JP4473093B2 - 抵抗測定装置および抵抗測定方法 - Google Patents

Description

本発明は、電気部品の抵抗値を測定する抵抗測定装置および抵抗測定方法に関するものである。

この種の抵抗測定装置として、特開平６−２６０７９９号公報に開示されたインサーキットテスタが知られている。このインサーキットテスタでは、回路基板に実装された表面実装部品に接続される基板上のテストパッドにインサーキットテスタの検査ピンを押し当てて表面実装部品の電気的特性の良否等の検査を行うことが可能になっている。

ところが、上記したインサーキットテスタを用いて、図４に示すように測定対象の抵抗Ｒ１と直列接続された抵抗Ｒ２，Ｒ３とが並列接続されている状態で、抵抗Ｒ１の抵抗値を測定するときには、抵抗Ｒ１と、直列接続された抵抗Ｒ２，Ｒ３とが並列接続された状態の等価抵抗値が測定される。つまり、抵抗Ｒ１単体の抵抗値を正確に測定することができないこととなる。

この場合、抵抗Ｒ１単体の抵抗値の測定には、一般的に、図４に示す抵抗測定装置１０１、または、図５に示す抵抗測定装置１０１Ａが用いられている。図４に示す抵抗測定装置１０１では、電圧源１１１が、プローブ２ａ，２ｂおよび電流計１２を介して、直流の定電圧を抵抗Ｒ１の一端および他端の間に印加する。この場合、抵抗Ｒ１の一端にはＨ電位（Ｈｉｇｈ電位）を印加し、抵抗Ｒ１の他端にはＬ電位（Ｌｏｗ電位）を印加する。また、例えばボルテージフォロア接続された演算増幅器１１２が、抵抗Ｒ１の他端に印加されたＬ電位をプローブ２ｂを介して入力して、その入力したＬ電位とほぼ等しいＧｌ１０１電位を、その一端が抵抗Ｒ１の他端に接続された抵抗Ｒ３の他端（抵抗Ｒ２，３の接続部）にプローブ２ｅを介して低インピーダンスで出力する。この場合、演算増幅器１１２から出力されるＧｌ１０１電位と、入力したＬ電位との間には、演算増幅器１１２の内部で発生するオフセット電圧Ｖｏ分だけ差が生じる。このため、オフセット電圧調整用の可変抵抗１１３を調整して、演算増幅器１１２の入力端子と出力端子の間に接続された電圧計１１４の表示がなるべくゼロボルトに近くなるように、つまり、Ｇｌ１０１電位がなるべくＬ電位に近くなるように調整する。この調整によって抵抗Ｒ３には殆ど電流Ｉｇ１０１が流れなくなる。したがって、プローブ２ｂを介して電流計１２を流れる電流Ｉ１０１は、殆ど抵抗Ｒ１を流れる電流のみとなる。また、電圧計１３が、抵抗Ｒ１の両端に発生する電圧をプローブ２ｃ，２ｄを介して入力して測定する。したがって、電流計１２によって測定された電流値、および電圧計１３によって測定された電圧値に基づいて抵抗Ｒ１単体の抵抗値が算出される。

一方、図５に示す抵抗測定装置１０１Ａでは、電流源１１１Ａが、プローブ２ａ，２ｂおよび電流計１２を介して、直流定電流の電流Ｉ１０２を抵抗Ｒ１の両端間に供給する。なお、抵抗測定装置１０１の構成要素と同一の機能を有するものについては、同一の符号を付して重複した説明を省略する。この場合、抵抗Ｒ１の一端にはＨ電位が発生し、抵抗Ｒ１の他端にはＬ電位が発生する。また、演算増幅器１１２が、抵抗Ｒ１の一端に発生したＨ電位をプローブ２ａを介して入力して、その入力したＨ電位とほぼ等しいＧｈ１０１電位を、その一端が抵抗Ｒ１の一端に接続された抵抗Ｒ２の他端（抵抗Ｒ２，３の接続部）にプローブ２ｅを介して低インピーダンスで出力する。この場合、演算増幅器１１２から出力されるＧｈ１０１電位と、入力したＨ電位との間には、演算増幅器１１２の内部で発生するオフセット電圧Ｖｏ分だけ差が生じる。このため、可変抵抗１１３を調整して、電圧計１１４の表示がなるべくゼロボルトに近くなるように、つまり、Ｇｈ１０１電位がなるべくＨ電位に近くなるように調整する。この調整によって抵抗Ｒ２には殆ど電流Ｉｇ１０２が流れなくなる。したがって、電流源１１１Ａから出力されて電流計１２を経由して流れる電流Ｉ１０２は、殆ど抵抗Ｒ１を流れる電流のみとなる。また、電圧計１３が、抵抗Ｒ１の両端に発生する電圧をプローブ２ｃ，２ｄを介して測定する。したがって、電流計１２によって測定された電流値、および電圧計１３によって測定された電圧値に基づいて抵抗Ｒ１単体の抵抗値が算出される。
特開平６−２６０７９９号公報（第１頁）

ところが、上記した抵抗測定装置１０１，１０１Ａには、以下の問題点がある。すなわち、この抵抗測定装置１０１（または抵抗測定装置１０１Ａ）では、演算増幅器１１２のオフセット電圧Ｖｏをゼロボルトに近づけるように可変抵抗１１３を調整して、Ｇｌ１０１電位（またはＧｈ１０１電位）をなるべくＬ電位（またはＨ電位）に近付ける必要がある。したがって、この抵抗測定装置１０１，１０１Ａには、この調整作業が煩雑であるという問題点がある。また、電圧計１１４の測定精度や可変抵抗１１３の調整精度に起因して、Ｇｌ１０１電位（またはＧｈ１０１電位）とＬ電位（またはＨ電位）とを完全に等しく調整することは困難であり、例えば数十マイクロＶ程度のオフセット電圧Ｖｏを生じる可能性がある。したがって、この抵抗測定装置１０１，１０１Ａには、このオフセット電圧Ｖｏに対応する電流Ｉｇ１０１（または電流Ｉｇ１０２）が抵抗Ｒ３（または抵抗Ｒ２）を流れて電流Ｉ１０１（または電流Ｉ１０２）に含まれることに起因して、電流Ｉ１０１（または電流Ｉ１０２）に基づいて算出される抵抗Ｒ１の抵抗値に測定誤差が含まれる可能性があるという問題点が存在する。特に、抵抗測定装置１０１（または抵抗測定装置１０１Ａ）では、抵抗Ｒ３（または抵抗Ｒ２）の抵抗値が小さいときに、オフセット電圧Ｖｏによって大きな電流Ｉｇ１０１（または電流Ｉｇ１０２）が流れることに起因して、測定誤差が大きくなる可能性がある。

さらに、抵抗測定装置１０１では、電圧源１１１の出力電圧が小さいときや抵抗Ｒ１の抵抗値が大きいときには、電流Ｉ１０１の電流値が小さくなるため、電流Ｉ１０１に対する電流Ｉｇ１０１の割合が相対的に大きくなることに起因して、測定誤差が大きくなる可能性がある。また、抵抗測定装置１０１Ａでは、電流源１１１Ａの出力電流が小さいときや抵抗Ｒ１の抵抗値が大きいときには、電流Ｉ１０２の電流値が小さくなるため、電流Ｉ１０２に対する電流Ｉｇ１０２の割合が相対的に大きくなることに起因して、測定誤差が大きくなる可能性がある。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、正確かつ簡易に抵抗値を測定し得る抵抗測定装置および抵抗測定方法を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく請求項１記載の抵抗測定装置は、第１電圧値および第２電圧値の検査用直流電圧を出力する電圧源と、直流定電圧を出力する定電圧源と、直流電流計と、演算部とを備えて、測定対象の第１電気部品と、直列接続された複数の電気部品とが並列接続されている状態で前記第１電気部品の抵抗値を測定可能な抵抗測定装置であって、前記演算部は、前記第１電気部品の一端および他端の間に前記第１電圧値の前記検査用直流電圧が印加され、かつ前記第１電気部品の前記他端に一端が接続されている前記複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に前記直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品のみを流れる直流電流と前記直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流との和の直流電流の第１電流値を前記電流計から取得し、前記第１電気部品の両端間に前記第１電圧値とは絶対値が異なる前記第２電圧値の前記検査用直流電圧が印加され、かつ前記第２電気部品の前記両端間に前記直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品のみを流れる直流電流と前記直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流の和の直流電流の第２電流値を前記電流計から取得し、前記第１電圧値と前記第１電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および前記第２電圧値と前記第２電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、前記第１および第２電圧値と前記取得した第１および第２電流値とに基づいて前記第１電気部品の抵抗値を算出する。

また、請求項２記載の抵抗測定装置は、第１電流値および第２電流値の検査用直流電流を出力する電流源と、直流定電圧を出力する定電圧源と、直流電圧計と、演算部とを備えて、測定対象の第１電気部品と、直列接続された複数の電気部品とが並列接続されている状態で前記第１電気部品の抵抗値を測定可能な抵抗測定装置であって、前記演算部は、前記第１電気部品および前記直列接続された複数の電気部品に前記第１電流値の前記検査用直流電流が供給され、かつ前記第１電気部品の前記一端に一端が接続されている前記複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に前記直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品の両端間における直流電圧の第１電圧値を前記直流電圧計から取得し、前記第１電気部品および前記直列接続された複数の電気部品に前記第１電流値とは絶対値が異なる前記第２電流値の前記検査用直流電流が供給され、かつ前記第２電気部品の前記両端間に前記直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品の両端間における直流電圧の第２電圧値を前記直流電圧計から取得し、前記第１電圧値と前記第１電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および前記第２電圧値と前記第２電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、前記第１および第２電流値と前記取得した第１および第２電圧値とに基づいて前記第１電気部品の抵抗値を算出する。

また、請求項３記載の抵抗測定方法は、測定対象の第１電気部品と、直列接続された複数の電気部品とが並列接続されている状態で前記第１電気部品の抵抗値を測定する抵抗測定方法であって、前記第１電気部品の一端および他端の間に第１電圧値の検査用直流電圧を印加し、かつ前記第１電気部品の前記他端に一端が接続されている前記複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に直流定電圧を印加した状態において、前記第１電気部品のみを流れる直流電流と前記直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流の和の直流電流の第１電流値を測定し、前記第１電気部品の両端間に前記第１電圧値とは絶対値が異なる第２電圧値の前記検査用直流電圧を印加し、かつ前記第２電気部品の前記両端間に前記直流定電圧を印加した状態において、前記第１電気部品のみを流れる直流電流と前記直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流の和の直流電流の第２電流値を測定し、前記第１電圧値と前記第１電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および前記第２電圧値と前記第２電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、前記第１および第２電圧値と前記測定した第１および第２電流値とに基づいて前記第１電気部品の抵抗値を算出する。

また、請求項４記載の抵抗測定方法は、測定対象の第１電気部品と、直列接続された複数の電気部品とが並列接続されている状態で前記第１電気部品の抵抗値を測定する抵抗測定方法であって、前記第１電気部品および前記直列接続された複数の電気部品に第１電流値の前記検査用直流電流を供給し、かつ前記第１電気部品の前記一端に一端が接続されている前記複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品の両端間における直流電圧の第１電圧値を測定し、前記第１電気部品および前記直列接続された複数の電気部品に前記第１電流値とは絶対値が異なる第２電流値の前記検査用直流電流を供給し、かつ前記第２電気部品の前記両端間に前記直流定電圧を印加した状態において、前記第１電気部品の両端間における直流電圧の第２電圧値を測定し、前記第１電圧値と前記第１電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および前記第２電圧値と前記第２電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、前記第１および第２電流値と前記測定した第１および第２電圧値とに基づいて前記第１電気部品の抵抗値を算出する。

請求項１記載の抵抗測定装置および請求項３記載の抵抗測定方法によれば、第１電気部品の両端間に第１電圧値の検査用直流電圧を印加し、かつ第２電気部品の両端間に直流定電圧を印加した状態において、第１電気部品のみを流れる直流電流と直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流の和の直流電流の第１電流値を測定し、第１電気部品の両端間に第１電圧値とは絶対値が異なる第２電圧値の検査用直流電圧を印加し、かつ第２電気部品の両端間に直流定電圧を印加した状態において、第１電気部品のみを流れる直流電流と直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流の和の直流電流の第２電流値を測定し、第１電圧値と第１電流値と第２電気部品を流れる直流電流の電流値と第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および第２電圧値と第２電流値と第２電気部品を流れる直流電流の電流値と第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、第１および第２電圧値と測定した第１および第２電流値とに基づいて第１電気部品の抵抗値を算出することにより、第１電気部品の抵抗値算出の際に、第１電気部品の抵抗値を正確かつ簡易に算出することができる。

請求項２記載の抵抗測定装置および請求項４記載の抵抗測定方法によれば、第１電気部品および直列接続された複数の電気部品に第１電流値の検査用直流電流を供給し、かつ第１電気部品の一端に一端が接続されている複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に直流定電圧が印加されている状態において、第１電気部品の両端間における直流電圧の第１電圧値を測定し、第１電気部品および直列接続された複数の電気部品に第１電流値とは絶対値が異なる第２電流値の検査用直流電流を供給し、かつ第２電気部品の両端間に直流定電圧を印加した状態において、第１電気部品の両端間における直流電圧の第２電圧値を測定し、第１電圧値と第１電流値と第２電気部品を流れる直流電流の電流値と第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および第２電圧値と第２電流値と第２電気部品を流れる直流電流の電流値と第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、第１および第２電流値と測定した第１および第２電圧値とに基づいて第１電気部品の抵抗値を算出することにより、第１電気部品の抵抗値算出の際に、第１電気部品の抵抗値を正確かつ簡易に算出することができる。

以下、本発明に係る抵抗測定装置および抵抗測定方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、抵抗測定装置１の構成について、図１を参照して説明する。なお、抵抗測定装置１０１，１０１Ａの構成要素と同一の機能を有するものについては、同一の符号を付して重複した説明を省略する。

同図に示すように、抵抗測定装置１は、５本のプローブ２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ，２ｅ、３つの移動機構３ａ，３ｂ，３ｃ、測定部４、制御部５、ＲＡＭ６、ＲＯＭ７および表示部８を備え、回路基板４０に実装された抵抗（本発明における電気部品の一例）等の抵抗値を測定可能に構成されている。５本のプローブ２ａ〜２ｅは例えば接触型プローブであって、そのうちの２本のプローブ２ａ，２ｃが、互いの先端部同士が近接するようにしてプローブ固定具３１ａを介して移動機構３ａに取り付けられ、２本のプローブ２ｂ，２ｄが、互いの先端部同士が近接するようにしてプローブ固定具３１ｂを介して移動機構３ｂに取り付けられ、１本のプローブ２ｅが、プローブ固定具３１ｃを介して移動機構３ｃに取り付けられている。移動機構３ａ〜３ｃは、制御部５の制御に従ってプローブ２ａ〜２ｅを上下左右に移動させることにより、回路基板４０の表面に形成された任意のテストポイントにプローブ２ａ〜２ｅの先端部を移動可能に構成されている。

測定部４は、図２に示すように、電圧源１１、電流計１２、電圧計１３およびガード電位印加回路１４を備えて構成されている。電圧源１１は、制御部５の制御に従い、一方の出力部に接続されたプローブ２ａと、他方の出力部に接続された電流計１２およびプローブ２ｂとを介して所定電圧の直流電圧を出力する。また、電圧源１１は、他方の出力部が測定部４のグランド（基準電位）に接続されている。電流計１２は、電圧源１１の他方の出力部とプローブ２ｂとの間に接続されて、抵抗Ｒ１のみを流れる直流電流（後述する電流Ｉｒ１１，Ｉｒ１２）と、抵抗Ｒ２および抵抗Ｒ３の直列回路のみを流れる直流電流（後述する電流Ｉｇ１，Ｉｇ２）との和、つまり抵抗Ｒ１の一端から他端に向けて流れる直流電流の電流値（本発明における第１電流値および第２電流値であって、後述する電流Ｉｔ１１，Ｉｔ１２）を測定して制御部５に出力する。電圧計１３は、電圧源１１から出力された直流電圧をプローブ２ｃ，２ｄを介して入力してその電圧値を測定して制御部５に出力する。ガード電位印加回路１４は、本発明における定電圧回路に相当し、例えば、非反転入力部がプローブ２ｂに接続されると共にボルテージフォロア接続された演算増幅器で構成されて、この演算増幅器の出力部からプローブ２ｅにガード電位（以下、Ｇｌ電位ともいう）を出力する。この場合、ガード電位印加回路１４は、理論的には非反転入力部に入力したＬ電位と等しいＧｌ電位を出力するが、実際には、演算増幅器のオフセット電圧Ｖｏ（本発明における直流定電圧）分だけＬ電位との間に差を有するＧｌ電位を出力する。また、オフセット電圧Ｖｏは、後述するように、抵抗測定処理の期間中は一定の電圧値に定電圧化される。

制御部５は、本発明における演算部に相当し、ＣＰＵ等で構成されて、移動機構３ａ〜３ｃに対する駆動制御や、後述する抵抗測定処理などを実行する。ＲＡＭ６は、予め設定されて互いに異なる値の第１および第２電圧値を記憶すると共に、制御部５の演算結果などを一時的に記憶する。ＲＯＭ７は、制御部５の動作プログラムを記憶する。表示部８は、抵抗値の測定結果を表示する。

一方、回路基板４０には、固定抵抗器の抵抗Ｒ１〜Ｒ３を初めとして数多くの電気部品が実装されている。なお、抵抗Ｒ１〜Ｒ３については、図２に示すように、電気記号を用いて等価的な電気的接続状態を表している。この場合、同図に示すように、実装された抵抗Ｒ２と抵抗Ｒ３とが導体パターン（図示せず）によって直列接続されると共に、実装された抵抗Ｒ１（本発明における第１電気部品）と、直列接続された抵抗Ｒ２，Ｒ３（本発明における直列接続された複数の電気部品）とが導体パターン（図示せず）によって並列接続されている。また、各抵抗Ｒ１，Ｒ２、抵抗Ｒ２，Ｒ３および抵抗Ｒ３，Ｒ１をそれぞれ接続する各導体パターンには、プローブが接触させられるテストポイントが形成されている。なお、抵抗Ｒ３が本発明における第２電気部品に相当する。

次に、抵抗測定装置１による抵抗測定処理（本発明に係る抵抗測定方法）を説明する。

まず、テストポイントの形成面を例えば上向きにして回路基板４０を抵抗測定装置１にセットする。次いで、制御部５が、移動機構３ａ，３ｂ，３ｃを制御して、図２に示すように、抵抗Ｒ１の一端側のテストポイントにプローブ２ａ，２ｃを接触させ、抵抗Ｒ１の他端側のテストポイントにプローブ２ｂ，２ｄを接触させ、抵抗Ｒ１の他端に一端が接続されている抵抗Ｒ３の他端側のテストポイント（抵抗Ｒ２と抵抗Ｒ３との接続部分のテストポイント）にプローブ２ｅを接触させる。続いて、制御部５は、抵抗Ｒ１の抵抗値を測定する抵抗測定処理を実行する。この抵抗測定処理では、制御部５は、予め設定されている第１電圧値（例えば＋４００ｍＶ）をＲＡＭ６から読み込んで、電圧源１１に対してこの第１電圧値の検査用直流電圧を出力させる。したがって、電圧源１１は、他方の出力部を基準電位として、両出力部の間に検査用直流電圧（例えば、他方の出力部を０Ｖとしたときに一方の出力部に＋４００ｍＶの検査用直流電圧）を出力して、プローブ２ａ，２ｂを介して抵抗Ｒ１の両端に印加する。この場合、抵抗Ｒ１の一端に印加される電位をＨ１１電位とし、抵抗Ｒ１の他端に印加される電位をＬ電位とする。また、ガード電位印加回路１４が、プローブ２ｂを介して抵抗Ｒ１の他端側のＬ電位を入力して、Ｌ電位とほぼ等しくてオフセット電圧Ｖｏ分だけ差（電位差）のあるＧｌ電位をプローブ２ｅを介して抵抗Ｒ３の他端側のテストポイントに出力する。したがって、直流定電圧としてのオフセット電圧Ｖｏが印加されて、抵抗Ｒ３の両端間がオフセット電圧Ｖｏに定電圧化される。また、電流計１２が、抵抗Ｒ１の一端から他端に向けて流れる電流Ｉｔ１１の電流値（本発明における第１電流値）を測定して制御部５に出力する。また、電圧計１３が、抵抗Ｒ１の両端に実際に印加されている電圧Ｖｒ１１をプローブ２ｃ，２ｄを介して入力して、その電圧値を測定して制御部５に出力する。この際に、制御部５は、電流Ｉｔ１１の電流値および電圧Ｖｒ１１の電圧値をＲＡＭ６に記憶させる。

この場合、抵抗Ｒ１には、その両端間に検査用直流電圧が印加されることに起因して電流Ｉｒ１１が流れる。また、抵抗Ｒ３には、その両端間がオフセット電圧Ｖｏに定電圧化されることに起因して電流Ｉｇ１が流れる。ここで、抵抗Ｒ１の抵抗値をＲ１とし、電流Ｉｒ１１の電流値をＩｒ１１とし、抵抗Ｒ３を流れる電流Ｉｇ１の電流値をＩｇ１とし、プローブ２ｂを流れる電流Ｉｔ１１の電流値をＩｔ１１としたときに、Ｉｔ１１について以下の関係式が成り立つことになる。
Ｉｔ１１＝Ｉｒ１１＋Ｉｇ１
＝Ｖｒ１１／Ｒ１＋Ｉｇ１・・・（１）式

次に、制御部５は、予め設定されている第２電圧値（例えば＋２００ｍＶ）をＲＡＭ６から読み込んで、電圧源１１に対してこの第２電圧値の検査用直流電圧を出力させる。したがって、電圧源１１は、他方の出力部を基準電位として、両出力部の間に検査用直流電圧（例えば、他方の出力部を０Ｖとしたときに一方の出力部に＋２００ｍＶの検査用直流電圧）を出力して、プローブ２ａ，２ｂを介して抵抗Ｒ１の両端に印加する。この場合、抵抗Ｒ１の一端に印加される電位をＨ１２電位とし、抵抗Ｒ１の他端に印加される電位をＬ電位とする。また、ガード電位印加回路１４が、Ｌ電位とほぼ等しくてオフセット電圧Ｖｏ分だけ差（電位差）のあるＧｌ電位をプローブ２ｅを介して抵抗Ｒ３の他端側のテストポイントに出力する。したがって、抵抗Ｒ３の両端間が、先の測定の際のオフセット電圧Ｖｏと等しい電圧のオフセット電圧Ｖｏに定電圧化される。また、電流計１２が、抵抗Ｒ１の一端から他端に向けて流れる電流Ｉｔ１２の電流値（本発明における第２電流値）を測定して制御部５に出力する。また、電圧計１３が、抵抗Ｒ１の両端に実際に印加されている電圧Ｖｒ１２をプローブ２ｃ，２ｄを介して入力して、その電圧値を測定して制御部５に出力する。

この場合、抵抗Ｒ１には、その両端間に検査用直流電圧が印加されることに起因して電流Ｉｒ１２が流れる。また、抵抗Ｒ３には、その両端間がオフセット電圧Ｖｏに定電圧化されることに起因して先の測定の際の電流Ｉｇ１と等しい電流値の電流Ｉｇ１が流れる。ここで、電流Ｉｒ１２の電流値をＩｒ１２とし、プローブ２ｂを流れる電流Ｉｔ１２の電流値をＩｔ１２としたときに、Ｉｔ１２について以下の関係式が成り立つことになる。
Ｉｔ１２＝Ｉｒ１２＋Ｉｇ１
＝Ｖｒ１２／Ｒ１＋Ｉｇ１・・・（２）式

したがって、上記した（１）式および（２）式から、以下の（３）式が成立する。
Ｒ１＝（Ｖｒ１１−Ｖｒ１２）／（Ｉｔ１１−Ｉｔ１２）・・・（３）式
この（３）式を導く際にオフセット電圧Ｖｏに起因して流れる電流Ｉｇ１の電流値Ｉｇ１が相殺されるため、この（３）式には電流値Ｉｇ１が含まれていない。したがって、オフセット電圧Ｖｏに起因する測定誤差を含むことなく抵抗Ｒ１の抵抗値が（３）式から正確に算出（測定）される。

次いで、制御部５は、ＲＡＭ６に記憶させた電流Ｉｔ１１の電流値Ｉｔ１１および電圧Ｖｒ１１の電圧値Ｖｒ１１と、入力した電流Ｉｔ１２の電流値Ｉｔ１２および電圧Ｖｒ１２の電圧値Ｖｒ１２とを用いて（３）式から抵抗Ｒ１の抵抗値を算出する。この場合、ＲＡＭ６に記憶させた電圧値Ｖｒ１１と、入力した電圧値Ｖｒ１２とに代えて、ＲＡＭ６に予め設定されている第１および第２電圧値を用いることもできる。続いて、制御部５は、算出した抵抗Ｒ１の抵抗値を表示部８に表示する。以上により、抵抗測定装置１による抵抗測定処理を終了する。

次に、印加する電圧（流れる電流）の値によって抵抗値が変化する例えばサーミスタＴ１などの無極性の電気部品の抵抗値を測定する例について説明する。

この場合、第１電圧値および第２電圧値として、互いに絶対値が等しくて逆極性の電圧値をＲＡＭ６に予め記憶させる。例えば、第１電圧値として＋４００ｍＶを記憶させ、第２電圧値として−４００ｍＶを記憶させる。

このサーミスタＴ１についての抵抗測定処理では、上記の測定と同様にして、制御部５が、電圧源１１に対して、第１電圧値（＋４００ｍＶ）の検査用直流電圧を出力させて、電流計１２から出力される電流Ｉｔ１１の電流値を入力すると共に、電圧計１３から出力される電圧Ｖｒ１１の電圧値を入力する。次いで、制御部５は、電圧源１１に対して、第２電圧値（−４００ｍＶ）の検査用直流電圧を出力させて、電流計１２から出力される電流Ｉｔ１２の電流値を入力すると共に、電圧計１３から出力される電圧Ｖｒ１２の電圧値を入力する。この場合、電流Ｉｔ１２および電圧Ｖｒ１２は、第１電圧値の検査用直流電圧で測定した電流Ｉｔ１１および電圧Ｖｒ１１に対して、極性が逆、つまり符号がマイナスとなる。また、抵抗Ｒ３の両端間のオフセット電圧Ｖｏは、第１電圧値の検査用直流電圧を印加したときと第２電圧値の検査用直流電圧を印加したときとで等しくなる。したがって、この例のときにも、上記の（１）式〜（３）式が成り立つため、制御部５は、測定した電流Ｉｔ１１，Ｉｔ１２および電圧Ｖｒ１１，Ｖｒ１２（ただし、電流Ｉｔ１２および電圧Ｖｒ１２の符号はマイナス）から（３）式を用いてサーミスタＴ１の抵抗値を算出する。このように、印加する電圧（流れる電流）の値によって抵抗値が変化する無極性の電気部品についての所定電圧における抵抗値がオフセット電圧Ｖｏに起因する測定誤差を含むことなく正確に測定される。

このように、この抵抗測定装置１によれば、抵抗Ｒ１の両端間に第１電圧値の検査用直流電圧を印加し、かつ抵抗Ｒ３両端間をオフセット電圧Ｖｏで定電圧化した状態において、抵抗Ｒ１の一端から他端に向けて流れる電流Ｉｔ１１の第１電流値を測定し、抵抗Ｒ１の両端間に第２電圧値の検査用直流電圧を印加し、かつ抵抗Ｒ３の両端間をオフセット電圧Ｖｏで定電圧化した状態において、抵抗Ｒ１の一端から他端に向けて流れる電流Ｉｔ１２の第２電流値を測定し、第１および第２電圧値と測定した第１および第２電流値とに基づいて抵抗Ｒ１の抵抗値を算出することにより、抵抗Ｒ１の抵抗値算出の際にオフセット電圧Ｖｏに起因して流れる電流Ｉｇ１を相殺できるため、オフセット電圧Ｖｏに起因する測定誤差を含むことなく抵抗Ｒ１の抵抗値を正確かつ簡易に算出（測定）することができる。

また、この抵抗測定装置１によれば、第２電圧値の検査用直流電圧として第１電圧値に対して逆極性であって絶対値が等しい直流電圧を抵抗Ｒ１の両端間に印加することにより、印加する電圧（流れる電流）の値によって抵抗値が変化する無極性の電気部品についての所定電圧（第１電圧値の絶対値）の印加状態における抵抗値を正確に測定することができる。

次に、図３に示す抵抗測定装置１Ａについて説明する。なお、抵抗測定装置１Ａには、基本的に本発明が適用されている。したがって、抵抗測定装置１と共通する構成要素については同一の符号を用いて重複した説明を省略する。

抵抗測定装置１Ａは、図１に示すように、５本のプローブ２ａ〜２ｅ、３つの移動機構３ａ〜３ｃ、測定部４Ａ、制御部５、ＲＡＭ６、ＲＯＭ７および表示部８を備え、回路基板に実装された抵抗（本発明における電気部品の一例）等の抵抗値を測定可能に構成されている。

測定部４Ａは、図３に示すように、電流源１１Ａ、電流計１２、電圧計１３およびガード電位印加回路１４を備えて構成されている。電流源１１Ａは、制御部５の制御に従い、一方の出力部に電流計１２を介して接続されたプローブ２ａと他方の出力部に接続されたプローブ２ｂとを介して所定電流値の直流電流を出力する。また、電流源１１Ａは、他方の出力部が測定部４Ａのグランド（基準電位）に接続されている。電流計１２は、電流源１１Ａの一方の出力部とプローブ２ａとの間に接続されて、電流源１１Ａから出力される直流電流の電流値を測定して制御部５に出力する。ガード電位印加回路１４は、本発明における定電圧回路に相当し、演算増幅器の非反転入力部がプローブ２ａに接続されると共に、この演算増幅器の出力部からプローブ２ｅを介してガード電位（以下、Ｇｈ電位ともいう）を出力する。この場合、ガード電位印加回路１４は、理論的には非反転入力部に入力した電圧（以下、Ｈ電位ともいう）と等しいＧｈ電位を出力するが、実際には、演算増幅器のオフセット電圧Ｖｏ分だけＨ電位との間に差を有するＧｈ電位を出力する。また、オフセット電圧Ｖｏは、後述するように、抵抗測定処理の期間中は一定の電圧値に定電圧化される。

ＲＡＭ６は、予め設定されて互いに異なる値の第１および第２電流値を記憶すると共に、制御部５の演算結果などを一時的に記憶する。

次に、抵抗測定装置１Ａによる抵抗測定処理（本発明に係る抵抗測定方法）を説明する。なお、抵抗測定装置１と同様の動作については、重複した説明を省略する。

まず、抵抗測定装置１における動作と同様にして、図３に示すように、抵抗Ｒ１の一端側のテストポイントにプローブ２ａ，２ｃを接触させ、抵抗Ｒ１の他端側のテストポイントにプローブ２ｂ，２ｄを接触させ、一端が抵抗Ｒ１の一端に接続されている抵抗Ｒ２の他端側のテストポイント（抵抗Ｒ２と抵抗Ｒ３との接続部分のテストポイント）にプローブ２ｅを接触させる。なお、抵抗Ｒ２が本発明における第２電気部品に相当する。続いて、制御部５は、抵抗Ｒ１の抵抗値を測定する抵抗測定処理を実行する。この抵抗測定処理では、制御部５は、予め設定されている第１電流値（例えば＋１ｍＡ）をＲＡＭ６から読み込んで、電流源１１Ａの一方の出力部から他方の出力部に向かう向き（この向きに流れる電流の電流値を正の値で表す）で第１電流値の検査用直流電流を出力させる。したがって、電流源１１Ａが、電流計１２、プローブ２ａ、抵抗Ｒ１（または抵抗Ｒ２，Ｒ３の直列回路）およびプローブ２ｂからなる電流経路で検査用直流電流を供給する。この場合、検査用直流電流の供給に起因して抵抗Ｒ１の一端に発生する電位をＨ２１電位とし、抵抗Ｒ１の他端の電位をＬ電位とする。また、ガード電位印加回路１４が、プローブ２ａの電位、つまり抵抗Ｒ１の一端側のＨ２１電位を入力して、Ｈ２１電位とほぼ等しくてオフセット電圧Ｖｏ分だけ差（電位差）のあるＧｈ１電位をプローブ２ｅを介して抵抗Ｒ２の他端側のテストポイントに出力する。したがって、直流定電圧としてのオフセット電圧Ｖｏが印加されて、抵抗Ｒ２の両端間がオフセット電圧Ｖｏに定電圧化される。また、電流計１２が、電流源１１Ａから出力されてプローブ２ａを流れる電流Ｉｔ２１の電流値を測定して制御部５に出力する。また、電圧計１３が、プローブ２ｃ，２ｄを介して抵抗Ｒ１の両端に発生する電圧Ｖｒ２１の電圧値（本発明における第１電圧値）を測定して制御部５に出力する。続いて、制御部５は、電流Ｉｔ２１の電流値および電圧Ｖｒ２１の電圧値をＲＡＭ６に記憶させる。

この場合、抵抗Ｒ１には、抵抗Ｒ１の両端への検査用直流電流の供給に起因して、Ｈ２１電位およびＬ電位の電位差に対応する電流Ｉｒ２１が流れる。また、抵抗Ｒ２には、その両端間がオフセット電圧Ｖｏに定電圧化されることに起因して電流Ｉｇ２が流れる。ここで、抵抗Ｒ１の抵抗値をＲ１とし、電流Ｉｒ２１の電流値をＩｒ２１とし、抵抗Ｒ３を流れる電流Ｉｇ２の電流値をＩｇ２とし、プローブ２ａを流れる電流Ｉｔ２１の電流値をＩｔ２１としたときに、Ｉｔ２１について以下の関係式が成り立つことになる。
Ｉｔ２１＝Ｉｒ２１＋Ｉｇ２
＝Ｖｒ２１／Ｒ１＋Ｉｇ２・・・（４）式

次に、制御部５は、予め設定されている第２電流値（例えば＋０．５ｍＡ）をＲＡＭ６から読み込んで、電流源１１Ａの一方の出力部から他方の出力部に向かう向きで第２電流値の検査用直流電流を出力させる。したがって、電流源１１Ａが、電流計１２、プローブ２ａ、抵抗Ｒ１（または抵抗Ｒ２，Ｒ３の直列回路）およびプローブ２ｂからなる電流経路で検査用直流電流を供給する。この場合、検査用直流電流の供給に起因して抵抗Ｒ１の一端に発生する電位をＨ２２電位とし、抵抗Ｒ１の他端の電位をＬ電位とする。また、ガード電位印加回路１４が、上記と同様にして、Ｈ２２電位とほぼ等しくてオフセット電圧Ｖｏ分だけ差（電位差）のあるＧｈ２電位をプローブ２ｅを介して抵抗Ｒ２の他端側のテストポイントに出力する。したがって、抵抗Ｒ２の両端間が、上記したオフセット電圧Ｖｏと等しいオフセット電圧Ｖｏに定電圧化される。また、電流計１２が、電流源１１Ａから出力されてプローブ２ａを流れる電流Ｉｔ２２の電流値を測定して制御部５に出力する。また、電圧計１３が、プローブ２ｃ，２ｄを介して抵抗Ｒ１の両端に発生する電圧Ｖｒ２２の電圧値（本発明における第２電圧値）を測定して制御部５に出力する。

この場合、抵抗Ｒ１には、抵抗Ｒ１の両端への検査用直流電流の供給に起因して、Ｈ２２電位およびＬ電位の電位差に対応する電流Ｉｒ２２が流れる。また、抵抗Ｒ２には、その両端間がオフセット電圧Ｖｏに定電圧化されることに起因して電流Ｉｇ２が流れる。ここで、電流Ｉｒ２２の電流値をＩｒ２２とし、プローブ２ａを流れる電流Ｉｔ２２の電流値をＩｔ２２としたときに、Ｉｔ２２について以下の関係式が成り立つことになる。
Ｉｔ２２＝Ｉｒ２２＋Ｉｇ２
＝Ｖｒ２２／Ｒ１＋Ｉｇ２・・・（５）式
したがって、上記した（４）式および（５）式から、以下の（６）式が成立する。
Ｒ１＝（Ｖｒ２１−Ｖｒ２２）／（Ｉｔ２１−Ｉｔ２２）・・・（６）式
この（６）式を導く際にオフセット電圧Ｖｏに起因して流れる電流Ｉｇ２の電流値Ｉｇ２が相殺されるため、この（６）式には電流値Ｉｇ２が含まれていない。したがって、オフセット電圧Ｖｏに起因する測定誤差を含むことなく抵抗Ｒ１の抵抗値が（６）式から正確に算出（測定）される。

次いで、制御部５は、ＲＡＭ６に記憶させた電流Ｉｔ２１の電流値Ｉｔ２１および電圧Ｖｒ２１の電圧値Ｖｒ２１と、入力した電流Ｉｔ２２の電流値Ｉｔ２２および電圧Ｖｒ１２の電圧値Ｖｒ１２とを用いて（６）式から抵抗Ｒ１の抵抗値Ｒ１を算出（測定）する。この場合、ＲＡＭ６に記憶させた電流Ｉｔ２１と、入力した電流Ｉｔ２２とに代えて、ＲＡＭ６に予め設定されている第１および第２電流値を用いることもできる。以上により、抵抗測定装置１Ａによる抵抗測定処理を終了する。

次に、流れる電流の値によって抵抗値が変化する例えばサーミスタＴ１などの無極性の電気部品の抵抗値を測定する例について説明する。

この場合、第１電流値および第２電流値として、互いに絶対値が等しくて逆極性の電流値をＲＡＭ６に予め記憶させる。例えば、第１電流値として＋１ｍＡを記憶させ、第２電流値として−１ｍＡを記憶させる。

このサーミスタＴ１についての抵抗測定処理では、上記の測定と同様にして、制御部５が、電流源１１Ａに対して、第１電流値（＋１ｍＡ）の検査用直流電流を出力させて、電流計１２から出力される電流Ｉｔ２１の電流値を入力すると共に、電圧計１３から出力される電圧Ｖｒ２１の電圧値を入力する。次いで、制御部５は、電流源１１Ａに対して、第２電流値（−１ｍＡ）の検査用直流電流を出力させて、電流計１２から出力される電流Ｉｔ２２の電流値を入力すると共に、電圧計１３から出力される電圧Ｖｒ２２の電圧値を入力する。この場合、電流Ｉｔ２２および電圧Ｖｒ２２は、第１電流値の検査用直流電流で測定した電流Ｉｔ２１および電圧Ｖｒ２１に対して、極性が逆、つまり符号がマイナスとなる。また、抵抗Ｒ３の両端間のオフセット電圧Ｖｏは、第１電流値の検査用直流電流を出力したときと第２電流値の検査用直流電流を出力したときとで等しくなる。したがって、この例のときにも、上記の（４）式〜（６）式が成り立つため、制御部５は、測定した電流Ｉｔ２１，Ｉｔ２２および電圧Ｖｒ２１，Ｖｒ２２（ただし、電流Ｉｔ２２および電圧Ｖｒ２２の符号はマイナス）から（６）式を用いてサーミスタＴ１の抵抗値を算出する。このように、流れる電流の値によって抵抗値が変化する無極性の電気部品についての所定電流における抵抗値がオフセット電圧Ｖｏに起因する測定誤差を含むことなく正確に測定される。

このように、この抵抗測定装置１Ａによれば、抵抗Ｒ１の両端間に第１電流値の検査用直流電流を供給し、かつ抵抗Ｒ２の両端間をオフセット電圧Ｖｏに定電圧化した状態において、抵抗Ｒ１の両端間の電圧Ｖｒ２１の第１電圧値を測定し、抵抗Ｒ１の両端間に第２電流値の検査用直流電流を供給し、かつ抵抗Ｒ２の両端間をオフセット電圧Ｖｏに定電圧化した状態において、抵抗Ｒ１の両端間の電圧Ｖｒ２２の第２電圧値を測定し、第１および第２電流値と測定した第１および第２電圧値とに基づいて抵抗Ｒ１の抵抗値を算出することにより、抵抗Ｒ１の抵抗値算出の際にオフセット電圧Ｖｏに起因して流れる電流Ｉｇ２が相殺されるため、オフセット電圧Ｖｏに起因する測定誤差を含むことなく抵抗Ｒ１の抵抗値を正確かつ簡易に算出（測定）することができる。

また、この抵抗測定装置１Ａによれば、第２電流値の検査用直流電流として第１電流値に対して逆極性であって絶対値が等しい直流電流を抵抗Ｒ１の両端間に供給することにより、印加する電圧（流れる電流）の値によって抵抗値が変化する無極性の電気部品についての所定電圧（第１電圧値の絶対値）の印加状態における抵抗値を正確に測定することができる。

なお、本発明は、上記した抵抗測定装置１，１Ａの構成および抵抗測定方法に限定されない。例えば、本発明における定電圧源として演算増幅器によって構成されるガード電位印加回路１４を備えて、演算増幅器のオフセット電圧Ｖｏを本発明における直流定電圧とする例について説明したが、このガード電位印加回路１４に代えて、抵抗測定装置１においては直流定電圧を出力する電圧源を抵抗Ｒ３と並列接続（接続するときの電圧の極性はいずれでもよい）する構成を採用することもできるし、抵抗測定装置１Ａにおいては、直流定電圧を出力する電圧源を抵抗Ｒ２と並列接続（接続するときの電圧の極性はいずれでもよい）する構成を採用することもできる。また、本発明における直列接続された複数の電気部品として２個の抵抗Ｒ２，Ｒ３が直列接続されている例について説明したが、直列接続される電気部品の数は２個に限らず３個以上の任意の数であってもよい。また、抵抗Ｒ１〜Ｒ３が固定抵抗器の例について説明したが、これらに限らず、例えばコイル、半導体および導体パターン等の直流抵抗を測定することができる。

また、抵抗測定装置１において抵抗Ｒ１の抵抗値を測定するときに、抵抗Ｒ１の一端の方に他端よりも高い電位を印加する例について説明したが、電圧源１１から出力する電圧の極性を逆にして、抵抗Ｒ１の一端の方が他端よりも低い電位を印加する構成を採用することができる。この構成では、例えば、電圧源１１の他端の電位を０Ｖとしたときに、第１および第２電圧値として−４００ｍＶおよび−２００ｍＶをそれぞれ一方の出力部から出力する。また、抵抗測定装置１Ａにおいて抵抗Ｒ１の抵抗値を測定するときに、電流源１１Ａの一方の出力部から他方の出力部に向かう向きで第１および第２電流値の検査用直流電流を出力させる例について説明したが、電流源１１Ａから出力する電流の極性を逆にして、電流源１１Ａの他方の出力部から一方の出力部に向かう向きで第１および第２電流値の検査用直流電流を出力させる構成を採用することができる。この構成では、例えば、電流源１１Ａから第１電流値として−１ｍＡを出力させ、第２電流値として−０．５ｍＡを出力する。

抵抗測定装置１（１Ａ）の構成を示す構成図である。 抵抗測定装置１において抵抗Ｒ１（サーミスタＴ１）の抵抗値を測定するときの測定系の構成図である。 抵抗測定装置１Ａにおいて抵抗Ｒ１（サーミスタＴ１）の抵抗値を測定するときの測定系の構成図である。 抵抗測定装置１０１において抵抗Ｒ１の抵抗値を測定するときの測定系の構成図である。 抵抗測定装置１０１Ａにおいて抵抗Ｒ１の抵抗値を測定するときの測定系の構成図である。

符号の説明

１，１Ａ 抵抗測定装置
４，４Ａ 測定部
５ 制御部
１１ 電圧源
１１Ａ 電流源
１２ 電流計
１３ 電圧計
１４ ガード電位印加回路
Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３ 抵抗
Ｔ１ サーミスタ

Claims (4)

1. 第１電圧値および第２電圧値の検査用直流電圧を出力する電圧源と、直流定電圧を出力する定電圧源と、直流電流計と、演算部とを備えて、測定対象の第１電気部品と、直列接続された複数の電気部品とが並列接続されている状態で前記第１電気部品の抵抗値を測定可能な抵抗測定装置であって、
   前記演算部は、前記第１電気部品の一端および他端の間に前記第１電圧値の前記検査用直流電圧が印加され、かつ前記第１電気部品の前記他端に一端が接続されている前記複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に前記直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品のみを流れる直流電流と前記直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流との和の直流電流の第１電流値を前記電流計から取得し、
   前記第１電気部品の両端間に前記第１電圧値とは絶対値が異なる前記第２電圧値の前記検査用直流電圧が印加され、かつ前記第２電気部品の前記両端間に前記直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品のみを流れる直流電流と前記直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流の和の直流電流の第２電流値を前記電流計から取得し、
   前記第１電圧値と前記第１電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および前記第２電圧値と前記第２電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、前記第１および第２電圧値と前記取得した第１および第２電流値とに基づいて前記第１電気部品の抵抗値を算出する抵抗測定装置。
2. 第１電流値および第２電流値の検査用直流電流を出力する電流源と、直流定電圧を出力する定電圧源と、直流電圧計と、演算部とを備えて、測定対象の第１電気部品と、直列接続された複数の電気部品とが並列接続されている状態で前記第１電気部品の抵抗値を測定可能な抵抗測定装置であって、
   前記演算部は、前記第１電気部品および前記直列接続された複数の電気部品に前記第１電流値の前記検査用直流電流が供給され、かつ前記第１電気部品の前記一端に一端が接続されている前記複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に前記直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品の両端間における直流電圧の第１電圧値を前記直流電圧計から取得し、
   前記第１電気部品および前記直列接続された複数の電気部品に前記第１電流値とは絶対値が異なる前記第２電流値の前記検査用直流電流が供給され、かつ前記第２電気部品の前記両端間に前記直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品の両端間における直流電圧の第２電圧値を前記直流電圧計から取得し、
   前記第１電圧値と前記第１電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および前記第２電圧値と前記第２電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、前記第１および第２電流値と前記取得した第１および第２電圧値とに基づいて前記第１電気部品の抵抗値を算出する抵抗測定装置。
3. 測定対象の第１電気部品と、直列接続された複数の電気部品とが並列接続されている状態で前記第１電気部品の抵抗値を測定する抵抗測定方法であって、
   前記第１電気部品の一端および他端の間に第１電圧値の検査用直流電圧を印加し、かつ前記第１電気部品の前記他端に一端が接続されている前記複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に直流定電圧を印加した状態において、前記第１電気部品のみを流れる直流電流と前記直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流の和の直流電流の第１電流値を測定し、
   前記第１電気部品の両端間に前記第１電圧値とは絶対値が異なる第２電圧値の前記検査用直流電圧を印加し、かつ前記第２電気部品の前記両端間に前記直流定電圧を印加した状態において、前記第１電気部品のみを流れる直流電流と前記直列接続された複数の電気部品のみを流れる直流電流の和の直流電流の第２電流値を測定し、
   前記第１電圧値と前記第１電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および前記第２電圧値と前記第２電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、前記第１および第２電圧値と前記測定した第１および第２電流値とに基づいて前記第１電気部品の抵抗値を算出する抵抗測定方法。
4. 測定対象の第１電気部品と、直列接続された複数の電気部品とが並列接続されている状態で前記第１電気部品の抵抗値を測定する抵抗測定方法であって、
   前記第１電気部品および前記直列接続された複数の電気部品に第１電流値の前記検査用直流電流を供給し、かつ前記第１電気部品の前記一端に一端が接続されている前記複数の電気部品のうちの第２電気部品の両端間に直流定電圧が印加されている状態において、前記第１電気部品の両端間における直流電圧の第１電圧値を測定し、
   前記第１電気部品および前記直列接続された複数の電気部品に前記第１電流値とは絶対値が異なる第２電流値の前記検査用直流電流を供給し、かつ前記第２電気部品の前記両端間に前記直流定電圧を印加した状態において、前記第１電気部品の両端間における直流電圧の第２電圧値を測定し、
   前記第１電圧値と前記第１電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式、および前記第２電圧値と前記第２電流値と前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値と前記第１電気部品の抵抗値との間の関係式から導かれ、かつ前記第２電気部品を流れる直流電流の電流値を相殺した関係式を用いて、前記第１および第２電流値と前記測定した第１および第２電圧値とに基づいて前記第１電気部品の抵抗値を算出する抵抗測定方法。

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