JP4528937B2 - 計測・加工システム - Google Patents
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計測・加工システムは、前記計測加工一体型装置を対象物に対して相対的に移動させる走査手段を備え、前記制御手段は、前記信号発生手段および前記走査手段を制御し、対象物の表面を走査しながら、前記信号発生手段からの信号により工具を動かし、対象物の表面に対して所定の加工を行うこともできる。前記検出手段で検出した力センサの信号により、加工中の加工力を計測することもできる。
前記制御手段は、前記検出手段と前記信号発生手段を用いて、対象物に一定の力を印加するように工具を駆動するフィードバックを行い、対象物に対して走査を行うとともに、一定の力を印加し、そのときに変位センサからの出力を計測することもできる。これにより、対象物の表面形状を計測することができる。このとき、対象物の形状が既知の場合、工具の形状を計測できる。
計測加工一体型装置を用いることによって、
1)工具とワークの接触位置が検出できること
2)加工力をインプロセスで計測できること
3)工具の微小磨耗が計測できること
4)工具の先端の原点位置が計測できること
5)加工状態のモニタリングができること
6)加工面形状を同じ工具で計測できること
7)工具先端形状を計測できること
などの利点がある。
<計測加工一体型装置の構成>
図1は、本発明の実施形態である計測加工一体型装置の概要を示す。装置100は高速工具制御ユニットと力センサ150からなる。高速工具サーボ制御ユニットは工具120を保持し、高速にその切り込み量を制御するための機構であり、アクチュエータとしての円筒型圧電素子(PZT)130,工具を保持する工具ホルダ122,及び工具120の変位を計測する容量型センサ140から構成されている。高剛性かつ応答性に優れた円筒型圧電素子(PZT)130により工具を保持する工具ホルダ122を介して、工具120に切り込み量を与えることができる。
アクチュエータとして用いている圧電素子(PZT)130は、非線形の電圧−変位特性を示す。原因の一つはヒステリシスであり、これは電圧に対する変位の応答が線形ではなく、また電圧の上昇時と下降時で一致しないという現象である。もう一つはクリープであり、これは一定電圧を加え、一定の位置を保持しようとしても、時間と共に変位がゆっくりと変化してしまう現象である。このため工具の位置を検出し、フィードバック制御を行う必要がある。
また、力センサ150はベース110にネジ152,154によって固定される。固定に用いるキャップスクリュー152,154の回転角で、力センサに任意の予荷重を負荷させることができる。
このような計測加工一体型装置100により、試料160の表面を加工するために、相対的にX−Yの方向に走査できる走査装置(図示せず)に乗せ、試料の表面を走査しながら加工することで、微細パターンを創成することができる。
さて、微細パターン加工するときに、正確な切り込み深さ(Z方向)を決めるために、工具とワークの接触点を正確に決める必要がある。通常の加工では、目視や光学式顕微鏡でワーク表面にできた加工痕を観察することで工具とワークの接触判断をしている。しかし、微細パターン加工時は工具先端と切り込み量が小さいので加工痕が微小であり、目視や光学式顕微鏡では観察できない問題がある。本発明では、図2に示すような計測加工一体型装置の制御・計測システムを用いて、接触判断を行うことができる。
図2の制御・計測システムにおいて、PZT駆動回路173からの駆動電圧で、圧電素子130により工具120をnmオーダーの微小な振幅で振動させながら試料160に近づける。この微小振動は、ファンクション・ジェネレータ172からの正弦波による。近づけるための信号は、パソコンシステム180から、D/Aボード184を介して、加算回路174により正弦波と合わせてPZTに対して印加している。工具120の変位を示す容量型センサ140からの出力は、A/Dボード182を介してパソコンシステム180に入力されている。力センサ150のAC出力をロックインアンプ175で読取り、工具120の振動と同じ周波数を検出した時点で、パソコンシステム180により接触と判断する。力センサ150とロックインアンプ175で駆動周波数成分のみを高感度に検出するため、高感度に接触点の位置を検出することができる。なお、図示していないが、XY走査装置による計測加工一体型装置100のX−Y方向の移動制御も、パソコンシステム180により行っている。
さて、微細パターン加工は鋭い工具を使う必要がある。そのため、工具の微小磨耗が大きな問題となる。しかし、工具顕微鏡などでは解像度不足のため、工具微小磨耗の計測ができない。本発明の計測加工一体型装置における工具の微小磨耗の計測を図3に示す。
位置が固定される標準用サンプル162を設置し、上述した制御・計測システムによる工具とワークの接触点を検出する方法で、工具120と標準サンプル162の接触位置を検出できる。図3(a),(b)のように、工具を使った、ワークを加工する前後に、それぞれの工具と標準サンプルの接触位置を容量型センサの変位計140で検出し、パソコンシステム180で記録する。その接触位置の変化が、工具の磨耗量dとなる(図3(c)参照)。
また、ワークを加工するときの加工力を計測加工一体型装置の力センサ150でインプロセス測定を行うことによって、工具のチッピングなどの損傷をリアルタイムに検出することができる。
また、工具を交換した場合、取り付け誤差や工具寸法の個体差などによって、工具先端の原点位置がずれてしまう問題が生じる。
図4において、工具を交換した場合に、図3と同様にして、工具と試料160の接触位置を検出する方法(図2参照)で原点位置の決め方を示す。図4(a),(b)に示すように、工具を使ってワークを加工する前後に、それぞれ工具と標準サンプルの接触位置を検出し、パソコンシステム180に記録する。その情報から工具先端の原点位置を決めることができる(図4(c)参照)。
図5を用いて、計測加工一体型装置100による加工面微細形状を測定する方法の原理を説明する。図4において、試料160の加工表面は、例えばXY正弦波で加工されており、波長は50μm、振幅は100nmである。また、加工面の弾力変形域は、この場合では0.1nm以内である。
機上で加工プローブ(単結晶ダイヤモンド工具)をそのまま測定プローブとして用い、PZT130にPZT駆動回路173から電圧を加えることにより、工具120を微小振動させながらステップ状に試料160へ接近させる。パソコンシステム180により、プローブ120と試料160の弾性変形域での接触を力センサ150で検出し、力センサ150からの接触力が一定となるように、PZT駆動回路173からの電圧を印加して、フィードバック制御することで、工具のZ方向の位置を高速に制御しながらX方向に走査する。このとき、容量センサの変位計140による工具の運動軌跡が形状測定結果となる。この測定データを元に測定点を修正加工することで3次元表面形状をナノメートルオーダで高精度創成する。
自由曲面形状を加工する場合、工具の先端形状が加工精度に大きな影響を与える場合がある。加工精度向上のため、工具の先端形状を計測し、加工データに補正を加える必要がある。図6に示すように、形状精度が非常に高い、あるいは形状誤差が既知の基準試料(例えば基準試料球)164の形状を計測加工一体型装置で、上述の形状計測と同様に、走査して計測することによって、得られた装置の出力から工具先端の形状を求めることができる。
図6(a),(b),(c)には装置をY方向に沿って走査し、YZ断面の工具先端形状を測定する例を示しているが、X方向走査をすることによって、XZ断面の工具先端形状を計測することができる。またXY平面において走査することによって、工具先端形状の3次元形状を測定することができる。
なお、加工前後に同様の測定を行うことによって、磨耗などによる工具先端形状の変化を見ることもできる。
また、従来の原子間力顕微鏡(AFM)と異なり、超精密ダイヤモンド旋削可能な高速工具制御装置を応用した手法であるので、加工機としての剛性が低くなるということはなく、高剛性加工が要求される超精密切削加工に適用できると考えられる。
計測加工一体型装置100の装置全体としての剛性や固有振動周波数を算出する。算出する装置の具体的な構成を図7に示す。図7(a)は上から見た平面図、図7(b)は横から見た側面図である。
図7の構造は、高剛性・応答性を重視した並列測定系であり、図8に示すようなバネ─質量系のモデル化を行った。各部を弾性体と見なし、PZTの剛性をkp,並列系支持部の剛性をkt,インパクトプレートの剛性をkc,力センサの剛性をksとしたうえでモデル化を試みた。
このようにして、力センサで加工中にリアルタイムで検出されている計測量は、実際の加工力の25%であることが予め分っているので、実際の加工力も算出できる。このようにして、実際の加工力をインプロセスで把握することができる。
計測加工一体型装置は、試料切削中にPZTを利用して工具を高速に制御することで、3次元形状を創成する。工具を駆動する際、装置が持つ固有振動周波数で共振すると、制御が正確に行われず、正しい切込み量を与えることが出来ない。この周波数特性は、加工時に主軸回転数及び切込み量変化の制御点数の条件を定めるのに重要な要素である。また、計測加工一体型装置の固有振動周波数が低い場合、加工速度が遅くなり加工時間が大幅にかかってしまう。そこで、図9のような測定系を組み、装置の周波数特性を調べた。
図9に示すように、計測加工一体型装置100の周波数応答の測定には、FFTアナライザ210を利用した。FFTアナライザ210は、デジタル・スペクトル・アナライザ212とファンクション・ジェネレータ214から構成されている。ファンクション・ジェネレータ214から白色信号が出力され、一方をPZT駆動回路173に、一方をデジタル・スペクトル・アナライザ212のAチャンネルに入力する。白色信号が印加されたPZTの応答を静電容量センサ230で計測し、その応答をデジタルスペクトル・アナライザ212のBチャンネルに入力する。この2つのチャンネル情報から、系(装置)がもつ応答性能を計算し、ゲインや位相を数値化する。その情報はGPIBインターフェースボード220を介してパーソナルコンピュータで記録される。
図11に計測加工一体型装置100を超精密旋盤に設置し、正面切削による大面積3次元微細形状創成システムを示す。スライド194に取り付けられた計測加工一体型装置100を一方向にスライドして、回転するスピンドル195に取り付けられたワーク193の表面を3次元微細形状に加工する。
また、図12には機上計測加工一体型装置を超精密旋盤に設置し、円筒面に大面積3次元微細形状を創成するシステムを示す。回転するスピンドル192に取り付けられた円筒形のワーク190の表面を、軸方向にスライドするようにした計測加工一体型装置100により3次元微細形状に加工する。
図11や図12のように構成して、平面や自由曲面に大面積3次元微細形状を創成することができる。
上述では、計測加工一体型装置100のZ方向の力サンサは、一方向の力センサを用いている。そのために取り付ける位置がPZTと同じ中心軸上と決まってしまう。しかしながら、図13に示すように、3軸力センサ155を用いることにより、例えばPZTとは直角の位置に取り付けても、Z方向の力を検出することができる。
Claims (4)
- 工具を駆動するアクチュエータと、該アクチュエータに結合され、工具を保持する工具ホルダと、該アクチュエータと同軸に配置され、工具の変位を計測する変位センサと、工具に印加される力を計測する力センサとを一体として構成し、工具を形状測定プローブとして用いる計測加工一体型装置と、
前記アクチュエータを駆動するための駆動回路と、
該駆動回路に印加して、前記アクチュエータにより、工具を動かすための信号を発生する信号発生手段と、
前記力センサおよび変位センサからの信号を検出する検出手段とを備え、
前記信号発生手段から工具を振動させる信号を出力して、前記検出手段が前記力センサから、前記工具に与えた振動と同じ振動を検出したときに、前記工具の対象物接触として、このときの変位を検出する制御手段と
を備えることを特徴とする計測・加工システム。 - 請求項1に記載の計測・加工システムにおいて、
前記計測加工一体型装置を対象物に対して相対的に移動させる走査手段を備え、
前記制御手段は、前記信号発生手段および前記走査手段を制御し、対象物の表面を走査しながら、前記信号発生手段からの信号により工具を動かし、対象物の表面に対して所定の加工を行うことを特徴とする計測・加工システム。 - 請求項2に記載の計測・加工システムにおいて、
前記検出手段で検出した力センサの信号により、加工中の加工力を計測することを特徴とする計測・加工システム。 - 請求項2に記載の計測・加工システムにおいて、
前記制御手段は、前記検出手段と前記信号発生手段を用いて、対象物に一定の力を印加するように工具を駆動するフィードバックを行い、対象物に対して走査を行うとともに、一定の力を印加し、そのときに変位センサからの出力を計測することを特徴とする計測・加工システム。
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