JP4477262B2 - インクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法 - Google Patents

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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドに使用される薄板状の部品を組み立てる場合の、複数枚のリードフレームを積層状にて固定するインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
先行技術のオンディマンド型の圧電式インクジェットプリンタヘッドにおいては、特開昭62−111758号公報に記載されているように、積層された状態で一体化された複数枚の薄板状部品からなるキャビティプレート組の背面に、ダイヤフラムプレートを接着剤を介して接合し、該ダイヤフラムプレートの片面には、前記圧力室箇所に対応させて駆動用の圧電素子等を固着したインクジェットプリンタヘッドが開示されている。
【0003】
そして、前記キャビティプレート組における各薄板状部品は、複数個のノズルを備えたノズルプレートと、この各ノズルに対応した圧力室を備えたベースプレートと、インク供給源に接続され且つ前記圧力室に接続するインク流路やインクチャンバ(マニホールド)を有するマニホールドプレートとから構成されており、それぞれのプレートは、厚さ25μmもしくはそれ以下の薄い金属板であり、各ノズルと圧力室とインク流路が連通するように位置決めして複数枚のプレートを所定の上下位置関係にて積層して製造される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドに使用される薄板状部品を積層するものにおいて、その薄板状部品を相互にかつ正確に積層してインクジェットプリンタヘッド積層体を製造する方法を提供することを技術的課題とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
この技術的課題を達成するため、請求項1に記載の発明のインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法は、1つの種類の薄板状の部品におけるインク流路を他の種類の薄板状の部品におけるインク流路に連通させるように、複数種類の薄板状の部品を積層してなるインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法において、同じインク流路を有する同一種類の薄板状の部品が、同一面に複数個並んで形成され、この複数の薄板状の部品の外周にフレーム枠を形成し、且つ前記各部品の外周と前記フレーム枠とを、該薄板状の部品の幅よりも小さい幅の連接片で一体に接続してリードフレームを形成する工程と、前記複数種類の薄板状の部品の各積層面に接着剤を塗布した後、前記それぞれのインク流路を相互に連通させて複数種類の薄板状の部品を接合するように複数枚のリードフレームを積層する工程と、前記積層工程によって複数積層された薄板状の部品を前記フレーム枠から分離する工程とを備え、前記リードフレームを形成する工程では、前記複数種類のリードフレームのそれぞれに対して、前記インク流路を含む複数の前記薄板状の部品と、前記連接片を有するフレーム枠と、さらに、前記フレーム枠の平面視で同じ位置に貫通形成し、位置決め用のピンの打ち込みによって当該ピンの外周にて弾性変形または塑性変形可能な拘束部をその内周部に有する位置決め孔とを形成し、前記拘束部は、前記各位置決め孔の内周部に少なくとも3つ以上で半径方向内向きに形成され、その厚みが前記各フレーム枠の厚みよりも薄く形成され、前記位置決めピンの外周面と接触する部分が、平面視で少なくとも平直線状、または、直線に近い湾曲形状の凸形状で、積層された状態で、前記各プレートごとの拘束部が独立して変形するように構成され、前記積層工程では、前記位置決め用のピンを複数枚の前記フレーム枠の積層された位置決め孔に対して打ち込み、前記拘束部を変形させて各リードフレームを位置決めしながら、前記複数種類のリードフレームを相互に位置決めし、複数個のインクジェットプリンタヘッド分の積層体を同時に形成し、前記分離する工程では、前記連接片を切断して、前記複数個のインクジェットプリンタヘッド分の積層体を、前記フレーム枠から分離することを特徴とするものである。
【0006】
そして、請求項2に記載の発明のインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法は、1つの種類の薄板状の部品におけるインク流路を他の種類の薄板状の部品におけるインク流路に連通させるように、複数種類の薄板状の部品を積層してなるインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法において、同じインク流路を有する同一種類の薄板状の部品が、同一面に複数個並んで形成され、この複数の薄板状の部品の外周にフレーム枠を形成し、且つ前記各部品の外周と前記フレーム枠とを、該薄板状の部品の幅よりも小さい幅の連接片で一体に接続してリードフレームを形成する工程と、前記複数種類の薄板状の部品の各積層面に接着剤を塗布した後、前記それぞれのインク流路を相互に連通させて複数種類の薄板状の部品を接合するように複数枚のリードフレームを積層する工程と、前記積層工程によって複数積層された薄板状の部品を前記フレーム枠から分離する工程とを備え、前記リードフレームを形成する工程では、前記複数種類のリードフレームのそれぞれに対して、前記インク流路を含む複数の前記薄板状の部品と、前記連接片を有するフレーム枠と、さらに、前記フレーム枠の平面視で同じ位置に貫通形成し、位置決め用のピンの打ち込みによって当該ピンの外周にて弾性変形または塑性変形可能な拘束部をその内周部に有する位置決め孔とを形成し、前記拘束部は、前記各位置決め孔の内周部に少なくとも3つ以上で半径方向内向きに形成されて、前記各フレーム枠の前記位置決め孔は、その内周部と前記拘束部との間を連結する接続部が、前記各フレーム枠の厚みよりも薄肉に形成され、前記各拘束部の自由端側は前記各フレーム枠の厚みと同一に形成され、前記積層工程では、前記位置決め用のピンを複数枚の前記フレーム枠の積層された位置決め孔に対して打ち込み、前記各拘束部の自由端が、積層された状態で前記各接続部を中心に変形して、前記ピンの外周面と圧接されて各リードフレームを位置決めしながら、前記複数種類のリードフレームを相互に位置決めし、複数個のインクジェットプリンタヘッド分の積層体を同時に形成し、前記分離する工程では、前記連接片を切断して、前記複数個のインクジェットプリンタヘッド分の積層体を、前記フレーム枠から分離することを特徴とするものである
【0007】
【0008】
【0009】
【0010】
【0011】
また、請求項に記載の発明は、請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド積層体の製造方法において、前記複数の薄板状の部品がフレーム枠の一対の辺の間に、そのフレーム枠の長手方向に沿って配置され、このフレーム枠の一対の辺のうち少なくとも一方の辺に、その長手方向にそって適宜間隔にて前記位置決め孔が穿設されることを特徴とするものである。
【0012】
請求項に記載の発明は、請求項1乃至3のいずれかに記載のインクジェットヘッド積層体の製造方法において、それぞれインク流路を有する複数種類の薄板状の部品は、インクを吐出するための複数のノズル孔に連通する複数の圧力室を有するベースプレートと、前記圧力室の一端に接続する貫通孔を有するスペーサプレート、及び前記貫通孔を介して前記多数個の圧力室に連通するインク室を有するマニホールドプレートを少なくとも含み、前記分離する工程の前または後で、それぞれの複数のインクジェットヘッド積層体に対して、さらに、前記複数のノズル孔を有するノズルプレートを接着することを特徴とするものである。
【0013】
【0014】
【0015】
【0016】
【0017】
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をインクジェットプリンタヘッドに具体化した図面にしたがって説明する。図1〜図8は、圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す。図1において、金属板製のキャビティプレート組9に対して接合されるプレート型の圧電アクチュエータ20の上面には、外部機器との接続のために、フレキシブルフラットケーブル40が重ねて接合されているものであり、キャビティプレート組9の下面側に開口されたノズルから下向きにインクが吐出するものとする。
【0019】
前記キャビティプレート組9は、図2〜図4に示すように構成されている。すなわち、ノズルプレート10、2枚のマニホールドプレート11、12、スペーサプレート13及びベースプレート14の5枚の薄い板をそれぞれ接着剤にて重ね接合して積層した構造であり、実施形態では、合成樹脂製のノズルプレート10を除き、各プレート12、13、14は、42%ニッケル合金鋼板製で、50μm〜150μm程度の厚さを有する。前記ノズルプレート10には、微小径(実施形態では25μm程度)のインク噴出用のノズル15が、当該ノズルプレート10における第1の方向(長辺方向)に沿って2列の千鳥配列状に設けられている。即ち、ノズルプレート10の前記第1の方向に延びる2つの平行状の基準線10a、10bに沿って、微小ピッチPの間隔で千鳥状配列にて多数個のノズル15が穿設されている。前記2枚のマニホールドプレート11、12には、インク通路12a、12bが、前記ノズル15の列の両側に沿って延びるように穿設されている。但し、ノズルプレート10に対面する下側のマニホールドプレート11におけるインク通路12bは、当該マニホールドプレート12の上側にのみ開放するように凹み形成されている(図3及び図4参照)。このインク通路12a、12bは、上側のマニホールドプレート12に対する前記スペーサプレート13の積層により密閉される構造になっている。なお、図4は、ノズルプレート10、マニホールドプレート11、12、スペーサプレート13及びベースプレート14の各々における図2の右端部に相当する箇所の裏面(下面)を上向きにした状態の一部切欠き斜視図である。
【0020】
また、前記ベースプレート14には、その長辺(前記第1の方向)に沿う中心線に対して直交する第2の方向(短辺方向)に延びる細幅の圧力室16の多数個が穿設されている。そして、前記中心線を挟んで左右両側にて平行状の長手基準線14a、14bを設定すると、前記中心線より左側の圧力室16はその先端16aを右側の長手基準線14a上に位置し、逆に前記長手中心線より右側の圧力室16はその先端16aは左側の長手基準線14b上に位置し、且つこの左右の圧力室16の先端16aが長辺方向に交互に配置されているので、左右両側の圧力室16は一つおきに互いに逆方向に延びるように交互に配置されていることになる。
【0021】
この各圧力室16の先端16aは、前記ノズルプレート10における前記千鳥状配列のノズル15に、前記スペーサプレート13及び両マニホールドプレート11、12に同じく千鳥状配列にて穿設されているインク流路としての微小径の連通孔17、17、17を介して連通している。一方、前記各圧力室16の他端16bは、前記スペーサプレート13における左右両側部位に穿設された貫通孔18を介して、前記両マニホールドプレート11、12におけるインク通路12a、12bに連通している。なお、前記他端16bは、図3に示すように、ベースプレート14の下面側にのみ開口するように凹み形成されているものである。さらに、各圧力室16の長手方向に中途部には、ベースプレート14の板厚の半分程度の連設部16cを設けることにより、多数並設された圧力室16の側壁の剛性の低下を防止する。
【0022】
また、最上層のベースプレート14及びスペーサプレート13の一端に穿設された供給孔19a、19bは、相互に一体に重なって位置し前記インク通路12aに連通すると共に、その上方のインクタンク(図示せず)と連通し、インクタンクからインクを受ける。この供給孔19aの上面には、インク中の塵除去のためのフィルタ29が張設されている。
【0023】
これにより、インクタンクから流入したインクは、供給孔19a,19bからインク通路12a、12b、各貫通孔18を通って各圧力室16内に分配されたのち、この各圧力室16内から前記連通孔17を通って、当該圧力室16に対応するノズル15に至るという構成になっている。
【0024】
一方、前記圧電アクチュエータ20は、図5及び図6に示すように、特開平4−341853号公報に開示されたものと同様に、1枚の厚さが30μm程度の圧電シート21を複数枚積層した構造で、各圧電シート21のうち最下段の圧電シートとそれから上方へ数えて奇数番目の圧電シートの上面(広幅面)には、前記キャビティプレート組9における各圧力室16に対応した箇所ごとに2の方向(短辺方向)に沿って細幅の個別電極(図示せず)が形成され、第1の方向(長辺方向)に沿って列状に配置されている。各個別電極は前記第1の方向と平行な各圧電シートの長辺の端縁部近傍まで延びている。下から偶数段目の圧電シートの上面(広幅面)には、全圧力室16にわたって広がる共通のコモン電極(図示せず)が形成されており、最上段のトップシート23の上面には、その長辺の端縁部に沿って、前記個別電極の各々に対して電気的に接続される表面電極30と、前記各コモン電極に対して電気的に接続される表面電極31とが、設けられている(図1参照)。
【0025】
そして、このような構成のプレート型の圧電アクチュエータ20における下面(圧力室16と対面する広幅面)全体に、接着剤層としてのインク非浸透性の合成樹脂材からなる接着剤シート41を予め貼着し、次いで、前記キャビティプレート組9に対して、当該圧電アクチュエータ20が、その各個別電極を前記各圧力室16の各々に対応させて接着・固定される(図5、図6参照)。また、この圧電アクチュエータ20における上側の表面には、前記フレキシブルフラットケーブル40が重ね接合されることにより、このフレキシブルフラットケーブル40における各種の配線パターン(図示せず)が、前記各表面電極30、31に電気的に接合される。
【0026】
この構成において、前記圧電アクチュエータ20における各個別電極24のうち任意の個別電極と、コモン電極との間に電圧を印加することにより、圧電シート21のうち前記電圧を印加した個別電極に対応する部分に圧電による積層方向の歪みが発生し、この歪みにて前記各個別電極に対応する圧力室16の内容積が縮小されることにより、この圧力室16内のインクが、ノズル15から液滴状に噴出して、所定の印字が行われる。
【0027】
次に、キャビティプレート組9を組み立てる構成及び組み立て方法について説明する。図8に示すように、所定のパターンが形成された複数種類の薄板状の部品としてのマニホールドプレート11、12、スペーサプレート13、ベースプレート14は、それぞれリードフレーム100a〜100dに複数枚ずつ形成され、これら4枚のリードフレーム100a〜100dを積層して構成される。即ち、各リードフレーム100a〜100dは、矩形の枠形をなすフレーム枠102と、その内側に一定間隔に並べで配置した複数の各プレート11〜14とを備え、フレーム枠102とプレート11〜14とをプレート11〜14よりも十分に幅の狭い連設片106で一体に連結している。つまり、各リードフレーム100a〜100dは、それぞれ1枚の金属薄板材料からなり、エッチングまたはプレス加工によりフレーム枠102と各プレート11〜14とを一体に形成している。各プレート11〜14に設けられるインク通路、圧力室、連通孔などのインク流路パターンも、同時に加工される。
【0028】
各リードフレーム100a〜100dのフレーム枠102は、その長手方向の一対の辺の間をタイバー104に連結されている。またその長手方向の辺には、位置決め孔37、搬送用の送り孔103が適宜間隔をおいて穿設されている。最下層のリードフレーム100dのベースプレート14、下から第2層のリードフレーム100cのスペーサプレート13、下から第3層のリードフレーム100bのマニホールドプレート12、最上層のリードフレーム100aのマニホールドプレート11は、それぞれ位置決め孔37に対して同じ位置で、かつ同じ間隔で複数個形成されている。
【0029】
これらのリードフレームを積層する場合、各プレート11、12、13、14の片面に接着剤を塗布した後、図4に示すように、キャビティプレート組9の使用状態(下面側にインクのノズルが開口される状態)とは上下が逆になるように、リードフレームを積層する。即ち、最下層のベースプレート14、下から第2層のスペーサプレート13及びマニホールドプレート12の各々の片面に形成された接着剤用の逃がし溝33、34、35が上向きになるように配置されるものとする。
【0030】
また、この場合、図示しないジグに突設した位置決めのためのピン36を、下方から各リードフレーム100a〜100dのフレーム枠102における前記位置決め孔37に差し込んで位置決めする(図9(a)参照)。
【0031】
位置決め孔37は、前記ピン36の直径D2より若干大きい直径D1の大径部37aと、その大径部37aの内周壁から半径方向内向きに突出しピン36の外径D2よりも十分に小さい内径D3の拘束部39とにより構成されている。拘束部39の厚さt2はフレーム枠102の板厚さt1のほぼ三分の一程度に設定され、ピン36を位置決め孔37に差し込んだ(打ち込んだ)とき、ピン36の外周にて変形、好ましくは塑性変形するように構成されている。第1参考例では、図10(a)及び図10(b)に示すように、拘束部39は、大径部37aの内周壁から内向きに平面視で円形状に突出して形成されている。
【0032】
前記構成において、最初に、最下層のリードフレーム100dにおけるフレーム枠102の各位置決め孔37にピン36を差し込む(打ち込む)と、当該ピン36の外周面にて前記拘束部39を差し込み(打ち込み)の下流方向(図9(b))で上向き(大径部37aの内周の空間部の方向)に塑性変形させるので、ピン36に対してリードフレーム100dがガタツキなく位置決めさせる。次いで、その上に第2層のリードフレーム100cにおける各位置決め孔37に前記ピン36を差し込むときに、図9(a )のように、リードフレーム100dに対してリードフレーム100cが横ずれしていても、ピン36の中心線と位置決め孔37の中心線とが一致するように、ピン36の外周にて拘束部39を塑性変形させて、リードフレーム100cを修正する。
【0033】
このようにして順次上層のリードフレームの各位置決め孔37に共通のピン36を差し込む(打ち込む)ことにより、積層される全てのリードフレームにおける位置決め孔37の中心線と位置決め用のピン36の中心線とが一致する(図9(b)参照)。この状態で積層されたリードフレーム100a〜100dを固定すれば、当該積層された全てのリードフレームは横ずれしない状態に保持できる(図9(c)参照)。固定方法としては、リードフレームのプレートの積層面に予め接着剤40を塗布しておき、前記ピン36の差し込み後に最下層のリードフレーム100dと最上層のリードフレーム100aとに挟持力または押圧力を作用させて接着固定しても良いし、積層された全プレートの側縁を溶接固定しても良いし、図示しないクリップにて積層した全プレートを挟持固定しても良い。
【0034】
そして、積層して一体になったプレート11〜14を、リードフレームの連設片106を切断してフレーム枠102から切り離す。この切り離しの前または後で、ノズルプレート10をその積層体に接着することで、キャビティプレート組9が複数個完成する。
【0035】
前記ピン36の外周による拘束部39の変形は、当該ピン36が拘束部39に当たっている間のみ変形し、ピン36を抜き取れば元の状態に戻る弾性変形であっても良いが、ピン36を抜き取っても元の状態に戻らない塑性変形であるほうが、各プレートい所定パターンが高い精度で位置決めされた状態で固定される。
【0036】
図11(a)及び(b)は拘束部の他の参考例、 図11(c)、(d)及び図12は拘束部の実施形態である。図11(a)に示す拘束部39aは、位置決め孔37における大径部37aの内周壁から内径方向に4箇所で突起状に突出させたものであり、また、各拘束部39aの自由端は平面視で半円等の凸湾曲状に形成されている。図11(b)における拘束部39bは大径部37aの内周壁から内方向に3箇所で突出している。各拘束部39bの自由端は平面視で半円等の凸湾曲状に形成されている。図11(c)に示す拘束部39cは、その自由端縁が平面視で直線状に形成されたものであり、大径部37aの内周壁から内方向に3箇所で突出している。図11(d)に示す拘束部39dは、その自由端縁が平面視で山形状に形成されたものであり、大径部37aの内周壁から内径方向に4箇所で突出している。
【0037】
これらの拘束部39a、39b、39c、39dは、いずれも、図10の実施形態と同様に薄く形成され、ピン36の外周の一部に接触するので、全周に接触する形態に比べて、ピン36の差し込み時(打ち込み時)の抵抗力を小さくできるから、リードフレームの板厚が特に薄い場合に、位置決め孔37の近傍の材料に不都合な塑性変形領域を発生させず、接合時のプレートの平坦度を保持できるという効果を奏する。
【0038】
図12(a)、図12(b)に示す他の実施形態では、位置決め孔37の大径部37aは、平面視において矩形に形成され、その各辺から半径方向内方に拘束部39eが複数突出している。この拘束部39eは、大径部37aとの接続部39e1の板厚を薄くし、ピン36と接触する自由端部をフレーム枠12と同じ厚さにしている。図10、図11の実施形態の場合、拘束部39,39a〜39dをフレーム枠12に対しハーフエッチングによって形成することになるが、ハーフエッチングは、貫通孔を形成するフルエッチングに比して精度が悪く、位置決め孔37の中心がずれたり、また拘束部の全体が自由に変形しやすいために、ピン36に対しリードフレームが位置ずれしやすい。図12の実施形態の場合、拘束部39eの内周はフルエッチングによって形成できるので、位置精度が出しやすく、また図12(c)のようにピン36の差し込み(打ち込み)によって拘束部39eが薄肉の接続部39e1を中心に屈曲する動きをするのみであるから、拘束部39e全体が自由に変形することが少なく、各リードフレームを正確に位置あわせして積層することができる。
【0039】
前記各実施形態では、インクジェットヘッドの組み立てに適用したが、電子部品の組み立てに際しても複数枚のリードフレームの積層固定の構造や位置決め方法として最適なものである。
【0040】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明のインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法は、各層のリードフレームにおけるフレーム枠の位置決め孔にピンを打ち込むと、当該ピンの外周面にて位置決め孔における拘束部を打ち込みの下流方向に弾性変形または塑性変形させるので、複数のリードフレームの薄板状の部品を正確に積層することができる。
また、インクジェットプリンタヘッドにおいては、各部品に形成したインク流路を正確に対応させ、所期のインク噴射動作を安定して得ることができるインクジェットプリンタヘッドを容易に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態による圧電式インクジェットプリンタヘッドを示す分解斜視図である。
【図2】キャビティプレート組の分解斜視図である。
【図3】キャビティプレート組の分解部分的拡大斜視図である。
【図4】ノズル側を上にして配置したキャビティプレート組の分解斜視図である。
【図5】図1のV−V線矢視拡大断面図である。
【図6】フレキシブルフラットケーブルとキャビティプレート組と圧電アクチュエータとを接着・固定した状態の拡大断面図である。
【図7】リードフレームの平面図である。
【図8】リードフレームの積層状態を説明する分解斜視図である。
【図9】(a)は本発明におけるリードフレームの位置決め孔の状態を示す部分拡大断面図、(b)はピンとの関係を示す部分拡大断面図、(c)はピンを除去した後の積層固定状態を示す部分拡大断面図である。
【図10】(a)は第1参考例の位置決め孔及び拘束部の拡大平面図、(b)はその断面図である。
【図11】(a)及び(b)は拘束部の他の参考例であって、(a)は拘束部が4つのもの、(b)は拘束部が3つのもの、(c)及び(d)は本発明の実施形態であって、(c)は自由端縁が直線状の拘束部が3つのもの、(d)は平面視山形状の拘束部が4つのもののそれぞれ平面図を示す。
【図12】 本発明の位置決め孔及び拘束部の他の実施形態の拡大断面図を示し、(a)は平面図、(b)はその断面図、(c)は位置決めピンを打ち込んだ状態の断面図を示す。
【符号の説明】
9 キャビティプレート組
10 ノズルプレート
11、12 マニホールドプレート
13 スペーサプレート
14 ベースプレート
15 ノズル
16 圧力室
20 圧電アクチュエータ
36 ピン
37 位置決め孔
37a 大径部
39,39a,39b,39c,39d 拘束部
100a,100b,100c,100d リードフレーム
102 フレーム枠

Claims (4)

  1. 1つの種類の薄板状の部品におけるインク流路を他の種類の薄板状の部品におけるインク流路に連通させるように、複数種類の薄板状の部品を積層してなるインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法において、
    同じインク流路を有する同一種類の薄板状の部品が、同一面に複数個並んで形成され、この複数の薄板状の部品の外周にフレーム枠を形成し、且つ前記各部品の外周と前記フレーム枠とを、該薄板状の部品の幅よりも小さい幅の連接片で一体に接続してリードフレームを形成する工程と、
    前記複数種類の薄板状の部品の各積層面に接着剤を塗布した後、前記それぞれのインク流路を相互に連通させて複数種類の薄板状の部品を接合するように複数枚のリードフレームを積層する工程と、
    前記積層工程によって複数積層された薄板状の部品を前記フレーム枠から分離する工程とを備え、
    前記リードフレームを形成する工程では、
    前記複数種類のリードフレームのそれぞれに対して、前記インク流路を含む複数の前記薄板状の部品と、前記連接片を有するフレーム枠と、さらに、前記フレーム枠の平面視で同じ位置に貫通形成し、位置決め用のピンの打ち込みによって当該ピンの外周にて弾性変形または塑性変形可能な拘束部をその内周部に有する位置決め孔とを形成し、
    前記拘束部は、前記各位置決め孔の内周部に少なくとも3つ以上で半径方向内向きに形成され、その厚みが前記各フレーム枠の厚みよりも薄く形成され、前記位置決めピンの外周面と接触する部分が、平面視で少なくとも平直線状、または、直線に近い湾曲形状の凸形状で、積層された状態で、前記各プレートごとの拘束部が独立して変形するように構成され、
    前記積層工程では、前記位置決め用のピンを複数枚の前記フレーム枠の積層された位置決め孔に対して打ち込み、前記拘束部を変形させて各リードフレームを位置決めしながら、前記複数種類のリードフレームを相互に位置決めし、複数個のインクジェットプリンタヘッド分の積層体を同時に形成し、
    前記分離する工程では、前記連接片を切断して、前記複数個のインクジェットプリンタヘッド分の積層体を、前記フレーム枠から分離することを特徴とするインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法。
  2. 1つの種類の薄板状の部品におけるインク流路を他の種類の薄板状の部品におけるインク流路に連通させるように、複数種類の薄板状の部品を積層してなるインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法において、
    同じインク流路を有する同一種類の薄板状の部品が、同一面に複数個並んで形成され、この複数の薄板状の部品の外周にフレーム枠を形成し、且つ前記各部品の外周と前記フレーム枠とを、該薄板状の部品の幅よりも小さい幅の連接片で一体に接続してリードフレームを形成する工程と、
    前記複数種類の薄板状の部品の各積層面に接着剤を塗布した後、前記それぞれのインク流路を相互に連通させて複数種類の薄板状の部品を接合するように複数枚のリードフレームを積層する工程と、
    前記積層工程によって複数積層された薄板状の部品を前記フレーム枠から分離する工程とを備え、
    前記リードフレームを形成する工程では、
    前記複数種類のリードフレームのそれぞれに対して、前記インク流路を含む複数の前記薄板状の部品と、前記連接片を有するフレーム枠と、さらに、前記フレーム枠の平面視で同じ位置に貫通形成し、位置決め用のピンの打ち込みによって当該ピンの外周にて弾性変形または塑性変形可能な拘束部をその内周部に有する位置決め孔とを形成し、
    前記拘束部は、前記各位置決め孔の内周部に少なくとも3つ以上で半径方向内向きに形成されて、前記各フレーム枠の前記位置決め孔は、その内周部と前記拘束部との間を連結する接続部が、前記各フレーム枠の厚みよりも薄肉に形成され、前記各拘束部の自由端側は前記各フレーム枠の厚みと同一に形成され
    前記積層工程では、前記位置決め用のピンを複数枚の前記フレーム枠の積層された位置決め孔に対して打ち込み、前記各拘束部の自由端が、積層された状態で前記各接続部を中心に変形して、前記ピンの外周面と圧接されて各リードフレームを位置決めしながら、前記複数種類のリードフレームを相互に位置決めし、複数個のインクジェットプリンタヘッド分の積層体を同時に形成し、
    前記分離する工程では、前記連接片を切断して、前記複数個のインクジェットプリンタヘッド分の積層体を、前記フレーム枠から分離することを特徴とするインクジェットプリンタヘッド積層体の製造方法。
  3. 前記複数の薄板状の部品がフレーム枠の一対の辺の間に、そのフレーム枠の長手方向に沿って配置され、このフレーム枠の一対の辺のうち少なくとも一方の辺に、その長手方向にそって適宜間隔にて前記位置決め孔が穿設されることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッド積層体の製造方法。
  4. それぞれインク流路を有する複数種類の薄板状の部品は、インクを吐出するための複数のノズル孔に連通する複数の圧力室を有するベースプレートと、前記圧力室の一端に接続する貫通孔を有するスペーサプレート、及び前記貫通孔を介して前記多数個の圧力室に連通するインク室を有するマニホールドプレートを少なくとも含み、前記分離する工程の前または後で、それぞれの複数のインクジェットヘッド積層体に対して、さらに、前記複数のノズル孔を有するノズルプレートを接着することを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のインクジェットヘッド積層体の製造方法。
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