JP4498181B2 - スイッチアレイ - Google Patents
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- 第1の配線層と、前記第1の配線層に立体的に交差する第2の配線層と、前記第1の配線層と前記第2の配線層との交差領域に設けられ、前記第1および第2の配線層を選択的に接続または切断する接続構造とを備えたスイッチアレイであって、
前記接続構造は、変形部材または接続配線層のいずれか一方を含み、
前記接続構造が変形部材の場合は、その一端が前記第1の配線層に接続され、その他端が前記第2の配線層に間隔を隔てて絶縁状態で対面し、変形することで前記他端が前記第2の配線層に電気的に接続されてその状態を維持し、
前記接続構造が接続配線層の場合は、
その一端が前記第1の配線層に接続され、その他端が前記第2の配線層に接続され、切断されることにより前記第1の配線層と前記第2の配線層との接続を遮断する、
または前記第1の配線層と前記第2の配線層とが間隔を隔てて絶縁状態で対面し、前記第1の配線層と前記第2の配線層との交差領域には、貫通穴が設けられ、前記貫通穴に導電体を挿入することにより前記第1の配線層と前記第2の配線層とを接続する、スイッチアレイ。 - 間隔を隔てて設けられる第1の基板と、第2の基板とを含み、
前記第1の基板には、前記第1の配線層が設けられており、かつ前記変形部材の他端側に対応する位置に貫通穴が形成されており、
前記接続構造は、前記貫通穴を覆うように配置された接続維持部材を含み、
前記接続維持部材は、前記貫通穴を通過して変形して前記変形部材を押圧するものである、請求項1に記載のスイッチアレイ。 - 前記接続維持部材は、加熱されることにより変形して前記変形部材を押圧するものである、請求項2に記載のスイッチアレイ。
- 前記接続維持部材は加熱変形特性を有し、加熱することにより部材自身が膨張,収縮,変形し、前記変形部材を押圧するものである、請求項2に記載のスイッチアレイ。
- 前記接続維持部材は、変形した前記変形部材と前記第2の配線層との接続状態を粘着力により維持する粘着性部材を含む、請求項2に記載のスイッチアレイ。
- さらに、空間の上に延在する膜を含み、
前記接続配線層は、前記膜の上に形成されており、機械的圧力を加えて切断される、請求項1に記載のスイッチアレイ。 - 前記接続配線層は、前記第1および第2の配線層に比べて抵抗成分の大きな配線層であって、前記第1および第2の配線層間に大電流を流すことで溶断される、請求項1に記載のスイッチアレイ。
- 前記変形部材は、加圧することでその加圧された部分のみが導電性を有する導電性部材を備え、
前記接続構造は、前記導電性部材を加圧することで前記第1の配線層と、前記第2の配線層とを接続する、請求項1に記載のスイッチアレイ。 - 前記接続構造は、前記第1および第2の配線層に設けられる電極であって、さらに
予め定める電極以外の電極上に設けられる絶縁物を含む、請求項8に記載のスイッチアレイ。 - 前記導電性部材は、絶縁性の弾性シート内に導電性粒子を混入して形成されている、請求項8または9に記載のスイッチアレイ。
- 前記第1の配線層に絶縁状態で立体的に交差する第3の配線層を含み、
前記接続構造は、前記第1の配線層と前記第3の配線層との交差領域に設けられ、前記第1の配線層と前記第3の配線層とを選択的に接続し、
前記第1の配線層は、前記第3の配線層に立体的に交差する部分が変位してその状態を維持可能に設けられていて、選択的に変位した部分が交差部分における電気的接続を実現する、請求項1に記載のスイッチアレイ。 - 前記第1の配線層は、枝分かれして前記第2および第3の配線層に立体的に交差する第1分岐層および第2分岐層を含み、
前記第1分岐層および前記第2分岐層は、それぞれ変位してその状態を維持可能に設けられていて、変位した分岐層が前記交差部分における電気的接続を実現している、請求項11に記載のスイッチアレイ。
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DE102011103598B4 (de) * | 2011-05-30 | 2017-04-06 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Laminat zur Herstellung eines Schalters |
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FR2996352B1 (fr) * | 2012-10-02 | 2014-10-31 | Alstom Technology Ltd | Dispositif de contact electrique de type doigt de contact a fort courant nominal |
US9322764B2 (en) * | 2013-06-10 | 2016-04-26 | Xerox Corporation | Adsorption material-based humidity sensor |
WO2014199456A1 (ja) * | 2013-06-12 | 2014-12-18 | 株式会社メイコー | 放熱基板の製造方法 |
JP2017091917A (ja) * | 2015-11-13 | 2017-05-25 | レノボ・シンガポール・プライベート・リミテッド | スイッチ装置及び電子機器 |
US11296437B1 (en) * | 2020-10-12 | 2022-04-05 | Pablo Oscar Olivera Brizzio | Optimally interconnectable terminal matrix with circuit identification |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03127736U (ja) * | 1990-02-23 | 1991-12-24 | ||
JP2000188049A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Nec Corp | マイクロマシンスイッチおよびその製造方法 |
JP2004200008A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Fujitsu Ltd | 電気接点装置およびその製造方法 |
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---|---|---|---|---|
JPS5815957B2 (ja) * | 1979-11-20 | 1983-03-28 | 松下電器産業株式会社 | 接点付プリント配線基板の製造方法 |
JPH03127736A (ja) | 1989-10-13 | 1991-05-30 | Koushindou:Kk | 漢方薬特殊加味桂枝茯苓丸料製剤及び製法 |
JPH07161255A (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-23 | Fujikura Ltd | メンブレンスイッチ |
JPH07245034A (ja) * | 1994-03-06 | 1995-09-19 | Yokogawa Hewlett Packard Ltd | スイッチの接点構造およびスイッチマトリックスの接点構造 |
US5723834A (en) * | 1996-11-19 | 1998-03-03 | Morton International, Inc. | Horn membrane switch with rupturable strain relief bridging connector |
JPH10283893A (ja) | 1997-04-03 | 1998-10-23 | Omron Corp | 超小型リレー埋設基板 |
US6307169B1 (en) * | 2000-02-01 | 2001-10-23 | Motorola Inc. | Micro-electromechanical switch |
US6768412B2 (en) * | 2001-08-20 | 2004-07-27 | Honeywell International, Inc. | Snap action thermal switch |
AU2002359369A1 (en) * | 2001-11-09 | 2003-05-26 | Coventor, Incorporated | Trilayered beam mems device and related methods |
US6717825B2 (en) * | 2002-01-18 | 2004-04-06 | Fci Americas Technology, Inc. | Electrical connection system for two printed circuit boards mounted on opposite sides of a mid-plane printed circuit board at angles to each other |
KR100467318B1 (ko) * | 2002-06-04 | 2005-01-24 | 한국전자통신연구원 | 저항식 전자기계적 접촉을 이용하는 미세전자기계적 소자 |
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JP2000188049A (ja) * | 1998-12-22 | 2000-07-04 | Nec Corp | マイクロマシンスイッチおよびその製造方法 |
JP2004200008A (ja) * | 2002-12-18 | 2004-07-15 | Fujitsu Ltd | 電気接点装置およびその製造方法 |
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