JP4512328B2 - フォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタ - Google Patents
フォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4512328B2 JP4512328B2 JP2003173617A JP2003173617A JP4512328B2 JP 4512328 B2 JP4512328 B2 JP 4512328B2 JP 2003173617 A JP2003173617 A JP 2003173617A JP 2003173617 A JP2003173617 A JP 2003173617A JP 4512328 B2 JP4512328 B2 JP 4512328B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoresist
- photomask
- elongated
- unit
- longitudinal direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、フォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】
2インチから4インチ程度の小型の液晶パネルは携帯電話等の携帯情報端末に広く用いられている。近年では、省エネルギー等の観点から、バックライトに加えて外光をも光源として利用する半透過反射型の液晶パネルが主流となっている。
【0003】
例えば、フルカラー液晶パネルの場合、観測者側にTFD(Thin Film Diode)アレイ基板が配置され、バックライト側にカラーフィルタが配置される。ここで、TFDアレイ基板とカラーフィルタとは対向配置されており、これらの間に液晶材料が充填されている。このカラーフィルタは、凹凸表面及び開口部が形成された拡散反射板を備えており、その上に画素(ピクセル)を構成する赤色(R)、緑色(G)及び青色(B)の着色樹脂領域(サブピクセル)が形成されている。
【0004】
外光を光源として利用する反射型表示の場合、外光はTFDアレイ基板を透過して拡散反射板に入射する。しかる後、拡散反射板の凹凸表面で反射された反射光が着色樹脂領域、TFDアレイ基板を順に透過して観察者側に出射される。また、バックライトを光源として利用する透過型表示の場合、バックライトから出射された光は、拡散反射板の開口部、着色樹脂領域、TFDアレイ基板を順に透過して観察者側に出射される。
【0005】
上述のような半透過反射型の液晶パネルに用いられる拡散反射板として、例えば開口部を各着色樹脂領域の中央部下の位置に設けたものが知られている(特許文献1参照)。この場合、RGBの透過型表示が可能となる。
【0006】
また、カラーフィルタの下にフォトリソグラフィー法によって拡散反射板を製造する場合、通常、生産性の高いプロキシミティー露光が用いられる。具体的には、まず基板上に塗布されたフォトレジストをパターニングすることで、凹凸表面及び開口部が形成される。しかる後、凹凸表面上に反射膜を形成することで拡散反射板を製造する。
【0007】
【特許文献1】
特開2002−287131号公報
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来の拡散反射板を製造する場合、隣接する開口部間においてフォトレジストの剥離が生じ易かったので、ムラの無い高品質の拡散反射板を高い歩留まりで安定的に製造することは困難であった。加えて、近年の液晶パネルの高精細化に伴い画素サイズが縮小され、隣接する開口部間の距離が短くなる傾向にある。この為、前述のようなフォトレジストの剥離の問題が深刻化している。
【0009】
そこで、本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、プロキシミティー露光を用いて拡散反射板を製造する際に、フォトレジストの剥離を抑制できるフォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタを提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、本発明によるフォトマスクは、拡散反射板を製造するためのものであり、長手方向に沿って延びる遮光領域内に複数の微小光透過部を有する第1及び第2の凹凸形成用領域と、第1及び第2の凹凸形成用領域の間に挟まれ長手方向に沿って延びる細長光透過部とからなる1ユニット領域を、細長光透過部の幅方向に繰り返し配置してなるパターン形成用領域を備え、細長光透過部が、1ユニット領域の長手方向に沿って、1ユニット領域の一端から他端まで延びていることを特徴とする。
【0011】
このフォトマスクを用いて、基板上に塗布されたフォトレジストにプロキシミティー露光を行うと、パターン形成用領域を透過した光によってフォトレジスト内に潜像が形成される。しかる後、フォトレジストに現像及び熱処理を施すと、フォトレジストはパターン形成用領域に対応した形状にパターニングされる。
【0012】
ここで、パターン形成用領域は1ユニット領域を繰り返し配置してなるが、その1ユニット領域内には凹凸形成用領域と細長光透過部とが設けられている。
【0013】
凹凸形成用領域に照射された光は、遮光領域内に設けられた複数の微小光透過部を透過して、主として回折光がフォトレジスト表面に到達する。これにより、個々の微小光透過部に対応してフォトレジスト内に潜像が形成される。これらの複数の潜像は、上記現像及び熱処理後のフォトレジストにおいて凹凸表面を構成する。
【0014】
一方、細長光透過部に照射された光は、当該細長光透過部を透過してフォトレジストに到達する。これにより、細長光透過部に対応する潜像がフォトレジスト内に形成される。この潜像は、上記現像及び熱処理後のフォトレジストにおいて細長開口部を構成する。その際、従来の拡散反射板において、凹凸形成用領域の長手方向に沿って隣接する矩形開口部間に形成されていた剥離し易い微小なフォトレジストが基板上に残存しない。かかる細長開口部を得るため、本発明のフォトマスクの細長光透過部は、長手方向に沿って延びるように予め設計されている。
【0015】
したがって、本発明のフォトマスクを用いれば、フォトレジストの剥離を抑制でき、ムラの無い高品質の拡散反射板を高い歩留まりで製造できる。
【0016】
さらに、本発明による拡散反射板は、長手方向に沿って延びており、凹凸表面を有する第1及び第2のフォトレジスト部と、第1及び第2のフォトレジスト部の間に挟まれ長手方向に沿って延びる細長開口部とからなる1ユニット部を、基板上に細長開口部の幅方向に繰り返し配置してなるフォトレジストパターンと、凹凸表面上に形成された反射膜と、を備え、細長開口部が、1ユニット部の長手方向に沿って、1ユニット部の一端から他端まで延びていることを特徴とする。
【0017】
この拡散反射板を構成するフォトレジストは、長手方向に沿って延びる細長開口部を有している。この為、フォトレジストをパターニングする際に、従来の拡散反射板において隣接する矩形開口部間に形成されていた剥離し易い微小なフォトレジストが基板上に残存せず、フォトレジストの剥離を抑制できる。したがって、本発明の拡散反射板はムラが無く高品質であり、さらに、そのような拡散反射板を高い歩留まりで得られる。
【0018】
上述のように、本発明による拡散反射板の製造方法は、本発明のフォトマスクを介して、基板上に塗布されたフォトレジストにプロキシミティー露光を施す工程と、フォトレジストを現像及び熱処理することにより、フォトレジスト上に凹凸表面を形成すると共にフォトレジストに細長開口部を形成する工程と、凹凸表面上に反射膜を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【0019】
また、本発明によるカラーフィルタは、本発明の拡散反射板と、拡散反射板上に形成された複数の着色樹脂領域と、を備えることを特徴とする。
【0020】
本発明のカラーフィルタは上記拡散反射板を備えるので、ムラが無く高品質である。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、実施形態に係るフォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタについて説明する。なお、同一要素又は機能を有する要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。
【0022】
まず、実施形態に係るフォトマスクの構造について説明する。
【0023】
図1は、実施形態に係るフォトマスクMを模式的に示す平面図であり、図2は、フォトマスクMの一部を模式的に示す平面図である。フォトマスクMは、中央に矩形状のパターン形成用領域PAを有しており、プロキシミティー露光に用いられる。このパターン形成用領域PAは、X方向に沿って延びる帯状、或いはライン状の1ユニット領域U1をY方向に繰り返し隣接配置してなる。ここで、X方向とは、例えば1ユニット領域U1の長手方向であり、Y方向とは、例えば1ユニット領域U1の幅方向である。なお、X方向及びY方向は固定されているものとする。
【0024】
1ユニット領域U1は、X方向に沿って延びる第1の凹凸形成用領域SS1及び第2の凹凸形成用領域SS2と、それらの間に挟まれた細長光透過部TSとからなる。すなわち、凹凸形成用領域SS1,SS2及び細長光透過部TSは、いずれもX方向に沿って1ユニット領域U1の一端から他端まで延びている。
【0025】
凹凸形成用領域SS1,SS2は両方とも、帯状の遮光領域NT内に例えば多角形、円形、リング状の微小光透過部TDを規則的又はランダムに複数配置してなる。
【0026】
このように、フォトマスクMは、長手方向(X方向)に沿って延びる遮光領域NT内に複数の微小光透過部TDを有する第1及び第2の凹凸形成用領域SS1,SS2と、それらの間に挟まれX方向に沿って延びる細長光透過部TSとからなる1ユニット領域U1を、細長光透過部TSの幅方向(Y方向)に繰り返し配置してなるパターン形成用領域PAを備える。
【0027】
なお、別言すれば、凹凸形成用領域SS1,SS2と、細長光透過部TSとは、全体として、パターン形成用領域PA内においてX方向に沿って延びるストライプを構成する。また、1ユニット領域U1は、後述するカラーフィルタCFの1画素に対応する単位領域A1をX方向に繰り返し隣接配置してなる。この単位領域A1は、1画素を構成するサブピクセル(R、G、又はB)に対応するサブ単位領域RA,GA,BAからなる。ここで、細長光透過部TSは、このフォトマスクMを用いて製造されるカラーフィルタCFの着色樹脂領域4R,4G,4Bが延びる方向(Y方向)に対して垂直な方向(X方向)に延びる。さらに、細長光透過部TSは、サブ単位領域RA,GA,BAをそれぞれ通過するように設けられる。
【0028】
次に、実施形態に係る拡散反射板Rの構造について説明する。
【0029】
図3は、実施形態に係る拡散反射板Rの一部を模式的に示す平面図である。拡散反射板Rは、上述のフォトマスクMを用いて製造され、透明基板1(基板)と、パターン形成用領域PAに対応して透明基板1上に形成されたフォトレジストパターン2と、フォトレジストパターン2上に形成された反射膜3と、を備える。
【0030】
フォトレジストパターン2は、X方向に沿って延びる帯状、或いはライン状のフォトレジストからなる1ユニット部U2をY方向に繰り返し隣接配置してなる。ここで、X方向とは1ユニット部U2の長手方向であり、Y方向とは1ユニット部U2の幅方向である。1ユニット部U2は、フォトマスクMの1ユニット領域U1に対応する。
【0031】
1ユニット部U2は、X方向に沿って延びる第1のフォトレジスト部RS1及び第2のフォトレジスト部RS2と、それらの間に挟まれた細長開口部GSとからなる。すなわち、フォトレジスト部RS1,RS2及び細長開口部GSは、いずれもX方向に沿って1ユニット部U2の一端から他端まで延びている。フォトレジスト部RS1,RS2は、フォトマスクMの凹凸形成用領域SS1,SS2にそれぞれ対応する。また、細長開口部GSはフォトマスクMの細長光透過部TSに対応する。
【0032】
フォトレジスト部RS1,RS2は両方とも凹凸表面を有する。この凹凸表面は、フォトマスクMの微小光透過部TDに対応して形成される凹部RDに起因する。
【0033】
さらに、凹凸表面上に反射膜3が形成されることで拡散反射板Rが得られる。
なお、反射膜3は細長開口部GS上には形成されないので、細長開口部GSには透明基板1が露出した状態となる。
【0034】
以上説明したように、拡散反射板Rは、長手方向(X方向)に沿って延びており、凹凸表面を有する第1及び第2のフォトレジスト部RS1,RS2と、それらの間に挟まれX方向に沿って延びる細長開口部GSとからなる1ユニット部U2を、透明基板1上に細長開口部GSの幅方向(Y方向)に繰り返し配置してなるフォトレジストパターン2と、凹凸表面上に形成された反射膜3と、を備える。
【0035】
なお、フォトレジストパターン2において、フォトレジスト部RS1,RS2と細長開口部GSとはX方向に沿って延びるストライプを構成するともいえる。また、1ユニット部U2は、単位画素PX1をX方向に繰り返し隣接配置してなる。単位画素PX1はフォトマスクMの単位領域A1に対応する。なお、単位画素PX1上には、後述の着色樹脂領域4R,4G,4Bが各々形成される。
【0036】
次に、フォトマスクMを用いた拡散反射板Rの製造方法について説明する。
【0037】
図4(A)、図4(B)、図4(C)、図4(D)は、実施形態に係る拡散反射板Rの製造方法を示す工程断面図である。工程(a)〜工程(d)は順次実行される。
【0038】
塗布工程(a)
透明基板1上にポジ型フォトレジストを塗布し、フォトレジスト層20を形成する(図4(A))。ポジ型フォトレジストは、感光性樹脂などの有機材料からなり、例えば、ノボラック樹脂系、(メタ)アクリル樹脂系ポジ型フォトレジストを用いることができる。さらに好ましくは、カーボンブラックや色素を添加して露光光に対して吸光性を付与したポジ型フォトレジストを用いることができる。このフォトレジストは、露光工程、現像工程後の熱処理工程で硬化する性質を有する。
【0039】
ここで、フォトレジスト層20は、その感光域での透過率が0.01/μm以上0.3/μm以下となるように、吸光性等を設定することが好ましい。フォトレジスト層20の感光域での透過率が0.01/μm未満である場合には、加工性が悪く、凹凸表面を形成するために多くの露光エネルギーを必要とする傾向がある。一方、透過率が0.3/μmを超える場合には、加工深さが露光や現像条件に対して急峻に変化するため、安定した凹凸表面を形成することが難しくなる傾向がある。
【0040】
露光工程(b)
上述のフォトマスクMを介して、透明基板1上に塗布されたポジ型フォトレジストにプロキシミティー露光(一括露光)を施す(図4(B))。ここで、フォトマスクMのパターン形成用領域PAは、前述のように凹凸形成用領域SS1,SS2と細長光透過部TSとからなる。
【0041】
凹凸形成用領域SS1,SS2に照射された光は、複数の微小光透過部TDを透過してフォトレジスト表面に到達する。このとき、微小光透過部TDの大きさは小さいので、主として回折光がフォトレジスト表層部に到達する。これにより、個々の微小光透過部TDに対応してフォトレジスト表層部内に潜像2aが複数形成される。
【0042】
微小光透過部TDの外形寸法Dは3μm以上20μm以下、好ましくは3μm以上15μm以下であることが好適である。外径寸法Dが20μm以上の場合には、光が透過する際に回折が少ないため、連続したエネルギー分布を有する潜像2aをフォトレジスト内に形成することが困難となる傾向がある。一方、外径寸法Dが3μm以下の場合には、プロキシミティー露光で最低限必要とされる露光ギャップでは光が拡散してしまい、フォトレジスト表面に安定した潜像2aを形成し難い傾向がある。
【0043】
なお、外径寸法Dとは、微小光透過部TDが円形又は円環形である場合には、外径の寸法(直径)を意味し、楕円形や多角形である場合には、重心位置から外周までの平均距離の2倍を意味するものとする。
【0044】
一方、細長光透過部TSに照射された光は、細長光透過部TSを透過してフォトレジストに到達する。このとき、細長光透過部TSの大きさは十分大きいので、回折光の影響を考慮する必要はない。これにより、細長光透過部TSの形状に対応する潜像2bがフォトレジスト内に形成される。
【0045】
現像・熱処理工程(c)
露光されたフォトレジストを現像及び熱処理することでパターニングを行う(図4(C))。現像はフォトレジストに適した条件を選定すればよく、ナトリウムやカリウムの水酸化物、炭酸塩、炭酸水素塩といった無機アルカリ、有機アンモニウムなどの有機アルカリの溶液を現像液として使用する。現像は、現像液を20〜40℃での浸漬又はシャワーすることで行われる。
【0046】
現像後の基板は純水で充分に洗浄したのち、熱処理を行う。熱処理工程では、フォトレジストは硬化に先立って溶融軟化し、フォトレジストの表面に平滑な凹凸が形成される。熱処理温度としては好ましくは120〜250℃、より好ましくは150〜230℃の範囲が好ましい。また、熱処理時間としては10〜60分が好ましい。
【0047】
上記現像及び熱処理後、透明基板1上にフォトレジストパターン2が得られる。フォトレジストパターン2において、フォトレジスト部RS1,RS2の凹凸表面は複数の潜像2aにより形成される。また、細長開口部GSは潜像2bにより形成される。
【0048】
ここで、フォトレジストパターン2の細長開口部GSは帯状であるので、剥離し易い微小なフォトレジストが透明基板1上に残存することはない。また、かかる細長開口部GSを形成すべくフォトマスクMの細長光透過部TSは予め帯状に設計されている。
【0049】
一方、図9は、従来のフォトマスクMdの一部を模式的に示す平面図である。
フォトマスクMdでは、細長光透過部TSに代えて正方形の光透過部TWが複数配置されており、隣接する光透過部TW間の距離dは短くなっている。また、隣接する光透過部TW間には微小光透過部TDdが配置されている。
【0050】
このようなフォトマスクMdを用いてフォトレジストをパターニングすると、光透過部TWに対応する開口部がフォトレジストに形成されると共に、隣接する開口部間のフォトレジスト表面には微小光透過部TDdに対応して凹凸が形成される。こうなると、隣接する開口部間に残存するフォトレジストは微小となり剥離し易くなる。
【0051】
反射膜形成工程(d)
金属膜を含む反射膜3を凹凸表面上に形成する(図4(D))。この形成には蒸着法やスパッタ法を用いることができる。反射膜3を構成する材料としては純アルミニウム、アルミニウム合金(Al−Nd合金など)や銀合金(Ag−Pd−Cu合金)などがよい。反射膜3の厚みは、0.1〜0.3μmの範囲が好適であり、より好ましくは0.15〜0.25μmの範囲がよい。なお、反射膜3に誘電体多層膜を用いることもできる。
【0052】
また、反射膜3が金属膜を含む場合には高反射率を達成することができる。この金属膜は金属アルミニウム、アルミニウム合金又は銀合金を含むことが好ましいが、もちろん、特性に悪影響を与えない他の元素を含んでいてもよい。反射膜3は、必要に応じてエッチング等により不要部分を除去し、光透過部やマーク類を形成する。
【0053】
上記工程(a)〜工程(d)を経ることで拡散反射板Rが得られる。拡散反射板Rは、前述の通り、その製造の際に剥離し易い微小なフォトレジストが透明基板1上に残存しないので、ムラが無く高品質である。さらに、拡散反射板Rは、簡便な工程で製造され、かつ、高い歩留まりで安定に製造される。また、上述のフォトマスクMを用いれば、フォトレジストの剥離を抑制でき、ムラの無い高品質の拡散反射板Rを高い歩留まりで製造できる。
【0054】
続いて、拡散反射板Rを備えた実施形態に係るカラーフィルタCFの構造について説明する。
【0055】
図5は、拡散反射板Rを備えた実施形態に係るカラーフィルタCFの一部を模式的に示す平面図である。図6(A)及び図6(B)は、それぞれ図5に示すカラーフィルタCFのXIA−XIA断面図及びXIB−XIB断面図である。図6(A)は、フォトレジスト部RS2の位置におけるカラーフィルタCFの断面図である。この位置では、反射膜3が形成されているので、反射型表示を行うことができる。図6(B)は、細長開口部GSの位置におけるカラーフィルタCFの断面図である。この位置では、フォトレジストパターン2及び反射膜3が形成されていないので、透過型表示を行うことができる。
【0056】
このカラーフィルタCFは、上述の拡散反射板R上に形成された着色樹脂領域4R、4G、4Bを備える。着色樹脂領域4R、4G、4Bは、Y方向すなわち細長開口部GSの幅方向に沿ってストライプ状に形成される。さらに、着色樹脂領域4R、4G、4B上には必要に応じて透明保護膜6が設けられ、液晶を駆動するための透明電極5が形成される。透明電極5としては、例えばITO(酸化インジウム−酸化スズ)等を用いることができる。これにより、カラーフィルタCFが得られる。
【0057】
なお、着色樹脂領域4R、4G、4Bは、液晶中に表示不良の原因となる不純物を溶出しなければ、いかなる材質のものであってもよい。具体的な材質としては、任意の光のみを透過するように膜厚制御された無機膜や、染色、染料分散あるいは顔料分散された樹脂などがある。
【0058】
この樹脂の種類には、特に制限は無いが、アクリル、ポリビニルアルコール、ポリイミドなどを使用することができる。なお、製造プロセスの簡便さや耐候性などの面から、着色樹脂領域4R、4G、4Bには、顔料分散された樹脂膜を用いることが好ましい。
【0059】
また、拡散反射板Rを素子基板として使用する場合には、拡散反射板R上に配線や駆動素子を形成することもできる。
【0060】
続いて、拡散反射板Rを備えたカラーフィルタCFの製造方法について説明する。
【0061】
このカラーフィルタCFは、上述の工程(a)〜工程(d)を経て得られた拡散反射板Rに対して、さらに以下の工程(e)を実行することで得られる。
【0062】
着色樹脂領域形成工程(e)
必要に応じて、赤色、緑色、青色の着色樹脂領域4R、4G、4Bを形成して、続いて、透明保護膜6及び透明電極5を形成物の上に堆積する。
【0063】
続いて、カラーフィルタCFを備えた液晶表示装置について説明する。
【0064】
図7(A)及び図7(B)は、カラーフィルタCFを備えた液晶表示装置の一部分を示す断面図である。この液晶表示装置は、半透過反射型のフルカラー液晶表示装置である。図7(A)は、反射型表示を行う場合を示しており、図7(B)は、透過型表示を行う場合を示している。
【0065】
この液晶表示装置は、カラーフィルタCFと、カラーフィルタCFに対向配置された透明基板10とを備える。カラーフィルタCFと透明基板10との間には所定の間隙が設けられ、この間隙に液晶材料が充填されている。透明基板10の内側には、カラーフィルタCFの着色樹脂領域4R、4G、4Bに対向する位置にそれぞれ画素電極11が設けられている。また、透明基板10の外側には偏光板12が設けられている。さらに、カラーフィルタCFを構成する透明基板1の外側にも偏光板13が設けられている。
【0066】
したがって、透過型表示を行う場合、バックライトから出射された光は、偏光板13、透明基板1、着色樹脂領域4R、4G、4B、透明電極5、透明基板10、偏光板12を順に透過して観察者側に出射される。また、反射型表示を行う場合、反射膜3に入射した外光は、反射された後、着色樹脂領域4R、4G、4B、透明電極5、透明基板10、偏光板12を順に透過して観察者側に出射される。
【0067】
このような液晶表示装置は、上述の拡散反射板Rを備えるので、ムラの無い高品質の表示を行うことができる。
【0068】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形態様をとることが可能である。
【0069】
図8は、フォトマスクMの変形例を示す平面図である。このフォトマスクMは、Y方向に沿って延びる帯状の1ユニット領域U1をX方向に繰り返し隣接配置してなるパターン形成用領域PAを備える。よって、1ユニット領域U1を構成する細長光透過部TSもY方向に沿って延びる。換言すれば、細長光透過部TSは、このフォトマスクMを用いて製造されるカラーフィルタCFの着色樹脂領域4R,4G,4Bが延びる方向(Y方向)に沿って平行に延びる。さらに、細長光透過部TSは、単位領域A1を構成するサブ単位領域RA,GA,BAをそれぞれ通過するように設けられる。
【0070】
したがって、このフォトマスクMを用いれば、図2に示したフォトマスクMと同様、フォトレジストの剥離を抑制でき、ムラの無い高品質の拡散反射板Rを高い歩留まりで製造できる。なお、このフォトマスクMを用いて作製された拡散反射板は、上述の拡散反射板と同様に、長手方向に沿って延びており、凹凸表面を有する第1及び第2のフォトレジスト部と、第1及び第2のフォトレジスト部の間に挟まれ長手方向に沿って延びる細長開口部とからなる1ユニット部を、基板上に前記細長開口部の幅方向に繰り返し配置してなるフォトレジストパターンと、凹凸表面上に形成された反射膜とを備えるが、細長開口部の長手方向と着色樹脂領域4R、4G、4Bの長手方向とは平行となる。
【0071】
【実施例】
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明は以下の実施例のみに限定されるものではない。
【0072】
(実施例1)
まず、ポジ型フォトレジスト(東京応化工業製PR−13)に所定の比率でカーボンブラックを添加し、吸光性を付与したポジ型フォトレジストを調整した。次に、ガラス基板(透明基板1)上に、この吸光性フォトレジストを塗布し、ホットプレートで100℃×90秒間プリベークして、吸光性フォトレジスト層(フォトレジスト層20)を形成した。ここで、プリベーク後における吸光性フォトレジスト層の厚みが1.2μmとなるように、吸光性フォトレジストを塗布した。また、プリベーク後の吸光性フォトレジスト層の主感度波長(405nm)における透過率は0.07/μmであった。
【0073】
次に、図1及び図2に示したフォトマスクMを用意した。ここで、凹凸形成用領域SS1,SS2の形状は、X方向の長さ64800μm、Y方向の幅100μmの長方形とし、細長光透過部TSの形状は、X方向の長さ64800μm、Y方向の幅170μmの長方形とした。また、凹凸形成用領域SS1,SS2内には、直径9μmの円形の微小光透過部TDをランダムに配置した。
【0074】
このフォトマスクMを介して、吸光性フォトレジスト層に対してプロキシミティー露光を行った。露光にはUV光を用い、露光量は300mJ/cm2とした。
【0075】
続いて、露光された吸光性フォトレジスト層を現像した。現像液は0.5%KOH溶液とし、現像時間は80秒間とした。そして、現像後の基板を洗浄・乾燥した。しかる後、現像された吸光性フォトレジスト層を熱処理した。熱処理は、200℃に保持したクリーンオーブン中で20分間行った。これにより、ガラス基板上にフォトレジストパターン2が得られた。このフォトレジストパターン2を顕微鏡観察した結果、フォトレジストの剥離は確認されなかった。
【0076】
(比較例1)
フォトマスクMに代えて図9に示したフォトマスクMdを用いたこと以外は実施例1と同様の工程を実行した。
【0077】
フォトマスクMdは、フォトマスクMの細長光透過部TSに代えて正方形の光透過部TWを複数有している。隣接する光透過部TW間は凹凸形成用領域となっており、直径9μmの円形の微小光透過部TDdが配置されている。この隣接する光透過部TW間の距離dは21μmとした。
【0078】
フォトマスクMdを用いた結果、最終的に、複数の光透過部TWに対応した複数の開口部を有するフォトレジストパターンが得られた。このフォトレジストパターンを顕微鏡観察した結果、隣接する開口部間においてフォトレジストの剥離が確認された。
【0079】
したがって、光透過部TW間の距離dを21μm以下にしてしまうと、フォトレジストが剥離してしまうことが判明した。また、フォトマスクの光透過部を、設計段階において予め細長光透過部TSとしておけば、剥離し易い微小なフォトレジストは形成されない。
【0080】
【発明の効果】
本発明のフォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタによれば、プロキシミティー露光を用いて拡散反射板を製造する際に、フォトレジストの剥離を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態に係るフォトマスクを模式的に示す平面図である。
【図2】フォトマスクの一部を模式的に示す平面図である。
【図3】実施形態に係る拡散反射板の一部を模式的に示す平面図である。
【図4】実施形態に係る拡散反射板の製造方法を示す工程断面図である。
【図5】拡散反射板を備えた実施形態に係るカラーフィルタの一部を模式的に示す平面図である。
【図6】図5に示すカラーフィルタのXIA−XIA断面図及びXIB−XIB断面図である。
【図7】カラーフィルタを備えた液晶表示装置の一部分を示す断面図である。
【図8】フォトマスクの変形例を示す平面図である。
【図9】従来のフォトマスクの一部を模式的に示す平面図である。
【符号の説明】
NT…遮光領域、TD…微小光透過部、SS1…第1の凹凸形成用領域、SS2…第2の凹凸形成用領域、TS…細長光透過部、U1…1ユニット領域、PA…パターン形成用領域、M…フォトマスク、RS1…第1のフォトレジスト部、RS2…第2のフォトレジスト部、GS…細長開口部、U2…1ユニット部、1…透明基板(基板)、2…フォトレジストパターン、3…反射膜、R…拡散反射板、4R,4G,4B…着色樹脂領域、CF…カラーフィルタ。
Claims (4)
- 長手方向に沿って延びる遮光領域内に複数の微小光透過部を有する第1及び第2の凹凸形成用領域と、前記第1及び第2の凹凸形成用領域の間に挟まれ前記長手方向に沿って延びる細長光透過部とからなる1ユニット領域を、前記細長光透過部の幅方向に繰り返し配置してなるパターン形成用領域を備え、
前記細長光透過部が、前記1ユニット領域の長手方向に沿って、前記1ユニット領域の一端から他端まで延びていることを特徴とする、拡散反射板を製造するためのフォトマスク。 - 長手方向に沿って延びており、凹凸表面を有する第1及び第2のフォトレジスト部と、前記第1及び第2のフォトレジスト部の間に挟まれ前記長手方向に沿って延びる細長開口部とからなる1ユニット部を、基板上に前記細長開口部の幅方向に繰り返し配置してなるフォトレジストパターンと、前記凹凸表面上に形成された反射膜と、を備え、
前記細長開口部が、前記1ユニット部の長手方向に沿って、前記1ユニット部の一端から他端まで延びていることを特徴とする拡散反射板。 - 請求項1に記載のフォトマスクを介して、基板上に塗布されたフォトレジストにプロキシミティー露光を施す工程と、前記フォトレジストを現像及び熱処理することにより、前記フォトレジスト上に凹凸表面を形成すると共に前記フォトレジストに細長開口部を形成する工程と、前記凹凸表面上に反射膜を形成する工程と、を備えることを特徴とする拡散反射板の製造方法。
- 請求項2に記載の拡散反射板と、前記拡散反射板上に形成された複数の着色樹脂領域と、を備えることを特徴とするカラーフィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003173617A JP4512328B2 (ja) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | フォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003173617A JP4512328B2 (ja) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | フォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005010395A JP2005010395A (ja) | 2005-01-13 |
JP4512328B2 true JP4512328B2 (ja) | 2010-07-28 |
Family
ID=34097392
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003173617A Expired - Fee Related JP4512328B2 (ja) | 2003-06-18 | 2003-06-18 | フォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4512328B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008305882A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Seiko Epson Corp | レジストパターンの形成方法及び半導体装置の製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11337931A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-10 | Seiko Epson Corp | 液晶装置及び電子機器 |
JP2000056326A (ja) * | 1998-06-05 | 2000-02-25 | Seiko Epson Corp | 液晶装置及び電子機器 |
JP2001174797A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-06-29 | Kyocera Corp | 半透過型液晶表示装置 |
JP2002162645A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-06-07 | Sony Corp | 半透過型液晶表示装置 |
JP2003029393A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスク、それを用いたパターン形成方法およびリソグラフィ方法 |
JP2003186033A (ja) * | 2001-12-17 | 2003-07-03 | Kyocera Corp | 液晶表示装置 |
-
2003
- 2003-06-18 JP JP2003173617A patent/JP4512328B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11337931A (ja) * | 1998-05-22 | 1999-12-10 | Seiko Epson Corp | 液晶装置及び電子機器 |
JP2000056326A (ja) * | 1998-06-05 | 2000-02-25 | Seiko Epson Corp | 液晶装置及び電子機器 |
JP2001174797A (ja) * | 1999-12-21 | 2001-06-29 | Kyocera Corp | 半透過型液晶表示装置 |
JP2002162645A (ja) * | 2000-09-14 | 2002-06-07 | Sony Corp | 半透過型液晶表示装置 |
JP2003029393A (ja) * | 2001-07-12 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | マスク、それを用いたパターン形成方法およびリソグラフィ方法 |
JP2003186033A (ja) * | 2001-12-17 | 2003-07-03 | Kyocera Corp | 液晶表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005010395A (ja) | 2005-01-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7826010B2 (en) | Color filter substrate and method of manufacturing the same | |
US8241935B2 (en) | Method of fabricating liquid crystal display device having concave reflector | |
JP2007114770A (ja) | アレイ基板及びその製造方法並びにそれを有する液晶表示装置 | |
JP2000284272A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP3844846B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JP2000010124A (ja) | 反射型液晶表示装置およびその製造方法 | |
KR100529657B1 (ko) | 액정 표시장치 및 그 제조방법 | |
KR101008860B1 (ko) | 포토마스크 및 확산반사판 | |
JP3394925B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
JP4512328B2 (ja) | フォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタ | |
TWI250330B (en) | Manufacturing method of electro-optical device substrate and manufacturing method of electro-optical device | |
JP3569200B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JP4342342B2 (ja) | カラーフィルター、それを用いた表示装置およびそれらの製造方法 | |
JP2005024754A (ja) | フォトマスク、拡散反射板及びその製造方法並びにカラーフィルタ | |
KR20160050195A (ko) | 액정표시장치 및 그의 제조방법 | |
JP2001174797A (ja) | 半透過型液晶表示装置 | |
JP3566874B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
JP2005215642A (ja) | フォトマスク及び拡散反射板の製造方法 | |
JP4336521B2 (ja) | 拡散反射板の製造方法 | |
JP4311925B2 (ja) | 拡散反射板 | |
JP3610060B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
JP4206209B2 (ja) | 金属パターン付き基板の製造方法、金属パターン付き基板、液晶表示装置用金属パターン付き基板の製造方法、液晶表示装置用金属パターン付き基板および液晶表示装置 | |
JP2005018008A (ja) | 半透過型カラー液晶表示素子および反射型カラー液晶表示素子とその製造方法 | |
JP2004347990A (ja) | 拡散反射板、カラーフィルタ、フォトマスク、及び、拡散反射板の製造方法 | |
JPH10240171A (ja) | 液晶表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060605 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060609 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090901 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091030 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100413 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100510 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140514 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |