JP4483080B2 - 集積回路装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、特性調整用端子を有する集積回路装置に関するもので、特にその特性調整用端子におけるノイズの除去方法に関する。
【0002】
【従来技術】
従来、圧力センサなどのブリッジ回路を有するセンサチップに、ブリッジ回路からの信号を処理する信号処理回路を集積化した集積回路装置において、特性調整用端子を設けて、集積回路装置の特性を調整したものがある。
【0003】
ところが、特性調整用端子は、特性を調整した後も集積回路装置に残存するため、集積回路装置の外部から特性調整用端子を伝って、静電気などのノイズが集積回路に誘導され、それによって集積回路の内部に設けられたブリッジ回路のバランスが崩れ、集積回路の出力が変動してしまうという欠点があった。
【0004】
そこで、特開昭63−187669号に開示されているように、特性調整後に、特性調整用端子と集積回路とを接続している抵抗素子を、レーザなどによって切断して、特性調整用端子と集積回路との導通を遮断することで、上記問題点を解決していた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、特性調整用端子が電気的に浮いた状態になることによって、特性調整用端子の放電ルートがなくなり、静電気などのノイズが特性調整用端子に帯電してしまう。
【0006】
帯電したノイズが小さいと集積回路に影響はないが、帯電したノイズが数十ボルト(例えば−30ボルト)になると、特性調整用端子の配線と近接に配置されたオペアンプなどの集積回路内部の素子の配線との間に形成された寄生容量が無視できなくなり、それによってオペアンプなどの集積回路内部の素子が誤作動を起こし、集積回路の出力が変動するという問題がある。
【0007】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑み、特性を調整後に、特性調整用端子と集積回路との導通を遮断した集積回路装置において、耐ノイズ強度の向上を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の集積回路装置は、少なくとも出力端子と接地端子とを有し、圧力センサのブリッジ回路を有するセンサチップにブリッジ回路からの信号を処理する信号処理回路を集積化した集積回路装置において、ブリッジ回路から出力される信号をモニタするための特性調整用端子と、集積回路装置と特性調整用端子とを接続し、特性調整用端子を用いてブリッジ回路の特性を調整した後に、集積回路装置と特性調整用端子との導通を遮断する接続部と、特性調整用端子と接地端子との間に接続されたツェナーダイオードと、を備えることを特徴とする。
【0009】
特性調整用端子と接地端子との間にツェナーダイオードを接続したことにより、特性調整用端子と接地端子との間の導通がとれ、特性調整用端子に帯電したノイズが、ツェナーダイオードを伝って接地端子に導かれるため、特性調整用端子における耐ノイズ強度を向上させることができる。
【0010】
特性調整用端子における耐ノイズ強度が向上することによって、特性調整用端子と近接に配置された、オペアンプなどの集積回路内部の素子が誤作動を起こすことがなくなるため、集積回路の出力変動を抑制することができる。
【0011】
請求項2記載の集積回路装置は、特性調整用端子と接地端子との間に接続されたツェナーダイオードは、センサチップの内部に設けられたことを特徴としている。
【0012】
センサチップの外部にツェナーダイオードを設けると、部品点数が増加してしまうが、ツェナーダイオードをセンサチップの内部に設けたことにより、部品点数の増加を防止できる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を圧力センサに適用した一実施形態を図面に従って説明する。
【0017】
尚、本実施形態の圧力センサは、例えば、車輌用のエンジンにおけるオイル圧の検出に用いられる。
【0018】
図1には、本実施形態の圧力センサ16の平面構造を示す。また、図2(a)には、図1における要部拡大図を示し、図2(b)には、図1におけるA矢視図を示す。
【0019】
まず、ケースプラグ1の内部には、コネクタピン2と特性調整用端子3とが予め設けられるとともに、ケースプラグ1の一方の面から、コネクタピン2及び特性調整用端子3が外部に露出している。
【0020】
尚、コネクタピン2は電源端子、接地端子、出力端子の3端子からなる(図1には1端子のみ図示)。
【0021】
以下の説明において、接地端子を14とする。
【0022】
さらに、ケースプラグ1とコネクタピン2及び特性調整用端子3との気密性を保つために、シリコン系樹脂からなるピンシール4によって、ケースプラグ1とコネクタピン2及び特性調整用端子3とが接着されている。
【0023】
また、ケースプラグ1の他方の面には、圧力センサチップ5が接着剤により接着され、さらに、アルミニウムよりなるボンディングワイヤ6により、圧力センサチップ5とコネクタピン2及び特性調整用端子3とが電気的に接続されている。
【0024】
そして、圧力センサチップ5内に設けられたブリッジ回路を平衡状態にするために、圧力センサチップ5上に形成された薄膜抵抗をレーザートリミングし、その時ブリッジ回路から出力される信号を、特性調整用端子3を用いてモニタすることで、圧力センサチップ5の特性を調整する。
【0025】
尚、この特性調整は、圧力センサチップ5から出力される出力値が規格値になるように調整される。また、その他には、温度特性やオフセット調整が行われる。
【0026】
その後、圧力センサチップ5の一部拡大図である図2(a)に示されるように、圧力センサチップ5の内部において、特性調整用端子3に接続されているボンディングワイヤ6aと圧力センサチップ5の回路本体12とを接続しているトリミング抵抗13を、レーザーにより切断し、特性調整用端子3と回路本体12との導通を遮断する。
【0027】
最後に、メタルダイヤフラム7とリングウェルド8とが溶接により固着されているハウジング9とケースプラグ1とを、Oリング10と封入オイル11とによって接着することにより、本実施形態の圧力センサ16は完成となる。
【0028】
ところが、このとき特性調整用端子3は、電気的に浮いた(フローティング)状態になるため、特性調整用端子3の放電ルートがなくなり、静電気などのノイズが特性調整用端子3に帯電してしまう。
【0029】
帯電したノイズが小さいと圧力センサチップ5に影響はないが、帯電したノイズが数十ボルト(例えば−30ボルト)になると、特性調整用端子3の配線と近接に配置されたオペアンプなどの回路本体12内部の素子の配線との間に形成された寄生容量が無視できなくなり、それによってオペアンプなどの回路本体12内部の素子が誤作動を起こし、圧力センサチップ5の出力が変動するという問題がある。
【0030】
そこで、本実施形態では、図2(a)に示されるように、特性調整用端子3と接地端子14との間に、ツェナーダイオード15を設けている。
【0031】
具体的には、圧力センサチップ5内において、特性調整用端子3に接続されるボンディングワイヤ6aと、接地端子14に接続されるボンディングワイヤ6bとの間に、ツェナーダイオード15を設けている。
【0032】
特性調整用端子3と接地端子14との間にツェナーダイオード15を設けたことにより、特性調整用端子3に高電圧が印加された際には、特性調整用端子3と接地端子14との間の導通がとれ、特性調整用端子3に帯電したノイズが、ツェナーダイオード15を伝って接地端子14に導かれるため、特性調整端子3における耐ノイズ強度が向上する。
【0033】
尚、圧力センサチップ5の特性調整は低電圧で行っているため、ツェナーダイオード15はブレークダウンせず、特性調整用端子3と接地端子14とを電気的に切り離す役目も果たす。
【0034】
特性調整端子3における耐ノイズ強度が向上することによって、特性調整用端子3と近接に配置された、オペアンプなどの回路本体12内部の素子が誤作動を起こすことがなくなるため、圧力センサチップ5の出力変動を抑制することができる。
【0035】
尚、ノイズの電圧が正の場合には、ノイズの電圧がツェナーダイオード15の降伏電圧を超えると、特性調整端子3と接地端子14との間が導通し、ノイズの電圧が負の場合には、ツェナーダイオード15に対し順方向バイアスとなるため、PN接合の順方向電圧以上で特性調整端子3と接地端子14との間が導通し、特性調整端子3に回路本体12に影響を及ぼすほどのノイズが帯電してしまうことを防止できる。
【0036】
尚、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、様々な態様に適用可能である。
【0037】
例えば、本実施形態では、ツェナーダイオード15を圧力センサチップ5の内部に設けたが、図2(b)に示されるように、圧力センサチップ5の外部にツェナーダイオード15を設けた構造であっても、本実施形態と同様の効果が得られる。
【0038】
ただし、圧力センサチップ5の外部にツェナーダイオード15を設けると、部品点数の増加という問題に繋がる。
【0039】
よって、ツェナーダイオード15は、圧力センサチップ5の内部に設けた方が好ましい。
【0040】
また、本実施形態では、耐ノイズ強度を向上させるために、ツェナーダイオード15を設けたが、このツェナーダイオード15の代わりに高抵抗素子を用いた構造であっても、本実施形態と同様の効果が得られる。尚、高抵抗素子の抵抗値としては1MΩ程度が望ましい。
【0041】
この高抵抗素子の抵抗値は、圧力センサチップ5の特性調整時、特性調整用端子3を用いて、ブリッジ回路から出力される信号をモニタする際に、影響が出ないように高い値とする。
【0042】
ただし、高抵抗素子はツェナーダイオード15に比べてサイズが大きいため、高抵抗素子を用いるとチップサイズの増加に繋がる。
【0043】
よって、特性調整用端子3と接地端子14との間に用いる電子素子としては、ツェナーダイオード15を用いるのが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態の圧力センサの平面構造を示す図である。
【図2】(a)は、図1の要部拡大図であり、(b)は、図1におけるA矢視図である。
【符号の簡単な説明】
1…ケースプラグ、
2…コネクタピン、
3…特性調整用端子、
4…ピンシール、
5…圧力センサチップ、
6…ボンディングワイヤ、
7…メタルダイヤフラム、
8…リングウェルド、
9…ハウジング、
10…Oリング、
11…封入オイル、
12…回路本体、
13…トリミング抵抗、
14…接地端子、
15…ツェナーダイオード、
16…圧力センサ
Claims (2)
- 少なくとも出力端子と接地端子とを有し、圧力センサのブリッジ回路を有するセンサチップにブリッジ回路からの信号を処理する信号処理回路を集積化した集積回路装置において、
前記ブリッジ回路から出力される信号をモニタするための特性調整用端子と、
前記集積回路装置と前記特性調整用端子とを接続し、前記特性調整用端子を用いて前記ブリッジ回路の特性を調整した後に、前記集積回路装置と前記特性調整用端子との導通を遮断する接続部と、
前記特性調整用端子と前記接地端子との間に接続されたツェナーダイオードと、
を備えることを特徴とする集積回路装置。 - 前記ツェナーダイオードは、前記センサチップの内部に設けられたことを特徴とする請求項1に記載の集積回路装置。
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