JP4516826B2 - フォ−カスモニタ方法 - Google Patents
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Description
そこで、従来より、ウェハに転写するレチクルにフォ−カスモニタマ−クを設け、転写されたフォ−カスモニタマ−クの寸法を定期的にモニタしてフォ−カスズレを検知し、その結果に基づきフォ−カスを補正することにより、製品歩留まりの低下を防止していた。
しかし、近年のデバイスパタ−ンの微細化に伴い、フォトリソグラフィ−工程において、露光量裕度や焦点深度などのプロセスマ−ジンを十分に得ることが困難になってきている。そのため、少ないプロセスマ−ジンを有効に利用することにより、製品歩留まりの低下を防ぐために、より高精度に露光装置のフォ−カスをモニタする技術が必要となっている。
まず、非特許文献1においては、図12に示すように微細なライン15の集合からなるラインで形成されるフォ−カスモニタパタ−ンを有するレチクルを使用していた。かかる微細なラインの先端後退量は、フォ−カスに対する感度が高い。そのため、微細なラインの先端後退量をモニタすることによって、高精度なフォ−カスモニタを可能にする。ここでは、実際にはフォ−カスモニタマ−ク間のスペ−スL(図12)を測定することによって、微細なラインの先端後退量を実質的にモニタしている。以下、本従来例においてはLを寸法と称する。
図13は、寸法L(図12)と、最適フォ−カスのフォ−カス位置を原点とするフォ−カス位置との関係を示す。横軸はフォ−カス位置、縦軸が寸法Lである。本明細書において、最適フォ−カスとは製造者が製造する製品について所望の特性を得ることができるフォ−カス位置をいう。図13から分かるように、寸法Lは、フォ−カス位置に対してほぼ対称に変化する。この関係を較正曲線として利用するために、フォ−カスモニタに先立ち、あらかじめ図13で示されるデ−タを取得し作成する。そして、最適フォ−カスで露光されたショットについて、寸法Lを測定し、その値と前記較正曲線から実際のフォ−カス位置を求め、求められたフォ−カス位置をウェハの最適フォ−カスからのフォ−カスズレ量としていた。
すなわち、前述のようにフォ−カスモニタマ−クの寸法Lは、フォ−カス値に対してほぼ対称に変化する(図13)。
このため、フォ−カスモニタマ−クの寸法Lが決定されるだけでは、寸法Lに対して複数のフォ−カス位置の解が存在するため、フォ−カス位置の較正曲線からフォ−カス位置が一意的に求まらず、フォ−カスのズレ方向が分からない。
したがって、フォ−カス位置を補正する際にも、ズレ方向に関しては何らかの仮定に基づき決定する他なく、適切なフォ−カス条件管理が困難であった。
また、較正曲線が極値をとるフォ−カス位置近傍では、フォ−カス位置に対する寸法L変動の感度が鈍い。そのため、フォ−カスモニタ精度が低下する。通常、本従来例同様、最適フォ−カスは較正曲線が極値をとるフォ−カス位置近傍に設定される。なぜなら、最適フォ−カスの判断基準となることの多いデバイス領域のフォ−カス特性は、フォ−カスモニタマ−クのそれと類似するからである。したがって、必然的に、最適フォ−カス近傍でのモニタ精度も低下することになる。
図14にこの発明の概略図を示す。図1(a)はレチクルの断面図である。レチクルは、ガラス基板161、半透明膜162、遮光膜163の3層構造からなる。図1(b)はレチクルの平面図、図1(c)はフォ−カスモニタマ−ク140を、図1(d)はフォ−カスモニタマ−クを拡大した平面図である。フォ−カスモニタマ−クは、周辺部分の半透明膜部801、中央部分の遮光膜部802、そして開口部である第1のモニタマ−ク101及び第2のモニタマ−ク102から構成されている。第1のモニタマ−ク101及び第2のモニタマ−ク102には、長方形パタ−ンと、この長方形パタ−ンの片側に形成された微細な凸型の先細りパタ−ン(図14(d))とから構成されている。なお、第1のモニタマ−ク101では、半透明膜を通過する露光光と開口部を通過する露光光とに90度の位相差を付けるために、レチクルの断面図1(a)に示すように、ガラス基板161がたとえば124nm掘り込まれている。
これによって、第1のモニタマ−ク101と第2のモニタマ−ク102のデフォ−カス(本明細書ではフォ−カス位置と称する)に対する位置ズレ量に図15に示すような差が生じる。そして、図16に示す第1のモニタマ−クと第2のモニタマ−クとの相対的位置ズレ量S(=S2−S1)が、図17に示すようにデフォ−カスに対して単調に変化することを利用して、ウェハの最適フォ−カスからの位置ズレ量をズレの方向を含めてモニタした。
さらに、用いる2つのモニタマ−クのうちの一方については、図15に示されるように、較正曲線が極地を示すフォ−カス位置近傍の測定値を用いるため、非特許文献1同様、フォ−カスモニタ精度が低下するという問題が残る。
本発明は、上記事情を考慮してなされたもので、その目的とするところは、フォ−カス位置のズレ量およびズレ方向を高精度かつ簡便に検出することができ、露光精度の向上等に寄与し得るフォ−カスモニタ方法を提供することにある。
フォトリソグラフィ−により、フォ−カスモニタマ−クを含むレチクルパタ−ンをウェハ上に転写する際の、最適フォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォーカス位置の、前記最適フォ−カス位置からのズレ量をモニタする方法であって、
ウェハ上に転写された前記フォ−カスモニタマ−クの寸法とフォ−カス位置の関係を示す較正2次関数曲線を作成する第1のステップと、
少なくともウェハ上の1ショットを、前記第1のステップにおける較正2次関数曲線が極値を取るフォ−カス位置から一定量デフォ−カスしたフォ−カス位置で、ウェハ上に転写する第2のステップと、
前記デフォ−カスしたフォ−カス位置でウェハ上に転写したショットのフォ−カスモニタマ−クの寸法を計測する第3のステップと、
前記第1のステップにおける較正2次関数曲線と前記計測した寸法を用いて、第2のステップにおける前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置を算出するに際し、前記デフォ−カスしたフォ−カス位置が、前記較正2次関数曲線が極値を取るフォ−カス位置よりも小さい時に、前記較正2次関数曲線の解の小さい方を前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置とし、大きい時に解の大きい方を前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置とすることによって、前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置を算出する第4のステップとを備え、
前記算出したデフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置から、前記デフォ−カスしたフォ−カス位置を減ずることにより、前記最適フォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カス位置からのズレ量とズレ方向を求め、
前記第1のステップの後、前記第4のステップの前に、
前記第1のステップにおける較正2次関数曲線の係数の露光量依存1次式を作成するステップと、
ド−ズモニタまたは露光量設定値から定められる露光量と、前記露光量依存1次式から、前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置の算出に用いる較正2次関数曲線を,一意的に決定するステップを有することを特徴とする。
(実施の形態1)
本実施例では、最適フォ−カス位置(ここでは、製造者が製造する製品について所望の特性を得ることができるフォ−カス位置)でウェハ上に転写したショットの実際のフォーカス位置の、最適フォーカス位置からのズレ量を求める場合について記述する。
まず、図12に示すように微細なライン15の集合からなるラインで形成されるフォ−カスモニタパタ−ンと、半導体装置製品となるデバイスパタ−ン領域を有するレチクルを作成する。
背景技術で述べたように、図12に示すような微細なライン15の先端後退量は、フォ−カスに対する感度が高い。そのため、微細なライン15の先端後退量をモニタすることによって、高精度なフォ−カスモニタを可能にする。ここでは、実際にはフォ−カスモニタマ−ク間のスペ−スL(図12)を光学顕微鏡により測定することによって、微細なライン15の先端後退量を実質的にモニタしている。以下、本従来例においてはLを寸法と称する。
そして、フォ−カス位置を意図的に変化させて寸法Lを寸法測定装置によって測定する。寸法Lとフォ−カス位置の関係を図8に示す。横軸はデバイス領域に対する最適フォ−カス位置を原点とするフォ−カス位置、縦軸は寸法Lである。図からわかるように、寸法Lは、フォ−カス位置の変動に対してほぼ対称に変化する。そこで、デ−タを2次関数曲線にフィッティングすることによって、較正2次関数曲線が作成される。この較正2次関数曲線を、
y=a+b(x−c)2 (1)
であらわす。ここで、yは寸法L、xはフォ−カス位置、a、b、cは係数である。
なお、この図8においては、較正2次関数曲線はフォ−カス位置Fkにおいて極値をとる。
x=c±√{(y−a)/b} (2)
の2通りの解がある。
ここで、本実施の形態においてΔDFはFkよりも小さい値であり、Fは2通りの解の小さい方、すなわち、
F=c−√{(ΔLa−a)/b} (3)
をとると解される。
なぜなら、デフォーカスしたフォ−カス位置で転写されたショットの実際のフォーカス位置の、デフォーカスしたフォ−カス位置(本実施の形態においてはΔDF)からのズレ量は、通常0.05μm以下である。したがって、通常0.1μm程度以上を予定する意図的なデフォ−カス量ΔDFに比べて十分小さいため、ΔDFと、寸法Lが極値をとるFkとの大小関係が、較正2次関数曲線から求められる解の大小と一致する蓋然性が極めて高いからである。
そして、このようにして算出したデフォーカスしたフォーカス位置で転写したショットの実際のフォ−カス位置Fとデフォ−カスしたフォ−カス位置ΔDFの差F−ΔDF(図8)が、このウェハのデバイス領域に対する最適フォーカス位置で転写されたショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カス位置からのズレ量とズレ方向となると解される。
なぜなら、同一プロセスを経て、同一露光装置により露光される同一ウェハ上のショット間では、最適フォ−カスであっても、デフォ−カスしたフォ−カス位置であっても、露光装置の機械的ばらつき、プロセス条件のばらつきに起因するウェハの表面状態のばらつき等は等しいと考えられる。したがって、それらのばらつきに起因するフォ−カスズレもショット間で等しいと考えられるからである。
そして、デバイス領域に対する最適フォーカス位置で転写されたショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カス位置からのズレ方向が一意的に求まることにより、ズレ方向の補正が可能となり、単にズレ量の絶対値のみによるフォ−カス条件管理に比べ、より精度の高いフォーカス条件管理が可能となる。
また、図8からも明らかなように、2次関数曲線のy方向変化量が小さい極値をとるフォ−カス位置Fk近傍に比べて、y方向変化量の大きいデフォ−カス領域にてフォ−カス位置Fを算出することにより、実際のフォ−カス位置算出精度が上がり、結果的にウェハのデバイス領域に対する最適フォーカス位置で転写されたショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カス位置からのズレ量とズレ方向F−ΔDFの算出精度が向上するという効果もある。
さらに、一般に、較正2次関数曲線が極値をとるフォ−カス位置Fk近傍では、寸法に対するフォ−カス位置の感度が鈍るため、較正2次関数曲線と実測とのフィッティング誤差も大きくなる傾向にある。そのため、極値をとるフォ−カス位置Fk近傍のショットを測定する従来の方法では、ウェハのフォ−カス位置算出精度が低かった。しかし、本発明のようにデフォーカスしたフォーカス位置を、極値をとるフォ−カス位置Fkから一定量デフォ−カスした位置とすることにより、較正2次関数曲線と実測とのフィッティング誤差が小さいフォ−カス領域から、精度高く算出したフォ−カス位置Fを用いることができ、デバイス領域に対する最適フォーカス位置で転写されたショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カス位置からのズレ量とズレ方向F−ΔDFの算出精度が向上する効果もある。
そして、かかる適切・高精度な管理により、リソグラフィ−工程でのデフォ−カスが低減し、より高歩留まりのより廉価な半導体装置の製造が可能となる。
加えて、この方法によれば、特許文献1が必要とした特殊なレチクル作成技術は不要であり、結果的に製造コスト・製品コストを抑えることが可能である。
本実施例ではデフォ−カスショットを1ショットのみとしたが、デフォ−カスショットのショット数を増やすことにより、平均化したウェハの実際のフォーカス位置からのデフォーカスしたフォーカス位置のズレ量とズレ方向F−ΔDFを求め、さらに精度を向上させることも可能である。
本発明の実施の形態2であるフォ−カスモニタ方法を説明する。
ここでは、実施の形態1と異なるフォ−カスモニタマ−ク用い、かつ、フォ−カス位置に対する寸法が露光量依存性を有する場合であり、かつ、意図的なデフォ−カス量を最適化した場合についてのフォ−カスモニタ方法について説明する。
本実施の形態においては、微細ラインのライン後退量を直接モニタするのではなく、図1(c)に示すように、微細ラインの先端後退に伴って生ずる微細ライン有りの部分11と無しの部分12の重心位置の差(以後寸法と称する)Lを、光学的な重ね合わせ測定器を用いて計測した。ここで、重ね合わせ測定装置においては、フォ−カスモニタマ−クは光学的なコントラスト像として計測される。そして、そのコントラストの、マ−クに垂直方向のイメ−ジを図1(c)に示す。破線21で見た微細ライン有りの部分のイメ−ジ31、破線22で見た微細ライン無しの部分のイメ−ジ32がそれぞれ示されている。それぞれについて、重心位置、すなわち、イメ−ジの面積を等分する垂線の位置を求める。そして、その重心位置の差(寸法)Lを計測することよって、結果的にライン先端後退量をモニタしている。
微細ライン有りの部分11は、この微細ラインの先端後退量がフォ−カスに対して感度良く変化するため、結果として重心位置の差である寸法Lもフォ−カスに対して感度良く変化する。
続いて、各露光量および各フォ−カス条件について、フォ−カスモニタマ−ク(図1(a))の寸法Lを測定する。この結果を図2に示す。横軸はデバイスパタ−ン領域における最適フォ−カス(ここでは、製造者が製造する製品について所望の特性を得ることができるフォ−カス位置)を原点とするフォ−カス位置、縦軸は、フォ−カスモニタマ−クの重ね合わせ測定器による測定で得られた寸法Lである。この図からわかるように、本実施の形態の寸法Lには露光量依存性が存在する。このため、フォ−カス位置の算出に当たっては露光量をも考慮に入れなければならない。
次に、この寸法測定によって得られたデ−タ結果(図2)を2次関数
y=a+b(x−c)2 (4)
に近似した結果が図3である。ここで、yは寸法L、xはフォ−カス位置、a、b、cは係数である。この近似を各露光量について行うことで、図3に示すように、フォ−カスモニタマ−クの寸法Lとフォ−カス位置の較正2次関数曲線が作成される。
このように、フォ−カス位置の較正2次関数曲線と、当該較正2次関数曲線係数の露光量依存1次式を作成することによって、任意の露光量について、当該露光量に対するフォ−カス位置の較正2次関数曲線を一意的に決定することが可能になる。
まず、前記レチクルを、デバイスパタ−ン領域においての最適フォ−カスで、ウェハ上に転写する。この際に、実施の形態1同様、較正2次関数曲線が極値を取るフォ−カス位置から一定量デフォ−カスさせたショットを同一ウェハ上に作成する。このショットのフォーカス位置をΔDFとする(図8)。ショットレイアウト例を図6に示す。
本実施の形態においては、図7から、デフォ−カスしたフォ−カス位置ΔDFは−0.15μmあるいは0.1μmに設定されるのが望ましい。図8においては、ΔDFを極値をとるフォ−カス位置Fkより小さくした場合、すなわち−0.15μmを想定して図示している。
続いて、露光装置に入力した露光量あるいは露光量モニタから算出した露光量と、較正
2次関数曲線定数の露光量依存1次式から、較正2次関数曲線(4)の係数a、b、cを算出し、較正2次関数曲線(4)を一意的に決定する。
そして、測定されたフォ−カスモニタマ−クの寸法Lを、一意的に決定された較正2次関数曲線(4)のyに代入して実際のフォ−カス位置x=F(図8)を算出する。この際、xには
x=c±√{(y−a)/b} (5)
の2通りの解がある。しかし、この場合の解は、デフォ−カス位置ΔDFが極値を取るフォ−カス値Fkよりも小さい場合は小さいほうの解を、大きい場合は大きいほうの解をとると解される。実施の形態1で述べたように、ΔDFと寸法Lが極値をとるFkとの大小関係が、較正2次関数曲線から求められる解の大小と一致する蓋然性が極めて高いからである。
本実施の形態においてはΔDFがFk(本実施の形態では図3より−0.05μm)よりも小さいため、実際のフォ−カス位置Fは、小さいほうの解、すなわち、
F=c−√{(ΔL−a)/b} (6)
をとると解される。
よって、実施の形態1でも述べたように、このようにして算出したデフォーカスしたフォーカス位置で転写したショットの実際のフォ−カス位置Fとデフォ−カスしたフォ−カス位置ΔDFの差F−ΔDF(図8)が、このウェハの最適フォーカス位置で転写されたショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カスからのズレ量とズレ方向となると解される。
さらに、較正2次関数曲線のフィッティング誤差が小さい領域を積極的に利用することにより、より高精度なフォ−カスモニタが可能になる。
なお、較正2次関数曲線の係数の露光量依存は、本実施の形態の図1(a)のマークに固有のものではなく、図12のマークでも図5に示すように現出しうる。
本発明の実施の形態3であるフォ−カスモニタ方法を説明する。
本形態では、実施の形態2をもとに、寸法がフォ−カス位置に対し非対称であった場合の実施の形態について説明する。
まず、実施の形態2同様、半導体装置となるデバイスパタ−ン領域と、マ−クに垂直な微細ラインで形成されるフォ−カスモニタマ−ク(図1(a))領域を有するレチクルを用意する。
そして、実施の形態2同様、各露光量および各フォ−カス条件について、フォ−カスモニタマ−ク(図1(a))の寸法Lを重ね合わせ測定器で測定する。
ここで、寸法Lとフォ−カス位置のデ−タが、プラスフォーカス方向のデ−タとマイナスフォーカス方向のデ−タとで非対称であった場合を考える。かかる場合には較正2次関数曲線のフィッティング誤差が大きくなり、フォ−カスモニタ精度が低下するという問題が生ずる。そこで、この場合に、前記較正2次関数曲線の極値をとるフォ−カス位置に対して、プラスフォーカス方向とマイナス方向とで計測デ−タを切り分け、それぞれ2次関数
y=a+b(x−c) 2 (7)
y=a´+b´(x−c´) 2 (8)
に近似する。
ここで(7)がプラス方向の較正2次関数曲線、(8)がマイナス方向の較正2次関数曲線で、プラスフォ−カスと、マイナスフォ−カスでそれぞれの定数a、b、c、a´、b´、c´を算出する。この近似を各露光量について行うことで、プラスフォーカス方向のデ−タとマイナスフォーカス方向別に、フォ−カスモニタマ−クの寸法Lとフォ−カス位置の較正2次関数曲線が作成される。図9はこの近似の結果を示している。ここで横軸はフォ−カス位置、縦軸はフォ−カスモニタマ−クの寸法Lである。
なお、本発明においてはプラスフォーカス方向とマイナスフォーカス方向は相対的な意味しか有さない。すなわち、ウェハとレチクルが物理的に近づく方向をプラスフォーカス方向とした場合には、ウェハとレチクルが物理的に遠ざかる方向をマイナスフォーカス方向と称する。逆に、ウェハとレチクルが物理的に遠ざかる方向をプラスフォーカス方向とした場合には、ウェハとレチクルが物理的に近づく方向をマイナスフォーカス方向と称することとする。
ここで、デフォ−カスショットのフォ−カスモニタマ−クの寸法Lから、デフォーカスしたフォーカス位置でウェハに転写したショットの実際のフォーカス位置の、デフォーカスしたフォーカス位置からのズレ量とズレ方向F−ΔDFを算出する際に、デフォ−カスしたフォ−カス位置が、較正2次関数曲線が極値をとるフォ−カス位置より小さい場合は、マイナスフォ−カス方向について作成した前記較正2次関数曲線を、大きい場合にはプラスフォーカス方向について作成した前記較正2次関数曲線を使用する。
本実施の形態3のフォ−カスモニタ方法によれば、露光装置のフォ−カス条件に第1、実施の形態2よりさらに適切なフィ−ドバックをかけるフォ−カス条件管理が可能になるという効果がある。
本発明の実施の形態4であるフォ−カスモニタ方法を説明する。
本形態では、実施の形態3をもとに、さらにウェハの実際のフォーカス位置の最適フォ−カスからのズレ量およびズレ方向算出精度を高くすることを可能にする。
本実施の形態によるウェハの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カスからのズレ量およびズレ方向算出方法を図11を参照して説明する。
{(PF−PDF)+(MF−MDF)}/2 (9)
が、このウェハの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カスからのズレ量およびズレ方向となる。
ここでは、プラスフォーカス方向、マイナスフォーカス方向のデフォ−カスショットをそれぞれ1ショットずつとしたが、デフォ−カスショットが複数ある場合には、すべてを平均して実際のフォーカス位置の、最適フォ−カスからのズレ量およびズレ方向を求めることによることも可能である。
したがって、通常、検知しがたい系統誤差が存在していても、高い精度でウェハの最適フォ−カスからのズレ量およびズレ方向を算出し、モニタすることができる。
よって、本実施の形態のフォ−カスモニタ方法によれば、露光装置のフォ−カス条件に、実施の形態3より、さらに適切なフィ−ドバックをかけるフォ−カス条件管理が可能になるという効果がある。
12…微細ラインが無いマ−ク部分
13…プラス方向にデフォ−カスしたショット
14…マイナス方向にデフォ−カスしたショット
15…微細ライン
21…微細ラインが形成されているマ−ク部分の断面線
22…微細ラインが無いマ−ク部分の断面線
31…微細ラインが形成されているマ−ク部分のコントラスト断面イメ−ジ
32…微細ラインが無いマ−ク部分のコントラスト断面イメ−ジ
101…第1のモニタマ−ク
102…第2のモニタマ−ク
110…長方形パタ−ン
111…先細りパタ−ン
161…ガラス基板
162…半透明膜
163…遮光膜
801…半透明膜部
802…遮光膜部
Claims (4)
- フォトリソグラフィ−により、フォ−カスモニタマ−クを含むレチクルパタ−ンをウェハ上に転写する際の、最適フォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォーカス位置の、前記最適フォ−カス位置からのズレ量をモニタする方法であって、
ウェハ上に転写された前記フォ−カスモニタマ−クの寸法とフォ−カス位置の関係を示す較正2次関数曲線を作成する第1のステップと、
少なくともウェハ上の1ショットを、前記第1のステップにおける較正2次関数曲線が極値を取るフォ−カス位置から一定量デフォ−カスしたフォ−カス位置で、ウェハ上に転写する第2のステップと、
前記デフォ−カスしたフォ−カス位置でウェハ上に転写したショットのフォ−カスモニタマ−クの寸法を計測する第3のステップと、
前記第1のステップにおける較正2次関数曲線と前記計測した寸法を用いて、前記第2のステップにおけるデフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置を算出するに際し、前記デフォ−カスしたフォ−カス位置が、前記較正2次関数曲線が極値を取るフォ−カス位置よりも小さい時には、前記較正2次関数曲線の解の小さい方を前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置とし、大きい時には解の大きい方を前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置とすることによって、前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置を算出する第4のステップとを備え、
前記算出したデフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置から、前記デフォ−カスしたフォ−カス位置を減ずることにより、前記最適フォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カス位置からのズレ量とズレ方向を求め、
前記第1のステップの後、前記第4のステップの前に、
前記第1のステップにおける較正2次関数曲線の係数の露光量依存1次式を作成するステップと、
ド−ズモニタまたは露光量設定値から定められる露光量と、前記露光量依存1次式から、前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置の算出に用いる較正2次関数曲線を,一意的に決定するステップを有することを特徴とするフォ−カスモニタ方法。 - 前記デフォ−カスしたフォ−カス位置を決定する際に、前記較正2次関数曲線のフィッティング誤差が±20nm以内であるフォ−カス位置とすることを特徴とする請求項1記載のフォ−カスモニタ方法。
- 前記較正2次関数曲線を作成するステップにおいて、前記較正2次関数曲線が極値をとるフォ−カス位置に対してプラスフォ−カス方向、マイナスフォ−カス方向別に区別した新たな2つの較正2次関数曲線を作成し、
前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置を算出するステップにおいて、前記デフォーカスしたフォーカス位置が極値をとるフォ−カス位置より小さい場合はマイナスフォ−カス方向について作成した前記較正2次関数曲線を、大きい場合にはプラスフォーカス方向について作成した前記較正2次関数曲線を使用することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のフォ−カスモニタ方法。 - 前記較正2次関数曲線が極値をとるフォ−カス位置から、前記一定量デフォ−カスしたフォ−カス位置でショットをウェハ上に転写するステップにおいて、少なくとも1ショットずつ、前記較正2次関数曲線が極値をとるフォ−カス位置に対してプラスフォ−カスとマイナスフォ−カスのフォ−カス位置で転写し、
前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置を算出するステップにおいて、前記プラスフォーカスのフォーカス位置で転写したショットについては、プラスフォ−カス方向について作成した前記較正2次関数曲線を、前記マイナスフォーカスのフォーカス位置で転写したショットについては、マイナスフォ−カス方向について作成した前記較正2次関数曲線を使用し、得られたそれぞれの前記デフォーカスしたフォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォ−カス位置の、前記デフォーカスしたフォ−カス位置からのフォ−カスのズレ量およびズレ方向の平均を算出することによって、前記最適フォーカス位置でウェハ上に転写したショットの実際のフォーカス位置の、最適フォ−カス位置からのズレ量とズレ方向とすることを特徴とする請求項3記載のフォ−カスモニタ方法。
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