JP4515649B2

JP4515649B2 - Substrate angle conversion device

Info

Publication number: JP4515649B2
Application number: JP2001052528A
Authority: JP
Inventors: 祥三川崎
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2001-02-27
Filing date: 2001-02-27
Publication date: 2010-08-04
Anticipated expiration: 2021-02-27
Also published as: JP2002261142A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は洗浄された基板を傾斜させて搬送し、板面に付着した洗浄液を流して乾燥処理する際に、この基板を傾斜状態から水平に角度変換する基板の角度変換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、ガラス基板や半導体ウエハなどの基板に回路パタ−ンを形成するための成膜プロセスやフォトプロセスがある。これらのプロセスにおいては、上記基板を所定の薬液で処理した後、純水などの洗浄液で洗浄処理するということが行われる。基板の洗浄処理としては、基板を搬送ローラで搬送しながら、たとえば超音波振動を与えた洗浄水によって洗浄するメガソニック洗浄や洗浄ブラシで洗浄するブラシ洗浄などが行われる。
【０００３】
上記基板を洗浄液で洗浄処理したならば、この基板を搬送方向に対して交差する方向に所定の角度で傾斜した搬送ローラによって搬送することで、この基板の板面に付着した洗浄液をある程度流し落として均一化したのち、スピン処理装置に受け渡して高速回転させることで、乾燥処理するということが行なわれている。
【０００４】
所定の角度で傾斜した基板をロボットなどによってスピン処理装置に受け渡す場合、スピン処理装置では基板をほぼ水平に保持して回転させる。そのため、基板を傾斜した状態からほぼ水平に角度変換してからロボットによって受け渡すということが行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
搬送ローラによって所定の角度で傾斜した基板をほぼ水平に角度変換する場合、従来は複数の搬送ローラをユニット化し、このユニット上に基板が搬送されてきたならば、ユニット全体の角度を制御することで、基板を所定の角度で傾斜した状態からほぼ水平状態に角度変換するということが行われていた。
【０００６】
しかしながら、基板が大型化すると、複数の搬送ローラを有するユニットも大型化するため、そのユニットを角度変換するための駆動機構が大型化や複雑化するということがあり、設置スペースやコストなどの点で好ましくないということがあった。
【０００７】
この発明は、大型化や複雑化を招くことなく、所定の角度で傾斜して搬送される基板をほぼ水平に角度変換できるようにした基板の角度変換装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この発明は、搬送方向と交差する方向に所定の角度で傾斜して搬送される基板をほぼ水平に角度変換する基板の角度変換装置において、
軸線を上記基板の搬送方向と交差する方向に対して所定の角度で傾斜させるとともに上記基板の搬送方向に対して所定の間隔で配置された複数の搬送ローラと、
これら搬送ローラの間に配置され上昇方向に駆動されることで上記基板を傾斜した状態からほぼ水平に角度変換して上記搬送ローラから上記基板を受け取る複数の受け渡しアームと、
この受け渡しアームを上下方向に駆動する駆動手段を具備し、
上記搬送ローラによって搬送される基板の傾斜方向下端には、この下端と転接して基板が傾斜方向下端側にずれるのを防止する位置ずれ防止ローラが転接するとともに、
上記受け渡しアームには、上昇時に上記基板の傾斜方向下端に転接して上記基板が上記位置ずれ防止ローラと摺接するのを防止する摺接防止ローラが設けられていることを特徴とする基板の角度変換装置にある。
【００１１】
この発明によれば、搬送ローラの角度を変えることなく、搬送ローラ間に設けられた受け渡しアームを上昇させることで、上記搬送ローラによって所定の角度で傾斜して搬送される基板をほぼ水平に角度変換する。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００１３】
図１に示すこの発明の基板の角度変換装置は搬送機構１を有する。この搬送機構１は液晶表示装置に用いられる矩形状のガラス製の基板２の搬送方向に対して所定間隔で配置された複数の搬送ローラ３を備えている。この搬送ローラ３はローラ軸３ａと、このローラ軸３ａの軸方向に所定間隔で設けられた複数の鍔状のローラ部材３ｂとから形成されている。
【００１４】
上記搬送ローラ３の下方にはドレンパン４が設けられている。このドレンパン４の基板２の搬送方向に対して交差する両側には支持板５が設けられ、この支持板５には上記複数の搬送ローラ３のローラ軸３ａの両端部が基板２の搬送方向に沿って所定間隔で回転自在に支持されている。
【００１５】
上記ドレンパン４はフレーム６に支持され、このフレーム６はベースプレート７に支持部材８によって所定の角度で傾斜して支持されている。つまり、搬送ローラ３の軸線が基板２の搬送方向と交差する方向に対して所定の角度で傾斜するよう上記ドレンパン４がベースプレート７に設けられている。
【００１６】
上記搬送ローラ３のローラ軸３ａの両端部にはそれぞれスプロケット１１が設けられ、隣り合うローラ軸３ａのスプロケットにはチェーン１２が掛け渡されている。複数の搬送ローラ３のうちの１つのローラ軸３ａの一端部は駆動源１０に連結されている。この駆動源１０によって１つのローラ軸３ａが回転駆動されると、チェーン１２を介して他の搬送ローラ３が回転されるようになっている。それによって、上記基板２は、下面を搬送ローラ３に支持されるとともに、搬送ローラ３の傾斜角度に応じた角度で搬送方向と交差する幅方向に傾斜して図１に矢印で示す方向へ搬送されるようになっている。
【００１７】
なお、図２に示すようにドレンパン４の底部は中央に向かって低くなる傾斜面になっていて、最も低い部位にはドレン管１３が接続されている。それによって、ドレンパン４内に滴下するドレンは上記ドレン管１３から排出されるようになっている。
【００１８】
上記ドレンパン４内には、上記基板２の傾斜方向下端に転接する複数の位置ずれ防止ローラ１４が回転軸線を基板２の板面に対してほぼ直交させ、かつ基板２の搬送方向に沿って所定間隔で配置されている。これらの位置ずれ防止ローラ１４が基板２の傾斜方向下端に転接することで、搬送される基板２が傾斜方向下端側にずれるのが防止されるようになっている。
【００１９】
所定間隔で配置された搬送ローラ３の間には、それぞれ受け渡しアーム１５が配設されている。この実施の形態では合計で４本の受け渡しアーム１５が設けられている。
【００２０】
図２と図３に示すように、上記搬送ローラ３の傾斜方向下端側に位置する上記受け渡しアーム１５の一端部にはそれぞれ逆Ｕ字状に形成されたブラケット１６の一端部が連結固定されている。このブラケット１６の他端部は、上記ドレンパン４の側壁を跨いで外部に導出されている。
【００２１】
４本のブラケット１６の他端部は帯板状の連結板１７によって一体的に結合されている。図３に示すように、この連結板１７の長手方向両端部にはレール部材１８が上下方向に沿って設けられている。このレール部材１８にはガイド部材１９が摺動可能に係合している。
【００２２】
一対のガイド部材１９は、上記ベースプレート７に立設された支持体２１の一側面の両端部に取付けられている。この支持体２１の中途部には連結片２２が設けられ、この連結片２２には上記ベースプレート７上にほぼ垂直に立設されたシリンダ２３のロッドが連結されている。したがって、上記シリンダ２３のロッドが突出方向に駆動されれば、上記受け渡しアーム１５はブラケット１６を介して上昇する。
【００２３】
上記連結片２２には図２に示すように当接部材２４が設けられている。上記支持体２１には上記シリンダ２３が作動して連結片２２が所定寸法上昇したときに上記当接部材２４が当接して受け渡しアーム１５の上昇位置を制限するストッパ部材２５が設けられている。
【００２４】
上記受け渡しアーム１５は、その上面がほぼ水平になるよう上記ブラケット１６に一端部が連結固定されている。この受け渡しアーム１６の上面には長手方向に沿って所定間隔で複数の接触子２６が設けられている。
【００２５】
図４に示すように、上記接触子２６は上面が球形状に形成されていて、受け渡しアーム１５が上記シリンダ２３によって上昇方向に駆動されると、上記搬送ローラ３によって所定位置まで搬送されてきた基板２の下面に点接触し、この基板２を搬送ローラ３のローラ部材３ｂから上昇させるようになっている。
【００２６】
各受け渡しアーム１５の上記ブラケット１６に固定された一端部には摺接防止ローラ２７が回転軸線を上記位置ずれ防止ローラ１４の回転軸線に対してほぼ直交させて回転可能に設けられている。
【００２７】
上記摺接防止ローラ２７と上記位置ずれ防止ローラ１４との位置関係を図５（ａ）〜（ｃ）に示す。すなわち、図５（ａ）に示すように摺接防止ローラ２７は、位置ずれ防止ローラ１４と干渉しないよう、基板２の搬送方向に対して位置をずらして配置されている。
【００２８】
しかも、図５（ｂ）に示すように摺接防止ローラ２７は、外周面の一部が位置ずれ防止ローラ１４の基板２の傾斜方向の下端に接触した外周面よりも基板２側に突出している。この突出寸法を同図にδで示す。そして、図５（ｂ）に示すように、基板２の傾斜方向下端が位置ずれ防止ローラ１４の外周面に接触した状態においては、摺接防止ローラ２７は外周面の基板２側に突出した部分が基板２の傾斜方向の下端に接触しないよう、その突出部分が基板２の下端よりも下方になるよう配置されている。
【００２９】
したがって、基板２の傾斜方向下端が位置ずれ防止ローラ１４の外周面に接触した状態で図５（ｃ）に矢印Ａで示すように受け渡しアーム１５が上昇方向に駆動されると、摺接防止ローラ２７の外周面が基板２の傾斜方向下端に転接して基板２を同図に矢印Ｂで示す方向へ押圧するから、基板２の下端が位置ずれ防止ローラ１４の外周面から離れる。つまり、摺接防止ローラ２７は、回転しながら基板２の下端を押圧する。
【００３０】
それによって、回転方向が基板２の上昇方向と交差する位置ずれ防止ローラ１４の外周面に基板２の下端が摺接することがなくなるから、基板２の下端にかけ（チッピング）が生じるのや摺接によりパーティクルが発生するのを防止できるようになっている。
【００３１】
基板２の傾斜方向下端が位置ずれ防止ローラ２７の外周面から離れるとほぼ動時に、受け渡しアーム１５の末端に位置する接触子２６が基板２の傾斜方向下端側の端部下面に点接触する。
【００３２】
なお、基板２の搬送方向に沿うドレンパン４の一端側には、図示しない基板２を洗浄するための洗浄ユニットが設けられている。上記ドレンパン４の基板２の搬送方向に沿う一端は、この洗浄ユニットの出口側に接近している。それによって、洗浄ユニットで洗浄された基板２は、ドレンパン４に設けられた搬送ローラ３に円滑に受け渡されるようになっている。
【００３３】
上記構成の角度変換装置によれば、基板２が洗浄ユニットで洗浄されると、ドレンパン４に設けられた搬送ローラ３が駆動源１０によって回転駆動されることで、その基板２が上記搬送ローラ３によって搬送方向に対して交差する方向に所定の角度で傾斜して搬送される。
【００３４】
それによって、洗浄ユニットで基板２に付着した洗浄液が傾斜方向下端側から流れ落ちるから、基板２に付着残留する洗浄液の量を少なく、しかもほぼ均一にすることができる。
【００３５】
傾斜して搬送される基板２の傾斜方向下端には位置ずれ防止ローラ１４が転接する。そのため、搬送ローラ３によって搬送される基板２が搬送の途中で傾斜方向下方へずれるのが防止される。つまり、基板２は位置ずれ防止ローラ１４によって幅方向（傾斜方向）に位置ずれすることなく搬送される。
【００３６】
基板２がドレンパン４上の所定位置まで搬送されてくると、駆動源１０が停止して基板２が位置決めされる。ついで、シリンダ２３が作動して受け渡しアーム１５が上昇方向に駆動される。それによって、受け渡しアーム１５の上端面に設けられた複数の接触子２６が基板２の下面の傾斜方向下方側から順次接触してこの基板２を搬送ローラ３のローラ部材３ｂから浮上させる。
【００３７】
上記受け渡しアーム１５はその上端面がほぼ水平になるよう設けられている。そのため、基板２は、搬送ローラ１５から受け渡しアーム１５に受け渡されることで、傾斜状態から水平状態になる。したがって、基板２は、図示しないロボットによって受け渡しアーム１５上から取り出されて図示しないスピン処理装置の回転テーブルにほぼ水平な状態で受け渡されることになる。
【００３８】
基板２を傾斜した状態からほぼ水平に角度変換する際、受け渡しアーム１５の上端面に所定間隔で設けられた複数の接触子２６が基板２の下面に順次点接触して角度変換する。
【００３９】
そのため、基板２の下面に傷が付き難いばかりか、基板２と接触子２６とが点接触であるため接触抵抗が小さいから、基板２を傾斜状態から水平状態へ円滑に回動させることができる。
【００４０】
しかも、基板２を傾斜状態から水平状態へ回動させる際、基板２の傾斜方向下端には摺接防止ローラ２７が転接し、この摺接防止ローラ２７によって基板２をその下端が位置ずれ防止ローラ１４の外周面から離れる方向へ押圧する。
【００４１】
それによって、基板２の傾斜方向の下端には、位置ずれ防止ローラ１４の外周面が摺接せず、摺接防止ローラ２７の外周面が転接するから、基板２の下端にかけが生じたり、摺接によるパーティクルの発生を招くなどのことを防止できる。
【００４２】
上記一実施の形態では、受け渡しアームを上下駆動する駆動手段としてシリンダを用いたが、ソレノイドやリニアモータなどの他の駆動手段を用いるようにしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】
以上のようにこの発明によれば、搬送ローラの角度を変えることなく、搬送ローラ間に設けられた受け渡しアームを上昇させることで、上記搬送ローラによって所定の角度で傾斜して搬送された基板をほぼ水平に角度変換することができるようにした。
【００４４】
そのため、搬送ローラの角度を変える場合に比べて装置の小型化や簡略化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一実施の形態を示す装置全体の平面図。
【図２】搬送ローラと受け渡しアームとの関係を示す側面図。
【図３】受け渡しアームの構造を示す平面図。
【図４】受け渡しアームの一部分の拡大図。
【図５】（ａ）は位置ずれ防止ローラと摺接防止ローラとの位置関係を示す平面図、（ｂ）は同じく側面図、（ｃ）は摺接防止ローラを上昇させたときの側面図。
【符号の説明】
２…基板
３…搬送ローラ
１４…位置ずれ防止ローラ
１５…受け渡しアーム
２３…シリンダ（駆動手段）
２６…接触子[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a substrate angle conversion device for horizontally converting a substrate from an inclined state when a cleaned substrate is transported in an inclined manner and a cleaning liquid attached to a plate surface is poured to dry the substrate.
[0002]
[Prior art]
For example, in the manufacturing process of a liquid crystal display device or a semiconductor device, there are a film forming process and a photo process for forming a circuit pattern on a substrate such as a glass substrate or a semiconductor wafer. In these processes, the substrate is treated with a predetermined chemical solution and then washed with a cleaning solution such as pure water. As the substrate cleaning process, for example, megasonic cleaning for cleaning with cleaning water given ultrasonic vibration or brush cleaning for cleaning with a cleaning brush is performed while the substrate is transported by a transport roller.
[0003]
After the substrate is cleaned with the cleaning liquid, the cleaning liquid adhering to the plate surface of the substrate is washed away to some extent by transporting the substrate by a transport roller inclined at a predetermined angle in a direction intersecting the transport direction. After being made uniform, it is transferred to a spin processing device and rotated at a high speed to be dried.
[0004]
When a substrate tilted at a predetermined angle is transferred to a spin processing apparatus by a robot or the like, the spin processing apparatus holds and rotates the substrate substantially horizontally. Therefore, the substrate is transferred by the robot after the angle is changed almost horizontally from the tilted state.
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
In the case of converting the substrate inclined at a predetermined angle by the conveyance roller into a substantially horizontal angle, conventionally, a plurality of conveyance rollers are unitized, and if the substrate is conveyed on this unit, the angle of the entire unit is controlled. Thus, the angle of the substrate is changed from a state inclined at a predetermined angle to a substantially horizontal state.
[0006]
However, when the substrate is enlarged, the unit having a plurality of transport rollers is also enlarged, so that the drive mechanism for converting the angle of the unit may be enlarged and complicated. It was not preferable.
[0007]
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an angle conversion device for a substrate that can convert the angle of a substrate conveyed at a predetermined angle substantially horizontally without causing an increase in size or complexity.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The present invention provides an angle conversion apparatus for a substrate that converts an angle of a substrate that is conveyed while being inclined at a predetermined angle in a direction that intersects the conveyance direction.
A plurality of transport rollers which are inclined at a predetermined angle with respect to a direction intersecting the transport direction of the substrate and arranged at a predetermined interval with respect to the transport direction of the substrate;
A plurality of delivery arms that are arranged between the transport rollers and driven in the upward direction to convert the angle from the inclined state to a substantially horizontal angle and receive the substrate from the transport rollers;
Provided with driving means for driving the delivery arm in the vertical direction ,
A misalignment prevention roller that is in rolling contact with the lower end and prevents the substrate from shifting to the lower end in the inclined direction is in contact with the lower end in the inclination direction of the substrate conveyed by the conveying roller, and
An angle of the substrate characterized in that the transfer arm is provided with a sliding contact prevention roller which is brought into rolling contact with the lower end of the tilting direction of the substrate when it is raised to prevent the substrate from sliding contact with the displacement prevention roller. In the converter.
[0011]
According to the present invention, by raising the transfer arm provided between the conveyance rollers without changing the angle of the conveyance rollers, the substrate conveyed while being inclined at a predetermined angle by the conveyance rollers is angled substantially horizontally. Convert.
[0012]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
[0013]
The substrate angle conversion apparatus of the present invention shown in FIG. The transport mechanism 1 includes a plurality of transport rollers 3 arranged at predetermined intervals in the transport direction of a rectangular glass substrate 2 used in a liquid crystal display device. The transport roller 3 is formed of a roller shaft 3a and a plurality of bowl-shaped roller members 3b provided at predetermined intervals in the axial direction of the roller shaft 3a.
[0014]
A drain pan 4 is provided below the conveying roller 3. Support plates 5 are provided on both sides of the drain pan 4 intersecting the conveyance direction of the substrate 2, and both ends of the roller shafts 3 a of the plurality of conveyance rollers 3 are arranged in the conveyance direction of the substrate 2 on the support plate 5. It is supported so as to be rotatable at a predetermined interval along.
[0015]
The drain pan 4 is supported by a frame 6, and the frame 6 is supported on a base plate 7 at a predetermined angle by a support member 8. That is, the drain pan 4 is provided on the base plate 7 so that the axis of the transport roller 3 is inclined at a predetermined angle with respect to the direction intersecting the transport direction of the substrate 2.
[0016]
Sprockets 11 are provided at both ends of the roller shaft 3a of the conveying roller 3, and a chain 12 is stretched over the sprockets of the adjacent roller shafts 3a. One end of the roller shaft 3 a among the plurality of transport rollers 3 is connected to the drive source 10. When one roller shaft 3 a is rotationally driven by the drive source 10, the other transport roller 3 is rotated via the chain 12. As a result, the substrate 2 is supported on the lower surface by the conveying roller 3 and is inclined in the width direction intersecting the conveying direction at an angle corresponding to the inclination angle of the conveying roller 3 and conveyed in the direction indicated by the arrow in FIG. It has come to be.
[0017]
In addition, as shown in FIG. 2, the bottom part of the drain pan 4 becomes the inclined surface which becomes low toward the center, and the drain pipe 13 is connected to the lowest part. Thereby, the drain dripping into the drain pan 4 is discharged from the drain pipe 13.
[0018]
In the drain pan 4, a plurality of misregistration prevention rollers 14 that are in rolling contact with the lower end in the inclination direction of the substrate 2 have their rotational axes substantially orthogonal to the plate surface of the substrate 2 and are predetermined along the transport direction of the substrate 2. Arranged at intervals. These positional deviation prevention rollers 14 are brought into rolling contact with the lower end of the substrate 2 in the inclination direction, so that the substrate 2 to be conveyed is prevented from shifting to the lower end side in the inclination direction.
[0019]
A delivery arm 15 is disposed between the conveying rollers 3 arranged at a predetermined interval. In this embodiment, a total of four delivery arms 15 are provided.
[0020]
As shown in FIGS. 2 and 3, one end of a bracket 16 formed in an inverted U-shape is connected and fixed to one end of the transfer arm 15 located on the lower end side in the inclination direction of the transport roller 3. Yes. The other end of the bracket 16 is led out to the outside across the side wall of the drain pan 4.
[0021]
The other end portions of the four brackets 16 are integrally connected by a strip plate-like connecting plate 17. As shown in FIG. 3, rail members 18 are provided along the vertical direction at both ends in the longitudinal direction of the connecting plate 17. A guide member 19 is slidably engaged with the rail member 18.
[0022]
The pair of guide members 19 are attached to both end portions of one side surface of the support body 21 erected on the base plate 7. A connecting piece 22 is provided in the middle of the support 21, and a rod of a cylinder 23 erected almost vertically on the base plate 7 is connected to the connecting piece 22. Therefore, when the rod of the cylinder 23 is driven in the protruding direction, the transfer arm 15 is raised via the bracket 16.
[0023]
The connecting piece 22 is provided with a contact member 24 as shown in FIG. The support body 21 is provided with a stopper member 25 that abuts the abutting member 24 when the cylinder 23 is operated and the connecting piece 22 is raised by a predetermined dimension to limit the raised position of the transfer arm 15.
[0024]
One end of the transfer arm 15 is connected and fixed to the bracket 16 so that the upper surface thereof is substantially horizontal. A plurality of contacts 26 are provided on the upper surface of the transfer arm 16 at predetermined intervals along the longitudinal direction.
[0025]
As shown in FIG. 4, the contactor 26 has a spherical upper surface, and when the delivery arm 15 is driven in the upward direction by the cylinder 23, the contactor 26 has been transported to a predetermined position by the transport roller 3. Point contact is made with the lower surface of the substrate 2, and the substrate 2 is raised from the roller member 3 b of the transport roller 3.
[0026]
A sliding contact prevention roller 27 is provided at one end portion of each delivery arm 15 fixed to the bracket 16 so as to be rotatable with the rotation axis substantially orthogonal to the rotation axis of the misregistration prevention roller 14.
[0027]
The positional relationship between the sliding contact prevention roller 27 and the misregistration prevention roller 14 is shown in FIGS. That is, as shown in FIG. 5A, the sliding contact prevention roller 27 is arranged with its position shifted with respect to the conveyance direction of the substrate 2 so as not to interfere with the positional deviation prevention roller 14.
[0028]
In addition, as shown in FIG. 5B, the sliding contact prevention roller 27 protrudes to the substrate 2 side from the outer peripheral surface where a part of the outer peripheral surface is in contact with the lower end of the positional deviation prevention roller 14 in the inclined direction of the substrate 2. Yes. This protruding dimension is indicated by δ in the figure. As shown in FIG. 5B, when the lower end of the substrate 2 in the tilt direction is in contact with the outer peripheral surface of the misregistration prevention roller 14, the sliding contact prevention roller 27 projects from the outer peripheral surface toward the substrate 2 side. Is arranged so that the protruding portion is lower than the lower end of the substrate 2 so as not to contact the lower end of the substrate 2 in the inclined direction.
[0029]
Therefore, when the transfer arm 15 is driven in the upward direction as indicated by an arrow A in FIG. 5C with the lower end in the inclined direction of the substrate 2 in contact with the outer peripheral surface of the misregistration prevention roller 14, the sliding contact prevention roller Since the outer peripheral surface of 27 is brought into rolling contact with the lower end of the inclined direction of the substrate 2 and presses the substrate 2 in the direction indicated by the arrow B in the same figure, the lower end of the substrate 2 is separated from the outer peripheral surface of the misregistration prevention roller 14. That is, the sliding contact prevention roller 27 presses the lower end of the substrate 2 while rotating.
[0030]
Thereby, since the direction of rotation thereby preventing the lower end of the substrate 2 on the outer circumferential surface of the displacement prevention roller 14 which intersects the rise direction of the substrate 2 is in sliding contact, by the or sliding over the lower end of the substrate 2 (chipping) occurs Particles can be prevented from being generated.
[0031]
When the lower end of the substrate 2 in the tilt direction moves away from the outer peripheral surface of the misregistration prevention roller 27, the contact 26 positioned at the end of the transfer arm 15 makes point contact with the lower surface of the end of the lower end of the substrate 2 in the tilt direction.
[0032]
A cleaning unit (not shown) for cleaning the substrate 2 is provided on one end side of the drain pan 4 along the conveyance direction of the substrate 2. One end of the drain pan 4 along the transport direction of the substrate 2 is close to the outlet side of the cleaning unit. Thereby, the substrate 2 cleaned by the cleaning unit is smoothly transferred to the transport roller 3 provided in the drain pan 4.
[0033]
According to the angle conversion device having the above configuration, when the substrate 2 is cleaned by the cleaning unit, the transport roller 3 provided in the drain pan 4 is rotationally driven by the drive source 10, so that the substrate 2 is moved to the transport roller 3. Is inclined at a predetermined angle in a direction intersecting the conveyance direction.
[0034]
Accordingly, since the cleaning liquid attached to the substrate 2 by the cleaning unit flows down from the lower end side in the tilt direction, the amount of the cleaning liquid remaining on the substrate 2 can be reduced and substantially uniform.
[0035]
A misregistration prevention roller 14 is in rolling contact with the lower end in the tilt direction of the substrate 2 that is transported while being tilted. Therefore, the substrate 2 transported by the transport roller 3 is prevented from Ru displaced in the inclined direction downwardly in the middle of conveyance. That is, the substrate 2 is transported by the misregistration prevention roller 14 without being misaligned in the width direction (inclination direction).
[0036]
When the substrate 2 is transported to a predetermined position on the drain pan 4, the drive source 10 stops and the substrate 2 is positioned. Next, the cylinder 23 is operated to drive the transfer arm 15 in the upward direction. As a result, the plurality of contacts 26 provided on the upper end surface of the delivery arm 15 sequentially come into contact with the lower surface of the substrate 2 from the lower side in the inclination direction, and the substrate 2 is floated from the roller member 3 b of the transport roller 3.
[0037]
The transfer arm 15 is provided so that the upper end surface thereof is substantially horizontal. For this reason, the substrate 2 is transferred from the transport roller 15 to the transfer arm 15, thereby changing from the inclined state to the horizontal state. Therefore, the substrate 2 is taken out from the delivery arm 15 by a robot (not shown) and delivered in a substantially horizontal state to a rotary table of a spin processing device (not shown).
[0038]
When the angle of the substrate 2 is changed almost horizontally from the tilted state, a plurality of contacts 26 provided at predetermined intervals on the upper end surface of the transfer arm 15 are sequentially point-contacted with the lower surface of the substrate 2 to change the angle.
[0039]
Therefore, the lower surface of the substrate 2 is not easily scratched, and since the contact resistance is small because the substrate 2 and the contact 26 are in point contact, the substrate 2 can be smoothly rotated from the inclined state to the horizontal state. .
[0040]
In addition, when the substrate 2 is rotated from the inclined state to the horizontal state, a sliding contact prevention roller 27 is brought into rolling contact with the lower end in the inclination direction of the substrate 2, and the lower end of the substrate 2 is prevented from being displaced by the sliding contact prevention roller 27. 14 in a direction away from the outer peripheral surface.
[0041]
As a result, the outer peripheral surface of the misalignment prevention roller 14 does not come into sliding contact with the lower end in the tilt direction of the substrate 2, and the outer peripheral surface of the anti-sliding roller 27 rolls into contact with the lower end of the substrate 2. It is possible to prevent the generation of particles due to contact.
[0042]
In the above embodiment, the cylinder is used as the driving means for driving the delivery arm up and down, but other driving means such as a solenoid and a linear motor may be used.
[0043]
【The invention's effect】
As described above, according to the present invention, by raising the transfer arm provided between the transport rollers without changing the angle of the transport rollers, the substrate transported at a predetermined angle by the transport rollers can be obtained. The angle can be changed almost horizontally.
[0044]
For this reason, the apparatus can be reduced in size and simplified as compared with the case where the angle of the conveying roller is changed.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view of an entire apparatus showing an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view showing a relationship between a conveyance roller and a delivery arm.
FIG. 3 is a plan view showing a structure of a delivery arm.
FIG. 4 is an enlarged view of a part of a delivery arm.
5A is a plan view showing a positional relationship between a misalignment prevention roller and a sliding contact prevention roller, FIG. 5B is a side view of the same, and FIG. 5C is a side view when the sliding contact prevention roller is raised. .
[Explanation of symbols]
2 ... Substrate 3 ... Conveying roller 14 ... Position shift prevention roller 15 ... Delivery arm 23 ... Cylinder (drive means)
26 ... Contact

Claims

In an angle conversion device for a substrate that converts an angle of a substrate that is conveyed by being inclined at a predetermined angle in a direction crossing the conveyance direction, substantially horizontally,
A plurality of transport rollers that are inclined at a predetermined angle with respect to a direction intersecting the transport direction of the substrate and arranged at a predetermined interval with respect to the transport direction of the substrate;
A plurality of delivery arms that are arranged between the transport rollers and driven in the upward direction to convert the angle from the inclined state to a substantially horizontal angle and receive the substrate from the transport rollers;
Provided with driving means for driving the delivery arm in the vertical direction ,
A misalignment prevention roller for rolling contact with the lower end to prevent the substrate from shifting to the lower end in the tilt direction is rolled on the lower end in the tilt direction of the substrate transported by the transport roller,
An angle of the substrate characterized in that the transfer arm is provided with a sliding contact prevention roller which is brought into rolling contact with the lower end of the tilting direction of the substrate when it is raised to prevent the substrate from sliding contact with the displacement prevention roller. Conversion device.