JP4520717B2 - 薄膜形成方法 - Google Patents
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Description
(2) 添加ガス:アンモニア(NH3)
a.毎分11ミリリットル(Padded gas/Porganometallic gas=3)
b.毎分18.3ミリリットル(Padded gas/Porganometallic gas=5)
c.毎分36.7ミリリットル(Padded gas/Porganometallic gas=10)
d.毎分50ミリリットル(Padded gas/Porganometallic gas=13.5)
e.毎分183ミリリットル(Padded gas/Porganometallic gas=50)
(3) キャリアガス:TDEAT、アンモニア、共に窒素ガス(N2)
(4) パージガス:アルゴン(Ar)、毎分50ミリリットル(基体裏面への膜付着防止用、図示せず)
(5) 基体の温度(成膜温度):150℃〜230℃
(6) 反応容器内の圧力(成膜圧力):10Pa
(7) 膜厚(成膜時間):180nm(20分)
なお、被覆性(カバレッジ)は、開口巾0.16μm、アスペクト比4のトレンチで確認した。
基体の温度を300℃以上にした別の実験では、良好な被覆性(カバレッジ)100%が得られ、かつ成膜速度も毎分約9nm以上であった。ここで、成膜速度が、例えば、毎分約4nm以下の場合には、不純物の混入量が多く、膜質が不良になってしまうが、毎分約9nm以上の成膜速度が得られており、プロセス上のマージンを持たせることができる。しかし、本実験における基体の温度が230℃以下では、いずれも、膜質が悪く、成膜速度も毎分約4nm程度であり、付着物は固体でなく、粘性の高い液体の膜であった。
基体の温度を230℃にして成膜した場合には、被覆性(カバレッジ)は100%で良好であったが、成膜速度が毎分約6nm程度で不十分であった。基体の温度を下げるにつれて成膜速度は毎分約6nm程度から低下する傾向にあった。基体の温度が150℃の場合には、膜質、成膜速度のいずれも不良であった。
基体の温度を230℃にして成膜した場合には、毎分約9nmの成膜速度が得られ、被覆性(カバレッジ)は100%で良好であったが、基体の温度を下げるにつれて、成膜速度は低下する傾向にあった。基体の温度が150℃の場合には、膜質、成膜速度のいずれも不良であった。
基体の温度を230℃にして成膜した場合には、毎分約9nmの成膜速度が得られた。このときの被覆性(カバレッジ)も100%で良好であった。基体の温度を下げて150℃にした場合には、膜質、成膜速度のいずれも不良であった。
基体の温度を150℃にして成膜した場合には、被覆性(カバレッジ)は100%で良好であり、成膜速度も毎分約9nmが得られ良好であった。さらに、基体の温度を下げて成膜する場合には、成膜速度を高めるため、アンモニアの流量を増加させる必要があることが確認された。
(1) 有機チタン化合物(液体原料):TDEAT、毎分0.055g
(2) 添加ガス:アンモニア(NH3)、毎分50ミリリットル(Padded gas/Porganometallic gas=13.5)
(3) キャリアガス:TDEAT、アンモニア、共に窒素ガス(N2)
(4) パージガス:アルゴン(Ar)、毎分50ミリリットル(基体裏面への膜付着防止用、図示せず)
(5) 基体の温度(成膜温度):200℃
(6) 反応容器内の圧力(成膜圧力):10Pa
(7) 膜厚(成膜時間):180nm(20分)
その結果、毎分約9nmの成膜速度が得られた。また、開口巾0.16μm、アスペクト比4のトレンチで被覆性(カバレッジ)を確認したところ、100%の被覆率であった。プラズマ改質後の比抵抗値は、650μΩ・cmであった。
(1) 銅錯体(液体原料):Cu(hfac)(tmvs) トリメチルビニルシリルヘキサフルオロアセチルアセトナト酸塩銅(I)、毎分2.4g
(2) 添加ガス:なし
(3) キャリアガス:アルゴン(Ar)500sccm
(4) パージガス:アルゴン(Ar)、毎分50ミリリットル(基体裏面への膜付着防止用、図示せず)
(5) 基体の温度(成膜温度):200℃
(6) 反応容器内の圧力(成膜圧力):0.5KPa
(7) 膜厚(成膜時間):50nm(10秒)
なお、銅錯体原料容器39から供給された液体状態のCu(hfac)(tmvs)は、第5の流量制御器43により流量が調整された後、気化器37で気化されて原料ガスとしてのCu(hfac)(tmvs)ガスとなり、第6の流量制御器44により流量調整されたキャリアガスとしてのArと混合されて、三方弁23を通過し、原料ガス導入系22に送られ、供給路76を経てシャワーヘッド54に供給されることになる。
12 排気系
14 第1真空計(低真空用)
16 第2真空計(高真空用)
18 基体ホルダー
20 基体
22 原料ガス導入系
23 三方弁
24 添加ガス導入系
26 ターボ分子ポンプ
27 圧力制御バルブ
28 ドライポンプ
30 基体加熱装置
32 熱電対
34 ヒータ
35 加熱電源
36 有機チタン原料容器
37,38 気化器
39 銅錯体原料容器
40 第1の流量制御器
41 第2の流量制御器
42 キャリアガスを収容しているガスボンベ
43 第5の流量制御器
44 第6の流量制御器
45 キャリアガスを収容しているガスボンベ
46 添加ガスボンベ
48 第3の流量制御器
50 キャリアガスを収容しているガスボンベ
52 第4の流量制御器
Claims (6)
- 有機チタン化合物を気化させた原料ガスと、これに反応する添加ガスとを反応容器内に供給し、化学蒸着法により、加熱した基体の表面上に窒化チタン薄膜を作製する薄膜形成方法において、基体を150℃乃至230℃の温度範囲に加熱し、添加ガスの分圧Padded gasを、有機チタン化合物を気化させた原料ガスの分圧Porganometallic gasに対し、10≦Padded gas/Porganometallic gasの範囲に設定し、反応容器内の圧力を0.1〜15Paとすることを特徴とする薄膜形成方法。
- 有機チタン化合物をテトラキスジエチルアミノチタンとし、添加ガスをアンモニアガスとしたことを特徴とする請求項1に記載の薄膜形成方法。
- 前記有機チタン化合物を気化させた原料ガスの流量を毎分0.005g〜0.2gとすることを特徴とする請求項1又は2に記載の薄膜形成方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載した薄膜形成方法により窒化チタン薄膜を作製した後、銅錯体を気化させた原料ガスを反応容器内に供給し、化学蒸着法により、当該窒化チタン薄膜上に銅薄膜を積層することを特徴とする薄膜形成方法。
- 銅錯体を気化させた原料ガスを反応容器内に供給し、化学蒸着法により、銅薄膜を基体の表面上に作製した後、請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載した薄膜形成方法により、当該銅薄膜の上に窒化チタン薄膜を積層することを特徴とする薄膜形成方法。
- 前記基体は有機物材料で構成されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の薄膜形成方法。
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JPH10303148A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-11-13 | Lsi Logic Corp | 化学蒸着法により窒化チタンを基板に蒸着させる方法及び装置 |
JPH11131233A (ja) * | 1997-08-21 | 1999-05-18 | Anelva Corp | 窒化チタン薄膜の作製方法及びcvd装置 |
JPH11150087A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-06-02 | Lsi Logic Corp | 窒化チタン障壁層の形成方法及び窒化チタン障壁層を含む半導体デバイス |
JP2000332020A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-30 | Anelva Corp | Cu配線膜形成方法 |
JP2002319618A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Anelva Corp | 配線用Cu膜の形成方法及び形成装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10303148A (ja) * | 1997-03-04 | 1998-11-13 | Lsi Logic Corp | 化学蒸着法により窒化チタンを基板に蒸着させる方法及び装置 |
JPH11150087A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-06-02 | Lsi Logic Corp | 窒化チタン障壁層の形成方法及び窒化チタン障壁層を含む半導体デバイス |
JPH11131233A (ja) * | 1997-08-21 | 1999-05-18 | Anelva Corp | 窒化チタン薄膜の作製方法及びcvd装置 |
JP2000332020A (ja) * | 1999-05-17 | 2000-11-30 | Anelva Corp | Cu配線膜形成方法 |
JP2002319618A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Anelva Corp | 配線用Cu膜の形成方法及び形成装置 |
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