JP4526703B2 - 増大した清浄性を提供するスロットルバルブ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は一般に、半導体産業において広く使用される真空処理チャンバに関し、特に、化学気相堆積法(CVD)の処理チャンバに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体ウエハ(または基板)上に層を堆積させる処理には通常、基板を加熱し、基板に向かって流れる堆積(または処理)ガスの流れの源から短距離のところに基板を保持することが含まれる。流れるガスは反応して加熱された基板上に層を堆積させる。
【0003】
不均一なガス流パターンは、ウエハの表面を横切って堆積された被膜層の均一性に好ましくないむらを引き起こす。一般的に、処理チャンバから真空ポンプまで延びる排気ポートの開口が、ガス流パターン中の非対称性を招く。対称性を回復しようとして、多くの設計ではウエハを囲むポンプ流路を設けている。しかし、多くの構成において、邪魔になる構成、例えば、そこを通ってロボットアームがウエハをチャンバに入れるウエハ挿入開口が原因となってウエハを完全に囲むことができないので、対称性を得るのは不可能である。機械的な非対称性を有するそのようなチャンバは、ウエハにおいて望まれるだけの高いガス流の対称性を達成することができない。
【0004】
流路の形状および処理されるウエハの中心に対する対称性を欠いているということは、オリフィスを配置できる位置に影響し、チャンバ内の他の形状や通路、例えば、ウエハ挿入および取り外し開口やそのチャンバ内外への通路を避ける必要があることから、設計を束縛する。多くの場合、ポンプ流路へのオリフィスは、チャンバ内であって、ガス分配プレートからポンプ流路への理想的なガス流レジームより少ないものを提供する位置に配置される。より多くの堆積は、最も多い数の反応物が基板の表面に接触する場所、すなわち真空開口の周りで起こる。そのような形状によって得られる処理ガス流は、ウエハの上に堆積される材料の厚さに、小さいけれども測定できるむらを含む。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
チャンバと真空ポンプの間の真空ラインにおけるある点において、真空遮断弁またはスロットルバルブが一般的に設けられ、それは閉鎖時には処理チャンバの封じ込めの境界として作用する。アクティブな処理チャンバの高温下で気体の状態に保たれた揮発性の汚染物質は、好ましくないことに、処理チャンバの処理領域からある距離離れたところで、しかし真空弁によって定められる処理チャンバの封じ込めの境界内にある冷たい真空配管の壁上で凝結し得る。流れの無い状態の間、これらの汚染物質は、チャンバの処理部分に拡散して戻り、好ましくないことに、処理部分を汚染し得る。この問題を避けるために、処理チャンバの封じ込め境界内の内側面は、これらの表面を清浄ガスによってエッチング(および/またはプラズマ清浄)して堆積ガスによって堆積された誘電材料を除去することにより周期的に清浄にされる。最も効果的には、不良を生じさせることなく清浄と清浄の間の時間をできるだけ長くすることが必要である。清浄は通常の生産工程を妨害する。
【0006】
本発明は、上記の一つ以上の問題を克服するか、少なくともその問題の影響を減少させるためのものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の一つの局面において、その中を通る孔を有するスロットルバルブハウジングとスロットルバルブプラグアッセンブリとを含むスロットルバルブアッセンブリが提供される。スロットルバルブプラグアッセンブリは、スロットルバルブハウジングに回転可能に装着されるシャフトと、凹状切除部を有するスロットルバルブプラグとを含む。スロットルバルブプラグは、スロットルバルブハウジング内でシャフトに装着され、孔とほぼ垂直である。スロットルバルブプラグは、少なくとも二つの全開位置と全閉位置とを有する。
【0008】
本発明の別の局面において、そのようなスロットルバルブアッセンブリを有する化学気相堆積リアクタ装置が提供される。本発明のさらに別の局面において、そのようなスロットルバルブアッセンブリを清浄する方法が提供される。本発明のさらに別の側面において、そのようなスロットルバルブアッセンブリを用いた化学気相堆積方法が提供される。
【0009】
発明の他の目的および利点は、以下の詳細な説明を読み、図面を参照にすることによって明らかになるであろう。
【0010】
本発明には様々な変更および他の形態を適用することが可能であるが、特定の実施形態を図中の例によって示し、ここで詳細に説明する。しかしながら、特定の実施形態のここでの説明は、本発明を開示される特定の形態に限定しようとするものではなく、逆に、添付の請求項によって定義される発明の意図と範囲内における全ての変更、同等のもの、および代替となるものを網羅しようとするものであることを理解されたい。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明の例示的な実施形態を以下に説明する。明瞭にするために、この明細書では実際の実施の全ての特徴については述べない。そのような実際の実施形態を発展させる際には、もちろん、実施ごとに異なる、システムに関連した、またビジネスに関連した制約に従うことなどの固有の目的を達成するために、実施に固有な多くの判断をしなくてはならない。さらに、そのような発展のための努力は複雑で時間がかかるものかもしれないが、それでも本開示の恩恵を受ける、この分野で通常の技術を有する者にとっては、慣行的な業務であるだろう。
【0012】
ここで図面、特に図1を参照すると、具体例としてのCVDリアクタ装置が示されている。そのようなCVDリアクタ装置は、例えば、ゲルマニウムが添加されたホウ素リン珪酸塩ガラス(BPSG)層を堆積させるのに適している。そのような層は種々の異なるCVD処理装置で形成することができる。一つのそのような適したCVD装置が図1に示されており、図1は、真空チャンバ150を有する簡略化された平行板化学気相堆積装置100の縦断面図である。CVD装置100は、堆積ガスをサスセプタ120の上に置かれているウエハ(図示しない)に散布するガス吸気マニホールド110を含む。サスセプタ120は熱への感受性が高く、サスセプタ120(およびサスセプタ120の上面に支持されているウエハ)が下側ローディング/オフローディング位置とマニホールド110のすぐ近くに隣接する上側処理位置140との間で制御可能に移動できるように、サスセプタ120は、支持フィンガー130上に装着されている。
【0013】
サスセプタ120とウエハが処理位置140にある時、これらは、環状真空マニホールドまたはポンプ流路124内に排出される複数の間隔を空けた孔123を有するバフル板170に囲まれている(図2に概略的に示すように)。ポンプ流路124は、図2に概略的に示すように、CVD装置100の蓋200と真空チャンバ150の壁250(図1)との接合部に形成される。堆積物およびキャリアーガスはガスライン180を通って混合チャンバ190内へ供給され、そこでそれらのガスは混合され、それからマニホールド110へ送られる。処理中に、マニホールド110に供給されたガスは、ウエハの表面を横切って、矢印122によって示されるように均一に分配される。図2に示すように、次にガスは、真空ポンプ装置(図示しない)によってポート123を経由し、矢印121によって示されるように、円形真空マニホールドまたはポンプ流路124内へ排気され、排気ライン131から排出される。ガスが排気ライン131を通って放出される速度もまた、図2に破線によって概略的に示されるスロットルバルブ132によって制御される。
【0014】
ここで図3を参照すると、本発明の実施形態によるスロットルバルブまたはスロットルバルブアッセンブリ132の分解斜視図を示しており、スロットルバルブハウジング300は、その中を貫通する概ね円筒形の孔310を有している。スロットルバルブプラグアッセンブリ320は図3に示され、面板330を有し、プラグハウジング340が面板330上に装着され、シャフト350がプラグハウジング340上に回転可能に装着されて、面板330を通って延びている。シャフト350は、シャフト350に沿った一つ以上の平坦部352を有しており、シャフト350を回転させ、配置する工具がシャフト350によりしっかりと係合できるように、シャフト350の端部に溝353を有している。概ね凹状の切除部370を有するスロットルバルブプラグ360は、シャフト350に装着され、孔310にほぼ垂直なスロットルバルブハウジング300内へ挿入される。スロットルバルブプラグ360は、例えば、陽極処理アルミニウム、ビードを吹き付けたチタン、または、酸化アルミニウム(Al2O3)や窒化アルミニウム(AlN)等のセラミック材料からなる。望ましくは、スロットルバルブプラグ360は、例えば、316または304ステンレス鋼のような好適な材料を含むように作られる。
【0015】
スロットルバルブプラグアッセンブリ320は、図3に示すように、例えば、ねじ325と、止め座金335と、平座金345とを用いてスロットルバルブハウジング300の側面に取り付けられる。スロットルバルブハウジング300は、例えば、下側取付アッセンブリ365およびねじ400(図4)を用いてスロットルバルブフランジ355に取り付けられる。取付アッセンブリ365は、O−リング375と、概ね円筒形で、スロットルバルブプラグ360の凹状切除部370に密封するように係合する凸状部または突起385を有する中空密封材380と、O−リング390とを含む。O−リング375は、スロットルバルブハウジング300とスロットルバルブフランジ355との間に取り付けられ、O−リング390は、中空密封材380とスロットルバルブフランジ355との間に取り付けられる。
【0016】
上側取付アッセンブリ366は、スロットルバルブハウジング300の上面395を排気管131(図1および2)に取り付け、孔310の上端を排気管131と結合する。取付アッセンブリ366は、O−リング376と、概ね円筒形でスロットルバルブプラグ360の凹状切除部370に密封するように係合する凸状部または突起386を有する中空密封材381と、O−リング391とを含む。O−リング376は、スロットルバルブハウジング300と排気管131の端部にあるフランジ部(図示しない)との間に取り付けられ、O−リング391は、中空密封材381と排気管131の端部にあるフランジ部(図示しない)との間に取り付けられる。
【0017】
ここで、図4を参照すると、図3に示す実施形態のスロットルバルブ132の組み立てられた状態の斜視図が示されており、ばね420が示される。ばね420は、上側取付アッセンブリ366に含まれる。ばね420は、中空密封材381をスロットルバルブプラグ360に対して付勢して、図3に示すように、スロットルバルブプラグ360が、例えば、凹状切除部370がスロットルバルブフランジ355とは反対側を向いている閉鎖位置にある時に、中空密封材381の凸状部386がスロットルバルブプラグ360の凹状切除部370と密封するように係合するのを助ける。対応するばね(図示しない)が、下側取付アッセンブリ365に含まれる。そのような対応するばねは、中空密封材380をスロットルバルブプラグ360に対して付勢して、スロットルバルブプラグ360が、例えば、凹状切除部370がスロットルバルブフランジ355側に向いている別の閉鎖位置にある時に、中空密封材380の凸状部385がスロットルバルブプラグ360の凹状切除部370と密封するように係合するのを助ける。
【0018】
ここで、図5Aから5Cを参照すると、凹状切除部370とシャフト350とを有するスロットルバルブプラグ360の断面図が示される。図5Aは、図5BのVA−VA線によっても示されるように、スロットルバルブプラグ360が、凹状切除部370がスロットルバルブフランジ355とは反対側を向いている図3に示す閉鎖位置にある時に、スロットルバルブハウジング300の上面395によって形成される平面に平行なシャフト350の対称軸500を通る平面によって形成される断面図である。図5Aに示すスロットルバルブプラグ360と凹状切除部370の断面図は、ほぼ砂時計形の部分510を有する。
【0019】
図5Bは、図5AのVB−VB線によっても示されるように、スロットルバルブプラグ360が、凹状切除部370がスロットルバルブフランジ355とは反対側を向いている図3に示す閉鎖位置にある時に、スロットルバルブハウジング300の上面395によって形成される平面にほぼ垂直なシャフト350の対称軸500を通る平面によって形成される断面図である。図5Bに示すスロットルバルブプラグ360と凹状切除部370の断面図は、ほぼV字形の部分520を有する。図5Bに示すように、V字形部520の縁部530は、シャフト350の対称軸500にほぼ垂直な線540とともに、角度αを形成する。角度αは、例えば、45°である。スロットルバルブプラグ360は、シャフト350の対称軸500に沿って測った時に約1.4インチ(3.6cm)の長さで、約1.37インチ(3.5cm)の直径を有する。凹状切除部370は、シャフト350の対称軸500に沿って測った時に約0.8インチ(2.1cm)の長さである。
【0020】
図5Cは、図5AのVC−VC線によって示されるシャフト350の断面図である。二つの平坦部352が図5Cに示されており、一方の平坦部352は、図5Bに示す線540とシャフト350の対称軸500の両方にほぼ垂直な線550とともに角度βを形成する垂直二等分線を有する。図5Cに示す他方の平坦部352は、線550とともに角度(γ−β)を形成し、線550とともに角度βを形成する垂直二等分線とともに角度γを形成する垂直二等分線を有する。図5Cに示すように、溝353の位置と向きが破線によって示されている。シャフト350に沿った二つの平坦部352とシャフト350の端部の溝353は、シャフト350を回転させ、配置する工具がよりしっかりとシャフト350に係合できるようにする。溝353の幅Wは、例えば、約0.06インチ(0.15cm)である。図5Cに示すシャフト350の部分の直径Dは、例えば、約0.25インチ(0.6cm)である。垂直二等分線に沿った平坦部352からシャフト350の円周までの距離d(図5Cにおいて破線で示す)は、例えば、約0.02インチ(0.05cm)である。線550との角度βは、例えば、約30°であり、角度γは、例えば、約90°である。
【0021】
ここで、図6Aから6Cを参照すると、分解されたスロットルバルブハウジング300と、孔310と、スロットルバルブプラグ360と、シャフト350とが示されている。スロットルバルブプラグ360とシャフト350は、説明のために、スロットルバルブハウジング300と孔310から引き抜かれた状態で示されている。図6Aは、第一の全開位置にあるスロットルバルブプラグ360を示す。そのような全開位置において、スロットルバルブプラグ360とシャフト350とがスロットルバルブハウジング300と孔310内に完全に挿入された時、凹状切除部370は、真空チャンバ150(図1)から排気管131(図1および2)を通って流れるガスの流れを妨害したり制限したりすることはない。図6Aに示すような第一の全開位置において、排気される処理ガスおよび/または清浄ガスを含むそのようなガスの流れは、最低限制限される。図6Aに示すような第一の全開位置において、清浄ガスが排気管131と孔310を通って排気される時、スロットルバルブプラグ360の凹状切除部370は、真空チャンバ150から排気管131への処理ガスによって堆積された堆積物質を孔310の右側から取り除く清浄ガスが孔310の右側に入れるようにする。
【0022】
図6Bは、全閉位置にあるスロットルバルブプラグ360を示す。そのような全閉位置において、スロットルバルブプラグ360とシャフト350は、スロットルバルブハウジング300と孔310内に完全に挿入され、凹状切除部370は、真空チャンバ150(図1)から排気管131(図1および2)を通って流れるガスの流れを妨害または制限する。図6Bに示すような全閉位置において、排気される処理ガスおよび/または清浄ガスを含むそのようなガスの流れは、最大限制限される。図6Bに示すような全閉位置において、真空チャンバ150からの清浄ガスが排気管131および孔310内にある時、スロットルバルブプラグ360の凹状切除部370は、真空チャンバ150から排気管131への処理ガスによって堆積された堆積物質を孔310の左右側の上部から取り除く清浄ガスが孔310の左右側の上部に入れるようにする。
【0023】
図6Cは、第二の全開位置にあるスロットルバルブプラグ360を示す。そのような全開位置において、図6Aについて上で論じたように、スロットルバルブプラグ360とシャフト350が、ハウジング300と孔310内に完全に挿入された時、凹状切除部370は再び、真空チャンバ150(図1)から排気管131(図1および2)を通って流れるガスの流れを妨害または制限することはない。図6Cに示すような第二の全開位置において、排気される処理ガスおよび/または清浄ガスを含むそのようなガスの流れは、再び最低限制限される。図6Cに示すような第二の全開位置において、清浄ガスが排気管131と孔310を通って排気される時、スロットルバルブプラグ360の凹状切除部370は、真空チャンバ150から排気管131への処理ガスによって堆積された堆積物質を孔310の左側から取り除く清浄ガスが孔310の左側に入れるようにする。
【0024】
シャフト350は、メモリ138(図1)に記憶されたコンピュータの指令によって指示される通り、プロセッサ134(図1)の制御の下、モータ(図示しない)によって回転され、スロットルバルブプラグ360を図6Aおよび6Cに示す第一と第二の全開位置の中間位置へ回転させて、排気管131と孔310を通るガスの流れと真空チャンバ150内のガス圧を調節、制御する。図6Aおよび6Cに示すような第一と第二の全開位置にあるシャフト350は、図6Bに示すような全閉位置にあるシャフト350からほぼ90°回転されたものである。
【0025】
図3から6に示す実施形態におけるそのようなスロットルバルブ132を用いることによって、清浄作業をスピードアップし、連続する清浄と清浄の間に取ることのできる製品加工の時間を長くすることができる。例えば、そのようなスロットルバルブ132は、約10,000またはそれ以上のウエハが処理された後にやっと、堆積物質によって目詰まりするだけであるのに対し、従来のスロットルバルブは一般に、たった約200かそれ以下のウエハが処理された後には、堆積物質によって目詰まりしてしまう。
【0026】
CVD装置100(図1)で行われる堆積処理は、熱処理であってもプラズマ増速処理であってもよい。プラズマ処理において、RF(またはマイクロ波)電源125から吸気マニホールド110に加えられるRFエネルギーによって、制御されたプラズマがウエハに隣接して形成される。吸気マニホールド110はRF電極でもあり、サスセプタ120は接地されている。RF(またはマイクロ波)電源125は、単一または混合周波数RF電力のどちらでもマニホールド110に供給され、チャンバ150内に導入される反応性化学種の分解を高めることができる。あるいは、および/またはそれに加え、RF(またはマイクロ波)電源125は、CVD装置100において熱堆積処理が行われる時に清浄工程の間、CVD装置100内にマイクロ波エネルギーを供給するために使用される。
【0027】
図示しないモータは、サスセプタ120を、処理位置140と下側のウエハローディング位置との間で上げ下げする。モータと、ガスライン180に接続されるガス供給バルブと、スロットルバルブ132と、RF(またはマイクロ波)電源125は、数本のみ示す制御ライン136の上のプロセッサ134によって制御される。プロセッサ134は、メモリ138に記憶されたコンピュータプログラムの制御の下で動作する。コンピュータプログラムは、時間調整、ガスの混合、チャンバ150の圧力、チャンバ150の温度、RF電力レベル、サスセプタ120の位置、および個々の処理の他のパラメータを指示する。
【0028】
上記のCVD装置の説明は、主に説明の目的のためのものであって、本発明の範囲を限定するものとして考えられてはならない。プラテンおよび/またはサスセプタの設計、ヒータの設計、RFおよび/またはマイクロ波の電力接続の位置における変形があれば、そのような上記の装置の変形、そして他の変形も可能である。さらに、他のSACVD装置、誘導結合プラズマCVD装置、電子サイクロトロン共鳴(ECR)プラズマCVD装置等のような他のCVD装置を採用することもできる。
【0029】
反応チャンバ150内で約100から700トルの間の選択された圧力が設定され、真空ポンプ装置や処理ガスの導入とともにスロットルバルブ132によって、堆積の間中維持される。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施形態で使用することができる簡略化された平面板化学気相堆積リアクタの縦断面図である。
【図2】 図1のリアクタ内の具体例としてのガス流を示し、本発明の実施形態を示す概略斜視図である。
【図3】 本発明の実施形態の分解斜視図である。
【図4】 図3に示す実施形態の組み立てられた状態の斜視図である。
【図5A】 図3に示す実施形態によるスロットルバルブプラグとシャフトの断面図である。
【図5B】 図3に示す実施形態によるスロットルバルブプラグとシャフトの断面図である。
【図5C】 図3に示す実施形態によるスロットルバルブプラグとシャフトの断面図である。
【図6A】 図3に示す実施形態による分解されたスロットルバルブハウジング、孔、スロットルバルブプラグおよびシャフトの断面図である。
【図6B】 図3に示す実施形態による分解されたスロットルバルブハウジング、孔、スロットルバルブプラグおよびシャフトの断面図である。
【図6C】 図3に示す実施形態による分解されたスロットルバルブハウジング、孔、スロットルバルブプラグおよびシャフトの断面図である。
Claims (6)
- 自身を貫通する孔を有するスロットルバルブハウジングと、
前記スロットルバルブハウジングに回転可能に装着されるシャフト、および、凹状切除部を有する円筒形状のスロットルバルブプラグを含むスロットルバルブプラグアッセンブリとを備え、
前記スロットルバルブプラグは、前記スロットルバルブハウジング内で前記シャフトに装着され、かつ前記孔にほぼ垂直であり、少なくとも二つの全開位置と閉鎖位置とを有しており、
前記凹状切除部は、前記シャフトの対称軸を通る第1の平面によって形成されたV字形の部分を有する第1の断面と、前記対称軸を通ると共に前記第1の平面に対して垂直な第2の平面によって形成された砂時計形の部分を有する第2の断面とを有している、スロットルバルブアッセンブリ。 - 前記孔は、ほぼ円筒形である請求項1に記載のスロットルバルブアッセンブリ。
- 前記シャフトは、前記シャフト上に配置される少なくとも一つのほぼ平らな部分を有する請求項1に記載のスロットルバルブアッセンブリ。
- 前記シャフトは、前記スロットルバルブプラグとは反対側の端に配置される溝を有する請求項3に記載のスロットルバルブアッセンブリ。
- 前記閉鎖位置における前記スロットルバルブプラグは、前記少なくとも二つの全開位置のうちの一つにおける前記スロットルバルブプラグからほぼ90°回転されている請求項1に記載のスロットルバルブアッセンブリ。
- 前記閉鎖位置における前記スロットルバルブプラグの前記凹状切除部は、前記孔の端に対向する請求項5に記載のスロットルバルブアッセンブリ。
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