JP4478274B2 - 有機エレクトロルミネッセンス表示パネル及びその製造方法 - Google Patents
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- H10K59/173—Passive-matrix OLED displays comprising banks or shadow masks
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電流の注入によって発光するエレクトロルミネッセンス（以下、ＥＬともいう）を呈する有機化合物材料の薄膜からなる発光層（以下、有機発光層という）を備えた有機ＥＬ素子に関し、特に、複数の有機ＥＬ素子が所定パターンでもって基板上に形成された有機ＥＬ表示パネル及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
有機ＥＬ素子は、透明基板上に、陽極の透明電極と、有機ＥＬ媒体と、陰極の金属電極とが順次積層されて構成される。例えば、有機ＥＬ媒体は、有機発光層の単一層、あるいは有機正孔輸送層、有機発光層及び有機電子輸送層の３層構造の媒体、または有機正孔輸送層及び有機発光層２層構造の媒体、さらにこれらの適切な層間に電子或いは正孔の注入層を挿入した積層体の媒体などである。
【０００３】
有機ＥＬ表示パネルは複数の有機ＥＬ素子が所定パターンでもって基板上に形成されて得られる。たとえば、このマトリクス表示パネルとしては、特開平９−１０２３９３号公報に開示されているものがある。このフルカラーディスプレイは、交差している行と列において配置された複数の有機ＥＬ素子の発光画素からなる画像表示配列を有している発光装置である。例えばマトリクス表示タイプのものは透明電極層を含む行電極と、有機ＥＬ媒体と、行電極に交差する金属電極層を含む列電極とが順次積層されて構成される。行電極は、各々が帯状に形成されるとともに、所定の間隔をおいて互いに平行となるように配列されており、列電極も同様である。このように、マトリクス表示タイプの表示パネルは、複数の行と列の電極の交差点に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光画素からなる画像表示配列を有している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
この従来の表示パネルにおいては、図１に示すように、陰極の金属電極９は隔壁７で分離形成されている。図示されるように、電極全体の低抵抗化又は外部への引き出しのため陰極の金属電極９上に電導線膜１１をそれぞれ形成する場合がある。
【０００５】
図２に示すように、表示パネルの製造工程において、電導線膜１１のパターンが陰極の金属電極９から陰極と略直交する方向にずれる事がある。すると隔壁７を跨いで電導線膜１１が形成されてしまう。このような状態では、１つの電導線膜１１により隣接する陰極９同士の短絡が発生じる。
本発明は、このような問題を解決すべくなされ、本発明の目的は、信頼性の高い有機ＥＬ表示パネルを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルは、複数の発光部からなる画像表示配列領域を有している有機エレクトロルミネッセンス表示パネルであって、
表面上にて前記発光部に対応する複数の第１表示電極が形成された基板と、
少なくとも前記第１表示電極の一部分を露出せしめる前記基板上に突出する複数の電気絶縁性の隔壁と、
露出した前記第１表示電極の部分の各々上に形成された少くとも１層の有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜と、
各々が前記隔壁間において前記有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜上に形成された複数の第２表示電極と、
各々が前記第２表示電極上に形成され前記隔壁間から前記画像表示配列領域の外部へ伸長する複数の電導線膜と、からなり、
前記隔壁は、前記画像表示配列領域の外部へ伸長しかつ前記隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における前記隔壁の幅より大なる幅を有する隔壁端部を有することを特徴とする。
【０００７】
【作用】
本発明の有機ＥＬ表示パネルによれば、電導線膜パターンがずれて隔壁を跨いで電導線膜が形成されてしまっても、隔壁端部は、陰極と略直交する方向において隔壁は幅より大となっている幅を有するので、この隔壁端部形状によって、１つの電導線膜において１つの陰極上に形成された部分と隣接する陰極上に形成された部分とは電気的に絶縁される。
【０００８】
また、陰極下部に陰極が形成される有機ＥＬ表示パネルにおいて、隣接する隔壁同士を隔壁端部で結合するようにしているので、電導線膜がずれても隔壁端部の結合部分で隣接する陰極同士の短絡を防止できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明による実施例を図面を参照しつつ説明する。
図３に示すように、実施例の有機ＥＬ表示パネルは、基板２上に例えばマトリクスは位置の複数の有機ＥＬ素子OELEを備えている。複数の有機ＥＬ素子が配列されている領域が画像表示配列領域となる。有機ＥＬ素子OELEの各々は基板２上に順に積層された第１表示電極、少くとも１層の有機ＥＬ媒体の薄膜、第２表示電極からなっている。有機ＥＬ表示パネルは電気絶縁性の隔壁７をも備えており、隔壁７が基板２上にて隣接する有機ＥＬ素子OELEの間を通過して伸長して形成されかつ突出してこれらを分離する。電導線膜１１が隔壁７の伸長方向に略平行して第２表示電極９上に形成され、有機ＥＬ素子の外部へ伸長するようになっている。
【００１０】
隔壁の端部は、図４に示すように、電導線膜１１が隔壁７の伸長方向に対し略垂直方向に位置ずれを生じた場合に隣接する第２表示電極９のすくなくとも一方を電導線膜１１から断線せしめる形状、例えばT字形状を有している。すなわち、図５に示すように、画像表示配列領域の外部へ伸長する隔壁７の隔壁端部１５は、隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における隔壁の幅ａより大なる幅ｂを有している。
上記実施形態の有機ＥＬ表示パネルの製造方法を説明する。
【００１１】
（第１表示電極ライン形成）
ガラス等の透明基板２を用意し、その主面に、図６に示すように、インジウム錫酸化物（以下、ＩＴＯという）などの高仕事関数の材料からなる複数の島状透明電極３ａを画像表示配列領域となるようにマトリクス状に形成する。次に、図７に示すように、これら島状透明電極３ａを水平方向に電気的に接続する金属の陽極バスライン３ｂを蒸着などにより形成する。陽極バスラインの幅は島状透明電極の幅よりも小とする。この島状透明電極及び陽極バスラインからなる第１表示電極ライン３は複数本で互いに平行に形成する。このように、第１表示電極ライン３は互いに平行な複数のストライプ状に配列されている。陽極バスライン材質は、Ａｌ，Ｃｕ，Ａｕなど抵抗率の低い金属が用いられる。なお、島状透明電極３ａを除き、第１表示電極ライン３上を絶縁膜で被覆することもできる。
【００１２】
（隔壁形成）
つぎに、図８に示すように、第１表示電極３ａ、３ｂに対して垂直方向に伸長しかつ各々が島状透明電極間に位置するように複数の電気絶縁性の隔壁７を形成する。隔壁７は、画像表示配列領域１ａの外部へ伸長しかつ隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における隔壁の幅ａより大なる幅ｂを有する隔壁端部１５を有している。おのおのの隔壁端部１５は、画像表示配列領域１ａすなわち後に成膜される第２表示電極から等しい距離だけ伸長して終端するように形成する。
ここでは、隔壁を例えばフォトレジストを用い、通常のフォトリソグラフィ法等の手法を用いて形成する。隔壁７は隔壁本体及びその上部に基板に平行な方向に突出するオーバーハング部からなる断面が略Ｔ字型又は逆テーパ（逆等脚台形）の形状を有する。このようにして、少なくとも第１表示電極の一部分、特に透明電極を露出せしめかつ全体が基板上から突出する隔壁を形成する。
【００１３】
隔壁７の隔壁端部１５は後で形成される第２表示電極間同士の短絡防止のために画像表示配列領域の外に延在するように形成され、隔壁７の基板からの高さは、後に形成される第２表示電極の陰極９の膜厚を超える高さであればいくらでもよい。
このように、電気絶縁性の隔壁７が第１表示電極ライン３に直交するように基板２及び第１表示電極ライン３上にわたって形成され、隔壁形成工程中、隔壁７が少なくとも第１表示電極ライン３の一部分、特に島状透明電極を露出せしめるように、形成される。
【００１４】
（発光層形成）
次に、各々の前記第１表示電極の一部上に、有機ＥＬ媒体を堆積し、複数の少くとも１層の有機ＥＬ媒体の薄膜を形成する工程を説明する。有機ＥＬ媒体の正孔輸送層を予め一様に形成しておく。つぎに、有機発光層を成膜し、この工程で電子輸送層も成膜できる。さらにこれらの適切な機能層間に電子或いは正孔の注入層をも成膜できる。
図９に示すように、例えば有機発光層の成膜では、マスク３０の貫通開口３１を、隔壁７間の露出したＩＴＯ電極３に位置合わせして、隔壁上にマスクを載置して、１番目（例えば赤色発光）の有機ＥＬ媒体８ａを蒸着方法を用いて所定厚さに成膜する。
次に、マスクをずらして位置合わせをした後、同様に、隔壁上にマスクを載置して２番目（例えば緑色発光）、３番目（例えば青色発光）の有機ＥＬ媒体を所定膜厚に順次成膜する。このように、１つの開口が１つの第１表示電極上からその隣接する第１表示電極上へ配置されるようにマスクを順次移動せしめる発光層形成工程を順次繰り返す。このように、有機ＥＬ媒体の薄膜は、前記有機発光層は同一の前記マスクを用いて蒸着により形成される。有機ＥＬ媒体はそれぞれ第１表示電極上に別個に並置されかつ電圧印加によりそれぞれ赤Ｒ、緑Ｇ及び青Ｂの色の光を発光する複数の有機発光層が形成される。
【００１５】
（第２表示電極形成）
有機ＥＬ媒体の薄膜上に、図１０に示すように、垂直方向に伸長する複数の第２表示電極９の陰極を蒸着などにより形成し、前記第１表示電極との各交差部にて発光部を画定する。
隔壁７の頂上及びオーバーハング部は、金属蒸気流れに対して屋根及び軒となり、隔壁７の頂上及びオーバーハング部上に堆積した金属膜５０が第２表示電極９から離れているので、第２表示電極ライン９間の短絡を防止できる。また、金属蒸気の略垂直入射により、隔壁のオーバーハング部７ａで複数の陰極の第２表示電極ライン９が分断され、電気的に絶縁されだけでなく、図１１に示すように、金属蒸気流が隔壁のオーバーハング部７ａを回り込む程度が、有機ＥＬ媒体材料粒子流の回り込む程度よりも小さいので、有機ＥＬ媒体８が第２表示電極ライン９からはみ出し、陰極９とＩＴＯ陽極３との短絡を生じさせない。
【００１６】
このように第１及び第２表示電極ラインが交差して挾まれた有機ＥＬ媒体の部分が、発光部に対応する。この実施例の有機ＥＬ表示パネルにおいて、基板及び第１表示電極が透明であり、発光は基板側から放射される。逆に、他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおいて、第２表示電極を透明材料で構成して、発光を第２表示電極側から放射させることもできる。
【００１７】
（電導線膜形成）
つぎに、図３に示したように、マスクを用いた真空蒸着などにより、第２表示電極９上において、隔壁７間から画像表示配列領域１ａの外部へ伸長する電導線膜１１を形成する。
ここで、電導線膜１１が隔壁７の伸長方向に対し略垂直方向に位置ずれを生じた場合においても、図４に示したように、隣接する第２表示電極９の一方を電導線膜１１から断線せしめる形状、例えばT字形状を隔壁端部が有しているので、第２表示電極９間の短絡が防止され、電導線膜１１のパターンの位置決め精度許容値が緩和される。
【００１８】
このようにして、第２表示電極上に電導線膜を形成した後、防湿処理及び封止してフルカラーの有機ＥＬ表示パネルが得られる。図１２に示すように、有機ＥＬ表示パネルは、基板２上にマトリクス状に配置されかつ各々が赤Ｒ、緑Ｇ及び青Ｂの発光部からなる発光画素１の複数からなる画像表示配列領域１ａを有している。第１表示電極ライン３と垂直方向の第２表示電極ライン９との交差する部分の透明電極３ａ上で発光部が形成される。
【００１９】
（他の隔壁端部の実施の形態）
隔壁端部１５は図１３に示すように、T字形状だけでなく、隔壁端部１５は、隔壁の幅ａより大なる幅ｂを有するとともに隔壁の伸張方向の中心線から両側に向かって等しい距離の半幅ｂ０を有している形状例えば図１４〜図３３に示す略対称な形状や、図３４〜図３６に示すように非対称な形状を有しているものが好ましい。略対称な形状を有しているものが好ましい。
さらに、図３７及び図３８に示すように、隔壁端部１５は、隔壁の伸張方向の中心線から両側に向かって異なる距離の半幅ｂ１及びｂ２（ｂ１＞ｂ２＝０又はｂ１＞ｂ２＞０）を有していてもよい。これらの実施形態によれば、電導線膜１１の成膜工程において、マスクパターンの位置ズレに一定方向性がある場合に、成膜された電導線膜の幅が細くならない効果がある。
【００２０】
また、他の実施形態では、図３９に示すように、隣接する隔壁端部１５は、第２表示電極９からの異なる距離はなれるように形成されている。すなわち、隣接する隔壁端部１５の第２表示電極９からの距離の差Ｃがゼロを越えるように、それぞれ隔壁７の隔壁端部１５を配置する。これにより、隣接する隔壁端部１５の第２表示電極９からの距離が等しい場合の隣接する隔壁端部１５の間の距離ｄ１よりも大なる距離ｄ２を確保できる。よって、電導線膜１１が位置ずれなく成膜された時に、電導線膜の幅が細くなることが緩和される。
【００２１】
他の実施形態によれば、隣接する隔壁端部１５の第２表示電極９からの距離が等しい場合であっても、図４０に示すように、隔壁端部１５の位置に比べて第２表示電極９からの異なる距離Ｃだけはなれた位置に形成されかつ隔壁端部１５が隔壁の幅より大なる幅を有する第２幅部分１５ａを有しているならば、上記同様に、電導線膜１１が位置ずれなく成膜された時に、電導線膜１１の幅が細くなることが緩和される効果が得られる。
【００２２】
図４０に示す第２幅部分１５ａを有する隔壁端部１５の他の形状を、図４１〜図４７に示す。これらの場合でも、上記同様に、電導線膜１１が位置ずれなく成膜された時に、電導線膜１１の幅が細くなることが緩和される効果が得られる。
さらなる他の実施形態によれば、図４８に示すように、隔壁７間における第２表示電極９に接続されるように、例えば、有機ＥＬ媒体の薄膜８と第２表示電極９との間に形成された第２表示電極の一部として働く陰極バスライン９ａを有する以外、上記実施形態と同様の構成の有機ＥＬ表示パネルも提供され得る。
【００２３】
さらに、この実施形態では、図４８に示すように、隣接する隔壁端部１５は結合された一体化された隔壁端部１５ａとすることもできる。これによれば、図４９に示すように、電導線膜１１が隔壁７の伸長方向に対し略垂直方向に位置ずれを生じた場合でも、隣接する第２表示電極９は隣接する電導線膜１１から完全に断線せしめることができる。
【００２４】
なお、この実施の形態の有機ＥＬ媒体８の構造を、ＲＧＢの３組でなく、１組あるいは２組にすれば、それぞれ単色表示パネル、マルチカラー表示パネルが実現できることは明らかである。また、島状透明電極３ａと陽極バスライン３ｂを１つにまとめ、ストライプ状透明電極とすることもできる。また、透明電極をストライプ状に形成し、陽極バスライン３ａを省略することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図２】 有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図３】 本発明による有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図４】 本発明による有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図５】 本発明による有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分平面図。
【図６】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図７】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図８】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図９】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図１０】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図１１】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分拡大断面図。
【図１２】 基板側から見た本発明による有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分平面図。
【図１３】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１４】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１５】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１６】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１７】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１８】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１９】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２０】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２１】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２２】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２３】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２４】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２５】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２６】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２７】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２８】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２９】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３０】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３１】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３２】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３３】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３４】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３５】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３６】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３７】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３８】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３９】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４０】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４１】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４２】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４３】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４４】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４５】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４６】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４７】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４８】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図４９】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【符号の説明】
１ 発光画素
２ 基板
３ 第１表示電極ライン
３ａ 島状透明電極
３ｂ 陽極バスライン
７ 隔壁
７ａ オーバーハング部
８ 有機ＥＬ媒体
９ 第２表示電極ライン
１５ 隔壁端部
【発明の属する技術分野】
本発明は、電流の注入によって発光するエレクトロルミネッセンス（以下、ＥＬともいう）を呈する有機化合物材料の薄膜からなる発光層（以下、有機発光層という）を備えた有機ＥＬ素子に関し、特に、複数の有機ＥＬ素子が所定パターンでもって基板上に形成された有機ＥＬ表示パネル及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
有機ＥＬ素子は、透明基板上に、陽極の透明電極と、有機ＥＬ媒体と、陰極の金属電極とが順次積層されて構成される。例えば、有機ＥＬ媒体は、有機発光層の単一層、あるいは有機正孔輸送層、有機発光層及び有機電子輸送層の３層構造の媒体、または有機正孔輸送層及び有機発光層２層構造の媒体、さらにこれらの適切な層間に電子或いは正孔の注入層を挿入した積層体の媒体などである。
【０００３】
有機ＥＬ表示パネルは複数の有機ＥＬ素子が所定パターンでもって基板上に形成されて得られる。たとえば、このマトリクス表示パネルとしては、特開平９−１０２３９３号公報に開示されているものがある。このフルカラーディスプレイは、交差している行と列において配置された複数の有機ＥＬ素子の発光画素からなる画像表示配列を有している発光装置である。例えばマトリクス表示タイプのものは透明電極層を含む行電極と、有機ＥＬ媒体と、行電極に交差する金属電極層を含む列電極とが順次積層されて構成される。行電極は、各々が帯状に形成されるとともに、所定の間隔をおいて互いに平行となるように配列されており、列電極も同様である。このように、マトリクス表示タイプの表示パネルは、複数の行と列の電極の交差点に形成された複数の有機ＥＬ素子の発光画素からなる画像表示配列を有している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
この従来の表示パネルにおいては、図１に示すように、陰極の金属電極９は隔壁７で分離形成されている。図示されるように、電極全体の低抵抗化又は外部への引き出しのため陰極の金属電極９上に電導線膜１１をそれぞれ形成する場合がある。
【０００５】
図２に示すように、表示パネルの製造工程において、電導線膜１１のパターンが陰極の金属電極９から陰極と略直交する方向にずれる事がある。すると隔壁７を跨いで電導線膜１１が形成されてしまう。このような状態では、１つの電導線膜１１により隣接する陰極９同士の短絡が発生じる。
本発明は、このような問題を解決すべくなされ、本発明の目的は、信頼性の高い有機ＥＬ表示パネルを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス表示パネルは、複数の発光部からなる画像表示配列領域を有している有機エレクトロルミネッセンス表示パネルであって、
表面上にて前記発光部に対応する複数の第１表示電極が形成された基板と、
少なくとも前記第１表示電極の一部分を露出せしめる前記基板上に突出する複数の電気絶縁性の隔壁と、
露出した前記第１表示電極の部分の各々上に形成された少くとも１層の有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜と、
各々が前記隔壁間において前記有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜上に形成された複数の第２表示電極と、
各々が前記第２表示電極上に形成され前記隔壁間から前記画像表示配列領域の外部へ伸長する複数の電導線膜と、からなり、
前記隔壁は、前記画像表示配列領域の外部へ伸長しかつ前記隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における前記隔壁の幅より大なる幅を有する隔壁端部を有することを特徴とする。
【０００７】
【作用】
本発明の有機ＥＬ表示パネルによれば、電導線膜パターンがずれて隔壁を跨いで電導線膜が形成されてしまっても、隔壁端部は、陰極と略直交する方向において隔壁は幅より大となっている幅を有するので、この隔壁端部形状によって、１つの電導線膜において１つの陰極上に形成された部分と隣接する陰極上に形成された部分とは電気的に絶縁される。
【０００８】
また、陰極下部に陰極が形成される有機ＥＬ表示パネルにおいて、隣接する隔壁同士を隔壁端部で結合するようにしているので、電導線膜がずれても隔壁端部の結合部分で隣接する陰極同士の短絡を防止できる。
【０００９】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明による実施例を図面を参照しつつ説明する。
図３に示すように、実施例の有機ＥＬ表示パネルは、基板２上に例えばマトリクスは位置の複数の有機ＥＬ素子OELEを備えている。複数の有機ＥＬ素子が配列されている領域が画像表示配列領域となる。有機ＥＬ素子OELEの各々は基板２上に順に積層された第１表示電極、少くとも１層の有機ＥＬ媒体の薄膜、第２表示電極からなっている。有機ＥＬ表示パネルは電気絶縁性の隔壁７をも備えており、隔壁７が基板２上にて隣接する有機ＥＬ素子OELEの間を通過して伸長して形成されかつ突出してこれらを分離する。電導線膜１１が隔壁７の伸長方向に略平行して第２表示電極９上に形成され、有機ＥＬ素子の外部へ伸長するようになっている。
【００１０】
隔壁の端部は、図４に示すように、電導線膜１１が隔壁７の伸長方向に対し略垂直方向に位置ずれを生じた場合に隣接する第２表示電極９のすくなくとも一方を電導線膜１１から断線せしめる形状、例えばT字形状を有している。すなわち、図５に示すように、画像表示配列領域の外部へ伸長する隔壁７の隔壁端部１５は、隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における隔壁の幅ａより大なる幅ｂを有している。
上記実施形態の有機ＥＬ表示パネルの製造方法を説明する。
【００１１】
（第１表示電極ライン形成）
ガラス等の透明基板２を用意し、その主面に、図６に示すように、インジウム錫酸化物（以下、ＩＴＯという）などの高仕事関数の材料からなる複数の島状透明電極３ａを画像表示配列領域となるようにマトリクス状に形成する。次に、図７に示すように、これら島状透明電極３ａを水平方向に電気的に接続する金属の陽極バスライン３ｂを蒸着などにより形成する。陽極バスラインの幅は島状透明電極の幅よりも小とする。この島状透明電極及び陽極バスラインからなる第１表示電極ライン３は複数本で互いに平行に形成する。このように、第１表示電極ライン３は互いに平行な複数のストライプ状に配列されている。陽極バスライン材質は、Ａｌ，Ｃｕ，Ａｕなど抵抗率の低い金属が用いられる。なお、島状透明電極３ａを除き、第１表示電極ライン３上を絶縁膜で被覆することもできる。
【００１２】
（隔壁形成）
つぎに、図８に示すように、第１表示電極３ａ、３ｂに対して垂直方向に伸長しかつ各々が島状透明電極間に位置するように複数の電気絶縁性の隔壁７を形成する。隔壁７は、画像表示配列領域１ａの外部へ伸長しかつ隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における隔壁の幅ａより大なる幅ｂを有する隔壁端部１５を有している。おのおのの隔壁端部１５は、画像表示配列領域１ａすなわち後に成膜される第２表示電極から等しい距離だけ伸長して終端するように形成する。
ここでは、隔壁を例えばフォトレジストを用い、通常のフォトリソグラフィ法等の手法を用いて形成する。隔壁７は隔壁本体及びその上部に基板に平行な方向に突出するオーバーハング部からなる断面が略Ｔ字型又は逆テーパ（逆等脚台形）の形状を有する。このようにして、少なくとも第１表示電極の一部分、特に透明電極を露出せしめかつ全体が基板上から突出する隔壁を形成する。
【００１３】
隔壁７の隔壁端部１５は後で形成される第２表示電極間同士の短絡防止のために画像表示配列領域の外に延在するように形成され、隔壁７の基板からの高さは、後に形成される第２表示電極の陰極９の膜厚を超える高さであればいくらでもよい。
このように、電気絶縁性の隔壁７が第１表示電極ライン３に直交するように基板２及び第１表示電極ライン３上にわたって形成され、隔壁形成工程中、隔壁７が少なくとも第１表示電極ライン３の一部分、特に島状透明電極を露出せしめるように、形成される。
【００１４】
（発光層形成）
次に、各々の前記第１表示電極の一部上に、有機ＥＬ媒体を堆積し、複数の少くとも１層の有機ＥＬ媒体の薄膜を形成する工程を説明する。有機ＥＬ媒体の正孔輸送層を予め一様に形成しておく。つぎに、有機発光層を成膜し、この工程で電子輸送層も成膜できる。さらにこれらの適切な機能層間に電子或いは正孔の注入層をも成膜できる。
図９に示すように、例えば有機発光層の成膜では、マスク３０の貫通開口３１を、隔壁７間の露出したＩＴＯ電極３に位置合わせして、隔壁上にマスクを載置して、１番目（例えば赤色発光）の有機ＥＬ媒体８ａを蒸着方法を用いて所定厚さに成膜する。
次に、マスクをずらして位置合わせをした後、同様に、隔壁上にマスクを載置して２番目（例えば緑色発光）、３番目（例えば青色発光）の有機ＥＬ媒体を所定膜厚に順次成膜する。このように、１つの開口が１つの第１表示電極上からその隣接する第１表示電極上へ配置されるようにマスクを順次移動せしめる発光層形成工程を順次繰り返す。このように、有機ＥＬ媒体の薄膜は、前記有機発光層は同一の前記マスクを用いて蒸着により形成される。有機ＥＬ媒体はそれぞれ第１表示電極上に別個に並置されかつ電圧印加によりそれぞれ赤Ｒ、緑Ｇ及び青Ｂの色の光を発光する複数の有機発光層が形成される。
【００１５】
（第２表示電極形成）
有機ＥＬ媒体の薄膜上に、図１０に示すように、垂直方向に伸長する複数の第２表示電極９の陰極を蒸着などにより形成し、前記第１表示電極との各交差部にて発光部を画定する。
隔壁７の頂上及びオーバーハング部は、金属蒸気流れに対して屋根及び軒となり、隔壁７の頂上及びオーバーハング部上に堆積した金属膜５０が第２表示電極９から離れているので、第２表示電極ライン９間の短絡を防止できる。また、金属蒸気の略垂直入射により、隔壁のオーバーハング部７ａで複数の陰極の第２表示電極ライン９が分断され、電気的に絶縁されだけでなく、図１１に示すように、金属蒸気流が隔壁のオーバーハング部７ａを回り込む程度が、有機ＥＬ媒体材料粒子流の回り込む程度よりも小さいので、有機ＥＬ媒体８が第２表示電極ライン９からはみ出し、陰極９とＩＴＯ陽極３との短絡を生じさせない。
【００１６】
このように第１及び第２表示電極ラインが交差して挾まれた有機ＥＬ媒体の部分が、発光部に対応する。この実施例の有機ＥＬ表示パネルにおいて、基板及び第１表示電極が透明であり、発光は基板側から放射される。逆に、他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおいて、第２表示電極を透明材料で構成して、発光を第２表示電極側から放射させることもできる。
【００１７】
（電導線膜形成）
つぎに、図３に示したように、マスクを用いた真空蒸着などにより、第２表示電極９上において、隔壁７間から画像表示配列領域１ａの外部へ伸長する電導線膜１１を形成する。
ここで、電導線膜１１が隔壁７の伸長方向に対し略垂直方向に位置ずれを生じた場合においても、図４に示したように、隣接する第２表示電極９の一方を電導線膜１１から断線せしめる形状、例えばT字形状を隔壁端部が有しているので、第２表示電極９間の短絡が防止され、電導線膜１１のパターンの位置決め精度許容値が緩和される。
【００１８】
このようにして、第２表示電極上に電導線膜を形成した後、防湿処理及び封止してフルカラーの有機ＥＬ表示パネルが得られる。図１２に示すように、有機ＥＬ表示パネルは、基板２上にマトリクス状に配置されかつ各々が赤Ｒ、緑Ｇ及び青Ｂの発光部からなる発光画素１の複数からなる画像表示配列領域１ａを有している。第１表示電極ライン３と垂直方向の第２表示電極ライン９との交差する部分の透明電極３ａ上で発光部が形成される。
【００１９】
（他の隔壁端部の実施の形態）
隔壁端部１５は図１３に示すように、T字形状だけでなく、隔壁端部１５は、隔壁の幅ａより大なる幅ｂを有するとともに隔壁の伸張方向の中心線から両側に向かって等しい距離の半幅ｂ０を有している形状例えば図１４〜図３３に示す略対称な形状や、図３４〜図３６に示すように非対称な形状を有しているものが好ましい。略対称な形状を有しているものが好ましい。
さらに、図３７及び図３８に示すように、隔壁端部１５は、隔壁の伸張方向の中心線から両側に向かって異なる距離の半幅ｂ１及びｂ２（ｂ１＞ｂ２＝０又はｂ１＞ｂ２＞０）を有していてもよい。これらの実施形態によれば、電導線膜１１の成膜工程において、マスクパターンの位置ズレに一定方向性がある場合に、成膜された電導線膜の幅が細くならない効果がある。
【００２０】
また、他の実施形態では、図３９に示すように、隣接する隔壁端部１５は、第２表示電極９からの異なる距離はなれるように形成されている。すなわち、隣接する隔壁端部１５の第２表示電極９からの距離の差Ｃがゼロを越えるように、それぞれ隔壁７の隔壁端部１５を配置する。これにより、隣接する隔壁端部１５の第２表示電極９からの距離が等しい場合の隣接する隔壁端部１５の間の距離ｄ１よりも大なる距離ｄ２を確保できる。よって、電導線膜１１が位置ずれなく成膜された時に、電導線膜の幅が細くなることが緩和される。
【００２１】
他の実施形態によれば、隣接する隔壁端部１５の第２表示電極９からの距離が等しい場合であっても、図４０に示すように、隔壁端部１５の位置に比べて第２表示電極９からの異なる距離Ｃだけはなれた位置に形成されかつ隔壁端部１５が隔壁の幅より大なる幅を有する第２幅部分１５ａを有しているならば、上記同様に、電導線膜１１が位置ずれなく成膜された時に、電導線膜１１の幅が細くなることが緩和される効果が得られる。
【００２２】
図４０に示す第２幅部分１５ａを有する隔壁端部１５の他の形状を、図４１〜図４７に示す。これらの場合でも、上記同様に、電導線膜１１が位置ずれなく成膜された時に、電導線膜１１の幅が細くなることが緩和される効果が得られる。
さらなる他の実施形態によれば、図４８に示すように、隔壁７間における第２表示電極９に接続されるように、例えば、有機ＥＬ媒体の薄膜８と第２表示電極９との間に形成された第２表示電極の一部として働く陰極バスライン９ａを有する以外、上記実施形態と同様の構成の有機ＥＬ表示パネルも提供され得る。
【００２３】
さらに、この実施形態では、図４８に示すように、隣接する隔壁端部１５は結合された一体化された隔壁端部１５ａとすることもできる。これによれば、図４９に示すように、電導線膜１１が隔壁７の伸長方向に対し略垂直方向に位置ずれを生じた場合でも、隣接する第２表示電極９は隣接する電導線膜１１から完全に断線せしめることができる。
【００２４】
なお、この実施の形態の有機ＥＬ媒体８の構造を、ＲＧＢの３組でなく、１組あるいは２組にすれば、それぞれ単色表示パネル、マルチカラー表示パネルが実現できることは明らかである。また、島状透明電極３ａと陽極バスライン３ｂを１つにまとめ、ストライプ状透明電極とすることもできる。また、透明電極をストライプ状に形成し、陽極バスライン３ａを省略することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図２】 有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図３】 本発明による有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図４】 本発明による有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図５】 本発明による有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分平面図。
【図６】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図７】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図８】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図９】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図１０】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分斜視図。
【図１１】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネル製造工程における基板の概略部分拡大断面図。
【図１２】 基板側から見た本発明による有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分平面図。
【図１３】 本発明による実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１４】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１５】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１６】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１７】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１８】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図１９】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２０】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２１】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２２】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２３】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２４】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２５】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２６】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２７】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２８】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図２９】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３０】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３１】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３２】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３３】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３４】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３５】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３６】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３７】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３８】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図３９】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４０】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４１】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４２】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４３】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４４】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４５】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４６】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４７】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルにおける隔壁及びその端部の概略部分平面図。
【図４８】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【図４９】 本発明による他の実施例の有機ＥＬ表示パネルの概略一部切欠拡大部分斜視図。
【符号の説明】
１ 発光画素
２ 基板
３ 第１表示電極ライン
３ａ 島状透明電極
３ｂ 陽極バスライン
７ 隔壁
７ａ オーバーハング部
８ 有機ＥＬ媒体
９ 第２表示電極ライン
１５ 隔壁端部
Claims (12)
- 複数の発光部からなる画像表示配列領域を有している有機エレクトロルミネッセンス表示パネルであって、
表面上にて前記発光部に対応する複数の第１表示電極が形成された基板と、少なくとも前記第１表示電極の一部分を露出せしめる前記基板上に突出する複数の電気絶縁性の隔壁と、
露出した前記第１表示電極の部分の各々上に形成された少くとも１層の有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜と、
各々が前記隔壁間において前記有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜上に形成された複数の第２表示電極と、
各々が前記第２表示電極上に形成され前記隔壁間から前記画像表示配列領域の外部へ伸長する複数の電導線膜と、からなり、
前記隔壁は、前記画像表示配列領域の外部へ伸長しかつ前記隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における前記隔壁の幅より大なる幅を有する隔壁端部を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。 - 前記隔壁端部は、前記隔壁の伸張方向の中心線から両側に向かって等しい距離の半幅を有していることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 前記隔壁端部は、前記隔壁の伸張方向の中心線から両側に向かって異なる距離の半幅を有していることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 隣接する前記隔壁端部は、前記第２表示電極からの異なる距離はなれて形成されていることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 前記隔壁端部は、前記隔壁の幅より大なる幅を有する第２幅部分を有していることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 前記隔壁間において前記第２表示電極に接続されるように、形成された前記第２表示電極の一部として働くバスラインを有することを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 前記第１表示電極及び第２表示電極は、複数のストライプ状の電極でありかつ互いに直交する位置に配列されたことを特徴とする請求項１〜６のいずれか１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 前記隔壁はその上部に前記基板に平行な方向に突出するオーバーハング部を有することを特徴とする請求項１〜７のいずれか１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 前記基板及び前記第１表示電極が透明であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 前記第２表示電極が透明であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１記載の有機エレクトロルミネッセンス表示パネル。
- 複数の発光部からなる画像表示配列領域を有している有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法であって、
基板上において、前記発光部に対応する複数の第１表示電極を形成する工程と、
前記基板上において、少なくとも前記第１表示電極の一部分を露出せしめかつ突出する複数の電気絶縁性の隔壁を形成する工程と、
露出した前記第１表示電極の部分の各々上に少くとも１層の有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜を形成する工程と、
前記隔壁間において前記有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜上に複数の第２表示電極を形成する工程と、前記第２表示電極上において、前記隔壁間から前記画像表示配列領域の外部へ伸長する電導線膜を形成する工程と、からなり、
前記隔壁を形成する工程において、前記画像表示配列領域の外まで伸長しかつ前記隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における前記隔壁の幅より大なる幅を有する前記隔壁の隔壁端部を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス表示パネルの製造方法。 - 各々が基板上に順に積層された第１表示電極、少くとも１層の有機エレクトロルミネッセンス媒体の薄膜、第２表示電極からなる少なくとも２つの有機エレクトロルミネッセンス素子と、隣接する前記有機エレクトロルミネッセンス素子間を通過して伸長して形成されかつ前記基板上に突出してこれらを分離する電気絶縁性の隔壁と、各々が前記隔壁の伸長方向に略平行して前記第２表示電極上に形成され前記有機エレクトロルミネッセンス素子の外部へ伸長する少なくとも２つの電導線膜と、を備える有機エレクトロルミネッセンス装置であって、前記隔壁は、前記隔壁の伸長方向に対して略直交する方向における前記隔壁の幅より大なる幅を有する隔壁端部を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。
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