JP4478530B2

JP4478530B2 - 微小寸法測定機

Info

Publication number: JP4478530B2
Application number: JP2004233284A
Authority: JP
Inventors: 智訓濱砂
Original assignee: 株式会社ソキア・トプコン
Priority date: 2004-08-10
Filing date: 2004-08-10
Publication date: 2010-06-09
Anticipated expiration: 2024-08-10
Also published as: TWI335415B; TW200606390A; KR20060014346A; CN1734229A; KR101119873B1; CN100455988C; JP2006052971A

Description

本発明は、被測定物を被写体として撮像し、この撮像により得られた画像を処理して被測定物の微小寸法を測定するように構成した微小寸法測定機に関する。

被測定物の微小寸法を測定するものとして、例えば、液晶モニタが形成されたフラットパネル上の各液晶モニタを臨む空間を移動空間として、検出器を三次元方向に移動させ、各液晶モニタ上に形成されたパターンの線幅などを検出器で測定するようにしたものがある。この種の微小寸法測定機は、検出器に撮像カメラ等を搭載し、撮像カメラで各液晶モニタを撮像し、この撮像によって得られた画像を処理することで、各液晶モニタ上に形成されたパターンの線幅などを測定することができる。

しかし、１台の検出器で複数の液晶モニタを測定する構成では、検出器を各液晶モニタの部位まで移動させるのに時間を要し、フラットパネルに対する測定時間を短縮することができない。複数の液晶モニタが形成されたフラットパネルの測定時間（タクトタイム）を短縮するには、検出器を複数台用意し、各検出器を各液晶モニタまで同時に移動させる構成を採用することが考えられる。

例えば、フラットパネルを測定機のＸ−Ｙ座標（機械座標）に対して平行に配置し、Ｘ軸を構成するＸ軸フレームに複数の検出器を摺動自在に配置し、複数の検出器が配置されたＸ軸フレームをＹ軸駆動部によってＹ軸方向に沿って移動させることで、各検出器を各液晶モニタの部位まで移動させることができる。

しかし、Ｘ軸フレームに複数の検出器を摺動自在に配置し、複数の検出器が配置されたＸ軸フレームをＹ軸方向に沿って移動させる構成では、各検出器をＸ軸方向に沿って個別に動かすことはできるが、Ｙ方向には個別に動かすことはできない。このため、フラットパネルが測定機のＸ−Ｙ座標に平行に配置されず、例えば、Ｙ軸に対して傾斜した状態で配置されたときには、各検出器を同時にＹ軸方向に沿って移動させた後、各検出器をＸ軸方向に沿って個別に移動させても、一方の検出器を指定の測定位置に位置決めすることはできるが、他方の検出器を指定の測定位置に位置決めすることはできず、各検出器によって複数のパターンを同時に測定できなくなる。

また、フラットパネルをＸ−Ｙ座標に対して平行に配置できたとしても、いずれかの測定部位におけるパターンが登録パターンに対して微小にずれているときには、各検出器を測定部位まで移動させてパターンを測定しても、パターンの正確な寸法を測定することはできない。すなわち、パターンが登録パターンに対して微小にずれているときには、ずれに応じて各検出器の位置を修正しなければ、複数のパターンを正確に測定することはできない。

本発明は、前記従来の課題に鑑みて為されたものであり、その目的は、被測定物が測定機の機械座標に対して平行に配置されず、被測定物が傾斜して配置されたり、あるいは被測定物上のパターンが指定の位置から微小にずれていたりしても、複数のパターンを正確に、且つ同時に測定することになる。

前記目的を達成するために、請求項１に係る発明の微小寸法測定機は、被測定物上の複数のパターンをそれぞれ撮像する複数の検出部と、前記複数の検出部の撮像による画像を処理して前記複数のパターンに関する微小寸法を算出する画像処理部と、前記被測定物の被測定領域を臨む空間を少なくとも移動空間として、前記複数の検出部を前記移動空間において、前記被測定物の測定面に平行で互いに直交するＸ軸及びＹ軸の二次元の方向に沿って移動させる駆動部とを備え、前記駆動部は、前記二次元のうちＹ軸方向に沿って前記複数の検出部全体を移動させる主駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＸ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＸ方向用補助駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＹ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＹ方向用補助駆動部とから構成した。

（作用）被測定物上の複数のパターンを各検出部によって撮像し、この撮像による画像を処理して各パターンに関する微小寸法を測定するに際して、複数の検出部全体をＹ軸方向に沿って移動させるとともに、複数の検出部をそれぞれＸ軸方向、Ｙ軸方向に沿って非同期で移動させるようにしたため、被測定物が測定機のＸ−Ｙ座標に対して平行に配置されず、被測定物がＹ軸に対して傾いて配置されたり、あるいは被測定物上のパターンの位置が指定の位置から微小にずれていたりしても、各検出部を二次元方向に沿ってそれぞれ非同期で移動させることで、各検出部の位置を微調整することができ、複数のパターンを正確にかつ同時に測定することができ、タクトタイムの短縮を図ることが可能になる。また、複数の測定ポイントを同時に測ることができ、これによってもタクトタイムの短縮を図ることが可能になる。

請求項２に係る発明の微小寸法測定機は、被測定物上の複数のパターンをそれぞれ撮像する複数の検出部と、前記複数の検出部の撮像による画像を処理して前記複数のパターンに関する微小寸法を算出する画像処理部と、前記被測定物の被測定領域を臨む空間を少なくとも移動空間として、前記複数の検出部を前記移動空間において、前記被測定物の測定面に平行で互いに直交するＸ軸及びＹ軸と、前記Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸の三次元の方向に沿って移動させる駆動部とを備え、前記駆動部は、前記三次元のうちＹ軸方向に沿って前記複数の検出部全体を移動させる主駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＸ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＸ方向用補助駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＹ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＹ方向用補助駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＺ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＺ方向用補助駆動部とを備えて構成した。

（作用）複数の検出部全体を各パターン近傍まで移動させた後で、各検出部をＸ方向とＹ方向あるいはＺ方向に沿っ非同期で移動させることで、各検出部の位置を個別に微調整することができる。

請求項３に係る発明の微小寸法測定機は、前記複数のＸ方向用補助駆動部、前記複数のＹ方向用補助駆動部または前記複数のＺ方向用補助駆動部のうち少なくともいずれか一つは、Ｘ軸、Ｙ軸またはＺ軸方向のうち指定の方向に沿って配置されたマグネットと、前記各検出部に配置されたコイルとを備えたリニアモータで構成した。

（作用）補助駆動部をマグネットとコイルとを備えたリニアモータで構成することで、同一の軸に複数の検出部が配置されても、各検出部を非同期で移動させることができ、構成の簡素化を図ることができる。

以上の説明から明らかなように、請求項１に係る微小寸法測定機によれば、タクトタイムの短縮を図ることが可能になる。

請求項２によれば、各検出部の位置を個別に微調整することができる。

請求項３によれば、構成の簡素化を図ることができる。

次に、本発明の実施形態を、実施例に基づいて説明する。図１は、本発明の一実施例を示す微小寸法測定機の斜視図、図２は、本発明の一実施例を示す微小寸法測定機の斜視図であって、検出部を省略したときの状態を示す斜視図、図３は、フラットパネルの平面図、図４は、測定パターンの拡大平面図、図５は、フルクローズドループ制御系の構成図、図６は、フラットパネルが傾斜したときの状態を示す平面図である。

これらの図において、微小寸法測定機１６は、三次元測定機として、Ｘ−Ｙ座標（機械座標）のＸ軸を構成するＸ軸用フレーム１８と、Ｙ軸を構成する一対のＹ軸用フレーム２０と、基台２２と、基台２２上に固定された測定テーブル２４と、Ｘ軸用フレーム１８に非同期で移動可能に配置された複数の検出部２６、２８、各検出部２６、２８をＸ軸方向に沿って移動させるためのＸ軸駆動部３０と、各検出部２６、２８をＹ軸方向に沿って移動させるためのＹ軸駆動部３２、各検出部２６、２８をＺ軸方向に沿って移動させるためのＺ軸駆動部３４と、各駆動部の駆動を制御するための演算などを行なうパーソナルコンピュータ（以下、ＰＣと称する。）３６と、ＰＣ３６の処理結果などを表示する表示装置３８、ＰＣ３６に各種の情報を入力するためのキーボード４０、各駆動部の駆動方向などを示すためのコントロールボックス４２などを備えて構成されている。なお、Ｘ軸及びＹ軸は前記被測定物の測定面に平行で互いに直交するように定めており、Ｚ軸はＸ軸及びＹ軸に直交するように定めている。

Ｘ軸フレーム１８の軸方向両端部には摺動部（図示せず）が形成されており、各摺動部は、各Ｙ軸フレーム２０に沿って摺動可能に構成されている。Ｘ軸用フレーム１８は、Ｙ軸駆動部３２の駆動によってＹ軸方向に沿って移動できるようになっており、Ｙ軸駆動部３２は、複数のＹ軸リニアモータ用マグネット３２ａとＹ軸用リニアモータ用コイル３２ｂを備えたリニアモータで構成されている。リニアモータのコイル３２ｂが通電され、コイル３２ｂに対する通電量および通電方向がＰＣ３６によって制御されると、Ｘ軸フレーム１８がＹ軸方向（Ｙ軸用フレーム２０）に沿って移動するようになっている。すなわち、Ｙ軸駆動部３２の駆動により、検出部２６、２８全体がＸ軸フレーム１８の移動に伴ってＹ軸方向に沿って移動できるようになっている。この場合、Ｙ軸駆動部３２は、検出部２６、２８をＹ軸方向に沿って移動させる主駆動部を構成することになる。

また、Ｘ軸用フレーム１８には、各検出部２６、２８をＸ軸方向（Ｘ軸用フレーム１８）に沿って非同期で移動させるためのＸ軸駆動部３０が配置されている。Ｘ軸駆動部３０は、Ｘ軸用フレーム１８に沿って配置された複数個のＸ軸リニアモータ用マグネット３０ａと、各検出部２６、２８に搭載されたＸ軸リニアモータ用コイル３０ｂとを備えて構成されている。各コイル３０ｂに対する通電量および通電方向をＰＣ３６によって制御することで、各検出部２６、２８をＸ軸方向に沿って非同期（独立）で移動させることができる。この場合、リニアモータで構成されたＸ軸駆動部３０は、各検出部２６、２８をＸ軸方向に沿って非同期で移動させるＸ方向用補助駆動部を構成することになる。

Ｘ軸用フレーム１８とＹ軸用フレーム２０が固定された基台２２は、ベース上に固定された複数の枠体４４によって支持されており、基台２２上には、微小寸法測定機１６の機械座標となるＸ−Ｙ座標を構成する測定テーブル２４が配置されている。測定テーブル２４は両端側がテーブル枠２４ａで支持されており、測定テーブル２４上には、図３に示すように、被測定物としてのフラットパネル４６が搭載されるようになっている。略長方形形状に形成されたフラットパネル４６には、測定対象としての液晶モニタ４８が複数個形成されている。フラットパネル４６の左端側の上部と下部には、アライメントマークＭ１、Ｍ２が形成されている。各液晶モニタ４８には測定ポイント（管理ポイント）Ｐ１〜Ｐ４が設定されているとともに、図４に示すように、駆動回路などを構成するパターンＰＴ１、ＰＴ２、…が形成されている。

検出部２６、２８は、フラットパネル４６の被測定領域に配置された液晶モニタ４８を臨む空間を少なくとも移動領域として、この移動領域において三次元方向に沿って移動可能に配置されており、各検出部２６、２８は検出部本体５０を備えている。各検出部本体５０の鏡筒５２内には、フラットパネル４６上の液晶モニタ４８を被写体として、液晶モニタ４８上のパターンを撮像するための撮像手段として、対物レンズ５４、ＣＣＤカメラ５６が収納されている。対物レンズ５４、ＣＣＤカメラ５６は、電子顕微鏡としての機能を備え、液晶モニタ４８上のパターンを拡大して撮像し、撮像した画像に関する信号をケーブル（図示せず）を介してＰＣ３６に転送するようになっている。また、各鏡筒５２は、撮像手段のフォーカシングのために、撮像手段をＰＣ３６からの制御信号に従ってＺ軸方向に沿って移動させるためのＺ方向用補助駆動部としてのＺ軸サーボモータ５８にそれぞれ連結されている。この場合、一方のＺ軸サーボモータ５８がＺ１軸サーボモータとして機能し、他方のＺ軸サーボモータ５８がＺ２軸サーボモータとして機能し、一方の鏡筒５２内の対物レンズ５４とＣＣＤカメラ５６がＺ１軸に沿って往復動でき、他方の鏡筒５２内の対物レンズ５４とＣＣＤカメラ５６がＺ２軸に沿って往復動できるようになっている。

さらに、各検出部本体５０には、ＰＣ３６からの制御信号に応答して、各検出部２６、２８をＹ軸方向に沿って非同期で移動させるＹ方向用補助駆動部としてのＹ軸サーボモータ６０が設けられている。一方のＹ軸サーボモータ６０は、Ｙ１Ｓサーボモータとして、一方の検出部２６をＹ軸用フレーム２０と平行な補助用Ｙ軸（Ｙ１Ｓ軸）に沿って往復動させることができ、他方のＹ軸サーボモータ６０は、Ｙ２Ｓサーボモータとして、他方の検出部２８をＹ軸用フレーム２０と平行な補助用Ｙ軸（Ｙ２Ｓ軸）に沿って往復動させることができるようになっている。

ここで、各検出部２６、２８のＸ軸方向における位置決を高精度に行なうために、Ｘ軸駆動部３０には、図５に示すように、フルクローズドループ（ＦｕｌｌＣｌｏｓｅｄＬｏｏｐ）制御系が構成されている。

具体的には、Ｘ軸（Ｘ軸フレーム１８）と平行にマグネット３０ａが複数個配置されているとともに、Ｘ軸と平行に、各検出部本体５０の移動を案内するためのリニアガイド６２とガラススケール６４が配置されている。そして、各検出部本体５０には位置センサ（リニアセンサ）６６が搭載されおり、各位置センサ６６はグラススケール６４の目盛りを検出し、検出信号をスケールカウンタ６８に出力するようになっている。スケールカウンタ６８は位置センサ６６の検出信号に応答してグラススケール（リニアスケール）６４上の目盛りの数をカウントし、カウント値をモニタドライバ７０に出力するようになっている。モニタドライバ７０は、リニアモータとＰＣ３６に各検出部本体５０の位置情報を出力し、ＰＣ３６は、位置情報を基に各検出部本体５０上のコイル３０ｂに対する通電量および通電方向を制御することができるとともに、各検出部本体部５０のＸ軸方向における位置決めを高精度に制御することができるようになっている。

また、Ｙ軸駆動部３２においても、Ｘ軸駆動部３０と同様に、位置センサ６６ａ等を用いてフルクローズドループ制御系を構成することで、各検出部２６、２８のＹ軸方向における位置決めを高精度に行うことができる。

上記構成による微小寸法測定機１６を用いて、フラットパネル４６上に形成された液晶モニタ４８のパターンを測定するに際しては、図３に示すように、測定テーブル２４上に配置されたフラットパネル４６のアライメントマークＭ１、Ｍ２の位置を検出するために、例えば、検出部２６をアライメントマークＭ１、Ｍ２に対応する位置に配置して、Ｘ軸フレーム１８をＹ軸方向に沿って移動させ、検出部２６によってアライメントマークＭ１、Ｍ２を順次撮像し、この撮像による画像をＰＣ３６で処理して、フラットパネル４６がＸ−Ｙ座標に対して平行に配置されているか否かの判定を行なう。フラットパネル４６がＸ−Ｙ座標に対して平行に配置されていると判定されたときには、検出部２６、２８をそれぞれＸ軸フレーム１８の指定の位置に配置した状態でＸ軸フレーム１８をＹ軸方に沿って移動させ、まず、フラットパネル４６の左側上部に配置された液晶モニタ４８上に位置決めする。このとき検出部２６、２８をＸ軸フレーム１８に沿ってそれぞれ移動させ、各検出部２６、２８を測定ポイントＰ１、Ｐ２に対応した位置に位置決めする。さらに、各検出部２６、２８をＺ軸サーボモータ５８の駆動によってそれぞれＺ軸方向に移動させてフォーカシングを行う。このフォーカシングが行われたときには、各測定ポイントＰ１、Ｐ２をＣＣＤカメラ５６で撮像し、この撮像による画像をＰＣ３６で処理する。この場合、測定によって得られたパターンと予め登録された登録パターンとのパターンマッチングを行い、両者の間にずれがあるか否かの判定を行なう。両者の間にずれがないときには、各検出部２６、２８によって撮像された画像を処理し、図４に示すように、測定ポイントＰ１、Ｐ２におけるパターンＰＴ１、ＰＴ２の線幅などを測定する。この場合、ＰＣ３６は、ＣＣＤカメラ５６の撮像による画像を処理して複数のパターンに関する微小寸法を算出する画像処理部として機能する。これらの処理をＰＣ３６が各液晶モニタ４８の上の測定ポイントＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４について行ない、各測定ポイントＰ１〜Ｐ４を測定するときには、測定ポイントＰ１、Ｐ２と測定ポイントＰ３、Ｐ４におけるパターンＰＴ１、ＰＴ２の微小寸法をそれぞれ検出部２６、２８で同時に測定することで、タクトタイムを短縮することができる。

パターンマッチングにおいて両者の間に微小のずれがあるときには、検出部２６、２８のうちずれを検出した検出部２４または検出部２６をＹ軸サーボモータ６０の駆動によって微小範囲だけＹ軸（補助Ｙ軸）方向に移動させることによって、ずれを修正することができる。

一方、図６に示すように、フラットパネル４６上のアライメントマークＭ１、Ｍ２の計測によって、フラットパネル４６が微小寸法測定機１６のＸ−Ｙ座標に対して平行に配置されず、Ｙ軸（Ｙ軸用フレーム２０）に対して傾いた状態で配置されたと判定されたときには、Ｙ軸に対する傾きを補正するために、フラットパネル４６のＹ軸方向に対する傾きを基に各Ｙ軸サーボモータ６０を駆動して、各検出部２６、２８のＹ軸方向におけるオフセット量を修正する。この場合、検出部２８は、Ｘ−Ｙ座標の原点に対して検出部２６よりも離れた位置にあるので、検出部２６よりもＹ軸方向にわずかに移動した位置に位置決めされる。Ｘ−Ｙ座標の原点は、図１の左下側に便宜上設けてあるが、ＸＹの移動中心であってもよい。

各検出部２６、２８対するオフセット量が修正された後、各検出部２６、２８は、リニアモータの駆動によりＸ軸フレーム１８とともにＹ軸方向に沿って移動し、液晶モニター４８の測定ポイントＰ１、Ｐ２の上方に位置決めされる。このときＺ軸サーボモータ５８の駆動により、検出部２８がＺ軸方向に移動してフォーカシングが行なわれる。検出部２６、２８のＹ軸方向の原点は、検出部２６、２８をそれぞれＸ軸に沿って平行移動したとき、検出部の前後移動の中心である。また、検出部２６、２８がＸ軸に平行であれば、移動のどこの位置を原点としてもよい。この後、検出部２６、２８のＣＣＤ５６によって各測定ポイントＰ１、Ｐ２に対する撮像が実行されると、この撮像に伴う画像がＰＣ３６によって処理されるとともに、検出されたパターンと登録パターンとのパターンマッチングが行なわれる。このパターンマッチングにより両者の間に微小のずれがあると判定されたときには、ずれを検出した検出部２６または検出部２８に対して、ずれを修正するための処理が実行される。すなわち、ずれを修正するための制御信号に従ってＹ軸サーボモータ６０が駆動され、検出部２６または検出部２８のＹ軸（補助Ｙ軸）方向への移動によって、ずれが修正される。この場合、アライメントマークＭ１、Ｍ２を基準として、機械座標系から座標変換を行う。

この後、再度各検出部２６、２８よって測定ポイントＰ１、Ｐ２に対する撮像が行なわれ、この撮像によって得られた画像がＰＣ３６によって処理され、測定ポイントＰ１、Ｐ２上のパターンＰＴ１、ＰＴ２の微小線幅（ＣＤ）や重ね合わせ（ＯＬ）に関する測定が行なわれる。すなわち、微小寸法として、パターンの幅、大きさをミクロンオーダで測定する処理が実行される。

測定が終了した後は、パターンマッチングによって算出されたオフセット修正量を元に戻す処理を行い、次の測定ポイントＰ３、Ｐ４で測定するための処理に移行する。次の測定ポイントＰ３、Ｐ４においても、フラットパネル４６の傾きを基に各検出部２６、２８のＹ軸方向におけるオフセット量を修正するための処理を行い、同様な処理を繰り返す。

このように本実施例によれば、フラットパネル４６がＹ軸に対して傾いていたり、液晶モニタ４８のパターンが登録パターンに対して微小にずれていたりしても、検出部２６、２８を各サーボモータ６０の駆動によって非同期でＹ軸（補助用Ｙ軸）方向に沿って移動させることができるので、複数のパターンを正確にかつ同時に測定することができ、タクトタイムを短縮することが可能になる。

本実施例においては、各検出部２６、２８をＺ軸サーボモータの駆動によってＺ軸に沿って非同期（独立）で移動させることができるため、フォーカシングを正確に行なうことができ、複数のパターンをより正確に測定することができ、タクトタイムの短縮に寄与することができる。

また、Ｘ軸駆動部３０としてリニアモータを採用したため、検出部２６、２８をＸ軸方向に沿って、非同期で広範囲に亘って移動させることができるとともに、構成の簡素化を図ることができる。

本発明の一実施例を示す微小寸法測定機の斜視図である。本発明の一実施例を示す微小寸法測定機の斜視図であって、検出部を省略したときの状態を示す斜視図である。フラットパネルの平面図である。測定パターンの拡大平面図である。フルクローズドループ制御系の構成図である。フラットパネルが傾斜したときの状態を示す平面図である。

符号の説明

１６微小寸法測定機
１８Ｘ軸用フレーム
２０Ｙ軸用フレーム
２２基台
２４測定テーブル
２６、２８検出部
３０Ｘ軸駆動部（Ｘ方向用補助駆動部）
３２Ｙ軸駆動部（主駆動部）
３６ＰＣ
３８表示装置
４６フラットパネル
４８液晶モニタ
５０検出部本体
５６ＣＣＤカメラ
５８Ｚ軸サーボモータ（Ｚ方向用補助駆動部）
６０Ｙ軸サーボモータ（Ｙ方向用補助駆動部）

Claims

被測定物上の複数のパターンをそれぞれ撮像する複数の検出部と、前記複数の検出部の撮像による画像を処理して前記複数のパターンに関する微小寸法を算出する画像処理部と、前記被測定物の被測定領域を臨む空間を少なくとも移動空間として、前記複数の検出部を前記移動空間において、前記被測定物の測定面に平行で互いに直交するＸ軸及びＹ軸の二次元の方向に沿って移動させる駆動部とを備え、
前記駆動部は、前記二次元のうちＹ軸方向に沿って前記複数の検出部全体を移動させる主駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＸ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＸ方向用補助駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＹ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＹ方向用補助駆動部とから構成されてなる微小寸法測定機。
被測定物上の複数のパターンをそれぞれ撮像する複数の検出部と、前記複数の検出部の撮像による画像を処理して前記複数のパターンに関する微小寸法を算出する画像処理部と、前記被測定物の被測定領域を臨む空間を少なくとも移動空間として、前記複数の検出部を前記移動空間において、前記被測定物の測定面に平行で互いに直交するＸ軸及びＹ軸と、前記Ｘ軸及びＹ軸に直交するＺ軸の三次元の方向に沿って移動させる駆動部とを備え、
前記複数の検出部をそれぞれＸ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＸ方向用補助駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＹ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＹ方向用補助駆動部と、前記複数の検出部をそれぞれＺ軸方向に沿って非同期で移動させる複数のＺ方向用補助駆動部とを備えてなることを特徴とする微小寸法測定機。
請求項２に記載の微小寸法測定機において、前記複数のＸ方向用補助駆動部、前記複数のＹ方向用補助駆動部または前記複数のＺ方向用補助駆動部のうち少なくともいずれか一つは、Ｘ軸、Ｙ軸またはＺ軸方向のうち指定の方向に沿って配置されたマグネットと、前記各検出部に配置されたコイルとを備えたリニアモータで構成されてなることを特徴とする微小寸法測定機。