JP4533711B2 - リードタイム・歩留り管理プログラム - Google Patents

Description

本発明は、リードタイム・歩留り管理プログラムに係り、特に製造品の製造計画の根拠となるリードタイム及び歩留りの標準値を管理するリードタイム・歩留り管理プログラムに関する。

従来、半導体ウェハ等の製造品を製造するシステムでは、製造品の製造実績や経験等に基づいて人手により算出されたリードタイムおよび歩留りが、製造計画の策定の為の標準値（マスタ値）として管理されている。例えば営業サイドが顧客から依頼を受けた製造品の納期を問い合わせると、製造サイドはリードタイム及び歩留りの標準値を根拠に納期を回答する。

しかしながら、リードタイム及び歩留りの標準値はリードタイム及び歩留りの実績値との間に差異が発生することも多く、顧客に対する納期回答の精度が悪いという問題が知られている。特許文献１には、所定の物品を生産する生産システムで、標準リードタイムを実績値に基づいて修正していくことが記載されている。
特開平９−３０６１６号公報

本来、リードタイム及び歩留りの標準値は製造計画の根拠となる作業工程の所要日数を示す値である。したがって、製造サイドは納期尊守が困難になることから、リードタイムの標準値を短く、歩留りの標準値を良く変更することを好まない。また、製造サイドではリードタイム及び歩留りの標準値が頻繁に変更されることを好まない。一方、リードタイム及び歩留りの標準値とリードタイム及び歩留りの実績値とがあまりかけ離れると、顧客に対する納期回答の精度が著しく悪くなるという問題があった。

本発明は、上記の点に鑑みなされたもので、リードタイム及び歩留りの標準値の変更頻度を抑えつつ、標準値の精度向上を容易に図ることができるリードタイム・歩留り管理プログラムを提供することを目的とする。

そこで、上記課題を解決するため、本発明は、コンピュータを、所定の製造品のリードタイム及び歩留りの実績値を収集する実績収集手段と、前記製造品のリードタイム及び歩留りの前回の実績値と標準値とを格納するテーブル手段と、前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と前記製造品のリードタイム及び歩留りの標準値との今回の差を算出し、前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と前記製造品のリードタイム及び歩留りの標準値とに所定率以上の差があれば、前回に収集をした前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と標準値との差を算出し、今回の差が前回の差よりも大きいとき、前記製造品のリードタイム及び歩留りの標準値を今回の実績値に応じて更新する統計分析手段として機能させるためのリードタイム・歩留り管理プログラムであることを特徴とする。

本発明では、製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と標準値とを比較し、所定の更新条件に合致していれば標準値を実績値に応じて更新する。したがって、本発明では所定の更新条件に合致しているときに標準値を実績値に応じて更新するため、標準値の変更頻度を抑えることができる。また、本発明では所定の更新条件に合致しているときに標準値を実績値に応じて更新するため、標準値の精度向上を容易に図ることができる。さらに、本発明では所定の更新条件を適切に決めることにより標準値の変更頻度の抑制と標準値の精度向上とのバランスを図ることもできる。

本発明によれば、リードタイム及び歩留りの標準値の変更頻度を抑えつつ、標準値の精度向上を容易に図ることが可能なリードタイム・歩留り管理プログラムを提供することができる。

次に、本発明を実施するための最良の形態を、以下の実施例に基づき図面を参照しつつ説明していく。なお、以下の実施例では製造品の一例として、半導体ウェハを例に説明しているが、リードタイム及び歩留りを製造計画の根拠とする如何なる製造品であってもよい。

まず、本発明の理解を容易とするために、半導体ウェハを製造するシステムの一例について説明する。図１は、半導体ウェハを製造するシステムの一例の構成図である。図１のシステムは、販売，生産，会計等の製造計画を管理する計画管理システムとしての上位系処理システム１と、半導体の作業工程を管理する工程管理システムとしての下位系処理システム２とが、ＬＡＮ（ローカルエリアネットワーク）等のネットワーク３を介して接続されている。また、本発明の実施例は上位系処理システム１と下位系処理システム２とを一つの同一システムとして実現するような生産管理システムにおいても同様な効果をもたらすものである。

図１のシステムは、半導体ウェハを製造品とし、その製造に係る製造計画及び作業工程を管理している。半導体ウェハは、原料となる物質を円柱状に結晶成長させたインゴットから、１００枚程度の半導体ウェハを製造できる程度のブロックを切り出し、そのブロックをスライスしたあと、複数の作業工程を経ることによって完成される製造品である。

上位系処理システム１は、製造計画を指示するための指図を下位系処理システム２に発行する。また、下位系処理システム２は指図に応じた作業実績データを上位系処理システム１に通知する。このように、一貫して上位系処理システム１００が指図を下位系処理システム２に行う仕組みとすることによって、製造計画を指示するための指図は上位系処理システム１及び下位系処理システム２において一様に認識される。

上位系処理システム１は、指図の作成を支援する機能を有している。また、上位系処理システム１は下位系処理システム２から受信した作業実績データを管理する。下位系処理システム２は、上位系処理システム１から発行され、ネットワーク３を介して送信された指図に基づいて、製造計画に応じた作業工程毎の作業指示を作成し、半導体ウェハを製造する各種装置へ作業指示を出す。各種装置は、作業指示に従って、加工，検査または包装等の作業工程を実行する。また、下位系処理システム２は指図に基づく一連の作業工程が終了すると作業実績データを作成し、ネットワーク３経由で上位系処理システム１に送信する。

なお、上位系処理システム１はコンピュータ装置である。本発明のリードタイム・歩留り管理プログラムは、例えば上位系処理システム１や上位系処理システム１から必要な情報を取得可能なコンピュータ装置で実行される。ここでは、本発明のリードタイム・歩留り管理プログラムが上位系処理システム１で実行される例を説明する。

図２は、上位系処理システムの一例のハードウェア構成図である。上位系処理システム１は、それぞれバスＢで相互に接続されている入力装置１１，表示装置１２，ドライブ装置１３，補助記憶装置１４，メモリ装置１５，演算処理装置１６およびインターフェース装置１７で構成される。

入力装置１１はキーボードやマウスなどで構成され、各種操作信号を入力するために用いられる。表示装置１２はディスプレイ装置などで構成され、各種ウインドウやデータ等を表示するために用いられる。インターフェース装置１７は、モデム，ＬＡＮカードなどで構成されており、ネットワーク３に接続する為に用いられる。

リードタイム・歩留り管理プログラムは、例えば記録媒体１８の配布やネットワーク３からのダウンロードなどによって提供される。リードタイム・歩留り管理プログラムを記録した記録媒体１８は、ＣＤ−ＲＯＭ、フレキシブルディスク、光磁気ディスク等の様に情報を光学的，電気的或いは磁気的に記録する記録媒体、ＲＯＭ、フラッシュメモリ等の様に情報を電気的に記録する半導体メモリ等、様々なタイプの記録媒体を用いることができる。

また、リードタイム・歩留り管理プログラムを記録した記録媒体１８がドライブ装置１３にセットされると、リードタイム・歩留り管理プログラムは記録媒体１８からドライブ装置１３を介して補助記憶装置１４にインストールされる。ネットワーク３からダウンロードされたリードタイム・歩留り管理プログラムは、インターフェース装置１７を介して補助記憶装置１４にインストールされる。

補助記憶装置１４は、インストールされたリードタイム・歩留り管理プログラムを格納すると共に、必要なファイル，データ等を格納する。メモリ装置１５は、コンピュータの起動時に補助記憶装置１４からリードタイム・歩留り管理プログラムを読み出して格納する。そして、演算処理装置１６はメモリ装置１５に格納されたリードタイム・歩留り管理プログラムに従って、後述するような各種機能を実現している。

図３は、リードタイム・歩留り管理プログラムが実行された上位系処理システムの一実施例の機能構成図である。なお、図３の機能構成図は、リードタイム・歩留り管理プログラムにより実現される各種機能の説明に不要な構成を省略している。

図３の上位系処理システム１は、実績収集機能部２１，統計分析機能部２２，通信機能部２３及び１つ以上のマスタを含むデータベース（以下、ＤＢという）１００を有するように構成される。実績収集機能部２１は、通信機能部２３経由で下位系処理システム２から作業実績データを収集し、ＤＢ１００の指図作業実績統計マスタに格納する。統計分析機能部２２は、後述するようなＤＢ１００の各種マスタを利用して、製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と標準値とを比較し、所定の更新条件に合致しているときに、製造品のリードタイム及び歩留りの標準値を実績値に応じて更新する。

以下、リードタイム・歩留り管理プログラムに係る上位系処理システム１の処理について図４のフローチャートを参照しつつ説明していく。図４は、リードタイム・歩留り管理プログラムに係る上位系処理システムの処理を表したフローチャートである。

ステップＳ１に進み、実績収集機能部２１は日々抽出されている指図に応じた作業実績データを通信機能部２３経由で下位系処理システム２から収集し、ＤＢ１００に含まれる図５のような指図作業実績統計マスタ１０１に格納する。

図５は、指図作業実績統計マスタの一例の構成図である。指図作業実績統計マスタ１０１は、指図の作業実績データを収集するマスタである。図５の指図作業実績統計マスタ１０１は、指図番号，品目コード，作業番号，作業区（作業工程），作業数量，確認歩留，開始日，終了日，開始作業区，終了作業区，部分確認フラグ，登録日付，最終更新日などのデータ項目を含む。

指図番号は、指図を識別するための番号である。品目コードは、品目を識別するためのコードである。作業区は、作業工程を識別するための識別子である。作業数量は、作業を行う製造品の数量である。確認歩留は、歩留りの実績値を百分率で表している。開始日及び終了日は、作業区の開始日及び終了日を表している。リードタイムを作業区の開始日から終了日までの日数を取るものと定義すれば、リードタイムの実績値は作業区の開始日及び終了日から算出できる。

図５の指図作業実績統計マスタが表すように、それぞれの指図には製造品ごとに異なる品目が１つ以上含まれている。作業を行う作業区は、品目毎に設定される。例えば作業区の例としては、加工を表す「ＸＹＺ０１０」，検査を表す「ＸＹＺ０２０」，洗浄を表す「ＸＹＺ０３０」等がある。

指図は、例えば１日に１０件程度発行され、週に４０〜５０件，月に２００〜３００件程度発行されている。品目（例えば品目コード０−０００１の品目）は、複数の指図で用いられる。つまり、指図と品目とはＮ：Ｎの関係となる。なお、実績収集機能部２１は指図作業実績統計マスタ１０１を利用して、ＤＢ１００に含まれる工程パターンマスタ１０２の作業工程のパターンを編集するようにしてもよい。

ステップＳ２に進み、統計分析機能部２２は指図作業実績統計マスタ１０１から所定期間のレコードを取得し、取得したレコードを指図単位に品目コードで整理して、図６のようなリードタイムと歩留りの実績マスタ１０３を作成する。

図６は、リードタイムと歩留りの実績マスタの一例の構成図である。図６のリードタイムと歩留りの実績マスタ１０３は、指図作業実績統計マスタ１０１に収集された作業実績データをもとに、品目コードをキーにソートして品目ごとのリードタイム及び歩留りの実績値を取得するマスタである。

図６のリードタイムと歩留りの実績マスタ１０３は、品目コード，指図番号，作業番号，作業区，作業数量，確認歩留，開始日，終了日，リードタイム，開始作業区，終了作業区，部分確認フラグ，登録日付，最終更新日などのデータ項目を含む。図６のリードタイムと歩留りの実績マスタ１０３が表すように、同じ品目についての同じ作業区であっても指図の実施結果に応じて、リードタイムや歩留りにばらつきが生じる。

例えば品目コード「０−０００１」の作業区「ＸＹＺ０５０」はリードタイムが４又は５日であり、確認歩留が８０又は８３％であるため、同じ品目についての同じ作業区であってもリードタイムや歩留りにばらつきが生じている。

また、図６のリードタイムと歩留りの実績マスタ１０３が表すように、作業数量も指図によって異なっている。ただし、作業数量が倍になってもリードタイムは必ずしも倍にならない。リードタイムがどれだけ増えるかは、作業区によって異なる。

ステップＳ３に進み、統計分析機能部２２はリードタイムと歩留りの実績マスタ１０３を利用し、品目毎のリードタイム及び歩留りの実績値として、平均値，最大値，最小値を算出して、図７のようなリードタイムと歩留りの統計算出値マスタ１０４を作成する。なお、統計分析機能部２２はリードタイムと歩留りの標準偏差を、品目毎のリードタイム及び歩留りの実績値の一つとして算出してもよい。

図７は、統計算出値マスタの一例の構成図である。図７の統計算出値マスタ１０４は品目毎のリードタイム及び歩留りの平均値，最大値，最小値を格納している。例えば図７の統計算出値マスタ１０４は、品目コード「０−０００１」のリードタイム及び歩留りの平均値「１０日」及び「８０％」，最大値「１１日」及び「８３％」，最小値「９日」及び「７８％」を格納している。

ステップＳ４に進み、統計分析機能部２２は図８のような理論値係数マスタ１０５から品目毎の理論値係数を抽出する。図８は、理論値係数マスタの一例の構成図である。図８の理論値係数マスタ１０５は、標準，至急，特急のリードタイムと、標準の歩留りとを算出するための理論値係数を品目毎に格納している。

図８の理論値係数マスタ１０５は、標準，至急，特急のリードタイムを算出するための理論値係数「１．１３」，「０．９」，「０．８６」を格納すると共に、標準の歩留りを算出するための理論値係数「１．２」を格納している。

ステップＳ５に進み、統計分析機能部２２は図９のようなリードタイム・歩留りマスタ１０６から品目毎のリードタイム及び歩留りのマスタ値を抽出する。図９は、リードタイム・歩留りマスタの一例の構成図である。図９のリードタイム・歩留りマスタ１０６は、リードタイムのマスタ値「６００時間」と歩留りのマスタ値「７５％」とを品目毎に格納している。

統計分析機能部２２は、図８の理論値係数マスタ１０５から抽出した品目毎の理論値係数と、図９のリードタイム・歩留りマスタ１０６から抽出した品目毎のリードタイム及び歩留りのマスタ値とを用いて、標準，至急，特急のリードタイムと、標準の歩留りとを算出する。

ここでステップＳ５の処理を、図１０を参照しつつ説明する。図１０は、リードタイム及び歩留りの実績値と、理論値係数と、リードタイム及び歩留りのマスタ値との関係を表した説明図である。

リードタイムの実績値２０１は、統計分析機能部２２がステップＳ３で算出するリードタイムの平均値，標準偏差，最大値及び最小値で構成されている。歩留りの実績値２０２は、統計分析機能部２２がステップＳ３で算出する歩留りの平均値，標準偏差，最大値及び最小値で構成されている。

統計分析機能部２２は、標準，至急，特急のリードタイムおよび標準の歩留りを算出するための理論値係数２０３を、ステップＳ４で図８の理論値係数マスタ１０５から抽出する。統計分析機能部２２は、図９のリードタイム・歩留りマスタ１０６からリードタイム及び歩留りのマスタ値２０４を抽出し、標準，至急，特急のリードタイムおよび標準の歩留りを算出するための理論値係数２０３とリードタイム及び歩留りのマスタ値２０４とを用いて、標準，至急，特急のリードタイム２０５と標準の歩留り２０６とを算出する。統計分析機能部２２は、ステップＳ５の処理において、リードタイム及び歩留りの標準値を算出する。

図４のステップＳ６に進み、統計分析機能部２２はリードタイム及び歩留りの実績値である平均値と、リードタイム及び歩留りの標準値とを比較し、リードタイム及び歩留りの実績値と標準値との関係が更新条件に合致しているか否かを判定する。

リードタイム及び歩留りの実績値と標準値との関係が更新条件に合致していれば（Ｓ６においてＹＥＳ）、統計分析機能部２２はステップＳ７に進み、後述するようにリードタイム・歩留りマスタ１０６に格納されているリードタイム及び歩留りのマスタ値または理論値係数マスタ１０５に格納されている理論値係数を修正して処理を終了する。

ステップＳ７では、統計分析機能部２２が、マスタ値または理論値係数を修正することにより、リードタイム及び歩留りの標準値を更新している。なお、リードタイム及び歩留りの実績値と標準値との関係が更新条件に合致していなければ（Ｓ６においてＮＯ）、統計分析機能部２２はマスタ値または理論値係数を修正することなく処理を終了する。

図４のフローチャートでは、更新条件に合致しているときにリードタイム及び歩留りの標準値を更新するため、標準値の変更頻度を抑えることができる。また、本発明では更新条件に合致しているときにリードタイム及び歩留りの標準値を更新するため、標準値の精度向上を容易に図ることができる。

さらに、図４のフローチャートでは更新条件を適切に決めることにより、リードタイム及び歩留りの標準値の変更頻度の抑制と標準値の精度向上とのバランスを図ることもできる。なお、図４のフローチャートに示されている加工装置情報マスタ１０７については後述する。

次に、ステップＳ６，Ｓ７において、リードタイム及び歩留りの実績値と標準値とに所定率以上の差がある場合に、標準値を更新する処理について説明する。図１１は、リードタイム及び歩留りの実績値、リードタイム及び歩留りのマスタ値の一例を表した構成図である。

図１１では、リードタイムの平均値が６００，リードタイムの標準値が６８２，歩留りの平均値が８５，歩留りの標準値が９０の例を表している。図１１からリードタイム及び歩留りの平均値と標準値とを抜粋すると図１２のようになる。図１２は、リードタイム及び歩留りの平均値と標準値とを表した一例の構成図である。

例えばリードタイム及び歩留りの実績値と標準値とに１０％以上の差があるときに標準値を更新する場合、リードタイムの標準値「６８２」は平均値「６００」より１０％以上大きいので、標準値を更新すると判定する。また、歩留りの標準値「９０」は平均値「８５」より１０％以上大きくないので、標準値を更新しないと判定する。図１３は、リードタイム及び歩留りの平均値と標準値とを表した他の例の構成図である。

例えばリードタイム及び歩留りの実績値と標準値とに１０％以上の差があるときに標準値を更新する場合、リードタイムの標準値「６８２」は平均値「６４０」より１０％以上大きくないので、標準値を更新しないと判定する。また、歩留りの標準値「９０」は平均値「８０」より１０％以上大きいので、標準値を更新すると判定する。

なお、リードタイム及び歩留りの実績値と標準値とに所定率以上の差があるかの判定だけでなく、リードタイム及び歩留りの標準偏差が所定率の範囲内であるかの判定を追加することもできる。例えばリードタイム及び歩留りの標準偏差が４８％以下であるときに標準値を更新する更新条件を追加した場合、図１１ではリードタイムの標準偏差が５０％であり、標準偏差が４８％以下でないので、標準値を更新しないと判定する。リードタイム及び歩留りの平均値や標準偏差を参照し、大きく隔たりのある平均値や標準偏差に対応する作業実績データを異常値として除外することも可能である。

また、リードタイム及び歩留りの標準値の更新は、理論値係数マスタ１０５に格納されている理論値係数を修正しておこなう。例えば図１１の場合、リードタイムの平均値「６００」が標準値「６８２」に対して「０．８７倍」なので、例えば標準のリードタイムを算出するための理論値係数「１．１７」を「０．８７倍」して「１．０２」とする。このとき、至急，特急のリードタイムを算出するための理論値係数についても同様に修正してもよい。

ここまで、図４のフローチャートのステップＳ６，７において、リードタイム及び歩留りの実績値と標準値とに所定率以上の差があるときに、標準値を更新する処理を説明してきたが、図１４のフローチャートのように処理してもよい。

図１４は、ステップＳ６，７の他の例のフローチャートである。図４のステップＳ５に続いてステップＳ１１に進み、統計分析機能部２２はリードタイム及び歩留りの実績値である平均値と、標準値とを比較し、実績値と標準値とに所定率以上の差があるか否かを判定する。

実績値と標準値とに所定率以上の差があれば（Ｓ１１においてＹＥＳ）、統計分析機能部２２はステップＳ１２に進み、前回の実績値と標準値との差を算出する。なお、前回の実績値と標準値との差は補助記憶装置１４やメモリ装置１５に格納しておいたものを利用するようにしてもよい。

ステップＳ１３に進み、統計分析機能部２２は今回の実績値と標準値との差が、前回の実績値と標準値との差よりも大きいか否かを判定する。今回の実績値と標準値との差が前回の実績値と標準値との差よりも大きければ（Ｓ１３においてＹＥＳ）、統計分析機能部２２はステップＳ１４に進み、前述したようにリードタイム及び歩留りの標準値を更新して処理を終了する。

なお、実績値と標準値とに所定率以上の差がない場合（Ｓ１１においてＮＯ）、及び今回の実績値と標準値との差が前回の実績値と標準値との差よりも大きくない場合（Ｓ１３においてＮＯ）、統計分析機能部２２はマスタ値または理論値係数を修正することなく処理を終了する。

次に、ステップＳ６，Ｓ７において、前回までのリードタイム及び歩留りの実績値および標準値の傾向を算出して、標準値を更新するか否かを判定する処理について説明していく。なお、実施例２は実施例１とステップＳ６，Ｓ７を除き同様であるので、適宜説明を省略する。

例えば統計分析機能部２２は、１ヶ月に１回、月末時点に指図作業実績統計マスタ１０１に格納されている作業実績データを利用して、図１５のような月ごとのリードタイム及び歩留りの実績値と標準値との統計データを算出する。図１５は、リードタイム及び歩留りの実績値と標準値との統計データの一例を表した構成図である。

図１５の例は、前回に標準値を更新した４月度から８月度（次回）までの統計データを表している。例えば４月度にはリードタイムの標準値が「６２０」に更新されている。今回は７月度の集計であり、標準値が更新された４月度以降の５月度（前々回）〜７月度（今回）までのリードタイムの平均値を平均した値「６２８」をもとにして、標準値を更新するか否かを判定する。

具体的には、５月度〜７月度までのリードタイムの平均値を平均した値「６２８」と７月度のリードタイムの標準値「６８２」との比「０．９２」を参照し、例えば５％以上の開きがあるので標準値を更新すると判定する。標準値の更新は、標準のリードタイムを算出するための理論値係数「１．１３」を「０．９２倍」して「１．０４」とする。

したがって、８月度（次回）においては、更新後の理論値係数を用いることでリードタイムの標準値が「６２４」となる。なお、歩留りの標準値についてもリードタイムの標準値と同様に求めることができる。

次に、上記した実施例２において、図１６のような加工装置情報マスタ１０７に格納されている装置の性能情報を考慮して、標準値を更新するか否かを判定する処理について説明していく。

図１６は、加工装置情報マスタの一例の構成図である。例えば図１６の加工装置情報マスタ１０７は、半導体ウェハを製造する装置の性能情報が品目毎に格納されている。装置の性能情報は、歩留りレベルが高いことを表す「Ａ」，歩留りレベルが通常であることを表す「Ｂ」，歩留りレベルが低いことを表す「Ｃ」で構成されている。

例えば図１５の例は、５月度〜７月度までのリードタイムの平均値を平均した値「６２８」と７月度のリードタイムの標準値「６８２」との比「０．９２」を参照し、例えば５％以上の開きがあると判定される。続いて、図１６の加工装置情報マスタ１０７から該当する装置および品目における歩留りレベルを抽出し、歩留りレベルが所定値以上（例えば性能情報Ａ）であれば、正常な統計データと判定して、標準値を更新すると判定する。

一方、図１６の加工装置情報マスタ１０７から該当する装置および品目における歩留りレベルを抽出し、歩留りレベルが所定値以下（例えば性能情報Ｃ）であれば、異常な統計データと判定して、標準値を更新しないと判定できる。

次に、ステップＳ６，Ｓ７において、リードタイムの実績値及び標準値の比較結果と歩留りの実績値及び標準値の比較結果との相関に応じて、リードタイム及び歩留りの標準値を更新するか否かを判定する処理について説明していく。なお、実施例４は実施例１とステップＳ６，Ｓ７を除き同様であるので、適宜説明を省略する。

例えばリードタイム及び歩留りの実績値、リードタイム及び歩留りのマスタ値が図１１の値である例を説明する。図１１では、リードタイムの平均値「６００」が標準値「６８２」より極端に短く、且つ、歩留りの平均値「８５」が標準値「９０」より極端に良いと判定し、標準値を更新すると判定する。

また、リードタイムの平均値が標準値より極端に長く、且つ、歩留りの平均値が標準値より極端に悪いと判定すると、標準値が実態とあっていないため、標準値を更新すると判定する。なお、リードタイムの平均値が標準値より極端に長い／短いか否か、又は、歩留りの平均値が標準値より極端に良い／悪いか否かは、リードタイム及び歩留りの実績値と標準値とに所定率以上の差があるか否かで判定できる。
（リードタイム及び歩留りの標準値の出力）
実施例１〜実施例５により必要に応じて更新されたリードタイム及び歩留りの標準値は上位系処理システム１により生成されるリードタイム／歩留りデータ照会画面で照会が可能である。なお、リードタイム／歩留りデータ照会画面には、リードタイム／歩留りの実績値及び標準値の推移を表した推移図や、リードタイム／歩留りの実績値及び標準値の分布を表した分布図を含ませることもできる。したがって、製造サイドのユーザは、精度の良いリードタイム／歩留りの標準値を参照することができるので、顧客に対する納期回答の精度が悪いという問題が解消する。

本発明は、以下に記載する付記のような構成が考えられる。
（付記１）
コンピュータを、
所定の製造品のリードタイム及び歩留りの実績値を収集する実績収集手段と、
前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と前記製造品のリードタイム及び歩留りの標準値とを比較し、所定の更新条件に合致していれば前記標準値を前記実績値に応じて更新する統計分析手段と
して機能させるためのリードタイム・歩留り管理プログラム。
（付記２）
前記統計分析手段は、前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と標準値とに所定率以上の差があれば前記標準値を前記実績値に更新することを特徴とする付記１記載のリードタイム・歩留り管理プログラム。
（付記３）
前記統計分析手段は、前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と標準値との前回および今回の比較結果が、所定の更新条件に合致していれば前記標準値を前記実績値に応じて更新することを特徴とする付記１記載のリードタイム・歩留り管理プログラム。
（付記４）
前記統計分析手段は、前記製造品のリードタイムの実績値及び標準値の比較結果と、前記製造品の歩留りの実績値及び標準値の比較結果とに所定の相関関係があれば前記リードタイム及び歩留りの標準値の少なくとも一方を前記実績値に応じて更新することを特徴とする付記１記載のリードタイム・歩留り管理プログラム。
（付記５）
前記統計分析手段は、前記製造品を製造する装置の性能情報に応じて、前記標準値を前記実績値に応じて更新するか否かを判定することを特徴とする付記１記載のリードタイム・歩留り管理プログラム。
（付記６）
前記統計分析手段は、前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値の標準偏差に応じて、前記標準値を前記実績値に応じて更新するか否かを判定することを特徴とする付記１記載のリードタイム・歩留り管理プログラム。
（付記７）
コンピュータを、
所定の製造品のリードタイム及び歩留りの実績値を収集する実績収集手段と、
前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と前記製造品のリードタイム及び歩留りの標準値とを比較し、所定の更新条件に合致していれば前記標準値を前記実績値に応じて更新する統計分析手段と
して機能させるためのリードタイム・歩留り管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。

本発明は、具体的に開示された実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。

半導体ウェハを製造するシステムの一例の構成図である。 上位系処理システムの一例のハードウェア構成図である。 リードタイム・歩留り管理プログラムが実行された上位系処理システムの一実施例の機能構成図である。 リードタイム・歩留り管理プログラムに係る上位系処理システムの処理を表したフローチャートである。 指図作業実績統計マスタの一例の構成図である。 リードタイムと歩留りの実績マスタの一例の構成図である。 統計算出値マスタの一例の構成図である。 理論値係数マスタの一例の構成図である。 リードタイム・歩留りマスタの一例の構成図である。 リードタイム及び歩留りの実績値と、理論値係数と、リードタイム及び歩留りのマスタ値との関係を表した説明図である。 リードタイム及び歩留りの実績値、リードタイム及び歩留りのマスタ値の一例を表した構成図である。 リードタイム及び歩留りの平均値と標準値とを表した一例の構成図である。 リードタイム及び歩留りの平均値と標準値とを表した他の例の構成図である。 ステップＳ６，７の他の例のフローチャートである。 リードタイム及び歩留りの実績値と標準値との統計データの一例を表した構成図である。 加工装置情報マスタの一例の構成図である。

符号の説明

１ 上位系処理システム（計画管理システム）
２ 下位系処理システム（工程管理システム）
３ ネットワーク
１１ 入力装置
１２ 表示装置
１３ ドライブ装置
１４ 補助記憶装置
１５ メモリ装置
１６ 演算処理装置
１７ インターフェース装置
１８ 記録媒体
２１ 実績収集機能部
２２ 統計分析機能部
２３ 通信機能部
１００ データベース（ＤＢ）
１０１ 指図作業実績統計マスタ
１０２ 工程パターンマスタ
１０３ リードタイムと歩留り実績マスタ
１０４ 統計算出値マスタ
１０５ 理論値係数マスタ
１０６ リードタイム・歩留りマスタ
１０７ 加工装置情報マスタ
Ｂ バス

Claims (1)

1. コンピュータを、
   所定の製造品のリードタイム及び歩留りの実績値を収集する実績収集手段と、
   前記製造品のリードタイム及び歩留りの前回の実績値と標準値とを格納するテーブル手段と、
   前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と前記製造品のリードタイム及び歩留りの標準値との今回の差を算出し、前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と前記製造品のリードタイム及び歩留りの標準値とに所定率以上の差があれば、前回に収集をした前記製造品のリードタイム及び歩留りの実績値と標準値との差を算出し、今回の差が前回の差よりも大きいとき、前記製造品のリードタイム及び歩留りの標準値を今回の実績値に応じて更新する統計分析手段として機能させるためのリードタイム・歩留り管理プログラム。

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