorant by intervening between the dispersed colorants (pigments, etc.) and suppressing the interaction between the colorants or between the dispersants covering the colorant Is considered to be demonstrated.
In addition, the specific compound contained in the curable composition of the present invention is due to the fact that the polarity is improved due to the secondary hydroxyl group and the hydrogen atoms adjacent to the secondary hydroxyl group are easily extracted. It is considered that the inhibition of polymerization by oxygen in the exposed area is suppressed, and the high sensitivity appears remarkably.
In addition, the specific compound improves the gel curing efficiency for the exposed part, while improving the removability (developability) by suppressing the aggregation of the pigment and the non-exposed part due to the secondary hydroxyl group, When the curable composition of the present invention is applied to pattern formation on the surface of a hard material, it is considered that excellent pattern formability is exhibited. Further, in the pattern formation using the curable composition, when a compound having a primary hydroxyl group is used, since the mobility of the hydroxyl group in the compound is high, development is performed not only on the unexposed area but also on the exposed area. Although it is susceptible to the influence of liquid etc., there is a concern about the decrease in film properties. However, the specific compound in the present invention has a secondary hydroxyl group, so that it exhibits excellent removability in the unexposed area but develops in the exposed area. The influence of liquid etc. can be suppressed. Therefore, in pattern formation using the curable composition of the present invention, it is considered that excellent curability in the exposed area and excellent removability in the unexposed area are compatible.
Furthermore, when the curable composition of the present invention is applied to the surface of a hard material having a polar group, the secondary hydroxyl group of the specific compound forms an interaction with the polar group on the surface of the hard material. From this, it is considered that the adhesion between the exposed portion and the hard material surface is also improved.

本発明によれば、着色剤を高濃度に含有する場合であっても、分散安定性等の経時安定性が良好であり、露光により高感度で硬化し、硬質基材表面におけるパターン形成に適用した際に、硬化領域では硬化部の硬質材料表面との密着性が高く、未硬化領域では未硬化部の除去性に優れた良好なパターンを形成しうる硬化性組成物を提供することができる。
さらに、本発明によれば、本発明の硬化性組成物を用いて形成された、解像力と支持体との密着性に優れた着色パターンを備えるカラーフィルタ、及び、該カラーフィルタを高い生産性で製造しうる製造方法を提供することができる。
According to the present invention, even when the colorant is contained at a high concentration, the stability over time such as dispersion stability is good, and it is cured with high sensitivity by exposure and applied to pattern formation on the surface of a hard substrate. In the cured region, it is possible to provide a curable composition that can form a good pattern with high adhesion to the hard material surface of the cured portion in the cured region and excellent removability of the uncured portion in the uncured region. .
Furthermore, according to the present invention, a color filter that is formed using the curable composition of the present invention and has a colored pattern that is excellent in resolving power and adhesion between the support and the color filter with high productivity. A manufacturing method that can be manufactured can be provided.

以下、本発明の硬化性組成物、該硬化性組成物を用いてなるカラーフィルタ及びその製造方法について詳細に説明する。   Hereinafter, the curable composition of the present invention, a color filter using the curable composition, and a production method thereof will be described in detail.

[硬化性組成物]
本発明の硬化性組成物は、(A)下記の群から選ばれる1種以上である、複数のエチレン性不飽和二重結合と2級水酸基とを有する化合物、(B)オキシム系化合物である光重合開始剤、及び(C)着色剤を含有する固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用であることを特徴とする。
エチレングリコールジグリシジルエーテルジメタクリレート
プロピレングリコールジグリシジルエーテルジアクリレート
1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート
ビスフェノールAジグリシジルエーテルジアクリレート
ビスフェノールAエポキシジアクリレートオリゴマー
[Curable composition]
The curable composition of the present invention, (A) is at least one selected from the following group, the plurality of ethylenically unsaturated double bonds and that of compound having a the secondary hydroxyl group, (B) the oxime It is for forming a color filter for use in a solid-state imaging device containing a photopolymerization initiator which is a system compound and (C) a colorant.
Ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate
Propylene glycol diglycidyl ether diacrylate
1,6-hexanediol diglycidyl ether diacrylate
Bisphenol A diglycidyl ether diacrylate
Bisphenol A epoxy diacrylate oligomer

以下、本発明の硬化性組成物に含有される各成分について順次説明する。   Hereinafter, each component contained in the curable composition of this invention is demonstrated one by one.

<(A)複数のエチレン性不飽和二重結合と2級水酸基とを有する化合物>
本発明の硬化性組成物は、下記の群から選ばれる1種以上である、複数のエチレン性不飽和二重結合と2級水酸基とを有する化合物(特定化合物)を含有する。
エチレングリコールジグリシジルエーテルジメタクリレート
プロピレングリコールジグリシジルエーテルジアクリレート
1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート
ビスフェノールAジグリシジルエーテルジアクリレート
ビスフェノールAエポキシジアクリレートオリゴマー
定化合物中におけるエチレン性不飽和二重結合の数としては、感度及び未露光部の除去性(現像性)の観点から、2〜100が好ましく、2〜50がより好ましく、2〜10が更に好ましく、2〜5が最も好ましい。また、特定化合物中における2級水酸基の数としては、感度及び未露光部の除去性(現像性)の観点から、1〜100が好ましく、1〜50がより好ましく、1〜10が更に好ましく、1〜3が最も好ましい。
ここで、2級水酸基とは、「炭素原子に連結した水酸基であって、該炭素原子に直結した水素原子数が1である水酸基」を意味する。
<(A) a plurality of ethylenically unsaturated double bonds and that of compound having a the secondary hydroxyl group>
The curable composition of the present invention, at least one selected from the following group, containing a plurality of ethylenically unsaturated double bonds and that of compound having a the secondary hydroxyl group of the (specific compound).
Ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate
Propylene glycol diglycidyl ether diacrylate
1,6-hexanediol diglycidyl ether diacrylate
Bisphenol A diglycidyl ether diacrylate
Bisphenol A epoxy diacrylate oligomer
The number of ethylenically unsaturated double bonds in the particular compound, from the viewpoint of removability of sensitivity and unexposed portions (developing property), preferably from 2 to 100, more preferably from 2 to 50, 2 to 10 More preferably, 2 to 5 is most preferable. In addition, the number of secondary hydroxyl groups in the specific compound is preferably 1 to 100, more preferably 1 to 50, and still more preferably 1 to 10 from the viewpoints of sensitivity and removability (developability) of unexposed areas. 1-3 are most preferred.
Here, the secondary hydroxyl group means “a hydroxyl group linked to a carbon atom and having one hydrogen atom directly linked to the carbon atom”.

特定化合物としては、複数の(メタ)アクリレート基を有するエポキシアクリレートであることが好ましい。ここで、本発明において(メタ)アクリレートは、アクリレート又はメタクリレートを表す。   The specific compound is preferably an epoxy acrylate having a plurality of (meth) acrylate groups. Here, in the present invention, (meth) acrylate represents acrylate or methacrylate.

特定化合物である複数の(メタ)アクリレート基を有するエポキシアクリレートの中でも、下記一般式(I)で表される化合物であるAmong the epoxy acrylate having a plurality of (meth) acrylate group is a specific compound is a compound represented by the following general formula (I).

Figure 0004969189
Figure 0004969189

一般式(I)中、Xはn価の有機基を表し、Rは水素原子又はメチル基を表し、nは1以上の整数を表す。但し、nが1の場合、Xで表される有機基はその構造中に少なくとも1つのエチレン性不飽和二重結合を有する。   In general formula (I), X represents an n-valent organic group, R represents a hydrogen atom or a methyl group, and n represents an integer of 1 or more. However, when n is 1, the organic group represented by X has at least one ethylenically unsaturated double bond in its structure.

一般式(I)中、Xはn価の有機基であれば特に限定されないが、中でも、その構造中に、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、炭素数3〜20の炭化水素環構造、ヘテロ環、エステル結合、スルホン酸エステル結合、リン酸エステル結合、ウレタン結合、チオウレタン結合、アミド結合、尿素結合、チオ尿素結合からなる群より選択される部分構造を有してもよい炭素数1〜50のアルキル基又はアリール基であることが好ましく、その構造中に、酸素原子、窒素原子、硫黄原子、炭素数3〜10の炭化水素環構造からなる群より選択される部分構造を有していてもよい直鎖状又は分岐状の炭素数1〜40のアルキル基がより好ましく、その構造中に酸素原子を有していてもよい炭素数1〜40の直鎖状又は分岐状のアルキル基であることがさらに好ましい。   In general formula (I), X is not particularly limited as long as it is an n-valent organic group. Among them, the structure includes an oxygen atom, a nitrogen atom, a sulfur atom, a hydrocarbon ring structure having 3 to 20 carbon atoms, hetero 1 to C carbon atoms which may have a partial structure selected from the group consisting of a ring, an ester bond, a sulfonate bond, a phosphate bond, a urethane bond, a thiourethane bond, an amide bond, a urea bond and a thiourea bond Preferably, it has a partial structure selected from the group consisting of an oxygen atom, a nitrogen atom, a sulfur atom, and a hydrocarbon ring structure having 3 to 10 carbon atoms. A linear or branched alkyl group having 1 to 40 carbon atoms which may be more preferable, and a linear or branched alkyl group having 1 to 40 carbon atoms which may have an oxygen atom in the structure thereof To be Preferred.

一般式(I)中、Xで表される有機基は、導入可能な場合にはさらに置換基を有していてもよい。Xに導入しうる置換基としては、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状又は環状のアルキル基、炭素数2〜20の鎖状、分岐状又は環状のアルケニル基、炭素数2〜20のアルキニル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数1〜20のアシルオキシ基、炭素数2〜20のアルコキシカルボニルオキシ基、炭素数7〜20のアリールオキシカルボニルオキシ基、炭素数1〜20のカルバモイルオキシ基、炭素数1〜20のカルボンアミド基、炭素数1〜20のスルホンアミド基、炭素数1〜20のカルバモイル基、炭素数0〜20のスルファモイル基、炭素数1〜20のアルコキシ基、炭素数6〜20のアリールオキシ基、炭素数7〜20のアリールオキシカルボニル基、炭素数2〜20のアルコキシカルボニル基、炭素数1〜20のN−アシルスルファモイル基、炭素数1〜20のN−スルファモイルカルバモイル基、炭素数1〜20のアルキルスルホニル基、炭素数6〜20のアリールスルホニル基、炭素数2〜20のアルコキシカルボニルアミノ基、炭素数7〜20のアリールオキシカルボニルアミノ基、炭素数0〜20のアミノ基、炭素数1〜20のイミノ基、炭素数3〜20のアンモニオ基、カルボキシル基、スルホ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、炭素数1〜20のアルキルスルフィニル基、炭素数6〜20のアリールスルフィニル基、炭素数1〜20のアルキルチオ基、炭素数6〜20のアリールチオ基、炭素数1〜20のウレイド基、炭素数2〜20のヘテロ環基、炭素数1〜20のアシル基、炭素数0〜2のスルファモイルアミノ基、炭素数2〜20のシリル基、イソシアネート基、イソシアニド基、ハロゲン原子(例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等)、シアノ基、ニトロ基、オニウム基、エチレン性不飽和二重結合を有する基等が挙げられる。中でも、原料入手の容易性からは炭素数1〜10の鎖状、分岐状又は環状のアルキル基が好ましく、また、感度及び現像性の観点からはカルボキシル基、スルホ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、エチレン性不飽和結合を有する基が好ましい。また、感度及び現像性のバランスの観点からカルボキシル基、ヒドロキシ基が最も好ましい。
但し、一般式(I)におけるnが1である場合は、Xで表される有機基はその構造中に少なくとも一つのエチレン性不飽和二重結合を有する。
In the general formula (I), the organic group represented by X may further have a substituent when it can be introduced. Examples of the substituent that can be introduced into X include a linear, branched or cyclic alkyl group having 1 to 20 carbon atoms, a chain, branched or cyclic alkenyl group having 2 to 20 carbon atoms, and 2 to 20 carbon atoms. Alkynyl group, C6-C20 aryl group, C1-C20 acyloxy group, C2-C20 alkoxycarbonyloxy group, C7-C20 aryloxycarbonyloxy group, C1-C20 Carbamoyloxy group, carbon number 1-20 carbonamido group, carbon number 1-20 sulfonamido group, carbon number 1-20 carbamoyl group, carbon number 0-20 sulfamoyl group, carbon number 1-20 alkoxy Group, aryloxy group having 6 to 20 carbon atoms, aryloxycarbonyl group having 7 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonyl group having 2 to 20 carbon atoms, N-acyl having 1 to 20 carbon atoms Rufamoyl group, N-sulfamoylcarbamoyl group having 1 to 20 carbon atoms, alkylsulfonyl group having 1 to 20 carbon atoms, arylsulfonyl group having 6 to 20 carbon atoms, alkoxycarbonylamino group having 2 to 20 carbon atoms, carbon number 7-20 aryloxycarbonylamino group, C0-20 amino group, C1-20 imino group, C3-20 ammonio group, carboxyl group, sulfo group, hydroxy group, mercapto group, carbon C1-C20 alkylsulfinyl group, C6-C20 arylsulfinyl group, C1-C20 alkylthio group, C6-C20 arylthio group, C1-C20 ureido group, C2-C2 20 heterocyclic groups, an acyl group having 1 to 20 carbon atoms, a sulfamoylamino group having 0 to 2 carbon atoms, a silyl group having 2 to 20 carbon atoms, Isocyanate group, an isocyanide group, a halogen atom (e.g., fluorine atom, chlorine atom, bromine atom), a cyano group, a nitro group, an onium group, and a group having an ethylenically unsaturated double bond. Among them, a chain, branched or cyclic alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is preferable from the viewpoint of availability of raw materials, and from the viewpoint of sensitivity and developability, a carboxyl group, a sulfo group, a hydroxy group, a mercapto group, A group having an ethylenically unsaturated bond is preferred. Moreover, a carboxyl group and a hydroxy group are most preferable from the viewpoint of balance between sensitivity and developability.
However, when n in the general formula (I) is 1, the organic group represented by X has at least one ethylenically unsaturated double bond in its structure.

エチレン性不飽和二重結合としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)によるエステル化反応、またはアミド化反応にて導入されるエチレン性不飽和二重結合が挙げられる。
また、ヒドロキシル基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等によって導入されるエチレン性不飽和二重結合も挙げられる。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応にて導入されるエチレン性不飽和二重結合もあげられる。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えることも可能である。エチレン性不飽和二重結合としてより好ましい例としては、感度及び合成の容易性から(メタ)アクリル基又はビニルエーテル基により導入されるエチレン性不飽和二重結合が挙げられる。
The ethylenically unsaturated double bond is introduced by an esterification reaction or an amidation reaction with an unsaturated carboxylic acid (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.). An ethylenically unsaturated double bond is mentioned.
In addition, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxyl group, amino group or mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and monofunctional or polyfunctional Examples also include an ethylenically unsaturated double bond introduced by a dehydration condensation product with a functional carboxylic acid. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen group or Ethylenically unsaturated double groups introduced by substitution reaction of unsaturated carboxylic acid esters or amides having a leaving substituent such as tosyloxy group with monofunctional or polyfunctional alcohols, amines, thiols There are also bonds. As another example, it is possible to replace the unsaturated carboxylic acid with an unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like. More preferable examples of the ethylenically unsaturated double bond include an ethylenically unsaturated double bond introduced by a (meth) acryl group or a vinyl ether group from the viewpoint of sensitivity and ease of synthesis.

一般式(I)中、Rは、水素原子又はメチル基を表し、露光感度の観点から水素原子であることがより好ましい。   In general formula (I), R represents a hydrogen atom or a methyl group, and is more preferably a hydrogen atom from the viewpoint of exposure sensitivity.

一般式(I)中、nは1以上の整数を表し、感度及び合成原料の入手性の観点から1〜30が好ましく、1〜15がより好ましく、2〜10が最も好ましい。   In general formula (I), n represents an integer greater than or equal to 1, 1-30 are preferable from a viewpoint of the sensitivity and the availability of a synthetic raw material, 1-15 are more preferable, and 2-10 are the most preferable.

特定化合物の分子量としては、170〜10000が好ましく、170〜5000がより好ましく、180〜3000が更に好ましく、180〜1500が最も好ましい。   As a molecular weight of a specific compound, 170-10000 are preferable, 170-5000 are more preferable, 180-3000 are still more preferable, 180-1500 are the most preferable.

以下に、特定化合物の具体例(例示化合物(1)〜(5))を挙げるが、本発明における特定化合物はこれらに限定されるものではない。   Specific examples of the specific compound (Exemplary Compounds (1) to (5)) are shown below, but the specific compound in the present invention is not limited thereto.

Figure 0004969189
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特定化合物としては市販品を用いることもでき、その好ましい具体例としては、TCR−1310H、TCR−1025、TCR−1064、TCR−1286、PCR−1069、K−48C、PCR−1157H、CCR−1105、CCR−1115、CCR−1159H、ZAR−1395H、ZFR−1401H、ZFR−1122、ZFR−1124、ZFR−1185、EAM−2160、EAM−2300、R−130、R−190、EA−2320、R−205、R−280、CNシリーズ(CN−104、CN−104A80、CN−104B80、CN−111、CN−112C60、CN−116、CN−118、CN−120、CN−120A60、CN−120A75、CN−120B60、CN−120B80、CN−120C60、CN−120C80、CN−120D80、CN−120E50、CN−120M50、CN−124、CN−124A80、等)(以上、日本化薬(株)製)、Ebecrylシリーズ(Ebecryl600、Ebecryl601、Ebecryl604、Ebecryl605、Ebecryl607、Ebecryl608、Ebecryl609、Ebecryl650/25TO、Ebecryl616、Ebecryl645、Ebecryl648、Ebecryl860、Ebecryl1606、Ebecryl1608、Ebecryl1629、Ebecryl1940、Ebecryl2952、Ebecryl3201、Ebecryl3404、Ebecryl3411、Ebecryl3412、Ebecryl3415、Ebecryl3502、Ebecryl3600、Ebecryl3603、Ebecryl3604、Ebecryl3605、Ebecryl3608、Ebecryl3700、Ebecryl3700−20H、Ebecryl3700−20T、Ebecryl3700−25R、Ebecryl3701、Ebecryl3701−20T、Ebecryl3703、Ebecryl3702、Ebecryl3708、Ebecryl RDX63182、Ebecryl6040、Ebecryl IRR419、等)(以上、ダイセル・サイテック(株)製)、ブレンマーGMR−H、GMR−R、GAM、GAM−R(以上、日本油脂(株)製)ライトエステルG−101P、G−201P、エポキシエステルシリーズ(エポキシエステル40EM、エポキシエステル70PA、エポキシエステル200PA、エポキシエステル80MFA、エポキシエステル3002M、エポキシエステル3002A、エポキシエステル3000M、エポキシエステル3000A、等)(以上、共栄社化学(株)製)、V#540(大阪有機化学工業(株)社製)、CNシリーズ(CN104、CN104A、CN104B80、CN111、CN112C60、CN115、CN116、CN118、CN120、CN120A60、CN120A75、CN120B60、CN120B80、CN120C60、CN120C80、CN120D80、CN120E50、CN120M50、CN124、CNUVE151、CNUVE151/80、CN151、等)(以上、サートマー社製)、NKエステル701、701A、NKオリゴEA−1020、EA−1025、EA−1026、EA−1028、EA−5520、EA−5521、EA−5821、EA−5921、EA−6310、EA−6320、EA−6340、EA−7120、EA−7140、EA−7420、EA−7440(以上、新中村化学工業(株)製)等が挙げられる。   Commercially available products can also be used as the specific compound, and preferred examples thereof include TCR-1310H, TCR-1025, TCR-1064, TCR-1286, PCR-1069, K-48C, PCR-1157H, CCR-1105. , CCR-1115, CCR-1159H, ZAR-1395H, ZFR-1401H, ZFR-1122, ZFR-1124, ZFR-1185, EAM-2160, EAM-2300, R-130, R-190, EA-2320, R -205, R-280, CN series (CN-104, CN-104A80, CN-104B80, CN-111, CN-112C60, CN-116, CN-118, CN-120, CN-120A60, CN-120A75, CN-120B60, CN-120B8 CN-120C60, CN-120C80, CN-120D80, CN-120E50, CN-120M50, CN-124, CN-124A80, etc. (above, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), Ebecryl series (Ebecryl600, Ebecryl601, Ebecryl604, Ebecryl605, Ebecryl607, Ebecryl608, Ebecryl609, Ebecryl650 / 25TO, Ebecryl616, Ebecryl645, Ebecryl648, Ebecryl860, Ebecryl1606, Ebecryl1608, Ebecryl1629, Ebecryl1940, Ebecryl2952, Ebecryl3201, Ebecryl3404, Ebecryl3411, Ebe ryl3412, Ebecryl3415, Ebecryl3502, Ebecryl3600, Ebecryl3603, Ebecryl3604, Ebecryl3605, Ebecryl3608, Ebecryl3700, Ebecryl3700-20H, Ebecryl3700-20T, Ebecryl3700-25R, Ebecryl3701, Ebecryl3701-20T, Ebecryl3703, Ebecryl3702, Ebecryl3708, Ebecryl RDX63182, Ebecryl6040, Ebecryl IRR419, Etc.) (above, manufactured by Daicel Cytec Co., Ltd.), Bremer GMR-H, GMR-R, GAM, GAM-R (above, manufactured by NOF Corporation) Light Ester G-101P G-201P, Epoxy ester series (Epoxy ester 40EM, Epoxy ester 70PA, Epoxy ester 200PA, Epoxy ester 80MFA, Epoxy ester 3002M, Epoxy ester 3002A, Epoxy ester 3000M, Epoxy ester 3000A, etc.) (above, Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) Manufactured), V # 540 (manufactured by Osaka Organic Chemical Co., Ltd.), CN series (CN104, CN104A, CN104B80, CN111, CN112C60, CN115, CN116, CN118, CN120, CN120A60, CN120A75, CN120B60, CN120B80, CN120C60, C120 , CN120D80, CN120E50, CN120M50, CN124, CNUVE151, (NUVE151 / 80, CN151, etc.) (manufactured by Sartomer), NK ester 701, 701A, NK oligo EA-1020, EA-1025, EA-1026, EA-1028, EA-5520, EA-5521, EA- 5821, EA-5921, EA-6310, EA-6320, EA-6340, EA-7120, EA-7140, EA-7420, EA-7440 (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd.).

特定化合物の合成法としては、例えば、エポキシ化合物と不飽和カルボン酸との反応、エチレン性不飽和結合を有するエポキシ化合物と概化合物のエポキシ基と反応することができる活性水素を含有する化合物との反応、2級水酸基を有するポリオールと不飽和カルボン酸または不飽和酸ハロゲン化物との反応などが好ましく用いられるが、これらに限定されるものではない。   Examples of the synthesis method of the specific compound include a reaction between an epoxy compound and an unsaturated carboxylic acid, an epoxy compound having an ethylenically unsaturated bond, and a compound containing an active hydrogen capable of reacting with an epoxy group of an approximate compound. Reaction, a reaction between a polyol having a secondary hydroxyl group and an unsaturated carboxylic acid or unsaturated acid halide is preferably used, but is not limited thereto.

特定化合物の合成法に用いられるエポキシ化合物の合成法としては、特に限定されないが、合成の容易性、収率などの観点から、例えば、アルコール性又はフェノール性ヒドロキシ基を有する化合物とエピクロルヒドリンとの反応、グリシドールと酸ハロゲン化物との反応が好ましい例として挙げられる。上記エポキシ化合物の好ましい具体例としては、1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、3−[ビス(グリシジルオキシメチル)−メトキシ]−1,2−プロパンジオール、1,4−シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、また、市販品ではエポライト40E、100E、200E、400E、70P、200P、400P、1500NP、1600、80MF、100MF、4000、3002(以上、共栄社製)等が挙げられる。   The method for synthesizing the epoxy compound used in the method for synthesizing the specific compound is not particularly limited. From the viewpoint of ease of synthesis, yield, etc., for example, the reaction of a compound having an alcoholic or phenolic hydroxy group with epichlorohydrin. A preferred example is the reaction of glycidol with an acid halide. Preferred examples of the epoxy compound include 1,4-butanediol diglycidyl ether, 3- [bis (glycidyloxymethyl) -methoxy] -1,2-propanediol, 1,4-cyclohexanedimethanol diglycidyl ether. , Allyl glycidyl ether, tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate, and commercially available products such as EPOlite 40E, 100E, 200E, 400E, 70P, 200P, 400P, 1500NP, 1600, 80MF, 100MF, 4000, 3002 (or more , Manufactured by Kyoeisha).

特定化合物の含有量としては、本発明の硬化性組成物に含有される全固形分に対して、0.01質量%〜80質量%が好ましく、0.05質量%〜60質量%がより好ましく、0.1質量%〜40質量%が更に好ましく、0.3質量%〜20%質量が最も好ましい。   As content of a specific compound, 0.01 mass%-80 mass% are preferable with respect to the total solid contained in the curable composition of this invention, and 0.05 mass%-60 mass% are more preferable. 0.1% by mass to 40% by mass is more preferable, and 0.3% by mass to 20% by mass is most preferable.

<(B)光重合開始剤>
本発明の硬化性組成物は、(B)オキシム系化合物である光重合開始剤(以下、適宜「光重合開始剤」と称する。)を含有する。
本発明における光重合開始剤は、光により分解し、本発明における(A)成分及び後述する(D)成分の重合を開始、促進する化合物であり、波長300〜500nmの領域に吸収を有するものであることが好ましい。また、光重合開始剤は、単独で、又は2種以上を併用して用いることができる。
<(B) Photopolymerization initiator>
The curable composition of the present invention contains (B) a photopolymerization initiator (hereinafter referred to as “photopolymerization initiator” as appropriate ) which is an oxime compound .
The photopolymerization initiator in the present invention is a compound that is decomposed by light and starts and accelerates the polymerization of the component (A) and the component (D) described later, and has absorption in the wavelength region of 300 to 500 nm. It is preferable that Moreover, a photoinitiator can be used individually or in combination of 2 or more types.

有機ハロゲン化化合物としては、具体的には、若林等、「Bull Chem.Soc Japan」42、2924(1969)、米国特許第3,905,815号明細書、特公昭46−4605号、特開昭48−36281号、特開昭55−32070号、特開昭60−239736号、特開昭61−169835号、特開昭61−169837号、特開昭62−58241号、特開昭62−212401号、特開昭63−70243号、特開昭63−298339号、M.P.Hutt”Jurnal of Heterocyclic Chemistry”1(No3),(1970)」筆に記載の化合物が挙げられ、特に、トリハロメチル基が置換したオキサゾール化合物、s−トリアジン化合物が挙げられる。   Specific examples of the organic halogenated compound include Wakabayashi et al., “Bull Chem. Soc Japan” 42, 2924 (1969), US Pat. No. 3,905,815, Japanese Patent Publication No. 46-4605, JP 48-36281, JP 55-3070, JP 60-239736, JP 61-169835, JP 61-169837, JP 62-58241, JP 62 -212401, JP-A-63-70243, JP-A-63-298339, M.S. P. Hut "Journal of Heterocyclic Chemistry" 1 (No3), (1970) "The compound described in a brush is mentioned, Especially, the oxazole compound substituted by the trihalomethyl group and s-triazine compound are mentioned.

s−トリアジン化合物として、より好適には、すくなくとも一つのモノ、ジ、又はトリハロゲン置換メチル基がs−トリアジン環に結合したs−トリアジン誘導体、具体的には、例えば、2,4,6−トリス(モノクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−n−プロピル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(α,α,β−トリクロロエチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(3,4−エポキシフェニル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−クロロフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−〔1−(p−メトキシフェニル)−2,4−ブタジエニル〕−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−スチリル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−メトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−i−プロピルオキシスチリル)−4、6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(p−トリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−ナトキシナフチル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−フェニルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−ベンジルチオ−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(ジブロモメチル)−s−トリアジン、2,4,6−トリス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン、2−メトキシ−4,6−ビス(トリブロモメチル)−s−トリアジン等が挙げられる。   As the s-triazine compound, more preferably, an s-triazine derivative in which at least one mono-, di-, or trihalogen-substituted methyl group is bonded to the s-triazine ring, specifically, for example, 2,4,6- Tris (monochloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6- Bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-n-propyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (α, α, β-trichloroethyl) -4,6-bis (trichloro Methyl) -s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloro) Methyl) -s-triazine, 2- (3,4-epoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (p-chlorophenyl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- [1- (p-methoxyphenyl) -2,4-butadienyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-styryl-4,6-bis (trichloromethyl) -S-triazine, 2- (p-methoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (pi-propyloxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- (p-tolyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-natoxynaphthyl) -4,6-bis (trichloromethyl) s-triazine, 2-phenylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzylthio-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4,6-tris (dibromomethyl) ) -S-triazine, 2,4,6-tris (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (tribromomethyl) -s-triazine, 2-methoxy-4,6- Bis (tribromomethyl) -s-triazine and the like can be mentioned.

オキシジアゾール化合物としては、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(シアノスチリル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(ナフト−1−イル)−1,3,4−オキソジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(4−スチリル)スチリル−1,3,4−オキソジアゾールなどが挙げられる。   Examples of the oxydiazole compound include 2-trichloromethyl-5-styryl-1,3,4-oxodiazole, 2-trichloromethyl-5- (cyanostyryl) -1,3,4-oxodiazole, 2- Examples include trichloromethyl-5- (naphth-1-yl) -1,3,4-oxodiazole, 2-trichloromethyl-5- (4-styryl) styryl-1,3,4-oxodiazole, and the like. .

カルボニル化合物としては、ベンゾフェノン、ミヒラーケトン、2−メチルベンゾフェノン、3−メチルベンゾフェノン、4−メチルベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4−ブロモベンゾフェノン、2−カルボキシベンゾフェノン等のベンゾフェノン誘導体、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、α−ヒドトキシ−2−メチルフェニルプロパノン、1−ヒドロキシ−1−メチルエチル−(p−イソプロピルフェニル)ケトン、1−ヒドロキシ−1−(p−ドデシルフェニル)ケトン、2−メチルー(4’−(メチルチオ)フェニル)−2−モルホリノ−1−プロパノン、1,1,1−トリクロロメチル−(p−ブチルフェニル)ケトン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン等のアセトフェノン誘導体、チオキサントン、2−エチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン誘導体、p−ジメチルアミノ安息香酸エチル、p−ジエチルアミノ安息香酸エチル等の安息香酸エステル誘導体等を挙げることができる。   Examples of the carbonyl compound include benzophenone, Michler ketone, 2-methylbenzophenone, 3-methylbenzophenone, 4-methylbenzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4-bromobenzophenone, 2-carboxybenzophenone and other benzophenone derivatives, 2,2-dimethoxy-2 -Phenylacetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenylketone, α-hydroxy-2-methylphenylpropanone, 1-hydroxy-1-methylethyl- (p-isopropylphenyl) ketone, 1-hydroxy -1- (p-dodecylphenyl) ketone, 2-methyl- (4 ′-(methylthio) phenyl) -2-morpholino-1-propanone, 1,1,1-trichloromethyl- (p-butylphenyl) , Acetophenone derivatives such as 2-benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone, thioxanthone, 2-ethylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone Thioxanthone derivatives such as 2,4-diisopropylthioxanthone, and benzoic acid ester derivatives such as ethyl p-dimethylaminobenzoate and ethyl p-diethylaminobenzoate.

ケタール化合物としては、ベンジルメチルケタール、ベンジル−β−メトキシエチルエチルアセタールなどを挙げることができる。   Examples of the ketal compound include benzyl methyl ketal and benzyl-β-methoxyethyl ethyl acetal.

ベンゾイン化合物としてはmベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインメチルエーテル、メチルo−ベンゾイルベンゾエートなどを挙げることができる。   Examples of the benzoin compound include mbenzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzoin methyl ether, methyl o-benzoylbenzoate, and the like.

アクリジン化合物としては、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタンなどを挙げることができる。   Examples of the acridine compound include 9-phenylacridine, 1,7-bis (9-acridinyl) heptane, and the like.

有機過酸化化合物としては、例えば、トリメチルシクロヘキサノンパーオキサイド、アセチルアセトンパーオキサイド、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、1,1−ビス(tert−ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、2,2−ビス(tert−ブチルパーオキシ)ブタン、tert−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、ジイソプロピルベンゼンハイドロパーオキサイド、2,5−ジメチルヘキサン−2,5−ジハイドロパーオキサイド、1,1,3,3−テトラメチルブチルハイドロパーオキサイド、tert−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、2,5−ジメチル−2,5−ジ(tert−ブチルパーオキシ)ヘキサン、2,5−オキサノイルパーオキサイド、過酸化こはく酸、過酸化ベンゾイル、2,4−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エチルヘキシルパーオキシジカーボネート、ジ−2−エトキシエチルパーオキシジカーボネート、ジメトキシイソプロピルパーオキシカーボネート、ジ(3−メチル−3−メトキシブチル)パーオキシジカーボネート、tert−ブチルパーオキシアセテート、tert−ブチルパーオキシピバレート、tert−ブチルパーオキシネオデカノエート、tert−ブチルパーオキシオクタノエート、tert−ブチルパーオキシラウレート、ターシルカーボネート、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(t−ヘキシルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、3,3’,4,4’−テトラ−(p−イソプロピルクミルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、カルボニルジ(t−ブチルパーオキシ二水素二フタレート)、カルボニルジ(t−ヘキシルパーオキシ二水素二フタレート)等が挙げられる。   Examples of the organic peroxide compound include trimethylcyclohexanone peroxide, acetylacetone peroxide, 1,1-bis (tert-butylperoxy) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 1,1-bis (tert-butylperoxide). Oxy) cyclohexane, 2,2-bis (tert-butylperoxy) butane, tert-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, diisopropylbenzene hydroperoxide, 2,5-dimethylhexane-2,5-dihydroper Oxide, 1,1,3,3-tetramethylbutyl hydroperoxide, tert-butylcumyl peroxide, dicumyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di (tert-butylperoxy) hexane, 2 , -Oxanoyl peroxide, succinic peroxide, benzoyl peroxide, 2,4-dichlorobenzoyl peroxide, diisopropyl peroxydicarbonate, di-2-ethylhexyl peroxydicarbonate, di-2-ethoxyethyl peroxydicarbonate , Dimethoxyisopropyl peroxycarbonate, di (3-methyl-3-methoxybutyl) peroxydicarbonate, tert-butyl peroxyacetate, tert-butyl peroxypivalate, tert-butyl peroxyneodecanoate, tert- Butyl peroxyoctanoate, tert-butyl peroxylaurate, tersyl carbonate, 3,3 ′, 4,4′-tetra- (t-butylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3 ′, 4 '-Tetra- (t-hexylperoxycarbonyl) benzophenone, 3,3', 4,4'-tetra- (p-isopropylcumylperoxycarbonyl) benzophenone, carbonyldi (t-butylperoxydihydrogen diphthalate) , Carbonyldi (t-hexylperoxydihydrogen diphthalate) and the like.

アゾ化合物としては、例えば、特開平8−108621号公報に記載のアゾ化合物等を挙げることができる。   Examples of the azo compound include azo compounds described in JP-A-8-108621.

クマリン化合物としては、例えば、3−メチル−5−アミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−クロロ−5−ジエチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン、3−ブチル−5−ジメチルアミノ−((s−トリアジン−2−イル)アミノ)−3−フェニルクマリン等を挙げることができる。   Examples of the coumarin compound include 3-methyl-5-amino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, 3-chloro-5-diethylamino-((s-triazin-2-yl). ) Amino) -3-phenylcoumarin, 3-butyl-5-dimethylamino-((s-triazin-2-yl) amino) -3-phenylcoumarin, and the like.

アジド化合物としては、米国特許第2848328号明細書、米国特許第2852379号明細書ならびに米国特許第2940853号明細書に記載の有機アジド化合物、2,6−ビス(4−アジドベンジリデン)−4−エチルシクロヘキサノン(BAC−E)等が挙げられる。   Examples of the azide compound include organic azide compounds described in U.S. Pat. No. 2,848,328, U.S. Pat. No. 2,852,379 and U.S. Pat. No. 2,940,553, 2,6-bis (4-azidobenzylidene) -4-ethyl. And cyclohexanone (BAC-E).

メタロセン化合物としては、特開昭59−152396号公報、特開昭61−151197号公報、特開昭63−41484号公報、特開平2−249号公報、特開平2−4705号公報、特開平5−83588号公報記載の種々のチタノセン化合物、例えば、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−フェニル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4−ジ−フルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−シクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,6−ジフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,4,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフルオロフェニ−1−イル、ジ−メチルシクロペンタジエニル−Ti−ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、特開平1−304453号公報、特開平1−152109号公報記載の鉄−アレーン錯体等が挙げられる。   Examples of the metallocene compound include JP-A-59-152396, JP-A-61-151197, JP-A-63-41484, JP-A-2-249, JP-A-2-4705, Various titanocene compounds described in JP-A-5-83588, such as di-cyclopentadienyl-Ti-bis-phenyl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, di -Cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4-di-fluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluorophen-1-yl, di- Cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-cyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4,5,6-pentaful Lophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,6-difluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,4,6-trifluoropheny -1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophen-1-yl, di-methylcyclopentadienyl-Ti-bis-2,3,4 , 5,6-pentafluorophen-1-yl, iron-arene complexes described in JP-A-1-304453 and JP-A-1-152109, and the like.

ヘキサアリールビイミダゾール化合物としては、例えば、特公平6−29285号公報、米国特許第3,479,185号、同第4,311,783号、同第4,622,286号等の各明細書に記載の種々の化合物、具体的には、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ブロモフェニル))4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o,p−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(m−メトキシフェニル)ビイジダゾール、2,2’−ビス(o,o’−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−ニトロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−メチルフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(o−トリフルオロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール等が挙げられる。   As the hexaarylbiimidazole compound, for example, JP-B-6-29285, US Pat. Nos. 3,479,185, 4,311,783, 4,622,286, etc. And, specifically, 2,2′-bis (o-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-bromophenyl) )) 4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o, p-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2 ′ -Bis (o-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetra (m-methoxyphenyl) biidazole, 2,2'-bis (o, o'-dichlorophenyl) -4,4', 5,5 '-Tetraphenylbi Dazole, 2,2′-bis (o-nitrophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-methylphenyl) -4,4 ′, 5 Examples include 5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (o-trifluorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, and the like.

有機ホウ酸塩化合物としては、例えば、特開昭62−143044号、特開昭62−150242号、特開平9−188685号、特開平9−188686号、特開平9−188710号、特開2000−131837、特開2002−107916、特許第2764769号、特願2000−310808号、等の各公報、及び、Kunz,Martin“Rad Tech’98.Proceeding April 19−22,1998,Chicago”等に記載される有機ホウ酸塩、特開平6−157623号公報、特開平6−175564号公報、特開平6−175561号公報に記載の有機ホウ素スルホニウム錯体或いは有機ホウ素オキソスルホニウム錯体、特開平6−175554号公報、特開平6−175553号公報に記載の有機ホウ素ヨードニウム錯体、特開平9−188710号公報に記載の有機ホウ素ホスホニウム錯体、特開平6−348011号公報、特開平7−128785号公報、特開平7−140589号公報、特開平7−306527号公報、特開平7−292014号公報等の有機ホウ素遷移金属配位錯体等が具体例として挙げられる。   Examples of the organic borate compound include JP-A-62-143044, JP-A-62-1050242, JP-A-9-188585, JP-A-9-188686, JP-A-9-188710, JP-A-2000. -131837, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-107916, Japanese Patent No. 2764769, Japanese Patent Application No. 2000-310808, etc., and Kunz, Martin “Rad Tech '98. Proceeding April 19-22, 1998, Chicago”. Organoboron salts described in JP-A-6-157623, JP-A-6-175564, JP-A-6-175561, JP-A-6-175554 In Japanese Patent Laid-Open No. 6-175553 Organoboron iodonium complexes, organoboron phosphonium complexes described in JP-A-9-188710, JP-A-6-348011, JP-A-7-128785, JP-A-7-140589, JP-A-7- Specific examples include organoboron transition metal coordination complexes such as those described in Japanese Patent No. 306527 and Japanese Patent Laid-Open No. 7-292014.

ジスルホン化合物としては、特開昭61−166544号公報、特願2001−132318号明細書等記載される化合物等が挙げられる。   Examples of the disulfone compound include compounds described in JP-A No. 61-166544 and Japanese Patent Application No. 2001-132318.

オキシムエステル化合物としては、J.C.S. Perkin II (1979 )1653−1660)、J.C.S. Perkin II (1979)156−162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995)202−232、特開2000−66385号公報記載の化合物、特開2000−80068号公報、特表2004−534797号公報記載の化合物等が挙げられる。   Examples of oxime ester compounds include J.M. C. S. Perkin II (1979) 1653-1660), J. MoI. C. S. Perkin II (1979) 156-162, Journal of Photopolymer Science and Technology (1995) 202-232, JP-A 2000-66385, compounds described in JP-A 2000-80068, JP-T 2004-534797 Compounds and the like.

オニウム塩化合物としては、例えば、S.I.Schlesinger,Photogr.Sci.Eng.,18,387(1974)、T.S.Bal et al,Polymer,21,423(1980)に記載のジアゾニウム塩、米国特許第4,069,055号明細書、特開平4−365049号等に記載のアンモニウム塩、米国特許第4,069,055号、同4,069,056号の各明細書に記載のホスホニウム塩、欧州特許第104、143号、米国特許第339,049号、同第410,201号の各明細書、特開平2−150848号、特開平2−296514号の各公報に記載のヨードニウム塩などが挙げられる。   Examples of onium salt compounds include S.I. I. Schlesinger, Photogr. Sci. Eng. 18, 387 (1974), T .; S. Bal et al, Polymer, 21, 423 (1980), diazonium salts described in U.S. Pat. No. 4,069,055, ammonium salts described in JP-A-4-365049, U.S. Pat. No. 4,069, No. 055, No. 4,069,056, phosphonium salts described in European Patent Nos. 104 and 143, U.S. Pat. Nos. 339,049 and 410,201, JP Examples include iodonium salts described in JP-A No. -150848 and JP-A-2-296514.

本発明に好適に用いることのできるヨードニウム塩は、ジアリールヨードニウム塩であり、安定性の観点から、アルキル基、アルコキシ基、アリーロキシ基等の電子供与性基で2つ以上置換されていることが好ましい。また、その他の好ましいスルホニウム塩の形態として、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するヨードニウム塩などが好ましい。   The iodonium salt that can be suitably used in the present invention is a diaryl iodonium salt, and is preferably substituted with two or more electron donating groups such as an alkyl group, an alkoxy group, and an aryloxy group from the viewpoint of stability. . In addition, as another preferable form of the sulfonium salt, an iodonium salt in which one substituent of the triarylsulfonium salt has a coumarin or an anthraquinone structure and absorption at 300 nm or more is preferable.

本発明に好適に用いることのできるスルホニウム塩としては、欧州特許第370,693号、同390,214号、同233,567号、同297,443号、同297,442号、米国特許第4,933,377号、同161,811号、同410,201号、同339,049号、同4,760,013号、同4,734,444号、同2,833,827号、独国特許第2,904,626号、同3,604,580号、同3,604,581号の各明細書に記載のスルホニウム塩が挙げられ、安定性の感度点から好ましくは電子吸引性基で置換されていることが好ましい。電子吸引性基としては、ハメット値が0より大きいことが好ましい。好ましい電子吸引性基としては、ハロゲン原子、カルボン酸などが挙げられる。
また、その他の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩の1つの置換基がクマリン、アントアキノン構造を有し、300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。別の好ましいスルホニウム塩としては、トリアリールスルホニウム塩が、アリロキシ基、アリールチオ基を置換基に有する300nm以上に吸収を有するスルホニウム塩が挙げられる。
Examples of the sulfonium salt that can be suitably used in the present invention include European Patent Nos. 370,693, 390,214, 233,567, 297,443, 297,442, and U.S. Pat. 933,377, 161,811, 410,201, 339,049, 4,760,013, 4,734,444, 2,833,827, Germany Examples thereof include sulfonium salts described in the specifications of Patent Nos. 2,904,626, 3,604,580, and 3,604,581, and are preferably electron withdrawing groups from the viewpoint of stability. It is preferably substituted. The electron withdrawing group preferably has a Hammett value greater than zero. Preferred electron-withdrawing groups include halogen atoms and carboxylic acids.
Other preferable sulfonium salts include sulfonium salts in which one substituent of the triarylsulfonium salt has a coumarin or anthraquinone structure and absorbs at 300 nm or more. As another preferable sulfonium salt, a sulfonium salt in which the triarylsulfonium salt has an allyloxy group or an arylthio group as a substituent and has absorption at 300 nm or more can be mentioned.

また、オニウム塩化合物としては、J.V.Crivello et al,Macromolecules,10(6),1307(1977)、J.V.Crivello et al,J.Polymer Sci.,Polymer Chem.Ed.,17,1047(1979)に記載のセレノニウム塩、C.S.Wen et al,Teh,Proc.Conf.Rad.Curing ASIA,p478 Tokyo,Oct(1988)に記載のアルソニウム塩等のオニウム塩等が挙げられる。   Moreover, as an onium salt compound, J.M. V. Crivello et al, Macromolecules, 10 (6), 1307 (1977), J. MoI. V. Crivello et al, J.A. Polymer Sci. , Polymer Chem. Ed. , 17, 1047 (1979), a selenonium salt described in C.I. S. Wen et al, Teh, Proc. Conf. Rad. Curing ASIA, p478 Tokyo, Oct (1988), and onium salts such as arsonium salts.

アシルホスフィン(オキシド)化合物としては、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュア819、ダロキュア4265、ダロキュアTPOなどが挙げられる。   Examples of the acylphosphine (oxide) compound include Irgacure 819, Darocur 4265, Darocur TPO and the like manufactured by Ciba Specialty Chemicals.

アルキルアミノ化合物としては、例えば、特開平9−281698号公報の段落番号[0047]、特開平6−19240号公報、特開平6−19249号公報等に記載のジアルキルアミノフェニル基を有する化合物やアルキルアミン化合物が挙げられる。具体的には、ジアルキルアミノフェニル基を有する化合物としてはp−ジメチルアミノ安息香酸エチル等の化合物や、p−ジエチルアミノベンズカルバルデヒド、9−ジュロリジルカルバルデヒド等のジアルキルアミノフェニルカルバルデヒドが、アルキルアミン化合物としてはトリエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエチルアミン等が挙げられる。   Examples of the alkylamino compound include compounds having a dialkylaminophenyl group described in paragraph No. [0047] of JP-A-9-281698, JP-A-6-19240, JP-A-6-19249, and the like. An amine compound is mentioned. Specifically, compounds having a dialkylaminophenyl group include compounds such as ethyl p-dimethylaminobenzoate, and dialkylaminophenyl carbaldehydes such as p-diethylaminobenzcarbaldehyde and 9-julolidylcarbaldehyde. Examples of the amine compound include triethanolamine, diethanolamine, and triethylamine.

本発明に用いられる(B)光重合開始剤としては、露光感度の観点から、オキシム系化合物であるThe photopolymerization initiator (B) used in the present invention, from the viewpoint of exposure sensitivity, a oximes compound.

(B)光重合開始剤の含有量は、本発明の硬化性組成物の全固形分に対し0.1質量%〜50質量%であることが好ましく、より好ましくは0.5質量%〜30質量%、特に好ましくは1質量%〜20質量%である。この範囲で、良好な感度とパターン形成性が得られる。   (B) It is preferable that content of a photoinitiator is 0.1 mass%-50 mass% with respect to the total solid of the curable composition of this invention, More preferably, 0.5 mass%-30 % By mass, particularly preferably 1% by mass to 20% by mass. Within this range, good sensitivity and pattern formability can be obtained.

<(C)着色剤>
本発明の硬化性組成物は、(C)着色剤を含有する。
本発明の硬化性組成物に含有される着色剤には特に制限はなく、従来公知の種々の染料や顔料を1種又は2種以上混合して用いることができる。着色剤としては、耐熱性、耐光性等の耐久性の観点から、顔料であることが好ましい。
<(C) Colorant>
The curable composition of the present invention contains (C) a colorant.
There is no restriction | limiting in particular in the coloring agent contained in the curable composition of this invention, A conventionally well-known various dye and pigment can be used 1 type or in mixture of 2 or more types. The colorant is preferably a pigment from the viewpoint of durability such as heat resistance and light resistance.

本発明の硬化性組成物に含有しうる顔料としては、従来公知の種々の無機顔料または有機顔料を用いることができ、高透過率であることが好ましい。   As the pigment that can be contained in the curable composition of the present invention, various conventionally known inorganic pigments or organic pigments can be used, and high transmittance is preferable.

無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。   Examples of inorganic pigments include metal compounds represented by metal oxides, metal complex salts, and the like. Specifically, iron, cobalt, aluminum, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, etc. And metal oxides of the above metals.

有機顔料としては、例えば、
C.I.ピグメントイエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199,;
C.I.ピグメントオレンジ36,38,43,71;
C.I.ピグメントレッド81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,39;
C.I.ピグメントブルー1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメントグリーン7,36,37;
C.I.ピグメントブラウン25,28;
C.I.ピグメントブラック1,7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
As an organic pigment, for example,
C. I. Pigment yellow 11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199;
C. I. Pigment orange 36, 38, 43, 71;
C. I. Pigment red 81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C. I. Pigment violet 19, 23, 32, 39;
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C. I. Pigment green 7, 36, 37;
C. I. Pigment brown 25, 28;
C. I. Pigment black 1, 7;
Examples thereof include carbon black.

本発明では、特に顔料の構造式中に塩基性のN原子をもつものを好ましく用いることができる。これら塩基性のN原子をもつ顔料は本発明の組成物中で良好な分散性を示す。その原因については十分解明されていないが、感光性重合成分と顔料との親和性の良さが影響しているものと推定される。   In the present invention, those having a basic N atom in the structural formula of the pigment can be preferably used. These pigments having a basic N atom exhibit good dispersibility in the composition of the present invention. Although the cause is not fully elucidated, it is presumed that the good affinity between the photosensitive polymerization component and the pigment has an influence.

本発明において好ましく用いることができる顔料として、以下のものを挙げることができる。但し本発明は、これらに限定されるものではない。   Examples of the pigment that can be preferably used in the present invention include the following. However, the present invention is not limited to these.

C.I.ピグメントイエロー11,24,108,109,110,138,139,150,151,154,167,180,185,
C.I.ピグメントオレンジ36,71,
C.I.ピグメントレッド122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264,
C.I.ピグメントバイオレット19,23,32,
C.I.ピグメントブルー15:1,15:3,15:6,16,22,60,66,
C.I.ピグメントブラック1
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185
C. I. Pigment orange 36, 71,
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264
C. I. Pigment violet 19, 23, 32,
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66,
C. I. Pigment Black 1

これら有機顔料は、単独もしくは色純度を上げるため種々組合せて用いることができる。上記組合せの具体例を以下に示す。例えば、赤の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料単独またはそれらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料またはペリレン系赤色顔料と、の混合などを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド177が挙げられ、ペリレン系顔料としては、C.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224が挙げられ、ジケトピロロピロール系顔料としては、C.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点でC.I.ピグメントイエロー139との混合が好ましい。また、赤色顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:50が好ましい。100:4以下では400nmから500nmの光透過率を抑えることが困難で色純度を上げることが出来ない場合がある。また100:51以上では主波長が短波長よりになり、NTSC目標色相からのずれが大きくなる場合がある。特に、上記質量比としては、100:10〜100:30の範囲が最適である。尚、赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。   These organic pigments can be used alone or in various combinations in order to increase color purity. Specific examples of the above combinations are shown below. For example, as a red pigment, an anthraquinone pigment, a perylene pigment, a diketopyrrolopyrrole pigment alone or at least one of them, a disazo yellow pigment, an isoindoline yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment or a perylene red pigment , Etc. can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment red 177, and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224, and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment red 254, and C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 139 is preferred. The mass ratio of the red pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 50. If it is 100: 4 or less, it may be difficult to suppress the light transmittance from 400 nm to 500 nm, and the color purity may not be improved. When the ratio is 100: 51 or more, the dominant wavelength is shorter than the short wavelength, and the deviation from the NTSC target hue may be large. In particular, the mass ratio is optimally in the range of 100: 10 to 100: 30. In the case of a combination of red pigments, it can be adjusted in accordance with the chromaticity.

また、緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料を単独で、または、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料若しくはイソインドリン系黄色顔料との混合を用いることができる。例えば、このような例としては、C.I.ピグメントグリーン7、36、37とC.I.ピグメントイエロー83、C.I.ピグメントイエロー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー180またはC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑顔料と黄色顔料との質量比は、100:5〜100:150が好ましい。上記質量比としては100:30〜100:120の範囲が特に好ましい。   As the green pigment, a halogenated phthalocyanine pigment can be used alone, or a mixture thereof with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred. The mass ratio of the green pigment to the yellow pigment is preferably 100: 5 to 100: 150. The mass ratio is particularly preferably in the range of 100: 30 to 100: 120.

青の顔料としては、フタロシアニン系顔料を単独で、若しくはこれとジオキサジン系紫色顔料との混合を用いることができる。例えばC.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料と紫色顔料との質量比は、100:0〜100:30が好ましく、より好ましくは100:10以下である。   As the blue pigment, a phthalocyanine pigment can be used alone, or a mixture thereof with a dioxazine purple pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio of the blue pigment to the violet pigment is preferably 100: 0 to 100: 30, more preferably 100: 10 or less.

また、ブラックマトリックス用の顔料としては、カーボン、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン単独または混合が用いられ、カーボンとチタンカーボンとの組合せが好ましい。また、カーボンとチタンカーボンとの質量比は、100:0〜100:60の範囲が好ましい。   Further, as the pigment for the black matrix, carbon, titanium carbon, iron oxide, titanium oxide alone or a mixture thereof is used, and a combination of carbon and titanium carbon is preferable. The mass ratio of carbon to titanium carbon is preferably in the range of 100: 0 to 100: 60.

顔料の一次粒子径は、カラーフィルタ用として用いる場合には、色ムラやコントラストの観点から、100nm以下であることが好ましく、また、分散安定性の観点から5nm以上であることが好ましい。顔料の一次粒子径としてより好ましくは、5〜75nmであり、さらに好ましくは5〜55nmであり、特に好ましくは5〜35nmである。
顔料の一次粒子径は、電子顕微鏡等の公知の方法で測定することができる。
When used for a color filter, the primary particle diameter of the pigment is preferably 100 nm or less from the viewpoint of color unevenness and contrast, and is preferably 5 nm or more from the viewpoint of dispersion stability. The primary particle diameter of the pigment is more preferably 5 to 75 nm, still more preferably 5 to 55 nm, and particularly preferably 5 to 35 nm.
The primary particle diameter of the pigment can be measured by a known method such as an electron microscope.

中でも、顔料としては、アントラキノン系、アゾメチン系、ベンジリデン系、シアニン系、ジケトピロロピロール系、フタロシアニン系から選ばれる顔料であることが好ましい。   Among these, the pigment is preferably a pigment selected from anthraquinone, azomethine, benzylidene, cyanine, diketopyrrolopyrrole, and phthalocyanine.

また、本発明の組成物をカラーフィルター用として用いる場合には、色むらやコントラストの観点では、組成物中に均一に溶解する染料を用いることが好ましい。
本発明の硬化性組成物に含有される着色剤として使用できる染料は、特に制限はなく、従来カラーフィルタ用として公知の染料が使用できる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報、特開平8−211599号公報、特開平4−249549号公報、特開平10−123316号公報、特開平11−302283号公報、特開平7−286107号公報、特開2001−4823号公報、特開平8−15522号公報、特開平8−29771号公報、特開平8−146215号公報、特開平11−343437号公報、特開平8−62416号公報、特開2002−14220号公報、特開2002−14221号公報、特開2002−14222号公報、特開2002−14223号公報、特開平8−302224号公報、特開平8−73758号公報、特開平8−179120号公報、特開平8−151531号公報等に開示されている色素が使用できる。
Moreover, when using the composition of this invention for color filters, it is preferable to use the dye which melt | dissolves uniformly in a composition from a viewpoint of uneven color and contrast.
The dye that can be used as the colorant contained in the curable composition of the present invention is not particularly limited, and conventionally known dyes for color filters can be used. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 JP-A-6-194828, JP-A-8-21599, JP-A-4-249549, JP-A-10-123316, JP-A-11-302283, JP-A-7-286107, JP 2001-4823, JP-A-8-15522, JP-A-8-29771, JP-A-8-146215, JP-A-11-3434. 7, JP-A-8-62416, JP-A-2002-14220, JP-A-2002-14221, JP-A-2002-14222, JP-A-2002-14223, JP-A-8-302224 The dyes disclosed in JP-A-8-73758, JP-A-8-179120, JP-A-8-151531, and the like can be used.

化学構造としては、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、アンスラピリドン系、ベンジリデン系、オキソノール系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサテン系、フタロシアニン系、ペンゾピラン系、インジゴ系等の染料が使用できる。   The chemical structure includes pyrazole azo, anilino azo, triphenyl methane, anthraquinone, anthrapyridone, benzylidene, oxonol, pyrazolotriazole azo, pyridone azo, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, Xanthene-based, phthalocyanine-based, benzopyran-based and indigo-based dyes can be used.

また、硬化性組成物のパターン露光及び露光部の硬化後に、未露光部を水またはアルカリ現像により除去してパターンを形成するという、例えば、レジストやカラーフィルタの着色パターンを形成するといった場合、現像による光未照射部のバインダー、染料などを完全に除去するという観点から、酸性染料および/またはその誘導体が好適に使用できる場合がある。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/または、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
In addition, after pattern exposure of the curable composition and curing of the exposed portion, unexposed portions are removed by water or alkali development to form a pattern, for example, when a colored pattern of a resist or a color filter is formed. From the viewpoint of completely removing the binder, dye, and the like in the non-light-irradiated part due to the acid dye, an acid dye and / or a derivative thereof may be suitably used.
In addition, a direct dye, a basic dye, a mordant dye, an acid mordant dye, an azoic dye, a disperse dye, an oil-soluble dye, a food dye, and / or a derivative thereof can be usefully used.

酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。   The acidic dye is not particularly limited as long as it has an acidic group such as sulfonic acid or carboxylic acid, but is soluble in an organic solvent or a developer, salt-forming with a basic compound, absorbance, and other components in the composition. It is selected in consideration of all required performance such as interaction with components, light resistance, heat resistance and the like.

以下、酸性染料の具体例を挙げるが、本発明においてはこれらに限定されるものではない。例えば、
acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95107,108,169,173;
Hereinafter, although the specific example of an acidic dye is given, in this invention, it is not limited to these. For example,
acid alizarin violet N;
acid black 1, 2, 24, 48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 150, 158, 171, 182, 192, 210, 242, 243, 256, 259, 267, 278, 280, 285, 290, 296, 315, 324: 1, 335, 340;
acid chroma violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95107, 108, 169, 173;

acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422, 426;
acid violet 6B, 7, 9, 17, 19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184 190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;

Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129, 136, 138, 141;
Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107;
Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;
Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104;

Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Direct Blue 57, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193 194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275, 293;
Direct Green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82;
Modern Yellow 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 50, 61, 62, 65;
Modern Orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48;

Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;
Modern Violet 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58;
Modern Blue 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43, 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83, 84;
Modern Green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, 53;
Food Yellow 3;
And derivatives of these dyes.

上記の酸性染料の中でも、acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
acid orange 8,51,56,74,63;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
Acid Green 25等の染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44、38;C.I.Solvent orange 45;Rhodamine B、Rhodamine 110等の酸性染料およびこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
Among the acid dyes mentioned above, acid black 24;
acid blue 23, 25, 29, 62, 80, 86, 87, 92, 138, 158, 182, 243, 324: 1;
acid orange 8, 51, 56, 74, 63;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
acid violet 7;
acid yellow 17, 25, 29, 34, 42, 72, 76, 99, 111, 112, 114, 116, 134, 155, 169, 172, 184, 220, 228, 230, 232, 243;
Dyes such as Acid Green 25 and derivatives of these dyes are preferred.
Other than the above, azo, xanthene and phthalocyanine acid dyes are also preferred. I. Solvent Blue 44, 38; C.I. I. Acid dyes such as Solvent orange 45; Rhodamine B, Rhodamine 110, and derivatives of these dyes are also preferably used.

なかでも、(D)着色剤としては、トリアリルメタン系、アントラキノン系、アゾメチン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系から選ばれる着色剤であることが好ましい。   Among them, as the colorant (D), triallylmethane, anthraquinone, azomethine, benzylidene, oxonol, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine, xanthene, phthalocyanine, benzopyran, indigo A colorant selected from pyrazole azo, anilino azo, pyrazolotriazole azo, pyridone azo, and anthrapyridone is preferable.

本発明の硬化性組成物における着色剤の含有量は、カラーフィルタの着色パターン形成に使用する場合を含めて、30質量%以上85質量%以下であることが好ましく、40質量%以上80質量%以下であることがより好ましく、50質量%75質量%以下であることがもっとも好ましい。   The content of the colorant in the curable composition of the present invention is preferably 30% by mass or more and 85% by mass or less, including the case where it is used for forming a color filter color pattern, and is 40% by mass or more and 80% by mass or less. More preferably, it is more preferable that it is 50 mass% or less and 75 mass% or less.

<(D)エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物>
本発明の硬化性組成物は、前記特定化合物以外のエチレン性不飽和二重結合を含有する化合物(以下、単に「エチレン性不飽和二重結合を含有する化合物」と称する場合がある。)を含有することが好ましい。
<(D) Compound containing ethylenically unsaturated double bond>
The curable composition of the present invention includes a compound containing an ethylenically unsaturated double bond other than the specific compound (hereinafter, sometimes simply referred to as “compound containing an ethylenically unsaturated double bond”). It is preferable to contain.

本発明に用いることができるエチレン性不飽和二重結合を含有する化合物は、特定化合物以外のものであって、少なくとも一個のエチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性化合物であり、末端エチレン性不飽和結合を少なくとも1個、好ましくは2個以上有する化合物から選ばれる。このような化合物群は当該産業分野において広く知られるものであり、本発明においてはこれらを特に限定無く用いることができる。これらは、例えばモノマー、プレポリマー、すなわち2量体、3量体及びオリゴマー、又はそれらの混合物ならびにそれらの共重合体などの化学的形態をもつ。モノマー及びその共重合体の例としては、不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、イソクロトン酸、マレイン酸など)や、そのエステル類、アミド類が挙げられ、好ましくは、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アルコール化合物とのエステル、不飽和カルボン酸と脂肪族多価アミン化合物とのアミド類が用いられる。また、ヒドロキシ基やアミノ基、メルカプト基等の求核性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能イソシアネート類或いはエポキシ類との付加反応物、及び単官能若しくは、多官能のカルボン酸との脱水縮合反応物等も好適に使用される。また、イソシアネート基や、エポキシ基等の親電子性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との付加反応物、更にハロゲン基や、トシルオキシ基等の脱離性置換基を有する不飽和カルボン酸エステル或いはアミド類と単官能若しくは多官能のアルコール類、アミン類、チオール類との置換反応物も好適である。また、別の例として、上記の不飽和カルボン酸の代わりに、不飽和ホスホン酸、スチレン、ビニルエーテル等に置き換えた化合物群を使用することも可能である。   The compound containing an ethylenically unsaturated double bond that can be used in the present invention is an addition-polymerizable compound having at least one ethylenically unsaturated double bond other than the specific compound, and having terminal ethylene. Selected from compounds having at least one, preferably two or more, unsaturated unsaturated bonds. Such a compound group is widely known in the industrial field, and can be used without any particular limitation in the present invention. These have chemical forms such as monomers, prepolymers, i.e. dimers, trimers and oligomers, or mixtures thereof and copolymers thereof. Examples of monomers and copolymers thereof include unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, isocrotonic acid, maleic acid, etc.), and esters and amides thereof. In this case, an ester of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyhydric alcohol compound, or an amide of an unsaturated carboxylic acid and an aliphatic polyvalent amine compound is used. In addition, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a nucleophilic substituent such as a hydroxy group, an amino group or a mercapto group with a monofunctional or polyfunctional isocyanate or epoxy, and a monofunctional or polyfunctional compound. A dehydration condensation reaction product with a functional carboxylic acid is also preferably used. Further, an addition reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having an electrophilic substituent such as an epoxy group or an epoxy group with a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol, a halogen group or In addition, a substitution reaction product of an unsaturated carboxylic acid ester or amide having a leaving substituent such as a tosyloxy group and a monofunctional or polyfunctional alcohol, amine or thiol is also suitable. As another example, it is also possible to use a group of compounds substituted with unsaturated phosphonic acid, styrene, vinyl ether or the like instead of the unsaturated carboxylic acid.

脂肪族多価アルコール化合物と不飽和カルボン酸とのエステルのモノマーの具体例としては、アクリル酸エステルとして、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、1,3−ブタンジオールジアクリレート、テトラメチレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、1,4−シクロヘキサンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールジアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ポリエステルアクリレートオリゴマー、イソシアヌール酸EO変性トリアクリレート等がある。   Specific examples of the monomer of an ester of an aliphatic polyhydric alcohol compound and an unsaturated carboxylic acid include acrylic acid esters such as ethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, 1,3-butanediol diacrylate, and tetramethylene glycol. Diacrylate, propylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, hexanediol diacrylate, 1,4-cyclohexanediol diacrylate , Tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate, pentaerythritol triacrylate , Pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol diacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polyester acrylate oligomer, isocyanuric acid There are EO-modified triacrylate and the like.

メタクリル酸エステルとしては、テトラメチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、トリメチロールエタントリメタクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、1,3−ブタンジオールジメタクリレート、ヘキサンジオールジメタクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールジメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ソルビトールトリメタクリレート、ソルビトールテトラメタクリレート、ビス〔p−(3−メタクリルオキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル〕ジメチルメタン、ビス−〔p−(メタクリルオキシエトキシ)フェニル〕ジメチルメタン等がある。   Methacrylic acid esters include tetramethylene glycol dimethacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, trimethylolethane trimethacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, 1,3-butanediol dimethacrylate, Hexanediol dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol dimethacrylate, dipentaerythritol hexamethacrylate, sorbitol trimethacrylate, sorbitol tetramethacrylate, bis [p- (3-methacryloxy- 2-hydroxypro ) Phenyl] dimethyl methane, bis - [p- (methacryloxyethoxy) phenyl] dimethyl methane.

イタコン酸エステルとしては、エチレングリコールジイタコネート、プロピレングリコールジイタコネート、1,3−ブタンジオールジイタコネート、1,4−ブタンジオールジイタコネート、テトラメチレングリコールジイタコネート、ペンタエリスリトールジイタコネート、ソルビトールテトライタコネート等がある。クロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジクロトネート、テトラメチレングリコールジクロトネート、ペンタエリスリトールジクロトネート、ソルビトールテトラジクロトネート等がある。イソクロトン酸エステルとしては、エチレングリコールジイソクロトネート、ペンタエリスリトールジイソクロトネート、ソルビトールテトライソクロトネート等がある。マレイン酸エステルとしては、エチレングリコールジマレート、トリエチレングリコールジマレート、ペンタエリスリトールジマレート、ソルビトールテトラマレート等がある。   Itaconic acid esters include ethylene glycol diitaconate, propylene glycol diitaconate, 1,3-butanediol diitaconate, 1,4-butanediol diitaconate, tetramethylene glycol diitaconate, pentaerythritol diitaconate And sorbitol tetritaconate. Examples of crotonic acid esters include ethylene glycol dicrotonate, tetramethylene glycol dicrotonate, pentaerythritol dicrotonate, and sorbitol tetradicrotonate. Examples of isocrotonic acid esters include ethylene glycol diisocrotonate, pentaerythritol diisocrotonate, and sorbitol tetraisocrotonate. Examples of maleic acid esters include ethylene glycol dimaleate, triethylene glycol dimaleate, pentaerythritol dimaleate, and sorbitol tetramaleate.

その他のエステルの例として、例えば、特公昭51−47334、特開昭57−196231記載の脂肪族アルコール系エステル類や、特開昭59−5240、特開昭59−5241、特開平2−226149記載の芳香族系骨格を有するもの、特開平1−165613記載のアミノ基を含有するもの等も好適に用いられる。更に、前述のエステルモノマーは混合物としても使用することができる。   Examples of other esters include aliphatic alcohol esters described in JP-B-51-47334 and JP-A-57-196231, JP-A-59-5240, JP-A-59-5241, and JP-A-2-226149. Those having the aromatic skeleton described above and those having an amino group described in JP-A-1-165613 are also preferably used. Furthermore, the ester monomers described above can also be used as a mixture.

また、脂肪族多価アミン化合物と不飽和カルボン酸とのアミドのモノマーの具体例としては、メチレンビス−アクリルアミド、メチレンビス−メタクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−アクリルアミド、1,6−ヘキサメチレンビス−メタクリルアミド、ジエチレントリアミントリスアクリルアミド、キシリレンビスアクリルアミド、キシリレンビスメタクリルアミド等がある。その他の好ましいアミド系モノマーの例としては、特公昭54−21726記載のシクロへキシレン構造を有すものを挙げることができる。   Specific examples of amide monomers of aliphatic polyvalent amine compounds and unsaturated carboxylic acids include methylene bis-acrylamide, methylene bis-methacrylamide, 1,6-hexamethylene bis-acrylamide, 1,6-hexamethylene bis. -Methacrylamide, diethylenetriamine trisacrylamide, xylylene bisacrylamide, xylylene bismethacrylamide and the like. Examples of other preferable amide monomers include those having a cyclohexylene structure described in JP-B-54-21726.

また、イソシアネートと水酸基の付加反応を用いて製造されるウレタン系付加重合性化合物も好適であり、そのような具体例としては、例えば、特公昭48−41708号公報中に記載されている1分子に2個以上のイソシアネート基を有するポリイソシアネート化合物に、下記一般式(A)で表される化合物における水酸基を含有するビニルモノマーを付加させた1分子中に2個以上の重合性ビニル基を含有するビニルウレタン化合物等が挙げられる。   In addition, urethane-based addition polymerizable compounds produced by using an addition reaction of isocyanate and hydroxyl group are also suitable, and specific examples thereof include, for example, one molecule described in JP-B-48-41708. Containing two or more polymerizable vinyl groups in one molecule obtained by adding a vinyl monomer containing a hydroxyl group in the compound represented by the following general formula (A) to a polyisocyanate compound having two or more isocyanate groups Vinyl urethane compounds to be used.

CH=C(R10)COOCHCH(R11)OH 一般式(A)
(ただし、R10及びR11は、H又はCHを示す。)
CH 2 = C (R 10) COOCH 2 CH (R 11) OH formula (A)
(However, R 10 and R 11 represent H or CH 3. )

また、特開昭51−37193号、特公平2−32293号、特公平2−16765号に記載されているようなウレタンアクリレート類や、特公昭58−49860号、特公昭56−17654号、特公昭62−39417号、特公昭62−39418号記載のエチレンオキサイド系骨格を有するウレタン化合物類も好適である。更に、特開昭63−277653号、特開昭63−260909号、特開平1−105238号に記載される、分子内にアミノ構造やスルフィド構造を有する付加重合性化合物類を用いることによっては、非常に感光スピードに優れた光重合性組成物を得ることができる。   Also, urethane acrylates such as those described in JP-A-51-37193, JP-B-2-32293, and JP-B-2-16765, JP-B-58-49860, JP-B-56-17654, Urethane compounds having an ethylene oxide skeleton described in JP-B-62-39417 and JP-B-62-39418 are also suitable. Further, by using addition polymerizable compounds having an amino structure or a sulfide structure in the molecule described in JP-A-63-277653, JP-A-63-260909, and JP-A-1-105238, It is possible to obtain a photopolymerizable composition excellent in the photosensitive speed.

その他の例としては、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号、各公報に記載されているようなポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタクリレートを挙げることができる。また、特公昭46−43946号、特公平1−40337号、特公平1−40336号記載の特定の不飽和化合物や、特開平2−25493号記載のビニルホスホン酸系化合物等も挙げることができる。また、ある場合には、特開昭61−22048号記載のペルフルオロアルキル基を含有する構造が好適に使用される。更に日本接着協会誌vol.20、No.7、300〜308ページ(1984年)に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものも使用することができる。   Other examples include polyester acrylates, epoxy resins and (meth) acrylic acid as described in JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52-30490, and JP-A-52-30490. Mention may be made of polyfunctional acrylates and methacrylates such as reacted epoxy acrylates. Further, specific unsaturated compounds described in JP-B-46-43946, JP-B-1-40337 and JP-B-1-40336, vinylphosphonic acid compounds described in JP-A-2-25493, and the like can also be mentioned. . In some cases, a structure containing a perfluoroalkyl group described in JP-A-61-22048 is preferably used. Furthermore, Journal of Japan Adhesion Association vol. 20, no. 7, pages 300 to 308 (1984), which are introduced as photocurable monomers and oligomers, can also be used.

これらの付加重合性化合物について、その構造、単独使用か併用か、添加量等の使用方法の詳細は、硬化性組成物の性能設計にあわせて任意に設定できる。例えば、次のような観点から選択される。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、画像部すなわち硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。硬化感度の観点から、(メタ)アクリル酸エステル構造を2個以上含有する化合物を用いることが好ましく、3個以上含有する化合物を用いることがより好ましく、4個以上含有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点では、EO変性体を含有することが好ましい。また、硬化感度、および、露光部強度の観点ではウレタン結合を含有することが好ましい。
また、硬化性組成物中の他の成分(例えば、樹脂、光重合開始剤、顔料)との相溶性、分散性に対しても、付加重合化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基板等との密着性を向上せしめる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
About these addition polymerizable compounds, the details of usage methods such as the structure, single use or combined use, addition amount and the like can be arbitrarily set according to the performance design of the curable composition. For example, it is selected from the following viewpoints.
From the viewpoint of sensitivity, a structure having a large unsaturated group content per molecule is preferable, and in many cases, a bifunctional or higher functionality is preferable. Further, in order to increase the strength of the image area, that is, the cured film, those having three or more functionalities are preferable. A method of adjusting both sensitivity and strength by using a compound) is also effective. From the viewpoint of curing sensitivity, it is preferable to use a compound containing two or more (meth) acrylic acid ester structures, more preferably a compound containing three or more, and most preferably a compound containing four or more. preferable. Moreover, it is preferable to contain an EO modified body from a viewpoint of hardening sensitivity and the developability of an unexposed part. Moreover, it is preferable to contain a urethane bond from a viewpoint of hardening sensitivity and exposure part intensity | strength.
In addition, the selection and use method of the addition polymerization compound is an important factor for the compatibility and dispersibility with other components (for example, resin, photopolymerization initiator, pigment) in the curable composition, For example, the compatibility may be improved by using a low-purity compound or using two or more kinds in combination. In addition, a specific structure may be selected for the purpose of improving the adhesion with a substrate or the like.

以上の観点より、ビスフェノールAジアクリレート、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリメチロールエタントリアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ソルビトールトリアクリレート、ソルビトールテトラアクリレート、ソルビトールペンタアクリレート、ソルビトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが好ましいものとして挙げられ、また、市販品としては、ウレタンオリゴマーUAS−10、UAB−140(山陽国策パルプ社製)、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)、UA−7200(新中村化学社製)が好ましい。   From the above viewpoint, bisphenol A diacrylate, bisphenol A diacrylate EO modified product, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, trimethylolethane triacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, pentaerythritol diacrylate Acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, sorbitol triacrylate, sorbitol tetraacrylate, sorbitol pentaacrylate, sorbitol hexaacrylate, tri (acryloyloxy D (I) Isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified product, dipentaerythritol hexaacrylate EO modified product, etc. are mentioned as preferable ones. Also, as commercially available products, urethane oligomer UAS-10, UAB-140 (Sanyo Kokusaku Pulp Co., Ltd.) Manufactured), DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 (manufactured by Kyoei), UA-7200 (Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.) Product).

中でも、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが、市販品としては、DPHA−40H(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)がより好ましい。   Among them, bisphenol A diacrylate EO modified, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, pentaerythritol tetraacrylate EO modified, di Examples of commercially available modified products such as pentaerythritol hexaacrylate EO include DPHA-40H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.), UA-306H, UA-306T, UA-306I, AH-600, T-600, AI-600 ( Kyoeisha) is more preferable.

(D)特定化合物以外のエチレン性不飽和二重結合を含有する化合物の含有量は、本発明の硬化性組成物の固形分中に、1質量%〜90質量%であることが好ましく、5質量%〜80質量%であることがより好ましく、10質量%〜70質量%であることが更に好ましい。
特に、本発明の硬化性組成物をカラーフィルタの着色パターン形成に使用する場合、(D)特定化合物以外のエチレン性不飽和二重結合を含有する化合物の含有量は、上記の範囲において5質量%〜50質量%であることが好ましく、7質量%〜40質量%であることがより好ましく、10質量%〜35質量%であることが更に好ましい。
(D) The content of the compound containing an ethylenically unsaturated double bond other than the specific compound is preferably 1% by mass to 90% by mass in the solid content of the curable composition of the present invention. It is more preferably from 80% by mass to 80% by mass, and further preferably from 10% by mass to 70% by mass.
In particular, when the curable composition of the present invention is used for forming a colored pattern of a color filter, the content of the compound containing an ethylenically unsaturated double bond other than the specific compound (D) is 5 mass in the above range. % To 50% by mass, more preferably 7% to 40% by mass, and still more preferably 10% to 35% by mass.

また、前記(A)特定化合物と(D)特定化合物以外のエチレン性不飽和二重結合を含有する化合物との含有比(質量比)としては、感度と未露光部の除去性(現像性)の観点から、(A)/(D)が0.001〜100が好ましく、0.005〜50がより好ましく、0.01〜10が更に好ましい。   In addition, the content ratio (mass ratio) between the (A) specific compound and the (D) compound containing an ethylenically unsaturated double bond other than the specific compound is sensitivity and removability of unexposed areas (developability). In view of the above, (A) / (D) is preferably 0.001 to 100, more preferably 0.005 to 50, and still more preferably 0.01 to 10.

<(E)樹脂>
本発明の硬化性組成物は、皮膜特性向上などの目的で、(E)樹脂(以下、適宜、「バインダーポリマー」と称する。)を含有してもよい。
バインダーポリマーとしては線状有機ポリマーを用いることが好ましい。このような「線状有機ポリマー」としては、公知のものを任意に使用できる。好ましくは水現像あるいは弱アルカリ水現像を可能とするために、水あるいは弱アルカリ水に可溶性又は膨潤性である線状有機ポリマーが選択される。線状有機ポリマーは、皮膜形成剤としてだけでなく、水、弱アルカリ水あるいは有機溶剤現像剤としての用途に応じて選択使用される。例えば、水可溶性有機ポリマーを用いると水現像が可能になる。このような線状有機ポリマーとしては、側鎖にカルボン酸基を有するラジカル重合体、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭54−92723号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号に記載されているもの、すなわち、カルボキシル基を有するモノマーを単独あるいは共重合させた樹脂、酸無水物を有するモノマーを単独あるいは共重合させ酸無水物ユニットを加水分解もしくはハーフエステル化もしくはハーフアミド化させた樹脂、エポキシ樹脂を不飽和モノカルボン酸および酸無水物で変性させたエポキシアクリレート等が挙げられる。カルボキシル基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、4−カルボキシルスチレン等があげられ、酸無水物を有するモノマーとしては、無水マレイン酸等が挙げられる。
また、同様に側鎖にカルボン酸基を有する酸性セルロース誘導体がある。この他に水酸基を有する重合体に環状酸無水物を付加させたものなどが有用である。
<(E) Resin>
The curable composition of the present invention may contain (E) a resin (hereinafter, appropriately referred to as “binder polymer”) for the purpose of improving film properties.
It is preferable to use a linear organic polymer as the binder polymer. As such a “linear organic polymer”, a known one can be arbitrarily used. Preferably, a linear organic polymer that is soluble or swellable in water or weak alkaline water is selected to enable water development or weak alkaline water development. The linear organic polymer is selected and used not only as a film forming agent but also according to the use as water, weak alkaline water or an organic solvent developer. For example, when a water-soluble organic polymer is used, water development becomes possible. Examples of such linear organic polymers include radical polymers having a carboxylic acid group in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12777, and JP-B-54-25957. , JP-A-54-92723, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, that is, a resin obtained by homopolymerizing or copolymerizing a monomer having a carboxyl group, acid anhydride Resins in which acid anhydride units are hydrolyzed, half-esterified or half-amidated, or epoxy acrylate modified with unsaturated monocarboxylic acid and acid anhydride, etc. It is done. Examples of the monomer having a carboxyl group include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, crotonic acid, maleic acid, fumaric acid, 4-carboxylstyrene, and the monomer having an acid anhydride includes maleic anhydride. It is done.
Similarly, there is an acidic cellulose derivative having a carboxylic acid group in the side chain. In addition, those obtained by adding a cyclic acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group are useful.

アルカリ可溶性樹脂を共重合体として用いる場合、共重合させる化合物として、先にあげたモノマー以外の他のモノマーを用いることもできる。他のモノマーの例としては、下記(1)〜(12)の化合物が挙げられる。   When an alkali-soluble resin is used as a copolymer, a monomer other than the above-mentioned monomers can also be used as the compound to be copolymerized. Examples of other monomers include the following compounds (1) to (12).

(1)2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、3−ヒドロキシプロピルアクリレート、4−ヒドロキシブチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、3−ヒドロキシプロピルメタクリレート、4−ヒドロキシブチルメタクリレート等の脂肪族水酸基を有するアクリル酸エステル類、及びメタクリル酸エステル類。
(2)アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸プロピル、アクリル酸ブチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸アミル、アクリル酸ヘキシル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸オクチル、アクリル酸ベンジル、アクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルアクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルアクリレート、ビニルアクリレート、2−フェニルビニルアクリレート、1−プロペニルアクリレート、アリルアクリレート、2−アリロキシエチルアクリレート、プロパルギルアクリレート等のアルキルアクリレート。
(1) 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 4-hydroxybutyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, 4-hydroxybutyl methacrylate Acrylic acid esters and methacrylic acid esters having an aliphatic hydroxyl group such as
(2) Methyl acrylate, ethyl acrylate, propyl acrylate, butyl acrylate, isobutyl acrylate, amyl acrylate, hexyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, octyl acrylate, benzyl acrylate, acrylic acid-2- Alkyl acrylates such as chloroethyl, glycidyl acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl acrylate, vinyl acrylate, 2-phenylvinyl acrylate, 1-propenyl acrylate, allyl acrylate, 2-allyloxyethyl acrylate, propargyl acrylate;

(3)メタクリル酸メチル、メタクリル酸エチル、メタクリル酸プロピル、メタクリル酸ブチル、メタクリル酸イソブチル、メタクリル酸アミル、メタクリル酸ヘキシル、メタクリル酸2−エチルヘキシル、メタクリル酸シクロヘキシル、メタクリル酸ベンジル、メタクリル酸−2−クロロエチル、グリシジルメタクリレート、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート、ビニルメタクリレート、2−フェニルビニルメタクリレート、1−プロペニルメタクリレート、アリルメタクリレート、2−アリロキシエチルメタクリレート、プロパルギルメタクリレート等のアルキルメタクリレート。
(4)アクリルアミド、メタクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N−エチルアクリルアミド、N−ヘキシルメタクリルアミド、N−シクロヘキシルアクリルアミド、N−ヒドロキシエチルアクリルアミド、N−フェニルアクリルアミド、N−ニトロフェニルアクリルアミド、N−エチル−N−フェニルアクリルアミド、ビニルアクリルアミド、ビニルメタクリルアミド、N,N−ジアリルアクリルアミド、N,N−ジアリルメタクリルアミド、アリルアクリルアミド、アリルメタクリルアミド等のアクリルアミド若しくはメタクリルアミド。
(3) Methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, amyl methacrylate, hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, methacrylic acid-2- Alkyl methacrylates such as chloroethyl, glycidyl methacrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl methacrylate, vinyl methacrylate, 2-phenylvinyl methacrylate, 1-propenyl methacrylate, allyl methacrylate, 2-allyloxyethyl methacrylate, and propargyl methacrylate.
(4) Acrylamide, methacrylamide, N-methylolacrylamide, N-ethylacrylamide, N-hexylmethacrylamide, N-cyclohexylacrylamide, N-hydroxyethylacrylamide, N-phenylacrylamide, N-nitrophenylacrylamide, N-ethyl- Acrylamide or methacrylamide such as N-phenylacrylamide, vinylacrylamide, vinylmethacrylamide, N, N-diallylacrylamide, N, N-diallylmethacrylamide, allylacrylamide, allylmethacrylamide.

(5)エチルビニルエーテル、2−クロロエチルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、オクチルビニルエーテル、フェニルビニルエーテル等のビニルエーテル類。
(6)ビニルアセテート、ビニルクロロアセテート、ビニルブチレート、安息香酸ビニル等のビニルエステル類。
(7)スチレン、α−メチルスチレン、メチルスチレン、クロロメチルスチレン、p−アセトキシスチレン等のスチレン類。
(8)メチルビニルケトン、エチルビニルケトン、プロピルビニルケトン、フェニルビニルケトン等のビニルケトン類。
(9)エチレン、プロピレン、イソブチレン、ブタジエン、イソプレン等のオレフィン類。
(5) Vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, 2-chloroethyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, butyl vinyl ether, octyl vinyl ether, and phenyl vinyl ether.
(6) Vinyl esters such as vinyl acetate, vinyl chloroacetate, vinyl butyrate and vinyl benzoate.
(7) Styrenes such as styrene, α-methylstyrene, methylstyrene, chloromethylstyrene, and p-acetoxystyrene.
(8) Vinyl ketones such as methyl vinyl ketone, ethyl vinyl ketone, propyl vinyl ketone, and phenyl vinyl ketone.
(9) Olefins such as ethylene, propylene, isobutylene, butadiene, and isoprene.

(10)N−ビニルピロリドン、アクリロニトリル、メタクリロニトリル等。
(11)マレイミド、N−アクリロイルアクリルアミド、N−アセチルメタクリルアミド、N−プロピオニルメタクリルアミド、N−(p−クロロベンゾイル)メタクリルアミド等の不飽和イミド。
(12)α位にヘテロ原子が結合したメタクリル酸系モノマー。例えば、特願2001−115595号明細書、特願2001−115598号明細書等に記載されている化合物を挙げる事ができる。
(10) N-vinylpyrrolidone, acrylonitrile, methacrylonitrile and the like.
(11) Unsaturated imides such as maleimide, N-acryloylacrylamide, N-acetylmethacrylamide, N-propionylmethacrylamide, N- (p-chlorobenzoyl) methacrylamide.
(12) A methacrylic acid monomer having a hetero atom bonded to the α-position. For example, compounds described in Japanese Patent Application No. 2001-115595, Japanese Patent Application No. 2001-115598, and the like can be mentioned.

これらの中で、側鎖にアリル基やビニルエステル基とカルボキシル基を有する(メタ)アクリル樹脂及び特開2000−187322号公報、特開2002−62698号公報に記載されている側鎖に二重結合を有するアルカリ可溶性樹脂や、特開2001−242612号公報に記載されている側鎖にアミド基を有するアルカリ可溶性樹脂が膜強度、感度、現像性のバランスに優れており、好適である。   Among these, a (meth) acrylic resin having an allyl group, a vinyl ester group, and a carboxyl group in the side chain and a side chain described in JP-A Nos. 2000-187322 and 2002-62698 are doubled. An alkali-soluble resin having a bond and an alkali-soluble resin having an amide group in the side chain described in JP-A No. 2001-242612 are preferable because of excellent balance of film strength, sensitivity, and developability.

また、特公平7−12004号、特公平7−120041号、特公平7−120042号、特公平8−12424号、特開昭63−287944号、特開昭63−287947号、特開平1−271741号、特願平10−116232号等に記載される酸基を含有するウレタン系バインダーポリマーや、特開2002−107918に記載される酸基と二重結合を側鎖に有するウレタン系バインダーポリマーは、非常に強度に優れるので、低露光適性の点で有利である。
また、欧州特許993966、欧州特許1204000、特開2001−318463等に記載の酸基を有するアセタール変性ポリビニルアルコール系バインダーポリマーは、膜強度、現像性のバランスに優れており、好適である。
さらにこの他に水溶性線状有機ポリマーとして、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド等が有用である。また硬化皮膜の強度を上げるためにアルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロロヒドリンのポリエーテル等も有用である。
In addition, Japanese Patent Publication No. 7-2004, Japanese Patent Publication No. 7-120041, Japanese Patent Publication No. 7-120042, Japanese Patent Publication No. 8-12424, Japanese Patent Laid-Open No. 63-287944, Japanese Patent Laid-Open No. 63-287947, Japanese Patent Laid-Open No. Urethane binder polymers containing acid groups described in No. 271741 and Japanese Patent Application No. 10-116232, and urethane binder polymers having acid groups and double bonds in side chains as described in JP-A No. 2002-107918 Is very excellent in strength, and is advantageous in terms of suitability for low exposure.
In addition, the acetal-modified polyvinyl alcohol-based binder polymer having an acid group described in European Patent 993966, European Patent 1204000, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2001-318463, and the like is preferable because of its excellent balance of film strength and developability.
In addition, polyvinyl pyrrolidone, polyethylene oxide, and the like are useful as the water-soluble linear organic polymer. In order to increase the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) -propane and epichlorohydrin, and the like are also useful.

(E)樹脂の重量平均分子量としては、好ましくは5、000以上であり、さらに好ましくは1万〜30万の範囲であり、数平均分子量については好ましくは1、000以上であり、さらに好ましくは2、000〜25万の範囲である。多分散度(重量平均分子量/数平均分子量)は1以上が好ましく、さらに好ましくは1.1〜10の範囲である。
これらの樹脂は、ランダムポリマー、ブロックポリマー、グラフトポリマー等いずれでもよい。
(E) The weight average molecular weight of the resin is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 to 300,000, and the number average molecular weight is preferably 1,000 or more, more preferably It is in the range of 2,000-250,000. The polydispersity (weight average molecular weight / number average molecular weight) is preferably 1 or more, and more preferably 1.1 to 10.
These resins may be any of random polymers, block polymers, graft polymers and the like.

(E)樹脂は、従来公知の方法により合成できる。合成する際に用いられる溶媒としては、例えば、テトラヒドロフラン、エチレンジクロリド、シクロヘキサノン、メチルエチルケトン、アセトン、メタノール、エタノール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、2−メトキシエチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、1−メトキシ−2−プロパノール、1−メトキシ−2−プロピルアセテート、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、トルエン、酢酸エチル、乳酸メチル、乳酸エチル、ジメチルスルホキシド、水等が挙げられる。これらの溶媒は単独で又は2種以上混合して用いられる。
本発明において用いうるバインダーポリマーを合成する際に用いられるラジカル重合開始剤としては、アゾ系開始剤、過酸化物開始剤等公知の化合物が挙げられる。
(E) The resin can be synthesized by a conventionally known method. Solvents used in the synthesis include, for example, tetrahydrofuran, ethylene dichloride, cyclohexanone, methyl ethyl ketone, acetone, methanol, ethanol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, 2-methoxyethyl acetate, diethylene glycol dimethyl ether, 1-methoxy. Examples include 2-propanol, 1-methoxy-2-propyl acetate, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, toluene, ethyl acetate, methyl lactate, ethyl lactate, dimethyl sulfoxide, and water. These solvents are used alone or in combination of two or more.
Examples of the radical polymerization initiator used in synthesizing the binder polymer that can be used in the present invention include known compounds such as an azo initiator and a peroxide initiator.

(E)樹脂の含有量は、本発明の硬化性組成物をカラーフィルタの着色パターン形成に使用する場合には、経時での顔料分散安定性と現像性のバランスの観点から、本発明の硬化性組成物の全固形分に対して、5質量%以上60質量%以下であることが好ましく、7質量%以上50質量%以下であることがより好ましく、10質量%40質量%以下であることがもっとも好ましい。   (E) When the curable composition of the present invention is used for forming a color pattern of a color filter, the content of the resin is determined by the curing of the present invention from the viewpoint of the balance between pigment dispersion stability with time and developability. It is preferably 5% by mass or more and 60% by mass or less, more preferably 7% by mass or more and 50% by mass or less, and more preferably 10% by mass or less and 40% by mass or less based on the total solid content of the composition. Is most preferred.

本発明の硬化性組成物は、必要に応じて以下に詳述する任意成分をさらに含有してもよい。   The curable composition of this invention may further contain the arbitrary components explained in full detail as needed.

<(F)分散剤>
本発明の硬化性組成物における(C)着色剤として、顔料を含有する場合には、該顔料の分散性を向上させる観点から、(F)分散剤を添加することが好ましい。
<(F) Dispersant>
When a pigment is contained as the (C) colorant in the curable composition of the present invention, it is preferable to add the (F) dispersant from the viewpoint of improving the dispersibility of the pigment.

本発明に用いうる分散剤(顔料分散剤)としては、高分子分散剤〔例えば、ポリアミドアミンとその塩、ポリカルボン酸とその塩、高分子量不飽和酸エステル、変性ポリウレタン、変性ポリエステル、変性ポリ(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル系共重合体、ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物〕、および、ポリオキシエチレンアルキルリン酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン、アルカノールアミン、顔料誘導体等を挙げることができる。
高分子分散剤は、その構造からさらに直鎖状高分子、末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子に分類することができる。
Dispersants (pigment dispersants) that can be used in the present invention include polymer dispersants [for example, polyamidoamines and salts thereof, polycarboxylic acids and salts thereof, high molecular weight unsaturated acid esters, modified polyurethanes, modified polyesters, modified polymers. (Meth) acrylate, (meth) acrylic copolymer, naphthalene sulfonic acid formalin condensate], polyoxyethylene alkyl phosphate ester, polyoxyethylene alkyl amine, alkanol amine, pigment derivative and the like.
The polymer dispersant can be further classified into a linear polymer, a terminal-modified polymer, a graft polymer, and a block polymer according to the structure.

高分子分散剤は顔料の表面に吸着し、再凝集を防止する様に作用する。そのため、顔料表面へのアンカー部位を有する末端変性型高分子、グラフト型高分子、ブロック型高分子が好ましい構造として挙げることができる。一方で、顔料誘導体は顔料表面を改質することで、高分子分散剤の吸着を促進させる効果を有する。   The polymer dispersant is adsorbed on the surface of the pigment and acts to prevent reaggregation. Therefore, a terminal-modified polymer, a graft polymer and a block polymer having an anchor site to the pigment surface can be mentioned as preferred structures. On the other hand, the pigment derivative has an effect of promoting the adsorption of the polymer dispersant by modifying the pigment surface.

本発明に用いうる顔料分散剤の具体例としては、BYK Chemie社製「Disperbyk−101(ポリアミドアミン燐酸塩)、107(カルボン酸エステル)、110(酸基を含む共重合物)、130(ポリアミド)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共重合物)」、「BYK−P104、P105(高分子量不飽和ポリカルボン酸)、EFKA社製「EFKA4047、4050、4010、4165(ポリウレタン系)、EFKA4330、4340(ブロック共重合体)、4400、4402(変性ポリアクリレート)、5010(ポリエステルアミド)、5765(高分子量ポリカルボン酸塩)、6220(脂肪酸ポリエステル)、6745(フタロシアニン誘導体)、6750(アゾ顔料誘導体)」、味の素ファンテクノ社製「アジスパーPB821、PB822」、共栄社化学社製「フローレンTG−710(ウレタンオリゴマー)」、「ポリフローNo.50E、No.300(アクリル系共重合体)」、楠本化成社製「ディスパロンKS−860、873SN、874、#2150(脂肪族多価カルボン酸)、#7004(ポリエーテルエステル)、DA−703−50、DA−705、DA−725」、花王社製「デモールRN、N(ナフタレンスルホン酸ホルマリン重縮合物)、MS、C、SN−B(芳香族スルホン酸ホルマリン重縮合物)」、「ホモゲノールL−18(高分子ポリカルボン酸)」、「エマルゲン920、930、935、985(ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル)」、「アセタミン86(ステアリルアミンアセテート)」、ルーブリゾール社製「ソルスパース5000(フタロシアニン誘導体)、22000(アゾ顔料誘導体)、13240(ポリエステルアミン)、3000、17000、27000(末端部に機能部を有する高分子)、24000、28000、32000、38500(グラフト型高分子)」、日光ケミカル者製「ニッコールT106(ポリオキシエチレンソルビタンモノオレート)、MYS−IEX(ポリオキシエチレンモノステアレート)」等が挙げられる。   Specific examples of the pigment dispersant that can be used in the present invention include “Disperbyk-101 (polyamidoamine phosphate), 107 (carboxylic acid ester), 110 (copolymer containing an acid group), 130 (polyamide) manufactured by BYK Chemie. ), 161, 162, 163, 164, 165, 166, 170 (polymer copolymer) ”,“ BYK-P104, P105 (high molecular weight unsaturated polycarboxylic acid) ”,“ EFKA 4047, 4050, 4010, manufactured by EFKA, 4165 (polyurethane series), EFKA4330, 4340 (block copolymer), 4400, 4402 (modified polyacrylate), 5010 (polyesteramide), 5765 (high molecular weight polycarboxylate), 6220 (fatty acid polyester), 6745 (phthalocyanine) Derivatives), 6750 (azo) "Adisper PB821, PB822" manufactured by Ajinomoto Fan Techno Co., "Floren TG-710 (urethane oligomer)" manufactured by Kyoeisha Chemical Co., "Polyflow No. 50E, No. 300 (acrylic copolymer)", “Disparon KS-860, 873SN, 874, # 2150 (aliphatic polycarboxylic acid), # 7004 (polyetherester), DA-703-50, DA-705, DA-725” manufactured by Enomoto Kasei Co., Ltd., Kao “Demol RN, N (Naphthalenesulfonic acid formalin polycondensate), MS, C, SN-B (aromatic sulfonic acid formalin polycondensate)”, “Homogenol L-18 (polymer polycarboxylic acid)”, “ Emulgen 920, 930, 935, 985 (polyoxyethylene nonylphenyl ether) ”,“ acetamine 86 (stearylamine acetate) ", Lubrizol" Solsperse 5000 (phthalocyanine derivative), 22000 (azo pigment derivative), 13240 (polyesteramine), 3000, 17000, 27000 (polymer having a functional part at the end), 24000, 28000, 32000, 38500 (graft type polymer) ”,“ Nikkor T106 (polyoxyethylene sorbitan monooleate), MYS-IEX (polyoxyethylene monostearate) ”manufactured by Nikko Chemicals, and the like.

これらの分散剤は、単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。本発明においては、特に、顔料誘導体と高分子分散剤とを組み合わせて使用することが好ましい。   These dispersants may be used alone or in combination of two or more. In the present invention, it is particularly preferable to use a combination of a pigment derivative and a polymer dispersant.

本発明における分散剤の含有量としては、顔料に対して、1質量%〜100質量%であることが好ましく、3質量%〜100質量%がより好ましく、5質量%〜80質量%が更に好ましい。
具体的には、高分子分散剤を用いる場合であれば、その使用量としては、顔料に対して、5質量%〜100質量%の範囲が好ましく、10質量%〜80質量%の範囲がより好ましい。また、顔料誘導体を使用する場合であれば、その使用量としては、顔料に対し1質量%〜30質量%の範囲にあることが好ましく、3質量%〜20質量%の範囲にあることがより好ましく、5質量%〜15質量%の範囲にあることが特に好ましい。
As content of the dispersing agent in this invention, it is preferable that it is 1 mass%-100 mass% with respect to a pigment, 3 mass%-100 mass% are more preferable, 5 mass%-80 mass% are still more preferable. .
Specifically, when a polymer dispersant is used, the amount used is preferably in the range of 5% by mass to 100% by mass and more preferably in the range of 10% by mass to 80% by mass with respect to the pigment. preferable. In the case of using a pigment derivative, the amount used is preferably in the range of 1% by mass to 30% by mass with respect to the pigment, and more preferably in the range of 3% by mass to 20% by mass. It is preferably in the range of 5% by mass to 15% by mass.

本発明において、顔料と分散剤とを用いる場合、硬化感度、色濃度の観点から、顔料及び分散剤の含有量の総和が、硬化性組成物を構成する全固形分に対して35質量%以上90質量%以下であることが好ましく、45質量%以上85質量%以下であることがより好ましく、50質量%以上80質量%以下であることがさらに好ましい。   In the present invention, when a pigment and a dispersant are used, the total content of the pigment and the dispersant is 35% by mass or more based on the total solid content constituting the curable composition from the viewpoint of curing sensitivity and color density. It is preferably 90% by mass or less, more preferably 45% by mass or more and 85% by mass or less, and further preferably 50% by mass or more and 80% by mass or less.

<(G)増感剤>
本発明の硬化性組成物は、ラジカル開始剤のラジカル発生効率の向上、感光波長の長波長化の目的で、(G)増感剤を含有していてもよい。本発明に用いることができる増感剤としては、前記した光重合開始剤に対し、電子移動機構又はエネルギー移動機構で増感させるものが好ましい。
<(G) Sensitizer>
The curable composition of the present invention may contain (G) a sensitizer for the purpose of improving the radical generation efficiency of the radical initiator and increasing the photosensitive wavelength. As the sensitizer that can be used in the present invention, those that sensitize the above-mentioned photopolymerization initiator by an electron transfer mechanism or an energy transfer mechanism are preferable.

本発明に用いることができる増感剤としては、以下に列挙する化合物類に属しており、且つ300nm〜450nmの波長領域に吸収波長を有するものが挙げられる。
好ましい増感剤の例としては、以下の化合物類に属しており、かつ330nmから450nm域に吸収波長を有するものを挙げることができる。
例えば、多核芳香族類(例えば、フェナントレン、アントラセン、ピレン、ペリレン、トリフェニレン、9,10−ジアルコキシアントラセン)、キサンテン類(例えば、フルオレッセイン、エオシン、エリスロシン、ローダミンB、ローズベンガル)、チオキサントン類(イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、クロロチオキサントン)、シアニン類(例えばチアカルボシアニン、オキサカルボシアニン)、メロシアニン類(例えば、メロシアニン、カルボメロシアニン)、フタロシアニン類、チアジン類(例えば、チオニン、メチレンブルー、トルイジンブルー)、アクリジン類(例えば、アクリジンオレンジ、クロロフラビン、アクリフラビン)、アントラキノン類(例えば、アントラキノン)、スクアリウム類(例えば、スクアリウム)、アクリジンオレンジ、クマリン類(例えば、7−ジエチルアミノ−4−メチルクマリン)、ケトクマリン、フェノチアジン類、フェナジン類、スチリルベンゼン類、アゾ化合物、ジフェニルメタン、トリフェニルメタン、ジスチリルベンゼン類、カルバゾール類、ポルフィリン、スピロ化合物、キナクリドン、インジゴ、スチリル、ピリリウム化合物、ピロメテン化合物、ピラゾロトリアゾール化合物、ベンゾチアゾール化合物、バルビツール酸誘導体、チオバルビツール酸誘導体、アセトフェノン、ベンゾフェノン、チオキサントン、ミヒラーズケトンなどの芳香族ケトン化合物、N−アリールオキサゾリジノンなどのヘテロ環化合物などが挙げられる。
等が挙げられ、更に欧州特許第568,993号明細書、米国特許第4,508,811号明細書、同5,227,227号明細書、特開2001−125255号公報、特開平11−271969号公報等に記載の化合物等などが挙げられる。
Examples of the sensitizer that can be used in the present invention include those belonging to the compounds listed below and having an absorption wavelength in a wavelength region of 300 nm to 450 nm.
Examples of preferred sensitizers include those belonging to the following compounds and having an absorption wavelength in the range of 330 nm to 450 nm.
For example, polynuclear aromatics (for example, phenanthrene, anthracene, pyrene, perylene, triphenylene, 9,10-dialkoxyanthracene), xanthenes (for example, fluorescein, eosin, erythrosine, rhodamine B, rose bengal), thioxanthones (Isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone, chlorothioxanthone), cyanines (eg thiacarbocyanine, oxacarbocyanine), merocyanines (eg merocyanine, carbomerocyanine), phthalocyanines, thiazines (eg thionine, methylene blue, toluidine blue) , Acridines (eg, acridine orange, chloroflavin, acriflavine), anthraquinones (eg, anthraquinone), squariums (eg Squalium), acridine orange, coumarins (eg 7-diethylamino-4-methylcoumarin), ketocoumarin, phenothiazines, phenazines, styrylbenzenes, azo compounds, diphenylmethane, triphenylmethane, distyrylbenzenes, carbazole , Porphyrins, spiro compounds, quinacridone, indigo, styryl, pyrylium compounds, pyromethene compounds, pyrazolotriazole compounds, benzothiazole compounds, barbituric acid derivatives, thiobarbituric acid derivatives, acetophenone, benzophenone, thioxanthone, Michler's ketone and other aromatics Examples include ketone compounds and heterocyclic compounds such as N-aryloxazolidinones.
Further, European Patent No. 568,993, US Patent No. 4,508,811, No. 5,227,227, JP-A-2001-125255, JP-A-11- And the compounds described in Japanese Patent No. 271969.

より好ましい増感剤の例としては、下記一般式(i)〜(iv)で表される化合物が挙げられる。   More preferable examples of the sensitizer include compounds represented by the following general formulas (i) to (iv).

Figure 0004969189
Figure 0004969189

一般式(i)中、Aは硫黄原子またはNR50を表し、R50はアルキル基またはアリール基を表し、Lは隣接するA及び隣接炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R51、R52はそれぞれ独立に水素原子または一価の非金属原子団を表し、R51、R52は互いに結合して、色素の酸性核を形成してもよい。Wは酸素原子または硫黄原子を表す。 In general formula (i), A 1 represents a sulfur atom or NR 50 , R 50 represents an alkyl group or an aryl group, and L 2 represents the basic nucleus of the dye in combination with adjacent A 1 and the adjacent carbon atom. Represents a non-metallic atomic group to be formed, R 51 and R 52 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent non-metallic atomic group, and R 51 and R 52 are bonded to each other to form an acidic nucleus of the dye. Also good. W represents an oxygen atom or a sulfur atom.

Figure 0004969189
Figure 0004969189

一般式(ii)中、Ar及びArはそれぞれ独立にアリール基を表し、−L−による結合を介して連結している。ここでLは−O−または−S−を表す。また、Wは一般式(i)に示したものと同義である。 In General Formula (ii), Ar 1 and Ar 2 each independently represent an aryl group, and are linked via a bond with —L 3 —. Here, L 3 represents —O— or —S—. W is synonymous with that shown in the general formula (i).

Figure 0004969189
Figure 0004969189

一般式(iii)中、Aは硫黄原子またはNR59を表し、Lは隣接するA及び炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R53、R54、R55、R56、R57及びR58はそれぞれ独立に一価の非金属原子団の基を表し、R59はアルキル基またはアリール基を表す。 In the general formula (iii), A 2 represents a sulfur atom or NR 59 , L 4 represents a nonmetallic atomic group that forms a basic nucleus of a dye in combination with an adjacent A 2 and a carbon atom, R 53 , R 54 , R 55 , R 56 , R 57 and R 58 each independently represent a monovalent nonmetallic atomic group, and R 59 represents an alkyl group or an aryl group.

Figure 0004969189
Figure 0004969189

一般式(iv)中、A、Aはそれぞれ独立に−S−または−NR62−または−NR63−を表し、R63、R64はそれぞれ独立に置換若しくは非置換のアルキル基、置換若しくは非置換のアリール基を表し、L、Lはそれぞれ独立に、隣接するA、A及び隣接炭素原子と共同して色素の塩基性核を形成する非金属原子団を表し、R60、R61はそれぞれ独立に一価の非金属原子団であるか又は互いに結合して脂肪族性または芳香族性の環を形成することができる。 In general formula (iv), A 3 and A 4 each independently represent —S— or —NR 62 — or —NR 63 —, wherein R 63 and R 64 each independently represent a substituted or unsubstituted alkyl group, substituted Or an unsubstituted aryl group, and L 5 and L 6 each independently represent a nonmetallic atomic group that forms a basic nucleus of a dye together with adjacent A 3 , A 4 and an adjacent carbon atom; 60 and R 61 are each independently a monovalent non-metallic atomic group, or may be bonded to each other to form an aliphatic or aromatic ring.

また、本発明の硬化性組成物に含有しうる好ましい増感剤としては、上記のもの他、下記一般式(IV)〜(VI)で表される化合物から選択される少なくとも一種が挙げられる。これらは一種単独で用いてもよいし、二種以上を併用してもよい。   Moreover, as a preferable sensitizer which can be contained in the curable composition of this invention, at least 1 type selected from the compound represented by the following general formula (IV)-(VI) other than the above thing is mentioned. These may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.

Figure 0004969189
Figure 0004969189

一般式(IV)又は一般式(V)中、R及びRは、各々独立に一価の置換基を表し、R、R、R及びRは、各々独立に水素原子又は一価の置換基を表す。nは0〜5の整数を表し、n’は0〜5の整数を表し、n及びn’が両方とも0となることはない。nが2以上である場合、複数存在するRはそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。n’が2以上である場合、複数存在するRはそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。 In general formula (IV) or general formula (V), R 1 and R 2 each independently represent a monovalent substituent, and R 3 , R 4 , R 5 and R 6 each independently represent a hydrogen atom or Represents a monovalent substituent. n represents an integer of 0 to 5, n ′ represents an integer of 0 to 5, and n and n ′ are not both 0. When n is 2 or more, a plurality of R 1 may be the same or different. When n ′ is 2 or more, a plurality of R 2 may be the same or different.

一般式(IV)で表される化合物としては、感度及び顔料を含有する場合における着色性の観点から、下記一般式(IV−1)で表される化合物であることが好ましい。   As a compound represented by general formula (IV), it is preferable that it is a compound represented by the following general formula (IV-1) from a viewpoint of the colorability in the case of containing a sensitivity and a pigment.

Figure 0004969189
Figure 0004969189

一般式(IV−1)中、R及びRは、各々独立に一価の置換基を表す。nは0〜5の整数を表し、n’は1〜5の整数を表す。nが2以上である場合、複数存在するRはそれぞれ同じであっても異なっていてもよく、n’が2以上である場合、複数存在するRはそれぞれ同じであっても異なっていてもよい。 In general formula (IV-1), R 1 and R 2 each independently represents a monovalent substituent. n represents an integer of 0 to 5, and n ′ represents an integer of 1 to 5. When n is 2 or more, a plurality of R 1 may be the same or different, and when n ′ is 2 or more, a plurality of R 2 are the same or different. Also good.

一般式(IV−1)において、R及びRで表される一価の置換基は、前記一般式(IV)においてR及びRで表される一価の置換基と同義であり、好ましい範囲も同様である。 In the general formula (IV-1), the monovalent substituent represented by R 1 and R 2 are synonymous with the monovalent substituent represented by R 1 and R 2 in the general formula (IV) The preferable range is also the same.

一般式(IV)又は一般式(V)で表される化合物としては、波長365nmにおけるモル吸光係数εが500mol−1・L・cm−1以上であることが好ましく、波長365nmにおけるεが3000mol−1・L・cm−1以上であることがより好ましく、波長365nmにおけるεが20000mol−1・L・cm−1以上であることが最も好ましい。各波長でのモル吸光係数εの値が上記範囲であると、光吸収効率の観点から感度向上効果が高く好ましい。
ここで、モル吸光係数εは、1−metoxy−2−propanol溶液に0.01g/lの濃度で調整した色素溶液を試料とし、365nmにおける試料の透過スペクトルを測定し、試料のUV−visible吸収スペクトルから吸光度を求めることにより得られる。測定装置は、Varian社製UV−Vis−MR Spectrophotometer Cary5G型分光高度計を用いた。
The general formula (IV) or general formula (V) compounds represented by is preferably a molar extinction coefficient epsilon at a wavelength of 365nm is 500mol -1 · L · cm -1 or more, epsilon at a wavelength of 365nm is 3000 mol - more preferably 1 · L · cm -1 or more, and most preferably ε at a wavelength of 365nm is 20000mol -1 · L · cm -1 or more. It is preferable that the value of the molar extinction coefficient ε at each wavelength is in the above range because the sensitivity improvement effect is high from the viewpoint of light absorption efficiency.
Here, the molar extinction coefficient ε is obtained by measuring a transmission spectrum of a sample at 365 nm using a dye solution adjusted to a concentration of 0.01 g / l in a 1-methoxy-2-propanol solution as a sample, and UV-visible absorption of the sample. It is obtained by determining the absorbance from the spectrum. The measurement apparatus used was a Varian UV-Vis-MR Spectrophotometer Cary 5G type spectral altimeter.

一般式(IV)又は一般式(V)で表される化合物の好ましい具体例を以下に例示するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
なお、本明細書においては、化学式は簡略構造式により記載することもあり、特に元素や置換基の明示がない実線等は、炭化水素基を表す。また、下記具体例において、Meはメチル基を、Etはエチル基を、Buはブチル基を、n−Buはn−ブチル基を、Phはフェニル基を表す。
Although the preferable specific example of a compound represented by general formula (IV) or general formula (V) is illustrated below, this invention is not limited to these.
Note that in this specification, a chemical formula may be described by a simplified structural formula, and a solid line or the like that does not clearly indicate an element or a substituent particularly represents a hydrocarbon group. In the following specific examples, Me represents a methyl group, Et represents an ethyl group, Bu represents a butyl group, n-Bu represents an n-butyl group, and Ph represents a phenyl group.

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一般式(VI)中、Aは置換基を有してもよい芳香族環又はヘテロ環を表し、Xは酸素原子、硫黄原子、又は−N(R)−を表し、Yは酸素原子、硫黄原子、又は−N(R)−を表す。R、R、及びRは、それぞれ独立に、水素原子又は一価の非金属原子団を表し、A、R、R、及びRは、それぞれ互いに結合して、脂肪族性又は芳香族性の環を形成してもよい。 In general formula (VI), A represents an aromatic ring or a hetero ring which may have a substituent, X represents an oxygen atom, a sulfur atom, or —N (R 3 ) —, Y represents an oxygen atom, A sulfur atom or -N (R < 3 >)-is represented. R 1 , R 2 , and R 3 each independently represent a hydrogen atom or a monovalent nonmetallic atomic group, and A, R 1 , R 2 , and R 3 are each bonded to each other to form an aliphatic group Or you may form an aromatic ring.

一般式(VI)において、R、R及びRは、それぞれ独立に、水素原子又は一価の非金属原子団を表す。R、R及びRが一価の非金属原子を表す場合、置換もしくは非置換のアルキル基、置換もしくは非置換のアリール基、置換もしくは非置換のアルケニル基、置換もしくは非置換の芳香族複素環残基、置換もしくは非置換のアルコキシ基、置換もしくは非置換のアルキルチオ基、ヒドロキシ基、ハロゲン原子であることが好ましい。 In the general formula (VI), R 1 , R 2 and R 3 each independently represents a hydrogen atom or a monovalent nonmetallic atomic group. When R 1 , R 2 and R 3 represent a monovalent nonmetal atom, a substituted or unsubstituted alkyl group, a substituted or unsubstituted aryl group, a substituted or unsubstituted alkenyl group, a substituted or unsubstituted aromatic group It is preferably a heterocyclic residue, a substituted or unsubstituted alkoxy group, a substituted or unsubstituted alkylthio group, a hydroxy group, or a halogen atom.

一般式(VI)で表される化合物は、光重合開始剤の分解効率向上の観点から、Yは酸素原子、又は−N(R)−が好ましい。Rは、それぞれ独立に、水素原子又は一価の非金属原子団を表す。更に、Yは−N(R)−であることが最も好ましい。 In the compound represented by the general formula (VI), Y is preferably an oxygen atom or —N (R 3 ) — from the viewpoint of improving the decomposition efficiency of the photopolymerization initiator. R 3 each independently represents a hydrogen atom or a monovalent nonmetallic atomic group. Furthermore, Y is most preferably —N (R 3 ) —.

以下、一般式(VI)で表される化合物の好ましい具体例(VI1)〜(VI124)を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。また、酸性核と塩基性核を結ぶ2重結合による異性体については明らかでなく、本発明はどちらかの異性体に限定されるものでもない。   Hereinafter, preferred specific examples (VI1) to (VI124) of the compound represented by the general formula (VI) are shown, but the present invention is not limited thereto. Further, it is not clear about an isomer by a double bond connecting an acidic nucleus and a basic nucleus, and the present invention is not limited to either isomer.

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本発明に係る一般式(VI)で表される化合物に関しては、さらに、硬化性組成物の特性を改良するための様々な化学修飾を行うことも可能である。
例えば、当該増感色素と、付加重合性化合物構造(例えば、アクリロイル基やメタクリロイル基)とを、共有結合、イオン結合、水素結合等の方法により結合させることで、露光膜の高強度化や、露光後の膜からの増感色素の不要な析出抑制を行うことができる。
また、当該増感色素と前述する光重合開始剤におけるラジカル発生能を有する部分構造との結合により、特に開始系の濃度の低い状態での感光性を著しく高めることができる。
The compound represented by the general formula (VI) according to the present invention can be further subjected to various chemical modifications for improving the properties of the curable composition.
For example, the sensitizing dye and an addition polymerizable compound structure (for example, acryloyl group or methacryloyl group) are bonded by a method such as covalent bond, ionic bond, hydrogen bond, etc. Unnecessary precipitation suppression of the sensitizing dye from the film after exposure can be performed.
Further, the coupling between the portion structure having radical generating ability of the photopolymerization initiator described above with the sensitizing dye, in particular significantly increase the photosensitivity in a state of low concentration of the initiator system.

本発明の硬化性組成物において、一般式(IV)〜(VI)で表される化合物は、1種単独で用いても、2種以上を併用してもよい。   In the curable composition of the present invention, the compounds represented by the general formulas (IV) to (VI) may be used alone or in combination of two or more.

上述の一般式(IV)〜(VI)で表される化合物は、硬化性組成物における顔料の濃度が非常に高く、形成される着色パターン(感光層)の光の透過率が極端に低くなる場合、具体的には、増感色素を添加せずに形成した場合の感光層の365nmの光の透過率が10%以下となるような場合に添加することで、その効果が顕著に発揮される。特に上述の一般式(IV)〜(VI)の中で、一般式(VI)で表される化合物が最も好ましく、具体的には(VI56)〜(VI122)の化合物が最も好ましい。   The compounds represented by the above general formulas (IV) to (VI) have a very high pigment concentration in the curable composition, and the light transmittance of the formed colored pattern (photosensitive layer) becomes extremely low. In this case, specifically, when the light transmittance of 365 nm of the photosensitive layer when formed without adding a sensitizing dye is 10% or less, the effect is remarkably exhibited. The In particular, among the above general formulas (IV) to (VI), the compound represented by the general formula (VI) is most preferable, and specifically, the compounds of (VI56) to (VI122) are most preferable.

増感剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明の硬化性組成物中における増感剤の含有量は、深部への光吸収効率と開始分解効率の観点から、硬化性組成物の全固形分に対して、0.1質量%〜20質量%であることが好ましく、0.5質量%〜15質量%がより好ましい。
A sensitizer may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
The content of the sensitizer in the curable composition of the present invention is 0.1% by mass to 20% with respect to the total solid content of the curable composition from the viewpoint of light absorption efficiency into the deep part and initiation decomposition efficiency. It is preferable that it is mass%, and 0.5 mass%-15 mass% are more preferable.

<(H)共増感剤>
本発明の硬化性組成物は、共増感剤を含有することも好ましい。本発明において共増感剤は、増感色素や開始剤の活性放射線に対する感度を一層向上させる、あるいは酸素による重合性化合物の重合阻害を抑制する等の作用を有する。
この様な共増感剤の例としては、アミン類、例えばM.R.Sanderら著「Journal of Polymer Society」第10巻3173頁(1972)、特公昭44−20189号公報、特開昭51−82102号公報、特開昭52−134692号公報、特開昭59−138205号公報、特開昭60−84305号公報、特開昭62−18537号公報、特開昭64−33104号公報、Research Disclosure 33825号記載の化合物等が挙げられ、具体的には、トリエタノールアミン、p−ジメチルアミノ安息香酸エチルエステル、p−ホルミルジメチルアニリン、p−メチルチオジメチルアニリン等が挙げられる。
<(H) Co-sensitizer>
The curable composition of the present invention preferably contains a co-sensitizer. In the present invention, the co-sensitizer has functions such as further improving the sensitivity of the sensitizing dye and initiator to actinic radiation or suppressing the inhibition of polymerization of the polymerizable compound by oxygen.
Examples of such cosensitizers include amines such as M.I. R. Sander et al., “Journal of Polymer Society”, Vol. 10, 3173 (1972), Japanese Patent Publication No. 44-20189, Japanese Patent Publication No. 51-82102, Japanese Patent Publication No. 52-134692, Japanese Patent Publication No. 59-138205. No. 60-84305, JP-A 62-18537, JP-A 64-33104, Research Disclosure 33825, and the like. Specific examples include triethanolamine. P-dimethylaminobenzoic acid ethyl ester, p-formyldimethylaniline, p-methylthiodimethylaniline and the like.

共増感剤の別の例としては、チオール及びスルフィド類、例えば、特開昭53−702号公報、特公昭55−500806号公報、特開平5−142772号公報記載のチオール化合物、特開昭56−75643号公報のジスルフィド化合物等が挙げられ、具体的には、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾイミダゾール、2−メルカプト−4(3H)−キナゾリン、β−メルカプトナフタレン等が挙げられる。   Other examples of co-sensitizers include thiols and sulfides such as thiol compounds described in JP-A-53-702, JP-B-55-500806, JP-A-5-142772, No. 56-75643, such as 2-mercaptobenzothiazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-4 (3H) -quinazoline, β-mercapto. And naphthalene.

また、共増感剤の別の例としては、アミノ酸化合物(例、N−フェニルグリシン等)、特公昭48−42965号公報記載の有機金属化合物(例、トリブチル錫アセテート等)、特公昭55−34414号公報記載の水素供与体、特開平6−308727号公報記載のイオウ化合物(例、トリチアン等)等が挙げられる。   Other examples of the co-sensitizer include amino acid compounds (eg, N-phenylglycine), organometallic compounds described in JP-B-48-42965 (eg, tributyltin acetate), JP-B 55- Examples include a hydrogen donor described in Japanese Patent No. 34414, a sulfur compound (eg, trithiane) described in Japanese Patent Laid-Open No. 6-308727, and the like.

共増感剤の含有量は、重合成長速度と連鎖移動のバランスによる硬化速度の向上の観点から、硬化性組成物の全固形分の質量に対し、0.1質量%〜30質量%の範囲が好ましく、0.5質量%〜25質量%の範囲がより好ましく、1.0質量%〜20質量%の範囲が更に好ましい。   The content of the co-sensitizer is in the range of 0.1% by mass to 30% by mass with respect to the mass of the total solid content of the curable composition from the viewpoint of improving the curing rate due to the balance between the polymerization growth rate and the chain transfer. Is preferable, the range of 0.5 mass% to 25 mass% is more preferable, and the range of 1.0 mass% to 20 mass% is still more preferable.

<(I)重合禁止剤>
本発明においては、硬化性組成物の製造中あるいは保存中において重合可能なエチレン性不飽和二重結合を有する化合物の不要な熱重合を阻止するために少量の熱重合防止剤を添加することが望ましい。
本発明に用いうる熱重合防止剤としては、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4’−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2’−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、N−ニトロソフェニルヒドロキシアミン第一セリウム塩等が挙げられる。
<(I) Polymerization inhibitor>
In the present invention, a small amount of a thermal polymerization inhibitor may be added in order to prevent unnecessary thermal polymerization of a compound having an ethylenically unsaturated double bond that can be polymerized during the production or storage of the curable composition. desirable.
Examples of the thermal polymerization inhibitor that can be used in the present invention include hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4′-thiobis (3-methyl-6). -T-butylphenol), 2,2'-methylenebis (4-methyl-6-t-butylphenol), N-nitrosophenylhydroxyamine primary cerium salt and the like.

(H)重合禁止剤の添加量は、全組成物の質量に対して約0.01質量%〜約5質量%が好ましい。また必要に応じて、酸素による重合阻害を防止するためにベヘン酸やベヘン酸アミドのような高級脂肪酸誘導体等を添加して、塗布後の乾燥の過程で感光層の表面に偏在させてもよい。高級脂肪酸誘導体の添加量は、全組成物の約0.5質量%〜約10質量%が好ましい。   (H) The addition amount of the polymerization inhibitor is preferably about 0.01% by mass to about 5% by mass with respect to the mass of the entire composition. If necessary, a higher fatty acid derivative such as behenic acid or behenic acid amide may be added to prevent polymerization inhibition due to oxygen, and it may be unevenly distributed on the surface of the photosensitive layer in the course of drying after coating. . The amount of the higher fatty acid derivative added is preferably about 0.5% by mass to about 10% by mass of the total composition.

<その他の添加剤>
さらに、本発明においては、硬化皮膜の物性を改良するために無機充填剤や、可塑剤、感光層表面のインク着肉性を向上させうる感脂化剤等の公知の添加剤、基板密着性を向上させうる基板密着剤を加えてもよい。
可塑剤としては例えばジオクチルフタレート、ジドデシルフタレート、トリエチレングリコールジカプリレート、ジメチルグリコールフタレート、トリクレジルホスフェート、ジオクチルアジペート、ジブチルセバケート、トリアセチルグリセリン等があり、結合剤を使用した場合、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物と結合剤との合計質量に対し10質量%以下添加することができる。
<Other additives>
Furthermore, in the present invention, in order to improve the physical properties of the cured film, known additives such as inorganic fillers, plasticizers, and sensitizers that can improve the ink inking property on the surface of the photosensitive layer, substrate adhesion You may add the board | substrate adhesion agent which can improve this.
Examples of plasticizers include dioctyl phthalate, didodecyl phthalate, triethylene glycol dicaprylate, dimethyl glycol phthalate, tricresyl phosphate, dioctyl adipate, dibutyl sebacate, and triacetyl glycerin. 10 mass% or less can be added with respect to the total mass of the compound which has an ionic unsaturated double bond, and binder.

本発明の硬化性組成物を基板等の硬質材料表面に適用する場合には、該硬質材料表面との密着性を向上させるための添加剤(以下、「基板密着剤」と称する。)を加えてもよい。
基板密着剤としては、公知の材料を用いることができるが、特にシラン系カップリング剤、チタネート系カップリング剤、アルミニウム系カップリング剤を用いることが好ましい。
シラン系カップリング剤としては、例えば、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピルジメトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン、N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン・塩酸塩、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、アミノシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、オクタデシルジメチル[3−(トリメトキシシリル)プロピル]アンモニウムクロライド、γ−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、ビスアリルトリメトキシシラン、テトラエトキシシラン、ビス(トリメトキシシリル)ヘキサン、フェニルトリメトキシシラン、N−(3−アクリロキシ−2−ヒドロキシプロピル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−(3−メタクリロキシ−2−ヒドロキシプロピル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、(メタクリロキシメチル)メチルジエトキシシラン、(アクリロキシメチル)メチルジメトキシシラン、等が挙げられる。
中でもγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、が好ましく、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが最も好ましい。
When the curable composition of the present invention is applied to the surface of a hard material such as a substrate, an additive for improving the adhesion to the surface of the hard material (hereinafter referred to as “substrate adhesion agent”) is added. May be.
As the substrate adhesion agent, known materials can be used, but it is particularly preferable to use a silane coupling agent, a titanate coupling agent, or an aluminum coupling agent.
Examples of the silane coupling agent include γ- (2-aminoethyl) aminopropyltrimethoxysilane, γ- (2-aminoethyl) aminopropyldimethoxysilane, β- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxy. Silane, γ-aminopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloxypropyl Triethoxysilane, γ-isocyanatopropyltrimethoxysilane, γ-isocyanatopropyltriethoxysilane, N-β- (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane / hydrochloride, γ-glycidoxypro Pyrtrimethoxysilane, γ-glycidoxypropyltriethoxysilane, aminosilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-mercaptopropyltriethoxysilane, methyltrimethoxysilane, methyltriethoxysilane, vinyltriacetoxysilane, γ- Chloropropyltrimethoxysilane, hexamethyldisilazane, γ-anilinopropyltrimethoxysilane, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (β-methoxyethoxy) silane, octadecyldimethyl [3- (trimethoxysilyl) propyl ] Ammonium chloride, γ-chloropropylmethyldimethoxysilane, γ-mercaptopropylmethyldimethoxysilane, methyltrichlorosilane, dimethyldichlorosilane, trimethyl Chlorosilane, 2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, bisallyltrimethoxysilane, tetraethoxysilane, bis (trimethoxysilyl) hexane, phenyltrimethoxysilane, N- (3-acryloxy-2-hydroxy Propyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, N- (3-methacryloxy-2-hydroxypropyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, (methacryloxymethyl) methyldiethoxysilane, (acryloxymethyl) methyldimethoxysilane , Etc.
Among them, γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane, γ-methacryloxypropyltriethoxysilane, γ-acryloxypropyltrimethoxysilane, γ-acryloxypropyltriethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltri Ethoxysilane and phenyltrimethoxysilane are preferred, and γ-methacryloxypropyltrimethoxysilane is most preferred.

チタネート系カップリング剤としては、例えば、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプロピルトリデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソプロピルトリス(ジオクチルパイロホスフェート)チタネート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイト)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホスファイト)チタネート、テトラ(2,2−ジアリルオキシメチル)ビス(ジ−トリデシル)ホスファイトチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)オキシアセテートチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェート)エチレンチタネート、イソプロピルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルジメタクリルイソステアロイルチタネート、イソプロピルイソステアロイルジアクリルチタネート、トリイソプロピルトリ(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピルトリクミルフェニルチタネート、イソプロピルトリ(N−アミドエチル・アミノエチル)チタネート、ジクミルフェニルオキシアセテートチタネート、ジイソステアロイルエチレンチタネート等が挙げられる。   Examples of titanate coupling agents include isopropyl triisostearoyl titanate, isopropyl tridecylbenzenesulfonyl titanate, isopropyl tris (dioctyl pyrophosphate) titanate, tetraisopropyl bis (dioctyl phosphite) titanate, tetraoctyl bis (ditridecyl phosphite). ) Titanate, tetra (2,2-diallyloxymethyl) bis (di-tridecyl) phosphite titanate, bis (dioctylpyrophosphate) oxyacetate titanate, bis (dioctylpyrophosphate) ethylene titanate, isopropyltrioctanoyl titanate, isopropyldi Methacrylic isostearoyl titanate, isopropyl isostearoyl diacryl titanate, Li isopropyl tri (dioctyl phosphate) titanate, isopropyl tricumylphenyl titanate, isopropyl tri (N- amidoethyl-aminoethyl) titanate, dicumyl phenyloxy acetate titanate, diisostearoyl ethylene titanate.

アルミニウム系カップリング剤としては、例えば、アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート等が挙げられる。   Examples of the aluminum coupling agent include acetoalkoxyaluminum diisopropylate.

基板密着剤の含有量は、硬化性組成物の未露光部に残渣が残らないようにする観点から、本発明の硬化性組成物の全固形分に対して、0.1質量%以上30質量%以下であることが好ましく、0.5質量%以上20質量%以下であることがより好ましく、1質量%以上10質量%以下であることが特に好ましい。   The content of the substrate adhesion agent is 0.1% by mass or more and 30% by mass with respect to the total solid content of the curable composition of the present invention from the viewpoint of leaving no residue in the unexposed part of the curable composition. % Or less, more preferably 0.5% by mass or more and 20% by mass or less, and particularly preferably 1% by mass or more and 10% by mass or less.

本発明の硬化性組成物は、高感度で硬化し、かつ、保存安定性も良好である。また、硬化性組成物を適用する基板などの硬質材料表面への高い密着性を示す。従って、本発明の硬化性組成物は、3次元光造形やホログラフィー、カラーフィルタといった画像形成材料やインク、塗料、接着剤、コーティング剤等の分野において好ましく使用することができる。   The curable composition of the present invention is cured with high sensitivity and has good storage stability. Moreover, the high adhesiveness to hard material surfaces, such as a board | substrate which applies a curable composition, is shown. Accordingly, the curable composition of the present invention can be preferably used in the fields of image forming materials such as three-dimensional stereolithography, holography, and color filters, inks, paints, adhesives, and coating agents.

[カラーフィルタ及びその製造方法]
次に、本発明のカラーフィルタ及びその製造方法について説明する。
本発明のカラーフィルタは、支持体上に、本発明の硬化性組成物を用いてなる着色パターンを有することを特徴とする。
以下、本発明のカラーフィルタについて、その製造方法(本発明のカラーフィルタの製造方法)を通じて詳述する。
[Color filter and manufacturing method thereof]
Next, the color filter of the present invention and the manufacturing method thereof are described.
The color filter of the present invention is characterized by having a colored pattern formed using the curable composition of the present invention on a support.
Hereinafter, the color filter of the present invention will be described in detail through its manufacturing method (color filter manufacturing method of the present invention).

支持体上に、本発明の硬化性組成物を硬化性組成物を塗布して該硬化性組成物からなる着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層をマスクを介して露光する露光工程と、露光後の着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程とを含むことを特徴とする。
以下、本発明の製造方法における各工程について説明する。
A colored layer forming step of forming a colored layer comprising the curable composition by applying the curable composition of the present invention on the support, and exposure for exposing the colored layer through a mask And a developing step of developing the colored layer after exposure to form a colored pattern.
Hereafter, each process in the manufacturing method of this invention is demonstrated.

<着色層形成工程>
着色層形成工程では、支持体上に、本発明の硬化性組成物を塗布して該硬化性組成物からなる着色層を形成する。
<Colored layer forming step>
In the colored layer forming step, the curable composition of the present invention is applied on the support to form a colored layer comprising the curable composition.

本工程に用いうる支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
As the support that can be used in this step, for example, soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, quartz glass, and the like obtained by attaching a transparent conductive film to these, an image sensor, etc. Examples of the photoelectric conversion element substrate include a silicon substrate and a complementary metal oxide semiconductor (CMOS). These substrates may have black stripes that separate pixels.
Further, an undercoat layer may be provided on these supports, if necessary, in order to improve adhesion to the upper layer, prevent diffusion of substances, or flatten the substrate surface.

支持体上への本発明の硬化性組成物の塗布方法としては、スリット塗布、インクジェット法、回転塗布、流延塗布、ロール塗布、スクリーン印刷法等の各種の塗布方法を適用することができる。
硬化性組成物の塗布直後の膜厚としては、塗布膜の膜厚均一性、塗布溶剤の乾燥のしやすさの観点から、0.1〜10μmが好ましく、0.2〜5μmがより好ましく、0.2〜3μmがさらに好ましい。
As a coating method of the curable composition of the present invention on the support, various coating methods such as slit coating, ink jet method, spin coating, cast coating, roll coating, screen printing method and the like can be applied.
The film thickness immediately after application of the curable composition is preferably 0.1 to 10 μm, more preferably 0.2 to 5 μm, from the viewpoint of film thickness uniformity of the coating film and ease of drying of the coating solvent. 0.2-3 micrometers is more preferable.

基板上に塗布された着色層(硬化性組成物層)の乾燥(プリベーク)は、ホットプレート、オーブン等で50℃〜140℃の温度で10〜300秒で行うことができる。   The colored layer (curable composition layer) applied on the substrate can be dried (prebaked) at a temperature of 50 ° C. to 140 ° C. for 10 to 300 seconds using a hot plate, oven, or the like.

硬化性組成物の乾燥後の塗布膜厚(以下、適宜、「乾燥膜厚」と称する)としては、LCD用カラーフィルタとして用いるためには、LCD薄型化に対応でき、色濃度確保の観点から、0.1μm以上2.0μm未満が好ましく、0.2μm以上1.8μm以下がより好ましく、0.3μm以上1.75μm以下が特に好ましい。
また、IS用カラーフィルタとして用いるためには、色濃度確保の観点、斜め方向の光が受光部に到達せず、又、デバイスの端と中央とで集光率の差が顕著になる等の不具合を低減する観点から、0.05μm以上1.0μm未満が好ましく、0.1μm以上0.8μm以下がより好ましく、0.2μm以上0.7μm以下が特に好ましい。
The coating film thickness after drying of the curable composition (hereinafter referred to as “dry film thickness” as appropriate) can be used for LCD color filters and can be used for LCD thinning, from the viewpoint of securing color density. 0.1 μm or more and less than 2.0 μm is preferable, 0.2 μm or more and 1.8 μm or less is more preferable, and 0.3 μm or more and 1.75 μm or less is particularly preferable.
In addition, in order to use it as an IS color filter, the light in the oblique direction does not reach the light receiving unit from the viewpoint of securing the color density, and the difference in the light collection rate between the end and the center of the device becomes remarkable. From the viewpoint of reducing defects, it is preferably 0.05 μm or more and less than 1.0 μm, more preferably 0.1 μm or more and 0.8 μm or less, and particularly preferably 0.2 μm or more and 0.7 μm or less.

<露光工程>
露光工程では、前記着色層形成工程において形成された着色層(硬化性組成物層)を、所定のマスクパターンを有するマスクを介して露光する。
本工程における露光は、塗布膜のパターン露光は、所定のマスクパターンを介して露光し、光照射された塗布膜部分だけを硬化させ、現像液で現像して、各色(3色あるいは4色)の画素からなるパターン状皮膜を形成することにより行うことができる。露光に際して用いることができる放射線としては、特に、g線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。照射量は5〜1500mJ/cmが好ましく10〜1000mJ/cmがより好ましく、10〜500mJ/cmが最も好ましい。
本発明のカラーフィルタが液晶表示素子用である場合は、上記範囲の中で5〜200mJ/cmが好ましく10〜150mJ/cmがより好ましく、10〜100mJ/cmが最も好ましい。また、本発明のカラーフィルタが固体撮像素子用である場合は、上記範囲の中で30〜1500mJ/cmが好ましく50〜1000mJ/cmがより好ましく、80〜500mJ/cmが最も好ましい。
<Exposure process>
In the exposure step, the colored layer (curable composition layer) formed in the colored layer forming step is exposed through a mask having a predetermined mask pattern.
In this step, the pattern of the coating film is exposed through a predetermined mask pattern, only the coating film portion irradiated with light is cured, developed with a developer, and each color (three colors or four colors). This can be done by forming a pattern-like film consisting of these pixels. As radiation that can be used for exposure, ultraviolet rays such as g-line and i-line are particularly preferably used. Irradiation dose is more preferably preferably 10~1000mJ / cm 2 5~1500mJ / cm 2 , and most preferably 10 to 500 mJ / cm 2.
If the color filter of the present invention is a liquid crystal display device, it is more preferably preferably 10~150mJ / cm 2 5~200mJ / cm 2 within the above range, and most preferably 10 to 100 mJ / cm 2. Further, when the color filter of the present invention is for a solid-state imaging device, more preferably 30~1500mJ / cm 2 is preferably 50~1000mJ / cm 2 within the above range, and most preferably 80~500mJ / cm 2.

<現像工程>
次いでアルカリ現像処理(現像工程)を行うことにより、上記露光により光未照射部分をアルカリ水溶液に溶出させ、光硬化した部分だけが残る。現像液としては、下地の回路などにダメージを起さない、有機アルカリ現像液が望ましい。現像温度としては通常20℃〜30℃であり、現像時間は20〜90秒である。
<Development process>
Subsequently, by performing an alkali development process (development process), the light non-irradiated part is eluted in the alkaline aqueous solution by the exposure, and only the photocured part remains. As the developer, an organic alkali developer that does not damage the underlying circuit or the like is desirable. The development temperature is usually 20 ° C. to 30 ° C., and the development time is 20 to 90 seconds.

現像液に用いるアルカリ剤としては、例えば、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−[5、4、0]−7−ウンデセンなどの有機アルカリ性化合物が挙げられ、これらのアルカリ剤を濃度が0.001質量%〜10質量%、好ましくは0.01質量%〜1質量%となるように純水で希釈したアルカリ性水溶液が現像液として好ましく使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に現像後純水で洗浄(リンス)する。
次いで、余剰の現像液を洗浄除去し、乾燥を施す。
Examples of the alkaline agent used in the developer include ammonia water, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline, pyrrole, piperidine, 1,8-diazabicyclo- [5, 4, 0] -7-undecene and the like, and these alkaline agents are added with pure water so that the concentration becomes 0.001% by mass to 10% by mass, preferably 0.01% by mass to 1% by mass. A diluted alkaline aqueous solution is preferably used as the developer. In the case where a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed (rinsed) with pure water after development.
Next, excess developer is washed away and dried.

なお、本発明の製造方法においては、上述した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程を行った後に、必要により、形成された着色パターンを加熱(ポストベーク)及び/又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。   In the production method of the present invention, the colored pattern formed is cured by heating (post-baking) and / or exposure as necessary after performing the above-described colored layer forming step, exposure step, and development step. A curing step may be included.

ポストベークは、硬化を完全なものとするための現像後の加熱処理であり、通常100℃〜240℃の熱硬化処理を行う。基板がガラス基板またはシリコン基板の場合は上記温度範囲の中でも200℃〜240℃が好ましい。
このポストベーク処理は、現像後の塗布膜を、上記条件になるようにホットプレートやコンベクションオーブン(熱風循環式乾燥機)、高周波加熱機等の加熱手段を用いて、連続式あるいはバッチ式で行うことができる。
The post-baking is a heat treatment after development for complete curing, and usually a heat curing treatment at 100 ° C. to 240 ° C. is performed. When the substrate is a glass substrate or a silicon substrate, 200 ° C. to 240 ° C. is preferable in the above temperature range.
This post-bake treatment is performed continuously or batchwise using a heating means such as a hot plate, a convection oven (hot air circulation dryer), a high-frequency heater, or the like so that the coating film after development is in the above-described condition. be able to.

以上説明した、着色層形成工程、露光工程、及び現像工程(更に、必要により硬化工程)を所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルタが作製される。   By repeating the colored layer forming step, the exposure step, and the developing step (and, if necessary, the curing step) described above for the desired number of hues, a color filter having a desired hue is produced.

本発明の硬化性組成物の用途として、主にカラーフィルタの画素への用途を主体に述べてきたが、カラーフィルタの画素間に設けられるブラックマトリックスにも適用できることは言うまでもない。ブラックマトリックスは、本発明の硬化性組成物に着色剤として、カーボンブラック、チタンブラックなどの黒色の顔料を添加したものを用いる他は、上記画素の作製方法と同様に、パターン露光、アルカリ現像し、更にその後、ポストベークして膜の硬化を促進させて形成させることができる。   The application of the curable composition of the present invention has been described mainly with respect to the application to the pixels of the color filter, but it goes without saying that it can also be applied to a black matrix provided between the pixels of the color filter. The black matrix is subjected to pattern exposure and alkali development in the same manner as in the above pixel production method except that a black pigment such as carbon black or titanium black is added to the curable composition of the present invention as a colorant. Further, after that, post-baking can be performed to promote the curing of the film.

本発明のカラーフィルタは、本発明の硬化性組成物を用いているため、形成された着色パターンが支持体基板との高い密着性を示し、硬化した組成物は耐現像性に優れるため、露光感度に優れ、露光部の基板との密着性が良好であり、かつ、所望の断面形状を与える高解像度のパターンを形成することができる。従って、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に好適に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。   Since the color filter of the present invention uses the curable composition of the present invention, the formed colored pattern exhibits high adhesion to the support substrate, and the cured composition has excellent development resistance. It is possible to form a high-resolution pattern that is excellent in sensitivity, has good adhesion to the substrate of the exposed portion, and gives a desired cross-sectional shape. Therefore, it can be suitably used for a solid-state imaging device such as a liquid crystal display device or a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or a CMOS that exceeds 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

参考例1]
〔A1.硬化性組成物の調製〕
ここでは、液晶表示素子用途のカラーフィルタ形成用として顔料を含有する硬化性組成物を調整した例を挙げて説明する。
[ Reference Example 1]
[A1. Preparation of curable composition]
Here, an example in which a curable composition containing a pigment is prepared for forming a color filter for use in a liquid crystal display element will be described.

A1−1.顔料分散液の調製
顔料分散液の調製
顔料としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー219との30/70(質量比)混合物40質量部(一次粒経32nm)、分散剤としてBYK2001(Disperbyk:ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)50質量部(固形分換算約22.6質量部)、及び溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル110質量部からなる混合液を、ビーズミルにより15時間混合・分散して、顔料分散液(P1)を調製した。
顔料分散液(P1)について、顔料の平均粒径を動的光散乱法(Microtrac Nanotrac UPA-EX150(日機装社製)を用いて、P1を更に希釈することなく測定した)により測定したところ、61nmであった。
A1-1. Preparation of pigment dispersion Preparation of pigment dispersion
As a pigment, C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. Pigment Yellow 219 30/70 (mass ratio) mixture 40 parts by mass (primary grain size 32 nm), BYK2001 (Disperbyk: manufactured by BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) 50 parts by mass (as a dispersant) A pigment dispersion (P1) was prepared by mixing and dispersing a mixed solution consisting of about 22.6 parts by mass in terms of solid content) and 110 parts by mass of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent with a bead mill for 15 hours.
For the pigment dispersion (P1), the average particle diameter of the pigment was measured by a dynamic light scattering method (measured without further dilution of P1 using Microtrac Nanotrac UPA-EX150 (manufactured by Nikkiso Co., Ltd.)). Met.

A1−2.硬化性組成物(塗布液)の調製
前記分散処理した顔料分散液P1を用いて下記組成比となるよう撹拌混合して硬化性組成物溶液を調製した。
・(C)着色剤(前記顔料分散液(P1)) 600質量部
・(A)特定化合物(エポキシエステル40EM(共栄社化学(株)製)) 10質量部
・(B)光重合開始剤(2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール) 30質量部
・(D)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 50質量部
・(E)アルカリ可溶性樹脂(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸/ヒドロキシエチルメタクリレート共重合体、mol比:80/10/10、Mw:10000) 10質量部
・溶媒:PGMEA 900質量部
・基板密着剤(3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン) 1質量部
・(G)増感剤(下記化合物α) 15質量部
・(H)共増感剤(2−メルカプトベンゾイミダゾール) 15質量部
A1-2. Preparation of curable composition (coating liquid) A curable composition solution was prepared by stirring and mixing the pigment dispersion liquid P1 subjected to the dispersion treatment so as to have the following composition ratio.
-(C) Colorant (Pigment dispersion (P1)) 600 parts by mass-(A) Specific compound (Epoxy ester 40EM (Kyoeisha Chemical Co., Ltd.)) 10 parts by mass , 2'-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ', 5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole) 30 parts by mass (D) 50 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (E ) Alkali-soluble resin (benzyl methacrylate / methacrylic acid / hydroxyethyl methacrylate copolymer, molar ratio: 80/10/10, Mw: 10000) 10 parts by mass / solvent: 900 parts by mass of PGMEA / substrate adhesion agent (3-methacryloxy) Propyltrimethoxysilane) 1 part by mass (G) Sensitizer (compound α below) 15 parts by mass (H) co-sensitizer (2-mercaptobenzoimidazo Le) 15 parts by weight

Figure 0004969189
Figure 0004969189

〔A2.カラーフィルタの作製〕
A2−1.硬化性組成物層の形成
上記顔料を含有する硬化性組成物をレジスト溶液として、550mm×650mmのガラス基板に下記条件でスリット塗布した後、10分間そのままの状態で待機させ、真空乾燥とプレベーク(prebake)(100℃80秒)を施して硬化性組成物塗膜(硬化性組成物層)を形成した。
[A2. (Production of color filter)
A2-1. Formation of the curable composition layer The curable composition containing the pigment as a resist solution was slit-coated on a 550 mm × 650 mm glass substrate under the following conditions, and then allowed to stand for 10 minutes, followed by vacuum drying and pre-baking ( prebake) (100 ° C., 80 seconds) to form a curable composition coating film (curable composition layer).

(スリット塗布条件)
・塗布ヘッド先端の開口部の間隙: 50μm
・塗布速度: 100mm/秒
・基板と塗布ヘッドとのクリヤランス: 150μm
・乾燥膜厚 1.75μm
・塗布温度: 23℃
(Slit application conditions)
・ Gap at the opening of the coating head tip: 50 μm
・ Application speed: 100 mm / second ・ Clearance between substrate and application head: 150 μm
・ Dry film thickness 1.75μm
・ Application temperature: 23 ℃

A2−2.露光、現像
その後、2.5kWの超高圧水銀灯を用いて光硬化性塗布膜を、線幅20μmのテスト用フォトマスクを用いてパターン状に露光し、露光後、塗布膜の全面を有機系現像液(商品名:CD、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)の10%水溶液で被い、60秒間静止した。
A2-2. Exposure and development Thereafter, the photocurable coating film is exposed in a pattern using a test mask with a line width of 20 μm using a 2.5 kW ultra-high pressure mercury lamp, and after the exposure, the entire surface of the coating film is organically developed. The sample was covered with a 10% aqueous solution (trade name: CD, manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.) and left still for 60 seconds.

A2−3.加熱処理
静止後、純水をシャワー状に噴射して現像液を洗い流し、かかる光硬化処理及び現像処理を施した塗布膜を220℃のオーブンにて1時間加熱した(ポストベーク)。これにより、ガラス基板上に硬化性組成物塗布膜(着色層)を形成してなるカラーフィルタを得た。
A2-3. Heat treatment After standing still, pure water was sprayed in a shower to wash away the developer, and the coating film subjected to the photocuring treatment and development treatment was heated in an oven at 220 ° C. for 1 hour (post-baking). Thereby, the color filter formed by forming a curable composition coating film (colored layer) on the glass substrate was obtained.

〔A3.性能評価〕
上記で調製された硬化性組成物からなる塗布液の保存安定性、及び硬化性組成物組成物を用いてガラス基板上に形成された硬化性組成物塗布膜(着色層)の露光感度、基板密着性、現像性、さらに、パターン断面形状を下記のようにして評価した。結果を表1に示す。
[A3. (Performance evaluation)
Storage stability of the coating liquid comprising the curable composition prepared above, exposure sensitivity of the curable composition coating film (colored layer) formed on the glass substrate using the curable composition composition, substrate The adhesion, developability, and pattern cross-sectional shape were evaluated as follows. The results are shown in Table 1.

A3−1.硬化性組成物の経時安定性
前記にて調製された硬化性組成物(塗布液)を室温で1ケ月保存した後、液の粘度を測定し下記の基準に従って評価した。
−評価基準−
○:粘度上昇は認められなかった。
△:5%以上10%未満の粘度上昇が認められた。
×:10%以上の粘度上昇が認められた。
A3-1. Stability over time of curable composition After the curable composition (coating solution) prepared above was stored at room temperature for 1 month, the viscosity of the solution was measured and evaluated according to the following criteria.
-Evaluation criteria-
○: No increase in viscosity was observed.
Δ: An increase in viscosity of 5% or more and less than 10% was observed.
X: An increase in viscosity of 10% or more was observed.

A3−2.硬化性組成物塗布膜(着色層)の露光感度、
硬化性組成物塗布膜を、露光量を10〜100mJ/cmの種々の露光量に変更して露光し、ポストベイク後のパターン線幅が20μmとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度の値が小さいほど感度が高いことを示す。
A3-2. Exposure sensitivity of curable composition coating film (colored layer),
The curable composition coating film was exposed by changing the exposure dose to various exposure doses of 10 to 100 mJ / cm 2 , and the exposure dose at which the pattern line width after post-baking was 20 μm was evaluated as exposure sensitivity. A smaller exposure sensitivity value indicates higher sensitivity.

A3−3.現像性、パターン断面形状、基板密着性
ポストベーク後の基板表面及び断面形状を、光学顕微鏡及びSEM写真観察により確認することにより、現像性、パターン断面形状、基板密着性を評価した。評価方法・評価基準の詳細は以下の通りである。
A3-3. Developability, pattern cross-sectional shape, and substrate adhesion The developability, pattern cross-sectional shape, and substrate adhesion were evaluated by confirming the substrate surface and cross-sectional shape after post-baking with an optical microscope and SEM photograph observation. Details of the evaluation method and evaluation criteria are as follows.

<現像性>
露光工程において、光が照射されなかった領域(未露光部)の残渣の有無を観察し、現像性を評価した。
−評価基準−
○:未露光部には、残渣がまったく確認されなかった。
△:未露光部に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
×:未露光部に、残渣が著しく確認された。
<Developability>
In the exposure step, the presence or absence of residue in the area not irradiated with light (unexposed portion) was observed to evaluate developability.
-Evaluation criteria-
A: No residue was observed at all in the unexposed area.
Δ: A slight residue was confirmed in the unexposed area, but it was practically unproblematic.
X: Residue was remarkably confirmed in the unexposed part.

<パターン断面形状>
形成されたパターンの断面形状を観察した。パターン断面形状は順テーパーが最も好ましく、矩形が次に好ましい。逆テーパーは好ましくない。
<Pattern cross-sectional shape>
The cross-sectional shape of the formed pattern was observed. The pattern cross-sectional shape is most preferably a forward taper, and a rectangular shape is next preferred. Reverse taper is not preferred.

<基板密着性>
基板密着性の評価は、パターン欠損が発生しているか否かを観察することにより行った。評価基準は以下の通りである。
−評価基準−
○:パターン欠損がまったく観察されなかった。
△:パターン欠損がほとんど観察されなかったが、一部分欠損が観察された。
×:パターン欠損が著しく観察された。
<Board adhesion>
The evaluation of the substrate adhesion was performed by observing whether or not a pattern defect occurred. The evaluation criteria are as follows.
-Evaluation criteria-
○: No pattern defect was observed.
(Triangle | delta): Although the pattern defect | defect was hardly observed, the defect | deletion was partially observed.
X: A pattern defect was remarkably observed.

参考例2〜10、比較例1、2]
参考例1で調製した硬化性組成物において、(A)特定化合物であるエポキシエステル40EMを、下記表1に示される化合物に代えた以外は、すべて参考例1と同様してカラーフィルタを作製し、参考例1と同様の評価を行った。結果を表1に示す。
[ Reference Examples 2 to 10, Comparative Examples 1 and 2]
In the curable composition prepared in Reference Example 1, a color filter was prepared in the same manner as in Reference Example 1 except that (A) epoxy ester 40EM, which is a specific compound, was replaced with the compound shown in Table 1 below. The same evaluation as in Reference Example 1 was performed. The results are shown in Table 1.

Figure 0004969189
Figure 0004969189

表1の結果から、特定化合物を含有する各参考例の硬化性組成物は、その溶液状態において保存安定性に優れたものであることが判る。また、この硬化性組成物を用いて、支持体上で着色パターンを形成した場合には、特定化合物を用いていない各比較例に対して、露光感度が高く、現像性に優れると共に、基板密着性、パターン断面形状の何れにも優れたカラーフィルタが得られていることが判る。 From the results of Table 1, it can be seen that the curable compositions of the respective reference examples containing the specific compound are excellent in storage stability in the solution state. In addition, when a colored pattern is formed on a support using this curable composition, the exposure sensitivity is high and the developability is excellent for each comparative example not using a specific compound, and the substrate adheres to the substrate. It can be seen that an excellent color filter is obtained in both the properties and the pattern cross-sectional shape.

[実施例11]
以下、固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用として着色剤(顔料)を含有する硬化性組成物を調製した例を挙げて説明する。
[Example 11]
Hereinafter, an example of preparing a curable composition containing a colorant (pigment) for forming a color filter for use in a solid-state imaging device will be described.

〔B1.レジスト液の調製〕
下記組成の成分を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
<レジスト液の組成>
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 19.20質量部
(PGMEA:溶剤)
・乳酸エチル 36.67質量部
・樹脂(メタクリル酸ベンジル/メタクリル酸/メタクリル酸−2−ヒドロキシエチル共重合体(モル比=60/22/18)の40%PGMEA溶液) 30.51質量部
・エチレン性不飽和二重結合含有化合物(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート) 12.20質量部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0061質量部
・フッ素系界面活性剤(F−475、大日本インキ化学工業(株)製) 0.83質量部
・光重合開始剤(トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤) 0.586質量部
(TAZ−107、みどり化学社製)
[B1. Preparation of resist solution
Components of the following composition were mixed and dissolved to prepare a resist solution.
<Composition of resist solution>
Propylene glycol monomethyl ether acetate 19.20 parts by mass (PGMEA: solvent)
-Ethyl lactate 36.67 parts by mass-Resin (40% PGMEA solution of benzyl methacrylate / methacrylic acid / methacrylic acid-2-hydroxyethyl copolymer (molar ratio = 60/22/18)) 30.51 parts by mass Ethylenically unsaturated double bond-containing compound (dipentaerythritol hexaacrylate) 12.20 parts by mass Polymerization inhibitor (p-methoxyphenol) 0.0061 parts by mass Fluorosurfactant (F-475, Dainippon Ink) 0.83 parts by mass / photopolymerization initiator (trihalomethyltriazine photopolymerization initiator) 0.586 parts by mass (TAZ-107, manufactured by Midori Chemical Co., Ltd.)

〔B2.下塗り層付シリコン基板の作製〕
6inchシリコンウエハーをオーブン中で200℃のもと30分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に前記レジスト液を乾燥膜厚が1.5μmになるように塗布し、更に220℃のオーブン中で1時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハー基板を得た。
[B2. Production of silicon substrate with undercoat layer]
A 6 inch silicon wafer was heat-treated in an oven at 200 ° C. for 30 minutes. Next, the resist solution is applied onto the silicon wafer so that the dry film thickness is 1.5 μm, and further heated and dried in an oven at 220 ° C. for 1 hour to form an undercoat layer. A silicon wafer substrate with an undercoat layer Got.

〔B3.顔料分散液の調製〕
顔料としてC.I.ピグメントグリーン36とC.I.ピグメントイエロー219との30/70(質量比)混合物40質量部(一次粒経32nm)、分散剤としてBYK2001(Disperbyk:ビックケミー(BYK)社製、固形分濃度45.1質量%)50質量部(固形分換算約22.6質量部)、及び溶媒として3−エトキシプロピオン酸エチル110質量部からなる混合液を、ビーズミルにより15時間混合・分散して、顔料分散液(P1)を調製した。
顔料分散液(P1)について、顔料の平均粒径を動的光散乱法により測定したところ、200nmであった。
[B3. Preparation of pigment dispersion
As a pigment, C.I. I. Pigment Green 36 and C.I. I. Pigment Yellow 219 30/70 (mass ratio) mixture 40 parts by mass (primary grain size 32 nm), BYK2001 (Disperbyk: manufactured by BYK) (solid content concentration 45.1% by mass) 50 parts by mass (as a dispersant) A pigment dispersion (P1) was prepared by mixing and dispersing a mixed solution consisting of about 22.6 parts by mass in terms of solid content) and 110 parts by mass of ethyl 3-ethoxypropionate as a solvent with a bead mill for 15 hours.
With respect to the pigment dispersion (P1), the average particle diameter of the pigment was measured by a dynamic light scattering method and found to be 200 nm.

〔B4.硬化性組成物(塗布液)の調製〕
前記分散処理した顔料分散液P1を用いて下記組成比となるよう撹拌混合して硬化性組成物溶液を調製した。
・(C)着色剤(顔料分散液(P1)) 600質量部
・(A)特定化合物(エポキシエステル40EM、共栄社化学(株)製)) 8質量部
・(B)光重合開始剤(オキシム系光重合開始剤)
(CGI−124、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製) 30質量部
・(D)TO−1382(東亞合成(株)製) 61質量部
・溶媒(PGMEA) 900質量部
・基板密着剤(3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン) 1質量部
[B4. Preparation of curable composition (coating liquid)]
A curable composition solution was prepared by stirring and mixing the pigment dispersion P1 subjected to the dispersion treatment so as to have the following composition ratio.
-(C) Colorant (pigment dispersion (P1)) 600 parts by mass-(A) Specific compound (epoxy ester 40EM, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 8 parts by mass-(B) Photopolymerization initiator (oxime type) Photopolymerization initiator)
(CGI-124, manufactured by Ciba Specialty Chemicals) 30 parts by mass (D) TO-1382 (manufactured by Toagosei Co., Ltd.) 61 parts by mass, solvent (PGMEA) 900 parts by mass, substrate adhesion agent (3-methacrylic) Roxypropyltrimethoxysilane) 1 part by mass

〔B5.硬化性組成物によるカラーフィルタの作製及び評価〕
<パターンの形成と感度の評価>
上記のように調製した硬化性組成物を、前記B2.で得られた下塗り層付シリコンウエハの下塗り層上に塗布し、着色層(塗布膜)を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が0.7μmになるように、100℃のホットプレートを用いて120秒間加熱処理(プリベーク)を行なった。
次いで、i線ステッパー露光装置FPA−3000i5+(Canon(株)製)を使用して365nmの波長でパターンが2μm四方のIslandパターンマスクを通して50〜1200mJ/cmの種々の露光量で露光した。
その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハー基板をスピン・シャワー現像機(DW−30型、(株)ケミトロニクス製)の水平回転テーブル上に載置し、CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製)を用いて23℃で60秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハー基板に着色パターンを形成した。
[B5. Preparation and evaluation of color filter with curable composition]
<Evaluation of pattern formation and sensitivity>
The curable composition prepared as described above was prepared using the B2. The colored layer (coating film) was formed by coating on the undercoat layer of the silicon wafer with the undercoat layer obtained in (1). Then, heat treatment (pre-baking) was performed for 120 seconds using a hot plate at 100 ° C. so that the dry film thickness of the coating film became 0.7 μm.
Next, using an i-line stepper exposure apparatus FPA-3000i5 + (manufactured by Canon Inc.), exposure was performed at various exposure doses of 50 to 1200 mJ / cm 2 through an Island pattern mask having a pattern of 2 μm square at a wavelength of 365 nm.
Thereafter, the silicon wafer substrate on which the irradiated coating film is formed is placed on a horizontal rotary table of a spin shower developing machine (DW-30 type, manufactured by Chemitronics Co., Ltd.), and CD-2000 (FUJIFILM Corporation). Paddle development was performed at 23 ° C. for 60 seconds using Electronics Materials Co., Ltd. to form a colored pattern on the silicon wafer substrate.

着色パターンが形成されたシリコンウエハを真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハー基板を回転数50r.p.m.で回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。
その後、測長SEM「S−9260A」(日立ハイテクノロジーズ(株)製)を用いて、着色パターンのサイズを測定した。パターン線幅が2μmとなる露光量を露光感度として評価した。露光感度の値が小さいほど感度が高いことを示す。測定結果を下記表2に示す。
The silicon wafer on which the colored pattern is formed is fixed to the horizontal rotary table by a vacuum chuck method, and the silicon wafer substrate is rotated at a rotational speed of 50 r. p. m. While being rotated, pure water was supplied from the upper part of the rotation center in the form of a shower through a spray nozzle, followed by rinsing treatment, and then spray drying.
Thereafter, the size of the colored pattern was measured using a length measuring SEM “S-9260A” (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). The exposure dose at which the pattern line width was 2 μm was evaluated as the exposure sensitivity. A smaller exposure sensitivity value indicates higher sensitivity. The measurement results are shown in Table 2 below.

<現像性>
露光工程において、光が照射されなかった領域(未露光部)の残渣の有無を観察し、現像性を評価した。
−評価基準−
○:未露光部には、残渣がまったく確認されなかった。
△:未露光部に、残渣がわずかに確認されたが、実用上問題のない程度であった。
×:未露光部に、残渣が著しく確認された。
<Developability>
In the exposure step, the presence or absence of residue in the area not irradiated with light (unexposed portion) was observed to evaluate developability.
-Evaluation criteria-
A: No residue was observed at all in the unexposed area.
Δ: A slight residue was confirmed in the unexposed area, but it was practically unproblematic.
X: Residue was remarkably confirmed in the unexposed part.

<パターン形成性>
形成されたパターンの断面形状を観察した。パターン断面形状は矩形が好ましく、逆テーパーは好ましくない。
<Pattern formability>
The cross-sectional shape of the formed pattern was observed. The pattern cross-sectional shape is preferably rectangular, and reverse taper is not preferable.

<基板密着性>
基板密着性の評価として、パターン欠損が発生しているか否かを観察した。これらの評価項目については、下記基準に基づいて評価を行った
−評価基準−
○:パターン欠損がまったく観察されなかった。
△:パターン欠損がほとんど観察されなかったが、一部分欠損が観察された。
×:パターン欠損が著しく観察された。
<Board adhesion>
As an evaluation of substrate adhesion, it was observed whether or not a pattern defect occurred. These evaluation items were evaluated based on the following criteria: -Evaluation criteria-
○: No pattern defect was observed.
(Triangle | delta): Although the pattern defect | defect was hardly observed, the defect | deletion was partially observed.
X: A pattern defect was remarkably observed.

<硬化性組成物の経時安定性>
前記B4.にて調製された硬化性組成物(塗布液)を室温で1ケ月保存した後、液の粘度を測定し下記判定基準に従って評価した。
−評価基準−
○:粘度上昇は認められなかった。
△:5%以上10%未満の粘度上昇が認められた。
×:10%以上の粘度上昇が認められた。
<Stability over time of curable composition>
B4. After the curable composition (coating solution) prepared in 1 was stored at room temperature for 1 month, the viscosity of the solution was measured and evaluated according to the following criteria.
-Evaluation criteria-
○: No increase in viscosity was observed.
Δ: An increase in viscosity of 5% or more and less than 10% was observed.
X: An increase in viscosity of 10% or more was observed.

[実施例12〜15、比較例3、4]
実施例11で調製した硬化性組成物において、(A)特定化合物であるエポキシエステル40EMを、下記表2に示される化合物に代えた以外は、すべて実施例11と同様にして着色パターンを形成したカラーフィルタを得て、実施例11と同様の評価を行った。
結果を表2に示した。
[Examples 12 to 15, Comparative Examples 3 and 4]
In the curable composition prepared in Example 11, a colored pattern was formed in the same manner as in Example 11 except that (A) the epoxy ester 40EM as the specific compound was replaced with the compound shown in Table 2 below. A color filter was obtained and evaluated in the same manner as in Example 11.
The results are shown in Table 2.

Figure 0004969189
Figure 0004969189

表2の結果から、固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用として用いた、特定化合物を含有する各実施例の硬化性組成物(顔料系)は、その溶液状態において保存安定性に優れたものであることが判る。また、この硬化性組成物を用いて、支持体上で着色パターンを形成した場合には、特定化合物を用いていない各比較例に対して、露光感度が高く、現像性に優れると共に、基板密着性、パターン断面形状の何れにも優れたカラーフィルタが得られていることが判る。
これらの結果より、実施例の硬化性組成物は、固体撮像素子用途のカラーフィルタを作製する場合においても、液晶表示素子用途のカラーフィルタを作製する場合と同様に、優れたパターン形成性が実現されることがわかった。
From the results in Table 2, the curable compositions (pigment systems) of each Example containing specific compounds used for forming color filters for solid-state imaging devices were excellent in storage stability in the solution state. I know that there is. In addition, when a colored pattern is formed on a support using this curable composition, the exposure sensitivity is high and the developability is excellent for each comparative example not using a specific compound, and the substrate adheres to the substrate. It can be seen that an excellent color filter is obtained in both the properties and the pattern cross-sectional shape.
From these results, the curable compositions of the examples achieved excellent pattern formability even when producing color filters for solid-state imaging devices, as in the case of producing color filters for liquid crystal display devices. I found out that

[実施例16]
以下、固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用として(染料)を含有する硬化性組成物を調製した例を挙げて説明する。
[Example 16]
Hereinafter, an example of preparing a curable composition containing (dye) for forming a color filter for use in a solid-state imaging device will be described.

〔C1.レジスト液の調製および下塗り層付シリコン基板の作製〕
実施例11における〔B1.レジスト液の調製〕及び〔B2.下塗り層付シリコン基板の作製〕と同様の方法で、下塗り層付きシリコン基板を作製した。
[C1. Preparation of resist solution and production of silicon substrate with undercoat layer]
[B1. Preparation of resist solution] and [B2. A silicon substrate with an undercoat layer was produced in the same manner as in [Preparation of silicon substrate with undercoat layer].

〔C2.硬化性組成物(塗布液)の調製〕
下記組成の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物を調製した。
・シクロヘキサノン(溶剤) 80質量部
・(C)Valifast Yellow 1101(染料) 6.0質量部
・(C)Acid Red 57(染料) 6.0質量部
・(D)ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 4.0質量部
・(A)特定化合物(エポキシエステル40EM、共栄社化学(株)製) 2.0質量部
・(B)オキシム系光重合開始剤 2.0質量部
(CGI−124、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
[C2. Preparation of curable composition (coating liquid)]
The compound of the following composition was mixed and melt | dissolved and the colored photosensitive resin composition was prepared.
-Cyclohexanone (solvent) 80 parts by mass-(C) Varifast Yellow 1101 (dye) 6.0 parts by mass-(C) Acid Red 57 (dye) 6.0 parts by mass-(D) Dipentaerythritol hexaacrylate 4.0 Parts by mass (A) specific compound (epoxy ester 40EM, manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 2.0 parts by mass (B) oxime photopolymerization initiator 2.0 parts by mass (CGI-124, Ciba Specialty Chemicals) (Made by company)

〔C3.硬化性組成物によるカラーフィルタの作製及び評価〕
上記〔B5.着色感光性樹脂組成物によるカラーフィルタの作製及び評価〕と同様の方法でカラーフィルタの作成および評価を実施した。結果を表3に示す。
[C3. Preparation and evaluation of color filter with curable composition]
[B5. Preparation and evaluation of a color filter were carried out in the same manner as in [Preparation and evaluation of color filter by colored photosensitive resin composition]. The results are shown in Table 3.

〔実施例17〜20、比較例5、6〕
実施例16調製した硬化性組成物において、(A)特定化合物であるエポキシエステル40EMを、下記表2に示される化合物に代えた以外は、すべて実施例16と同様にして着色パターンを形成したカラーフィルタを得て、実施例16と同様の評価を行った。
結果を表3に示した。
[Examples 17 to 20, Comparative Examples 5 and 6]
Example 16 A color in which a colored pattern was formed in the same manner as in Example 16 except that (A) the epoxy ester 40EM, which is a specific compound, was replaced with a compound shown in Table 2 below. A filter was obtained and evaluated in the same manner as in Example 16.
The results are shown in Table 3.

Figure 0004969189
Figure 0004969189

表3の結果から、固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用として用いた、特定化合物を含有する各実施例の硬化性組成物(染料系)は、その溶液状態において保存安定性に優れたものであることが判る。また、この硬化性組成物を用いて、支持体上で着色パターンを形成した場合には、特定化合物を用いていない各比較例に対して、露光感度が高く、現像性に優れると共に、基板密着性、パターン断面形状の何れにも優れたカラーフィルタが得られていることが判る。
これらの結果より、実施例の硬化性組成物は、固体撮像素子用途のカラーフィルタを作製する場合においても、液晶表示素子用途のカラーフィルタを作製する場合と同様に、優れたパターン形成性が実現されることがわかった。
From the results of Table 3, the curable compositions (dye systems) of each Example containing a specific compound used for forming a color filter for solid-state imaging devices were excellent in storage stability in the solution state. I know that there is. In addition, when a colored pattern is formed on a support using this curable composition, the exposure sensitivity is high and the developability is excellent for each comparative example not using a specific compound, and the substrate adheres to the substrate. It can be seen that an excellent color filter is obtained in both the properties and the pattern cross-sectional shape.
From these results, the curable compositions of the examples achieved excellent pattern formability even when producing color filters for solid-state imaging devices, as in the case of producing color filters for liquid crystal display devices. I found out that

Claims (8)

(A)下記の群から選ばれる1種以上である、複数のエチレン性不飽和二重結合と2級水酸基とを有する化合物、(B)オキシム系化合物である光重合開始剤、及び(C)着色剤を含有することを特徴とする固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。
エチレングリコールジグリシジルエーテルジメタクリレート
プロピレングリコールジグリシジルエーテルジアクリレート
1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテルジアクリレート
ビスフェノールAジグリシジルエーテルジアクリレート
ビスフェノールAエポキシジアクリレートオリゴマー
(A) is from 1 or more selected the following group, the plurality of ethylenically unsaturated double bonds and secondary hydroxyl groups and Yusuke that of compound a photopolymerization initiator which is (B) an oxime-based compound, And (C) a curable composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device, comprising a colorant.
Ethylene glycol diglycidyl ether dimethacrylate
Propylene glycol diglycidyl ether diacrylate
1,6-hexanediol diglycidyl ether diacrylate
Bisphenol A diglycidyl ether diacrylate
Bisphenol A epoxy diacrylate oligomer
更に、(D)前記(A)複数のエチレン性不飽和二重結合と2級水酸基とを有する化合物以外の、エチレン性不飽和二重結合を有する化合物を含有することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。 Furthermore, a feature in that it contains a compound having a (D) wherein (A) other than the plurality of ethylenically unsaturated double bonds and that of compound having a the secondary hydroxyl group, an ethylenically unsaturated double bond The curable composition for color filter formation of the solid-state image sensor use of Claim 1 . 更に、(E)増感剤を含有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。 Furthermore, (E) sensitizer is contained, The curable composition for color filter formation of the solid-state image sensor use of Claim 1 or Claim 2 characterized by the above-mentioned. 前記(C)着色剤の含有量が、硬化性組成物に含有される全固形分中、30質量%以上85質量%以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項のいずれかに記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。 Wherein (C) the content of the coloring agent in the total solid content contained in the curable composition, to one of the claims 1 to 3, characterized in that at most 85% by weight to 30% by weight A curable composition for forming a color filter for use in the described solid-state imaging device. 前記(C)着色剤が顔料であることを特徴とする請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。 The curable composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device according to any one of claims 1 to 4 , wherein the colorant (C) is a pigment. 前記(C)着色剤が染料であることを特徴とする請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載の固体撮像素子用途のカラーフィルタ形成用の硬化性組成物。 The curable composition for forming a color filter for use in a solid-state imaging device according to any one of claims 1 to 4 , wherein the colorant (C) is a dye. 支持体上に、請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載の硬化性組成物により形成された着色パターンを有することを特徴とする固体撮像素子用途のカラーフィルタ。 A color filter for use in a solid-state imaging device, comprising a colored pattern formed on the support by the curable composition according to any one of claims 1 to 6 . 支持体上に、請求項1乃至請求項のいずれか1項に記載の硬化性組成物を塗布して該硬化性組成物からなる着色層を形成する着色層形成工程と、前記着色層をマスクを介して露光する露光工程と、露光後の着色層を現像して着色パターンを形成する現像工程と、を含むことを特徴とする固体撮像素子用途のカラーフィルタの製造方法。 A colored layer forming step of applying a curable composition according to any one of claims 1 to 6 on a support to form a colored layer comprising the curable composition; and A method for producing a color filter for use in a solid-state imaging device, comprising: an exposure step of exposing through a mask; and a development step of developing a colored layer after exposure to form a colored pattern.
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